KR101585020B1 - 직접분무식 수가습 시스템 - Google Patents

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KR101585020B1
KR101585020B1 KR1020140153089A KR20140153089A KR101585020B1 KR 101585020 B1 KR101585020 B1 KR 101585020B1 KR 1020140153089 A KR1020140153089 A KR 1020140153089A KR 20140153089 A KR20140153089 A KR 20140153089A KR 101585020 B1 KR101585020 B1 KR 101585020B1
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KR1020140153089A
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최영기
최영진
김희재
이윤수
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주식회사 원방테크
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    • F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
    • F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

본 발명은 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것으로, 본 발명은 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 감지하는 감지수단; 상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크; 및 상기 감지수단의 감지 신호를 수신하여 상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 판단하는 제어기를 포함한다.
본 발명에 의하면, 과전류 등에 의해 솔레노이드 밸브가 손상되어 고장 나는 경우 솔레노이드 밸브의 작동시 발생 압력을 감지하는 감지수단에 의해 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 인지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은, 솔레노이드 밸브의 압력 발생 여부 이외에 분무수의 배출 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있고, 솔레노이드 밸브의 전원 입력 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있으며, 솔레노이드 밸브 별로 ID를 부여하여 고장난 솔레노이드 밸브의 위치를 용이하게 확인할 수 있는 효과가 있다.

Description

직접분무식 수가습 시스템 {PLENUM MOISTURIZING SYSTEM}
본 발명은 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정밀 온습도 제어를 요구하는 클린룸 운영조건에서 이류체 노즐에 의한 클린룸내 직접 분무 방식을 통해 클린룸 내부를 가습하는 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것이다.
클린룸이란 공기중의 부유 미립자가 한정된 청정도 이하로 관리되고, 그 공간에서 온도, 습도, 압력 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다.
특히, 클린룸내의 습도와 양압 유지에 필수 설비인 외기조화기는 클린룸 외부에 별도로 설치되며, 클린룸에서 배출되는 배기풍량과 클린룸의 양압유지에 필요한 공기량이 합하여진 만큼의 외기량을 도입하며, 도입된 외기는 클린룸에서 요구되는 온습도가 되도록 외기조화기내에 구비된 가열코일, 냉각코일, 제습기, 가습기 등 각종 구성품에 의하여 가열, 가습, 냉각, 제습 등의 과정에 의하여 상태가 변화되어 클린룸 내로 공급된다.
클린룸내의 직접 분무식 기화 가습기는 노즐에 의해 미립화된 분무수 입자가 공기와 집적 접촉함으로써 공기의 냉각과 가습효과를 동시에 만족시키는 장치이다.
이러한 직접 분무식 기화가습기와 관련된 기술이 특허등록 제0915213호에 제안된 바 있다.
이하에서 종래기술로서 특허등록 제0915213호에 개시된 크린룸내의 직접 분무식 기화가습기의 제어장치 및 제어방법을 간략히 설명한다.
도 1은 특허등록 제0915213호(이하 '종래기술'이라 함)에서 크린룸 내 직접 분무식 기화 가습기의 설치 사시도이다. 도 1에서 보는 바와 같이 종래기술의 직접 분무식 기화 가습기는 복수개의 분사노즐(10)이 노즐고정연장관(20)상에 일정거리 이격되어 설치되고, 상기 노즐고정연장관(20)의 단부에는 초순수 저장조(30)가 설치되고, 상기 노즐(10)은 솔레노이드밸브(40)에 의하여 작동되는 구성을 갖으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 솔레노이드밸브(40)는 잘 알려진 바와 같이, 전기적으로 작동하는 장치로서, 유체나 기체의 흐름을 완전 닫힘 또는 완전 열림 방식으로 조절하는데 사용되며, 보통 수동 밸브를 대신해서 또는 원격 제어가 요구될 수 있는 곳에서 사용된다. 전기를 가하면 솔레노이드 코일은 플런저 관 내부의 스틸 플런저를 들어올리는 강한 자력을 제공하므로, 평상시 닫혀 있는 밸브의 오리피스를 열고 액체나 기체의 흐름을 가능하게 해준다.
