KR101605407B1 - Picker for handler - Google Patents

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김왕태
안종찬
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(주)케이엔씨
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Abstract

A picker for a handler of the present invention comprises a hinging member (50) including multiple first and second links (22, 24) and multiple first and second joint parts (30, 40) connecting the multiple first and second links (22, 24); multiple picker assemblies (300) connected to the hinging member (50), including a first picker (100) and a second picker (200) arranged to be separated from the first picker with a gap and moved in X direction or Y direction based on the first picker, and controlling the gap according to the movement of the hinging member; and first and second motors (60, 70) moving the multiple picker assemblies in X direction or Y direction. The purpose of the present invention is providing the picker for a handler stably picking and placing a semiconductor device.

Description

핸들러용 픽커{Picker for handler}Picker for handler {Picker for handler}

본 발명은 핸들러용 픽커에 관한 것으로, 특히 복수개의 픽커들 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있는 핸들러용 픽커에 관한 것이다.The present invention relates to a handkerchief picker, and more particularly to a handkerchief picker capable of easily adjusting a distance between a plurality of pickers.

종래, 핸들러용 픽커는 고객 트레이와 테스트 트레이 사이에서 반도체 소자를 운반하기 위해서 반도체 소자의 픽 앤드 플레이스(Pick and Place)를 수행하는 것으로 알려져 있다. 핸들러용 픽커는 고객 트레이와 테스트 트레이에서 복수개의 반도체 소자를 한번에 운반하기 위해서는 복수개의 픽커들 사이의 간격이 조절되어야 한다. Conventionally, handler pickers are known to pick and place semiconductor devices to transport semiconductor devices between a customer tray and a test tray. In order to transport a plurality of semiconductor elements from the customer tray and the test tray at one time, the distance between the plurality of pickers must be adjusted.

한국등록특허 제0796196호(특허문헌 1)는 수개의 경사진 캠홈을 구비하며, 승강 가능한 캠판; 및 상기 캠판에 구비된 캠홈을 관통하며, 상기 캠판의 승강에 의해 그 간격이 조절되는 복수개의 픽커를 포함하여 이루어지며, 상기 복수개의 캠홈은 상기 복수개의 픽커가 동일한 간격으로 배열될 수 있도록 하는 제1홈, 및 상기 복수개의 픽커가 상이한 간격으로 배열될 수 있도록 하며 상기 제1홈과 연통되는 제2홈을 포함하여 이루어진다.Korean Patent Registration No. 0796196 (Patent Document 1) discloses a cam plate having a plurality of inclined cam grooves and capable of ascending and descending; And a plurality of pickers passing through the cam grooves provided on the cam plate, the spacing of which is adjusted by raising and lowering the cam plate, wherein the plurality of cam grooves are formed by arranging the plurality of pickers And a second groove communicating with the first groove so that the plurality of the pickers can be arranged at different intervals.

특허문헌 1과 같은 종래의 핸들러용 픽커는 캠홈이 형성된 캠판을 적용하게 되므로 소정 기간 사용하게 되면 픽커들 사이의 간격이 일정하지 않아 반도체 소자를 픽 앤드 플레이스(Pick and Place)할 때 에러가 발생하게 되는 단점을 내포하고 있다.Conventional handler picker such as Patent Document 1 employs a cam plate having a cam groove, so that when a predetermined period is used, the interval between pickers is not constant, and an error occurs when picking and placing a semiconductor element It is a disadvantage.

특허문헌 1: 한국등록특허 제0796196호(등록일: 2008.01.14)Patent Document 1: Korean Patent No. 0796196 (Registered Date: Jan. 14, 2008)

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 소자를 안정되게 픽 앤드 플레이스(Pick and Place)할 수 있는 핸들러용 픽커를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a picker for a handler capable of picking and placing a semiconductor device stably.

본 발명의 다른 목적은 절첩부재를 이용하여 픽커 조립체의 간격을 조절할 수 있는 핸들러용 픽커를 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is to provide a picker for a handler that can adjust the interval of the picker assembly using the folding member.

본 발명의 또 다른 목적은 모터, 엘엠 레일 및 엘엠 가이드를 이용하여 픽커의 간격(또는 폭)을 조절할 수 있는 핸들러용 픽커를 제공하는 점에 있다. Still another object of the present invention is to provide a picker for a handler which can adjust the interval (or width) of the picker by using a motor, an M-rail, and an LM guide.

