KR101625560B1 - Fabricating Method of organic luminescence emitting device - Google Patents
Fabricating Method of organic luminescence emitting device Download PDFInfo
- Publication number
- KR101625560B1 KR101625560B1 KR1020100071683A KR20100071683A KR101625560B1 KR 101625560 B1 KR101625560 B1 KR 101625560B1 KR 1020100071683 A KR1020100071683 A KR 1020100071683A KR 20100071683 A KR20100071683 A KR 20100071683A KR 101625560 B1 KR101625560 B1 KR 101625560B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- metal
- seal pattern
- substrate
- pattern
- metal seal
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8423—Metallic sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/02—Details
- H05B33/04—Sealing arrangements, e.g. against humidity
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
Abstract
본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것이며, 특히 유기전계발광소자의 인캡슐레이션에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 OLED를 솔벤트가 제거된 금속씰패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 밀봉하는 것이다.
이를 통해, 유기전계발광 다이오드의 열화를 방지하고 OLED의 수명을 연장할 수 있으며, 제 1 및 제 2 기판을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시키게 된다. The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly to encapsulation of an organic electroluminescent device.
A feature of the present invention is sealing the OLED to the first and second substrates through a solvent-removed metal seal pattern.
As a result, deterioration of the organic light emitting diode can be prevented and the lifetime of the OLED can be extended. Also, since the first and second substrates are firmly adhered to each other to reduce the defect rate generated after the adhesion, .
Description
본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것이며, 특히 유기전계발광소자의 인캡슐레이션에 관한 것이다.
The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly to encapsulation of an organic electroluminescent device.
최근까지, CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광소자(organic luminescence emitting device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다. Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, in recent years, flat panel displays such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic luminescence emitting device (OLED) Devices have been widely studied and used.
위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Of the above flat panel display devices, an organic electroluminescent element (hereinafter referred to as OLED) is a self-luminous element and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element.
그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has a better viewing angle and contrast ratio than liquid crystal display devices, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, is resistant to external impacts due to its solid internal components, It has advantages.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.
이러한 특성을 갖는 OLED는 크게 패시브 매트릭스 타입(passive matrix type)과 액티브 매트릭스 타입(active matrix type)으로 나뉘어지는데, 패시브 매트릭스 타입은 신호선을 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하는 반면, 액티브 매트릭스 타입은 화소를 온/오프(on/off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 화소 별로 위치하도록 구성된다. OLEDs having such characteristics are largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a device is formed in a matrix form while crossing signal lines, whereas an active matrix type is a pixel A thin film transistor which is a switching element for on / off switching on / off is arranged for each pixel.
패시브 매트릭스 타입은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있어, 최근에는 고해상도나 대화면을 구현할 수 있는 액티브 매트릭스 타입 OLED의 연구가 활발히 진행되고 있다. Passive matrix type has many limitations such as resolution, power consumption, lifetime, etc. Recently, active matrix type OLED capable of realizing high resolution and large screen has been actively studied.
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a cross section of a general active matrix OLED.
도시한 바와 같이, OLED(10)는 제 1 기판(1)과, 제 1 기판(1)과 마주하는 제 2 기판(2)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(1, 2)은 서로 이격되어 이의 가장자리가 씰패턴(seal pattern : 20)을 통해 봉지되어 합착된다. As shown, the OLED 10 comprises a
이를 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(1)의 상부에는 각 화소영역 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되는 제 1 전극(11)과 제 1 전극(11)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 유기발광층(13)과, 유기발광층(13)의 상부에는 제 2 전극(15)이 구성된다. In more detail, a driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region on the
유기발광층(13)은 적, 녹, 청의 색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소마다 적, 녹, 청색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다. The organic
이들 제 1 및 제 2 전극(11, 15)과 그 사이에 형성된 유기발광층(13)은 유기전계 발광다이오드(E)를 이루게 된다. 이때, 이러한 구조를 갖는 OLED(10)는 제 1 전극(11)을 양극(anode)으로 제 2 전극(15)을 음극(cathode)으로 구성하게 된다. The first and
한편, OLED(10)의 실패턴(20)은 통상적으로 유기 또는 고분자 재질로 이루어진 실란트로 이루어지고 있으며, 이러한 실란트는 그 내부 분자구조 특성상 분자와 분자 사이의 공극이 물분자가 충분히 이동할 수 있을 정도의 크기가 되고 있다. On the other hand, the
따라서 시간이 지남에 따라 외부의 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원이 씰패턴(20)을 투과하여 OLED(10) 내부로 침투하게 되고, 이렇게 침투한 오염원들이 밀폐된 OLED(10) 내부에 존재할 경우 수분과 산소에 매우 민감한 유기전계발광 다이오드(E)의 특성을 변형시키게 된다. Therefore, as time passes, a pollution source such as moisture or gas permeates the
즉, 외부로부터 침투된 오염원들은 유기전계발광 다이오드(E)의 유기발광층(5)으로 침투하게 되고, 이에, 유기발광층(5)은 오염원에 의해 유기발광층(5)의 발광특성이 저하될 수 있으며 유기발광층(5)의 수명을 단축시키게 된다. 또한, 일부 영역을 오염원이 가림으로써 흑점이 발생하게 된다. That is, the contaminants infiltrated from the outside penetrate into the organic light emitting layer 5 of the organic electroluminescent diode E, so that the organic light emitting layer 5 may be deteriorated in the light emitting property of the organic light emitting layer 5 due to a contaminant source The lifetime of the organic light emitting layer 5 is shortened. In addition, black spots occur due to contamination of some areas.
따라서, 최근 대기 중의 수분과 산소로부터 유기전계 발광다이오드(E)를 보호하기 위한 OLED(10)의 인캡슐레이션(encapsulation)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
Accordingly, recent studies on the encapsulation of the OLED 10 for protecting the organic light emitting diode E from moisture and oxygen in the air have been actively conducted.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 내부로 오염원이 침투할 수 없는 유기전계발광소자를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide an organic electroluminescent device in which a contamination source can not penetrate into the inside.
이를 통해, 휘도 및 화상 특성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다.
