KR101603145B1 - Method of fabricating for dual panel type organic electro-luminescent device - Google Patents

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    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 유기전계발광소자의 인캡슐레이션에 관한 것이다.

본 발명의 특징은 무기물질인 프릿으로 이루어진 프릿패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 봉지 및 합착하고, 특히, 제 1 기판 상에 프릿패턴과 접촉되는 요철형상의 금속패턴을 형성하는 것이다.

이를 통해, 제 1 및 제 2 기판을 더욱 단단하게 밀봉하게 됨으로써, 제 1 및 제 2 기판의 이격된 사이 공간으로 외부로부터 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원이 제 1 및 제 2 기판의 이격된 사이 공간으로 침투하는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 유기전계발광 다이오드의 열화를 방지하고 OLED의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시키게 된다.

또한, 금속패턴을 통해 프릿패턴의 소성공정 시, 프릿패턴 외측으로 조사되는 레이저 및 적외선을 반사시켜 표시영역 내의 표시소자에 악영향을 주는 것을 방지하게 되며, 금속패턴의 요철형상을 통해 프릿패턴으로 조사되는 레이저 및 적외선의 반사율을 더욱 향상시키게 됨으로써, 프릿패턴의 영역 별로 소성 정도가 달라지는 것을 완화시키게 된다.

Figure R1020090098423

유기전계발광소자, 프릿패턴, 금속패턴, 요철형상

The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an encapsulation of an organic electroluminescent device.

A feature of the present invention is to encapsulate and adhere the first and second substrates through a frit pattern made of an inorganic material and form a concave-convex metal pattern in contact with the frit pattern on the first substrate.

By sealing the first and second substrates more tightly therewith, contaminants such as moisture and gas can be separated from the outside by the spaced spaces between the first and second substrates, It is possible to prevent penetration into the interspace.

Therefore, deterioration of the organic light emitting diode can be prevented and the lifetime of the OLED can be extended. Also, since the first and second substrates are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the covalent bonding, the overall cost and material cost loss can be reduced and the production yield can be improved.

Further, in the firing process of the frit pattern through the metal pattern, it is possible to prevent the adverse effect on the display elements in the display area by reflecting the laser and the infrared rays irradiated to the outside of the frit pattern, The reflectivity of the laser and infrared ray is further improved, thereby alleviating the degree of firing by the region of the frit pattern.

Figure R1020090098423

An organic electroluminescent element, a frit pattern, a metal pattern,

Description

유기전계발광소자의 제조방법{Method of fabricating for dual panel type organic electro-luminescent device}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of manufacturing an organic electroluminescent device,

본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 유기전계발광소자의 인캡슐레이션에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly to encapsulation of an organic electroluminescent device.

최근까지, CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광소자(organic electro-luminescence device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다.Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, in recent years, flat panel displays such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic electro-luminescence device (OLED) Display devices have been widely studied and used.

위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Of the above flat panel display devices, an organic electroluminescent element (hereinafter referred to as OLED) is a self-luminous element and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element.

그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면 에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 표시소자가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. The liquid crystal display device is superior to the liquid crystal display device in viewing angle and contrast ratio, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a high response speed, and is resistant to external shocks It has advantages.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

이러한 특성을 갖는 OLED는 크게 패시브 매트릭스 타입(passive matrix type)과 액티브 매트릭스 타입(active matrix type)으로 나뉘어지는데, 패시브 매트릭스 타입은 신호선을 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하는 반면, 액티브 매트릭스 타입은 화소를 온/오프(on/off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 화소 별로 위치하도록 한다. OLEDs having such characteristics are largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a device is formed in a matrix form while crossing signal lines, whereas an active matrix type is a pixel A thin film transistor which is a switching element for on / off switching on / off.

최근, 패시브 매트릭스 타입은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있어, 고해상도나 대화면을 구현할 수 있는 액티브 매트릭스 타입 OLED의 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, passive matrix type has many limitations such as resolution, power consumption and lifetime, and active matrix type OLED capable of realizing high resolution and large screen is actively being studied.

도 1은 일반적인 액티브 매트릭스 타입 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a general active matrix type OLED. FIG.

도시한 바와 같이, OLED(10)는 제 1 기판(1)과, 제 1 기판(1)과 마주하는 제 2 기판(2)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(1, 2)은 서로 이격되어 이의 가장자리부를 실패턴(seal pattern : 20)을 통해 봉지되어 합착된다. As shown, the OLED 10 comprises a first substrate 1 and a second substrate 2 facing the first substrate 1, and the first and second substrates 1, And the marginal portion of the sealing member 20 is sealed and bonded together through a seal pattern 20.

이를 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(1)의 상부에는 각 화소영역 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연 결되는 제 1 전극(3)과 제 1 전극(3)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 유기발광층(5)과, 유기발광층(5)의 상부에는 제 2 전극(7)이 구성된다. In more detail, a driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region on the first substrate 1, a first electrode 3 connected to each driving thin film transistor DTr, An organic light emitting layer 5 for emitting light of a specific color and an organic light emitting layer 5 for forming a second electrode 7 are formed on the upper portion of the electrode 3.

유기발광층(5)은 적, 녹, 청의 색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소마다 적, 녹, 청색을 발광하는 별도의 유기물질(5a, 5b, 5c)을 패턴하여 사용한다.The organic light emitting layer 5 displays red, green, and blue colors. As a general method, separate organic materials 5a, 5b, and 5c emitting red, green, and blue light are patterned for each pixel.

이들 제 1 및 제 2 전극(3, 7)과 그 사이에 형성된 유기발광층(5)은 유기전계 발광다이오드를 이루게 된다. 이때, 이러한 구조를 갖는 OLED(10)는 제 1 전극(3)을 양극(anode)으로 제 2 전극(7)을 음극(cathode)으로 구성하게 된다. The first and second electrodes 3 and 7 and the organic light emitting layer 5 formed therebetween form an organic light emitting diode. In this case, the OLED 10 having such a structure constitutes the first electrode 3 as the anode and the second electrode 7 as the cathode.

그리고 제 2 기판(2)의 내부면에는 외부의 수분을 차단하는 흡습제(미도시)가 형성된다. On the inner surface of the second substrate 2, a moisture absorbent (not shown) for blocking moisture from the outside is formed.

한편, OLED(10)의 실패턴(20)은 통상적으로 유기 또는 고분자 재질로 이루어진 실란트로 이루어지고 있으며, 이러한 실란트는 그 내부 분자구조 특성상 분자와 분자 사이의 공극이 물분자가 충분히 이동할 수 있을 정도의 크기가 되고 있다. On the other hand, the seal pattern 20 of the OLED 10 is usually made of a sealant made of an organic or polymeric material. Such a sealant has a structure in which a gap between a molecule and a molecule is sufficiently large The size is becoming.

따라서 시간이 지남에 따라 외부의 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원 씰패턴(20)을 투과하여 OLED(10) 내부로 침투하게 되고, 이렇게 침투한 오염원들이 밀폐된 OLED(10) 내부에 존재할 경우 수분과 산소에 매우 민감한 유기전계발광 다이오드(E)의 특성을 변형시키게 된다.Therefore, as time passes, the contaminant seal pattern 20, such as moisture or gas, permeates into the OLED 10, and when the contaminants are present inside the sealed OLED 10 The characteristics of the organic electroluminescent diode (E) sensitive to moisture and oxygen are deformed.