그러나 종래기술에 의한 직접분무식 기화 가습기는 과전류 등에 의해 솔레노이드밸브(40)가 고장 나는 경우, 고장 위치를 육안으로 확인하지 않는 이상 인지할 수 없는 문제점이 있었다.
KR 0915213 B1
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 과전류 등에 의해 솔레노이드 밸브가 고장 나는 경우 솔레노이드 밸브의 작동시 발생 압력을 감지하는 감지수단에 의해 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 인지할 수 있게 한 직접분무식 수가습 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 솔레노이드 밸브의 압력 발생 여부 이외에 분무수의 배출 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있게 한 직접분무식 수가습 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 솔레노이드 밸브의 전원 입력 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있게 한 직접분무식 수가습 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 솔레노이드 밸브 별로 ID를 부여하여 고장난 솔레노이드 밸브의 위치를 용이하게 확인할 수 있게 한 직접분무식 수가습 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 감지하는 감지수단; 상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크; 및 상기 감지수단의 감지 신호를 수신하여 상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 판단하는 제어기를 포함하는 직접분무식 수가습 시스템을 통해 달성된다.
또한, 본 발명에서의 상기 감지수단은 상기 솔레노이드 밸브와 상기 노즐까지 연결되는 배관 내부의 압력을 감지하고, 감지 결과를 상기 제어기로 전송하는 압력센서인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에서의 상기 감지수단은 상기 솔레노이드 밸브에 전원이 입력되지 않는 경우 상기 제어기에서 상기 솔레노이드 밸브의 작동 불량으로 판단하도록 하는 전기적 스위치인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에서의 상기 제어기는 상기 솔레노이드 밸브 별로 부여된 ID에 따라 해당 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 상기 감지수단의 감지 결과에 의해 판단할 수 있다.
또한, 본 발명에서의 상기 제어기에는 상기 감지수단의 감지 결과를 청각 또는 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단이 구비될 수 있다.
본 발명에 의하면, 과전류 등에 의해 솔레노이드 밸브가 손상되어 고장 나는 경우 솔레노이드 밸브의 작동시 발생 압력을 감지하는 감지수단에 의해 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 인지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 솔레노이드 밸브의 압력 발생 여부 이외에 분무수의 배출 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있고, 솔레노이드 밸브의 전원 입력 여부로 해당 솔레노이드 밸브의 고장 여부를 추가적으로 인지할 수 있으며, 솔레노이드 밸브 별로 ID를 부여하여 고장난 솔레노이드 밸브의 위치를 용이하게 확인할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래기술에 따른 크린룸 내 직접 분무식 기화 가습기의 설치 사시도이다.
도 2는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템을 도시한 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템에서 감지수단이 구비된 상태를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템의 감지수단에 의해 솔레노이드 밸브의 고장을 검출하는 순서를 나타낸 순서도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하 도면을 참고하여 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템에 대한 실시 예의 구성을 상세하게 설명하기로 한다.
도 2에는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템이 사시도로 도시되어 있고, 도 3에는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템이 분해사시도로 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템에서 감지수단이 구비된 상태가 사시도로 도시되어 있으며, 도 5에는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템의 감지수단에 의해 솔레노이드 밸브의 고장을 검출하는 순서가 순서도로 도시되어 있다.
이들 도면에 의하면, 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템(100)은 분무수를 압축공기에 의해 미세분무하는 기능을 하며, 매니폴드(110), 커넥터 고정부재(113), 분무수 연결관(120a), 압축공기 연결관(120b), 노즐(130), 분무수 탱크(140), 솔레노이드 밸브(150), 감지수단(160) 및 제어기를 포함한다. 이때, 상기 분무수는 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템(100)이 클린룸에 적용되는 경우 초순수일 수 있다.
매니폴드(Manifold: 110)는 알루미늄 재질 등 금속 재질을 이용하여 수평 방향으로 압출 또는 사출 형성되며, 양단을 엔드 커버(End cover: 114)로 씌운다.