본 발명의 핸들러용 픽커는 복수개의 제1 및 제2 링크와, 상기 복수개의 제1 및 제2 링크를 상호 연결하기 위한 복수개의 제1 및 제2 조인트부로 이루어지는 절첩부재와; 상기 절첩부재와 연결되며, 각기 제1픽커와 상기 제1픽커와 간격을 두고 배치되고 제1 픽커를 기준으로 X 방향이나 Y 방향으로 이동하는 제2픽커를 가지며, 상기 절첩부재의 이동에 따라 간격이 조절되는 복수개의 픽커 조립체와; 상기 복수개의 픽커 조립체를 X 방향이나 Y 방향으로 이동시키기 위한 제1 및 제2 모터로 구성되는 점에 있다. The handler picker of the present invention comprises: a folding member including a plurality of first and second links, and a plurality of first and second joint parts for interconnecting the plurality of first and second links; And a second picker which is connected to the folding member and is arranged to be spaced apart from the first picker and the first picker and moves in the X direction or the Y direction with respect to the first picker, A plurality of picker assemblies to be adjusted; And a first motor and a second motor for moving the plurality of picker assemblies in X and Y directions.

본 발명의 제1픽커는 지지체의 일측에 배치된 픽커 몸체와, 상기 픽커 몸체에 배치되는 구동원인 모터와, 상기 모터의 일측에 배치된 축에 설치되는 홈 센서와, 일측이 모터의 축에 연결되고 타측이 엘엠 레일에 배치된 엘엠 가이드와 연결되는 노즐 몸체와, 상기 노즐 몸체에 연결되며 일측에 댐핑 장치 구비한 노즐로 구성되는 점에 있다.The first picker of the present invention includes a picker body disposed on one side of a support body, a motor serving as a drive source disposed on the picker body, a groove sensor provided on a shaft disposed on one side of the motor, A nozzle body connected to the LM guide disposed on the other side of the LM rail, and a nozzle connected to the nozzle body and having a damping device on one side thereof.

본 발명의 제2픽커는 지지체의 일측에 배치된 엘엠 레일과, 상기 엘엠 레일을 따라서 이동하는 엘엠 가이드와, 상기 엘엠 가이드에 연결되어 엘엠 가이드의 이동에 따라 연동하는 픽커 몸체와, 상기 픽커 몸체에 배치되는 구동원인 모터와, 상기 모터의 일측에 배치된 축에 설치되는 홈 센서와, 일측이 모터의 축에 연결되고 타측이 엘엠 레일에 배치된 엘엠 가이드와 연결되는 노즐 몸체와, 상기 노즐 몸체에 연결되며 일측에 댐핑 장치를 구비한 노즐로 구성되는 점에 있다.The second picker of the present invention comprises an ELM rail disposed on one side of a support, an ELM guide moving along the ELM rail, a picker body connected to the ELM guide and interlocked with the movement of the ELM guide, A nozzle body which is connected to an axis of the motor, one side of which is connected to the axis of the motor and the other side of which is connected to the LM guide arranged on the LM rail; And a nozzle having a damping device on one side.

본 발명의 핸들러용 픽커는 절첩부재를 이용하여 픽커 조립체의 간격을 조절하게 되므로 보다 안정되게 픽커 조립체의 간격을 유지시킬 수 있는 이점이 있다. The handler picker according to the present invention has an advantage that the spacing of the picker assembly can be more stably maintained by using the folding member to adjust the spacing of the picker assembly.

본 발명의 핸들러용 픽커는 모터, 엘엠 레일 및 엘엠 가이드를 이용하여 간단하게 픽커의 간격(또는 폭)을 조절할 수 있으므로 작업이 편리한 이점이 있다.The handler picker of the present invention can easily adjust the interval (or width) of the picker by using a motor, an M-rail, and an LM guide, which is advantageous in that the work is convenient.

본 발명의 핸들러용 픽커는 픽커 조립체를 상부 베이스판에 설치할 수 있으므로 작업의 편리함은 물론 교체작업시 교체시간을 줄일 수 있는 이점이 있다.The picker for a handler of the present invention can be installed on an upper base plate of a picker assembly, which is advantageous in terms of convenience of operation and replacement time in a replacement operation.

도 1은 본 발명의 핸들러용 픽커의 개략 분해 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 핸들러용 픽커의 절첩부재가 펼쳐진(신장된) 상태를 나타낸 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 핸들러용 픽커의 대향측을 나타낸 개략 분해 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 핸들러용 픽커의 절첩부재가 펼쳐진(신장된) 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명의 요부인 절첩부재를 나타낸 도면,
도 6은 본 발명의 요부인 픽커 조립체를 나타낸 도면이다.1 is a schematic exploded perspective view of a handler picker of the present invention,
Fig. 2 is a perspective view showing a folded sheet material of the handkerchief picker shown in Fig. 1 in an unfolded (stretched) state,
Fig. 3 is a schematic exploded perspective view showing the opposite side of the handler picker shown in Fig. 1,
Fig. 4 is a perspective view showing a state in which the folding member of the handler picker shown in Fig. 3 is unfolded (stretched)
5 is a view showing a folding member which is a substantial part of the present invention,
6 is a view showing a picker assembly which is a main part of the present invention.

