KR20230065741A - Nozzle unit - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a nozzle unit. More specifically, provided is the nozzle unit, which can prevent foreign substances generated during the joining process between members constituting the nozzle unit from flowing into the flow path of the nozzle unit, and provide high-purity gas to a FOUP unit.

Description

노즐 유닛{NOZZLE UNIT}Nozzle unit {NOZZLE UNIT}

본 발명은 노즐 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 노즐 유닛을 구성하는 부재 사이의 결합 과정에서 발생한 이물질이 뉴즐 유닛의 유로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며 풉 유닛에 순도 높은 가스를 제공할 수 있는 노즐 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle unit, and more particularly, to prevent foreign matter generated during the coupling process between members constituting the nozzle unit from entering the passage of the nozzle unit and to provide high-purity gas to the pull unit. It relates to a nozzle unit that can be

반도체 제조 과정에서, 다수의 웨이퍼가 풉(FOUP) 유닛에 로딩된 상태로 처리, 가공된다. 이러한 처리, 가공 과정에서 풉 유닛에는 공정을 위한 가스가 노즐 유닛을 통해서 전달되는데 이러한 가스 전달 과정에서 이물질이 풉 유닛 내에 유입되는 것을 효과적으로 방지할 필요가 있다. In the semiconductor manufacturing process, a number of wafers are processed and processed while being loaded into a FOUP unit. During this treatment and processing process, the gas for the process is delivered to the foo unit through the nozzle unit, and it is necessary to effectively prevent foreign substances from entering the foo unit during the gas delivery process.

등록특허 제10-1608832호Registered Patent No. 10-1608832

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 노즐 유닛을 구성하는 부재 사이의 결합 과정에서 발생한 이물질이 뉴즐 유닛의 유로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며 풉 유닛에 순도 높은 가스를 제공할 수 있는 노즐 유닛을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to prevent foreign matter generated during the coupling process between members constituting the nozzle unit from entering the passage of the nozzle unit, and to the pull unit It is to provide a nozzle unit capable of providing high purity gas.

본 발명에 따른 노즐 유닛은, 풉 스테이지에 설치되며 풉 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛으로서, 상하 관통된 바디 중공을 갖는 노즐 바디; 상기 실린더 바디의 상기 바디 중공 내에 탑재되고 상하로 위치 가변하며 상하로 관통된 유로를 갖는 실린더 로드; 및 상기 실린더 로드의 일 단에 결합되며 튜브와 상기 실린더 로드 사이를 매개하는 튜브 결합 부재;를 포함하며, 상기 튜브 결합 부재는, 실린더 로드와 결합되는 실린더 결합 세그먼트, 상기 실린더 결합 세그먼트와 결합되며 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트, 및 상기 실린더 결합 세그먼트에 결합되는 O-ring 을 포함하고, 상기 실린더 로드는 상기 유로의 내면 일 단부에 형성되는 암나사부를 갖고, 상기 실린더 결합 세그먼트는 상기 실린더 로드의 유로 내에 내삽되는 상부 결합관을 포함하고, 상기 상부 결합관은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부, 및 상기 상부 결합관의 상단부와 상기 수나사부 사이에 위치하며 상기 O-ring 이 끼워질 수 있는 끼움 홈을 구비하며, 상기 실린더 로드와 상기 튜브 결합 부재가 결합될 때, 상기 실린더 로드의 상기 유로에 형성된 암나사부와 상기 실린더 결합 세그먼트의 상기 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합되며, 상기 O-ring 은 상기 실린더 로드의 상기 유로의 내면과 밀착하며, 상기 O-ring 은 상기 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐한다.A nozzle unit according to the present invention is a nozzle unit installed on a FOUP stage and delivering gas into the FOUP, and includes a nozzle body having a body hollow through the top and bottom; a cylinder rod mounted in the hollow of the body of the cylinder body, vertically variable in position, and having a flow path passing through the cylinder body; and a tube coupling member coupled to one end of the cylinder rod and mediating between the tube and the cylinder rod, wherein the tube coupling member includes a cylinder coupling segment coupled to the cylinder rod, and a tube coupling segment coupled to the cylinder coupling segment. It includes a tube coupling segment to which is coupled, and an O-ring coupled to the cylinder coupling segment, the cylinder rod has a female thread formed at one end of an inner surface of the flow path, and the cylinder coupling segment is within the flow path of the cylinder rod. It includes an upper coupling tube inserted inside, wherein the upper coupling tube is positioned between a male threaded portion provided at at least one position on an outer circumferential surface, and an upper end of the upper coupling tube and the male threaded portion, into which the O-ring is fitted. When the cylinder rod and the tube coupling member are coupled, the female screw portion formed in the flow path of the cylinder rod and the male screw portion formed in the upper coupling tube of the cylinder coupling segment are screwed together. The O-ring is in close contact with the inner surface of the passage of the cylinder rod, and the O-ring seals between the outer circumferential surface of the upper coupling tube and the inner surface of the passage.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 실린더 결합 세그먼트는, 상기 상부 결합관의 하단에 구비되는 블록 바디, 및 상기 블록 바디의 측부로 연장되는 측부 결합관을 포함하며, 상기 튜브 결합 세그먼트는 상기 측부 결합관과 연결되며, 상기 측부 결합관 내에는 암나사부가 형성되고, 상기 튜브 결합 세그먼트는 수나사부를 가지며, 상기 측부 결합관의 암나사부와 상기 튜브 결합 세그먼트의 수나사부가 서로 나사 결합된다.According to one embodiment of the present invention, the cylinder coupling segment includes a block body provided at a lower end of the upper coupling tube, and a side coupling tube extending to a side of the block body, and the tube coupling segment includes the side coupling tube. It is connected to the coupling tube, a female thread portion is formed in the side coupling tube, the tube coupling segment has a male thread portion, and the female thread portion of the side coupling tube and the male thread portion of the tube coupling segment are screwed together.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 실린더 바디는, 측부에 가스 주입공이 형성되며, 상기 가스 주입공을 통해 작동 가스가 주입됨으로서 상기 실린더 로드가 상하 변위 가능하다.According to one embodiment of the present invention, the cylinder body has a gas injection hole formed on the side, and the cylinder rod can be vertically displaced as a working gas is injected through the gas injection hole.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 노즐 바디의 상기 중공은, 상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 갖고, 상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 크며, 상기 실린더 로드는, 외측 둘레면의 적어도 일 측에 구비되며 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 구획 돌부를 포함하며, 상기 실린더 로드가 상기 중공 내에 탑재되면 상기 구획 돌부는 상기 중간 중공 내에 위치하며, 상기 가스 주입공은 상기 구획 헤드 상부에 위치하는 제1 주입구와 상기 구획 헤드 하부에 위치하는 제2 주입구를 포함하고, 상기 제1 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 위에 주입되면 상기 실린더 로드가 하강하고, 상기 제2 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 아래에 주입되면 상기 실린더 로드가 승강한다.According to one embodiment of the present invention, the hollow of the nozzle body has an upper hollow, a lower hollow, and a middle hollow between the upper hollow and the lower hollow, and the inner diameter of the middle hollow is between the upper hollow and the lower hollow. larger than the inner diameter, and the cylinder rod includes a partition protrusion provided on at least one side of an outer circumferential surface and protruding outward in a radial direction along the outer circumference, and when the cylinder rod is mounted in the hollow, the partition protrusion is provided in the middle Located in the hollow, the gas injection hole includes a first injection hole positioned above the partition head and a second injection hole positioned below the partition head, and when a working gas is injected onto the partition protrusion through the first injection hole When the cylinder rod descends and the working gas is injected under the partition protrusion through the second inlet, the cylinder rod ascends.