이때, 상기 매니폴드(110)는 내부에 형성된 분무수 헤더(111)와 압축공기 헤더(112)의 양단 또는 일단을 플러그로 마감 처리할 수 있다.
더욱이, 상기 매니폴드(110)는 내부 상단 좌우측에 분무수와 압축공기가 분리 공급하도록 분무수 헤더(111)와 압축공기 헤더(112)가 각각 길이 방향으로 분리 형성된다.
한편, 상기 분무수 헤더(111)와 상기 압축공기 헤더(112)에서 헤더(header)라 함은 다수의 분기관을 나누거나 모으기 위하여 확대한 부분, 다수의 분기관을 접촉하는 구조체를 말한다.
더욱이, 상기 매니폴드(110)는 내부 하단에 분무수 헤더(111) 및 압축공기 헤더(112)와 별도로 배선 통로(113)가 길이 방향으로 형성되며, 상기 배선 통로(113)를 개폐하는 커버(도면에 미도시)를 포함한다.
이때, 상기 배선 통로(113)는 각각의 노즐(130)에 대한 개폐 여부를 제어하는 솔레노이드 밸브(150)의 개별적인 제어를 위해 상기 솔레노이드 밸브(150)마다 각각 전기적으로 연결한 전원선을 배선하도록 매니폴드(110)의 하부에 형성되는 공간이다.
한편, 상기 분무수 공급관(141)과, 상기 압축공기 공급관(142)은 매니폴드(110)의 일측 끝단에 연결되는 것으로 예시하였으나, 상기 매니폴드(110)의 중간에 설치될 수 있다.
분무수 연결관(120a)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 분무수 탱크(140)에서 분무수가 상기 노즐(130)로 공급되도록 분무수 헤더(111)와 연결된다.
압축공기 연결관(120b)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 노즐(130)과 솔레노이드 밸브(150)를 지지하면서 압축공기 공급관(142)을 통해 압축공기가 상기 노즐(130)로 공급되도록 압축공기 헤더(112)와 연결된다.
노즐(130)은 압축공기 연결관(120b)의 상단에 설치되어 분무수와 압축공기를 동시 분사시킨다. 이때, 상기 노즐(130)은 이류체 사이폰 방식으로, 분무수와 압축공기를 각각 외부에서 혼합한 후 압축공기의 힘으로 액체를 분무하여 미세 분무를 구현하게 된다. 여기서, 상기 노즐(130)은 회전 가능하게 설치되어 설치 위치별 분무 각도 및 분무 정도를 조절할 수 있다.
이때, 본 실시예에서는 분무수와 압축공기를 외부 혼합하여 공급하는 것으로 예시하였으나, 이에 에 한정하지 않고 내부 혼합 등도 가능하다.
더욱이, 상기 노즐(130)은 다수개가 연결부재에 의해 지지되게 하여 운반 시 노즐을 잡는 과정에서 발생되는 노즐 등의 파손 문제를 방지할 수 있고, 나선 체결된 노즐의 회전을 방지하여 누수발생도 방지 가능하다.
분무수 탱크(140)는 대기압 상태를 유지하면서 노즐(130)로 분무수를 공급하도록 매니폴드(110)의 일측 끝단에 설치되며, 상기 노즐(130)에 분무수 헤더(111)와 연결되는 분무수 공급관(141)이 구비된다. 이때, 분무수 탱크(140)는 도면에는 도시하지 않았지만 탱크 몸체, 연결커버, 부레 및 밀봉부재를 포함하여 구성된다.
더욱이, 상기 분무수 탱크(140)는 매니폴드(110)의 일측 끝단에 설치되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정하지 않고 상기 노즐(130)의 사이 등과 같이 상기 분무수 탱크(140)가 설치될 수 있는 여유 공간이면 어느 공간이던 설치가 가능하다.
탱크 몸체는 상단이 개구된 내부에 분무수가 저장되고, 바닥면에 매니폴드(110)의 분무수 헤더(111)와 연결되어 분무수를 배수하도록 연결구멍이 형성된다.
