KR101606467B1 - 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치 - Google Patents

와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101606467B1
KR101606467B1 KR1020150066375A KR20150066375A KR101606467B1 KR 101606467 B1 KR101606467 B1 KR 101606467B1 KR 1020150066375 A KR1020150066375 A KR 1020150066375A KR 20150066375 A KR20150066375 A KR 20150066375A KR 101606467 B1 KR101606467 B1 KR 101606467B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
signal
unit
amplitude
defect
suppression
Prior art date
Application number
KR1020150066375A
Other languages
English (en)
Inventor
이병희
Original Assignee
(주)메가코일
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)메가코일 filed Critical (주)메가코일
Priority to KR1020150066375A priority Critical patent/KR101606467B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101606467B1 publication Critical patent/KR101606467B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9006—Details, e.g. in the structure or functioning of sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치는, 입력된 반송신호에 따라 시험체에 자속을 공급하여 상기 시험체에서 유도되는 와전류에 의해 차동신호를 발생시키는 차동신호 발생부; 상기 차동신호 발생부에서 발생된 차동신호로부터 상기 시험체의 결함정도를 나타내는 결함신호를 획득하는 결함신호 획득부; 상기 결함신호 획득부에서 획득된 결함신호를 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부; 및 상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터를 복조하는 복조부;를 포함한다. 본 발명에 의하면, 시험체에 존재하는 결함을 검사함에 있어서, 시험체의 결함 정도를 나타내는 결함신호만을 획득하여 복조하기 때문에 검사의 정확도를 높일 수 있으며, 혼합기와 연결되는 평균값 산출부를 통해 결함신호의 복조를 수행하기 때문에 여자주파수의 주파수 값에 관계 없이 디지털 복조를 수행할 수 있고, 결함에 대한 분석 정확도를 높일 수 있다.

Description

와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치{DEVICE FOR INSPECTING DEFECTS OF TEST BODY USING EDDY CURRENT}
본 발명은 시험체의 결함을 검사하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 와전류를 이용하여 시험체에 존재하는 결함 정도를 비파괴로 검사하는 장치에 관한 것이다.
교류가 흐르는 코일에 도체를 가까이 가져가면 코일 주위에 발생된 자계가 도체에 작용하게 된다. 코일의 자계는 교류에 의해 발생되는 것이므로 도체를 관통하는 자속의 세기 및 방향은 시간에 따라 변화하게 된다. 이에 따라, 도체에는 전자기 유도 현상에 의해 도체를 관통하는 자속의 변화를 방해하려는 기전력이 발생하게 되며, 상기 발생되는 기전력에 의해 소용돌이 모양의 와전류(eddy current)가 흐르게 된다.
교류가 흐르는 코일을 이용하여 시험체에 와전류를 발생시키는 경우에 있어서, 시험체에 결함이 존재하는 경우에는 결함이 없는 경우와 비교해서 와전류의 크기나 분포가 변화하게 되는데, 이와 같은 원리를 이용하면 시험체에 존재하는 결함 정도를 검사할 수 있다.
특허문헌 1(한국공개특허 제2012-0002036호)에 개시된 미세 와전류 신호 검출방법은 2개의 코일에 발생할 수 있는 미세한 임피던스 차를 브리지회로에 의해 검출하며, 상기 검출된 미세 신호에 대해 차동 연산 증폭기 회로에서 1차 증폭 및 잡음 소거를 수행하고, 2차 증폭기 회로에서 신호대 잡음비가 우수한 신호로 증폭하며, 복조회로에서 위상분리를 수행하여 그 결과를 컴퓨터의 모니터에 출력하고 있다.
그러나 상기 특허문헌 1에 개시된 브리지 평형 회로의 탐촉자 코일은 파형 발생기로부터 교류신호를 제공받는 여자코일인 동시에 미세 와전류 신호를 수신하는 수신코일로써 디퍼런셜(differential) 방식으로 제한하고 있고, 복조회로를 구성하는 두 개의 복조기 중 기준신호가 한 쪽의 복조기로만 입력되는 구성을 취하고 있어 미세 와전류 신호를 복조회로에서 저항성분과 리액턴스 성분으로 정확히 분리하지 못한다는 문제점이 있다.
한편, 특허문헌 2(한국공개특허 제2013-0085960호)에 개시된 시험기기 내 결함을 비파괴검사하는 장치는 수신코일이 시험기기 내 결함의 함수인 코일신호를 일으키고, AD 컨버터가 이를 디지털 신호로 변환하며, 필터기구(filter arrangement)가 필터링 및 스캔속도 감속을 수행하도록 구성되어 있다. 구체적으로, 특허문헌 2의 검사장치는 여자주파수가 고주파일 때에는 중간 주파수로 변환한 후 디지털 복조를 수행하고, 저주파일 때에는 복조주파수가 여자주파수와 같은 주파수로 복조를 하는 장치로서, 수신코일이 발생시키는 신호를 처리함에 있어서 여자주파수에 따라 적절한 필터 기구를 사용함으로써, 신호 프로세서의 부담을 덜어주고 검사 값의 정확성을 높이도록 하고 있다.
하지만, 특허문헌 2는 멀티플라이어, FIR 필터 및 데시메이션의 순으로 연결된 복조기에 의해 저항성분과 리액턴스 성분을 분리하여 출력하고 있고, 복조기의 입력신호(SDE)는 스캔감속이 이루어지는 AD컨버터와 리샘플러, 감속기로 이루어져 있어, 검사에 필요한 주파수가 제한적이고, 복조 과정도 복잡하다는 문제점이 있다.