본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재의 상부 결합관에 끼워진 O-ring 이 실린더 로드의 유로의 내면과 밀착할 수 있다. O-ring 은 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐한다. 이에 따라서, 실린더 로드의 유로에 형성된 암나사부와 실린더 결합 세그먼트의 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합할 때, 마찰에 의해서 발생할 수 있는 각종 이물질이 상기 유로 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.In the nozzle unit according to an embodiment of the present invention, the O-ring inserted into the upper coupling tube of the tube coupling member may be in close contact with the inner surface of the passage of the cylinder rod. The O-ring seals between the outer circumferential surface of the upper coupling pipe and the inner surface of the passage. Accordingly, when the female threaded portion formed in the passage of the cylinder rod and the male threaded portion formed in the upper coupling tube of the cylinder coupling segment are screwed together, various foreign substances that may be generated by friction may be prevented from being introduced into the passage.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재를 포함하며, 튜브 결합 부재는 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트를 포함한다. 이때, 실린더 결합 세그먼트는 상부 유로, 연통 공간, 및 측부 유로로 구성되는 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다. 아울러, 튜브 결합 세그먼트는 측부 유로와 연통하는 유로를 포함한다. 따라서, 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트 사이를 결합하는 나사의 가공 공차가 발생할 경우에도 튜브 결합 세그먼트와 실린더 결합 세그먼트 사이의 연통이 100% 확보될 수 있다.Also, the nozzle unit according to an embodiment of the present invention includes a tube coupling member, and the tube coupling member includes a cylinder coupling segment and a tube coupling segment. At this time, the cylinder coupling segment may have an overall 'L'-shaped flow path composed of an upper flow path, a communication space, and a side flow path. In addition, the tube coupling segment includes a flow path communicating with the side flow path. Therefore, communication between the tube coupling segment and the cylinder coupling segment can be 100% secured even when a processing tolerance of the screw coupling between the cylinder coupling segment and the tube coupling segment occurs.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은, 실린더 로드가 작동 가스에 의해서 신속하게 상하로 변위할 수 있다. 따라서, 풉 유닛 내에 가스를 전달하는 매커니즘이 신속하게 ON/OFF 될 수 있다.In addition, in the nozzle unit according to an embodiment of the present invention, the cylinder rod can be rapidly displaced up and down by the working gas. Thus, the mechanism for delivering gas in the foop unit can be quickly turned on/off.

본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛은 배관과 연결되는 측부 유로의 방향을 사용자가 선택할 수 있으므로, 배관의 길이가 단축되며, 균일한 가스 공급을 달성할 수 있다.In the nozzle unit according to the embodiment of the present invention, since the user can select the direction of the side passage connected to the pipe, the length of the pipe is shortened and uniform gas supply can be achieved.