연결커버는 탱크 몸체의 개구된 상단에 결합되며, 상면에 분무수를 주입하는 주입관(도면에 미도시)과 연결된다. 한편, 상기 탱크 몸체와 상기 연결커버는 투명 재질로 형성되어 내부에 저장된 분무수의 저장량을 인지할 수 있다.
부레는 밀봉부재의 하단에서 상단에 연결된 레버에 의해 회전 가능하게 구비되어 탱크 몸체 내부의 분무수 수위에 따라 회전되면서 상기 밀봉부재를 승강시켜 연결커버에 연결된 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 개폐한다.
즉, 상기 부레의 상면에 연결된 레버는 상단이 연결커버의 저면에서 힌지에 의해 회전 가능하게 구비되어, 회전 과정에서 밀봉부재를 승강시켜 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 개폐하게 한다.
밀봉부재는 탱크 몸체 내부의 분무수 수위가 낮으면 하강하여 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 개방하고 있다가, 상기 분무수 수위가 설정 높이에 도달하면 상승하면서 상기 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 차단시켜 분무수 공급을 중지하게 된다. 이때, 상기 밀봉부재는 고무 패드 등이 적용될 수 있다.
솔레노이드 밸브(Solenoid valve: 150)는 압축공기 연결관(120b)의 상단에 설치되어 전원 인가시 전자석의 원리를 이용하여 상기 압축공기 연결관(120b)을 개폐 즉, 노즐(130)의 개폐를 제어한다.
즉, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 전기적으로 작동하는 장치로서, 유체나 기체의 흐름을 완전 닫힘 또는 완전 열림 방식으로 조절하는데 사용되며, 보통 수동 밸브를 대신해서 또는 원격 제어가 요구될 수 있는 곳에서 사용된다. 전기를 가하면 솔레노이드 코일은 플런저 관 내부의 스틸 플런저를 들어올리는 강한 자력을 제공하므로, 평상시 닫혀 있는 밸브의 오리피스를 열고 액체나 기체의 흐름을 가능하게 해준다.
이때, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 상기 노즐(130)마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 개별적으로 개폐하게 하거나, 상기 노즐(130) 군에서 다수개씩 연결한 후 다수개씩 동시 또는 순차 개폐하게 하거나, 상기 노즐(130) 전체를 연결한 후 전체를 동시 개폐하게 할 수 있으며, 본 실시예에서는 상기 솔레노이드 밸브(150)가 상기 노즐(130)마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 개별적으로 개폐하게 하는 것으로 예시한다.
한편, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 코일(151), 고정철심(152), 스프링(153), 플런저(Plunger: 154) 및 연결구(155)를 포함한다.
코일(151)은 전원선이 연결되어 인가 전원에 의해 전자석화되고, 고정철심(152)은 금속재로 형성되어 코일(151)의 내부에 고정된다.
스프링(153)은 단부가 막혀있는 고정철심(152)의 홀 내부에 일단이 위치되고 타단은 단부가 막혀있는 플런저(154)의 홀 내에 위치된다.
이때, 상기 스프링(153)은 후술할 플런저(154)를 항시 연결구(155) 방향으로 복원력이 제공되도록 하여 복원력을 통해 상기 연결구(155)의 유동 통로를 항시 밀폐하도록 한다.
플런저(154)는 금속재로 형성되어, 스프링(153)의 복원력에 의해 연결구(155)의 유동 통로를 밀폐한 상태에서 코일(151)에 전원이 인가되면 전자석 원리에 의해 상기 연결구(155)의 유동 통로를 개방시킨다.
연결구(155)는 고정철심(152)과 나선 체결되며, 내부에 입구와 출구가 형성된 상태에서 플런저(154)의 이동 방향에 따라 입구 및 출구를 개방 또는 폐쇄하게 된다.
압축공기 발생부는 도면에는 도시하지 않았지만, 노즐(130)에 압축 공기를 공급하도록 압축공기 공급관(146)의 끝단이 상기 노즐(130)에 연결된다.
