KR101599363B1 - 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법에 관한 것으로, 세정조로부터 세정액이 유입되는 유입관; 상기 유입관과 연통되며 상기 세정액을 임시 수용하는 저장몸체; 상기 저장몸체에 저장된 세정액을 상기 세정조로 회송 안내하는 회수관; 상기 유입관에 설치되며 상기 세정액을 강제 순환시키는 순환펌프; 및 상기 저장몸체의 하부에는 호퍼형상의 배출부가 형성되며, 상기 배출부의 외주면에는 상기 세정액과 함께 혼입되는 메탈 성분이 자력에 의하여 포집되는 마그네틱수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 교환주기가 짧은 고가의 필터 구성을 생략할 수 있으므로 그에 따른 유지보수비용을 크게 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 세정액이 순환이동 하는 압력이 줄어드는 것을 미연에 방지할 수 있어 제품의 작동 신뢰성을 한층 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법{Apparatus and metod for cleaning mask of Organic light emitting diode}

본 발명은 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크 세정공정에 사용되는 세정액 내에 잔류하는 메탈을 마그네틱을 이용하여 보다 효율적으로 제거할 수 있는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이 장치의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판에 소자 패턴을 형성하기 위하여 마스크가 사용된다. 상기 마스크의 종류는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display)에 적용되는 광학 마스크와 OLED(Organic Luminescent Emission Diode, 이하, 유기발광 다이오드)의 제조에 사용되는 마스크가 있다.

이와 같은 마스크는 통상 세정조 내에 수용된 세정액에 침지되어 세정되는데, 상기 마스크는 대면적이므로 세정시 마스크를 이동시키거나 상기 세정조에 침지시키기 위하여 마스크 지그를 사용하고 있다.

상기 유기발광 표시소자의 제조 과정에서 유기 박막층을 증착하기 위해 이용되는 마스크를 세정하는 방법은 상기 마스크를 탄화수소용액과 같은 유기물을 녹일 수 있는 세정액이 들어 있는 세정조에 담근 후에 초음파, 분사노즐 등을 이용하여 세정하고 있다.

그러나, 초기 생산된 마스크를 세정조에 담그거나 마스크를 세정조에 담그는 침지과정을 반복할 경우, 상기 마스크로부터 이탈한 메탈(금속입자)이 세정액에 잔류하게 되므로써 상기 세정조 내의 세정액을 빠르게 오염시키는 문제점이 있었다.

최근에는 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 방안으로, 상기 세정조의 세정액을 외부로 빼내어 필터링 작업 후 다시 세정조로 공급하는 세정액 분리장치를 사용하고 있다.

그런데, 종래기술에 따른 세정액 분리장치는 세정액에 혼합 구성된 메탈을 분리시키기 위한 구성으로 필터를 사용하는 것으로, 상기 필터는 상당한 고가이며 그 교환주기가 짧아 유지보수 비용을 크게 증가시킬 뿐만 아니라, 시간이 경과할수록 필터링 효과와 세정액의 재공급 압력이 크게 저하되어 만족할만한 작동 신뢰성을 기대하기 어려운 문제점이 있었다.

한국공개특허공보 제2009-0073455호(2009.07.03)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 발명의 목적은 마스크 세정공정에 사용되는 세정액 내에 잔류하는 메탈을 마그네틱을 이용하여 보다 효율적으로 제거할 수 있는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 및 방법을 제공하는데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치는, 세정조로부터 세정액이 유입되는 유입관; 상기 유입관과 연통되며 상기 세정액을 임시 수용하는 저장몸체; 상기 저장몸체에 저장된 세정액을 상기 세정조로 회송 안내하는 회수관; 상기 유입관에 설치되며 상기 세정액을 강제 순환시키는 순환펌프; 및 상기 저장몸체의 하부에는 호퍼형상의 배출부가 형성되며, 상기 배출부의 외주면에는 상기 세정액과 함께 혼입되는 메탈 성분이 자력에 의하여 포집되는 마그네틱수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 순환펌프는 상기 유입관의 선단에 설치되며 상기 세정액이 저장몸체 내부에서 원심력에 의한 싸이클론의 기류가 형성될 수 있도록 상기 저장몸체의 내주면에 대하여 접선방향으로 분사배출이 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 마그네틱수단은 배출부의 수직면에 설치되는 제1 자성체와, 상기 배출부의 경사면에 설치되는 제2 자성체로 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 마그네틱수단은 영구자석으로 구성되며, 상기 영구자석을 주기적으로 상기 저장몸체에 접근시키거나 멀어지도록 하는 구동장치가 설치되는 것을 특징으로 한다.