한국공개특허 제2012-0002036호 한국공개특허 제2013-0085960호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사함에 있어서 시험체의 결함 정도를 나타내는 결함신호만을 획득하여 복조함으로써 검사의 정확도를 높이는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 결함신호를 복조함에 있어서, 시험체의 결함을 검사하기 위해 코일에 흘려주는 주파수(즉, 여자주파수) 값에 제한 없이 복조를 수행할 수 있는 복조부를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명에 따른 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치는, 입력된 반송신호에 따라 시험체에 자속을 공급하여 상기 시험체에서 유도되는 와전류에 의해 차동신호를 발생시키는 차동신호 발생부; 상기 차동신호 발생부에서 발생된 차동신호로부터 상기 시험체의 결함정도를 나타내는 결함신호를 획득하는 결함신호 획득부; 상기 결함신호 획득부에서 획득된 결함신호를 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부; 및 상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터를 복조하는 복조부;를 포함한다.
이 때, 본 발명에 따른 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치는, 내부 컨트롤러의 제어신호에 따라 상기 반송신호를 제공하는 반송신호 제공부를 더 포함하고, 상기 결함신호 획득부는, 상기 차동신호의 진폭을 조절하는 진폭조절부; 상기 차동신호로부터 상기 결함신호를 획득하기 위하여 기 설정된 크기의 진폭을 갖는 억압신호를 제공하는 억압신호 제공부; 상기 시험체가 기준시험체일 경우 상기 진폭조절부를 통해 출력되는 차동신호의 진폭이 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호의 진폭과 동일해지도록 상기 진폭조절부의 진폭 조절값을 조절하고 그 최종 조절한 진폭 조절값을 저장해두며, 상기 시험체가 검사시험체일 경우 상기 저장해둔 진폭 조절값에 따라 상기 진폭조절부에 입력된 차동신호의 진폭이 조절되도록 상기 진폭조절부를 제어하는 진폭조절 제어부; 및 상기 진폭조절부로부터 출력되는 차동신호 및 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호를 합산하여 출력하는 합산부;를 포함하여 구성되며, 상기 진폭조절 제어부는 상기 시험체가 기준시험체일 경우 상기 진폭조절부를 통해 출력된 차동신호의 진폭이 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호의 진폭과 동일해지도록 상기 진폭조절부의 진폭 조절값을 제어한 뒤 상기 컨트롤러에 ACK신호를 전송하고, 상기 컨트롤러는 상기 ACK신호를 수신한 뒤 상기 합산부의 출력이 0이 되도록 상기 억압신호 제공부에서 제공하는 억압신호의 위상값을 조절하고 그 최종 조절한 억압신호 위상값을 저장해두며, 상기 컨트롤러는 상기 시험체가 검사시험체일 경우 상기 억압신호 제공부에서 제공하는 억압신호가 상기 저장해둔 억압신호 위상값을 가지도록 상기 억압신호 제공부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 차동신호 발생부는 상기 입력된 반송신호에 따라 상기 시험체에 자속을 공급하는 여자코일부; 상기 시험체에서 유도되는 와전류에 의해 양단에서 신호를 발생시키는 브리지회로; 및 상기 브리지회로의 양단에서 발생된 신호를 차동 증폭하여 상기 차동신호를 발생시키는 차동증폭부;로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 반송신호 제공부와 상기 억압신호 제공부는 상기 컨트롤러에 의해 동일한 주파수를 갖는 신호를 제공하도록 제어되는 것을 특징으로 한다.
상기 A/D 변환부는 상기 반송신호 제공부에서 출력되는 동기신호에 따라 상기 결함신호에 대한 샘플링을 수행하여 상기 디지털 데이터로 변환하는 것을 특징으로 한다.
상기 A/D 변환부와 상기 복조부 사이에 적어도 하나의 저장장치를 더 포함하며, 상기 A/D 변환부에서 출력되는 디지털 데이터가 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장되고, 상기 복조부는 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장된 디지털 데이터를 입력받아 복조하는 것을 특징으로 한다.
상기 복조부는, 기준정현파를 생성하는 기준정현파 생성부; 상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터와 상기 기준정현파 생성부에서 생성되는 기준정현파가 입력되는 I-혼합기; 상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터와 상기 기준정현파에 비해 90°지연된 정현파가 입력되는 Q-혼합기; 및 상기 I-혼합기와 상기 Q-혼합기에 각각 연결되어, 상기 각각의 혼합기에서 출력되는 신호값을 더한 뒤 평균값을 산출하는 평균값 산출부를 포함한다.
본 발명에 의하면, 시험체에 존재하는 결함을 검사함에 있어서, 시험체의 결함 정도를 나타내는 결함신호만을 획득하여 복조하기 때문에 검사의 정확도를 높일 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 혼합기와 연결되는 평균값 산출부를 통해 결함신호의 복조를 수행하기 때문에 검사주파수(즉, 여자주파수)의 주파수 값에 제한 없이 복조를 수행할 수 있고, 결함에 대한 분석 정확도를 높일 수 있으며, 종래 복조기에 비해 연산 처리가 적어 디지털 신호 프로세서의 성능도 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 차동신호로부터 결함신호를 획득하는 양상을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.
도 3a는 A/D 변환부에 입력되는 결함신호가 샘플링되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 3b는 A/D 변환부에 입력된 결함신호가 디지털 데이터로 변환된 모습을 나타낸 도면이다.
도 4는 디지털 신호 프로세서의 구성 중 저장부 및 복조부를 나타낸 도면이다.
도 5는 혼합기에 입력 및 출력되는 주파수를 나타낸 도면이다.