즉, 외부로부터 침투된 오염원들은 유기전계발광 다이오드(E)의 유기발광층(5)으로 침투하게 되고, 이에, 유기발광층(5)은 오염원에 의해 유기발광층(5)의 발광특성이 저하될 수 있으며 유기발광층(5)의 수명을 단축시키게 된다. 또한, 일 부 영역을 오염원이 가림으로써 흑점이 발생하게 된다. That is, the contaminants infiltrated from the outside penetrate into the organic light emitting layer 5 of the organic electroluminescent diode E, so that the organic light emitting layer 5 may be deteriorated in the light emitting property of the organic light emitting layer 5 due to a contaminant source The lifetime of the organic light emitting layer 5 is shortened. In addition, black spots occur due to contamination of some areas.

따라서, 이러한 문제를 해결하고자 최근에는 무기물질인 프릿으로 이루어진 프릿(frit)패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 OLED(10)가 제안되었다.Therefore, in order to solve such a problem, an OLED 10 has recently been proposed which forms a frit pattern composed of an inorganic material frit.

이러한 프릿패턴은 그 재질 특성상 공극이 물분자보다 작아, 외부로부터 수분이 침투하는 것을 방지하는 측면에서 실란트 재질의 씰패턴보다 훨씬 우수하므로 수분 침투에 의한 열화 방지를 통한 상기 유기전계 발광소자의 수명을 연장시킬 수 있다. Such a frit pattern is much smaller than a sealant pattern of a sealant material in terms of preventing penetration of moisture from the outside due to its pore size being smaller than that of a water molecule due to its material properties. Therefore, the lifetime of the organic electroluminescent device Can be extended.

한편, 프릿패턴의 소성공정은 레이저 장치 등을 이용하여 레이저 및 적외선을 조사함으로써 이루어지는데, 이때, 레이저 및 적외선은 기판의 상부로부터 프릿패턴을 향해 조사됨으로써, 프릿패턴은 길이방향을 따라 영역 별로 레이저 및 적외선이 조사되는 강도차가 발생하게 된다. The frit pattern is fired by irradiating a laser and an infrared ray using a laser device or the like. At this time, the laser and the infrared rays are irradiated from the top of the substrate toward the frit pattern, And a difference in intensity in which infrared rays are irradiated.

이렇게, 프릿패턴에 조사되는 레이저 및 적외선의 강도 차에 따라 프릿패턴의 영역 별로 소성 정도가 달라지게 되고, 이를 통해 OLED의 합착력의 저하를 가져오게 된다.In this way, depending on the difference in the intensity of the laser and infrared rays irradiated to the frit pattern, the degree of firing varies depending on the region of the frit pattern, resulting in deterioration of the combined power of the OLED.

즉, OLED의 제 1 및 제 2 기판은 서로 이격되어 이의 가장자리부가 프릿패턴을 통해 봉지되어 합착됨에 따라, 프릿패턴의 영역 별로 소성 정도가 달라짐에 따라 제 1 및 제 2 기판의 박리 불량을 발생시키게 되고, 이는 공정 수율저하 및 OLED의 신뢰성을 저하시키게 된다. That is, since the first and second substrates of the OLED are separated from each other and the edges of the OLED are sealed and attached together through the frit pattern, the degree of firing is varied for each region of the frit pattern, thereby causing defective separation of the first and second substrates Which leads to lower process yield and lower reliability of the OLED.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 내부로 오염원이 침투할 수 없는 유기전계발광소자를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide an organic electroluminescent device in which a contamination source can not penetrate into the inside.

또한, 제 1 및 제 2 기판의 박리 불량을 방지하고, 공정 수율 및 신뢰성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다. A second object of the present invention is to prevent defective separation of the first and second substrates, and to improve process yield and reliability.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다수의 화소영역을 포함하는 표시영역과 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역이 정의된 제 1 기판과, 이와 마주하는 제 2 기판과; 상기 제 1 기판의 상기 화소영역에 형성된 구동 박막트랜지스터 및 유기전계발광 다이오드와; 상기 제 1 기판의 상기 비표시영역에 형성되며, 요철형상의 금속패턴과; 상기 제 2 기판의 가장자리를 따라 형성되며, 상기 금속패턴과 접촉하는 프릿(frit)패턴을 포함하며, 상기 프릿패턴은 레이저빔 조하에 의해 소성되어 경화되며, 상기 금속패턴은 상기 레이저빔을 반사시켜 상기 표시영역으로 레이저빔이 조사되는 것을 방지하는 역할을 하는 유기전계발광소자를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a display device including a first substrate on which a display region including a plurality of pixel regions and a non-display region surrounding the display region are defined, a second substrate facing the first substrate, A driving thin film transistor and an organic light emitting diode formed in the pixel region of the first substrate; A metal pattern formed on the non-display area of the first substrate, the metal pattern having a concavo-convex shape; And a frit pattern formed along an edge of the second substrate and in contact with the metal pattern, wherein the frit pattern is fired and hardened by a laser beam impingement, and the metal pattern reflects the laser beam The organic electroluminescent device has a function of preventing a laser beam from being irradiated to the display area.

이때,상기 금속패턴은 상기 프릿패턴과 동일한 형태를 가져 상기 비표시영역에서 끊김없이 형성되거나, 상기 비표시영역의 모서리부에서 끊김부를 구비하는 형태이며,상기 구동 박막트랜지스터는 반도체층과, 게이트전극, 소스 및 드레인전극을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 유기전계발광 다이오드는 상기 드레인전극 과 접촉한다. Here, the metal pattern may have the same shape as the frit pattern and may be formed without interruption in the non-display region, or may have a cut-off portion at a corner of the non-display region. The driving TFT includes a semiconductor layer, And a source electrode and a drain electrode, wherein the organic light emitting diode is in contact with the drain electrode.

여기서, 상기 금속패턴은 상기 소스 및 드레인 전극을 이루는 동일한 금속물질로 이루어지며, 상기 금속패턴의 하부에는 상기 층간절연막을 사이에 두고 상기 게이트전극을 이루는 동일한 금속물질로 이루어지는 금속층이 형성된다. Here, the metal pattern is made of the same metal material as the source and drain electrodes, and a metal layer made of the same metal material as the gate electrode is formed under the metal pattern with the interlayer insulating film interposed therebetween.

또한, 상기 프릿패턴은 무기물질인 프릿으로 이루어진다. Further, the frit pattern is made of frit which is an inorganic material.

또한, 본 발명은 표시영역과 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역의 정의된 제 1 기판의 상기 표시영역에 구동 박막트랜지스터와 유기전계발광 다이오드를 형성하며, 상기 비표시영역에 금속패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속패턴을 요철형상으로 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 가장자리를 따라 프릿패턴을 형성하는 단계와; 상기 프릿패턴을 상기 금속패턴의 상기 요철형상에 대응되도록, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 서로 마주시키는 단계와; 레이저 빔을 상기 프릿패턴에 대응하여 조사함으로써, 상기 프릿패턴이 상기 금속패턴의 상기 요철형상과 접합되도록 하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다. The present invention also provides a method of manufacturing a display device, comprising: forming a driving thin film transistor and an organic light emitting diode in a display region of a first substrate defining a display region and a non-display region surrounding the display region; ; Forming the metal pattern in a concavo-convex shape; Forming a frit pattern along an edge of a second substrate facing the first substrate; Facing the first substrate and the second substrate so that the frit pattern corresponds to the concavo-convex shape of the metal pattern; And irradiating a laser beam corresponding to the frit pattern so that the frit pattern is bonded to the irregular shape of the metal pattern.