상기 마그네틱수단은 전류 통전에 의해 자화되는 전자석으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정방법은, 세정조에 저장된 세정액을 이용하여 마스크를 세정하는 세정 단계; 세정에 사용된 세정액을 저장몸체를 거쳐 외부로 순환 이송시키는 순환펌프 가동 단계; 상기 순환펌프 가동 단계로부터 저장몸체로 유입된 세정액 및 세정액에 혼합된 메탈을 마그네틱수단을 이용하여 상호 분류하는 분류단계; 상기 분류 단계를 마친 세정액은 회수관을 통해 다시 세정조로 안내되는 세정액 이송단계; 및 상기 분류 단계로부터 세정액과 분류된 메탈은 배출부를 통해 배출되는 메탈 배출 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 저장몸체의 배출부 외주면에 설치되어 세정액과 함께 혼입되는 메탈 성분을 자력으로 포집하는 마그네틱수단을 구성함으로써, 교환주기가 짧은 고가의 필터 구성을 생략할 수 있으므로 그에 따른 유지보수비용을 크게 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 세정액이 순환이동 하는 압력이 줄어드는 것을 미연에 방지할 수 있어 제품의 작동 신뢰성을 한층 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치 구성을 나타낸 도면이다.
도 2의 도 1의 저장몸체를 확대 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 마그네특수단이 상기 저장몸체에 접근 또는 멀어지도록 하는 구동장치를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정방법을 나타낸 순서도이다.

이하, 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치는 세정조(10)로부터 세정액이 유입되는 유입관(100)과, 상기 유입관(100)과 연통되며 상기 세정액을 임시 수용하는 저장몸체(200)와, 상기 저장몸체(200)에 저장된 세정액을 상기 세정조(10)로 회송 안내하는 회수관(300)과, 상기 유입관(100)에 설치되며 상기 세정액을 강제 순환시키는 순환펌프(400)와, 상기 저장몸체(200) 하부에 설치되는 마그네틱수단(500)을 포함하여 구성된다.

먼저, 상기 유입관(100)은 세정조(10)로부터 세정액을 유입하는 중공을 형성한 파이프 구조물로써, 상기 세정조(10)와 후술할 저장몸체(200) 사이를 연통시키는 구성요소이다.

상기 유입관(100)은 세정조(10)에 저장된 세정액을 상기 저장몸체(200)로 이송시키는 역할을 수행한다.

이러한 상기 유입관(100)의 외관형상은 원통형으로 형성하는 것이 바람직하나 삼각형, 사각형 외에 다양한 형상으로 형성할 수 있다.

상기 저장몸체(200)는 일정 크기의 저장공간부(201)를 형성한 함체로서, 외주면 둘레 일측에는 상기 유입관(100)이 결합되는 제1 결합구멍(210)이 형성되고, 상부에는 후술할 회수관(300)이 결합되는 제2 결합구멍(220)이 형성되며, 하부에는 호퍼형상의 배출부(230)가 형성된다.

상기 저장몸체(200)의 내,외부 형상은 원통형으로 형성하는 것이 바람직하다.

이러한 상기 저장몸체(200)는 상기 유입관(100)으로부터 유입되는 세정액을 임시 수용하는 것으로, 세정액과 혼입되는 메탈 입자를 상호 분리시키는 공간을 마련하는 구성요소이다.

다시 말해, 상기 저장몸체(200)의 제1 결합구멍(210)을 통해 유입되는 세정액 및 세정액에 혼입된 상태의 메탈입자가 유입되고 후술할 순환펌프(400) 및 마그네틱수단(500)의 상호 작용에 의해 상기 세정액과 메탈입자가 각각 분류되는 것으로, 세정액은 상기 제2 결합구멍(220)을 통해 빠져나가고 메탈입자는 배출부(230)를 통해 외부로 배출된다.