도 6은 평균값 산출부가 저역통과필터(LPF)로서의 기능을 수행하는 모습을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 의한 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치에 대해 상세하게 설명한다. 첨부한 도면들은 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것으로서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들로 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치를 나타낸 도면이다. 본 발명에 따른 검사장치는 아날로그 회로부에서 시험체(1)의 결함정도를 나타내는 신호(이하, '결함신호'라고 함)를 획득하여 이를 디지털 데이터로 변환하고, 디지털 신호 프로세서(100)에서 상기 변환된 디지털 데이터를 복조하여 그 결과값을 출력하도록 구성되어 있다.
시험체(1)의 결함신호를 획득하여 이를 디지털 데이터로 변환하기 위한 아날로그 회로부는 반송신호 제공부(10), 전력증폭부(20), 차동신호 발생부(30), 결함신호 획득부(40), 결함신호 증폭부(50) 및 A/D 변환부(60)로 구성될 수 있다.
한편, 아날로그 회로부에서 디지털 데이터로 변환된 결함신호를 복조하기 위한 디지털 신호 프로세서(100)는 컨트롤러(110), 저장부(120), 복조부(130), 필터부(140) 및 DC 오프셋 조절부(150)를 포함하여 구성될 수 있다.
컨트롤러(110)의 제어신호에 따라 반송신호 제공부(10)에서는 여자주파수(fm)를 갖는 반송신호를 출력하고, 출력된 반송신호는 차동신호 발생부(30)에 제공된다. 여기서, 반송신호 제공부(10)는 컨트롤러(110)의 제어신호에 따라 반송신호(코일에 자속을 발생시키는 아날로그 신호)를 출력하는 D/A 컨버터를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 반송신호는 전력증폭부(20)에 의해 증폭되어 차동신호 발생부(30)에 제공될 수 있다.
차동신호 발생부(30)는 입력된 반송신호에 따라 시험체(1)에 시간에 따라 변화하는 자속을 공급하여 상기 시험체(1)에서 유도되는 와전류에 의해 차동신호를 발생시킨다.
여기서, 본 발명의 검사대상이 되는 시험체(1)는 시간에 따라 변화하는 자속의 영향을 받아 기전력이 발생되고, 이 기전력에 의해 와전류가 흐르는 물체를 의미한다. 시험체(1)에 결함이 없을 경우 발생하는 와전류에 대하여, 시험체(1)에 결함이 존재하는 경우에는 상기 와전류의 패턴(형태, 세기 등)에 변화가 일어나게 되며, 본 발명에서는 이러한 패턴 변화를 감지함으로써 시험체(1) 내 결함의 정도를 검사할 수 있는 구성을 개시한다.
차동신호 발생부(30)는 여자코일부(31), 브리지회로(32) 및 차동증폭부(33)를 포함하여 구성될 수 있다.
여자코일부(31)는 반송신호 제공부(10)에서 제공되는 반송신호(또는 증폭된 반송신호)에 따라 시험체(1)에 자속을 공급하여 와전류를 유도시킨다.
브리지회로(32)는 시험체(1)에서 유도되는 와전류에 의해 브리지회로(32)의 양단에서 신호를 발생시킨다. 브리지회로(32)는 2개의 코일 및 2개의 저항을 도 1에 나타낸 바와 같이 접속하여 구성할 수 있지만, 반드시 이러한 구성만으로 한정되는 것은 아니다.
차동증폭부(33)는 브리지회로(32)의 양단에서 발생된 신호를 차동 증폭하여 차동신호(SC)를 발생시킨다. 차동신호는 와전류 탐상시험에서 입력신호의 변화율에 비례하는 출력신호를 의미하며, 본 발명에서는 반송신호 제공부(10)에서 제공하는 반송신호의 변화율에 비례하여 차동신호 발생부(30)에서 발생되는 신호를 의미한다.
차동신호에는 브리지회로(32) 자체의 불균형으로 인한 신호와, 시험체(1)의 결함신호가 혼합되어 있다. 이에 따라, 본 발명에서는 차동신호(SC)로부터 결함신호만(SB)을 획득하여 이를 디지털 복조함으로써, 시험체(1)에 존재하는 결함을 검사함에 있어서 그 검사의 정확도를 높이는 것을 목적으로 한다.
차동신호 발생부(30)에서 발생되는 차동신호는 결함신호 획득부(40)에 입력되며, 결함신호 획득부(40)는 차동신호로부터 결함신호만을 획득한다.
결함신호 획득부(40)는 진폭조절부(41), 억압신호 제공부(42), 진폭조절 제어부(43) 및 합산부(44)로 구성될 수 있다.
진폭조절부(41)는 하나 이상의 이득증폭기를 포함하여 구성될 수 있으며, 차동신호 발생부(30)에서 발생된 차동신호의 진폭을 조절한다. 진폭조절부(41)의 출력단은 진폭조절 제어부(43) 및 합산부(44)의 입력단과 연결되어 있다.
억압신호 제공부(42)는 컨트롤러(110)의 제어신호에 따라 억압신호(진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호의 진폭을 억압하기 위한 아날로그 신호)를 출력하는 D/A 컨버터를 포함하여 구성될 수 있다. 억압신호 제공부(42)는 차동신호로부터 결함신호를 획득하기 위하여 기 설정된 크기의 진폭을 갖는 억압신호를 제공한다. 한편, 반송신호 제공부(10)와 억압신호 제공부(42)는 컨트롤러(110)에 의해 동일한 주파수를 갖는 신호를 제공하도록 제어된다(즉, 반송신호의 주파수 및 억압신호의 주파수는 동일하며, 다만 진폭과 위상은 상이할 수 있다).