이하, 본 발명의 핸들러용 픽커의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a handler picker according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 핸들러용 픽커는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 절첩부재(50)와, 복수개의 픽커 조립체(300) 및 제1 및 제2 모터(60,70)로 크게 구성된다. 1 to 4, the handkerchief picker of the present invention is largely composed of a folding member 50, a plurality of picker assemblies 300, and first and second motors 60 and 70.

상기 절첩부재(50)는 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부 베이스판(10)상에 설치되며, 복수개의 제1 및 제2 링크(22,24)와, 상기 복수개의 제1 및 제2 링크(22,24)를 상호 연결하기 위한 복수개의 제1 및 제2 조인트부(30,40)로 이루어지게 된다. 또한, 상부 베이스판(10)의 상부에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 간격을 두고 제1 및 제2 연결블럭(12,14)이 배치된다. 그리고, 상기 복수개의 제1 조인트부(30)는 핀(35)에 의해 체결되고, 상기 제2 조인트부(40)는 상,하로 간격을 두고 형성된 제1 및 제2 플랜지 베어링(32,34)의 사이에 후술하게 되는 복수개의 픽커 조립체(300)의 지지체(150)에 배치된 연결축(160)과 체결핀(36)이 대향되게 끼워져 체결된다. 상기 제2 조인트부(40)에 복수개의 픽커 조립체(300)의 연결축(160)이 체결되므로 제1 및 제2 링크(22,24)의 이동에 따라 픽커 조립체(300)도 이동하게 된다.1 and 5, the folding member 50 is provided on the upper base plate 10 and includes a plurality of first and second links 22 and 24, And a plurality of first and second joint portions 30 and 40 for connecting the second links 22 and 24 to each other. 1 and 2, first and second connecting blocks 12 and 14 are disposed at an upper portion of the upper base plate 10 with an interval therebetween. The plurality of first joint portions 30 are fastened by pins 35 and the second joint portions 40 are fastened to first and second flange bearings 32 and 34 formed at upper and lower intervals. A coupling shaft 160 and a coupling pin 36 disposed in a support 150 of a plurality of picker assemblies 300 to be described later are inserted and fastened to each other. The coupling shaft 160 of the plurality of picker assemblies 300 is fastened to the second joint portion 40 so that the picker assembly 300 moves according to the movement of the first and second links 22 and 24.

상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 절첩부재(50)와 연결되며, 각기 제1픽커(100)와 상기 제1픽커를 기준으로 (X 방향이나 Y 방향으로) 이동하는 제2픽커(200)를 구비하게 된다. 또한, 복수개의 픽커 조립체(300)는 절첩부재(50)의 이동에 따라 이동하게 되므로 픽커 조립체(300)간의 간격을 조절할 수 있게 구성된다.1 to 4, the plurality of picker assemblies 300 are connected to the folding member 50, and each of the plurality of the picker assemblies 300 includes a first picker 100 and a first picker The second picker 200 moves in the direction of the arrow. In addition, since the plurality of picker assemblies 300 move according to the movement of the folding member 50, the spacing between the picker assemblies 300 can be adjusted.

상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 각기 지지체(150)상에 간격을 두고 엘엠 가이드(LM(Linear Motion) guide)(250)가 배치되고, 상기 엘엠 가이드(250)는 상부 베이스판(10)의 하부에 간격을 두고 배치된 엘엠 레일(LM rail)에 끼워지게 구성된다. 상기 픽커 조립체(300)는 사용자의 요구에 따라 제1 및 제2 픽커(100,200)으로 구성된 1개의 픽커 조립체(300)의 개수를 원하는 개수만큼 설정하여 사용할 수 있지만, 여기서는 4개를 적용한 것을 나타내기로 한다.As shown in FIGS. 1 and 6, the plurality of picker assemblies 300 are each provided with an LM (Linear Motion) guide 250 spaced on a support 150, (250) is configured to be fitted in an LM rail disposed at an interval below the upper base plate (10). The number of the picker assemblies 300 constituted by the first and second pickers 100 and 200 can be set to a desired number of the picker assemblies 300 according to a user's request. do.

