KR101608832B1 - Foup stage nozzle unit and load port having therof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 로드 포트(Loadport)에 구비된 상태로 웨이퍼(Wafer)가 내부에 적재되는 풉(Foup)이 상면에 탈착 가능하게 안착 되는 풉 스테이지에 설치되어 풉 내부로 퍼지가스(Purge gas)의 공급 및 퓸(Fume)이 포함된 배출가스가 배출되는 노즐 유닛으로서, 노즐 유닛은 상면이 개방되고 일측에 수직으로 요홈이 형성된 하우징과, 하우징 내부에 수용되며, 상면이 개방되고 내부에 유로가 형성되며, 개방된 상면을 통해 풉에 퍼지가스의 공급 또는 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 노즐과, 하우징의 요홈을 통해 수평으로 삽입되어 노즐의 일측을 관통하여 설치되어 노즐 내부에 퍼지가스를 유입 또는 노즐을 통해 배출되는 배출가스가 이송되는 이송관과, 하우징의 하부를 수직으로 관통한 상태로 삽입되어 노즐의 하면에 결합 된 실린더와, 실린더 내부로 압축공기를 주입하는 가압부 및 노즐의 하단과 실린더 사이를 연결한 용수철을 포함하는 풉 스테이지 노즐 유닛에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 로드 포트에 탑재된 풉에서 웨이퍼에 잔존하는 잔존가스인 퓸 제거의 효율이 상승하고, 유지 보수 및 전력 소비량 측면에서 향상된 효과가 있다.The present invention relates to a FOUP stage nozzle unit and a load port having the FOUP stage nozzle unit. More particularly, the present invention relates to a FOUP stage in which a wafer is mounted on a load port, A nozzle unit installed on the FOUP stage to discharge the exhaust gas containing purge gas and fume into the FOUP stage, the nozzle unit including a housing having a top surface opened and a vertical groove formed at one side thereof, A nozzle accommodated in the housing and having an upper surface opened and a flow path formed therein, a nozzle through which the exhaust gas containing the purge gas or the fume is discharged to the FOUP through the opened upper surface, A transfer pipe which is inserted through the one side of the nozzle and through which the purge gas is introduced into the nozzle or the exhaust gas discharged through the nozzle is transferred; Disengage, including a connection between a and is inserted in a through-state bonded to the lower face of the nozzle cylinder, the lower end of the pressing portion and a nozzle for injecting compressed air into the cylinder and the spring cylinder relates to a stage nozzle unit.
According to the present invention, the efficiency of the removal of the residual gas remaining on the wafer by the FOUP mounted on the load port increases, and the maintenance and the power consumption are improved.

Description

풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트{Foup stage nozzle unit and load port having therof}[0001] The present invention relates to a Foup stage nozzle unit and a load port having the same,

본 발명은 노즐 유닛에 관한 것으로, 특히 웨이퍼에 잔존하는 잔존 가스인 퓸(fume)의 배출 효율을 향상할 수 있는 풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle unit, and more particularly, to a Foop stage nozzle unit capable of improving discharge efficiency of fume, which is residual gas remaining on a wafer, and a load port having the nozzle unit.

일반적으로 반도체 제조설비는 공정 모듈, 로드 포트 및 설비 전후 모듈(Equipment Front End Module : EFEM)을 포함하여 구성된다.Typically, the semiconductor manufacturing facility comprises a process module, a load port, and an Equipment Front End Module (EFEM).

여기서 공정 모듈은 웨이퍼의 반도체 제조공정이 수행되는 모듈이며, 로드 포트는 다수의 웨이퍼가 탑재된 풉(Front Opening Universal Pod : FOUP)이 로딩 되는 부분이며, 설비 전후 모듈은 공정 모듈과 로드 포트 사이에 구비되어 청정 공간을 제공하며, 내부에 이송 모듈을 구비하여 풉과 공정 모듈 사이에 다수의 웨이퍼를 이송시키는 역할을 한다.Here, the process module is a module in which the semiconductor manufacturing process of the wafer is performed. The load port is a portion where a FOUP (FOUP) loaded with a plurality of wafers is loaded, and the module before and after the process is placed between the process module and the load port And provides a clean space, and a transfer module is provided therein to transfer a plurality of wafers between the FOUP and the process module.

한편, 공정 모듈은 웨이퍼의 처리 또는 가공을 공정 가스를 채운 상태에서 진행한다.On the other hand, the process module performs processing or processing of the wafer while the process gas is filled.

이때, 상기 공정 가스 중 대부분은 공정 중 배기 처리되지만 일부는 웨이퍼 표면에 잔존하여 웨이퍼를 손상시키거나 공정에 사용되는 다른 장치들이 오염되는 문제가 있다.At this time, most of the process gases are exhausted during the process, but some are left on the surface of the wafer to damage the wafer or contaminate other devices used in the process.

이를 해결하고자, 불활성 가스 충전 및 이를 배기할 수 있는 로드 포트에 대한 종래기술들이 개시되고 있다.In order to solve this problem, conventional techniques for charging an inert gas and discharging the inert gas are disclosed.

그러나, 이러한 종래기술의 경우 풉 내부에 불활성 가스를 충전하는 기능에 그칠 뿐 웨이퍼 표면의 잔존 가스 제거에는 실효성이 없는 문제가 있다.However, in such a conventional technique, there is a problem in that it is only a function of filling the inert gas into the inside of the FOUP, and is not effective in removing the residual gas on the surface of the wafer.

대한민국 공개특허공보 제10-2002-0081730호(2002년 10월 30일 공개)Korean Patent Publication No. 10-2002-0081730 (published on October 30, 2002)

상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 과제는, 웨이퍼에 잔존하는 잔존 가스인 퓸(fume) 제거를 위한 퓸의 배출 효율을 향상시킬 수 있는 풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a FOUP stage nozzle unit capable of improving discharge efficiency of fumes for removing fumes, I have to.