여기서, 상기 요철형상은 상기 금속패턴을 식각액에 노출시켜 에칭함으로써 형성한다. Here, the irregular shape is formed by exposing the metal pattern to an etching liquid and etching the metal pattern.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 무기물질인 프릿으로 이루어진 프릿패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 봉지 및 합착하고, 특히, 제 1 기판 상에 프릿패 턴과 접촉되는 요철형상의 금속패턴을 형성함으로써, 제 1 및 제 2 기판을 더욱 단단하게 밀봉하게 됨으로써, 제 1 및 제 2 기판의 이격된 사이 공간으로 외부로부터 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원이 제 1 및 제 2 기판의 이격된 사이 공간으로 침투하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, the first and second substrates are sealed and attached together through a frit pattern made of frit which is an inorganic material, and in particular, a metal pattern The first and second substrates are sealed more tightly so that contaminants such as moisture and gas can be separated from the first substrate and the second substrate by the space between the first and second substrates, It is possible to prevent infiltration into the interspace between the electrodes.

따라서, 유기전계발광 다이오드의 열화를 방지하고 OLED의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시키게 되는 효과가 있다. Therefore, it is possible to prevent deterioration of the organic light emitting diode and prolong the lifetime of the OLED. Also, since the first and second substrates are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the covalent bonding, it is possible to reduce the overall cost and material cost loss and improve the production yield.

또한, 금속패턴을 통해 프릿패턴의 소성공정 시, 프릿패턴 외측으로 조사되는 레이저 및 적외선을 반사시켜 표시영역 내의 표시소자에 악영향을 주는 것을 방지하게 되며, 금속패턴의 요철형상을 통해 프릿패턴으로 조사되는 레이저 및 적외선의 반사율을 더욱 향상시키게 됨으로써, 프릿패턴의 영역 별로 소성 정도가 달라지는 것을 완화시키게 되는 효과가 있다. Further, in the firing process of the frit pattern through the metal pattern, it is possible to prevent the adverse effect on the display elements in the display area by reflecting the laser and the infrared rays irradiated to the outside of the frit pattern, The reflectivity of the laser and the infrared ray is further improved, thereby alleviating the degree of firing by the region of the frit pattern.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing an OLED according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 OLED(100)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)과, 제 1 기판(101)과 마주하며 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(102)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)은 서로 이격되어 있고, 이의 가장자리부는 프릿패턴(frit pattern : 300)을 통해 봉지되어 합착된다. The OLED 100 according to the present invention includes a first substrate 101 on which a driving and switching thin film transistor DTr and an organic light emitting diode E are formed, The first and second substrates 101 and 102 are spaced apart from each other. The edges of the first and second substrates 101 and 102 are sealed through a frit pattern 300, do.

여기서, 제 1 기판(101)의 표시영역(AA)에는 각 화소영역(P)의 경계에 서로 교차하며 게이트 및 데이터배선(206, 미도시)이 형성되어 있으며, 게이트배선(206) 또는 데이터배선(미도시)과 나란하게 전원배선(미도시)이 형성되어 있다. A gate and a data line 206 (not shown) are formed in the display region AA of the first substrate 101 so as to intersect each other at the boundary of each pixel region P, (Not shown) is formed in parallel with a power supply line (not shown).

또한, 다수의 각 화소영역(P)에는 스위칭 및 구동박막트랜지스터(미도시, DTr)가 형성되어 있으며, 이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(101)의 표시영역(AA) 내의 각 화소영역(P)에는 구동영역(DA) 및 스위칭영역(미도시)에 대응하여 반도체층(201)이 형성되는데, 반도체층(201)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(201a) 그리고 액티브영역(201a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)으로 구성된다. A switching and driving thin film transistor (not shown) (DTr) is formed in each of the plurality of pixel regions P to be described in more detail. Each of the pixel regions P in the display region AA of the first substrate 101 P is formed with a semiconductor layer 201 corresponding to a driving region DA and a switching region (not shown). The semiconductor layer 201 is made of silicon, and its central portion is composed of an active region 201a, And source and drain regions 201b and 201c doped with impurities at a high concentration on both sides of the region 201a.

이러한 반도체층(201) 상부로는 게이트절연막(203)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 203 is formed on the semiconductor layer 201.

표시영역(AA) 내의 각 화소영역(P)에는 게이트절연막(203) 상부로 반도체층(201)의 액티브영역(201a)에 대응하여 게이트전극(205)과 일방향으로 연장하는 게이트배선(206)이 형성되어 있다. A gate wiring 206 extending in one direction from the gate electrode 205 corresponding to the active region 201a of the semiconductor layer 201 is formed in each pixel region P in the display region AA Respectively.

또한, 게이트전극(205)과 게이트배선(206) 그리고 제 1 금속패턴(215) 상부 전면에 제 1 층간절연막(207a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(207a)과 그 하부의 게이트절연막(203)은 액티브영역(201a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 구비한다. A first interlayer insulating film 207a is formed on the entire upper surface of the gate electrode 205, the gate wiring 206 and the first metal pattern 215. At this time, the first interlayer insulating film 207a and the gate insulating film 207b The first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b expose the source and drain regions 201b and 201c on both sides of the active region 201a.

다음으로, 각 화소영역(P)에는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 포함하는 제 1 층간절연막(207a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(211, 213)이 형성되어 있다. The first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b are separated from each other on the first interlayer insulating film 207a including the first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b in each pixel region P, And source and drain electrodes 211 and 213 which are in contact with the source and drain regions 201b and 201c exposed through the source and drain regions 209a and 209b, respectively.

그리고, 각 화소영역(P)에는 소스 및 드레인전극(211, 213)과 두 전극(211, 213) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(207a) 상부로 드레인전극(213)을 노출시키는 드레인콘택홀(215)을 갖는 제 2 층간절연막(207b)이 형성되어 있다. In each pixel region P, a drain contact hole (not shown) is formed to expose the drain electrode 213 over the first interlayer insulating film 207a exposed between the source and drain electrodes 211 and 213 and the two electrodes 211 and 213 A second interlayer insulating film 207b is formed.

이때, 소스 및 드레인 전극(211, 213)과 이들 전극(211, 213)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 포함하는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(205)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. At this time, the semiconductor layer 201 including the source and drain electrodes 211 and 213 and the source and drain regions 201b and 201c in contact with the electrodes 211 and 213 and the gate insulating film 201 formed on the semiconductor layer 201 The gate electrode 203 and the gate electrode 205 constitute a driving thin film transistor DTr.

이때 도면에 나타나지 않았지만, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. Though not shown in the drawing, the switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.

그리고, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)는 도면에서는 반도체층(201)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. The switching and driving thin film transistor (not shown) DTr is shown as an example of a top gate type in which the semiconductor layer 201 is a polysilicon semiconductor layer. As a variation thereof, the amorphous Or may be formed of a bottom gate type made of silicon nitride.

또한, 제 2 층간절연막(207b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 그리고 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. The first electrode 111, the organic light emitting layer 113 and the second electrode 115 constituting the organic electroluminescent diode E are sequentially formed on the second interlayer insulating film 207b, Respectively.

