KR101509009B1 - 직접분무식 수가습 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 직접분무식 수가습 장치에 관한 것으로, 본 발명은 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크; 상기 매니폴드의 하측에 길이 방향으로 설치되어 상기 노즐에서 누수되는 분무수를 수집하는 드레인 부재: 상기 드레인 부재와 관을 통해 연결되어 수집된 분무수가 배출되는 드레인 유로: 및 상기 드레인 유로의 도중에 설치되어 분무수의 흐름 여부를 감지하는 리크 센서를 포함한다.
본 발명에 의하면, 솔레노이드 밸브 등의 오작동 또는 노즐 등의 파손으로 인해 초순수가 노즐에서 누수되는 경우 이를 드레인 부재에서 수집하고, 수집된 초순수가 드레인 유로로 배수되는 과정에서 리크 센서에 의해 초순수의 배수 여부를 검출할 수 있으며, 드레인 부재와 드레인 유로를 연결하는 관에 보조 리크 센서를 구비하여 누수 노즐의 위치를 판별할 수 있으며, 이를 작업자에게 시각 또는 청각적으로 인지시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

직접분무식 수가습 장치 {PLENUM MOISTURIZING APPARATUS}

본 발명은 직접분무식 수가습 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정밀 온습도 제어를 요구하는 클린룸 운영조건에서 이류체 노즐에 의한 클린룸내 직접 분무 방식을 통해 클린룸 내부를 가습하는 직접분무식 수가습 장치에 관한 것이다.

클린룸이란 공기중의 부유 미립자가 한정된 청정도 이하로 관리되고, 그 공간에서 온도, 습도, 압력 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다.

특히, 클린룸내의 습도와 양압 유지에 필수 설비인 외기조화기는 클린룸 외부에 별도로 설치되며, 클린룸에서 배출되는 배기풍량과 클린룸의 양압유지에 필요한 공기량이 합하여진 만큼의 외기량을 도입하며, 도입된 외기는 클린룸에서 요구되는 온습도가 되도록 외기조화기내에 구비된 가열코일, 냉각코일, 제습기, 가습기 등 각종 구성품에 의하여 가열, 가습, 냉각, 제습 등의 과정에 의하여 상태가 변화되어 클린룸 내로 공급된다.

클린룸내의 직접 분무식 기화 가습기는 노즐에 의해 미립화된 분무수 입자가 공기와 집적 접촉함으로써 공기의 냉각과 가습효과를 동시에 만족시키는 장치이다.

이러한 직접 분무식 기화 가습기와 관련된 기술이 특허등록 제0924960호 및 특허등록 제0848933호에 제안된 바 있다.

이하에서 종래기술로서 특허등록 제0924960호 및 특허등록 제0848933호에 개시된 직접 분무식 기화 가습기 및 클린룸내 직접분무식 기화가습장치를 간략히 설명한다.

도 1은 특허등록 제0924960호(이하 '종래기술 1'이라 함)에서 기화 가습 시스템의 개략적인 구성도이다. 도 1에서 보는 바와 같이 종래기술 1의 기화 가습 시스템은 클린룸(30) 내에 위치되며 초순수 분무를 위한 노즐(41)이 구비된 매니폴더(40), 클린룸(30) 내의 온도와 습도에 대한 확인을 하는 컨트롤 밸브 제어부(50), 상기 매니폴더(40)에 까지 연결되어 초순수를 공급하는 초순수공급부(60),상기 매니폴더(40)까지 연장된 압축공기 발생부(70)를 포함한다. 각 매니폴더(40)에는 초순수가 저장되는 초순수저장조(42)가 설치되어 있다. 상기 초순수저장조(42)에는 중력에 따라 상하로 이동되는 중공볼(42a)이 설치되어 상기 중공볼(42a)의 상하운동에 따라 초순수공급배관(61a)의 초순수공급을 조절한다.

그러나 종래기술 1에 의한 클린룸내 직접분무식 기화가습장치는 초순수저장조(42)의 중공볼(42a)이 파손되어 제기능을 못하는 경우 초순수의 공급 수위를 감지하지 못하므로, 연속적인 초순수 공급에 의해 초순수 저장조(42) 또는 노즐의 분무수 토출구에서 오버플로우 현상이 발생하거나, 노즐의 파손 등으로 인해 초순수가 노즐에서 누수되는 경우 초순수가 넘쳐 바닥으로 흐르게 되는 문제점이 있었다.