The second object is to improve the luminance and image characteristics.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 표시영역과 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역의 정의된 제 1 기판의 상기 표시영역에 구동 박막트랜지스터와 유기전계발광 다이오드를 형성하며, 상기 비표시영역에 제 1 금속패턴을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주하며 상기 비표시영역에 대응되는 제 2 기판의 가장자리에 제 2 금속패턴을 형성하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 금속패턴 중 선택된 하나의 상부에 금속씰패턴을 도포하는 단계와; 상기 금속씰패턴에 함유된 솔벤트를 제거하는 단계와; 상기 금속씰패턴이 상기 제 1및 제 2 제 1 금속패턴과 대응되도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 서로 마주시키는 단계와; 상기 금속씰패턴이 상기 제 1 금속패턴과 접착되도록, 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above-mentioned object, the present invention forms a driving thin film transistor and an organic light emitting diode in the display area of a first substrate defined by a display area and a non-display area surrounding the display area, Forming a first metal pattern on a display area; Forming a second metal pattern on an edge of a second substrate facing the first substrate and corresponding to the non-display region; Applying a metal seal pattern on top of a selected one of the first and second metal patterns; Removing the solvent contained in the metal seal pattern; Facing the first substrate and the second substrate such that the metal seal pattern corresponds to the first and second first metal patterns; And bonding the first and second substrates so that the metal seal pattern is adhered to the first metal pattern.
이때, 상기 솔벤트를 제거하는 단계는, 상기 금속씰패턴이 형성된 상기 제 2 기판을 챔버 내부로 위치시키는 단계와; 상기 챔버 내부를 진공상태로 만드는 단계로 이루어지며, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착시키는 단계에서, 상기 금속씰패턴에 열을 가한다. At this time, the step of removing the solvent may include: positioning the second substrate having the metal seal pattern formed therein into the chamber; And placing the chamber in a vacuum state. In the step of attaching the first substrate and the second substrate to each other, heat is applied to the metal seal pattern.
그리고, 상기 금속씰패턴은 디스펜싱(dispensing) 또는 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 통해 도포하며, 상기 금속씰패턴은 점도성 용매와 금속입자가 혼합되어 형성된다. The metal seal pattern is applied by a dispensing method or a screen printing method, and the metal seal pattern is formed by mixing a viscous solvent and metal particles.
이때, 상기 점도성 용매는 에폭시(epoxy)계 수지, 페놀(phenol)계 수지, 아크릴(acryl)계 수지, 열 및 광 경화성 수지 중 선택된 하나와 유기 바인더(organic binder)의 조합으로 이루어지며, 상기 금속입자는 인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn), 납(Pb), 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 텅스텐(W), 텅스텐, 티타늄(Ti) 또는 탄소나노튜브(carbon nano tube) 중 선택된 하나로 이루어진다. At this time, the viscous solvent is composed of a combination of one selected from epoxy resin, phenol resin, acryl resin, heat and photocurable resin, and organic binder, The metal particles may be selected from the group consisting of indium (In), tin (Sn), zinc (Zn), lead (Pb), silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), aluminum alloy (Mo), a Mo alloy, tungsten (W), tungsten, titanium (Ti), or a carbon nano tube.
그리고, 상기 제 1 금속패턴은 상기 구동 박막트랜지스터 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 별도의 금속물질의 단층 또는 다층으로 형성되며, 상기 제 2 금속패턴은 상기 구동 박막트랜지스터 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 상기 유기전계발광 다이오드 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 별도의 금속물질의 단층 또는 다층으로 형성된다.
The first metal pattern may be formed of a conductive material used for forming the driving thin film transistor, or may be formed as a single layer or multiple layers of a separate metallic material. The second metallic pattern may be a conductive material Or may be formed of a conductive material used for forming the organic electroluminescent diode, or may be formed as a single layer or a multilayer of a separate metallic material.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명의 OLED는 솔벤트가 제거된 금속씰패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 밀봉함으로써, 유기전계발광 다이오드의 열화를 방지하고 OLED의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다. As described above, the OLED of the present invention has the effect of preventing the deterioration of the organic light emitting diode and extending the lifetime of the OLED by sealing the first and second substrates through the solvent-removed metal seal pattern .
또한, 제 1 및 제 2 기판을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시키는 효과가 있다.
Further, since the first and second substrates are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the covalent bonding, it is possible to reduce the overall cost and material cost loss and improve the production yield.
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도.
도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 금속씰패턴 형성과정을 공정 흐름에 따라 도시한 흐름도.
도 5a ~ 5b 및 도 6a ~ 6b는 금속씰패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 합착시킨 후 이를 분해하여 찍은 사진.
도 7a ~ 7f는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 제조 단계별 공정 단면도. 1 is a cross-sectional view schematically showing a cross section of a general active matrix OLED;
2 is a cross-sectional view schematically illustrating an OLED according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged cross-sectional view of part of Fig.
FIG. 4 is a flowchart illustrating a process of forming a metal seal pattern according to an embodiment of the present invention, according to a process flow. FIG.
FIGS. 5A to 5B and FIGS. 6A to 6B are photographs of the first and second substrates bonded together through the metal seal pattern and then taken apart. FIG.
7A to 7F are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing an OLED according to an embodiment of the present invention.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an OLED according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a portion of FIG.
