KR101583711B1 - 다이어프램식 압력센서 - Google Patents

다이어프램식 압력센서 Download PDF

Info

Publication number
KR101583711B1
KR101583711B1 KR1020140097249A KR20140097249A KR101583711B1 KR 101583711 B1 KR101583711 B1 KR 101583711B1 KR 1020140097249 A KR1020140097249 A KR 1020140097249A KR 20140097249 A KR20140097249 A KR 20140097249A KR 101583711 B1 KR101583711 B1 KR 101583711B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
housing
diaphragm
pressure
pressure sensor
threaded portion
Prior art date
Application number
KR1020140097249A
Other languages
English (en)
Inventor
김태완
장지상
서호철
Original Assignee
세종공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세종공업 주식회사 filed Critical 세종공업 주식회사
Priority to KR1020140097249A priority Critical patent/KR101583711B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101583711B1 publication Critical patent/KR101583711B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 상하방향 관통공 형상으로 형성되어 압력전달매체가 충전되는 압력검출챔버와, 상기 압력검출챔버 상단과 연통되는 중공부가 내부에 마련되는 제1 하우징; 상기 제1 하우징의 상측을 덮도록 결합되는 제2 하우징; 상기 압력검출챔버의 상단을 밀봉시키도록 상기 중공부에 장착되는 메인회로기판과 압력소자; 상기 압력검출챔버의 하단을 밀봉시키도록 상기 제1 하우징의 저면에 장착되는 다이어프램; 및 상기 제2 하우징의 상측을 덮도록 결합되며, 상기 압력소자와 전기적으로 연결되는 터미널단자를 구비하는 커넥터;를 포함하여 구성되며, 상기 제1 하우징의 외측면 중 상기 다이어프램이 장착된 지점으로부터 사전에 설정된 거리 이상으로 이격된 지점에 나사부가 형성된다. 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 유압장치에 나사결합 구조로 체결되더라도 상기 체결력이 다이어프램으로 인가되지 아니하므로 보다 정확한 압력측정이 가능하다는 장점이 있다.

Description

다이어프램식 압력센서{PRESSURE SENSOR HAVING DIAPHRAGM}
본 발명은 유압장치 내측으로 인입되는 하우징의 단부에 다이어프램이 장착되어 상기 다이어프램에 인가되는 유압을 감지하는 압력센서에 관한 것으로서, 더 상세하게는 유압장치에 나사결합 구조로 체결되더라도 상기 체결력이 다이어프램으로 인가되지 아니하도록 함으로써 보다 정확한 압력측정이 가능하도록 구성되는 압력센서에 관한 것이다.
압력센서는 자동차, 화학설비, 반도체 제조설비 등에서, 유체가 통과하는 유압장치에 설치되어 유체의 압력을 측정하는 데 주로 많이 이용되며, 예컨대 자동차의 매니폴드 압력, 엔진 유압, 연료전지 차량의 수소가스 또는 공기의 압력, 소음기 내의 배기가스 압력, 그외 기타 일반 산업용 압력계 등과 같이 저압에서 고압에 이르기까지 넓은 압력 범위를 고정밀도로 측정하는 데 사용된다.
이러한 압력센서에는 다양한 종류가 있으며, 이 중에서 다이어프램식 압력센서는 센서하우징의 압력도입구 측에 다이어프램이 밀봉구조로 설치된 것으로, 센서하우징 내에는 압력검출챔버가 형성되며, 이 압력검출챔버 내에는 오일 등과 같은 압력전달매체가 충전된 구조로 구성되어 있다. 이러한 다이어프램식 압력센서는 다이어프램이 외부 압력에 반응하면 압력전달매체가 압력소자 측으로 압력을 전달함으로써 외부 압력을 검출 내지 측정하도록 구성된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 다이어프램식 압력센서에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 종래의 다이어프램식 압력센서의 사시도이고, 도 2는 종래의 다이어프램식 압력센서의 단면도이며, 도 3은 종래의 다이어프램식 압력센서의 결합구조를 도시한다.