제 1, 2 전극(111, 115)과 그 사이에 형성된 유기발광층(113)은 유기전계발광 다이오드(E)를 이루게 된다.The first and second electrodes 111 and 115 and the organic light emitting layer 113 formed therebetween form an organic light emitting diode E.

제 1 전극(111)은 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(213)과 연결된다.The first electrode 111 is connected to the drain electrode 213 of the driving thin film transistor DTr.

한편, OLED(100)는 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 이하 본 발명에서는 하부 발광방식을 일예로 설명하도록 하겠다. Meanwhile, the OLED 100 is divided into a top emission type and a bottom emission type according to the transmission direction of the emitted light. Hereinafter, the bottom emission type will be described as an example of the present invention.

이에, 제 1 전극(111)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하는 것이 바람직하다.Accordingly, the first electrode 111 is preferably formed of indium-tin-oxide (ITO), which is a relatively high work function value, to serve as an anode electrode.

그리고, 제 2 전극(115)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 비교적 일함수 값이 낮은 금속물질인 알루미늄(Al) 또는 알루미늄합금(AlNd)으로 이루어진다.The second electrode 115 is made of aluminum (Al) or an aluminum alloy (AlNd), which is a metal material having a relatively low work function value, in order to serve as a cathode.

따라서, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 1 전극(111)을 향해 방출되는 하부 발광방식으로 구동된다. Accordingly, the light emitted from the organic light emitting layer 113 is driven by the lower light emitting method, which is emitted toward the first electrode 111.

그리고, 유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층( hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.A hole injection layer, a hole transporting layer, an emitting material layer, an electron transporting layer, and an electron transporting layer may be used to increase the efficiency of light emission. And may be composed of multiple layers of an electron transporting layer and an electron injection layer.

따라서, OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(115)으로부터 인가된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton) 을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.Therefore, when a predetermined voltage is applied to the first electrode 111 and the second electrode 115 according to the selected color signal, the OLED 100 can selectively supply the positive holes injected from the first electrode 111 and the holes injected from the second electrode 115, The excitons are transported to the organic light emitting layer 113 to form excitons. When the excitons transit from the excited state to the ground state, light is emitted and emitted in the form of visible light.

이때, 발광된 빛은 투명한 제 1 전극(111)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, the emitted light passes through the transparent first electrode 111 and exits to the outside, so that the OLED 100 realizes an arbitrary image.

한편, 제 1 전극(111)은 각 화소영역(P)별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제 1 전극(111) 사이에는 뱅크(bank : 221)가 위치한다. The first electrode 111 is formed for each pixel region P and a bank 221 is located between the first electrodes 111 formed for each pixel region P. [

즉, 뱅크(221)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어, 뱅크(221)를 각 화소영역 별 경계부로 하여 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the banks 221 are formed in a matrix type of a grid structure as a whole on the substrate 101, and the first electrodes 111 are divided into the pixel regions P with the banks 221 as boundary portions for the respective pixel regions Respectively.

특히, 본 발명은 앞서 전술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 합착하는 과정에서, 이의 가장자리부를 프릿패턴(300)을 통해 봉지되어 합착된다.Particularly, in the process of attaching the first and second substrates 101 and 102, the edges of the first and second substrates 101 and 102 are sealed together through the frit pattern 300 as described above.

이를 통해, OLED(100)는 인캡슐레이션(encapsulation)된다. Thereby, the OLED 100 is encapsulated.

프릿패턴(300)은 표시영역(AA)을 밀봉시켜, 산소나 수분의 침투를 방지하기 위한 것으로, 표시영역(AA)의 가장자리를 두르는 비표시영역(NA)에 형성된다. The frit pattern 300 is formed in a non-display area NA covering the edge of the display area AA for sealing the display area AA and preventing penetration of oxygen and moisture.

전술한 바와 같이, 본 발명의 OLED(100)는 무기물질인 프릿으로 이루어진 프릿패턴(300)을 통해 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 봉지 및 합착함으로써, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 더욱 단단하게 밀봉하게 된다.As described above, the OLED 100 of the present invention encapsulates and adheres the first and second substrates 101 and 102 through the frit pattern 300 made of an inorganic material, 101, 102 are sealed more tightly.

이를 통해, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 이격된 사이 공간으로 외부로부터 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원이 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 이격된 사이 공간으로 침투하는 것을 방지할 수 있다. This allows a contamination source such as moisture or gas from the outside to penetrate into the space between the first and second substrates 101 and 102 apart from the outside by the space between the first and second substrates 101 and 102 Can be prevented.

따라서, 유기전계발광 다이오드(E)의 열화를 방지하고 OLED(100)의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시킨다.Therefore, deterioration of the organic electroluminescent diode (E) can be prevented and the lifetime of the OLED (100) can be extended. Also, since the first and second substrates 101 and 102 are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the cementation, the overall cost and material cost loss are reduced and the production yield is improved.

특히, 본 발명의 OLED는 프릿패턴과 접촉되는 제 2 금속패턴을 요철형상으로 형성함에 따라, 프릿패턴(300)을 경화시키는 소성공정시, 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 또는 적외선에 의해 표시영역(AA) 내에 구비된 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기발광층(113)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. In particular, in the OLED of the present invention, the second metal pattern to be in contact with the frit pattern is formed into a concave-convex shape, and therefore, when the frit pattern 300 is cured, It is possible to prevent the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) and the organic light emitting layer 113 provided in the region AA from being damaged.

이러한 프릿패턴(300)은 일반적으로 파우더형태의 유리원료를 의미하지만, 본 발명에서는 레이저 또는 적외선 흡수재, 유기바인더, 열팽창계수를 감소시키기 위한 필러(filler) 등이 포함된 페이스트 상태의 프릿이 소성 과정을 거쳐 경화된 상태를 의미한다. Although the frit pattern 300 generally refers to a glass raw material in the form of a powder, in the present invention, a paste-like frit containing a laser or an infrared absorber, an organic binder, a filler for reducing a thermal expansion coefficient, And then cured.

따라서, 프릿패턴(300)은 그 재질 특성상 공극이 물분자보다 작아, 외부로부터 수분이 침투하는 것을 방지하는 측면에서 기존의 유기 또는 고분자 재질의 씰패턴(도 1의 60)보다 훨씬 우수하므로 수분 침투에 의한 열화 방지를 통한 유기전계발광 다이오드(E)의 수명을 연장시킬 수 있다. Therefore, the frit pattern 300 is much smaller than water molecules in terms of the material properties thereof, and is far superior to the existing organic or polymer seal pattern (60 in FIG. 1) in terms of preventing moisture from penetrating from the outside, The lifetime of the organic electroluminescent diode E can be prolonged by preventing deterioration of the organic EL device.

특히, 본 발명의 OLED(100)는 프릿패턴(300)을 경화시키는 소성공정시, 프릿패턴(300)이 프릿패턴(300)은 길이방향을 따라 영역 별로 레이저 및 적외선(미도시)이 조사되는 강도차가 발생하게 됨에 따라 프릿패턴(300)의 영역 별로 소성 정도가 달라지는 것을 방지하게 된다. Particularly, in the OLED 100 of the present invention, the frit pattern 300 of the frit pattern 300 is irradiated with laser and infrared rays (not shown) along the longitudinal direction in the firing process for curing the frit pattern 300 As the intensity difference is generated, the firing degree of the frit pattern 300 is prevented from varying by region.