상기 복수개의 픽커 조립체(300)중 1개의 픽커 조립체(300)는 도 6에 도시된 바와 같이, 지지체(150)의 하부에 각기 제1픽커(100)와 제2픽커(200)가 간격을 두고 배치되고, 상기 지지체(150)의 중앙에는 연결축(160)이 형성되어 절첩부재(50)의 제2 조인트부(40)에 끼워지게 구성된다. 여기서, 상기 제1픽커(100)는 지지체(150)에 고정된 형태의 고정 픽커이고, 상기 제2픽커(200)는 지지체(150)에 이동 가능하게 배치된 이동 픽커이다. 그리고, 상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 각기 일측에 가이드축(235)에 끼워진 볼부시(225)가 각기 형성되므로 제1 및 제2 픽커(100,200)의 이동을 안정되게 수행할 수 있게 된다.6, one picker assembly 300 of the plurality of picker assemblies 300 has a first picker 100 and a second picker 200 spaced apart from each other at a lower portion of the support 150 And a connection shaft 160 is formed at the center of the support body 150 so as to be fitted to the second joint portion 40 of the folding member 50. The first picker 100 is a stationary picker fixed to the support 150 and the second picker 200 is a moveable picker movably disposed on the support 150. The first and second pickers 100 and 200 can be stably moved since the plurality of the picker assemblies 300 are each formed with the ball bushes 225 that are fitted to the guide shaft 235 at one side.

상기 제1픽커(100)는 도 6에 도시된 바와 같이, 지지체(150)의 하부 일측에 배치되며 사각형 형태로 구성된 픽커 몸체(105)와, 상기 픽커 몸체(105)의 내측에 배치되는 구동원인 모터(110)와, 상기 모터(110)의 일측에 배치된 축(114)에 설치되는 홈 센서(115)와, 일측이 모터(110)의 축(114)에 연결되고, 타측이 엘엠 레일(LM rail)(124)에 배치된 엘엠 가이드(LM guide)(126)와 연결되는 노즐 몸체(120)와, 상기 노즐 몸체(120)에 연결되며 일측에 댐핑 장치(122)를 구비한 노즐(130)로 구성된다. 상기 홈 센서(115)는 제1픽커(100)의 높이에 대한 원점을 확인하여 유지하기 위한 것이다. As shown in FIG. 6, the first picker 100 includes a picker body 105 disposed at a lower side of the support body 150 and configured in a rectangular shape, A motor 110 and a groove sensor 115 installed on a shaft 114 disposed on one side of the motor 110. The motor 110 is connected to a shaft 114 of the motor 110, A nozzle body 120 connected to the LM guide 126 disposed on the LM rail 124 and a nozzle 130 connected to the nozzle body 120 and having a damping device 122 on one side thereof, ). The groove sensor 115 is for identifying and maintaining the origin of the height of the first picker 100.

상기 제1픽커(100)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수개의 픽커조립체(300)에서 복수개의 제1픽커(#5 내지 #8)의 각각에 해당되고, 후술하는 제2픽커(200)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 제2픽커(#1 내지 #4)의 각각에 해당하게 된다. The first picker 100 corresponds to each of the plurality of first pickers # 5 to # 8 in the plurality of picker assemblies 300 as shown in FIGS. 3 and 4, The first and second pickers 200 and 200 correspond to the plurality of second pickers # 1 to # 4, respectively, as shown in FIGS.

상기 제1픽커(100)는 도 3에서 상부 베이스판(10)에 배치된 제1 모터(60)를 구동시키면 가동블럭(68)이 복수개의 제1픽커(100; #5 내지 #8)중 픽커(#7)에 연결되므로 픽커(#7)가 Y방향으로 이동하게 되면 픽커(#8)을 기준으로 픽커(#7,#6,#5) 펼쳐지게 되므로 픽커조립체(300)의 간격이 조절되게 된다. 여기서, 상기 픽커(#7,#6,#5)가 펼쳐지게 되면 대향되게 배치된 픽커(#3,#2,#1)도 따라서 펼쳐지게 된다. 도 6에서, 미설명 부호 135는 관통홀이고, 145는 케이블 가이드이다.3, the first picker 100 drives the first motor 60 disposed on the upper base plate 10 to move the movable block 68 between the first pickers 100 (# 5 to # 8) When the picker # 7 moves in the Y direction because it is connected to the picker # 7, the pickers # 7, # 6, and # 5 are unfolded based on the picker # . Here, when the pickers # 7, # 6, and # 5 are unfolded, the pickers # 3, # 2, and # 1 arranged to face each other are also unfolded. In Fig. 6, reference numeral 135 denotes a through hole, and 145 denotes a cable guide.