진폭조절 제어부(43)는 진폭조절부(41) 및 컨트롤러(110)와 연결되어, 진폭조절부(41)에서의 진폭 조절값이 일정 크기가 되도록 제어한다.
합산부(44)는 진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호(SC') 및 억압신호 제공부(42)에서 제공되는 억압신호(SU)를 합산하여 출력한다.
한편, 컨트롤러(110), 반송신호 제공부(10) 및 억압신호 제공부(42)의 클럭은 하나의 클럭 소스에서 공급되는데, 이는 각각의 구성을 한 클럭에 의해 동기화하기 위함이다.
도 2는 차동신호로부터 결함신호를 획득하는 양상을 설명하기 위해 나타낸 도면으로서, 이하에서는 도 1 및 도 2를 참고하여 차동신호로부터 결함신호를 획득하는 양상을 구체적으로 설명한다.
시험체가 기준이 되는 시험체(이하, '기준시험체'라고 함)일 경우, 차동신호 발생부(30)에서 발생된 차동신호는 예를 들어,
Figure 112015045650437-pat00001
(도 2(a))로 나타낼 수 있다. 진폭조절부(41)에서는 진폭조절 제어부(43)의 제어신호에 따라 상기 차동신호의 진폭을 조절하며, 진폭조절 제어부(43)의 제어신호가 없을 경우에는 진폭조절부(41)의 출력신호는
Figure 112015045650437-pat00002
(도 2(a))와 같다.
한편, 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호는 예를 들어,
Figure 112015045650437-pat00003
(도 2(b))와 같이 나타낼 수 있으며, 상기 억압신호는 합산부(44)에 입력된다. 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호는 컨트롤러(110)의 제어신호에 따라 기 설정된 크기의 진폭과 위상을 가지며, 반송신호 및 차동신호와 동일한 주파수(fm)를 갖는다.
진폭조절 제어부(43)는 진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호(SC')의 진폭이 억압신호 제공부(42)에서 제공되는 억압신호(SU)의 진폭과 동일해지도록 진폭조절부(41)의 진폭 조절값을 조절한다. 예를 들어, 도 2(a)에 나타낸 차동신호의 진폭 A1이 도 2(b)에 나타낸 억압신호의 진폭 A2와 동일해지도록 조절하며, 그 결과 진폭조절부(41)를 통해 최종 출력되는 차동신호의 진폭은 도 2(c)와 같이 나타낼 수 있다. 진폭조절 제어부(43)는 컨트롤러(110)와 연결되어 있어, 진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호의 진폭을 억압신호의 진폭과 동일하게 조절할 수 있다. 진폭조절 제어부(43)가 진폭조절부(41)의 진폭 조절값을 최종 조절한 뒤에는, 그 최종 조절한 진폭 조절값(A2/A1)을 진폭조절 제어부(43) 내에 저장해둔다.
그리고 진폭조절 제어부(43)는 진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호의 진폭이 억압신호 제공부(42)에서 제공되는 억압신호의 진폭과 동일해지도록 진폭조절부(41)의 진폭 조절값을 최종 조절한 뒤 컨트롤러(110)에 ACK신호를 전송한다.
컨트롤러(110)는 상기 ACK신호를 수신한 뒤 합산부(44)의 출력이 0이 되도록 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호의 위상값을 조절한다. 즉, 컨트롤러(110)는 도 2(b)에 나타낸 억압신호의 위상이 도 2(a)에 나타낸 차동신호의 위상값과 180°차이가 나도록 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호의 위상값을 조절하며, 그 결과 억압신호의 위상값은 도 2(d)에 나타낸 바와 같이 조절된다. 상기 억압신호의 위상값 조절은 컨트롤러(110)가 합산부(44)에서 출력되는 신호를 입력받아 그 합산부의 출력이 0이 되도록, 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호의 위상을 1°씩 천이해나가는 방법으로 제어할 수 있다. 컨트롤러(110)가 억압신호 제공부(42)의 위상값을 최종 조절한 뒤에는, 그 최종 조절한 억압신호 위상값(180°-θ1)을 컨트롤러(110) 내에 저장해둔다.
다음으로, 검사하고자 하는 시험체(이하, '검사시험체'라 함)에 자속을 공급하고 그에 따라 유도되는 와전류에 의해 발생된 차동신호로부터 결함신호를 획득한다.
시험체(1)가 검사시험체일 경우 발생되는 차동신호(도 2(e))는 기준시험체일 경우 발생되는 차동신호(도 2(a))에 비해 진폭 및 위상이 상이(단, 주파수는 동일)할 수 있다.
진폭조절 제어부(43)는 앞서 기준시험체일 경우 저장해둔 진폭 조절값(A2/A1)에 따라 진폭조절부(41)에 입력되는 차동신호(SC)의 진폭이 조절되도록 진폭조절부(41)를 제어하며, 이에 따라 진폭조절부(41)를 통해 출력되는 차동신호(SC')는 도 2(f)에 나타낸 바와 같다.
그리고 컨트롤러(110)는 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호가 상기 저장해둔 억압신호 위상값(180°-θ1)을 가지도록 억압신호 제공부(42)를 제어한다.
합산부(44)는 진폭조절 제어부(43)에 의해 제어되어 진폭조절부(41)로부터 출력되는 차동신호(도 2(f)) 및 컨트롤러(110)에 의해 제어되어 억압신호 제공부(42)에서 제공되는 억압신호(도 2(d))를 합산하여 출력하며, 이 출력값이 검사시험체의 결함신호(도 2(g))가 된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 검사장치는 브리지회로의 불균형에 영향받지 않고 결함신호만을 획득할 수 있기 때문에 시험체의 결함 정도를 정확하게 검사해낼 수 있다.