여기서, 도 3을 참조하여, 프릿패턴(300)에 의해 봉지 및 합착된 제 1 및 제 2 기판(101, 102)에 대해 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Here, referring to FIG. 3, the first and second substrates 101 and 102 sealed and joined together by the frit pattern 300 will be described in more detail.

도 3은 도 2의 프릿패턴이 형성된 비표시영역을 확대 도시한 단면도이다. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a non-display area where the frit pattern of FIG. 2 is formed.

도시한 바와 같이, 프릿패턴(300)은 표시영역(AA)의 가장자리를 두르는 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 비표시영역(NA)에 형성되고 있으며, 이때, 제 1 기판(101)에 있어서, 프릿패턴(300)의 하부에는 금속패턴(215, 219)이 구비되고 있다.The frit pattern 300 is formed in the non-display area NA of the first and second substrates 101 and 102 covering the edge of the display area AA, , The metal patterns 215 and 219 are provided under the frit pattern 300. [

따라서, 프릿패턴(300)은 제 1 기판(101)에 있어서는 금속패턴(215, 219)과 접촉하며, 제 2 기판(102)에 있어서는 제 2 기판(102) 내측면과 직접 접촉하며 형성된다. The frit pattern 300 is in contact with the metal patterns 215 and 219 in the first substrate 101 and in direct contact with the inner surface of the second substrate 102 in the second substrate 102.

이때, 금속패턴(215, 219)은 제 1 금속패턴(215)과 제 2 금속패턴(219)으로 이루어지는데, 제 1 금속패턴(215)은 각 화소영역(P)의 게이트배선(206) 및 게이트전극(205)을 형성한 동일한 금속물질로 이루어지는데, 일예로 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리티타늄(MoTi) 중 어느 하나로 이루어져 단일층 구조를 가질 수도 있으며, 또는 둘 이상의 금속물질로서 이중층 또는 삼중층 구조를 가질 수도 있다. The metal patterns 215 and 219 are formed of a first metal pattern 215 and a second metal pattern 219. The first metal pattern 215 is electrically connected to the gate wiring 206 and / And may be made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, molybdenum (Mo), and moly titanium (MoTi) May have a single layer structure, or may have a double layer or triple layer structure as two or more metal materials.

그리고, 제 2 금속패턴(219)은 각 화소영역(P)의 소스 및 드레인전극(211, 213)을 형성한 동일한 금속물질로 이루어지는데, 일예로 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리티타늄(MoTi) 중 어느 하나로 이루어져 단일층 구조를 가질 수도 있으며, 또는 둘 이상의 금속물질로서 이중층 또는 삼중층 구조를 가질 수도 있다. The second metal pattern 219 is made of the same metal material as the source and drain electrodes 211 and 213 of each pixel region P and may be formed of a metal such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd) (Cu), a copper alloy, molybdenum (Mo), and moly titanium (MoTi), and may have a single layer structure or two or more metal materials having a double layer structure or a triple layer structure.

이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(101)의 비표시영역(NA)에는 제 1 기판(101) 전면에 형성된 게이트절연막(203) 상부에 제 1 금속패턴(215)이 형성되어 있으며, 제 1 금속패턴(215)의 상부에는 제 1 기판(101)의 전면에 형성되는 제 1 층간절연막(207a)이 형성되고, 제 1 금속패턴(215)에 대응하여 제 1 층간절연막(207a) 상부에는 제 2 금속패턴(219)이 형성되어 있다. A first metal pattern 215 is formed on the gate insulating layer 203 formed on the entire surface of the first substrate 101 in the non-display area NA of the first substrate 101, A first interlayer insulating film 207a is formed on the entire surface of the first substrate 101 and a second interlayer insulating film 207b is formed on the first interlayer insulating film 207a corresponding to the first metal pattern 215. [ Two metal patterns 219 are formed.

이때, 제 1 금속패턴(215)은 생략될 수도 있다. At this time, the first metal pattern 215 may be omitted.

그리고, 제 2 금속패턴(219)은 프릿패턴(300)을 경화시키는 소성공정시, 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 및 적외선에 의해 표시영역(AA) 내에 구비된 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기발광층(113)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. The second metal pattern 219 is formed by a laser irradiated on the frit pattern 300 and a drive and switching thin film transistor DTr (not shown) provided in the display area AA by infrared rays during a firing process for hardening the frit pattern 300. [ (Not shown) and the organic luminescent layer 113 can be prevented from being damaged.

즉, 프릿패턴(300)의 소성공정은 레이저 및 적외선(미도시)을 조사함으로써 이루어지고 있는데, 레이저 및 적외선(미도시) 조사 시 오차에 의해 프릿패턴(300)이 형성된 부분에 대해서만 조사되지 않고, 그 외측으로 조사될 수 있다. That is, the firing process of the frit pattern 300 is performed by irradiating a laser and an infrared ray (not shown). The laser beam and the infrared ray (not shown) , And can be irradiated to the outside thereof.

이 경우, 레이저 및 적외선(미도시)은 매우 큰 에너지를 갖고 있으며, 이러한 레이저 및 적외선(미도시)이 표시영역(AA) 내에 구비된 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(도 2의 DTr, 미도시)와 유기발광층(도 2의 113)에 영향을 주어 소자 특성 저하 및 유기발광층(도 2의 113)의 발광 효율 등의 저하를 야기 시킬 수 있다. In this case, the laser and the infrared ray (not shown) have a very large energy, and the driving and switching thin film transistors (DTr in FIG. 2, not shown) provided in the display area AA and the laser and infrared It may affect the organic luminescent layer (113 in Fig. 2) to cause degradation of the device characteristics and lowering of the luminescent efficiency of the organic luminescent layer (113 in Fig. 2).

따라서, 이렇게 프릿패턴(300) 외측으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)을 반사시켜 표시영역(AA) 내의 표시소자에 악영향을 주는 것을 방지하기 위해 표 시영역(AA)에 구성된 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(도 2의 DTr, 미도시)의 소스 및 드레인전극(211, 213)을 형성 시에 함께 소스 및 드레인전극(211, 213)을 형성한 동일한 금속물질로 프릿패턴(300)의 폭보다 넓은 폭을 갖도록 제 2 금속패턴(219)을 형성하는 것이다. Therefore, in order to prevent the laser and the infrared ray (not shown) irradiated outside the frit pattern 300 from being reflected to adversely affect the display elements in the display area AA, the driving and switching thin film formed in the display area AA The same metal material in which the source and drain electrodes 211 and 213 are formed together when forming the source and drain electrodes 211 and 213 of the transistor (DTr in FIG. 2, not shown) is wider than the width of the frit pattern 300 And the second metal pattern 219 is formed to have a width.

특히, 본 발명의 제 2 금속패턴(219)은 오목부와 볼록부로 이루어지는 요철형상(219a)으로 형성하는데, 이는 제 2 금속패턴(219)과 프릿패턴(300)과의 접착면적을 넓혀, 제 2 금속패턴(219)과 프릿패턴(300)과의 접착력을 더욱 향상시키게 된다.Particularly, the second metal pattern 219 of the present invention is formed of a concave-convex shape 219a composed of a concave portion and a convex portion. This enlarges the bonding area between the second metal pattern 219 and the frit pattern 300, The adhesion between the second metal pattern 219 and the frit pattern 300 is further improved.