도 2는 특허등록 제0848933호(이하 '종래기술 2'라 함)에서 클린룸내 직접분무식 기화가습장치의 설치 사시도이다. 도 2에서 보는 바와 같이 종래기술 2의 클린룸내 직접분무식 기화가습장치는 복수개의 분사노즐(1)이 노즐고정연장관(2)상에 일정거리 이격되어 설치되고 상기 노즐고정연장관(2)의 단부에는 초순수 저장조(3)가 설치된 클린룸 내의 직접 분무식 기화가습장치(A)에 있어서, 상기 분사노즐(1)이 복수개가 설치되는 노즐고정연장관(2)은 압출성형되어 필요한 길이로 절단하여 사용할 수 있고, 상기 노즐고정연장관(2)의 단면은, 초순수 공급공(21)과 압축공기를 공급하는 압축공기 공급공(22)이 일체로 형성되고, 상기 단면의 상부와 하부에는 노즐브라켓(11)과 상기 노즐고정연장관(2)을 고정시키는 거치대(4)를 설치하기 위한 노즐브라켓고정홈(23)과 거치대고정홈(24)이 형성된다. 이때, 초순수 저장조(3)는 상부에서 초순수가 공급되는 초순수 공급관(31)이 연결되고, 상기 초순수 공급관(31)에서 공급된 초순수가 흘러내리는 초순수 연장공(32)이 하방으로 천공되고, 상기 초순수 연장공(32)의 하단에는 초순수유출공(33a)이 천공된 니들밸브받침대(33)가 설치된 저장조덮개(30)와, 하부에는 초순수 배출관(35)이 연결되고 초순수가 저장되는 저장조본체(34)와, 상기 저장조덮개(30)와 저장조본체(34)내부에 설치되며 공기가 들어 있는 부레본체(36a)와 상기 부레본체(36a)의 상부에 돌출성형되며 상단부는 니들밸브받침대(33)의 초순수유출공(33a)에 접촉하며 상기 초순수유출공(33a)을 개폐시키는 니들밸브(36b)가 구비된 플로우트(36)를 포함한다.

그러나 종래기술 2에 의한 클린룸내 직접분무식 기화가습장치 역시 초순수저장조(3)의 부레본체(36a)가 파손되거나 니들밸브(36b)가 제기능을 못하는 경우 초순수의 공급 수위를 감지하지 못하며, 연속적인 초순수 공급에 의해 초순수 저장조(3) 또는 노즐의 분무수 토출구에서 오버플로우 현상이 발생하거나, 노즐 등의 손상으로 인해 초순수가 노즐에서 누수되는 경우 초순수가 넘쳐 바닥으로 흐르게 되는 문제점이 있었다.

KR 0924960 B1 KR 0848933 B1

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 솔레노이드 밸브 등의 오작동 또는 노즐 등의 파손으로 인해 초순수가 노즐에서 누수되는 경우 이를 드레인 부재에서 수집하고, 수집된 초순수가 드레인 유로로 배수되는 과정에서 리크 센서에 의해 초순수의 배수 여부를 검출할 수 있게 한 직접분무식 수가습 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 드레인 부재와 드레인 유로를 연결하는 관에 보조 리크 센서를 구비하여 누수 노즐의 위치를 판별할 수 있으며, 이를 작업자에게 시각 또는 청각적으로 인지시킬 수 있게 한 직접분무식 수가습 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 초순수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 초순수를 공급하도록 상기 초순수 헤더와 연결되는 초순수 탱크; 상기 매니폴드의 하측에 길이 방향으로 설치되어 상기 노즐에서 누수되는 초순수를 수집하는 드레인 부재: 상기 드레인 부재와 관을 통해 연결되어 수집된 초순수가 배출되는 드레인 유로: 및 상기 드레인 유로의 도중에 설치되어 초순수의 흐름 여부를 감지하는 리크 센서를 포함하는 직접분무식 수가습 장치를 통해 달성된다.