도 1 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 외관을 도시한 도면이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디의 구조를 도시한 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 구조를 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 부재의 외관을 도시한 도면이다.
도 5, 6 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 7, 8 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 9 및 도 10 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디와 실린더 로드 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 11 및 도 12 는 본 발명의 실시예에 의한 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 13 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 기체 유통을 나타낸 도면이다.
도 14 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 작동을 도시한 도면이다.
도 15 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 16 은 로드포트의 풉 스테이지 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛과 배관 사이의 연결을 도시한 것이다.1 is a view showing the appearance of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing the structure of a nozzle body of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing the structure of a cylinder rod of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing the appearance of a tube coupling member of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are views showing the structure of a cylinder coupling segment of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are views showing the structure of a tube coupling segment of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
9 and 10 are diagrams illustrating an effect of preventing the inflow of foreign substances by coupling between a nozzle body and a cylinder rod of a nozzle unit and an O-ring according to an embodiment of the present invention.
11 and 12 are diagrams illustrating the effect of preventing the inflow of foreign substances by the coupling between the cylinder coupling segment and the tube coupling segment and the O-ring according to an embodiment of the present invention.
13 is a diagram showing gas flow in a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
14 is a view showing the operation of the cylinder rod of the nozzle unit according to the embodiment of the present invention.
15 is a view showing a semiconductor wafer processing apparatus in which a nozzle unit according to an embodiment of the present invention is installed.
16 shows the shape of the lower part of the pull stage of the load port, and shows the connection between the nozzle unit and the pipe according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 외관을 도시한 도면이다. 도 2 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디(100)의 구조를 도시한 도면이다. 도 3 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드(200)의 구조를 도시한 도면이다. 도 4 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 부재(300)의 외관을 도시한 도면이다. 도 5, 6 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 결합 세그먼트(400)의 구조를 도시한 도면이다. 도 7, 8 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 세그먼트(500)의 구조를 도시한 도면이다.1 is a view showing the appearance of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. 2 is a view showing the structure of a nozzle body 100 of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing the structure of the cylinder rod 200 of the nozzle unit according to the embodiment of the present invention. 4 is a view showing the appearance of a tube coupling member 300 of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. 5 and 6 are views showing the structure of a cylinder coupling segment 400 of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention. 7 and 8 are views showing the structure of a tube coupling segment 500 of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛은, 풉 스테이지에 설치되는 노즐 유닛으로서, 풉 스테이지 상에 배치된 풉 유닛 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛이다.A nozzle unit according to an embodiment of the present invention is a nozzle unit installed on a FOUP stage, and is a nozzle unit that delivers gas into the FOUP unit disposed on the FOUP stage.

실시예에 의한 노즐 유닛은, 노즐 바디(100), 실린더 로드(200), 및 튜브 결합 부재(300)를 포함할 수 있다.The nozzle unit according to the embodiment may include a nozzle body 100, a cylinder rod 200, and a tube coupling member 300.

노즐 바디(100)는 육면체 형태의 구조물로 구성될 수 있다. 실시예에 의하면, 노즐 바디(100)는 상하로 분리, 결합되는 2 개의 파트(상부 바디(102), 하부 바디(104))를 포함할 수 있으며, 이에 한정하지 않는다.The nozzle body 100 may be configured as a hexahedral structure. According to the embodiment, the nozzle body 100 may include two parts (upper body 102 and lower body 104) that are separated and combined vertically, but is not limited thereto.

노즐 바디(100)는 바디 중공(110), 및 가스 주입구(120)를 가질 수 있다.The nozzle body 100 may have a body hollow 110 and a gas inlet 120 .

바디 중공(110)은 노즐 바디(100)를 상하 방향으로 관통한다.The hollow body 110 penetrates the nozzle body 100 in the vertical direction.

상기 바디 중공(110)은, 상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 가질 수 있다. 여기서, 상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 클 수 있다.The hollow body 110 may have an upper hollow, a lower hollow, and a middle hollow between the upper hollow and the lower hollow. Here, the inner diameter of the middle hollow may be larger than the inner diameters of the upper hollow and the lower hollow.

가스 주입구(120)는 노즐 바디(100)의 측면과 상기 바디 중공(110) 사이를 관통할 수 있다.The gas injection port 120 may pass between the side surface of the nozzle body 100 and the hollow body 110 .

가스 주입구(120)는 상부에 위치하는 제1 주입구(122)와 하부에 위치하는 제2 주입구(124)를 포함할 수 있다.The gas inlet 120 may include a first inlet 122 located on the upper side and a second inlet 124 located on the lower side.

제1 주입구(122)는 상기 중간 중공의 상부에 위치하며, 제2 주입구(124)는 상기 중간 중공의 하부에 위치할 수 있다. The first injection hole 122 may be positioned above the middle hollow, and the second injection hole 124 may be positioned below the middle hollow.

실린더 로드(200)는 상하로 관통된 실린더 유로(210)를 갖는 파이프 형태의 부재일 수 있다.The cylinder rod 200 may be a pipe-shaped member having a cylinder passage 210 penetrating vertically.

상기 실린더 유로(210)의 하단 내면에는 암나사부(212)가 형성될 수 있다.A female screw portion 212 may be formed on an inner surface of the lower end of the cylinder passage 210 .

실린더 로드(200)는 구획 돌부(220)를 포함할 수 있다.The cylinder rod 200 may include a partition protrusion 220 .

상기 구획 돌부(220)는, 실린더 로드(200)의 외측 둘레면의 중간 부분에 구비된다. 구획 돌부(220)는 실린더 로드(200)의 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 돌출부일 수 있다.The partition protrusion 220 is provided in the middle of the outer circumferential surface of the cylinder rod 200 . The partition protrusion 220 may be a protrusion protruding outward in a radial direction along the outer circumference of the cylinder rod 200 .

상기 구획 돌부(220)의 적어도 일 부분에는 소정의 O-ring(미도시) 이 끼워질 수 있는 끼움 요홈(222)이 형성될 수 있다.A fitting groove 222 into which a predetermined O-ring (not shown) can be fitted may be formed in at least one portion of the partition protrusion 220 .