상기 과제를 달성하기 위해 안출된 본 발명은, 로드 포트(Loadport)에 구비된 상태로 웨이퍼(Wafer)가 내부에 적재되는 풉(Foup)이 상면에 탈착 가능하게 안착 되는 풉 스테이지(S)에 설치되어 상기 풉 내부로 퍼지가스(Purge gas)의 공급 및 퓸(Fume)이 포함된 배출가스가 배출되는 노즐 유닛으로서, 상기 노즐 유닛(100)은 상면이 개방되고 내부에 유로(121)가 형성되며, 상기 개방된 상면을 통해 상기 풉에 퍼지가스의 공급 또는 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 금속 재질의 노즐(120); 상기 노즐(120) 내부에 퍼지가스를 유입 또는 상기 노즐(120)을 통해 배출되는 배출가스가 이송되는 이송관(130); 상기 노즐(120)의 상단 중앙부위에서 수직방향으로 연장되게 형성되는 환형의 연장부(122); 상기 연장부(122)의 외경에 결합되는 실리콘 재질의 실링부(123); 및 상기 연장부(122)를 기준으로 외곽방향으로 위치하도록 상기 실링부(123)의 상면에 형성되는 2개의 환형의 돌출부(1231);를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of mounting a FOUP on a FOUP stage (S) in which a wafer is mounted on a load port, the FOUP being detachably mounted on a top surface of the FOUP stage A nozzle unit 100 having an upper surface opened and a flow path 121 formed therein, a nozzle unit 100 for discharging exhaust gas containing a purge gas and a fume into the FOUP, A nozzle 120 of a metal material through which the exhaust gas containing a supply of purge gas or fumes is discharged to the FOUP through the opened upper surface; A transfer pipe 130 through which the purge gas is introduced into the nozzle 120 or the exhaust gas discharged through the nozzle 120 is transferred; An annular extension 122 formed to extend vertically above the upper center of the nozzle 120; A sealing portion 123 of a silicone material coupled to an outer diameter of the extension portion 122; And two annular protrusions 1231 formed on the upper surface of the sealing portion 123 so as to be positioned outwardly with respect to the extending portion 122.

상면이 개방되어 내부에 상기 노즐(120)이 수용되는 하우징(110);을 더 포함하되, 상기 하우징(110)의 일측에 수직으로 요홈(111)이 형성되고, 상기 이송관(130)은 상기 요홈(111)을 통해 삽입되어 상기 노즐(120)의 일측을 관통하여 설치되며, 상기 노즐(120)이 상기 하우징(110) 내부에서 상하로 승강할 때, 상기 이송관(130) 또한 상기 하우징(110) 일측에 수직으로 형성된 상기 요홈(111)의 길이방향을 따라 상하로 승강하는 것을 특징으로 한다.And a housing 110 in which an upper surface is opened and the nozzle 120 is accommodated in the housing 110. A groove 111 is vertically formed on one side of the housing 110, The transfer tube 130 is also inserted into the housing 110 through the groove 110 and is installed through one side of the nozzle 120. When the nozzle 120 moves up and down inside the housing 110, 110) along the longitudinal direction of the groove (111) formed vertically.

상기 하우징(110)의 하부를 수직으로 관통한 상태로 삽입되어 상기 노즐(120)의 하면에 결합된 실린더(140); 상기 실린더(140) 내부로 압축공기를 주입하는 가압부(150); 및 상기 노즐(120)의 하단과 상기 실린더(140) 사이를 연결한 용수철(160);을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.A cylinder 140 inserted vertically through the lower portion of the housing 110 and coupled to the lower surface of the nozzle 120; A pressure unit 150 for injecting compressed air into the cylinder 140; And a spring (160) connecting the lower end of the nozzle (120) and the cylinder (140).

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또한, 본 발명은, 본체 및 상기 본체에 탈착 가능하게 구비되며, 웨이퍼가 적재되는 풉을 포함하는 로드 포트로서, 상기 풉에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스 공급부(200); 상기 퍼지가스 공급부(200)를 통해 공급되는 퍼지가스가 복수의 분기 유로로 분기 되는 퍼지가스 분기부(300); 상기 퍼지가스 분기부(300)에 의해 분기 되어 복수의 분기 유로를 따라 이송되는 퍼지가스가 상기 풉 내부로 공급 및 퓸을 포함한 퍼지가스의 배출을 가능하게 하는 복수의 노즐 유닛(100); 및 상기 노즐 유닛(100)을 통해 풉 내부의 퓸을 배출하는 배출가스 배출부(400)를 포함하되, 상기 노즐 유닛(100)은 상면이 개방되고 내부에 유로(121)가 형성되며, 상기 개방된 상면을 통해 상기 풉에 퍼지가스의 공급 또는 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 금속 재질의 노즐(120); 상기 노즐(120) 내부에 퍼지가스를 유입 또는 상기 노즐(120)을 통해 배출되는 배출가스가 이송되는 이송관(130); 상기 노즐(120)의 상단 중앙부위에서 수직방향으로 연장되게 형성되는 환형의 연장부(122); 상기 연장부(122)의 외경에 결합되는 실리콘 재질의 실링부(123); 및 상기 연장부(122)를 기준으로 외곽방향으로 위치하도록 상기 실링부(123)의 상면에 형성되는 2개의 환형의 돌출부(1231);를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a load port including a main body and a FOUP detachably mounted on the main body and loaded with a wafer, the purge gas supply unit 200 supplying purge gas to the FOUP; A purge gas branching unit 300 for branching the purge gas supplied through the purge gas supply unit 200 to a plurality of branch flow paths; A plurality of nozzle units (100) branched by the purge gas branching part (300) and supplied along a plurality of branching flow paths to supply purge gas including the fume into the inside of the FOUP; And an exhaust gas discharge unit 400 for discharging fumes in the FOUP through the nozzle unit 100. The nozzle unit 100 has an upper surface opened and a flow path 121 formed therein, A nozzle 120 of a metal material through which exhaust gas containing a supply of purge gas or fumes is discharged to the FOUP through an upper surface of the nozzle 120; A transfer pipe 130 through which the purge gas is introduced into the nozzle 120 or the exhaust gas discharged through the nozzle 120 is transferred; An annular extension 122 formed to extend vertically above the upper center of the nozzle 120; A sealing portion 123 of a silicone material coupled to an outer diameter of the extension portion 122; And two annular protrusions 1231 formed on the upper surface of the sealing portion 123 so as to be positioned outwardly with respect to the extending portion 122.