한편, OLED(100)는 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 이하 본 발명에서는 상부 발광방식을 일예로 설명하도록 하겠다. Meanwhile, the OLED 100 is divided into a top emission type and a bottom emission type according to a transmission direction of emitted light. Hereinafter, an upper emission type will be described as an example of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 유기전계 발광다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)과, 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(102)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)은 서로 이격되어 있고, 이의 가장자리부는 금속씰패턴(metal seal pattern : 200)을 통해 봉지되어 합착된다. As shown, the OLED 100 according to the embodiment of the present invention includes a
여기서, 제 1 기판(101) 상에는 반도체층(201)이 형성되는데, 반도체층(201)은 실리콘으로 이루어지며, 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(201a)을 이루며, 액티브영역(201a)의 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)으로 구성된다. A
이러한 반도체층(201) 상부로는 게이트절연막(203)이 형성되어 있다. A
게이트절연막(203) 상부로는 액티브영역(201a)에 대응하여 게이트전극(205)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다. The
또한, 게이트전극(205)과 게이트배선(미도시)의 상부 전면에 제 1 층간절연막(207a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(207a)과 그 하부의 게이트절연막(203)은 액티브영역(201a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 구비한다. A first interlayer
다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 포함하는 제 1 층간절연막(207a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(211, 213)이 형성되어 있다. Next, upper portions of the first
그리고, 소스 및 드레인전극(211, 213)과 두 전극(211, 213) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(207a) 상부로 제 2 층간절연막(207b)이 형성되는데, 제 2 층간절연막(207b)은 드레인전극(213)을 노출시키는 드레인콘택홀(215)을 갖는다. A second interlayer
이때, 소스 및 드레인 전극(211, 213)과 이들 전극(211, 213)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(201b, 201c) 그리고 액티브영역(201a)을 포함하는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(205)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. At this time, the
한편, 도면에 나타나지 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. On the other hand, although not shown in the figure, data lines (not shown) are formed which intersect the gate wiring (not shown) to define the pixel region. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 구동 박막트랜지스터(DTr)는 도면에서는 반도체층(201)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. In the drawing, the switching thin film transistor (not shown) and the driving thin film transistor DTr are shown as a top gate type in which the
또한, 제 2 층간절연막(207b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 그리고 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. The
제 1 전극(111)은 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(213)과 연결되며, 제 1 전극(111)은 각 화소영역(P) 별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제 1 전극(111) 사이의 비화소영역에는 뱅크(bank : 221)가 위치한다. The
즉, 뱅크(221)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어, 뱅크(221)가 각각의 화소영역(P)에 대한 경계로 형성되어 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the
이와 같은 경우에, 제 1 전극(111)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하며, 제 2 전극(115)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 비교적 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어진다. In this case, the
그리고, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 향해 방출되는 상부 발광방식으로 구동된다. The light emitted from the organic
여기서, 유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입막(hole injection layer), 정공수송막( hole transporting layer), 전자수송막(electron transporting layer) 및 전자주입막(electron injection layer)의 다중층으로 이루어질 수도 있다. Here, the organic
이러한 OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(115)으로부터 제공된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다. When a predetermined voltage is applied to the
이때, 발광된 빛은 투명한 제 2 전극(115)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, the emitted light passes through the transparent
특히, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)는 앞서 전술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 합착하는 과정에서, 이의 가장자리부에 형성되는 씰패턴(200)을 금속재질을 포함하는 금속실런트(이하, 금속씰패턴이라 함)를 사용하는 것을 특징으로 한다. Particularly, the
또한, 금속씰패턴(200)과 대응되는 제 1 및 제 2 기판(101, 102)에는 제 1 및 제 2 금속패턴(210a, 210b)을 형성하는데, 금속씰패턴(200)은 그 폭이 제 1 및 제 1 금속패턴(210a, 210b)의 폭보다 좁도록 제 1 금속패턴(210a)과 제 2 금속패턴(210b) 사이에 형성된다. The first and
제 1 및 제 2 금속패턴(210a, 210b)은 금속씰패턴(200)의 계면 특성을 향상시키기 위한 것으로, 금속씰패턴(200)과 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 접착력을 향상시키는 역할을 하게 된다. The first and
이때, 제 1 및 제 2 금속패턴(210a, 210b)은 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 형성시 사용되는 재료로 형성되거나, 별도의 금속물질로 단층 또는 다층으로 형성할 수 있다. At this time, the first and
이렇듯, 본 발명은 씰패턴을 점도성 용매와 금속입자가 혼합된 금속씰패턴(200)을 사용하고, 금속씰패턴(200)과 기판(101, 102)들 사이에 제 1 및 제 2 금속패턴(210a, 210b)을 형성함으로써, 외부로부터 수분이나 가스(gas)와 같은 오염원이 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 이격된 사이 공간으로 침투하는 것을 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, the seal pattern is formed by using the
아래 표(1)은 OLED(100)에 실제로 사용되는 실런트의 투습율을 비교한 표이다.
Table (1) below is a table comparing the moisture permeability of the sealant actually used for the
at 60℃, 90%, 100mmWater permeability (g / m2)
at 60 < 0 > C, 90%, 100 mm
위의 표 1에 기재된 바와 같이, 종래에 씰(seal)재로 사용되었던 유기막 또는 고분자 재질의 실런트는 투습율이 금속 재질 보다 높음을 알 수 있다. As shown in Table 1, it can be seen that the sealant of the organic film or the polymer material conventionally used as a seal material has a moisture permeability higher than that of a metal material.
이에, 본 발명은 유기막 또는 고분자 재질보다 투습율이 현저히 낮은 금속 계열을 사용함으로써 투습율을 억제하는 한편, 기존의 씰패턴(도 1의 20)에 비해 강도가 높아, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 더욱 단단하게 밀봉하게 된다. Therefore, the present invention can suppress moisture permeability by using a metal series material having a significantly lower moisture permeability than an organic film or a polymer material, and has a higher strength than a conventional seal pattern (20 in FIG. 1) (101, 102).
이를 통해, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)의 이격된 사이 공간으로 외부로부터 오염원들이 침투하는 것을 방지할 수 있다. Accordingly, it is possible to prevent the contaminants from penetrating into the space between the first and
따라서, 유기전계발광 다이오드(E)의 열화를 방지하고 OLED(100)의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 견고히 합착시킴으로써 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시킨다. Therefore, deterioration of the organic electroluminescent diode (E) can be prevented and the lifetime of the OLED (100) can be extended. Also, by firmly attaching the first and
한편, 본 발명의 금속씰패턴(200)은 점도성 용매와 금속입자가 혼합되어 구성되는데, 여기서, 점도성 용매로는 에폭시(epoxy)계 수지, 페놀(phenol)계 수지, 아크릴(acryl)계 수지, 열 및 광 경화성 수지와 유기 바인더(organic binder)의 조합으로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the
그리고, 금속입자는 저융점의 금속(인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn), 납(Pb) 또는 우수한 전기전도도와 열전도도를 갖는 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 텅스텐(W), 텅스텐, 티타늄(Ti) 또는 탄소나노튜브(carbon nano tube) 등으로 이루어질 수 있으며, 또는 400℃ 이하의 융점을 갖는 모든 금속이 사용될 수 있다. The metal particles may be selected from metals having a low melting point (indium (In), tin (Sn), zinc (Zn), lead (Pb), or silver (Ag) Al alloy, Al alloy, Cu, Mo, Mo alloy, tungsten, tungsten, titanium, or carbon nano tube, Or all metals having a melting point of 400 DEG C or less can be used.