결합신호 획득부(40)에서 획득되는 결함신호는 A/D 변환부(60)에 입력된다. 이 때, 결함신호는 결함신호 증폭부(50)에 의해 일정 크기만큼 증폭되어 A/D 변환부(60)에 입력될 수도 있다.
A/D 변환부(60)가 결함신호(또는, 증폭된 결함신호)를 디지털 데이터로 변환하기 위하여 수행하는 샘플링은 반송신호 제공부(10)에서 출력되는 동기신호에 따라 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, A/D 변환부(60)는 반송신호의 여자주파수(fm)에 해당하는 샘플링 시점을 갖고 결함신호를 디지털 데이터로 변환하는 것이 바람직한데, 이는 반송신호 제공부(10)에서 제공하는 반송신호의 주기(시점)와 동일한 주기로(시점에서) 샘플링이 이루어지도록 하기 위함이다.
도 3a는 A/D 변환부(60)에 입력되는 결함신호가 샘플링되는 모습을 나타낸 도면이고, 도 3b는 A/D 변환부(60)에 입력된 결함신호가 디지털 데이터로 변환된 모습을 나타낸 도면으로서, 이하에서는 A/D 변환부(60)에서 이루어지는 결함신호에 대한 샘플링 수행 과정을 도 3a 및 도 3b를 참고하여 보다 구체적으로 설명한다.
예를 들어, A/D 변환부(60)가 4MSPS(이 때, A/D 변환부의 샘플링 주기 TS=1/4MSPS)의 A/D 컨버터이고, 결함신호의 주파수 대역은 약 12kHz이며, 반송신호 제공부(10)에서 출력되는 동기신호의 주기는 Tm이고, 컨트롤러(110)에 의해 사전 설정되는 주기를 TS'라 하면, A/D변환부(60)에서는 도 3a에 나타낸 바와 같이 0~tn의 구간(TS') 중 0~t1의 구간(Tm)에서만 TS(=1/4MSPS)의 주기로 결함신호의 샘플링이 이루어질 수 있다. 그리고 tn~2tn의 구간에서는 tn~tn+1의 구간에서만 TS(=1/4MSPS)의 주기로 결함신호의 샘플링이 이루어질 수 있다.
여기서, 컨트롤러(110)에서는 다음과 같은 수식에 의해 p값(컨트롤러(110)에 의해 사전 설정되는 주기 TS'의 개수)을 정할 수 있다.
N= tn·p = (fS/fm)·p
여기서, fm은 여자주파수이고, fS는 A/D변환부(60)의 샘플링 주파수이며, N은 A/D 변환부(60)에서 tn·p동안 이루어지는 전체 샘플링 개수이다. 이 때, 컨트롤러(110)는 예를 들어 N이 3.2Mbps 정도가 되도록 p값을 사전 설정할 수 있다.
이와 같이, A/D 변환부(60)에 의해 디지털 데이터로 변환된 결함신호(예를 들어, 도 3(b)에 나타낸 바와 같음)는 복조부(130)로 입력된다.
도 4는 디지털 신호 프로세서의 구성 중 저장부(120) 및 복조부(130)를 나타낸 도면이다.
A/D 변환부(60)에 의해 디지털 데이터로 변환된 결함신호(SD)는 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이 복조부(130)로 입력되기 전에 저장부(120)로 전송될 수 있다. 저장부(120)는 A/D 변환부(60) 및 복조부(130) 사이에 배치되며, 적어도 하나의 저장장치(예를 들어, RAM1 및 RAM2)로 구성될 수 있다.
저장부(120)를 구성하는 각 저장장치의 크기는 전체 샘플링 개수(N)를 저장하기에 충분해야 한다.
A/D 변환부(60)에 의해 변환된 디지털 데이터는 우선, 컨트롤러(110)의 스위칭 제어에 의해 RAM1(제 1 저장장치)에 전체 샘플링 개수(N)만큼 저장된다. RAM1에 전체 샘플링 개수(N)만큼 디지털 데이터가 저장되면 입력 스위치는 RAM2(제 2 저장장치)에 연결되고, 동시에 출력 스위치는 RAM1에 연결되어 RAM1에 저장된 디지털 데이터가 복조부(130)로 입력된다. RAM1에 저장된 디지털 데이터가 복조부(130)로 입력되는 동안 A/D 변환부(60)에 의해 변환된 디지털 데이터는 컨트롤러(110)의 스위칭 제어에 의해 RAM2에 전체 샘플링 개수(N)만큼 저장된다. RAM2에 전체 샘플링 개수(N)만큼 디지털 데이터가 저장되면 입력 스위치는 RAM1에 연결되고, 동시에 출력 스위치는 RAM2에 연결되어 RAM2에 저장된 디지털 데이터가 복조부(130)로 입력된다.
이와 같이, 본 발명에 의한 검사 장치가 적어도 하나의 저장장치를 포함하고, A/D 변환부(60)에서 출력되는 디지털 데이터가 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장되며, 복조부(130)가 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장된 디지털 데이터를 입력받아 복조하는 경우에는, 복조부(130)에서의 복조가 연속적으로 수행될 수 있으므로 디지털 신호 프로세서(100)의 성능, 더 나아가 본 발명에 의한 검사장치의 성능을 크게 향상시킬 수 있다.
저장부(120)에서 출력되는 디지털 데이터는 복조부(130)로 입력된다.