일반적으로 다이어프램식 압력센서는 하우징(100), 결합용와셔(210)에 의해 상기 하우징(100)의 하단에 장착되는 다이어프램(200), 상기 하우징(100)의 상단에 구비된 커넥터(300)를 포함한다.
하우징(100)은 그 내부에 중공부(150)가 형성되고, 이 중공부(150) 내에는 메인회로기판(130) 및 압력소자(140)가 설치되어 있다. 한편, 하우징(100)은 중공부(150)내의 메인회로기판(130), 압력소자(140) 등의 설치 및 조립을 용이하게 할 수 있도록 제1 및 제2 하우징(110, 120)이 상호 조립가능하게 결합되도록 구성될 수 있다.
제1하우징(110) 및 제2하우징(120)이 상호 결합되는 부위 내측에는 중공부(150)가 마련되며, 하우징(100)의 중공부(150)는 제2 하우징(120)의 상부에 결합되는 커넥터(300)의 조립에 의해 마감된다. 이러한 하우징(100)의 중공부(150)에는 메인회로기판(130), 메인회로기판(130)측에 실장된 압력소자(140)가 설치될 수 있다. 커넥터(300) 내에는 복수의 터미널단자(310)가 배치되고, 각 터미널단자(310)에는 전극부재(320)가 개별적으로 접속되며, 각 전극부재(320)는 와이어본딩을 통해 압력소자(140)측에 접속되어 있다.
제1하우징(110)의 하측 외측면에는 유압장치(10)에 체결될 수 있도록 나사부(112)가 형성되며, 나사부(112)의 상측에는 오링 등과 같은 밀봉부재(220)가 구비된다. 제1 하우징(110)의 내부에는 압력소자(140)와 다이어프램(200)에 의해 각각 양단이 밀봉되는 압력검출챔버(114)가 형성되며, 압력검출챔버(114) 내에는 실리콘 오일 등과 같은 압력전달매체가 충전되어 있다. 따라서 다이어프램(250)이 외부의 압력에 의해 반응할 경우 그 압력이 압력전달매체를 통해 압력소자(140)측으로 전달되고, 메인회로기판(130)은 전달된 압력을 감지하여 전극부재(320) 및 터미널단자(310)를 통해 전기적신호로 출력하게 된다.
이와 같이 구성되는 종래의 다이어프램식 압력센서는 내부 구조가 비교적 단순하면서도 유압장치(10) 내의 압력을 보다 간편하게 측정할 수 있다는 장점이 있다. 그러나 제1 하우징(110)의 외측면에 형성된 나사부(112)를 유압장치(10)에 나사결합시키는 과정에서 상기 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200)으로 전달되어 상기 다이어프램(200)이 변형되는 경우가 발생될 수 있는데, 다이어프램(200)의 변형량이 매우 미세하더라도 압력전달매체로는 일정 수준의 압력이 이미 전달되는바, 압력 측정값에 오차가 발생된다는 문제점이 있다.
KR 10-1201465 B1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 유압장치에 나사결합 구조로 체결되더라도 상기 체결력이 다이어프램으로 인가되지 아니하도록 함으로써 보다 정확한 압력측정이 가능하도록 구성되는 다이어프램식 압력센서를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 상하방향 관통공 형상으로 형성되어 압력전달매체가 충전되는 압력검출챔버와, 상기 압력검출챔버 상단과 연통되는 중공부가 내부에 마련되는 제1 하우징; 상기 제1 하우징의 상측을 덮도록 결합되는 제2 하우징; 상기 압력검출챔버의 상단을 밀봉시키도록 상기 중공부에 장착되는 메인회로기판과 압력소자; 상기 압력검출챔버의 하단을 밀봉시키도록 상기 제1 하우징의 저면에 장착되는 다이어프램; 및 상기 제2 하우징의 상측을 덮도록 결합되며, 상기 압력소자와 전기적으로 연결되는 터미널단자를 구비하는 커넥터;를 포함하여 구성되며, 상기 제1 하우징의 외측면 중 상기 다이어프램이 장착된 지점으로부터 사전에 설정된 거리 이상으로 이격된 지점에 나사부가 형성된다.
