KR20160113921A - 직접분무식 수가습 시스템 - Google Patents

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최영진
전수범
김희재
신용한
왕영훈
이윤수
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주식회사 원방테크
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Abstract

본 발명은 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것으로, 본 발명은, 분무수와 압축공기를 분사시켜 클린룸 내부를 수가습하는 노즐이 유닛별 매니폴드에 다수 배치되고, 솔레노이드 밸브를 각각 구비하여 상기 노즐을 개폐하게 하도록 구성된 유닛을 적어도 두 유닛 이상 전기적으로 배선하는 수가습 시스템에 있어서, 상기 유닛들은 관절식 연결부재에 의해 서로 연결되어 상기 클린룸 내부에 배치된다.
본 발명에 의하면, 다수의 노즐들이 배치되어 있는 매니폴드 유닛을 클린룸 내부에 배치할 경우, 각각의 유닛들이 관절식 연결부재에 의해 연결되므로, 다양한 구조의 배열구조로 용이하고 안정적으로 배열할 수 있으므로, 클린룸 내부의 위치별로 수가습의 세기와 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

Description

직접분무식 수가습 시스템 {PLENUM MOISTURIZING SYSTEM}
본 발명은 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정밀 온습도 제어를 요구하는 클린룸 운영조건에서 직접 분무 방식을 통해 이류체를 수가습시켜 클린룸 내부를 가습할 때 노즐 개폐를 제어하는 솔레노이드 밸브에 대한 전원인가를 용이하고 안정적으로 조절할 수 있는 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것이다.
클린룸이란 공기중의 부유 미립자가 한정된 청정도 이하로 관리되고, 그 공간에서 온도, 습도, 압력 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다.
특히, 클린룸 공간 내의 온도, 습도, 압력 제어의 중요한 역할을 담당하는 설비인 공기조화기(AHU)는 클린룸 외부에 별도 설치되어 변화하는 외기의 온습도를 클린룸 온습도 유지에 맞는 조건으로 공기조화기의 코일과 가습기 등의 제어로 가공되어 클린룸 내로 공급시킨다.
클린룸 내의 직접 분무식 기화 가습기는 노즐에 의해 미립화된 초순수입자가 공기와 집적 접촉함으로써 공기의 냉각과 가습효과를 동시에 만족시키는 장치이다.
이러한 직접 분무식 기화 가습기와 관련된 기술이 특허등록 제0924960호 및 특허등록 제0848933호에 제안된 바 있다.
이하에서 종래기술로서 특허등록 제0924960호 및 특허등록 제0848933호에 개시된 직접 분무식 기화 가습기 및 클린룸내 직접분무식 기화가습장치를 간략히 설명한다.
도 1은 특허등록 제0924960호(이하 '종래기술 1'이라 함)에서 기화 가습 시스템의 개략적인 구성도이다. 도 1에서 보는 바와 같이 종래기술 1의 기화 가습 시스템은 클린룸(30) 내에 위치되며 초순수 분무를 위한 노즐(41)이 구비된 매니폴더(40), 클린룸(30) 내의 온도와 습도에 대한 확인을 하는 컨트롤 밸브 제어부(50), 상기 매니폴더(40)에 까지 연결되어 초순수를 공급하는 초순수공급부(60),상기 매니폴더(40)까지 연장된 압축공기 발생부(70)를 포함한다. 각 매니폴더(40)에는 초순수가 저장되는 초순수저장조(42)가 설치되어 있다. 상기 초순수저장조(42)에는 중력에 따라 상하로 이동되는 중공볼(42a)이 설치되어 상기 중공볼(42a)의 상하운동에 따라 초순수공급배관(61a)의 초순수공급을 조절한다.
그러나 종래기술 1에 의한 클린룸내 직접 분무식 기화가습장치는 분무 매니폴더(40)마다 설치된 다수의 노즐(41) 중 특정 위치에 대한 노즐(41)의 작동을 동시에 제어하기가 어렵고, 특정 노즐(41)이 손상되는 경우, 특정 노즐(41)이 위치하는 부분의 가습이 중단되어 클린룸(30) 전체적으로 균일한 습도의 조절이 어려워지게 되므로 이에 대한 해결책이 요구되고 있다.