복조부(130)는 기준정현파(복조를 위해 제공되며, 반송신호의 주파수(fm)와 동일한 주파수를 갖는 정현파)를 생성하는 기준정현파 생성부(135), I-혼합기(InPhase Mixer)(131), Q-혼합기(Quadrature Mixer)(132) 및 평균값 산출부(133, 134)로 구성될 수 있다.
A/D 변환부(60)에서 변환된 디지털 데이터 및 기준정현파 생성부(135)에서 생성되는 기준정현파는 I-혼합기(131)에 입력되고, A/D 변환부(60)에서 변환된 디지털 데이터 및 상기 기준정현파에 비해 90°지연된 정현파는 Q-혼합기(132)에 입력된다.
A/D 변환부(60)에 의해 변환된 디지털 데이터(SD)의 주파수를 fin이라 하고, 기준정현파의 주파수 및 기준정현파에 비해 90°지연된 정현파의 주파수를 각각 fref라 할 때, 각 혼합기(131, 132)에서는 도 5에 나타낸 바와 같이, 하향 변환(Down conversion)의 fin-fref 성분과 상향 변환(Up conversion)의 fin+fref 성분이 출력된다. fin과 fref는 반송신호 제공부(10)에서 제공하는 반송신호 및 억압신호 제공부(42)에서 제공하는 억압신호의 주파수와 동기화되어 있다. 따라서, fin과 fref는 반송신호의 여자주파수(fm)와 동일하므로, 각 혼합기(131, 132)의 출력은 DC 성분인 0과 2fm이 된다.
각 혼합기(131, 132)에서는 A/D 변환부(60)의 출력신호가 담고 있는 정보는 그대로 유지한 채, 차동신호 발생부(30)에 제공되는 반송신호의 여자주파수(fm)에 해당하는 주파수 성분만을 통과시킨다. 이에 따라, 외부 노이즈가 제어되어 본 발명에 따른 검사 장치는 신호 대 잡음비(SNR)를 크게 향상시킨다.
한편, 평균값 산출부(133, 134)는 I-혼합기(131)와 Q-혼합기(132)에 각각 연결되어, 각 혼합기(131, 132)에서 출력되는 신호값을 더한 뒤 이들의 평균값을 산출한다.
이하에서는, 혼합기(131, 132)와 평균값 산출부(133, 134)에 의해 출력되는 신호값(BBSx, BBSy)을 예를 들어 설명한다.
A/D 변환부(60)에서 출력되는 신호(SD)는 아래와 같이 나타낼 수 있다.
Figure 112015045650437-pat00004
I-혼합기(131)에 입력되는 기준정현파를
Figure 112015045650437-pat00005
와 같이 코사인파 형태로 나타내면 I-혼합기(131)의 출력신호 VI[n]은 아래와 같다.
Figure 112015045650437-pat00006
식의 곱을 합차로 변환하면 아래와 같다.
Figure 112015045650437-pat00007
그리고 A/D 변환부(60)의 출력신호(SD)와 기준정현파의 주파수는 동일하므로 상기 식은 아래와 같이 나타낼 수 있다.
Figure 112015045650437-pat00008
I-혼합기(131)의 출력신호 VI[n]은 평균값 산출부(133)의 입력으로 제공되며, 평균값 산출부(133)는 VI[n]을 미리 정해진 전체 샘플링 개수(N)만큼 더한 뒤 평균값을 산출한다.
즉, I-혼합기(131)의 출력신호 값은 {VI[n]1, VI[n]2,···, VI[n]i}이며, 이에 따라 평균값 산출부(133)에서 출력되는 신호값(BBSx)은 다음과 같다.
Figure 112015045650437-pat00009
한편, Q-혼합기(132)에 입력되는 정현파는 상기 I-혼합기(131)에 입력되는 기준정현파에 비해 90°만큼 지연된 신호이므로
Figure 112015045650437-pat00010
와 같이 사인파 형태로 나타낼 수 있으며, 이 때 Q-혼합기(132)의 출력신호 VQ[n]은 아래와 같다.
Figure 112015045650437-pat00011
식의 곱을 합차로 변환하면 아래와 같다.
Figure 112015045650437-pat00012
그리고 A/D 변환부(60)의 출력신호(SD)와 기준 사인파의 주파수는 동일하므로 상기 식은 아래와 같이 나타낼 수 있다.
Figure 112015045650437-pat00013
VI[n] 및 VQ[n]에 의하면 각 혼합기(131, 132)에 입력되는 정현파와 동일한 주파수 성분만이 상기 혼합기(131, 132)를 통과한다는 것을 알 수 있으며, 따라서 상기와 같은 구성을 갖는 복조부(130)는 대역통과필터(BPF)로서의 기능을 한다.
VQ[n]은 평균값 산출부(134)의 입력으로 제공되며, 평균값 산출부(134)는 VQ[n]을 미리 정해진 전체 샘플링 개수(N)만큼 더한 뒤 평균값을 산출한다.
즉, Q-혼합기(132)의 출력신호 값은 {VQ[n]1, VQ[n]2,···, VQ[n]i}이며, 이에 따라 평균값 산출부(134)에서 출력되는 신호값(BBSy)은 다음과 같다.
Figure 112015045650437-pat00014
평균값 산출부(133)에서 출력되는 신호값(BBSx)에서는 교류성분
Figure 112015045650437-pat00015
이, 평균값 산출부(134)에서 출력되는 신호값(BBSy)에서는 교류성분
Figure 112015045650437-pat00016
이 디지털 복조 과정에서 각각 제거된다. 따라서, 평균값 산출부(133, 134)의 출력신호는 아래 식과 같이 표현될 수 있다.