튜브 결합 부재(300)는 상기 실린더 로드(200)의 하단에 결합될 수 있다. 튜브 결합 부재(300)는 튜브와 실린더 로드(200) 사이의 결합을 매개할 수 있다.The tube coupling member 300 may be coupled to the lower end of the cylinder rod 200 . The tube coupling member 300 may mediate coupling between the tube and the cylinder rod 200 .

상기 튜브 결합 부재(300)는, 실린더 로드(200)와 결합되는 실린더 결합 세그먼트(400), 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트(500), 및 O-ring(600) 을 포함할 수 있다. 한편, 상기 튜브 결합 부재(300)에는 O-ring(600) 이 끼워지는 끼움 홈(426)이 구비될 수 있다.The tube coupling member 300 may include a cylinder coupling segment 400 coupled to the cylinder rod 200, a tube coupling segment 500 coupled to the tube, and an O-ring 600. On the other hand, the tube coupling member 300 may be provided with a fitting groove 426 into which the O-ring 600 is inserted.

상기 실린더 결합 세그먼트(400)는 블록 바디(410), 상부 결합관(420), 및 측부 결합관(430)을 포함할 수 있다.The cylinder coupling segment 400 may include a block body 410, an upper coupling tube 420, and a side coupling tube 430.

블록 바디(410)는 블록 형태의 부분으로서, 상부 및 측부가 오픈된 연통 공간(412)을 갖는다.The block body 410 is a block-shaped part and has a communication space 412 with open top and side portions.

상부 결합관(420)은 블록 바디(410)의 상부에 구비되는 소정의 파이프 형태의 부분이다. 상부 결합관(420)은 상기 연통 공간(412)과 상방향으로 연통되는 상부 유로(422)를 갖는다.The upper coupling pipe 420 is a pipe-shaped part provided on the upper part of the block body 410 . The upper coupling pipe 420 has an upper passage 422 communicating upwardly with the communication space 412 .

상기 상부 결합관(420)은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부(424), 및 상기 상부 결합관(420)의 상단부와 상기 수나사부(424) 사이에 위치하며 O-ring(600) 이 끼워질 수 있는 끼움 홈(426)을 구비한다.The upper coupling pipe 420 is located between the male threaded portion 424 provided at at least one position of the outer circumferential surface, and the upper end of the upper coupling pipe 420 and the male threaded portion 424, and O-ring ( 600) is provided with a fitting groove 426 into which it can be fitted.

측부 결합관(430)은 블록 바디(410)의 측부에 구비되는 소정의 파이프 형태의 부분이다. 측부 결합관(430)은 상기 연통 공간(412)과 측방향으로 연통되는 측부 유로(432)를 갖는다. 측부 유로(432)의 내면에는 암나사부(434)가 구비될 수 있다.The side coupling pipe 430 is a predetermined pipe-shaped part provided on the side of the block body 410 . The side coupling pipe 430 has a side passage 432 communicating with the communication space 412 in a lateral direction. A female screw portion 434 may be provided on an inner surface of the side passage 432 .

따라서, 실린더 결합 세그먼트(400)는, 상기 상부 유로(422), 연통 공간(412), 및 측부 유로(432)에 의해서 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다.Accordingly, the cylinder coupling segment 400 may have a 'B'-shaped flow path as a whole by the upper flow path 422, the communication space 412, and the side flow path 432.

튜브 결합 세그먼트(500)는 유로(510)를 갖는 파이프 형태의 부재이다. The tube coupling segment 500 is a pipe-shaped member having a flow path 510 .

실시예에 의하면, 튜브 결합 세그먼트(500)는 일 단부의 외측에 수나사부(520)를 가질 수 있다.According to the embodiment, the tube coupling segment 500 may have a male threaded portion 520 on the outside of one end.

따라서, 튜브 결합 세그먼트(500)에 구비된 수나부(520)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 측부 결합관(430)에 구비된 암나사부(434)가 서로 나사 결합될 수 있다.Accordingly, the male threaded portion 520 provided on the tube coupling segment 500 and the female threaded portion 434 provided on the side coupling pipe 430 of the cylinder coupling segment 400 may be screwed together.

또한, 튜브 결합 세그먼트(500)는 단부와 상기 수나사부(520) 사이에 위치하며 O-ring(530) 이 끼워질 수 있는 끼움 홈(532)을 구비할 수 있다.In addition, the tube coupling segment 500 is located between the end and the male threaded portion 520 and may include a fitting groove 532 into which an O-ring 530 can be inserted.

도 9 및 도 10 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디(100)와 실린더 로드(200) 사이의 결합 및 O-ring(600) 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.9 and 10 are diagrams illustrating the effect of preventing the inflow of foreign substances by the coupling between the nozzle body 100 and the cylinder rod 200 of the nozzle unit and the O-ring 600 according to the embodiment of the present invention.

이하에서는 상기 실린더 로드(200)와 튜브 결합 부재(300) 사이의 결합 구조 및 효과에 대해서 설명한다.Hereinafter, the coupling structure and effect between the cylinder rod 200 and the tube coupling member 300 will be described.