상기 퍼지가스 공급부는 필터를 더 구비한 것을 특징으로 한다.The purge gas supply unit may further include a filter.

상기 퍼지가스 분기부는 복수의 레귤레이터, 복수의 플로우 미터 및 복수의 제1공압 밸브를 구비한 것을 특징으로 한다.The purge gas branching section is characterized by comprising a plurality of regulators, a plurality of flow meters, and a plurality of first pneumatic valves.

상기 노즐 유닛은 적어도 4개인 것을 특징으로 한다.And the nozzle unit is at least four.

상기 노즐 유닛 사이에 제2공압 밸브가 구비된 것을 특징으로 한다.And a second pneumatic valve is provided between the nozzle units.

상기 배출가스 배출부는 산소의 농도를 측정하는 제1센서와, 습도를 측정하는 제2센서 및 배출가스의 차압을 측정하는 제3센서와, 제3공압 밸브를 구비한 것을 특징으로 한다.The exhaust gas discharging portion includes a first sensor for measuring the concentration of oxygen, a second sensor for measuring the humidity, a third sensor for measuring the differential pressure of the exhaust gas, and a third pneumatic valve.

본 발명은 로드 포트에 탑재된 풉에서 웨이퍼에 잔존하는 잔존가스인 퓸 제거의 효율이 상승하고, 유지 보수 및 전력 소비량 측면에서 향상된 효과가 있다.The present invention has the effect of increasing the efficiency of removing residual fumes remaining on the wafer from the FOUP mounted on the load port and improving the maintenance and power consumption.

본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 및 이를 구비한 로드 포트를 나타낸 예시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 유닛이 구비된 풉 스테이지의 사시도 및 노즐 유닛의 확대 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛에서 노즐 유닛을 나타낸 단면도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛에서 노즐 유닛의 실링부를 나타낸 사시도 및 단면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트의 일부 구성을 도시하는 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, And shall not be construed as interpretation.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an exemplary view showing a FOUP stage according to an embodiment of the present invention and a load port having the same;
FIG. 2 is an enlarged perspective view of a nozzle unit and a perspective view of a FoWo stage equipped with a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. FIG.
3 is a cross-sectional view illustrating a nozzle unit in a Fool stage nozzle unit according to an embodiment of the present invention,
4 and 5 are a perspective view and a cross-sectional view showing a sealing part of a nozzle unit in a Fool stage nozzle unit according to an embodiment of the present invention,
6 is a configuration diagram showing a part of the configuration of the load port according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a Fool stage nozzle unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 및 이를 구비한 로드 포트를 나타낸 예시도, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 유닛이 구비된 풉 스테이지의 사시도 및 노즐 유닛의 확대 사시도, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛에서 노즐 유닛을 나타낸 단면도, 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛에서 노즐 유닛의 실링부를 나타낸 사시도 및 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a FOUP stage according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of a nozzle unit and a perspective view of a FOUP stage having a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. FIGS. 4 and 5 are a perspective view and a cross-sectional view illustrating a sealing unit of the nozzle unit in the Fooze stage nozzle unit according to the embodiment of the present invention, respectively. FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a nozzle unit in a Fool stage nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 풉 스테이지 노즐 유닛은 하우징(110), 노즐(120), 이송관(130), 실린더(140), 가압부(150) 및 용수철(160)을 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.1 to 5, a FOUP stage nozzle unit according to a preferred embodiment of the present invention includes a housing 110, a nozzle 120, a transfer tube 130, a cylinder 140, a pressing unit 150, (160), which will be described in detail as follows.

먼저, 본 발명의 풉 스테이지 노즐 유닛은 로드 포트(Loadport)에 구비된 상태로 웨이퍼(Wafer)가 내부에 적재되는 풉(Foup)이 상면에 탈착 가능하게 안착 되는 풉 스테이지(S)에 설치되어 상기 풉 내부로 퍼지가스(Purge gas)의 공급 및 퓸(Fume)이 포함된 배출가스가 배출되는 노즐 유닛이다.The FOUP stage nozzle unit of the present invention is installed in a FOUP stage S on which a Foup on which a wafer is mounted is detachably mounted on a top surface of the FOUP stage, It is a nozzle unit which discharges exhaust gas containing purge gas and fume into FOUP.

상기 풉 스테이지(S)는 내부에 소정의 수용공간이 마련되고, 상면에 풉이 안착 된다. 이렇게 상면에 풉이 안착 되면, 풉의 하부에 형성된 노즐 부위를 통해 상기 풉 내부로 퍼지가스를 공급하거나, 풉 내부의 퓸이 포함된 배출가스를 외부로 배출하기 위한 노즐 유닛(100)이 결합하되, 퍼지가스 및 배출가스의 누수가 발생하지 않게 하는 것이 중요하다.The FOUP stage (S) has a predetermined receiving space therein, and the FOUP is seated on the upper surface. When the FOUP is seated on the upper surface of the FOUP, the nozzle unit 100 for supplying the purge gas to the inside of the FOUP through the nozzle portion formed in the lower portion of the FOUP or discharging the exhaust gas containing the fume inside the FOUP to the outside , It is important to prevent leakage of purge gas and exhaust gas.

상기 노즐 유닛(100)은 상기 풉 스테이지(S) 내부에 복수 수용되는데, 바람직하게는 제1노즐 유닛, 제2노즐 유닛, 제3노즐 유닛 및 제4노즐 유닛의 4개의 노즐 유닛으로 구성된다.The nozzle unit 100 is accommodated in the inside of the Foof stage S and is preferably composed of four nozzle units: a first nozzle unit, a second nozzle unit, a third nozzle unit, and a fourth nozzle unit.