도 2는 특허등록 제0848933호(이하 '종래기술 2'라 함)에서 클린룸내 직접분무식 기화가습장치의 설치 사시도이다. 도 2에서 보는 바와 같이 종래기술 2의 클린룸내 직접분무식 기화가습장치는 복수개의 분사노즐(1)이 노즐고정연장관(2)상에 일정거리 이격되어 설치되고 상기 노즐고정연장관(2)의 단부에는 초순수 저장조(3)가 설치된 클린룸 내의 직접 분무식 기화가습장치(A)에 있어서, 상기 분사노즐(1)이 복수개가 설치되는 노즐고정연장관(2)은 압출성형되어 필요한 길이로 절단하여 사용할 수 있고, 상기 노즐고정연장관(2)의 단면은, 초순수 공급공(21)과 압축공기를 공급하는 압축공기 공급공(22)이 일체로 형성되고, 상기 단면의 상부와 하부에는 노즐브라켓(11)과 상기 노즐고정연장관(2)을 고정시키는 거치대(4)를 설치하기 위한 노즐브라켓고정홈(23)과 거치대고정홈(24)이 형성된다. 이때, 초순수 저장조(3)는 상부에서 초순수가 공급되는 초순수 공급관(31)이 연결되고, 상기 초순수 공급관(31)에서 공급된 초순수가 흘러내리는 초순수 연장공(32)이 하방으로 천공되고, 상기 초순수 연장공(32)의 하단에는 초순수유출공(33a)이 천공된 니들밸브받침대(33)가 설치된 저장조덮개(30)와, 하부에는 초순수 배출관(35)이 연결되고 초순수가 저장되는 저장조본체(34)와, 상기 저장조덮개(30)와 저장조본체(34)내부에 설치되며 공기가 들어 있는 부레본체(36a)와 상기 부레본체(36a)의 상부에 돌출성형되며 상단부는 니들밸브받침대(33)의 초순수유출공(33a)에 접촉하며 상기 초순수유출공(33a)을 개폐시키는 니들밸브(36b)가 구비된 플로우트(36)를 포함한다.
그러나 종래기술 2에 의한 클린룸내 직접분무식 기화가습장치 역시 특정 분사노즐(1)이 손상되는 경우, 특정 분사노즐(1) 부분의 교체 및 수리가 어렵고, 클린룸 내 균일한 습도의 조절이 어려워지게 되므로 이에 대한 해결책이 요구된다.
KR 0924960 B1 KR 0848933 B1
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 다수의 노즐들이 배치되어 있는 매니폴드 유닛을 클린룸 내부에 배치할 경우, 각각의 유닛들이 관절식 연결부재에 의해 연결되므로, 다양한 구조의 배열구조로 용이하고 안정적으로 배열할 수 있으므로, 클린룸 내부의 위치별로 수가습의 세기와 정도를 용이하게 조절할 수 있는 직접분무식 수가습 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 분무수와 압축공기를 분사시켜 클린룸 내부를 수가습하는 노즐이 유닛별 매니폴드에 다수 배치되고, 솔레노이드 밸브를 유닛별로 구비하여 상기 노즐을 개폐하게 하도록 구성된 유닛을 적어도 두 유닛 이상 전기적으로 배선하는 수가습 시스템에 있어서, 상기 유닛들은 관절식 연결부재에 의해 서로 연결되어 상기 클린룸 내부에 배치되는 직접 분무식 수가습 시스템에 의해 달성된다.
상기 관절식 연결부재는 흰지(hinge) 구조를 이용한 기계식 관절구조, PVC, PE 등의 고분자 수지로 이루어진 주름관 구조, 및 스테인레스, 알루미늄 등의 금속으로 이루어진 주름관 구조로 이루어진 군에서 선택된 구조로 형성될 수 있다.
상기 관절식 연결부재의 양단에는 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브와 연결된 전원선들과 각각 연결될 수 있는 커넥터들이 형성될 수 있다.
상기 커넥터들은 상기 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브들을 각각 온오프(On-Off) 할 수 있는 스위치가 형성될 수 있다.