또한, 금속씰패턴(200)은 솔벤트(solvent), 활성제(activator) 등을 포함한다. In addition, the
이러한 금속씰패턴(200)은 드라이공정을 통해 솔벤트 등의 휘발성분을 제거함으로써 완성한다. The
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 금속씰패턴 형성과정을 공정 흐름에 따라 도시한 흐름도이다. 4 is a flowchart illustrating a process of forming a metal seal pattern according to an embodiment of the present invention in accordance with a process flow.
먼저, 제 1 단계(st1)로 금속패턴(도 3의 201b)이 형성된 기판(eh 3의 102) 상에 금속씰패턴(도 3의 200)을 도포한다. First, a metal seal pattern (200 in Fig. 3) is applied on a substrate (eh3 of 102) on which a metal pattern (201b in Fig. 3) is formed in the first step (st1).
금속씰패턴(도 3의 200)은 디스펜싱(dispensing) 또는 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 통해 도포함으로써 형성한다. The metal seal pattern (200 in Fig. 3) is formed by applying by dispensing or screen printing.
다음으로, 제 2 단계(st2)는 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유된 솔벤트 등의 휘발성분을 제거하는 드라이공정을 진행한다. Next, the second step st2 proceeds to a dry process for removing volatile components such as a solvent contained in the metal seal pattern (200 in Fig. 3).
드라이공정은 밀폐된 반응영역을 정의하는 챔버(미도시)에서 진행하는데, 금속씰패턴(도 3의 200)이 형성된 기판(도 3의 102)을 챔버(미도시) 내부에 위치시킨 후, 챔버(미도시) 내부를 진공 상태로 만들어 줌으로써, 기판(도 3의 102)의 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유된 솔벤트를 빠르게 증발시켜 제거하게 된다. The drying process is carried out in a chamber (not shown) defining a closed reaction zone. After the substrate (102 of FIG. 3) on which the metal seal pattern (200 of FIG. 3) is formed is placed inside a chamber (not shown) The solvent contained in the metal seal pattern (200 in FIG. 3) of the substrate (102 in FIG. 3) is rapidly evaporated and removed by making the interior of the substrate (not shown) in a vacuum state.
솔벤트의 제거는 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유된 솔벤트가 OLED(도 3의 100) 내부로 침투되는 것을 방지하기 위함이며 또한 금속씰패턴(도 3의 200)의 두께를 보다 균일하게 하기 위함이다. Removal of the solvent is intended to prevent the solvent contained in the metal seal pattern 200 (Fig. 3) from penetrating into the OLED (100 in Fig. 3) and also to make the thickness of the metal seal pattern (200 in Fig. 3) .
더불어 금속씰패턴(도 3의 200)을 경화시키는 공정의 소요 시간을 단축하기 위함이다. And to shorten the time required for the process of hardening the metal seal pattern (200 in FIG. 3).
다음으로, 제 3 단계(st3)는 금속씰패턴(도 3의 200)을 경화시키는 공정으로, 금속씰패턴(도 3의 200)에 열을 가하는 동시에 가압함으로써, 금속씰패턴(도 3의 200)을 경화시키게 된다. Next, the third step (st3) is a step of curing the metal seal pattern (200 in Fig. 3). The metal seal pattern (200 in Fig. 3) ).
따라서, 종래에 씰패턴(도 1의 20)에 비해 투습율이 현저히 낮은 금속씰패턴(도 3의 200)을 완성하게 된다. Therefore, the metal seal pattern (200 in Fig. 3) having a moisture permeability rate significantly lower than that of the conventional seal pattern (20 in Fig. 1) is completed.
한편, 금속씰패턴(도 3의 200)은 내부에 함유된 솔벤트 만을 제거하는 것이 바람직하다. 즉, 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유되어 있는 활성제(an activator)를 제거하는 것은 바람직하지 못하다.On the other hand, it is preferable to remove only the solvent contained in the metal seal pattern (200 in FIG. 3). That is, it is not desirable to remove an activator contained in the metal seal pattern (200 in FIG. 3).
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 솔벤트와 활성제는 금속씰패턴(도 3의 200)을 특정 용액에 디핑(dipping)함으로써 일괄적으로 제거할 수 있다. In more detail, the solvent and activator can be removed at one time by dipping the metal seal pattern (200 in FIG. 3) into a particular solution.
그러나, 이렇게 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유되어 있는 활성제를 제거하게 되면, 금속씰패턴(도 3의 200)과 제 1 및 제 2 기판(도 3의 101, 102) 상에 형성되어 있는 제 1 및 제 2 금속패턴(도 3의 210a, 210b)과의 접착 특성을 저하시켜, 그 계면에 금속간 화합물(inter-metallic compound: 이하 IMC라 함)을 성장시키는 문제를 발생시키게 된다. However, when the activator contained in the metal seal pattern 200 (FIG. 3) is removed, it is formed on the metal seal pattern 200 (FIG. 3) and the first and
IMC가 성정하게 되면, 금속씰패턴(도 3의 200)과 제 1 및 제 2 금속패턴(eh 3의 210a, 210b) 간의 기계적인 특성을 취약하게 하는 결과를 초래하게 된다. When the IMC is formed, the mechanical characteristics between the metal seal pattern (200 in FIG. 3) and the first and second metal patterns (210a and 210b in eh 3) are weakened.
도 5a ~ 5b 및 도 6a ~ 6b는 금속씰패턴을 통해 제 1 및 제 2 기판을 합착시킨 후 이를 분해하여 찍은 사진으로, 금속씰패턴과 금속패턴 간의 접착 특성을 나타낸 사진이다. FIGS. 5A to 5B and FIGS. 6A to 6B are photographs showing the adhesion characteristics between the metal seal pattern and the metal pattern, which is a photograph taken after the first and second substrates are bonded together through the metal seal pattern. FIG.