상기 나사부와 상기 다이어프램 간의 이격거리는, 상기 나사부와 상기 압력검출챔버 간의 이격거리보다 크게 설정된다.
상기 제1 하우징의 외측면 중 상기 나사부가 형성된 지점과 상기 다이어프램이 장착된 지점 사이에는 단차홈이 형성된다.
상기 단차홈은 상기 제1 하우징의 외측면을 둘러싸도록 링형상으로 형성된다.
상기 나사부와 상기 다이어프램 사이의 제1 하우징 외측면은, 상기 다이어프램과 가까워질수록 외경이 감소되는 방향으로 경사지게 형성된다.
상기 나사부와 상기 다이어프램 사이의 제1 하우징 외경은, 상기 나사부의 골지름보다 작게 설정된다.
상기 제1 하우징의 저면 가장자리에는 하향으로 연장되는 원통형상의 하향연장부가 형성되고, 상기 나사부는 상기 하향연장부의 외측면에 형성된다.
상기 제1 하우징의 상면 가장자리에는 상향으로 연장되는 원통형상의 상향연장부가 형성되고, 상기 나사부는 상기 상향연장부의 외측면에 형성되고, 상기 상향연장부의 내측면에는 상기 제2 하우징과 나사결합되는 결합나사산이 형성된다.
본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 유압장치에 나사결합 구조로 체결되더라도 상기 체결력이 다이어프램으로 인가되지 아니하므로 보다 정확한 압력측정이 가능하다는 장점이 있다.
도 1은 종래의 다이어프램식 압력센서의 사시도이다.
도 2는 종래의 다이어프램식 압력센서의 단면도이다.
도 3은 종래의 다이어프램식 압력센서의 결합구조를 도시한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 의한 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서의 실시예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 도 3에 도시된 바와 같이 유압장치(10)를 관통하도록 장착되어 상기 유압장치(10)의 내부 압력을 측정하기 위한 것으로서, 압력검출챔버(114)와 중공부(150)가 내부에 마련되는 제1 하우징(110)과, 상기 제1 하우징(110)의 상측을 덮도록 결합되는 제2 하우징(120)과, 상기 압력검출챔버(114)의 상단을 밀봉시키도록 상기 중공부(150)에 장착되는 메인회로기판(130) 및 압력소자(140)와, 상기 압력검출챔버(114)의 하단을 밀봉시키도록 상기 제1 하우징(110)의 저면에 장착되는 다이어프램(200)과, 상기 제2 하우징(120)의 상측을 덮도록 결합되며 상기 압력소자(140)와 전기적으로 연결되는 터미널단자(310)를 구비하는 커넥터(300)를 포함하여 구성된다. 상기 압력검출챔버(114)는 상하방향 관통공 형상으로 형성되어 내부에 압력전달매체가 충전되며, 상기 중공부(150)는 압력검출챔버(114) 상단과 연통되도록 형성되는바, 상기 중공부(150)의 바닥면에 안착되도록 결합되는 메인회로기판(130) 및 압력소자(140)에 의해 상기 압력검출챔버(114)의 상부가 밀폐된다(도 2 참조).