또한, 본 발명에서의 상기 리크 센서는 다수의 노즐 군으로 구성된 그룹 별로 감지하도록 상기 드레인 부재와 상기 드레인 유로를 연결하는 관마다 보조 리크 센서가 구비될 수 있다.

또한, 본 발명에서의 상기 리크 센서 및 보조 리크 센서와 연계되는 제어부는 상기 보조 리크 센서의 검출 여부에 따라 검출 위치를 판별하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에서의 상기 솔레노이드 밸브는 상기 노즐마다 각각 설치되어 상기 노즐을 개별적으로 개폐하게 하거나, 상기 노즐 군에서 다수개씩 연결한 후 다수개씩 동시 또는 순차 개폐하게 하거나, 상기 노즐 전체를 연결한 후 전체를 동시 개폐하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에서의 상기 제어부에는 상기 보조 리크 센서의 검출 위치를 청각 또는 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단이 구비될 수 있다.

본 발명에 의하면, 솔레노이드 밸브 등의 오작동 또는 노즐 등의 파손으로 인해 초순수가 노즐에서 누수되는 경우 이를 드레인 부재에서 수집하고, 수집된 초순수가 드레인 유로로 배수되는 과정에서 리크 센서에 의해 초순수의 배수 여부를 검출할 수 있으며, 드레인 부재와 드레인 유로를 연결하는 관에 보조 리크 센서를 구비하여 누수 노즐의 위치를 판별할 수 있으며, 이를 작업자에게 시각 또는 청각적으로 인지시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래기술 1에 따른 기화 가습 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 종래기술 2에 따른 클린룸내 직접분무식 기화가습장치의 설치 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시에에 따른 직접분무식 수가습 장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시에에 따른 직접분무식 수가습 장치를 도시한 사시도이다.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하 도면을 참고하여 본 발명에 의한 직접분무식 수가습 장치에 대한 실시 예의 구성을 상세하게 설명하기로 한다.

도 3에는 본 발명의 제1 실시에에 따른 직접분무식 수가습 장치가 사시도로 도시되어 있다.

이 도면에 의하면, 본 발명의 제1 실시에에 따른 직접분무식 수가습 장치(100)는 분무수를 압축공기에 의해 미세분무하는 기능을 하며, 매니폴드(110), 분무수 연결관(120a), 압축공기 연결관(120b), 노즐(130), 분무수 탱크(140), 솔레노이드 밸브(150), 드레인 부재(160), 드레인 유로(170), 리크 센서(180) 및 제어부를 포함한다. 이때, 상기 분무수는 본 발명의 직접분무식 수가습 장치(100)가 클린룸에 적용되는 경우 초순수일 수 있다.

매니폴드(Manifold: 110)는 매니폴드(Manifold: 110)는 알루미늄 재질 등 금속 재질을 이용하여 수평 방향으로 압출 또는 사출 형성되며, 양단을 엔드 커버(End cover)로 씌운다. 이때, 상기 매니폴드(110)는 내부에 분무수와 압축공기가 분리 공급하도록 분무수 헤더(도면에 미도시)와 압축공기 헤더(도면에 미도시)가 각각 길이 방향으로 분리 형성된다.

이때, 상기 분무수 헤더와 상기 압축공기 헤더에서 헤더(header)라 함은 다수의 분기관을 나누거나 모으기 위하여 확대한 부분, 다수의 분기관을 접촉하는 구조체를 말한다.

분무수 연결관(120a)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 분무수 탱크(140)에서 분무수가 상기 노즐(130)로 공급되도록 분무수 헤더(111)와 연결된다.

압축공기 연결관(120b)은 설정 간격마다 천공한 매니폴드(110)의 상면에 직립된 상태로 각각 체결되어 노즐(130)과 솔레노이드 밸브(150)를 지지하면서 압축공기 공급관(142)을 통해 압축공기가 상기 노즐(130)로 공급되도록 압축공기 헤더(112)와 연결된다.