예를 들어 제1 내지 제3노즐 유닛을 풉 내부에 퍼지가스를 공급하는 공급단으로 설정하고, 나머지 제4노즐 유닛을 풉 내부의 퓸을 포함한 배출가스가 배출되는 배출단으로 설정할 수 있다.For example, the first to third nozzle units may be set as a supply end for supplying the purge gas to the interior of the FOUP, and the remaining fourth nozzle unit may be set as the discharge end for discharging the exhaust gas containing the fouling inside the FOUP.

또한, 제2노즐 유닛과 제3노즐 유닛을 입력단으로, 제1노즐 유닛과 제4노즐 유닛을 배출단으로 설정할 수 있다.Further, the second nozzle unit and the third nozzle unit may be set as an input end, and the first nozzle unit and the fourth nozzle unit may be set as a discharge end.

상기 노즐 유닛(100)은 상기 풉 내부로 퍼지가스의 공급 및 동시에 퓸이 포함된 배출가스가 배출된다.The nozzle unit 100 discharges the purge gas into the inside of the FOUP and the exhaust gas containing the fume.

상기 하우징(110)은 상면이 개방되고 일측에 수직방향으로 형성된 요홈(111)이 구비된다.The housing 110 is provided with a groove 111 whose upper surface is opened and formed at one side in a vertical direction.

그리고, 상기 노즐(120)은 상기 하우징(110) 내부에 수직으로 수용되는데, 상면이 개방되고 내부에는 풉 내부에 퍼지가스를 공급하거나, 반대로 풉 내부의 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 유로(121)가 형성된다.The nozzle 120 is vertically received in the housing 110. The nozzle 120 is opened vertically and the purge gas is supplied to the inside of the FOUP or the exhaust gas containing the fumes inside the FOUP is discharged 121 are formed.

즉, 개방된 상면(유출입구)을 통해 퍼지가스 또는 배출가스 공급 또는 배출되는 것이다.That is, the purge gas or the exhaust gas is supplied or discharged through the open top surface (outflow inlet).

여기서, 상기 노즐(120)은 상기 하우징(110) 내부에서 상하로 슬라이딩 승강할 수 있는 구조로 이루어진다.Here, the nozzle 120 has a structure capable of sliding up and down in the housing 110.

이때, 상기 노즐(120)은 파티클의 발생을 억제하기 위해 엔지니어링 플라스틱(EP)이 표면코팅처리된 금속의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the nozzle 120 is made of a metal whose surface is coated with an engineering plastic (EP) to suppress the generation of particles.

여기서, 상기 노즐(120)의 상부 형상에 대해 설명하면, 노즐(120)의 상단 중앙부위가 수직방향으로 연장된 연장부(122)가 형성되는데, 상기 연장부(122)의 외경에는 실리콘 재질의 실링부(123)가 상기 연장부(122)의 외경에 결합 된 구조로 이루어진다.The upper portion of the nozzle 120 is formed with an extension 122 extending in the vertical direction. The outer diameter of the extension 122 is made of a silicone material. And a sealing part 123 is coupled to the outer diameter of the extension part 122. [

이때, 상기 실링부(123)는 상면에 적어도 하나 이상, 바람직하게는 2개의 돌출부(1231)가 형성된다.At this time, at least one, preferably two protrusions 1231 are formed on the upper surface of the sealing part 123.

다시 말해, 상기 노즐(120)의 연장부(122)를 기준으로 외곽방향으로 환형의 볼록한 돌출부(1231)가 3단 실링함으로써, 풉 측 노즐 부위에 결합시 유체의 실링효과를 높일 수 있다. 이는 면 접촉에 따른 유체의 실링보다는 선 접촉에 따른 실링이 효율적이기 때문이다.In other words, the three-stage sealing of the annular convex protrusion 1231 in the outward direction with respect to the extension part 122 of the nozzle 120 can enhance the sealing effect of the fluid upon joining to the FOUP-side nozzle part. This is because sealing by line contact is more efficient than fluid sealing by surface contact.

상기 이송관(130)은 상기 하우징(110)의 요홈(111)을 통해 수평으로 삽입되어 상기 노즐(120)의 일측을 관통하여 설치되어 상기 노즐(120) 내부로 퍼지가스가 유입 또는 상기 노즐(120)을 통해 배출되는 배출가스가 배출된다.The transfer tube 130 is horizontally inserted through a groove 111 of the housing 110 and is installed through one side of the nozzle 120 so that purge gas can be introduced into the nozzle 120, 120 are exhausted.

여기서, 상기 이송관(130)은 상기 노즐(120)이 상기 하우징(110) 내부에서 상하로 승강할 때, 이송관(130) 또한 하우징(110) 일측에 수직으로 형성된 요홈(111)의 길이방향을 따라 상하로 승강하게 된다.When the nozzle 120 is vertically moved up and down in the housing 110, the transfer pipe 130 is connected to the transfer pipe 130 in the length direction of the groove 111 formed vertically at one side of the housing 110 As shown in FIG.

상기 실린더(140)는 상기 하우징(110)의 하부를 수직으로 관통한 상태로 삽입되어 상기 노즐(120)이 상기 하우징(110) 내부에서의 상승을 가능하게 한다.The cylinder 140 is vertically penetrated through the lower portion of the housing 110 to allow the nozzle 120 to rise inside the housing 110.

상기 가압부(150)는 상기 실린더(140) 내부로 압축공기를 주입한다.The pressurizing unit 150 injects compressed air into the cylinder 140.

상기 가압부(150)의 역할은 풉이 풉 스테이지(S)의 상면에 안착하게 되면, 상기 가압부(150)를 통해 압축공기가 상기 실린더(140)에 주입되어 노즐(120)의 상단부가 풉 스테이지(S) 상면에서 수직으로 돌출되고, 반대로 풉이 풉 스테이지(S) 상면에서 제거되면, 가압부(150)에서 더 이상 압축공기가 실린더(140)에 주입되지 않아 용수철(160) 및 노즐(120)의 자중으로 인해 노즐(120)이 아래로 하강하게 된다.When the FOUP is seated on the top surface of the FOUP stage S, the compressed air is injected into the cylinder 140 through the pressing portion 150, When the FOUP is removed from the top surface of the Foil stage S, the compressed air is no longer injected into the cylinder 140 and the spring 160 and the nozzle (not shown) The nozzle 120 descends due to its own weight.