Figure 112015045650437-pat00017
여기서, VI[n]은 결함신호의 진폭성분을 나타내고, VQ[n]은 결함신호의 위상성분을 나타내며, 이와 같이 본 발명에 따른 복조부(130)는 차동신호 발생부(30)에서 발생시키는 차동신호 중 결함신호(SB 또는 SB')만을 복조하고 외부 노이즈는 제거한다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 평균값 산출부(133, 134)는 복조부(130)에서 고성능 저역통과필터(LPF)로서의 기능을 수행하며, 필터와 데시메이션으로 구성된 복조부에 비해 연산 처리가 매우 적어 복조부(130) 전체의 동작 성능을 높여줄 수 있다.
따라서, 본 발명에서는 복조부(130)에서 각 혼합기(131, 132)와 연결되는 평균값 산출부(133, 134)를 구비함으로써, A/D 변환부(60)에서 수행되는 샘플링에 있어서 검사주파수(즉, 여자주파수)의 주파수 값에 제약 없이 디지털 복조의 기능을 효과적으로 구현할 수 있다. 또한, 평균값 산출부(133, 134)는 검사 데이터의 양을 줄여주는 데시메이션의 기능도 구현하기 때문에 복조부(120), 더 나아가 디지털 신호 프로세서(100)의 성능을 높여줄 수 있게 된다.
혼합기(131, 132)에 입력되는 기준정현파
Figure 112015045650437-pat00018
와
Figure 112015045650437-pat00019
의 값은 복조부(130) 내에서 아래의 식으로 각각 생성된다.
Figure 112015045650437-pat00020
,
Figure 112015045650437-pat00021
여기서, θref는 위상조절부(136)에 의해 조절되는 위상지연을 나타낸다. 본 발명에 의한 검사장치는 기준정현파 생성부(135)와 혼합기(131, 132) 사이에 위상조절부(136)를 추가 배치할 수 있으며, 위상조절부(136)에 의한 기준정현파의 위상지연은 동시에 설정될 수 있다. 위상조절부(136)를 복조부(130)에 배치함으로써, 시험체(1)의 결함을 검사함에 있어서 검사의 영역을 보다 넓혀줄 수 있다.
복조부(130)에서 출력되는 신호값(BBSx, BBSy)은 고역통과필터(141) 및 저역통과필터(142)로 이루어진 필터부(140)를 통과할 수 있다. 필터부(140)를 구성하는 필터들은 FIR필터일 수 있으며, 필터부(140)의 Window는 Kasier 디자인, 통과대역리플 0.1dB, 정지대역감쇠 40dB, 차수는 220정도의 특성을 가질 수 있으나, 시험체(1)에 따라 상이한 필터 특성을 가질 수도 있다. 필터부(140)는 복조부(130)에서 출력되는 신호(BBSx, BBSy) 중 불필요한 주파수 성분을 제거하는 기능을 한다.
필터부(140)와 연결되는 DC 오프셋 조절부(150)는 디지털 신호 프로세서(100)에 의하여 필터부(140)의 고역통과필터(141)를 비활성화할 경우에만 동작된다. DC 오프셋 조절부(150)는 시험체가 갖는 DC 오프셋 값을 검사자가 원하는 X, Y 기준값으로 저장하는 기능을 한다.
디스플레이부(200)는 디지털 신호 프로세서(100)와 연결되어 결과값을 출력한다. 디스플레이부(200)에서 X축은 결함신호(SB 또는 SB')의 실수부를 반영하고, Y축은 결함신호(SB 또는 SB')의 허수부를 반영한다. 시험체(1)에 결함이 없는 경우에는 디스플레이부(200)에 점(spot)의 형태가 출력되는데 반해, 시험체(1)에 결함이 있는 경우에는 디스플레이부(200)에 루프(loop)의 형태가 출력된다.
10: 반송신호 제공부
20: 전력증폭부
30: 차동신호 발생부
40: 결함신호 획득부
50: 결함신호 증폭부
60: A/D 변환부
100: 디지털 신호 프로세서
110: 컨트롤러
120: 저장부
130: 복조부
140: FIR 필터부
150: DC 오프셋 조절부
200: 디스플레이부

Claims (7)

  1. 입력된 반송신호에 따라 시험체에 자속을 공급하여 상기 시험체에서 유도되는 와전류에 의해 차동신호를 발생시키는 차동신호 발생부;
    상기 차동신호 발생부에서 발생된 차동신호로부터 상기 시험체의 결함정도를 나타내는 결함신호를 획득하는 결함신호 획득부;
    상기 결함신호 획득부에서 획득된 결함신호를 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부; 및
    상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터를 복조하는 복조부;를 포함하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치에 있어서,
    내부 컨트롤러의 제어신호에 따라 상기 반송신호를 제공하는 반송신호 제공부를 더 포함하고,
    상기 결함신호 획득부는, 상기 차동신호의 진폭을 조절하는 진폭조절부;
    상기 차동신호로부터 상기 결함신호를 획득하기 위하여 기 설정된 크기의 진폭을 갖는 억압신호를 제공하는 억압신호 제공부;
    상기 시험체가 기준시험체일 경우 상기 진폭조절부를 통해 출력되는 차동신호의 진폭이 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호의 진폭과 동일해지도록 상기 진폭조절부의 진폭 조절값을 조절하고 그 최종 조절한 진폭 조절값을 저장해두며, 상기 시험체가 검사시험체일 경우 상기 저장해둔 진폭 조절값에 따라 상기 진폭조절부에 입력된 차동신호의 진폭이 조절되도록 상기 진폭조절부를 제어하는 진폭조절 제어부; 및
    상기 진폭조절부로부터 출력되는 차동신호 및 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호를 합산하여 출력하는 합산부;를 포함하여 구성되며,
    상기 진폭조절 제어부는 상기 시험체가 기준시험체일 경우 상기 진폭조절부를 통해 출력된 차동신호의 진폭이 상기 억압신호 제공부에서 제공되는 억압신호의 진폭과 동일해지도록 상기 진폭조절부의 진폭 조절값을 제어한 뒤 상기 컨트롤러에 ACK신호를 전송하고, 상기 컨트롤러는 상기 ACK신호를 수신한 뒤 상기 합산부의 출력이 0이 되도록 상기 억압신호 제공부에서 제공하는 억압신호의 위상값을 조절하고 그 최종 조절한 억압신호 위상값을 저장해두며, 상기 컨트롤러는 상기 시험체가 검사시험체일 경우 상기 억압신호 제공부에서 제공하는 억압신호가 상기 저장해둔 억압신호 위상값을 가지도록 상기 억압신호 제공부를 제어하는 것을 특징으로 하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 차동신호 발생부는, 상기 입력된 반송신호에 따라 상기 시험체에 자속을 공급하는 여자코일부;
    상기 시험체에서 유도되는 와전류에 의해 양단에서 신호를 발생시키는 브리지회로; 및