또한, 이렇게 제 2 금속패턴(219)을 통해 접착력을 향상시키는 동시에 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)의 반사율을 더욱 향상시키게 된다. In addition, through the second metal pattern 219, the adhesive force is improved, and the reflectivity of the laser and the infrared ray (not shown) irradiated to the frit pattern 300 is further improved.

이렇게, 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)의 반사율을 향상시킴으로써, 프릿패턴(300)으로 높은 에너지의 레이저 및 적외선(미도시)이 조사되도록 하는 것이다. In this manner, by increasing the reflectance of the laser beam and the infrared ray (not shown) irradiated by the frit pattern 300, the frit pattern 300 is irradiated with a laser of high energy and an infrared ray (not shown).

따라서, 기존의 프릿패턴(300)의 길이방향을 따라 영역 별로 레이저 및 적외선(미도시)이 조사되는 강도차가 발생하게 됨에 따라 프릿패턴(300)의 영역 별로 소성 정도가 달라지는 것을 완화시키게 된다. Accordingly, a difference in intensity in which the laser and the infrared ray (not shown) are irradiated along the longitudinal direction of the conventional frit pattern 300 is generated, thereby alleviating the degree of firing by the region of the frit pattern 300.

이를 통해, OLED(100)의 합착력이 저하되는 것을 방지하게 되고, 이를 통해 공정 수율 향상 및 OLED(100)의 신뢰성을 향상시키게 된다. As a result, the bonding strength of the OLED 100 is prevented from being lowered, thereby improving the process yield and improving the reliability of the OLED 100.

한편, 제 1 및 제 2 금속패턴(215, 219)이 프릿패턴(300)이 형성된 비표시영 역(NA)에 일정 폭을 가지며 형성되는데, 이러한 제 1 및 제 2 금속패턴(215, 219)은 비표시영역(NA)내에서 끊김 없이 형성될 수도 있으며, 제 1 기판(101)의 모서리부에서 끊김부(미도시)를 갖도록 형성할 수도 있다. The first and second metal patterns 215 and 219 are formed to have a constant width in the non-display area NA where the frit pattern 300 is formed. The first and second metal patterns 215 and 219 (Not shown) in the non-display area NA or may have a cut-off part (not shown) at the corner of the first substrate 101. [

이하, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)의 인캡슐레이션 공정에 대해 설명하도록 하겠다. Hereinafter, the encapsulation process of the OLED 100 according to the embodiment of the present invention will be described.

도 4a ~ 4e는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 인캡슐레이션의 제조 단계별 공정 단면도이다. 4A to 4E are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing encapsulation of an OLED according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 4a에 도시한 바와 같이, 제 1 기판(101)의 표시영역(AA) 내의 화소영역(P)에 비정질 실리콘을 증착하여 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이에 대해 레이저 빔을 조사하거나 또는 열처리를 실시하여 상기 비정질 실리콘층을 폴리실리콘층(미도시)으로 결정화시킨다. 4A, amorphous silicon is deposited on the pixel region P in the display region AA of the first substrate 101 to form an amorphous silicon layer (not shown), and a laser beam And the amorphous silicon layer is crystallized by a polysilicon layer (not shown).

이후, 마스크 공정을 실시하여 폴리실리콘층(미도시)을 패터닝하여 순수 폴리실리콘 상태의 반도체층(201)을 형성한다. 이때 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하기 전에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 절연기판(101) 전면에 증착함으로써 버퍼층(미도시)을 형성할 수도 있다. Thereafter, a mask process is performed to pattern a polysilicon layer (not shown) to form a semiconductor layer 201 in a pure polysilicon state. A buffer layer (not shown) may be formed by depositing an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x) on the entire surface of the insulating substrate 101 before forming an amorphous silicon layer (not shown) .

다음으로, 순수 폴리실리콘의 반도체층(201) 위로 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 제 1 기판(101)의 전면에 게이트절연막(203)을 형성한다.Next, silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the semiconductor layer 201 of pure polysilicon to form a gate insulating film 203 on the entire surface of the first substrate 101.

이때, 게이트절연막(203)은 표시영역(AA)의 가장자리를 두르는 비표시영역(NA)에도 형성된다.  At this time, the gate insulating film 203 is also formed in the non-display area NA covering the edge of the display area AA.

이후, 화소영역(P)의 게이트절연막(203) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 반도체층(201)의 중앙부에 대응하여 게이트전극(205)을 형성한다.Thereafter, a low resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), or copper alloy is deposited on the gate insulating film 203 of the pixel region P to form a first metal layer And the gate electrode 205 is formed corresponding to the central portion of the semiconductor layer 201 by performing a mask process.

이때, 비표시영역(NA)의 게이트절연막(203) 상부에도, 제 1 금속층(미도시)과 동일한 물질을 증착한 후, 마스크 공정을 진행하여 제 1 금속패턴(215)을 형성한다. At this time, the same material as the first metal layer (not shown) is also deposited on the gate insulating film 203 of the non-display area NA, and then the first metal pattern 215 is formed by performing the mask process.

다음, 게이트전극(205)을 블록킹 마스크로 이용하여 기판(101) 전면에 불순물 즉, 3가 원소 또는 5가 원소를 도핑함으로써 반도체층(201) 중 게이트전극(205) 외측에 위치한 부분에 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 이루도록 하고, 도핑이 방지된 게이트전극(205)에 대응하는 부분은 순수 폴리실리콘의 액티브영역(201a)을 이루도록 한다. Next, an impurity, that is, a trivalent element or a pentavalent element is doped on the entire surface of the substrate 101 by using the gate electrode 205 as a blocking mask, thereby forming impurities in a portion of the semiconductor layer 201 located outside the gate electrode 205 Doped source and drain regions 201b and 201c, and a portion corresponding to the doped gate electrode 205 forms an active region 201a of pure polysilicon.

다음으로 화소영역(P)내에 반도체층(201)이 형성된 기판(101) 전면에 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질을 증착하여 전면에 제 1 층간절연막(207a)을 형성한다. Next, a first interlayer insulating film (207a) on the front by depositing an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2) in front of the semiconductor layer substrate 101, 201 is formed in the pixel regions (P) .

그리고, 화소영역(P) 내의 제 1 층간절연막(207a)은 마스크 공정을 진행하여 제 1 층간절연막(207a)과 하부의 게이트절연막(203)을 동시 또는 일괄 패터닝함으로써 반도체층(201)의 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 각각 노출시키는 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(209a, 209b)을 형성한다.The first interlayer insulating film 207a in the pixel region P is subjected to a mask process to simultaneously or collectively pattern the first interlayer insulating film 207a and the lower gate insulating film 203 to form a source and a drain of the semiconductor layer 201. [ The first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b are formed to expose the drain regions 201b and 201c, respectively.

이후, 화소영역(P) 내의 제 1 층간절연막(207a) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr) 및 몰리브덴(Mo) 중 하나를 증착하여 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(209a, 209b)을 통해 소스 및 드레인영역(201b, 201c)과 접촉하는 소스 및 드레인전극(211, 213)을 형성한다. Thereafter, a metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, chromium (Cr), and molybdenum (Mo) is formed on the first interlayer insulating film 207a in the pixel region A second metal layer (not shown) is formed by depositing one of the first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b on the first and second semiconductor layer contact holes 209a and 209b, Source and drain electrodes 211 and 213 are formed.