즉, 상기 노즐(120)의 상승은 풉 측 노즐 부위와의 실링을 위한 것으로서, 풉이 제거되면, 노즐(120)이 하강하면서 노즐(120)을 보호할 수 있는 것이다.That is, the upward movement of the nozzle 120 is for sealing with the FOUP-side nozzle portion, and when the FOUP is removed, the nozzle 120 can be lowered to protect the nozzle 120.

다시 말해, 노즐 유닛(100)의 실린더(140)에 압축공기가 주입되면, 압축공기로 인해 노즐(120)이 상승하게 되고, 이로 인해 노즐(120)의 실링부(123)가 풉 측 노즐 부위에 강하게 압착하여 퍼지가스 및 배출가스가 외부로 유출되는 것을 방지한다.In other words, when the compressed air is injected into the cylinder 140 of the nozzle unit 100, the nozzle 120 rises due to the compressed air, so that the sealing portion 123 of the nozzle 120 moves toward the FOUP- So as to prevent the purge gas and the exhaust gas from flowing out to the outside.

여기서, 제1 내지 제3노즐 유닛은 풉 내부로 퍼지가스를 유입시키고, 나머지 제4노즐 유닛은 풉 내부의 퓸을 포함한 배출가스를 배출시키게 된다. 선택적으로 제1노즐 유닛이 제4노즐 유닛과 같은 배출가스를 배출시키는 역할을 할 수 있다.Here, the first to third nozzle units introduce the purge gas into the inside of the FOUP, and the remaining fourth nozzle units discharge the exhaust gas including the fouling inside the FOUP. Optionally, the first nozzle unit may serve to discharge the exhaust gas, such as the fourth nozzle unit.

그리고, 상기 노즐(120)의 상부면이 선 접촉을 위한 구조로 3중으로 이루어지는데, 2개는 실링부(123) 상면에 형성된 돌출부(1231)이고, 나머지 하나는 노즐(120)의 상면에 형성된다.The upper surface of the nozzle 120 has a structure for line contact, and two of the nozzles 120 have protrusions 1231 formed on the upper surface of the sealing part 123 and the other one is formed on the upper surface of the nozzle 120 do.

이러한 구조로 인해 실리콘 재질의 실링부(123)와 금속 재질의 노즐(120) 사이에서 발생 되는 Leak을 방지하기 위해 금속 재질의 노즐(120)에 하중이 발생할 때, 실리콘 재질의 실링부(123)가 눌림으로써 실링부(123)와 노즐(120) 사이에 선 접촉에 의한 실링을 발생시킬 수 있다.Due to such a structure, when a load is generated in the metal nozzle 120 to prevent leakage generated between the sealing part 123 of the silicon material and the nozzle 120 of the metal material, the sealing part 123 of the silicon material, The sealing by the line contact between the sealing part 123 and the nozzle 120 can be caused.

한편, 상기 풉이 상기 풉 스테이지(S)에서 이탈되면, 상기 실린더(140)에 압축공기가 더 이상 주입되지 않게 되고, 그로 인해 노즐(120)이 하방으로 하강하게 된다.
On the other hand, when the FOUP is released from the FOUP stage S, compressed air is no longer injected into the cylinder 140, thereby causing the nozzle 120 to descend downward.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 로드 포트의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the load port according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트의 일부 구성을 도시하는 구성도이다.6 is a configuration diagram showing a part of the configuration of the load port according to the embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트는 퍼지가스 공급부(200), 퍼지가스 분기부(300), 노즐 유닛(100) 및 배출가스 배출부(400)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.6, a load port according to a preferred embodiment of the present invention includes a purge gas supply unit 200, a purge gas branch unit 300, a nozzle unit 100, and an exhaust gas discharge unit 400 And is described in detail as follows.

먼저, 본 발명의 로드 포트는 본체 및 상기 본체에 탈착 가능하게 구비되며, 웨이퍼가 적재되는 풉을 구비한다.First, the load port of the present invention is detachably mounted on a main body and the main body, and includes a FOUP on which a wafer is loaded.

상기 퍼지가스 공급부(200)는 풉에 퍼지가스를 공급하는 역할을 한다. 상기 퍼지가스는 질소(N2) 가스일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The purge gas supply unit 200 serves to supply purge gas to the FOUP. The purge gas may be nitrogen (N2) gas, but is not limited thereto.

상기 퍼지가스 공급부(200)는 사용자에 의해 수동조작되어 퍼지가스 공급여부를 제어하는 수동조작 밸브(210) 및 퍼지가스를 필터링 하는 필터(220)를 포함할 수 있다.The purge gas supply unit 200 may include a manual operation valve 210 for manually controlling the supply of purge gas by a user and a filter 220 for filtering the purge gas.

상기 퍼지가스 분기부(300)는 상기 퍼지가스 공급부(200)를 통해 공급되는 퍼지가스가 복수의 분기 유로로 분기 된다.The purge gas branching unit 300 branches the purge gas supplied through the purge gas supply unit 200 to a plurality of branching paths.

상기 퍼지가스 분기부(300)는 퍼지가스가 공급되는 유로로서 제1분기 유로(310), 제2분기 유로(320), 제3분기 유로(330) 및 제4분기 유로(340)를 포함할 수 있다.The purge gas branching unit 300 includes a first branch passage 310, a second branch passage 320, a third branch passage 330 and a fourth branch passage 340 as a passage through which the purge gas is supplied .