이때, 도 2에 도시된 다이어프램식 압력센서는 유압장치(10)와 나사결합되는 나사부(112)의 바로 아래에 다이어프램(200)이 장착되는바, 나사부(112)를 유압장치(10)에 결합시키는 체결력이 다이어프램(200)을 통해 압력검출챔버(114)로 전달되는바, 압력측정값에 오차가 발생된다는 문제점이 있다. 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 하우징(110)의 하측이 보다 길게 연장됨으로써 나사부(112)와 다이어프램(200) 사이에 이격거리가 크게 확보되도록 즉, 제1 하우징(110)의 외측면 중 다이어프램(200)이 장착된 지점(더 명확하게는 제1 하우징(110)의 저면)으로부터 사전에 설정된 거리 이상으로 이격된 지점에 나사부(112)가 형성되도록 구성된다는 점에 구성상의 특징이 있다. 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 나사부(112)가 형성되는 제1 하우징(110)의 구조에 특징이 있고, 제2 하우징(120)과 메인회로기판(130), 압력소자(140), 결합용와셔(210), 밀봉부재(220), 커넥터(300), 전극부재(320), 터미널단자(310) 등의 구성은 도 2에 도시된 종래의 다이어프램식 압력센서와 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 제1 하우징(110)의 구조에 대하여 중점적으로 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 크게 확보되면, 상기 나사부(112)에 체결력이 인가되더라도 상기 체결력이 다이어프램(200)까지는 거의 전달되지 아니하므로, 압력전달매체에는 예압(prepressure)이 형성되지 아니하게 되어 보다 정확한 압력 측정이 가능해진다는 장점이 있다.
한편, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 클수록 압력전달매체에 예압이 형성되는 현상을 방지하는 효과가 커지지지만, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 과도하게 크게 확보되면 제1 하우징(110)의 제조원가가 상승할 뿐만 아니라, 제1 하우징(110)이 커지게 되어 압력센서의 전체 크기가 커지게 된다는 문제가 발생된다. 이때, 제1 하우징(110) 중 나사부(112)가 형성된 지점과 압력검출챔버(114)가 형성된 지점 간의 두께는 상기 나사부(112)에 나사체결력이 인가되더라도 상기 압력검출챔버(114)까지는 전달되지 아니할 만큼의 두께로 설계되는바, 상기 나사부(112)와 상기 다이어프램(200) 사이의 두께는 나사부(112)가 형성된 지점과 압력검출챔버(114)가 형성된 지점 간의 두께를 기준으로 설정됨이 바람직하다. 즉, 상기 나사부(112)와 상기 다이어프램(200) 간의 이격거리(b)는, 상기 나사부(112)와 상기 압력검출챔버(114) 간의 이격거리(a)보다 크게 설정됨이 바람직하다.
또한, 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200)으로 전달되는 현상을 더욱 확실하게 방지할 수 있도록, 제1 하우징(110)의 외측면 중 나사부(112)가 형성된 지점과 다이어프램(200)이 장착된 지점 사이에는 단차홈(113)이 형성될 수 있다. 이와 같이 제1 하우징(110)의 외측면에 단차홈(113)이 형성되면, 나사부(112)에 인가된 체결력이 다이어프램(200) 측으로 전달되는 과정에서 상기 단차홈(113)의 모서리 부위에 집중되어 흡수되므로, 상기 다이어프램(200)으로는 체결력이 전달되지 아니하게 된다. 이와 같이 어떠한 부재에 응력이 인가될 때, 크랙이나 홈에 응력이 집중되는 응력집중현상은 본원발명이 해당하는 기술분야에서 공지된 물리적 현상이므로, 나사부(112)에 인가된 체결력이 단차홈(113)에 집중되는 현상에 대한 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 단차홈(113)은 원통 형상으로 형성되어 제1 하우징(110)의 외측면에 다수 개 배열되도록 구성될 수도 있으나, 나사부(112)에 인가되는 체결력을 전체적으로 차단할 수 있도록 제1 하우징(110)의 외측면을 둘러싸는 형상 즉, 수평단면이 링형상을 이루도록 형성됨이 바람직하다. 또한, 본 실시예에서는 링형상의 단차홈(113)이 1개만 형성되는 경우를 도시하고 있으나, 상기 단차홈(113)은 2겹 이상 구비될 수도 있다. 또한, 제1 하우징(110)의 외측면에 형성된 단차홈(113)이 나사부(112)에 인가되는 체결력을 충분히 흡수할 수 있다면, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 나사부(112)와 압력검출챔버(114) 간의 이격거리보다 작게 설정될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200)으로 전달되지 아니하도록 하기 위해서는 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리를 최대한 크게 확보함이 바람직한데, 도 4에 도시된 실시예와 같이 제1 하우징(110)의 하측이 하나의 원통 형상으로 형성되면, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 수직거리(b)가 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 되므로, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리를 증대시키기 위해서는 제1 하우징(110)의 전체 길이가 길어진다는 문제점이 있다.