    상기 브리지회로의 양단에서 발생된 신호를 차동 증폭하여 상기 차동신호를 발생시키는 차동증폭부;로 이루어진 것을 특징으로 하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반송신호 제공부와 상기 억압신호 제공부는 상기 컨트롤러에 의해 동일한 주파수를 갖는 신호를 제공하도록 제어되는 것을 특징으로 하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 A/D 변환부는 상기 반송신호 제공부에서 출력되는 동기신호에 따라 상기 결함신호에 대한 샘플링을 수행하여 상기 디지털 데이터로 변환하는 것을 특징으로 하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 A/D 변환부와 상기 복조부 사이에 적어도 하나의 저장장치를 더 포함하며, 상기 A/D 변환부에서 출력되는 디지털 데이터가 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장되고, 상기 복조부는 상기 적어도 하나의 저장장치에 저장된 디지털 데이터를 입력받아 복조하는 것을 특징으로 하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복조부는, 기준정현파를 생성하는 기준정현파 생성부;
    상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터와 상기 기준정현파 생성부에서 생성되는 기준정현파가 입력되는 I-혼합기;
    상기 A/D 변환부에서 변환된 디지털 데이터와 상기 기준정현파에 비해 90°지연된 정현파가 입력되는 Q-혼합기; 및
    상기 I-혼합기와 상기 Q-혼합기에 각각 연결되어, 상기 각각의 혼합기에서 출력되는 신호값을 더한 뒤 평균값을 산출하는 평균값 산출부를 포함하는 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치.
KR1020150066375A 2015-05-13 2015-05-13 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치 KR101606467B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150066375A KR101606467B1 (ko) 2015-05-13 2015-05-13 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150066375A KR101606467B1 (ko) 2015-05-13 2015-05-13 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101606467B1 true KR101606467B1 (ko) 2016-03-25

Family

ID=55645751

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150066375A KR101606467B1 (ko) 2015-05-13 2015-05-13 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101606467B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012189486A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Hitachi Engineering & Services Co Ltd 渦電流探傷装置および渦電流探傷方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012189486A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Hitachi Engineering & Services Co Ltd 渦電流探傷装置および渦電流探傷方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8841902B2 (en) Testing device and testing method for non destructive detection of a defect in a test piece by means of an eddy current
CN105676008B (zh) 一种数字式电场传感器
CN106526321B (zh) 阻抗测定装置及阻抗测定方法
JP7061417B2 (ja) デジタル化装置及びノイズ低減方法
EP2618140B1 (en) Test set-up and test method for non-destructive detection of a flaw in a device under test by means of an eddy current
JP6616987B2 (ja) インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法
CN109765429B (zh) 阻抗测量系统和阻抗测量方法
US6525522B1 (en) System for determining the phase and magnitude of an incident signal relative to a cyclical reference signal
JP2003513260A (ja) 渦電流による誤差を低減したａｃ磁気ポジション測定システム
GB2457496A (en) A system for detecting defects using eddy currents
JP2017053864A (ja) 測定装置及び測定方法
CN110971231A (zh) 结合比率运算的数字锁相放大器
EP3198290B1 (en) Digital mri receiver coil with built-in received phase noise indicator
KR101606467B1 (ko) 와전류를 이용하여 시험체의 결함을 검사하는 장치
JP2006250870A (ja) 部分放電位置標定装置
CA2392910A1 (en) Digital eddycurrent signal processing
CN216144868U (zh) 一种微弱电流信号锁频检测装置
JP4350488B2 (ja) 電力系統における電圧、電流、有効電力、無効電力、周波数計測装置ならびに計測方法
JP2007003458A (ja) ディジタル直交ロックイン検出方法及び装置
JP5797843B2 (ja) 非破壊的な方法で試験対象の材料を試験するための方法及び装置
JP3833565B2 (ja) インピーダンス測定装置
JPH07270383A (ja) 渦流探傷装置
JP2013205023A (ja) 電磁誘導検査装置およびその検査方法
Vandenbussche et al. An FPGA based digital lock-in amplifier implemented using MFIR resonators
WO2023139871A1 (ja) インピーダンス測定システムおよび方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190102

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200109

Year of fee payment: 5