여기서, 반도체층(201)과 게이트절연막(203)과 게이트전극(205)과 제 1 층간절연막(207a)과 서로 이격하는 소스 및 드레인전극(211, 213)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이룬다. Here, the source and drain electrodes 211 and 213, which are spaced apart from the semiconductor layer 201, the gate insulating film 203, the gate electrode 205 and the first interlayer insulating film 207a, constitute a driving thin film transistor DTr.

이때, 비표시영역(NA)의 제 1 층간절연막(207a) 상부에도, 제 2 금속층(미도시)과 동일한 물질을 증착한 후, 마스크 공정을 진행하여 제 2 금속패턴(219)을 형성한다. At this time, the same material as the second metal layer (not shown) is also deposited on the first interlayer insulating film 207a of the non-display area NA, and then the second metal pattern 219 is formed by performing the mask process.

다음으로 소스 및 드레인전극(211, 213)이 형성된 제 1 기판(101)의 표시영역(AA) 전면에 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB) 등의 유기절연물질을 도포하고 마스크공정을 통해 패터닝함으로써, 제 2 층간절연막(207b)을 형성한다. Next, an organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB) is coated on the entire surface of the display area AA of the first substrate 101 on which the source and drain electrodes 211 and 213 are formed, The second interlayer insulating film 207b is formed.

이때, 제 2 층간절연막(207b)은 드레인전극(213)을 노출하는 드레인전극 콘택홀(215)을 가진다. At this time, the second interlayer insulating film 207b has a drain electrode contact hole 215 exposing the drain electrode 213.

다음으로, 제 2 층간절연막(207b)의 상부로 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 일 구성소자로써 양극(anode)을 이루는 제 1 전극(111)을 형성한다. Next, a first electrode 111 constituting an anode is formed as a component constituting the organic electroluminescent diode E on the second interlayer insulating film 207b.

다음으로, 제 1 전극(111)의 상부에 감광성 유기절연재질 예를 들면 블랙 수 지, 그래파이트 파우더(graphite powder), 그라비아 잉크, 블랙 스프레이, 블랙 에나멜 중 하나를 도포하고 이를 패터닝함으로써 제 1 전극(111) 상부로 뱅크(221)를 형성한다. Next, one of a photosensitive organic insulating material such as black resin, graphite powder, gravure ink, black spray, and black enamel is coated on the first electrode 111 and patterned to form a first electrode 111).

뱅크(221)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어 화소영역 간을 구분하게 된다.The banks 221 are formed in a matrix type of a lattice structure as a whole on the substrate 101 to distinguish between pixel regions.

다음으로, 뱅크(221) 상부에 유기발광물질을 도포 또는 증착하여 유기발광층(113)을 형성한다. Next, the organic light emitting layer 113 is formed by applying or vapor-depositing an organic light emitting material on the banks 221.

이때 도면에 나타나지 않았지만, 유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층( hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성할 수도 있다.Although not shown in the drawing, the organic light emitting layer 113 may be formed of a single layer made of a light emitting material. In order to increase the light emitting efficiency, a hole injection layer, a hole transporting layer, layer, an electron transporting layer, and an electron injection layer.

다음으로, 유기발광층(113) 상부에 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착한 제 2 전극(115)을 형성함으로써, 유기전계발광 다이오드(E)를 완성하게 된다.Next, a second electrode 115, on which a transparent conductive material is deposited thickly, is formed on a semitransparent metal film on which a low-work function metal material is thinly deposited on the organic light emitting layer 113, thereby forming an organic light emitting diode (E) Is completed.

다음으로, 도 4b에 도시한 바와 같이, 비표시영역(NA)에 형성된 제 2 금속패턴(219)을 요철형상(219a)으로 형성한다. Next, as shown in FIG. 4B, the second metal pattern 219 formed in the non-display area NA is formed into the concavo-convex shape 219a.

요철형상(219a)은 에칭(etching)처리 공정에 의해 형성되며, 이러한 요철형상(219a)은 오목부와 볼록부로 이루어진다. The concave-convex shape 219a is formed by an etching process, and the concave-convex shape 219a is composed of a concave portion and a convex portion.

이로써, OLED(도 2의 100)의 제 1 기판(101)이 완성된다. Thereby, the first substrate 101 of the OLED (100 in Fig. 2) is completed.

다음으로, 도 4c에 도시한 바와 같이 제 2 기판(102)의 내측면 즉, 제 1 기판(도 4b의 101)과 합착 과정에서 제 1 기판(도 4b의 101) 상에 형성된 유기전계발광 다이오드(도 4b의 E)를 향하는 일면에, 무기물질이 주성분인 프릿 페이스트를 디스펜싱 장치를 이용하여 끊김없이 배선 형태로 도포하여, 제 2 기판(102)의 비표시영역(NA)의 가장자리를 테두리하는 프릿패턴(300)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4C, an organic light emitting diode (OLED) formed on the first substrate (101 in FIG. 4B) in the process of bonding with the inner surface of the second substrate 102, (E in Fig. 4B), a frit paste containing an inorganic material as a main component is applied continuously in a wiring form using a dispensing apparatus to form the edge of the non-display area NA of the second substrate 102, A frit pattern 300 is formed.

이때, 프릿 페이스트는 디스펜싱 장치를 통해 디스펜싱이 가능하도록 하기 위해 주성분인 프릿 이외에 점성을 가지며 휘발 특성을 갖는 유기물질을 포함하도록 하는 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the frit paste includes an organic material having a viscosity and a volatility characteristic in addition to the frit as a main component in order to enable dispensing through the dispensing device.

다음으로 도 4d에 도시한 바와 같이, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 유기전계발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)과 프릿패턴(300)이 형성된 제 2 기판(102)을 서로 마주하도록 위치시킨 후, 제 1 기판(101) 상에 형성된 제 2 금속패턴(219)과 제 2 기판(102) 상에 형성된 프릿패턴(300)이 서로 접촉되도록 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102)을 합착한다. Next, as shown in FIG. 4D, the first substrate 101 on which the driving thin film transistor DTr and the organic light emitting diode E are formed and the second substrate 102 on which the frit pattern 300 is formed face each other The first substrate 101 and the second substrate 102 are formed so that the second metal pattern 219 formed on the first substrate 101 and the frit pattern 300 formed on the second substrate 102 are in contact with each other, 102).

이때, 프릿패턴(300)은 제 2 금속패턴(219)의 요철형상(219a)과 접촉된다. At this time, the frit pattern 300 is brought into contact with the concave-convex shape 219a of the second metal pattern 219.

다음으로 도 4e에 도시한 바와 같이, 프릿패턴(300)에 대응하여 레이저 장치(400)를 이용하여 레이저빔(LB)을 조사함으로써, 프릿패턴(300)을 순간적으로 용융시켰다가 응고시켜 프릿패턴(300)이 제 2 금속패턴(219)의 요철형상(219a)과 접합되도록 함으로써, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)를 완성하게 된다. Next, as shown in FIG. 4E, the frit pattern 300 is instantaneously melted and coagulated by irradiating the laser beam LB using the laser device 400 corresponding to the frit pattern 300, The OLED 100 according to the embodiment of the present invention is completed by joining the first metal pattern 300 and the concave and convex shape 219a of the second metal pattern 219. [

이 경우, 프릿패턴(300)이 분자간 공극이 물분자보다 훨씬 작아 수분의 통과를 원천적으로 방지함으로써, 이 같은 물질로 이루어진 프릿패턴(300)은 완벽한 투 습 차단용 패턴을 이루게 된다.In this case, since the intermolecular voids of the frit pattern 300 are much smaller than the water molecules, the frit pattern 300 made of such a material can completely prevent moisture from passing therethrough.