상기 실린더 로드(200)의 실린더 유로(210)에 형성된 암나사부(212)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 상부 결합관(420)에 형성된 수나사부(424)가 나사 결합된다. 이때, 상기 튜브 결합 부재(300)의 상부 결합관(420)에 끼워진 상기 O-ring(600) 은 상기 실린더 로드(200)의 상기 실린더 유로(210)의 내면과 밀착할 수 있다. 따라서, 상기 O-ring(600) 은 상기 상부 결합관(420)의 외측 둘레면과 상기 실린더 유로(210)의 내면 사이를 밀폐한다.The female screw part 212 formed in the cylinder passage 210 of the cylinder rod 200 and the male screw part 424 formed in the upper coupling pipe 420 of the cylinder coupling segment 400 are screwed together. At this time, the O-ring 600 inserted into the upper coupling pipe 420 of the tube coupling member 300 may come into close contact with the inner surface of the cylinder passage 210 of the cylinder rod 200. Thus, the O-ring 600 seals between the outer circumferential surface of the upper coupling pipe 420 and the inner surface of the cylinder passage 210 .

이에 따라서, 상기 실린더 로드(200)의 유로에 형성된 암나사부(212)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 상부 결합관(420)에 형성된 수나사부(424)가 나사 결합할 때, 마찰에 의해서 발생할 수 있는 각종 이물질이 상기 실린더 유로(210) 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.Accordingly, when the female screw part 212 formed in the passage of the cylinder rod 200 and the male screw part 424 formed in the upper coupling pipe 420 of the cylinder coupling segment 400 are screwed together, friction may occur. It is possible to prevent various foreign substances that may be introduced into the cylinder passage 210 .

도 11 및 도 12 는 본 발명의 실시예에 의한 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합 및 O-ring(530) 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.11 and 12 are diagrams illustrating the effect of preventing the introduction of foreign substances by the coupling between the cylinder coupling segment 400 and the tube coupling segment 500 and the O-ring 530 according to an embodiment of the present invention.

도 11 및 도 12 에 도시된 바와 같이, 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합을 달성하는 수나사부(520) 및 암나사부(434)에서 발생할 수 있는 이물질은, O-ring(530) 에 의해서 차단될 수 있다.11 and 12, foreign substances that may occur in the male threaded portion 520 and the female threaded portion 434 that achieve the coupling between the cylinder coupling segment 400 and the tube coupling segment 500 are O- It can be blocked by ring 530.

도 13 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 기체 유통을 나타낸 도면이다.13 is a diagram showing gas flow in a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 튜브 결합 부재(300)의 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합 및 효과에 대해서 설명한다.Hereinafter, coupling and effects between the cylinder coupling segment 400 and the tube coupling segment 500 of the tube coupling member 300 will be described.

본 발명의 일 실시예에 의한 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재(300)를 포함하며, 튜브 결합 부재(300)는 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500)를 포함한다. 이때, 실린더 결합 세그먼트(400)는 상부 유로(422), 연통 공간(412), 및 측부 유로(432)로 구성되는 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다. 따라서, 화살표 L1 과 같이 노즐 유닛의 하부에서 측방향으로 유입된 가스가 화살표 L2 와 같이 상방향으로 배출될 수 있다.A nozzle unit according to an embodiment of the present invention includes a tube coupling member 300, and the tube coupling member 300 includes a cylinder coupling segment 400 and a tube coupling segment 500. At this time, the cylinder coupling segment 400 may have an overall 'b'-shaped flow path composed of an upper flow path 422, a communication space 412, and a side flow path 432. Therefore, the gas introduced laterally from the lower part of the nozzle unit as shown by arrow L1 can be discharged upward as shown by arrow L2.

아울러, 튜브 결합 세그먼트(500)는 측부 유로(432)와 연통하는 유로(510)를 포함한다. 따라서, 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이를 결합하는 나사의 가공 공차가 발생할 경우에도 튜브 결합 세그먼트(500)와 실린더 결합 세그먼트(400) 사이의 연통이 100% 확보될 수 있다.In addition, the tube coupling segment 500 includes a passage 510 communicating with the side passage 432 . Therefore, communication between the tube coupling segment 500 and the cylinder coupling segment 400 can be 100% secured even when a processing tolerance of the screw coupling between the cylinder coupling segment 400 and the tube coupling segment 500 occurs. .

또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있으므로, 튜브와 노즐 유닛 사이의 결합이 간편하고, 가스의 전달이 원활할 수 있다. 즉, 가스가 공급되는 공급원 방향으로 튜브 결합 세그먼트(500)의 방향(즉, 유로(510)가 오픈되는 방향)을 설정할 수 있다. 따라서, 가스가 직선 방향으로 전달될 수 있으며, 가스 전달 과정에서 발생할 수 있는 저항, 및 진동 등이 저감되고 안정적인 가스 공급이 가능해질 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, since the direction of the side passage 432 can be selectively set by the user, the coupling between the tube and the nozzle unit can be simple and the gas can be smoothly delivered. That is, the direction of the tube coupling segment 500 (ie, the direction in which the flow path 510 is opened) may be set in the direction of the gas supply source. Accordingly, gas can be delivered in a straight direction, resistance and vibration that may occur during the gas delivery process can be reduced, and stable gas supply can be achieved.

도 14 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드(200)의 작동을 도시한 도면이다.14 is a view showing the operation of the cylinder rod 200 of the nozzle unit according to the embodiment of the present invention.

이하에서는 노즐 바디(100)와 실린더 로드(200) 사이의 결합 및 실린더 로드(200)의 변위 및 효과에 대해서 설명한다.Hereinafter, the coupling between the nozzle body 100 and the cylinder rod 200 and the displacement and effect of the cylinder rod 200 will be described.