상기 노즐은 상기 매니폴드에 형성된 분무수 헤더와 분무수 연결관을 통해 연통되면서 상기 매니폴드에 형성된 압축공기 헤더와 압축공기 연결관을 통해 연결되며, 상기 압축공기 공급관에는 상기 솔레노이드 밸브가 구비되어 상기 압축공기 공급관을 개폐하는 것으로 구성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 다수의 노즐들이 배치되어 있는 매니폴드 유닛을 클린룸 내부에 배치할 경우, 각각의 유닛들이 관절식 연결부재에 의해 연결되므로, 다양한 구조의 배열구조로 용이하고 안정적으로 배열할 수 있으므로, 클린룸 내부의 위치별로 수가습의 세기와 정도를 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래기술 1에 따른 기화 가습 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 종래기술 2에 따른 클린룸내 직접분무식 기화가습장치의 설치 사시도이다.
도 3은 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템에 매니폴드 유닛별로 적용된 배선 구조를 도시한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 관절식 연결부재를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 관절식 연결부재를 나타낸 평면도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하 도면을 참고하여 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템에 대한 실시 예의 구성을 상세하게 설명하기로 한다.
도 3에는 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템을 도시한 사시도가 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 시스템에 매니폴드 유닛별로 적용된 배선 구조를 도시한 개략도가 도시되어 있다.
이들 도면에 의하면, 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템(100)은 솔레노이드 밸브에 전원을 인가하며, 개폐 여부에 대한 신호를 전달하는 전원 입력 케이블들(152), 이러한 전원 입력 케이블들(152)을 감싸는 구조로 이루어진 매니폴드(110), 상기 매니폴드(110)들을 상호 연결하는 관절식 연결부재(153)를 포함하며, 직접분무식 수가습 시스템(100)을 적어도 두 유닛 이상 배치한 후 전기적으로 배선하는 경우에 적용될 수 있다. 이때, 상기 분무수는 직접분무식 수가습 시스템(100)이 클린룸에 적용되는 경우 초순수일 수 있다.
여기서, 하나의 유닛(Unit)이라 함은 직접분무식 수가습 시스템(100)의 구성이 하나의 매니폴드(110) 상에 다수의 분무수 연결관(120a)과, 압축공기 연결관(120b)과, 노즐(130) 및 하나의 솔레노이드 밸브(150)를 각각 구비하면서, 상기 매니폴드(110)의 측단에 하나의 분무수 탱크(140)를 구비한 구성을 말한다, 그리고 다수의 유닛은 하나의 그룹으로 지정할 수 있고, 각각의 그룹을 이루는 솔레노이드 밸브(150)의 일률적인 제어(반응 신호 출력)가 가능하다.
이때, 본 발명의 직접분무식 수가습 시스템(100)의 구조를 크게 먼저 설명하면, 분무수와 압축공기를 각각 혼합한 후 미세 분무하는 기능을 하며, 매니폴드(110), 연결관(120), 노즐(130), 분무수 탱크(140), 솔레노이드 밸브(150) 및 제어부를 포함한다.
매니폴드(Manifold: 110)는 알루미늄 재질 등으로 형성되어 수평방향으로 구비되며, 양단이 개구되어 엔드 커버(End cover)로 마감한다. 이때, 상기 매니폴드(110)는 내부에 분무수와 압축공기가 분리 공급하도록 분무수 헤더(도면에 미도시)과 압축공기 헤더(도면에 미도시)이 각각 길이 방향으로 분리 형성된다.
이때, 상기 분무수 헤더와 상기 압축공기 헤더에서 헤더(header)라 함은 다수의 분기관을 나누거나 모으기 위하여 확대한 부분, 다수의 분기관을 접촉하는 구조체를 말한다.
그리고 상기 엔드 커버에는 분무수 헤더과 연통되도록 분무수 탱크(140)와 연결되는 분무수 공급관(141)과, 압축공기 헤더과 연통되도록 압축공기 발생부(도면에 미도시)와 연결되는 압축공기 공급관(142)이 각각 관통 설치된다.
분무수 연결관(120a)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 분무수 탱크(140)에서 분무수가 상기 노즐(130)로 공급되도록 분무수 헤더(111)와 연결된다.
압축공기 연결관(120b)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 노즐(130)을 지지하면서 압축공기 공급관(142)에 솔레노이드 밸브를 통해 압축공기가 상기 노즐(130)로 공급되도록 압축공기 헤더(112)와 연결된다.