이렇게, 상기 분무수 연결관(120a)과 상기 압축공기 연결관(120b)은 매니폴드(110)의 상면에 나선홀을 천공한 후 각각의 나선홀에 체결되는 구조로 구비되므로, 상기 매니폴드(110)의 상면이나 측면에 종래기술과 같이 노즐브라켓고정홈을 형성할 필요가 없게 된다. 이는 상기 매니폴드(110)의 상면이나 측면이 편평하게 구비되므로 기류에 미치는 영향을 방지할 수 있다.

그리고 상기 엔드 커버(114)에는 분무수 헤더(111)와 연통되도록 분무수 탱크(140)와 연결되는 분무수 공급관(141)과, 압축공기 헤더(112)와 연통되도록 압축공기 발생부(도면에 미도시)와 연결되는 압축공기 공급관(142)이 각각 관통 설치된다.

한편, 상기 분무수 공급관(141)과, 상기 압축공기 공급관(142)은 매니폴드(110)의 일측 끝단에 연결되는 것으로 예시하였으나, 상기 매니폴드(110)의 중간에 설치될 수 있다.

노즐(130)은 압축공기 연결관(120b)의 상단에 설치되어 분무수와 압축공기를 동시 분사시킨다. 이때, 상기 노즐(130)은 이류체를 공급하는 사이폰 방식의 노즐로, 분무수와 압축공기를 각각 외부에서 혼합한 후 압축공기의 힘으로 액체를 분무하여 미세 분무를 구현하게 된다. 여기서, 상기 노즐(130)은 회전 가능하게 설치되어 설치 위치별 분무 각도 및 분무 정도를 조절할 수 있다.

이때, 본 실시예에서는 분무수와 압축공기를 외부 혼합하여 공급하는 것으로 예시하였으나, 이에 에 한정하지 않고 내부 혼합 등도 가능하다.

분무수 탱크(140)는 대기압 상태를 유지하면서 노즐(130)로 분무수를 공급하도록 매니폴드(110)의 일측 끝단에 설치되며, 상기 노즐(130)에 분무수 헤더(111)와 연결되는 분무수 공급관(141)이 구비된다. 이때, 분무수 탱크(140)는 도면에는 도시하지 않았지만 탱크 몸체, 연결커버, 부레 및 밀봉부재를 포함하여 구성된다.

더욱이, 상기 분무수 탱크(140)는 매니폴드(110)의 일측 끝단에 설치되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정하지 않고 상기 노즐(130)의 사이 등과 같이 상기 분무수 탱크(140)가 설치될 수 있는 여유 공간이면 어느 공간이던 설치가 가능하다.

탱크 몸체는 상단이 개구된 내부에 분무수가 저장되고, 바닥면에 매니폴드(110)의 분무수 헤더(111)와 연결되어 분무수를 배수하도록 연결구멍이 형성된다.

연결커버는 탱크 몸체의 개구된 상단에 체결되며, 상면에 분무수를 주입하는 주입관(도면에 미도시)과 연결된다. 한편, 상기 탱크 몸체와 상기 연결커버는 투명 재질로 형성되어 내부에 저장된 분무수의 저장량을 인지할 수 있다.

부레는 밀봉부재의 하단에서 레버에 의해 회전 가능하게 구비되어 탱크 몸체 내부의 분무수 수위에 따라 회전되면서 상기 밀봉부재를 승강시켜 연결커버에 연결된 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 폐쇄시킨다.

밀봉부재는 탱크 몸체 내부의 분무수 수위가 낮으면 하강하여 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 개방하고 있다가, 상기 분무수 수위가 설정 높이에 도달하면 상승하면서 상기 분무수 주입관의 출구와 연결된 구멍을 차단시켜 분무수 공급을 중지하게 된다.

솔레노이드 밸브(Solenoid valve: 150)는 압축공기 연결관(120b)의 상단에 설치되어 전원 인가시 전자석의 원리를 이용하여 상기 압축공기 연결관(120b)을 개폐 즉, 노즐(130)의 개폐를 제어한다.

이때, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 상기 노즐(130)마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 개별적으로 개폐하게 하거나, 상기 노즐(130) 군에서 다수개씩 연결한 후 다수개씩 동시 또는 순차 개폐하게 하거나, 상기 노즐(130) 전체를 연결한 후 전체를 동시 개폐하게 할 수 있으며, 본 실시예에서는 상기 솔레노이드 밸브(150)가 상기 노즐(130)마다 각각 설치되어 상기 노즐(130)을 개별적으로 개폐하게 하는 것으로 예시한다.