상기 회수관(300)은 상기 저장몸체(200)의 제2 결합구멍(220)에 결합되는 중공을 형성한 파이프 구조물로써, 저장몸체(200)에 저장된 세정액을 다시 세정조(10)로 회송 안내하는 역할을 수행한다.

상기 순환펌프(400)는 상기 유입관(100)에 설치되는 것으로, 상기 세정액을 강제 순환시키는 역할을 수행한다.

여기서, 상기 순환펌프(400)는 상기 유입관(100)의 선단에 설치되며 상기 세정액이 저장몸체(200) 내부에서 원심력에 의한 싸이클론의 기류를 형성할 수 있도록 상기 저장몸체(200)의 내주면에 대하여 접선방향으로 분사배출이 이루어지는 것이 바람직하다.

예컨대, 상기 순환펌프(400)를 통해 세정액과 메탈이 혼합된 상태로 상기 저장몸체(200)의 내주면에 접선방향으로 분출이 이루어지면, 상기 저장몸체(200)가 원통형임을 감안할 때 세정액과 메탈은 계속해서 상기 저장몸체(200)의 내주면을 따라 원심회전하면서 분류작용이 이루어지게 된다. 즉, 세정액보다 비중이 무거운 메탈은 저장몸체(200)의 하부 쪽으로 이동하게 되고 세정액은 저장몸체(200)의 중심부분으로 모여들면서 싸이클론(회오리)을 일으키다가 상승 배출기류를 형성함으로써 상기 회수관(300)을 통해 세정조(10)로 이동하게 된다.

상기 저장몸체(200)의 하부에 모이는 메탈은 상기 마그네틱수단(500)에 의해 진집되고 이후 상기 배출부(230)를 통해 외부로 배출된다.

한편, 상기 저장몸체(200)의 배출부(230) 외주면에는 상기 세정액과 함께 혼입되는 메탈이 자력에 의하여 포집되는 마그네틱수단(500)이 설치된다.

즉, 상기 마그네틱수단(500)은 상기 순환펌프(400)에 의한 싸이클론 작용시 자력으로부터 메탈을 포집하는 구성요소로써, 메탈을 포집하기 위한 별도의 필터 구성을 배제시킬 수 있으므로 그에 따른 유지보수가 간편할 뿐만 아니라 비용을 크게 절감시킬 수 있는 효과가 있다.

그리고, 상기 마그네틱수단(500)에 의해 포집된 메탈이 일정량 쌓이게 되면, 상기 배출부(230)의 외주면에 설치된 상기 마그네틱수단(500)의 자력을 소멸시킴으로써 상기 메탈이 배출부(230)를 통해 자연스럽게 배출될 수 있도록 한다.

여기서, 상기 마그네틱수단(500)은 배출부(230)의 수직면에 설치되는 제1 자성체(510)와, 상기 배출부(230)의 경사면에 설치되는 제2 자성체(520)로 구성된다.

또한, 상기 제1 자성체(510) 및 제2 자성체(520)는 전자석으로 제작되어 배출부(230)의 외주면에 부착되는 것이 바람직하다.

이 경우, 마스크용 세정액 분리장치의 작동 후 소정 시간마다 주기적으로 전류를 단속함으로써 메탈의 배출과 퇴적을 자연스럽게 유도할 수 있다.

또는, 상기 제1 자성체(510) 및 제2 자성체(520)는 영구자석으로 구성되고, 상기 영구자석이 주기적으로 상기 저장몸체(200)에 접근하거나 멀어지도록 함으로써 메탈의 퇴적 및 배출을 자연스럽게 유도하는 구동장치(530)를 추가적으로 설치할 수 있다(도 3참조).

이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 다이오드의 마스크 세정방법에 대하여 설명한다.

먼저, 세정조(10)에 저장된 세정액을 이용하여 마스크를 세정하는 세정 단계(S100)를 진행한다.

상기 세정 단계(S100)를 진행시 상기 마스크의 표면에 증착되어 있던 메탈이 상기 마스크 표면으로부터 분리되어 깨끗한 표면을 얻을 수 있도록 하는 세척작업이다.