즉, 퍼지가스 분기부(300)는 복수의 분기 유로로 분기 되어 풉에 연결될 수 있다. 일례로서, 제1분기 유로(310)는 제1노즐 유닛, 제2분기 유로(320)는 제2노즐 유닛, 제3분기 유로(330)는 제3노즐 유닛, 제4분기 유로(340)는 제4노즐 유닛과 연통될 수 있다.That is, the purge gas branching unit 300 may be branched into a plurality of branch channels and connected to the FOUP. The first branch passage 310 is a first nozzle unit, the second branch passage 320 is a second nozzle unit, the third branch passage 330 is a third nozzle unit, the fourth branch passage 340 is a third nozzle unit, And can communicate with the fourth nozzle unit.

또한, 각각의 분기 유로인 제1분기 유로(310), 제2분기 유로(320), 제3분기 유로(330) 및 제4분기 유로(340) 상에 퍼지가스의 압력을 제어하는 레귤레이터(311, 321, 331, 341), 퍼지가스의 유동량을 감지하는 플로우 미터(312, 322, 332, 342), 퍼지가스의 유동량을 제어하는 제1공압 밸브(313, 323, 333, 343)를 구비할 수 있다.A regulator 311 for controlling the pressure of the purge gas is disposed on each of the first branch passage 310, the second branch passage 320, the third branch passage 330 and the fourth branch passage 340, 322, 332 and 342 for sensing the flow rate of the purge gas and first pneumatic valves 313, 323, 333 and 343 for controlling the flow rate of the purge gas .

이때, 퍼지가스 유동량의 제어를 제1공압 밸브(313, 323, 333, 343)에 의하는 것으로 설명하였으나 이에 제한되는 것은 아니다.At this time, it has been described that the control of the flow amount of the purge gas is performed by the first pneumatic valves 313, 323, 333, 343, but is not limited thereto.

또한, 제1분기 유로(310), 제2분기 유로(320), 제3분기 유로(330) 및 제4분기 유로(340) 각각에 구비되는 플로우 미터(312, 322, 332, 342)의 감지 값을 리딩 하는 제어부(미도시)가 별도로 구비될 수 있다.It is also possible to detect the flow meters 312, 322, 332 and 342 provided in the first branch passage 310, the second branch passage 320, the third branch passage 330 and the fourth branch passage 340 A control unit (not shown) for reading the value may be separately provided.

상기 제어부는 플로우 미터(312, 322, 332, 342)의 감지 값에 따라 제1공압 밸브(313, 323, 333, 343) 등의 구성을 제어하여 풉으로 공급되는 퍼지가스의 양을 제어할 수 있다.The control unit controls the configuration of the first pneumatic valves 313, 323, 333, and 343 according to the sensed values of the flow meters 312, 322, 332, and 342 to control the amount of purge gas have.

상기 노즐 유닛(100)은 상기 퍼지가스 분기부(300)에 의해 분기 되어 복수의 분기 유로를 따라 이송되는 퍼지가스가 복수의 노즐 유닛(100)을 통해 상기 풉 내부로 공급 및 퓸을 포함한 퍼지가스의 배출을 가능하게 한다. 노즐 유닛(100)에 대해서는 앞선 설명이 그대로 적용될 수 있다.The nozzle unit 100 supplies purge gas branched by the purge gas branching unit 300 and fed along a plurality of branch channels to the inside of the FOUP through a plurality of nozzle units 100 and purge gas . ≪ / RTI > As for the nozzle unit 100, the above description can be applied as it is.

이때, 상기 노즐 유닛(100)은 적어도 4개의 노즐 유닛 및 제2공압 밸브(500)가 구비되는데, 상기 제2공압 밸브(500)를 제어(개폐)함으로써 3개의 유닛 노즐을 퍼지가스 입력단으로 나머지 하나의 유닛 노즐이 배출가스 배출단으로 설정할 수 있고, 2개의 유닛 노즐을 퍼지가스 입력단으로 나머지 2개의 유닛 노즐을 배출가스 배출단으로 설정할 수 있다.At this time, the nozzle unit 100 is provided with at least four nozzle units and a second pneumatic valve 500. By controlling (opening and closing) the second pneumatic valve 500, One unit nozzle can be set as the exhaust gas discharge end, and the two unit nozzles can be set as the purge gas input end and the remaining two unit nozzles can be set as the discharge gas discharge end.

상기 배출가스 배출부(400)는 상기 풉 내부의 퍼지가스 및 퓸이 포함된 배출가스를 배출한다.The exhaust gas discharge unit 400 discharges purge gas and exhaust gas containing fumes in the FOUP.

다시 말해, 배출가스 배출부(400)는 풉 내부의 퍼지가스 및 퓸(fume)(웨이퍼 표면에 잔존하는 공정가스)을 배출하는 역할을 한다.In other words, the exhaust gas discharging part 400 serves to discharge purge gas and fumes (process gas remaining on the surface of the wafer) in the FOUP.

상기 배출가스 배출부(400)는 배출가스 배출유로(410) 및 공급유체 공급유로(420)를 포함할 수 있다.The exhaust gas discharge unit 400 may include an exhaust gas discharge passage 410 and a supply fluid supply passage 420.

상기 배출가스 배출유로(410)를 통해서는 풉으로부터 외부로 배출가스가 배출되며, 상기 공급유체 공급유로(420)를 통해서는 공급유체가 배출가속기(430)로 공급될 수 있다.The exhaust gas is discharged from the FOUP to the outside through the exhaust gas discharge passage 410 and the supply fluid can be supplied to the discharge accelerator 430 through the supply fluid supply passage 420.

상기 배출가스 배출유로(410)에는 배출가속기(430)가 구비될 수 있다. 즉, 배출가속기(430)는 배출가스 배출유로(410)로 상에 구비되어 풉 내부의 퍼지가스 및 퓸을 외부로 배출할 수 있다.The discharge gas discharge passage 410 may include a discharge accelerator 430. That is, the discharge accelerator 430 is provided on the discharge gas discharge passage 410 to discharge purge gas and fumes in the FOUP to the outside.

또한, 배출가스 배출유로(410)에는 산소의 농도를 측정하는 제1센서(411), 습도를 측정하는 제2센서(412) 및 배출가스의 차압을 측정하는 제3센서(413)가 구비될 수 있다. 또한, 제3공압 밸브(414)를 구비한다.The exhaust gas discharge passage 410 is provided with a first sensor 411 for measuring the concentration of oxygen, a second sensor 412 for measuring humidity, and a third sensor 413 for measuring the differential pressure of the exhaust gas . Also, a third pneumatic valve 414 is provided.