이렇게, 상기 분무수 연결관(120a)과 상기 압축공기 연결관(120b)은 매니폴드(110)의 상면에 나선홀을 천공한 후 각각의 나선홀에 체결되는 구조로 구비되므로, 상기 매니폴드(110)의 상면이나 측면에 종래기술과 같이 노즐브라켓고정홈을 형성할 필요가 없게 된다. 이는 상기 매니폴드(110)의 상면이나 측면이 편평하게 구비되므로 기류에 미치는 영향을 방지할 수 있다.
노즐(130)은 압축공기 연결관(120b)의 상단에 설치되어 분무수와 압축공기를 동시 분사시킨다. 이때, 상기 노즐(130)은 이류체를 공급하는 사이폰 방식의 노즐로, 분무수와 압축공기를 각각 외부에서 혼합한 후 압축공기의 힘으로 액체를 분무하여 미세 분무를 구현하게 된다. 여기서, 상기 노즐(130)은 회전 가능하게 설치되어 설치 위치별 분무 각도 및 분무 정도를 조절할 수 있다.
즉, 상기 노즐(130)은 압축공기가 일정 압력으로 1차 분무구에서 분사(3kg/cm2) 토출되고, 분무수 탱크(140)의 분무수를 흡입하면서 1차 충돌을 일으키며 일정 유량이 분무 된다. 이와 동시에 2차 압축공기 토출구에서 분무수를 2차 충돌을 하면서 미세 분무를 구현하게 된다.
분무수 탱크(140)는 대기압 상태를 유지하면서 노즐(130)로 분무수를 공급하도록 매니폴드(110)의 일측 끝단에 설치되며, 상기 노즐(130)에 분무수 헤더(111)와 연결되는 분무수 공급관(141)이 구비된다. 이때, 분무수 탱크(140)는 도면에는 도시하지 않았지만 탱크 몸체, 연결커버, 부레 및 밀봉부재를 포함하여 구성된다.
탱크 몸체는 상단이 개구된 내부에 분무수가 저장되고, 바닥면에 매니폴드(110)의 분무수 헤더(111)와 연결되어 분무수를 배수하도록 연결구멍이 형성된다.
연결커버는 탱크 몸체의 개구된 상단에 체결되며, 상면에 분무수를 주입하는 주입관(도면에 미도시)과 연결된다. 한편, 상기 탱크 몸체와 상기 연결커버는 투명 재질로 형성되어 내부에 저장된 분무수의 저장량을 인지할 수 있다.
부레는 밀봉부재의 하단에서 레버에 의해 회전 가능하게 구비되어 탱크 몸체 내부의 분무수 수위에 따라 회전되면서 상기 밀봉부재를 승강시켜 연결커버에 연결된 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 폐쇄시킨다.
밀봉부재는 탱크 몸체 내부의 분무수 수위가 낮으면 하강하여 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 개방하고 있다가, 상기 분무수 수위가 설정 높이에 도달하면 상승하면서 상기 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 차단시켜 분무수 공급을 중지하게 된다.
솔레노이드 밸브(Solenoid valve: 150)는 압축공기 공급관의 상단에 설치되어 전원 인가시 전자석의 원리를 이용하여 상기 압축공기 공급관을 개폐 즉, 노즐(130)의 개폐를 제어한다.
구체적으로, 노즐(130)은 상기 매니폴드(110)에 형성된 분무수 헤더와 분무수 연결관을 통해 연통되면서 상기 매니폴드(110)에 형성된 압축공기 헤더와 압축공기 연결관을 통해 연결된다.
이때, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 상기 유닛마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 유닛별로 개폐하게 하거나, 상기 유닛군에서 다수개씩 연결한 후 다수개씩 동시 또는 순차 개폐하게 하거나, 상기 유닛 전체를 연결한 후 전체를 동시 개폐하게 할 수 있으며, 본 실시예에서는 상기 솔레노이드 밸브(150)가 상기 유닛마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 유닛별로 개폐하게 하는 것으로 예시한다.
이때, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 도면에는 도시하지 않았지만 코일, 고정철심, 스프링, 플런저(Plunger) 및 연결구를 포함한다.