상기 제2픽커(200)는 지지체(150)의 일측에 배치된 엘엠 레일(LM rail)(210)과, 상기 엘엠 레일(210)을 따라서 이동하는 엘엠 가이드(LM guide)(220)와, 상기 엘엠 가이드(220)에 연결되어 엘엠 가이드(220)의 이동에 따라 연동하는 픽커 몸체(105)와, 상기 픽커 몸체(105)에 배치되는 구동원인 모터(110)와, 상기 모터(110)의 일측에 배치된 축(114)에 설치되는 홈 센서(115)와, 일측이 모터(110)의 축(114)에 연결되고, 타측이 엘엠 레일(LM rail)(124)에 배치된 엘엠 가이드(LM guide)(126)와 연결되는 노즐 몸체(120)와, 상기 노즐 몸체(120)에 연결되며 일측에 댐핑 장치(122)를 구비한 노즐(130)로 구성된다. The second picker 200 includes an LM rail 210 disposed at one side of the support 150, an LM guide 220 moving along the LM 210, A picker body 105 connected to the LM guide 220 and interlocked with the movement of the LM guide 220, a motor 110 serving as a driving source arranged on the picker body 105, (LM) 124 disposed on the LM rail 124, the other side of which is connected to the shaft 114 of the motor 110. The other end of the LM rail 124 is connected to the LM rail 124, a nozzle body 120 connected to the nozzle body 120 and a nozzle 130 connected to the nozzle body 120 and having a damping device 122 at one side thereof.

상기 엘엠 레일(124)의 상측에는 스프링(155)을 개재하여 고정부(165)가 배치된다. A fixing portion 165 is disposed on the upper side of the LM rail 124 via a spring 155.

상기 제2픽커(200)는 제2 모터 브라켓(75)에 배치된 제2 모터(70)를 구동시킴에 의해 이동하게 된다(즉, 도 1에서 제2 픽커(200)는 X방향으로 이동가능하게 구성되어 있다). The second picker 200 is moved by driving the second motor 70 disposed in the second motor bracket 75 (that is, in FIG. 1, the second picker 200 is movable in the X direction .

상기 제1 및 제2 모터(60,70)는 상기 복수개의 픽커 조립체(300)를 X 방향이나 Y 방향으로 이동시키기 위한 것이다. The first and second motors 60 and 70 are for moving the plurality of picker assemblies 300 in the X direction or the Y direction.

상기 제1 모터(60)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 베이스판(10)에 배치되고 중앙에 제1 볼스크류 축(62)을 구비하게 된다. 그리고, 상기 제1 볼스크류 축(62)에는 충격완화부(64)를 개재하여 복수개의 제1픽커(100) 중의 하나에 연결되는 가동블럭(68)이 배치된다. 여기서, 가동블럭(68)이 연결되는 제1픽커(100)는 #7 픽커에 해당하게 된다. 상기 가동블럭(68)은 제1 모터(60)의 구동에 의해 제1 볼스크류 축(62)을 따라 이동하게 되므로 복수개의 픽커 조립체(300)가 펼쳐지면서 픽커 조립체(300)간의 간격이 조절되게 된다.1 to 4, the first motor 60 is disposed on the upper base plate 10 and has a first ball screw shaft 62 at the center thereof. The first ball screw shaft 62 is provided with a movable block 68 connected to one of the plurality of first pickers 100 through an impact relieving portion 64. Here, the first picker 100 to which the movable block 68 is connected corresponds to the # 7 picker. Since the movable block 68 is moved along the first ball screw shaft 62 by the driving of the first motor 60 so that the plurality of the picker assemblies 300 are unfolded and the gap between the picker assemblies 300 is adjusted do.

상기 제2 모터(70)는 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상부 베이스판(10)의 측면에 설치된 제2 모터 브라켓(75)에 배치된다. 그리고, 상기 제2 모터(70)는 중앙에 제2 볼스크류 축(72)을 구비하며, 상기 제2 볼스크류 축(72)에는 누름부재(77)가 배치되어 픽커몸체(105)에 연결된다. 1 to 6, the second motor 70 is disposed on a second motor bracket 75 provided on a side surface of the upper base plate 10. [ The second motor 70 has a second ball screw shaft 72 at the center and a pressing member 77 is disposed on the second ball screw shaft 72 to be connected to the picker body 105 .

상기 제2 모터(70)를 구동시키게 되면 제2 볼스크류 축(72)이 이동하면서 누름부재(77)를 누르게 되면 누름부재(77)가 픽커몸체(105)에 연결되므로 픽커몸체(105)가 엘엠레일(210)에 배치된 엘엠 가이드(220)를 따라 이동하게 된다.When the second motor 70 is driven, the second ball screw shaft 72 moves and the pressing member 77 is pressed by the pressing member 77 to the picker body 105, And moves along the LM guide 220 disposed in the LM 210.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 핸들러용 픽커의 동작 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the handler picker of the present invention having the above-described structure will be described in detail as follows.