따라서 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 제1 하우징(110)의 길이가 동일하더라도 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 크게 확보될 수 있도록, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 하우징(110)의 외측면 중 나사부(112)와 다이어프램(200) 사이가 경사지게 형성될 수 있다. 도 5에 도시된 실시예와 같이 나사부(112)와 다이어프램(200) 사이의 제1 하우징(110) 외측면이 아래로 갈수록 지름이 좁아지는 방향(더 명확하게는 다이어프램(200)과 가까워질수록 외경이 감소되는 방향)으로 경사지게 형성되면, 나사부(112)와 디어어프램 간의 수직거리(b)가 도 4에 도시된 실시예와 동일하다 하더라도, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리는 보다 크게 확보되므로, 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200)으로 전달되는 현상을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다는 장점이 있다.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 나사부(112)와 디어어프램 간의 수직거리(b)가 도 4에 도시된 실시예와 동일하다 하더라도, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 보다 크게 확보될 수 있으면서도 상기 나사부(112)에 인가된 체결력이 다이어프램(200) 측으로 전달되는 과정에서 일부 흡수될 수 있도록, 도 6에 도시된 바와 같이 나사부(112)와 다이어프램(200) 사이의 제1 하우징(110) 외경이 나사부(112)의 골지름보다 작게 설정될 수 있다.
이와 같이 제1 하우징(110)의 외경이 부위별로 상이하도록 단턱지게 형성되면, 나사부(112)와 디어어프램 간의 수직거리(b)가 동일하다 하더라도 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 이격거리가 보다 크게 확보될 수 있을 뿐만 아니라, 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200)을 향해 전달될 때 제1 하우징(110)의 외측면 중 나사부(112)와 다이어프램(200) 사이에 형성된 모서리에 집중되어 흡수되므로, 상기 다이어프램(200) 측으로는 체결력이 전달되지 아니하게 된다는 효과를 얻을 수 있다.
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이고, 도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 다이어프램식 압력센서의 수직단면도이다.
본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 나사부(112)가 형성되는 부위와 다이어프램(200)이 형성되는 부위가 완전히 구분됨으로써, 상기 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200) 측으로는 전달되지 아니하도록 구성될 수도 있다.
예를 들어 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1 하우징(110)의 저면 가장자리에 하향으로 연장되는 원통형상의 하향연장부(116)가 형성되고, 상기 나사부(112)는 상기 하향연장부(116)의 외측면에 형성되도록 구성될 수 있다.
이와 같이 나사부(112)가 원통형상의 하향연장부(116)에 형성되면, 상기 나사부(112)에 체결력이 과도하게 인가되었을 상기 체결력은 하향연장부(116)를 오므리는 용도로 활용되므로 다이어프램(200) 측으로는 전달되지 아니하게 된다는 효과를 얻을 수 있다. 물론, 나사부(112)에 인가되는 체결력이 하향연장부(116)를 오므리는데 흡수된다 하더라도 상기 체결력 중 일부는 다이어프램(200) 측으로 전달될 수 있으므로, 나사부(112)가 하향연장부(116)에 형성되는 경우에 있어서도 나사부(112)와 다이어프램(200)은 일정거리 이격되도록 설정됨이 바람직하다.