상기 실린더 로드(200)가 상기 바디 중공(110) 내에 탑재되면, 상기 구획 돌부(220)는 상기 중간 중공 내에 위치한다.When the cylinder rod 200 is mounted in the body hollow 110, the partition protrusion 220 is located in the middle hollow.

상기 제1 주입구(122)를 통해서 작동 가스(F1)가 상기 구획 돌부(220) 위의 공간(V1)에 주입되면 상기 구획 돌부(220) 위쪽 공간(V1)에 주입된 작동 가스(F1)는 상기 구획 돌부(220)를 하방향으로 미는 힘을 가한다. 따라서, 실린더 로드(200)가 하강한다.When the operating gas F1 is injected into the space V1 above the partition protrusion 220 through the first inlet 122, the operating gas F1 injected into the space V1 above the partition protrusion 220 is A force is applied to push the partition protrusion 220 downward. Thus, the cylinder rod 200 descends.

상기 제2 주입구(124)을 통해서 작동 가스(F2)가 상기 구획 돌부(220) 아래 공간(V2)에 주입되면 상기 구획 돌부(220) 아래 공간(V2)에 주입된 작동 가스(F2)는 상기 구획 돌부(220)를 상방향으로 미는 힘을 가한다. 따라서, 상기 실린더 로드(200)가 승강한다.When the operating gas F2 is injected into the space V2 under the partition protrusion 220 through the second inlet 124, the operating gas F2 injected into the space V2 under the partition protrusion 220 is A force is applied to push the partition protrusion 220 upward. Thus, the cylinder rod 200 moves up and down.

상기 구성에 의해서, 상기 실린더 로드(200)가 신속하게 상하로 변위할 수 있다. 따라서, 풉 유닛 내에 가스를 전달하는 매커니즘이 신속하게 ON/OFF 될 수 있다.With the above configuration, the cylinder rod 200 can be rapidly displaced up and down. Thus, the mechanism for delivering gas in the foop unit can be quickly turned on/off.

도 15 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치를 나타낸 도면이다. 아울러, 도 16 은 로드포트(20)의 풉 스테이지(22) 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)과 배관(42) 사이의 연결을 도시한 것이다.15 is a view showing a semiconductor wafer processing apparatus in which a nozzle unit 10 according to an embodiment of the present invention is installed. In addition, FIG. 16 shows the shape of the lower part of the pull stage 22 of the load port 20, and shows the connection between the nozzle unit 10 and the pipe 42 according to the embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치는, 로드포트(20), 및 웨이퍼 운반용기(30)(FOUP)를 포함할 수 있다.A semiconductor wafer processing apparatus in which the nozzle unit 10 according to an embodiment of the present invention is installed may include a load port 20 and a wafer transport container 30 (FOUP).

로드포트(20)는 웨이퍼 운반용기(30)가 탑재될 수 있는 풉 스테이지(22), 상기 풉 스테이지(22)의 전방에 위치하는 벽면(24), 및 상기 벽면(24)에 설치되며 개폐 가능한 프론트 도어(26)를 포함할 수 있다.The load port 20 is installed on the pull stage 22 on which the wafer transport container 30 can be mounted, the wall surface 24 located in front of the pull stage 22, and the wall surface 24 and can be opened and closed. A front door 26 may be included.

본 발명에 의한 노즐 유닛(10)은 상기 풉 스테이지(22) 내에 설치될 수 있다. 노즐 유닛(10)은 상기 풉 스테이지(22)의 일정 위치에 설치될 수 있으며, 예컨대 사각형의 모서리 위치에 각각 배치되는 배치를 가질 수 있다.The nozzle unit 10 according to the present invention may be installed in the FOUP stage 22 . The nozzle unit 10 may be installed at a predetermined position of the FOUP stage 22, and may have a disposition, for example, each disposed at a corner position of a square.

앞서 설명한 바와 같이, 제1 주입구(122), 또는 제2 주입구(124)에 작동 가스가 주입됨으로서, 실린더 로드(200)가 승강 및 하강할 수 있다. 이때, 실린더 로드(200)가 승강하면, 풉 스테이지(22) 상에 설치되는 웨이퍼 운반용기(30)와 노즐 유닛(10)이 연결되며, 웨이퍼 운반용기(30)에 불활성 가스가 공급될 수 있다. 반대로, 실린더 로드(200)가 하강하면, 웨이퍼 운반용기(30)와 노즐 유닛(10) 사이의 연결이 차단되고, 웨이퍼 운반용기(30)에 대한 불활성 가스의 공급이 차단될 수 있다. As described above, as the operating gas is injected into the first inlet 122 or the second inlet 124, the cylinder rod 200 may move up and down. At this time, when the cylinder rod 200 moves up and down, the wafer transport container 30 installed on the pull stage 22 and the nozzle unit 10 are connected, and an inert gas can be supplied to the wafer transport container 30 . Conversely, when the cylinder rod 200 descends, the connection between the wafer transport container 30 and the nozzle unit 10 is blocked, and the supply of inert gas to the wafer transport container 30 may be cut off.

또한, 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있다. 따라서, 배관(42)의 연결 배치 또한 사용자가 선택할 수 있으며, 배관(42)과 노즐 유닛(10) 사이의 경로를 최소화할 수 있다. In addition, as described above, in the nozzle unit 10 according to the embodiment of the present invention, the user may selectively set the direction of the side passage 432 . Therefore, the connection arrangement of the pipe 42 can also be selected by the user, and the path between the pipe 42 and the nozzle unit 10 can be minimized.