먼저, 사용자가 도 1에 도시된 픽커 조립체(300)를 X방향으로 동작시키고자 하면 제어부(도시되지 않음)에 의해 제1 모터(60)를 구동하게 된다. 제1 모터(60)가 구동하게 되면, 제1 볼스크류축(62)이 충격 완화부(62)와 연결된 가동블럭(68)을 도 1에 도시된 화살표 방향으로 동작시키게 된다. 상기 가동블럭(68)은 복수개의 제1픽커(100)중 픽커(#7)에 연결되므로 픽커(#7)가 이동하게 되면 도 2에 도시된 바와 같이, 절첩부재(50)가 펼쳐지면서 제1픽커(100)도 펼쳐지게 된다. First, when the user operates the picker assembly 300 shown in FIG. 1 in the X direction, the controller 60 drives the first motor 60 by a control unit (not shown). When the first motor 60 is driven, the first ball screw shaft 62 actuates the movable block 68 connected to the impact relieving portion 62 in the direction of the arrow shown in FIG. When the picker # 7 moves, the movable block 68 is connected to the picker # 7 of the plurality of first pickers 100, so that the folding member 50 is unfolded as shown in FIG. One picker 100 is also unfolded.

또한, 제1픽커(100)와 대향되게 배치된 제2픽커(200)의 각각에는 볼부시(225)가 배치되고 여기에 가이드축(235)이 연결되므로 제1 및 제2픽커(100,200)의 펼쳐지는 동작을 안정되게 안내하면서 수행하게 된다.Since the ball bushes 225 are disposed in each of the second pickers 200 disposed opposite to the first picker 100 and the guide shafts 235 are connected to the ball bushes 225, the first and second pickers 100 and 200 The operation is performed while stably guiding the unfolding operation.

사용자가 픽커 조립체(300)를 Y방향으로 동작시키고자 하면 제어부(도시되지 않음)에 의해 제2 모터(70)를 구동시키게 된다. When the user wishes to operate the picker assembly 300 in the Y direction, the second motor 70 is driven by a control unit (not shown).

제2 모터(70)가 구동하게 되면, 제2 볼스크류 축(72)이 이동하면서 누름부재(77)를 누르게 되면 누름부재(77)와 연결된 제2픽커(200)의 픽커몸체(105)가 이동하게 된다. 상기 제2픽커(200)의 픽커몸체(105)는 지지체(150)의 하부에 배치된 엘엠 레일(210)에 끼워진 엘엠 가이드(220)와 연결되므로 누름부재(77)의 동작에 상응하여 이동하게 된다(도 6에 도시된 화살표 방향 참조). When the second motor 70 is driven and the second ball screw shaft 72 moves while pressing the pressing member 77, the picker body 105 of the second picker 200 connected to the pressing member 77 . The picker body 105 of the second picker 200 is connected to the LM guide 220 inserted in the LM 210 disposed under the support 150 so that the picker body 105 moves according to the operation of the pressing member 77 (Refer to the arrow direction shown in Fig. 6).

한편, 복수개의 픽커 조립체(300)중 1개의 픽커 조립체(300)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2픽커(100,200)가 지지체(150)의 하부에 간격을 두고 배치된다. 상기 제1 및 제2픽커(100,200)의 개별적인 구동은 서로 유사하므로 단지 제1픽커(100)에 대하여 설명하기로 한다.As shown in FIG. 6, the first and second pickers 100 and 200 are disposed on the lower part of the support 150 at intervals, in one of the plurality of the picker assemblies 300. Since the first and second pickers 100 and 200 are similar to each other, only the first picker 100 will be described.

상기 제1픽커(100)는 제어부(도시되지 않음)에서 픽커몸체(105)의 내측에 배치된 모터(110)를 구동시키게 되면 축(114)에 연결된 노즐몸체(120)를 하강하게 되면서 반도체 소자(도시되지 않음)를 픽킹(Picking)하게 되고 다시 상승하여 소정위치로 이동하여 플레이싱(Placing)하게 된다. 상기 노즐몸체(120)는 일측이 모터(110)의 축(114)과 엘엠 레일(124)에 배치된 엘엠 가이드(126)에 상호 연결되므로 안정되게 노즐(130)을 하강 및 승강시킬 수 있다. 또한, 상기 노즐(130)의 하부 일측에는 댐핑장치(122)가 배치되어 반도체 소자(도시되지 않음)의 픽 앤드 플레이스(Pick and Place) 동작시 발생되는 에러를 줄일 수 있다. The first picker 100 moves down the nozzle body 120 connected to the shaft 114 by driving the motor 110 disposed inside the picker body 105 in a control unit (Not shown) is picked up, moved up again to a predetermined position, and is subjected to placing. Since the nozzle body 120 is connected to the axis 114 of the motor 110 and the LM guide 126 disposed on the LM rail 124, the nozzle body 120 can be lowered and moved up and down stably. In addition, a damping device 122 may be disposed at a lower side of the nozzle 130 to reduce an error occurring during a pick and place operation of a semiconductor device (not shown).