한편, 상기 솔레노이드 밸브(150)는 도면에는 도시하지 않았지만 코일, 고정철심, 스프링, 플런저(Plunger) 및 연결구를 포함한다.

코일은 전원선이 연결되어 인가 전원에 의해 전자석화되고, 고정철심은 금속재로 형성되어 코일의 내부에 고정된다.

스프링은 단부가 막혀있는 고정철심의 홀 내부에 일단이 위치되고 타단은 단부가 막혀있는 플런저의 홀 내에 위치된다.

이때, 상기 스프링은 후술할 플런저를 항시 연결구 방향으로 복원력이 제공되도록 하여 복원력을 통해 상기 연결구의 유동 통로를 항시 밀폐하도록 한다.

플런저는 금속재로 형성되어, 스프링의 복원력에 의해 연결구의 유동 통로를 밀폐한 상태에서 코일에 전원이 인가되면 전자석 원리에 의해 상기 연결구의 유동 통로를 개방시킨다.

연결구는 고정철심과 나선 체결되며 내부에 입구와 출구가 형성된 상태에서 플런저의 이동 방향에 따라 입구 및 출구를 개방 또는 폐쇄하게 된다.

압축공기 발생부는 도면에는 도시하지 않았지만, 노즐(130)에 압축 공기를 공급하도록 압축공기 공급관(142)의 끝단이 상기 노즐(130)에 연결된다.

드레인 부재(160)는 매니폴드(110)의 길이보다 좀더 연장된 상태로 상기 매니폴드(110)의 하측에 배치되어 분무수가 오버플로우(Over flow) 되는 경우 또는 솔레노이드 밸브(150) 등의 오작동 또는 노즐(130) 등의 파손으로 인해 분무수가 노즐(130)에서 누수되는 경우 노즐(130)에서 낙하하는 분무수를 수집하며, 각각이 드레인 유로(170)에 연결 유로(162)로 연결된다.

드레인(Drain) 유로(170)는 드레인 부재(160)와 연결 유로(162)를 통해 연결되어 상기 드레인 부재(160) 내에 수집된 분무수가 배출되는 라인이다. 이때, 상기 드레인 유로(170)는 출구측 높이가 입구측 높이보다 낮아 경사진 형태로 구비되는 것이 바람직하다.

리크 센서(Leak sensor: 180)는 드레인 유로(170)의 도중에 설치되어 분무수의 흐름 여부를 감지하도록 구비된다.

제어부는 도면에는 도시하지 않았지만 클린룸(도면에 미도시) 내에 설치된 온도 센서(도면에 미도시)의 온도 감지 및 가습량 감지 센서(도면에 미도시)의 가습량 감지를 통해 솔레노이드 밸브(150)의 작동을 개별적으로 제어하여 직접분무식 수가습 장치(100)의 노즐(130) 개폐를 부분적 또는 전체적으로 정밀 제어가 가능하다. 더욱이, 상기 제어부는 리크 센서(180)의 감지값을 통해 분무수가 누수됨을 인지할 수 있다.

그러므로 본 발명의 제1 실시예에 따른 직접분무식 수가습 장치(100)는 클린룸 내 가습 등이 요구되는 경우 작동하게 된다.

즉, 제어부의 제어를 통해 솔레노이드 밸브(150)에 전원을 인가하면 코일이 전자석이 되면서 연결구의 유동 통로를 폐쇄시키고 있던 플런저가 고정철심 측으로 이동되게 하면서 상기 연결구의 유동 통로를 개방시킨다.

다음으로, 연결구의 유동 통로가 개방되면, 분무수 탱크(140)와 연결되는 분무수 공급관(141)과, 압축공기 발생부와 연결되는 압축공기 공급관(142)을 통해 분무수와 압축공기가 노즐(130)을 통해 분사된다.

이때, 분무수는 분무수 탱크(140)에 저장된 수위가 낮으면 부레가 상승하면서 이에 연결된 밀봉부재를 하강시켜 분무수 공급부에서 계속적으로 공급되고, 수위가 적정 위치에 도달하면 상기 부레가 하강하면서 이에 연결된 밀봉부재를 승강시켜 분무수 공급이 중지된다.