이를 통해, 본 발명에 따른 로드 포트는 측정된 산소의 농도 및 습도에 따라 퍼지가스 및 퓸의 배기 시간 및 배기 유량을 제어할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the load port according to the present invention has an advantage that the exhaust time and the exhaust flow rate of the purge gas and the fume can be controlled according to the measured oxygen concentration and humidity.

그리고, 상기 공급유체 공급유로(420)에는 수동조작 밸브(421), 레귤레이터(422) 및 투포트 솔레노이드 밸브(423)가 구비될 수 있다.A manual operation valve 421, a regulator 422, and a two-port solenoid valve 423 may be provided in the supply fluid supply passage 420.

상기 수동조작 밸브(421)는 공급유체의 공급량를 제어하기 위해 사용자에 의해 수동조작될 수 있다.The manually operated valve 421 may be manually operated by a user to control the supply amount of the supply fluid.

상기 레귤레이터(422)는 공급유체의 압력을 제어할 수 있고, 상기 투포트 솔레노이드 밸브(423)는 개도 제어를 통해 공급유체 공급유로(420)를 통해 공급되는 공급유체의 양을 제어할 수 있다.
The regulator 422 can control the pressure of the supply fluid and the two port solenoid valve 423 can control the amount of supply fluid supplied through the supply fluid supply passage 420 through the opening control.

이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 아니하고 청구항에 기재된 범위 내에서 변형이나 변경 실시가 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 첨부된 특허청구범위에 속한다 할 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And such variations and modifications are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 노즐 유닛
110: 하우징
111: 요홈
120: 노즐
121: 유로
122: 연장부
123: 실링부
1231: 돌출부
130: 이송관
140: 실린더
150: 가압부
160: 용수철
200: 퍼지가스 공급부
210: 수동조작 밸브
220: 필터
300: 퍼지가스 분기부
310: 제1분기 유로
320: 제2분기 유로
330: 제3분기 유로
340: 제4분기 유로
311, 321, 331, 341: 레귤레이터
312, 322, 332, 342: 플로우 미터
313, 323, 333, 343: 제1공압 밸브
400: 배출가스 배출부
410: 배출가스 배출유로
411: 제1센서
412: 제2센서
413: 제3센서
414: 제3공압 밸브
420: 공급유체 공급유로
421: 수동조작 밸브
422: 레귤레이터
423: 투포트 솔레노이드 밸브
430: 배출가속기
500: 제2공압 밸브
S: 풉 스테이지100: nozzle unit
110: Housing
111: groove
120: nozzle
121: Euro
122: extension part
123: sealing part
1231:
130: transfer pipe
140: Cylinder
150:
160: spring
200: purge gas supply part
210: Manually operated valve
220: Filter
300: purge gas branching part
310: First quarter Euro
320: Second quarter Euro
330: Third quarter Euro
340: Fourth quarter Euro
311, 321, 331, 341: Regulators
312, 322, 332, 342: flow meter
313, 323, 333, 343: a first pneumatic valve
400: Exhaust gas outlet
410: Exhaust gas discharge channel
411: first sensor
412: Second sensor
413: Third sensor
414: Third pneumatic valve
420: supply fluid supply flow path
421: Manually operated valve
422: Regulator
423: Two port solenoid valve
430: discharge accelerator
500: Second pneumatic valve
S: Poof Stage

Claims (11)