또한 본 발명에 의한 다이어프램식 압력센서는 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 거리가 최대한 멀리 확보되도록, 상기 나사부(112)가 제1 하우징(110)의 상측 외주면에 형성될 수도 있다.
일반적으로 제1 하우징(110)은 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상단 가장자리부터 상향으로 연장되는 원통형상의 상향연장부(115)를 구비하되 제2 하우징(120)과 나사결합되는 결합나사산(111)이 상향연장부(115)의 외측면에 형성되도록 구성되는데, 도 8에 도시된 바와 같이 나사부(112)가 상기 상향연장부(115)의 외측면에 형성될 수도 있다. 물론, 이와 같이 나사부(112)가 상향연장부(115)의 외측면에 형성되는 경우, 제2 하우징(120)과의 나사결합을 위한 결합나사산(111)은 상향연장부(115)의 내측면에 형성되고, 제2 하우징(120)은 하측이 상향연장부(115)의 내측으로 인입되어 결합나사산(111)과 나사결합되도록 변형되어야 할 것이다.
도 8에 도시된 실시예와 같이 나사산이 상향연장부(115)에 형성되면, 나사부(112)와 다이어프램(200) 간의 거리가 최대로 멀리 확보되므로, 나사부(112)에 인가되는 체결력이 다이어프램(200) 측으로는 전혀 전달되지 아니하게 된다는 효과를 얻을 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 유압장치 100 : 하우징
110 : 제1 하우징 111 : 결합나사산
112 : 나사부 113 : 단차홈
114 : 압력검출챔버 115 : 상향연장부
116 : 하향연장부 120 : 제2하우징
130 : 메인회로기판 140 : 압력소자
150 : 중공부 200 : 다이어프램
210 : 결합용와셔 300 : 커넥터
310 : 터미널단자 320 : 전극부재

Claims (8)

  1. 상하방향 관통공 형상으로 형성되어 압력전달매체가 충전되는 압력검출챔버와, 상기 압력검출챔버 상단과 연통되는 중공부가 내부에 마련되는 제1 하우징;
    상기 제1 하우징의 상측을 덮도록 결합되는 제2 하우징;
    상기 압력검출챔버의 상단을 밀봉시키도록 상기 중공부에 장착되는 메인회로기판과 압력소자;
    상기 압력검출챔버의 하단을 밀봉시키도록 상기 제1 하우징의 저면에 장착되는 다이어프램; 및
    상기 제2 하우징의 상측을 덮도록 결합되며, 상기 압력소자와 전기적으로 연결되는 터미널단자를 구비하는 커넥터;를 포함하여 구성되며,
    상기 제1 하우징의 외측면 중 상기 다이어프램이 장착된 지점으로부터 사전에 설정된 거리 이상으로 이격된 지점에 나사부가 형성되고,
    상기 제1 하우징의 외측면 중 상기 나사부가 형성된 지점과 상기 다이어프램이 장착된 지점 사이에는 단차홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 나사부와 상기 다이어프램 간의 이격거리는, 상기 나사부와 상기 압력검출챔버 간의 이격거리보다 큰 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 단차홈은 상기 제1 하우징의 외측면을 둘러싸도록 링형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 나사부와 상기 다이어프램 사이의 제1 하우징 외측면은, 상기 다이어프램과 가까워질수록 외경이 감소되는 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 나사부와 상기 다이어프램 사이의 제1 하우징 외경은, 상기 나사부의 골지름보다 작은 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 하우징의 저면 가장자리에는 하향으로 연장되는 원통형상의 하향연장부가 형성되고, 상기 나사부는 상기 하향연장부의 외측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 하우징의 상면 가장자리에는 상향으로 연장되는 원통형상의 상향연장부가 형성되고, 상기 나사부는 상기 상향연장부의 외측면에 형성되고, 상기 상향연장부의 내측면에는 상기 제2 하우징과 나사결합되는 결합나사산이 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램식 압력센서.