한편, 노즐(130)을 통해 분무수와 압축공기가 동시 분사되는 과정에서 분무수가 오버플로우(Over flow) 되는 경우 또는 솔레노이드 밸브(150) 등의 오작동 또는 상기 노즐(130)의 파손 등으로 인해 분무수가 노즐(130)에서 누수되는 경우 배출된 분무수는 매니폴드(110) 하측에 배치된 드레인 부재(160)로 수집되면서 드레인 유로(170)로 배수된다.

이때, 드레인 유로(170)에 리크 센서(180)가 구비되므로 분무수의 흐름이 감지되면 이 감지값을 제어부로 전송하게 되고, 상기 제어부를 통해 분무수가 누수됨을 알 수 있게 된다.

도 4에는 본 발명의 제2 실시에에 따른 직접분무식 수가습 장치가 사시도로 도시되어 있다.

이 도면에 의하면 본 발명의 제2 실시예에 따른 직접분무식 수가습 장치(100)는 매니폴드(110), 분무수 연결관(120a), 압축공기 연결관(120b), 노즐(130), 분무수 탱크(140), 솔레노이드 밸브(150), 드레인 부재(160), 드레인 유로(170), 리크 센서(180), 보조 리크 센서(182) 및 제어부를 포함하며, 상기 매니폴드(110), 분무수 연결관(120a), 압축공기 연결관(120b), 노즐(130), 분무수 탱크(140), 솔레노이드 밸브(150), 드레인 부재(160), 드레인 유로(170), 리크 센서(180) 및 제어부는 앞선 제1 실시예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.

보조 리크 센서(182)는 드레인 부재(160)와 드레인 유로(170)를 연결하는 연결 유로(162)의 도중에 각각 설치되어 다수의 노즐(130) 군으로 구성된 그룹 별로 감지할 수 있다.

여기서, 제어부는 리크 센서(180) 및 보조 리크 센서(182)와 연계되어 상기 보조 리크 센서(182)의 검출 여부에 따라 검출 위치를 판별하게 하며, 상기 보조 리크 센서(182)의 검출 위치를 알람 발생부 등에 의한 청각 또는 점멸(점등) 발생부 등에 의해 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단(도면에 미도시)이 구비될 수 있다.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

100: 직접분무식 수가습 장치
110: 매니폴드
120a: 분무수 연결관
120b: 압축공기 연결관
130: 노즐
140: 분무수 탱크
150: 솔레노이드 밸브
160: 드레인 부재
170: 드레인 유로
180: 리크 센서
182: 보조 리크 센서

Claims (5)

1. 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서,
   분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드;
   상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐;
   상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브;
   상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크;
   상기 매니폴드의 하측에 길이 방향으로 설치되어 상기 노즐에서 누수되는 분무수를 수집하는 드레인 부재:
   상기 드레인 부재와 관을 통해 연결되어 수집된 분무수가 배출되는 드레인 유로: 및
   상기 드레인 유로의 도중에 설치되어 분무수의 흐름 여부를 감지하는 리크 센서를 포함하는 직접분무식 수가습 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 리크 센서는 다수의 노즐 군으로 구성된 그룹 별로 감지하도록 상기 드레인 부재와 상기 드레인 유로를 연결하는 관마다 보조 리크 센서가 구비되는 직접분무식 수가습 장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 리크 센서 및 보조 리크 센서와 연계되는 제어부는 상기 보조 리크 센서의 검출 여부에 따라 검출 위치를 판별하게 하는 직접분무식 수가습 장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 솔레노이드 밸브는 상기 노즐마다 각각 설치되어 상기 노즐을 개별적으로 개폐하게 하거나, 상기 노즐 군에서 다수개씩 연결한 후 다수개씩 동시 또는 순차 개폐하게 하거나, 상기 노즐 전체를 연결한 후 전체를 동시 개폐하게 하는 직접분무식 수가습 장치.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 제어부에는 상기 보조 리크 센서의 검출 위치를 청각 또는 시각적으로 인지시킬 수 있도록 인지수단이 구비되는 직접분무식 수가습 장치.

Images