도 5a ~ 5b는 금속씰패턴에서 솔벤트와 활성제를 제거한 후 찍은 사진으로, 도 5a는 제 1 기판 상의 제 1 금속패턴과 금속씰패턴 간의 접착 특성을 나타낸 사진이며, 도 5b는 제 2 기판 상의 제 2 금속패턴과 금속씰패턴 간의 접착 특성을 나타낸 사진이다.FIGS. 5A and 5B are photographs taken after removing the solvent and the activator from the metal seal pattern, FIG. 5A is a photograph showing the adhesion characteristics between the first metal pattern and the metal seal pattern on the first substrate, FIG. 2 is a photograph showing adhesion characteristics between a metal pattern and a metal seal pattern.
그리고, 도 6a ~ 6b는 금속씰패턴에서 솔벤트 만을 제거한 후 찍은 사진으로, 도 6a는 제 1 기판 상의 제 1 금속패턴과 금속씰패턴 간의 접착 특성을 나타낸 사진이며, 도 6b는 제 2 기판 상의 제 2 금속패턴과 금속씰패턴 간의 접착 특성을 나타낸 사진이다.6A and 6B are photographs showing adhesion characteristics between the first metal pattern and the metal seal pattern on the first substrate. FIG. 6B is a photograph showing adhesion characteristics between the first metal pattern and the metal seal pattern on the first substrate. FIG. 2 is a photograph showing adhesion characteristics between a metal pattern and a metal seal pattern.
도 5a ~ 5b를 참조하면, 솔벤트와 활성제를 제거한 금속씰패턴(도 3의 200)은 금속씰패턴(도 3의 200)과 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 사이에 금속간 화합물이 성장함에 따라, 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 상에 금속간 화합물의 잔류물이 많이 존재하는 것을 확인할 수 있다. 5A to 5B, the metal seal pattern (200 in FIG. 3) from which the solvent and the activator are removed has an intermetallic compound grown between the metal seal pattern (200 in FIG. 3) and the metal pattern (210a and 210b in FIG. 3) , It can be confirmed that a large amount of intermetallic compound residues are present on the metal pattern (210a, 210b in FIG. 3).
또한, 금속씰패턴(도 3의 200)은 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 상에 넓게 형성되지 못한 모습을 볼 수 있다. 이는 금속씰패턴(도 3의 200)과 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 간의 접착 특성이 좋지 않음을 알 수 있다. In addition, the metal seal pattern (200 in FIG. 3) can not be formed broadly on the metal pattern (210a, 210b in FIG. 3). It can be understood that the adhesion characteristics between the metal seal pattern (200 in Fig. 3) and the metal pattern (210a, 210b in Fig. 3) is poor.
이에 반해 본 발명의 금속씰패턴(도 3의 200)은 솔벤트 만을 제거함으로써, 도 6a ~ 6b를 참조하면 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 상에 금속간 화합물의 잔류물이 거의 존재하지 않는 것을 확인할 수 있다. On the other hand, the
이를 통해 금속씰패턴(도 3의 200)과 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 사이에 금속간 화합물이 성장하지 않았음을 확인할 수 있다. As a result, it can be confirmed that the intermetallic compound did not grow between the metal seal pattern (200 in FIG. 3) and the metal pattern (210a and 210b in FIG. 3).
그리고, 금속씰패턴(도 3의 200)이 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 상에 넓게 형성되어 있는 모습을 확인 할 수 있는데, 이는 금속씰패턴(도 3의 200)과 금속패턴(도 3의 210a, 210b) 간의 접착 특성이 좋음을 의미한다. 3) is formed on the metal pattern (210a, 210b in Fig. 3). This is because the metal seal pattern (200 in Fig. 3) and the
그리고, 금속씰패턴(도 3의 200)을 특정 용액에 디핑함으로써, 솔벤트와 활성제를 제거하는 과정은 기판(도 3의 102) 상에 금속씰패턴(도 3의 200)을 도포한 후, 1차 경화공정을 거친 후, 솔벤트와 활성제를 제거하게 된다. The process of removing the solvent and the activator by dipping the metal seal pattern (200 in FIG. 3) into a specific solution is performed by applying a metal seal pattern (200 in FIG. 3) on the substrate After the curing process, the solvent and the activator are removed.
이렇게 솔벤트와 활성제를 제거한 후 다시 금속씰패턴(도 3의 200)을 2차 경화공정을 거쳐 완성하게 된다. After the solvent and the activator are removed, the metal seal pattern (200 in FIG. 3) is again subjected to a secondary curing process.
이는 본 발명의 금속씰패턴(도 3의 200)에 함유된 솔벤트 만을 제거하는 공정에 비해 1차 경화공정을 더욱 필요로 함에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 금속씰패턴(도 3의 200)을 형성하는 과정에 비해 공정의 효율성이 낮다. 3) than the process of removing only the solvent contained in the
전술한 바와 같이, 본 발명의 OLED(도 3의 100)는 솔벤트가 제거된 금속씰패턴(도 3의 200)을 통해 제 1 및 제 2 기판(도 3의 101, 102)을 밀봉함으로써, 기존의 유기막 또는 고분자 재질로 이루어지는 씰패턴(도 1의 20)에 비해 보다 단단하게 밀봉할 수 있어, 외부로부터 오염원들이 침투하는 것을 방지할 수 있다. As described above, the OLED (100 in FIG. 3) of the present invention can be manufactured by sealing the first and second substrates (101 and 102 in FIG. 3) through the solvent-removed metal seal pattern (20 in Fig. 1) made of an organic film or a polymeric material of the above-mentioned organic film or polymeric material, so that it is possible to prevent the contaminants from penetrating from the outside.
이를 통해, 유기전계발광 다이오드(도 3의 E)의 열화를 방지하고 OLED(도 3의 100)의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판(도 3의 101, 102)을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시킨다. In this way, deterioration of the organic electroluminescent diode (E in FIG. 3) can be prevented and the lifetime of the OLED (100 in FIG. 3) can be extended. Also, since the first and second substrates (101 and 102 in FIG. 3) are firmly attached to each other to reduce the defect rate generated after the covalent bonding, the overall cost and material cost loss are reduced and the production yield is improved.