이상에서와 설명한 바와 같이 본 발명의 핸들러용 픽커는 절첩부재를 적용하여 복수개의 픽커조립체를 X방향으로 자유롭게 절첩(접거나 펼침)을 수행할 수 있는 이점이 있다. 또한, 제2 픽커를 엘엠 가이드 및 엘엠 레일을 이용하여 Y방향으로 이동시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, the handler picker of the present invention is advantageous in that a plurality of picker assemblies can be freely folded (folded or unfolded) in the X direction by applying the folding members. Further, there is an advantage that the second picker can be moved in the Y direction by using the LM guide and the LM rail.

본 발명의 핸들러용 픽커는 반도체 소자를 픽 앤드 플레이스(Pick and Place)하는 핸들러 및 이와 유사한 반도체 장비 분야에 널리 적용할 수 있다.The handler picker of the present invention can be widely applied to handlers for pick and place of semiconductor devices and similar semiconductor equipment field.

22,24: 제1 및 제2 링크 30,40: 제1 및 제2 조인트부
50: 절첩부재 60,70: 제1 및 제2 모터
100,200: 제1 및 제2픽커 105: 픽커 몸체
110: 모터 120: 노즐 몸체
130: 노즐 150: 지지체
160: 연결축 300: 픽커 조립체22, 24: first and second links 30, 40: first and second joints
50: folding members 60, 70: first and second motors
100, 200: first and second pickers 105: picker body
110: motor 120: nozzle body
130: nozzle 150: support
160: connecting shaft 300: picker assembly

Claims (9)