코일은 전원선이 연결되어 인가 전원에 의해 전자석화되고, 고정철심은 금속재로 형성되어 코일의 내부에 고정된다.
스프링은 단부가 막혀있는 고정철심의 홀 내부에 일단이 위치되고 타단은 단부가 막혀있는 플런저의 홀 내에 위치된다.
이때, 상기 스프링은 후술할 플런저를 항시 연결구 방향으로 복원력이 제공되도록 하여 복원력을 통해 상기 연결구의 유동 통로를 항시 밀폐하도록 한다.
플런저는 금속재로 형성되어, 스프링의 복원력에 의해 연결구의 유동 통로를 밀폐한 상태에서 코일에 전원이 인가되면 전자석 원리에 의해 상기 연결구의 유동 통로를 개방시킨다.
연결구는 고정철심과 나선 체결되며 내부에 입구와 출구가 형성된 상태에서 플런저의 이동 방향에 따라 입구 및 출구를 개방 또는 폐쇄하게 된다. 이때, 상기 연결구가 노즐 기능을 할 수 있다.
압축공기 발생부는 도면에는 도시하지 않았지만, 노즐(130)에 압축 공기를 공급하도록 압축공기 공급관(142)의 끝단에 솔레노이드 밸브가 연결되고 다시 상기 노즐(130)에 연결된다.
제어부는 도면에는 도시하지 않았지만 클린룸(도면에 미도시) 내에 설치된 온도 센서(도면에 미도시)의 온도 감지 및 가습량 감지 센서(도면에 미도시)의 가습량 감지를 통해 솔레노이드 밸브(150)의 작동을 개별적으로 제어하여 직접분무식 수가습 시스템(100)의 노즐(130) 개폐를 부분적 또는 전체적으로 정밀 제어가 가능하다. 더욱이, 상기 제어부는 리크 센서(180)의 감지값을 통해 분무수가 노즐(130)에서 누수됨을 인지할 수 있다.
관절식 연결부재(153)는 유닛별 매니폴드(110) 단부의 전원 입력 케이블(152) 단자(D2, D3)들 사이를 전기적으로 연결하는 것은 물론 기계적으로도 연결하는 역할을 함으로써, 클린룸 내에 배치되는 각각의 유닛별 매니폴드(110)들을 전체적으로 연결하는 역할을 한다.
이러한 관절식 연결부재(153)는 클린룸 내부에서 각각의 유닛별 매니폴드(110)의 배열을 다양하게 구성할 수 있도록 함으로써, 클린룸 내부에서 각각의 위치별로 수가습의 세기와 정도를 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 유닛별 매니폴드(110)에서 특정한 유닛의 솔레노이드 밸브(150)가 손상되거나, 작동이 원활하지 않을 경우에는 이러한 매니폴드(110)만을 관절식 연결부재(153)에서 분리하여 문제가 발생한 솔레노이드 밸브(150)를 용이하게 수리 또는 교체할 수 있다.
관절식 연결부재(153)의 구조 및 재질 등은 제한되지 않으며, 예를 들어 상기 관절식 연결부재는 흰지(hinge) 구조를 이용한 기계식 관절구조, PVC(Polyvinyl chloride), PE(Polyethylene) 등의 고분자 수지로 이루어진 주름관 구조, 및 스테인레스(stainless), 알루미늄 등의 금속으로 이루어진 주름관 구조로 이루어진 군에서 선택된 구조로 형성될 수 있다. 또한, 상기 흰지 구조를 이용한 기계식 관절구조와 주름관 구조를 결합한 구조의 관절식 연결부재를 형성할 수도 있다.
도 5에는 본 발명의 일실시예에 따른 관절식 연결부재를 나타낸 평면도가 도시되어 있고, 도 6에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 관절식 연결부재를 나타낸 평면도가 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 관절식 연결부재(153)은 수축 또는 이완하여 좌우로 움직일 수 있는 주름관 구조의 관절부(153c) 양단에 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브와 연결된 전원선들과 각각 연결될 수 있는 커넥터(153a)들이 구비되어 있다.