도 7a ~ 7f는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 제조 단계별 공정 단면도이다. 7A to 7F are cross-sectional views illustrating the steps of fabricating an OLED according to an exemplary embodiment of the present invention.
우선, 도 7a에 도시한 바와 같이, 표시영역(AA)은 다수의 화소영역(P)으로 형성되어, 각 화소영역(P)에는 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 구동 박막트랜지스터(DTr)와 유기전계발광 다이오드(E)가 구비되는 제 1 기판(101)을 준비한다. 7A, the display region AA is formed of a plurality of pixel regions P, and switching thin film transistors (not shown), driving thin film transistors DTr and organic A
여기서, 각 화소영역(P)에 형성된 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 구동 박막트랜지스터(DTr)와 유기전계발광 다이오드(E)에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(101)의 각 화소영역(P)에 비정질 실리콘을 증착하여 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이에 대해 레이저 빔을 조사하거나 또는 열처리를 실시하여 상기 비정질 실리콘층을 폴리실리콘층(미도시)으로 결정화시킨다. Here, the switching TFTs (not shown), the driving TFT DTr, and the organic light emitting diode E formed in each pixel region P will be described in more detail. Each pixel region P To form an amorphous silicon layer (not shown), and the amorphous silicon layer is crystallized into a polysilicon layer (not shown) by irradiating the amorphous silicon layer with a laser beam or by heat treatment.
이후, 마스크 공정을 실시하여 폴리실리콘층(미도시)을 패터닝하여 순수 폴리실리콘 상태의 반도체층(도 3의 201)을 형성한다. 이때 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하기 전에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 절연기판(101) 전면에 증착함으로써 버퍼층(미도시)을 형성할 수도 있다. Thereafter, a mask process is performed to pattern a polysilicon layer (not shown) to form a pure polysilicon semiconductor layer 201 (FIG. 3). A buffer layer (not shown) may be formed by depositing an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO2) or silicon nitride (SiNx) on the entire surface of the insulating
다음으로, 순수 폴리실리콘의 반도체층(도 3의 201) 위로 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 게이트절연막(도 3의 203)을 형성한다. Next, silicon oxide (SiO2) is deposited on the semiconductor layer (201 in Fig. 3) of pure polysilicon to form a gate insulating film (203 in Fig. 3).
이후, 게이트절연막(도 3의 203) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 반도체층(도 3의 201)의 중앙부에 대응하여 게이트전극(도 3의 205)과 게이트배선(미도시)을 형성한다. Thereafter, a first metal layer (not shown) is formed by depositing a low resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), or copper alloy on the gate insulating film Then, a mask process is performed to form a gate electrode (205 in FIG. 3) and a gate wiring (not shown) corresponding to the central portion of the semiconductor layer 201 (FIG. 3).
다음, 게이트전극(도 3의 205)을 블록킹 마스크로 이용하여 제 1 기판(101) 전면에 불순물 즉, 3가 원소 또는 5가 원소를 도핑함으로써 반도체층(도 3의 201) 중 게이트전극(도 3의 205) 외측에 위치한 부분에 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(도 3의 201b, 201c)을 이루도록 하고, 도핑이 방지된 게이트전극(도 3의 205)에 대응하는 부분은 순수 폴리실리콘의 액티브영역(도 2b의 201a)을 이루도록 한다. 3) of the semiconductor layer 201 (FIG. 3) by doping an impurity, that is, a trivalent element or a pentavalent element, on the entire surface of the
다음으로 반도체층(도 3의 201)이 형성된 제 1 기판(101) 전면에 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질을 증착하여 전면에 제 1 층간절연막(도 3의 207a)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 제 1 층간절연막(도 3의 207a)과 하부의 게이트절연막(도 3의 203)을 동시 또는 일괄 패터닝함으로써 반도체층(도 3의 201)의 소스 및 드레인영역(도 3의 201b, 201c)을 각각 노출시키는 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(도 3의 209a, 209b)을 형성한다. Next, an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO2) is deposited on the entire surface of the
이후, 제 1 층간절연막(도 3의 207a) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr) 및 몰리브덴(Mo) 중 하나를 증착하여 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(도 3의 209a, 209b)을 통해 소스 및 드레인영역(도 3의 201b, 201c)과 접촉하는 소스 및 드레인전극(도 3의 211, 213) 그리고 데이터배선(미도시)을 형성한다. Thereafter, a metal material such as aluminum (Al), an aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), a copper alloy, chromium (Cr), and molybdenum (Mo) is deposited on the first interlayer insulating film 3) and the source and drain regions (201b and 201c in FIG. 3) are formed through the first and second semiconductor layer contact holes (209a and 209b in FIG. 3) by forming a second metal layer (not shown) Source and drain electrodes (211 and 213 in FIG. 3) and data lines (not shown) are formed.
이때 반도체층(도 3의 201)과 게이트절연막(도 3의 203)과 게이트전극(도 3의 205)과 제 1 층간절연막(도 3의 207a)과 서로 이격하는 소스 및 드레인전극(도 3의 211, 213)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이룬다. At this time, source and drain electrodes (see FIG. 3), which are spaced apart from the semiconductor layer (201 in FIG. 3), the gate insulating film (203 in FIG. 3), the gate electrode (205 in FIG. 3), and the first
다음으로 소스 및 드레인전극(도 3의 211, 213)이 형성된 제 1 기판(101) 상에 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB) 등의 유기절연물질을 도포하고 마스크공정을 통해 패터닝함으로써, 제 2 층간절연막(도 3의 207b)을 형성한다. Next, an organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB) is applied on the
이때, 제 2 층간절연막(도 3의 207b)은 드레인전극(도 3의 213)을 노출하는 드레인전극 콘택홀(도 3의 215)을 가진다. At this time, the second interlayer insulating film (207b in FIG. 3) has a drain electrode contact hole (215 in FIG. 3) exposing the drain electrode (213 in FIG. 3).