로드 포트(Loadport)에 구비된 상태로 웨이퍼(Wafer)가 내부에 적재되는 풉(Foup)이 상면에 탈착 가능하게 안착 되는 풉 스테이지(S)에 설치되어 상기 풉 내부로 퍼지가스(Purge gas)의 공급 및 퓸(Fume)이 포함된 배출가스가 배출되는 노즐 유닛으로서,
상기 노즐 유닛(100)은 상면이 개방되고 내부에 유로(121)가 형성되며, 상기 개방된 상면을 통해 상기 풉에 퍼지가스의 공급 또는 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 금속 재질의 노즐(120);
상기 노즐(120) 내부에 퍼지가스를 유입 또는 상기 노즐(120)을 통해 배출되는 배출가스가 이송되는 이송관(130);
상기 노즐(120)의 상단 중앙부위에서 수직방향으로 연장되게 형성되는 환형의 연장부(122);
상기 연장부(122)의 외경에 결합되는 실리콘 재질의 실링부(123); 및
상기 연장부(122)를 기준으로 외곽방향으로 위치하도록 상기 실링부(123)의 상면에 형성되는 2개의 환형의 돌출부(1231);를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 스테이지 유닛.A Foup stage in which a wafer is mounted on a load port is installed on a Foof stage S which is detachably mounted on a top surface of the Foof stage so that a purge gas A nozzle unit for discharging exhaust gas containing a supply and a fume,
The nozzle unit 100 has an upper surface opened and a flow path 121 formed therein. The nozzle unit 100 is provided with a metal nozzle 120 for discharging exhaust gas containing a purge gas or a fume to the FOUP through the opened upper surface );
A transfer pipe 130 through which the purge gas is introduced into the nozzle 120 or the exhaust gas discharged through the nozzle 120 is transferred;
An annular extension 122 formed to extend vertically above the upper center of the nozzle 120;
A sealing portion 123 of a silicone material coupled to an outer diameter of the extension portion 122; And
And two annular protrusions (1231) formed on an upper surface of the sealing portion (123) so as to be positioned outward with respect to the extending portion (122). 제1항에 있어서,
상면이 개방되어 내부에 상기 노즐(120)이 수용되는 하우징(110);을 더 포함하되,
상기 하우징(110)의 일측에 수직으로 요홈(111)이 형성되고,
상기 이송관(130)은 상기 요홈(111)을 통해 삽입되어 상기 노즐(120)의 일측을 관통하여 설치되며,
상기 노즐(120)이 상기 하우징(110) 내부에서 상하로 승강할 때, 상기 이송관(130) 또한 상기 하우징(110) 일측에 수직으로 형성된 상기 요홈(111)의 길이방향을 따라 상하로 승강하는 것을 특징으로 하는 풉 스테이지 유닛.The method according to claim 1,
And a housing (110) having an upper surface opened and receiving the nozzle (120) therein,
A groove (111) is vertically formed on one side of the housing (110)
The transfer tube 130 is inserted through the groove 111 and penetrates through one side of the nozzle 120,
When the nozzle 120 is vertically moved up and down in the housing 110, the transfer tube 130 also vertically moves up and down along the longitudinal direction of the groove 111 formed at one side of the housing 110 Wherein the first stage of the stage is a stage of the stage. 제2항에 있어서,
상기 하우징(110)의 하부를 수직으로 관통한 상태로 삽입되어 상기 노즐(120)의 하면에 결합된 실린더(140);
상기 실린더(140) 내부로 압축공기를 주입하는 가압부(150); 및
상기 노즐(120)의 하단과 상기 실린더(140) 사이를 연결한 용수철(160);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 스테이지 노즐 유닛.3. The method of claim 2,
A cylinder 140 inserted vertically through the lower portion of the housing 110 and coupled to the lower surface of the nozzle 120;
A pressure unit 150 for injecting compressed air into the cylinder 140; And
And a spring (160) connecting the lower end of the nozzle (120) and the cylinder (140). 삭제delete 삭제delete 본체 및 상기 본체에 탈착 가능하게 구비되며, 웨이퍼가 적재되는 풉을 포함하는 로드 포트로서,
상기 풉에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스 공급부(200);
상기 퍼지가스 공급부(200)를 통해 공급되는 퍼지가스가 복수의 분기 유로로 분기 되는 퍼지가스 분기부(300);
상기 퍼지가스 분기부(300)에 의해 분기 되어 복수의 분기 유로를 따라 이송되는 퍼지가스가 상기 풉 내부로 공급 및 퓸을 포함한 퍼지가스의 배출을 가능하게 하는 복수의 노즐 유닛(100); 및
상기 노즐 유닛(100)을 통해 풉 내부의 퓸을 배출하는 배출가스 배출부(400)를 포함하되,
상기 노즐 유닛(100)은 상면이 개방되고 내부에 유로(121)가 형성되며, 상기 개방된 상면을 통해 상기 풉에 퍼지가스의 공급 또는 퓸이 포함된 배출가스가 배출되는 금속 재질의 노즐(120); 상기 노즐(120) 내부에 퍼지가스를 유입 또는 상기 노즐(120)을 통해 배출되는 배출가스가 이송되는 이송관(130); 상기 노즐(120)의 상단 중앙부위에서 수직방향으로 연장되게 형성되는 환형의 연장부(122); 상기 연장부(122)의 외경에 결합되는 실리콘 재질의 실링부(123); 및 상기 연장부(122)를 기준으로 외곽방향으로 위치하도록 상기 실링부(123)의 상면에 형성되는 2개의 환형의 돌출부(1231);를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.A load port detachably attached to a main body and to the main body, the main body including a FOUP on which a wafer is loaded,
A purge gas supply unit 200 for supplying a purge gas to the FOPS;
A purge gas branching unit 300 for branching the purge gas supplied through the purge gas supply unit 200 to a plurality of branch flow paths;
A plurality of nozzle units (100) branched by the purge gas branching part (300) and supplied along a plurality of branching flow paths to supply purge gas including the fume into the inside of the FOUP; And
And an exhaust gas discharging unit 400 for discharging the fouling of the inside of the FOUP through the nozzle unit 100,
The nozzle unit 100 has an upper surface opened and a flow path 121 formed therein. The nozzle unit 100 is provided with a metal nozzle 120 for discharging exhaust gas containing a purge gas or a fume to the FOUP through the opened upper surface ); A transfer pipe 130 through which the purge gas is introduced into the nozzle 120 or the exhaust gas discharged through the nozzle 120 is transferred; An annular extension 122 formed to extend vertically above the upper center of the nozzle 120; A sealing portion 123 of a silicone material coupled to an outer diameter of the extension portion 122; And two annular protrusions (1231) formed on an upper surface of the sealing portion (123) so as to be positioned outward with respect to the extending portion (122). 제6항에 있어서,
상기 퍼지가스 공급부(200)는 필터(220)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트. The method according to claim 6,
Wherein the purge gas supply unit (200) further comprises a filter (220). 제6항에 있어서,
상기 퍼지가스 분기부(300)는 복수의 레귤레이터(311, 321, 331, 341), 복수의 플로우 미터(312, 322, 332, 342) 및 복수의 제1공압 밸브(313, 323, 333, 343)를 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트. The method according to claim 6,
The purge gas branching section 300 includes a plurality of regulators 311, 321, 331 and 341, a plurality of flow meters 312, 322, 332 and 342 and a plurality of first pneumatic valves 313, 323, 333 and 343 And a load port. 제6항에 있어서,
상기 노즐 유닛(100)은 적어도 4개인 것을 특징으로 하는 로드 포트. The method according to claim 6,
Wherein the nozzle unit (100) is at least four. 제9항에 있어서,
상기 노즐 유닛(100) 사이에 제2공압 밸브(500)가 구비된 것을 특징으로 하는 로드 포트. 10. The method of claim 9,
Characterized in that a second pneumatic valve (500) is provided between the nozzle units (100). 제6항에 있어서,
상기 배출가스 배출부(400)는 산소의 농도를 측정하는 제1센서(411)와, 습도를 측정하는 제2센서(412) 및 배출가스의 차압을 측정하는 제3센서(412)와, 제3공압 밸브(414)를 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
The method according to claim 6,
The exhaust gas discharge unit 400 includes a first sensor 411 for measuring the concentration of oxygen, a second sensor 412 for measuring humidity, a third sensor 412 for measuring the differential pressure of the exhaust gas, 3 pneumatic valve (414).
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