이때, 상기 세정 단계(S100)를 진행하는 과정에서 발생한 메탈은 세정조(10) 바닥에 가라앉는다.

이후, 세정에 사용된 세정액을 저장몸체(200)를 거쳐 외부로 순환 이송시키는 순환펌프 가동 단계(S200)를 진행한다.

즉, 순환펌프 가동 단계(S200)는 세정조(10) 내의 세정액과 메탈을 외부로 압송시키는 역할을 수행한다.

상기 순환펌프 가동 단계(S200)는 세정조(10) 및 저장몸체(200)의 용량에 따라 세정액 공급량을 적절히 가변 조절할 수 있도록 한다.

그 다음, 상기 순환펌프 가동 단계(S200)로부터 저장몸체(200)로 유입된 세정액 및 세정액에 혼합된 메탈을 마그네틱수단(500)을 이용하여 상호 분류하는 분류 단계(S300)를 진행한다.

즉, 상기 저장몸체(200)의 배출부(230) 외주면에 설치되는 마그네틱수단(500)의 자력을 이용하여 메탈을 포집함으로써, 메탈과 세정액을 상호 분류시킬 수 있다.

여기서, 상기 마그네틱수단(500)은 소정 시간마다 주기적으로 전류를 단속함으로써 메탈의 배출과 퇴적을 자연스럽게 유도할 수 있는 전자석을 사용하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 마그네틱수단(500)은 상기 저장몸체(200)로부터 탈부착이 가능한 영구자석이 사용될 수도 있다.

이후, 상기 분류 단계(S300)를 마친 세정액은 회수관(300)을 통해 다시 세정조(10)로 안내되는 세정액 이송 단계(S400)와, 상기 분류 단계(S300)로부터 세정액과 분류된 메탈은 배출부(230)를 통해 배출되는 메탈 배출 단계(S500)의 진행으로 이루어진다.

상기 메탈 배출 단계(S500)의 경우 순환펌프(400)의 구동정지 및 마그네틱수단(500)의 자력을 소멸시킨 상태에서 일부의 세정액과 함께 메탈이 배출부(230)를 통해 배출이 이루어진다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 저장몸체(200)의 배출부(230) 외주면에 설치되어 세정액과 함께 혼입되는 메탈 성분을 자력으로 포집하는 마그네틱수단(500)을 구성함으로써, 교환주기가 짧은 고가의 필터 구성을 생략할 수 있으므로 그에 따른 유지보수비용을 크게 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 세정액이 순환이동 하는 압력이 줄어드는 것을 미연에 방지할 수 있어 제품의 작동 신뢰성을 한층 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

10 : 세정조
100 : 유입관
200 : 저장몸체
230 : 배출부
300 : 회수관
400 : 순환펌프
500 : 마그네틱수단

Claims (6)

1. 세정조로부터 세정액이 유입되는 유입관;
   상기 유입관과 연통되며 상기 세정액을 임시 수용하는 저장몸체;
   상기 저장몸체에 저장된 세정액을 상기 세정조로 회송 안내하는 회수관;
   상기 유입관에 설치되며 상기 세정액을 강제 순환시키는 순환펌프; 및,
   상기 저장몸체의 하부에는 호퍼형상의 배출부가 형성되며, 상기 배출부의 외주면에는 상기 세정액과 함께 혼입되는 메탈 성분이 자력에 의하여 포집되는 마그네틱수단을 포함하되,
   상기 순환펌프는 상기 유입관의 선단에 설치되며 상기 세정액이 저장몸체 내부에서 원심력에 의한 싸이클론의 기류가 형성될 수 있도록 상기 저장몸체의 내주면에 대하여 접선방향으로 분사배출이 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 마그네틱수단은 배출부의 수직면에 설치되는 제1 자성체와, 상기 배출부의 경사면에 설치되는 제2 자성체로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 마그네틱수단은 영구자석으로 구성되며,
   상기 영구자석을 주기적으로 상기 저장몸체에 접근시키거나 멀어지도록 하는 구동장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 마그네틱수단은 전류 통전에 의해 자화되는 전자석으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 다이오드의 마스크 세정장치.
6. 삭제

Images