다음으로, 제 2 층간절연막(도 3의 207b)의 상부로 드레인콘택홀(도 3의 215)을 통해 드레인전극(도 3의 213)과 접촉하며 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 일 구성요소로써 양극(anode)을 이루는 제 1 전극(111)을 형성한다. 3) via the drain contact hole (215 in FIG. 3) to the upper portion of the second interlayer insulating film (207b in FIG. 3) and to constitute the organic electroluminescent diode (E) Thereby forming a
다음으로, 제 1 전극(111)의 상부에 감광성 유기절연 재질 예를 들면 블랙 수지, 그래파이트 파우더(graphite powder), 그라비아 잉크, 블랙 스프레이, 블랙 에나멜 중 하나를 도포하고 이를 패터닝함으로써 제 1 전극(111) 상부로 뱅크(도 3의 221)를 형성한다. Next, one of a photosensitive organic insulating material such as a black resin, a graphite powder, a gravure ink, a black spray, and a black enamel is coated on the
뱅크(도 3의 221)는 제 1 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어 화소영역(P) 간을 구분하게 된다. The banks (221 in FIG. 3) are formed as a matrix type of a lattice structure as a whole on the
다음으로, 뱅크(도 3의 221) 상부에 유기발광물질을 도포 또는 증착하여 유기발광층(113)을 형성한다. Next, the organic
다음으로, 유기발광층(113) 상부에 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착한 제 2 전극(115)을 형성함으로써, 유기전계발광 다이오드(E)를 완성하게 된다. Next, a
이로써, OLED(도 3의 100)의 제 1 기판(101)이 완성된다. Thereby, the
이때 도면에 있어서는 3개의 화소영역(P)만이 도시되고 있으나 이는 편의를 위해 3개의 화소영역(P)만을 도시한 것이며 실질적으로는 수백에서 수천개의 화소영역이 구비된다. At this time, although only three pixel regions P are shown in the drawing, only three pixel regions P are shown for convenience, and actually, several hundreds to thousands of pixel regions are provided.
그리고, 제 1 기판(101)의 표시영역(AA)의 가장자리의 비표시영역(NA)을 따라서 제 1 금속패턴(210a)을 형성하는데, 제 1 금속패턴(210a)은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 형성한다. A
이때, 제 1 금속패턴(210a)은 게이트전극(도 3의 205)과 동시에 형성되거나, 또는 소스 및 드레인전극(도 3의 211, 213)과 동시에 형성될 수 있다. At this time, the
이와 동시에 도 7b에 도시한 바와 같이, OLED(도 3의 100)의 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(102)의 비표시영역(NA)의 가장자리를 따라서 제 2 금속패턴(210b)을 형성한다. At the same time, as shown in FIG. 7B, a
제 2 금속패턴(210b) 또한 제 1 금속패턴(도 5a의 210a)과 같이 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 형성한다. The
다음으로, 도 7c에 도시한 바와 같이, 비표시영역(NA)을 따라서는 제 2 금속패턴(210a) 상부에 금속씰패턴(200)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 7C, a
금속씰패턴(200)은 디스펜싱(dispensing) 또는 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 통해 제 2 기판(101)의 비표시영역(NA)의 가장자리를 따라 도포함으로써 형성된다.The
다음으로 도 7d에 도시한 바와 같이, 제 2 기판(102) 상에 형성된 금속씰패턴(200)의 솔벤트를 제거한다. Next, as shown in FIG. 7D, the solvent of the
솔벤트는 밀폐된 반응영역을 정의하는 챔버(미도시)에서 진행하는데, 금속씰패턴(200)이 형성된 제 2 기판(102)을 챔버(미도시) 내부에 위치시킨 후, 챔버(미도시) 내부를 진공 상태로 만들어 줌으로써, 기판(102)의 금속씰패턴(200)에 함유된 솔벤트를 빠르게 증발시켜 제거하게 된다. The solvent is conducted in a chamber (not shown) defining a closed reaction zone. After the
다음으로, 도 7e에 도시한 바와 같이 다음으로, 제 2 기판(102)을 제 1 기판(101)과 마주하도록 위치시키고 얼라인을 실시한 후, 제 2 기판(102)과 제 1 기판(101)을 합착한다. Next, as shown in FIG. 7E, after the
이때, 제 2 기판(101) 상에 형성된 금속씰패턴(200)은 제 1 기판(102)의 비표시영역(NA)의 가장자리를 따라 형성된 제 1 금속패턴(210a)과 접착하게 된다. At this time, the
다음으로 도 7f에 도시한 바와 같이 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102)이 합착되고, 이때 금속씰패턴(200)에는 열을 가해 금속씰패턴을 경화함으로써, OLED(100)를 완성하게 된다. Next, as shown in FIG. 7F, the
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광다이오드(E)는 금속씰패턴(200)에 의해 외부로부터의 오염원이 침투하는 것을 방지할 수 있다. Therefore, the organic light emitting diode E according to the embodiment of the present invention can prevent the contaminants from penetrating from the outside by the
이를 통해, 유기전계발광 다이오드(E)의 열화를 방지하고 OLED(100)의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)을 견고히 합착시켜 합착 후에 발생되는 불량률을 저하함으로 제반 경비 및 재료비 손실을 감소시키고 생산수율을 향상시킨다. Thus, deterioration of the organic electroluminescent diode (E) can be prevented and the lifetime of the OLED (100) can be prolonged. Also, since the first and
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
102 : 제 2 기판
210b : 제 2 금속패턴
200 : 금속씰패턴102: second substrate
210b: second metal pattern
200: Metal seal pattern
Claims (9)
상기 제 1 기판과 마주하며 상기 비표시영역에 대응되는 제 2 기판의 가장자리에 제 2 금속패턴을 형성하는 단계와;
상기 제 1 및 제 2 금속패턴 중 선택된 하나의 상부에 금속씰패턴을 도포하는 단계와;
상기 금속씰패턴에 함유된 솔벤트를 제거하는 단계와;
상기 금속씰패턴이 상기 제 1및 제 2 제 1 금속패턴과 대응되도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 서로 마주시키는 단계와;
상기 금속씰패턴이 상기 제 1 금속패턴과 접착되도록, 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계
를 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법.