감지수단(160)은 솔레노이드 밸브(150)와 노즐(130) 사이에 연결된 엘보우(elbow)에 설치되어 상기 엘보우 배관의 내부 압력을 체크하는 구성요소이다.
즉, 압축공기 연결관과 연결된 솔레노이드 밸브(150) 중 과전류 등에 의해 특정 위치의 솔레노이드 밸브(150)가 고장 나는 경우, 압축공기가 배출되지 않으므로 압축공기의 이동 여부에 따른 압력을 감지한 후 감지값을 제어기로 전송한다.
또한, 감지수단(160)은 또 다른 실시예로, 솔레노이드 밸브(150)에 전원이 입력되지 않는 경우 제어기에서 상기 솔레노이드 밸브(150)의 작동 불량으로 판단하도록 하는 전기적 스위치(도면에 미도시)가 적용될 수 있다.
특히, 상기 감지수단(160)은 압력센서 또는 전기적 스위치 중 어느 하나만 단독으로 사용하여 솔레노이드 밸브(150)의 고장 여부를 감지할 수도 있고, 압력센서와 전기적 스위치를 모두 사용하여 상기 솔레노이드 밸브(150)의 고장 여부를 감지할 수도 있다.
제어기는 도면에는 도시하지 않았지만 클린룸(도면에 미도시) 내에 설치된 온도 센서(도면에 미도시)의 온도 감지 및 가습량 감지 센서(도면에 미도시)의 가습량 감지를 통해 솔레노이드 밸브(150)의 작동을 개별적으로 제어하여 직접분무식 수가습 시스템(100)의 노즐(130) 개폐를 부분적 또는 전체적으로 정밀 제어가 가능하다.
더욱이, 상기 제어기는 솔레노이드 밸브(150) 별로 부여된 ID에 따라 해당 솔레노이드 밸브(150)의 고장 여부를 감지수단(160)의 감지 결과에 의해 진단하고, 고장 위치에 대한 정보를 인지할 수 있게 한다. 또한, 상기 제어기는 판단 결과에 따라 고장난 솔레노이드 밸브(150)의 위치를 판별하게 되며, 고장 위치를 알람 발생부 등에 의한 청각 또는 점멸(점등) 발생부 등에 의해 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단(도면에 미도시)이 구비될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 솔레노이드 밸브의 고장을 검출하는 순서를 나타내면, 우선, 감지수단(160)인 압력 검출기에서 압축공기에 따른 배관 내부 압력을 실시간으로 체크하여 체크 신호를 압력 검출기 신호(S212)와 솔레노이드 밸브(150)의 신호를 비교(S220)하는 공정으로 제공한다.
이와 동시에 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210)를 감지하여 상기 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210)가 감지되면 압력 검출기 신호(S212)와 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210)를 비교(S220)한다.
그 후, 압력 검출기 신호(S212)와 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210)에 대해 신호간 일치 여부를 판정(S230)하여 신호가 일치하면 종료되고, 일치하지 않으면 고장 신호를 출력(S232)하게 된다.
이렇게, 압력 검출기 신호(S212)의 출력값과 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210)에 의한 출력값이 "1" 이나 "0" 으로 동일하게 출력되는 경우 정상 상태이다. 이와 다르게 압력 검출기 신호(S212)의 출력값이 "1"이고 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210) 출력값이 "0" 이거나, 상기 압력 검출기 신호(S212)의 출력값이 "0"이고 상기 솔레노이드 밸브(150)의 전원 인가 신호(S210) 출력값이 "1" 로 다르게 출력되는 경우는 비정상 상태이다.
그러므로 본 발명의 일실시예에 따른 직접분무식 수가습 시스템(100)은 클린룸 내 가습 등이 요구되는 경우 작동하게 된다.
즉, 제어기의 제어를 통해 솔레노이드 밸브(150)에 전원을 인가하면 코일이 전자석이 되면서 연결구의 유동 통로를 폐쇄시키고 있던 플런저가 고정철심 측으로 이동되게 하면서 상기 연결구의 유동 통로를 개방시킨다.