복수개의 제1 및 제2 링크(22,24)와, 상기 복수개의 제1 및 제2 링크(22,24)를 상호 연결하기 위한 복수개의 제1 및 제2 조인트부(30,40)로 이루어지는 절첩부재(50)와;
상기 절첩부재(50)와 연결되며, 각기 제1픽커(100)와 상기 제1픽커와 간격을 두고 배치되고 제1 픽커를 기준으로 X 방향이나 Y 방향으로 이동하는 제2픽커(200)를 가지며, 상기 절첩부재의 이동에 따라 간격이 조절되는 복수개의 픽커 조립체(300)와;
상기 복수개의 픽커 조립체를 X 방향이나 Y 방향으로 이동시키기 위한 제1 및 제2 모터(60,70)로 구성되며,
상기 절첩부재(50)의 제1 조인트부(30)는 핀(35)에 의해 체결되고, 제2 조인트부(40)는 간격을 두고 형성된 제1 및 제2 플랜지 베어링(32,34)의 사이에 복수개의 픽커 조립체의 지지체(150)에 배치된 연결축(160)과 체결핀(36)이 대향되게 끼워져 체결되고,
상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 각기 일측에 가이드축(235)에 끼워진 볼부시(225)가 형성되는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
A plurality of first and second links 22 and 24 and a plurality of first and second joint portions 30 and 40 for interconnecting the plurality of first and second links 22 and 24 A folding member 50;
And a second picker 200 connected to the folding member 50 and spaced apart from the first picker 100 and the first picker 100 and moving in the X direction or the Y direction with respect to the first picker, A plurality of picker assemblies 300 whose spacing is adjusted according to the movement of the folding member;
And first and second motors (60, 70) for moving the plurality of picker assemblies in X and Y directions,
The first joint portion 30 of the folding member 50 is fastened by a pin 35 and the second joint portion 40 is fastened between the first and second flange bearings 32, The coupling shaft 160 and the coupling pin 36, which are disposed on the support 150 of the plurality of picker assemblies,
Wherein each of the plurality of picker assemblies (300) has a ball bush (225) fitted to a guide shaft (235) at one side thereof.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 지지체(150)의 하부에 각기 제1픽커(100)와 제2픽커(200)가 간격을 두고 배치되고, 상기 지지체(150)의 중앙에는 연결축(160)이 형성되어 절첩부재(50)의 제2 조인트부(40)에 끼워지는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
The method according to claim 1,
The first picker 100 and the second picker 200 are spaced apart from each other at a lower portion of the support 150 and the connection shaft 160 is disposed at the center of the support 150. And is engaged with the second joint portion (40) of the folding member (50).
제1항에 있어서,
상기 복수개의 픽커 조립체(300)의 제1픽커(100)는,
지지체(150)의 일측에 배치된 픽커 몸체(105)와,
상기 픽커 몸체(105)에 배치되는 구동원인 모터(110)와,
상기 모터(110)의 일측에 배치된 축(114)에 설치되는 홈 센서(115)와,
일측이 모터(110)의 축(114)에 연결되고, 타측이 엘엠 레일(LM rail)(124)에 배치된 엘엠 가이드(LM guide)(126)와 연결되는 노즐 몸체(120)와,
상기 노즐 몸체(120)에 연결되며 일측에 댐핑 장치(122)를 구비한 노즐(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
The method according to claim 1,
The first picker (100) of the plurality of picker assemblies (300)
A picker body 105 disposed on one side of the support 150,
A motor 110 as a drive source disposed on the picker body 105,
A groove sensor 115 installed on a shaft 114 disposed on one side of the motor 110,
A nozzle body 120 having one side connected to the shaft 114 of the motor 110 and the other side connected to an LM guide 126 disposed on the LM rail 124,
And a nozzle (130) connected to the nozzle body (120) and having a damping device (122) at one side thereof.
제1항에 있어서,
상기 복수개의 픽커 조립체(300)의 제2픽커(200)는,
지지체(150)의 일측에 배치된 엘엠 레일(LM rail)(210)과,
상기 엘엠 레일(210)을 따라서 이동하는 엘엠 가이드(LM guide)(220)와,
상기 엘엠 가이드(220)에 연결되어 엘엠 가이드(220)의 이동에 따라 연동하는 픽커 몸체(105)와,
상기 픽커 몸체(105)에 배치되는 구동원인 모터(110)와,
상기 모터(110)의 일측에 배치된 축(114)에 설치되는 홈 센서(115)와,
일측이 모터(110)의 축(114)에 연결되고, 타측이 엘엠 레일(LM rail)(124)에 배치된 엘엠 가이드(LM guide)(126)와 연결되는 노즐 몸체(120)와,
상기 노즐 몸체(120)에 연결되며 일측에 댐핑 장치(122)를 구비한 노즐(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
The method according to claim 1,
The second picker (200) of the plurality of picker assemblies (300)
An LM rail 210 disposed on one side of the support 150,
An LM guide 220 moving along the LM 210,
A picker body 105 connected to the LM guide 220 and interlocked with the movement of the LM guide 220,
A motor 110 as a drive source disposed on the picker body 105,
A groove sensor 115 installed on a shaft 114 disposed on one side of the motor 110,
A nozzle body 120 having one side connected to the shaft 114 of the motor 110 and the other side connected to an LM guide 126 disposed on the LM rail 124,
And a nozzle (130) connected to the nozzle body (120) and having a damping device (122) at one side thereof.
제1항에 있어서,
상기 복수개의 픽커 조립체(300)는 상부 베이스판(10)의 하부에 간격을 두고 배치된 엘엠 레일(310)에 지지체(150)에 간격을 두고 배치된 엘엠 가이드(250)가 끼워지는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
The method according to claim 1,
The plurality of picker assemblies 300 may include an ELM guide 250 spaced from the support 150 in an ELM rail 310 spaced below the upper base plate 10 Picker for Handler.
제1항에 있어서,
상기 제1 모터(60)는 상부 베이스판(10)에 배치되고 중앙에 제1 볼스크류 축(62)을 구비하며, 상기 제1 볼스크류 축(62)에는 복수개의 제1 픽커 중의 하나에 연결되는 가동블럭(68)이 배치되는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
The method according to claim 1,
The first motor 60 is disposed on the upper base plate 10 and has a first ball screw shaft 62 at the center thereof. The first ball screw shaft 62 is connected to one of a plurality of first pickers And the movable block (68) is disposed on the movable block (68).
제7항에 있어서,
상기 가동블럭(68)은 제1 볼스크류 축(62)을 따라 이동하면서 복수개의 픽커 조립체가 펼쳐져서 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.
8. The method of claim 7,
Wherein the movable block (68) is moved along the first ball screw shaft (62) and a plurality of picker assemblies are unfolded to adjust the interval.
제1항에 있어서,
상기 제2 모터(70)는 제2 모터 브라켓(75)에 배치되고 중앙에 제2 볼스크류 축(72)을 구비하며, 상기 제2 볼스크류 축(72)에는 누름부재(77)가 배치되어 픽커몸체(105)에 연결되는 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커.

The method according to claim 1,
The second motor 70 is disposed in the second motor bracket 75 and has a second ball screw shaft 72 at the center thereof and a pressing member 77 is disposed on the second ball screw shaft 72 And is connected to the picker body (105).

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WO2022039337A1 (en) * 2020-08-20 2022-02-24 ㈜토니텍 Picker device having automatically adjustable pitch

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