Forming a driving thin film transistor and an organic light emitting diode in the display region of the first substrate defined by the display region and the non-display region surrounding the display region, and forming a first metal pattern in the non-display region;
Forming a second metal pattern on an edge of a second substrate facing the first substrate and corresponding to the non-display region;
Applying a metal seal pattern on top of a selected one of the first and second metal patterns;
Removing the solvent contained in the metal seal pattern;
Facing the first substrate and the second substrate such that the metal seal pattern corresponds to the first and second first metal patterns;
Attaching the first and second substrates so that the metal seal pattern is adhered to the first metal pattern
Wherein the organic electroluminescent device comprises a first electrode and a second electrode.
상기 솔벤트를 제거하는 단계는,
상기 금속씰패턴이 형성된 상기 제 2 기판을 챔버 내부로 위치시키는 단계와; 상기 챔버 내부를 진공상태로 만드는 단계
로 이루어지는 유기전계발광소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
The step of removing the solvent comprises:
Positioning the second substrate having the metal seal pattern formed therein into the chamber; A step of bringing the inside of the chamber into a vacuum state
Gt; < / RTI >
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착시키는 단계에서, 상기 금속씰패턴에 열을 가하는 유기전계발광소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
And applying heat to the metal seal pattern in the step of bonding the first substrate and the second substrate together.
상기 금속씰패턴은 디스펜싱(dispensing) 또는 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 통해 도포하는 유기전계발광소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the metal seal pattern is applied by a dispensing method or a screen printing method.
상기 금속씰패턴은 점도성 용매와 금속입자가 혼합되어 형성되는 유기전계발광소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the metal seal pattern is formed by mixing a viscous solvent and metal particles.
상기 점도성 용매는 에폭시(epoxy)계 수지, 페놀(phenol)계 수지, 아크릴(acryl)계 수지, 열 및 광 경화성 수지 중 선택된 하나와 유기 바인더(organic binder)의 조합으로 이루어지는 유기전계발광소자의 제조방법.
6. The method of claim 5,
The viscous solvent may be an organic electroluminescent device comprising a combination of one selected from epoxy resin, phenol resin, acryl resin, heat and photocurable resin, and organic binder Gt;
상기 금속입자는 인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn), 납(Pb), 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 텅스텐(W), 텅스텐, 티타늄(Ti) 또는 탄소나노튜브(carbon nano tube) 중 선택된 하나로 이루어지는 유기전계발광소자의 제조방법.
6. The method of claim 5,
The metal particles may be selected from the group consisting of indium (In), tin (Sn), zinc (Zn), lead (Pb), silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), aluminum alloy, (Mo), a Mo alloy, tungsten (W), tungsten, titanium (Ti), or a carbon nano tube.
상기 제 1 금속패턴은 상기 구동 박막트랜지스터 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 별도의 금속물질의 단층 또는 다층으로 형성되는 유기전계발광소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the first metal pattern is formed of a conductive material used for forming the driving thin film transistor, or is formed as a single layer or multiple layers of a separate metal material.
상기 제 2 금속패턴은 상기 구동 박막트랜지스터 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 상기 유기전계발광 다이오드 형성시 사용되는 도전 재료로 형성되거나, 별도의 금속물질의 단층 또는 다층으로 형성되는 유기전계발광소자의 제조방법.The method according to claim 1,
The second metal pattern may be formed of a conductive material used for forming the driving thin film transistor, a conductive material used for forming the organic electroluminescent diode, or an organic electroluminescent element ≪ / RTI >
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100071683A KR101625560B1 (en) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | Fabricating Method of organic luminescence emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100071683A KR101625560B1 (en) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | Fabricating Method of organic luminescence emitting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120010068A KR20120010068A (en) | 2012-02-02 |
KR101625560B1 true KR101625560B1 (en) | 2016-05-31 |
Family
ID=45834741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100071683A KR101625560B1 (en) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | Fabricating Method of organic luminescence emitting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101625560B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11877469B2 (en) | 2018-10-12 | 2024-01-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9301417B2 (en) | 2012-07-13 | 2016-03-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Sealing material, display device, and method of manufacturing the display device |
KR20160053242A (en) | 2014-10-31 | 2016-05-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
-
2010
- 2010-07-23 KR KR1020100071683A patent/KR101625560B1/en active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11877469B2 (en) | 2018-10-12 | 2024-01-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120010068A (en) | 2012-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101603145B1 (en) | Method of fabricating for dual panel type organic electro-luminescent device | |
KR102093628B1 (en) | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
KR101779475B1 (en) | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
US8120249B2 (en) | Organic light emitting display and method of fabricating the same | |
US8729796B2 (en) | Organic light emitting display device including a gap to improve image quality and method of fabricating the same | |
US7990060B2 (en) | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same | |
KR101927334B1 (en) | Organic electro luminescence device and method for fabricating the same | |
JP5323667B2 (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof | |
KR101576834B1 (en) | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR101580827B1 (en) | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR102283856B1 (en) | Organic Light Emitting Display and Fabrication Method for the same | |
KR20110072131A (en) | Organic electro-luminescent device | |
KR20100004221A (en) | Top emission type organic electro-luminescence device | |
KR20100068644A (en) | Top emission type organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
KR101587097B1 (en) | Method of fabricating for dual panel type organic electro-luminescent device | |
KR101625560B1 (en) | Fabricating Method of organic luminescence emitting device | |
KR101950837B1 (en) | Organic electro luminescence device and method for fabricating the same | |
KR102355605B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same | |
KR101775503B1 (en) | Method of fabricating organic light emitting diodes | |
KR101621300B1 (en) | Method of fabricating for dual panel type organic electro-luminescent device | |
KR20110039776A (en) | Dual panel type organic electro-luminescent device | |
KR100729078B1 (en) | Organic Light Emitting Display and Fabrication Method for the same | |
JP2012038544A (en) | Organic el display device | |
KR101493222B1 (en) | Fabricating method of luminescence dispaly panel | |
KR20110067366A (en) | Organic electro-luminescence device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190417 Year of fee payment: 4 |