여기서, 과전류 등에 의해 특정 솔레노이드 밸브(150)가 고장 나는 경우, 플런저(154)가 동작하지 않으므로 감지수단(160)에서 감지할 수 없지만, 상기 솔레노이드 밸브(150)가 정상 작동하는 경우 상기 플런저(154)의 동작에 의해 압력이 발생하므로 이를 압력센서인 감지수단(160)에서 감지한 후 감지값을 제어기로 전송한다.
더욱이, 솔레노이드 밸브(150)에 전기적 스위치인 감지수단을 설치하여 솔레노이드 밸브(150)에 전원이 입력되지 않는 경우 제어기에서 상기 솔레노이드 밸브(150)의 작동 불량으로 판단하도록 한다.
나아가서는, 압력센서 또는/및 전기적 스위치인 감지수단(160)을 모두 설치한 후 각각의 센서에 의해 감지된 결과값에 의해 솔레노이드 밸브(150)의 고장 여부를 판별할 수 있게 된다.
여기서, 특정 솔레노이드 밸브(150)가 고장나게 되면, 솔레노이드 밸브(150) 별로 부여된 ID에 따라 고장난 솔레노이드 밸브(150)의 위치를 판별하게 되며, 고장 위치를 인지수단을 통해 청각 또는 시각적으로 인지시킬 수 있도록 한다.
다음으로, 연결구의 유동 통로가 개방되면, 분무수 탱크(140)와 연결되는 분무수 공급관(141)과, 압축공기 발생부와 연결되는 압축공기 공급관(142)을 통해 분무수와 압축공기가 노즐(130)을 통해 분사된다.
이때, 분무수는 분무수 탱크(140)에 저장된 수위가 낮으면 부레(145)가 상승하면상기 부레(145)에 연결된 밀봉부재(146)를 하강시켜 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍이 개방되므로 공급되고, 수위가 적정 위치에 도달하면 상기 부레(145)가 하강하면서 이에 연결된 밀봉부재(146)를 승강시켜 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 폐쇄하므로 공급이 중지된다.
여기서, 솔레노이드 밸브(150)의 전원 입력선에 연결된 커넥터(C)가 매니폴드(110)의 길이 방향 일측 또는 양측에 구비된 커넥터 고정부재(113)의 커넥터 결합 홀(113b)에 결합된 상태로 구비되므로 외부 전원 입력선에 연결된 커넥터를 손쉽게 솔레노이드 밸브(150)의 전원 입력선에 연결된 커넥터(C)에 결속 또는 분리가 가능하다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 직접분무식 수가습 시스템
110: 매니폴드
113: 커넥터 고정부재
120a: 분무수 연결관
120b: 압축공기 연결관
130: 노즐
140: 분무수 탱크
150: 솔레노이드 밸브
160: 감지수단

Claims (5)

  1. 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서,
    분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드;
    상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐;
    상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브;
    상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 감지하는 감지수단;
    상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크; 및
    상기 감지수단의 감지 신호를 수신하여 상기 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 판단하는 제어기를 포함하고,
    상기 감지수단은 상기 솔레노이드 밸브와 상기 노즐까지 연결되는 배관 내부의 압력을 감지하고, 감지 결과를 상기 제어기로 전송하는 압력센서 및, 상기 솔레노이드 밸브에 전원이 입력되지 않는 경우 상기 제어기에서 상기 솔레노이드 밸브의 작동 불량으로 판단하도록 하는 전기적 스위치이며,
    상기 제어기는 상기 솔레노이드 밸브 별로 부여된 ID에 따라 해당 솔레노이드 밸브의 작동 여부를 상기 감지수단의 감지 결과에 의해 판단하고,
    상기 솔레노이드 밸브는 상기 매니폴드의 압축공기 헤더와 연결된 압축공기 연결관의 상단에 설치되며, 상기 감지수단은 솔레노이드 밸브와 노즐 사이에 연결된 엘보우(elbow)에 설치되는 직접분무식 수가습 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어기에는 상기 감지수단의 감지 결과를 청각 또는 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단이 구비되는 직접분무식 수가습 시스템.

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