즉, 관절식 연결부재(153)는 유닛별 매니폴드 단부의 전원 입력 케이블(전원선) 단자들과 결합하여 전기적 연결을 담보하는 커넥터(153a)들이 형성되어 있어서, 유닛별 매니폴드와의 전기적 연결을 안정적으로 달성할 수 있고, 클린룸 내부에서 각각의 유닛별 매니폴드의 배열을 다양하게 구성할 수 있으며, 솔레노이드 밸브에 문제가 발생한 매니폴드만을 관절식 연결부재(153)에서 분리하여 문제가 발생한 솔레노이드 밸브를 용이하게 수리 또는 교체할 수 있다.
또한, 상기 커넥터(153a)들은 상기 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브를 각각 온오프(On-Off) 할 수 있는 스위치(153b)를 형성하여, 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브들의 개별적인 온오프(On-Off) 제어를 가능하게 할 수 도 있다.
한편, 관절식 연결부재(253)는 흰지 구조(253c)를 이용한 기계식 관절구조와 주름관 구조를 결합한 구조의 관절식 연결부재(253)로도 형성할 수 있다.
이러한 관절식 연결부재(253)는 주름관 구조의 관절부(153c) 만을 갖는 관절식 연결부재(153)에 비해 기계적 안정성이 우수하고, 관절부(253d) 내부에 배치되는 전기적 연결선들의 변형 및 파손을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
관절식 연결부재(253)는 유닛별 매니폴드 단부의 전원 입력 케이블(전원선) 단자들과 결합하여 전기적 연결을 담보하는 커넥터(253a)들이 형성되어 있어서, 유닛별 매니폴드와의 전기적 연결을 안정적으로 달성할 수 있고, 클린룸 내부에서 각각의 유닛별 매니폴드의 배열을 안정적이면서도 다양하게 구성할 수 있으며, 솔레노이드 밸브에 문제가 발생한 매니폴드만을 관절식 연결부재(253)에서 분리하여 문제가 발생한 솔레노이드 밸브를 용이하게 수리 또는 교체할 수 있다.
또한, 상기 커넥터(253a)들은 상기 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브들을 각각 온오프(On-Off) 할 수 있는 스위치(153b)를 형성하여, 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브들의 개별적인 온오프(On-Off) 제어를 가능하게 할 수 도 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다
100: 직접분무식 수가습 시스템
110: 매니폴드
120a: 분무수 연결관
120b: 압축공기 연결관
130: 노즐
140: 분무수 탱크
150: 솔레노이드 밸브
151: 분기선
152: 전원 입력 케이블
153: 관절식 연결부재
253: 힌지 연결구조를 포함하는 관절식 연결부재

Claims (5)

  1. 분무수와 압축공기를 분사시켜 클린룸 내부를 수가습하는 노즐이 유닛별 매니폴드에 다수 배치되고, 솔레노이드 밸브를 유닛별로 구비하여 상기 노즐을 개폐하게 하도록 구성된 유닛을 적어도 두 유닛 이상 전기적으로 배선하는 수가습 시스템에 있어서, 상기 유닛들은 관절식 연결부재에 의해 서로 연결되어 상기 클린룸 내부에 배치되는 직접 분무식 수가습 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관절식 연결부재는 흰지(hinge) 구조를 이용한 기계식 관절구조, PVC, PE 등의 고분자 수지로 이루어진 주름관 구조, 및 스테인레스, 알루미늄 등의 금속으로 이루어진 주름관 구조로 이루어진 군에서 선택된 구조로 형성된 직접 분무식 수가습 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 관절식 연결부재의 양단에는 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브와 연결된 전원선들과 각각 연결될 수 있는 커넥터들이 형성되어 있는 직접 분무식 수가습 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 커넥터들은 상기 유닛별 매니폴드에 구비된 솔레노이드 밸브들을 각각 온오프(On-Off) 할 수 있는 스위치가 형성되어 있는 직접 분무식 수가습 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 매니폴드에 형성된 분무수 헤더와 분무수 연결관을 통해 연통되면서 상기 매니폴드에 형성된 압축공기 헤더와 압축공기 연결관을 통해 연결되며, 상기 압축공기 공급관에는 상기 솔레노이드 밸브가 구비되어 상기 압축공기 공급관을 개폐하는 직접 분무식 수가습 장치.

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