따라서, 본 발명의 OLED(100)는 무기물질인 프릿으로 이루어진 프릿패턴(300)을 통해 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 봉지 및 합착함으로써, 유기전계발광 다이오드(E)의 열화를 방지하고 OLED(100)의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시키게 된다. Therefore, the OLED 100 according to the present invention encapsulates and bonds the first and second substrates 101 and 102 through the frit pattern 300 made of an inorganic material, so that deterioration of the organic electroluminescent diode E can be prevented And the lifetime of the OLED 100 can be prolonged. Further, since the first and second substrates 101 and 102 are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the covalent bonding, the overall cost and material cost loss can be reduced and the production yield can be improved.

또한, 본 발명의 OLED(100)는 제 1 기판(101) 상에 프릿패턴(300)과 접촉되는 금속패턴(215, 219)을 형성함으로써, 프릿패턴(300)의 소성공정 시, 프릿패턴(300) 외측으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)을 반사시켜 표시영역(AA) 내의 표시소자에 악영향을 주는 것을 방지하게 된다.  The OLED 100 according to the present invention can be manufactured by forming the metal patterns 215 and 219 on the first substrate 101 in contact with the frit pattern 300 so that the frit pattern 300 300 and the infrared rays (not shown) are reflected to prevent the display elements in the display area AA from adversely affecting the display elements.

특히, 프릿패턴과 직접 접촉되는 제 2 금속패턴을 요철형상(330)으로 형성함으로써, 제 2 기판(102)과 프릿패턴(300)의 접착력을 향상시키는 동시에, 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)의 반사율을 더욱 향상시키게 된다. Particularly, by forming the second metal pattern, which is in direct contact with the frit pattern, with the projections and depressions 330, adhesion strength between the second substrate 102 and the frit pattern 300 can be improved, And the reflectance of infrared rays (not shown).

이렇게, 프릿패턴(300)으로 조사되는 레이저 및 적외선(미도시)의 반사율을 향상시킴으로써, 프릿패턴(300)으로 높은 에너지의 레이저 및 적외선(미도시)이 조사되도록 하여, 기존의 프릿패턴(300)의 길이방향을 따라 영역 별로 레이저 및 적외선(미도시)이 조사되는 강도차가 발생하게 됨에 따라 프릿패턴(300)의 영역 별로 소성 정도가 달라지는 것을 완화시키게 된다.By improving the reflectivity of the laser and the infrared ray (not shown) irradiated by the frit pattern 300, the laser and the infrared ray (not shown) of high energy are irradiated to the frit pattern 300, (Not shown) is irradiated to each region along the longitudinal direction of the frit pattern 300, thereby alleviating the degree of firing by the region of the frit pattern 300.

본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 schematically shows a cross section of a general active matrix OLED; FIG.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view schematically illustrating an OLED according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 단면도. 3 is an enlarged cross-sectional view of part of Fig.

도 4a ~ 4e는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 인캡슐레이션의 제조 단계별 공정 단면도.FIGS. 4a to 4e are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing an encapsulation of an OLED according to an embodiment of the present invention;

Claims (9)

다수의 화소영역을 포함하는 표시영역과 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역이 정의된 제 1 기판과, 이와 마주하는 제 2 기판과; A display device comprising: a first substrate on which a display region including a plurality of pixel regions and a non-display region surrounding the display region are defined; a second substrate facing the first substrate; 상기 제 1 기판의 상기 화소영역에 배치된 구동 박막트랜지스터 및 유기전계발광 다이오드와; A driving thin film transistor and an organic light emitting diode disposed in the pixel region of the first substrate; 상기 제 1 기판의 상기 비표시영역에 배치되는 요철형상의 금속패턴과; A concave-convex metal pattern disposed in the non-display area of the first substrate; 상기 제 2 기판의 가장자리를 따라 배치되며, 상기 금속패턴과 접촉하는 프릿(frit)패턴을 포함하고,And a frit pattern disposed along an edge of the second substrate and in contact with the metal pattern, 상기 금속패턴은 상기 프릿패턴 보다 넓은 폭을 갖는 유기전계발광소자.Wherein the metal pattern has a wider width than the frit pattern. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 금속패턴은 상기 프릿패턴을 따라 상기 비표시영역에 배치되는 유기전계발광소자. Wherein the metal pattern is disposed in the non-display region along the frit pattern. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 금속패턴은 상기 프릿패턴을 따라 배치되되, 상기 비표시영역의 모서리부에서 오픈 영역을 구비하는 유기전계발광소자. Wherein the metal pattern is disposed along the frit pattern and includes an open region at an edge portion of the non-display region. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 구동 박막트랜지스터는 반도체층과, 게이트전극, 소스 및 드레인전극을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 유기전계발광 다이오드는 상기 드레인전극과 접촉하는 유기전계발광소자. Wherein the driving thin film transistor includes a semiconductor layer, a gate electrode, a source and a drain electrode, and the organic light emitting diode is in contact with the drain electrode. 제 4 항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 금속패턴은 상기 소스 및 드레인 전극을 이루는 동일한 금속물질로 이루어지는 유기전계발광소자.Wherein the metal pattern is made of the same metal material as the source and drain electrodes. 제 5 항에 있어서, 6. The method of claim 5, 상기 금속패턴의 하부에는 층간절연막을 사이에 두고 상기 게이트전극을 이루는 동일한 금속물질로 이루어지는 금속층이 형성되는 유기전계발광소자. And a metal layer made of the same metal material as the gate electrode is formed under the metal pattern with an interlayer insulating film interposed therebetween. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 프릿패턴은 무기물질로 이루어진 유기전계발광소자. Wherein the frit pattern is made of an inorganic material. 표시영역과 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역의 정의된 제 1 기판의 상기 표시영역에 구동 박막트랜지스터와 유기전계발광 다이오드를 형성하며, 상기 비표시영역에 금속패턴을 형성하는 단계와;Forming a drive thin film transistor and an organic light emitting diode in the display region of the first substrate, the display region and the non-display region surrounding the display region, and forming a metal pattern in the non-display region; 상기 금속패턴을 요철형상으로 형성하는 단계와; Forming the metal pattern in a concavo-convex shape; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 가장자리를 따라 상기 금속패턴 보다 좁은 폭을 갖는 프릿패턴을 형성하는 단계와; Forming a frit pattern having a width narrower than the metal pattern along an edge of a second substrate facing the first substrate; 상기 프릿패턴을 상기 금속패턴의 상기 요철형상에 대응되도록, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 서로 마주시키는 단계와; Facing the first substrate and the second substrate so that the frit pattern corresponds to the concavo-convex shape of the metal pattern; 레이저 빔을 상기 프릿패턴에 대응하여 조사함으로써, 상기 프릿패턴이 상기 금속패턴의 상기 요철형상과 접합되도록 하는 단계So that the frit pattern is bonded to the concavo-convex shape of the metal pattern by irradiating the laser beam corresponding to the frit pattern 를 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법.Wherein the organic electroluminescent device comprises a first electrode and a second electrode. 제 8 항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 요철형상은 상기 금속패턴을 식각액에 노출시켜 에칭함으로써 형성하는 유기전계발광소자의 제조방법.Wherein the concave-convex shape is formed by exposing the metal pattern to an etching liquid and etching the metal pattern.
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