도 16 은 로드포트(20)의 풉 스테이지(22) 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)과 배관(42) 사이의 연결을 도시한 것이다. 즉, 풉 스테이지(22) 하부에는 도 16 에 도시된 바와 같이, 외부의 가스 공급원과 각각의 노즐 유닛(10)을 연결하는 공급 모듈(40)가 구비될 수 있다. 상기 공급 모듈(40)는, 배관(42), 및 배관(42)을 연결하는 소정의 커넥터를 포함할 수 있다.16 shows the shape of the lower part of the pull stage 22 of the load port 20, and shows the connection between the nozzle unit 10 and the pipe 42 according to an embodiment of the present invention. That is, as shown in FIG. 16 , a supply module 40 connecting an external gas supply source and each nozzle unit 10 may be provided below the FOUP stage 22 . The supply module 40 may include a pipe 42 and a predetermined connector connecting the pipe 42 .

도 16 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있으므로, 배관(42)과 노즐 유닛(10) 사이의 경로를 최소화할 수 있다. 예컨대, 가스 공급원이 풉 스테이지(22)의 중심에 위치할 경우, 각각의 노즐 유닛(10)에 연결되는 배관(42) 길이를 각각 균일하게 함으로서, 각각의 노즐 유닛(10)에 균일한 가스를 적시에 제공할 수 있다.As shown in FIG. 16, since the nozzle unit 10 according to the embodiment of the present invention can selectively set the direction of the side passage 432 by the user, the path between the pipe 42 and the nozzle unit 10 can be minimized. For example, when the gas supply source is located at the center of the FOUP stage 22, uniform gas is supplied to each nozzle unit 10 by equalizing the length of the pipe 42 connected to each nozzle unit 10. can be provided in a timely manner.

만일, 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택할 수 없고, 임의의 방향을 가질 경우, 측부 유로(432)와 배관(42) 사이의 연결 시, 배관(42)이 불필요하게 길어질 수 있다. 예컨대, 측부 유로(432)의 방향이 풉 스테이지(22)의 외측으로 관통될 경우, 배관(42)의 길이가 상대적으로 길어질 수 있다. 뿐만 아니라, 각각의 노즐 유닛(10)을 연결하는 배관(42)의 길이가 서로 상이할 수 있다. 이 경우, 각각의 노즐 유닛(10)에서 공급되는 불활성 가스의 공급량, 공급 시기가 서로 상이할 수 있으며, 이는 웨이퍼 운반용기(30) 내의 웨이퍼의 품질 불량으로 이어질 수 있다.If the direction of the side passage 432 cannot be selected by the user and has an arbitrary direction, the pipe 42 may become unnecessarily long when the side passage 432 and the pipe 42 are connected. For example, when the direction of the side passage 432 penetrates to the outside of the pull stage 22, the length of the pipe 42 may be relatively long. In addition, the lengths of the pipes 42 connecting the respective nozzle units 10 may be different from each other. In this case, the supply amount and supply timing of the inert gas supplied from each nozzle unit 10 may be different from each other, which may lead to poor quality of the wafers in the wafer transport container 30 .

그러나, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 배관(42)과 연결되는 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택할 수 있으므로, 배관(42)의 길이가 단축되며, 균일한 가스 공급을 달성할 수 있다.However, since the nozzle unit 10 according to the embodiment of the present invention allows the user to select the direction of the side passage 432 connected to the pipe 42, the length of the pipe 42 is shortened and gas is supplied uniformly. can be achieved.

이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.Although preferred embodiments have been shown and described above, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and ordinary knowledge in the art to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims Of course, various modifications are possible by the possessor, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or prospect of the present invention.

10: 노즐 유닛
20: 로드포트
22: 풉 스테이지
24: 벽면
26: 프론트 도어
30: 웨이퍼 운반용기
100: 노즐 바디
102: 상부 바디
104: 하부 바지
110: 바디 중공
120: 가스 주입구
122: 제1 주입구
124: 제2 주입구
200: 실린더 로드
210: 실린더 유로
212: 암나사부
220: 구획 돌부
222: 끼움 요홈
300: 튜브 결합 부재
400: 실린더 결합 세그먼트
410: 블록 바디
412: 연통 공간
420: 상부 결합관
422: 상부 유로
424: 수나사부
426: 끼움 홈
430: 측부 결합관
432: 측부 유로
434: 암나사부
500: 튜브 결합 세그먼트
510: 유로
520: 수나사부
530: O-ring
532: 끼움 홈
600: O-ring10: nozzle unit
20: load port
22: poop stage
24: wall
26: front door
30: wafer transport container
100: nozzle body
102: upper body
104: lower pants
110: body hollow
120: gas inlet
122: first inlet
124: second inlet
200: cylinder rod
210: cylinder flow
212: female thread
220: block protrusion
222: fitting groove
300: tube coupling member
400: cylinder coupling segment
410: block body
412 communication space
420: upper coupling pipe
422 upper passage
424: male thread
426: fitting groove
430: side coupling pipe
432 side passage
434: female thread
500: tube coupling segment
510: Euro
520: male thread
530: O-ring
532: fitting groove
600: O-ring

Claims (4)

풉 스테이지에 설치되며 풉 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛으로서,
상하 관통된 바디 중공을 갖는 노즐 바디;
상기 실린더 바디의 상기 바디 중공 내에 탑재되고 상하로 위치 가변하며 상하로 관통된 유로를 갖는 실린더 로드; 및
상기 실린더 로드의 일 단에 결합되며 튜브와 상기 실린더 로드 사이를 매개하는 튜브 결합 부재;를 포함하며,
상기 튜브 결합 부재는,
실린더 로드와 결합되는 실린더 결합 세그먼트,
상기 실린더 결합 세그먼트와 결합되며 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트, 및
상기 실린더 결합 세그먼트에 결합되는 O-ring 을 포함하고,
상기 실린더 로드는 상기 유로의 내면 일 단부에 형성되는 암나사부를 갖고,
상기 실린더 결합 세그먼트는 상기 실린더 로드의 유로 내에 내삽되는 상부 결합관을 포함하고,
상기 상부 결합관은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부, 및
상기 상부 결합관의 상단부와 상기 수나사부 사이에 위치하며 상기 O-ring 이 끼워질 수 있는 끼움 홈을 구비하며,
상기 실린더 로드와 상기 튜브 결합 부재가 결합될 때,
상기 실린더 로드의 상기 유로에 형성된 암나사부와 상기 실린더 결합 세그먼트의 상기 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합되며, 상기 O-ring 은 상기 실린더 로드의 상기 유로의 내면과 밀착하며,
상기 O-ring 은 상기 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐하는 노즐 유닛.A nozzle unit installed on the foop stage and delivering gas into the foop,
a nozzle body having upper and lower through body hollows;
a cylinder rod mounted in the hollow of the body of the cylinder body, vertically variable in position, and having a flow path passing through the cylinder body; and
A tube coupling member coupled to one end of the cylinder rod and mediating between the tube and the cylinder rod; includes,
The tube coupling member,
A cylinder coupling segment coupled to the cylinder rod;
A tube coupling segment coupled to the cylinder coupling segment and to which a tube is coupled, and
Including an O-ring coupled to the cylinder coupling segment,
The cylinder rod has a female thread formed at one end of the inner surface of the passage,
The cylinder coupling segment includes an upper coupling tube inserted into the passage of the cylinder rod,
The upper coupling pipe, a male screw portion provided at at least one position on the outer circumferential surface, and
It is located between the upper end of the upper coupling tube and the male threaded portion and has a fitting groove into which the O-ring can be inserted,
When the cylinder rod and the tube coupling member are coupled,
The female screw part formed in the passage of the cylinder rod and the male screw part formed in the upper coupling pipe of the cylinder coupling segment are screwed together, and the O-ring is in close contact with the inner surface of the passage of the cylinder rod,
The O-ring nozzle unit seals between the outer circumferential surface of the upper coupling tube and the inner surface of the flow path. 제1항에 있어서,
상기 실린더 결합 세그먼트는,
상기 상부 결합관의 하단에 구비되는 블록 바디, 및
상기 블록 바디의 측부로 연장되는 측부 결합관을 포함하며,
상기 튜브 결합 세그먼트는 상기 측부 결합관과 연결되며,
상기 측부 결합관 내에는 암나사부가 형성되고
상기 튜브 결합 세그먼트는 수나사부를 가지며,
상기 측부 결합관의 암나사부와 상기 튜브 결합 세그먼트의 수나사부가 서로 나사 결합되는 노즐 유닛.According to claim 1,
The cylinder coupling segment,
A block body provided at the lower end of the upper coupling tube, and
Including a side coupling pipe extending to the side of the block body,
The tube coupling segment is connected to the side coupling tube,
A female thread is formed in the side coupling pipe, and
The tube coupling segment has a male thread,
A nozzle unit in which the female threaded portion of the side coupling pipe and the male threaded portion of the tube coupling segment are screwed together. 제1항에 있어서,
상기 실린더 바디는,
측부에 가스 주입공이 형성되며,
상기 가스 주입공을 통해 작동 가스가 주입됨으로서 상기 실린더 로드가 상하 변위 가능한 중공형 공압 실린더According to claim 1,
The cylinder body,
A gas injection hole is formed on the side,
A hollow pneumatic cylinder capable of moving the cylinder rod up and down as operating gas is injected through the gas injection hole. 제3항에 있어서,
상기 노즐 바디의 상기 중공은,
상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 갖고,
상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 크며,
상기 실린더 로드는,
외측 둘레면의 적어도 일 측에 구비되며 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 구획 돌부를 포함하며,
상기 실린더 로드가 상기 중공 내에 탑재되면 상기 구획 돌부는 상기 중간 중공 내에 위치하며,
상기 가스 주입공은 상기 구획 헤드 상부에 위치하는 제1 주입구와 상기 구획 헤드 하부에 위치하는 제2 주입구를 포함하고
상기 제1 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 위에 주입되면 상기 실린더 로드가 하강하고,
상기 제2 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 아래에 주입되면 상기 실린더 로드가 승강하는 노즐 유닛.
According to claim 3,
The hollow of the nozzle body,
having an upper hollow, a lower hollow, and a middle hollow between the upper hollow and the lower hollow;
The inner diameter of the middle hollow is larger than the inner diameters of the upper and lower hollows,
The cylinder rod,
It is provided on at least one side of the outer circumference and includes a partition protrusion protruding outward in a radial direction along the outer circumference,
When the cylinder rod is mounted in the hollow, the partition protrusion is located in the middle hollow,
The gas injection hole includes a first inlet located above the partitioning head and a second inlet located below the partitioning head;
When the working gas is injected onto the partition protrusion through the first inlet, the cylinder rod descends;
A nozzle unit in which the cylinder rod moves up and down when operating gas is injected under the partition protrusion through the second inlet.
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