KR1020140097249A 2014-07-30 2014-07-30 다이어프램식 압력센서 KR101583711B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140097249A KR101583711B1 (ko) 2014-07-30 2014-07-30 다이어프램식 압력센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140097249A KR101583711B1 (ko) 2014-07-30 2014-07-30 다이어프램식 압력센서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101583711B1 true KR101583711B1 (ko) 2016-01-11

Family

ID=55169821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140097249A KR101583711B1 (ko) 2014-07-30 2014-07-30 다이어프램식 압력센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101583711B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200082255A (ko) * 2018-12-28 2020-07-08 주식회사 현대케피코 근접센서 이용한 압력센서
KR20210023126A (ko) 2019-08-22 2021-03-04 대양전기공업 주식회사 압력 센서 모듈 및 이를 이용하는 유체 매니폴드
CN113945318A (zh) * 2020-07-16 2022-01-18 阿自倍尔株式会社 压力传感器
KR20220077022A (ko) 2020-12-01 2022-06-08 대양전기공업 주식회사 압력 조절 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100116515A (ko) * 2009-04-22 2010-11-01 세종공업 주식회사 반투과성막을 가진 압력센서 및 그 설치구조
KR20110023408A (ko) * 2009-08-31 2011-03-08 세종공업 주식회사 온도소자를 가진 압력센서 및 그 설치구조
KR20110075377A (ko) * 2009-12-28 2011-07-06 재단법인 포항산업과학연구원 압력센서 패키지 구조
KR20120058933A (ko) * 2010-11-30 2012-06-08 세종공업 주식회사 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100116515A (ko) * 2009-04-22 2010-11-01 세종공업 주식회사 반투과성막을 가진 압력센서 및 그 설치구조
KR20110023408A (ko) * 2009-08-31 2011-03-08 세종공업 주식회사 온도소자를 가진 압력센서 및 그 설치구조
KR20110075377A (ko) * 2009-12-28 2011-07-06 재단법인 포항산업과학연구원 압력센서 패키지 구조
KR20120058933A (ko) * 2010-11-30 2012-06-08 세종공업 주식회사 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치
KR101201465B1 (ko) 2010-11-30 2012-11-14 세종공업 주식회사 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200082255A (ko) * 2018-12-28 2020-07-08 주식회사 현대케피코 근접센서 이용한 압력센서
KR102142649B1 (ko) 2018-12-28 2020-08-07 주식회사 현대케피코 근접센서 이용한 압력센서
KR20210023126A (ko) 2019-08-22 2021-03-04 대양전기공업 주식회사 압력 센서 모듈 및 이를 이용하는 유체 매니폴드
CN113945318A (zh) * 2020-07-16 2022-01-18 阿自倍尔株式会社 压力传感器
KR20220077022A (ko) 2020-12-01 2022-06-08 대양전기공업 주식회사 압력 조절 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101583711B1 (ko) 다이어프램식 압력센서
JP6458044B2 (ja) 差圧センサおよびその製造方法
US10012334B2 (en) Structure for attaching pressure detector
JP6590825B2 (ja) 差圧検知ダイおよび差圧ダイを作製する方法
JP2017506750A (ja) 差圧検知ダイ用のパッケージ
US20160252418A1 (en) Microfused silicon strain gauge (msg) pressure sensor package
KR102363996B1 (ko) 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서
JP2014167420A (ja) 圧力検出装置
KR101452639B1 (ko) 차압·압력 발신기
EP3660478B1 (en) Sensor assembly and physical quantity measuring device
JP2009544028A (ja) 圧力検出装置
US20030024321A1 (en) Relative pressure measuring instrument
KR101201465B1 (ko) 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치
KR102169778B1 (ko) 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 장치
US8365605B2 (en) Jointless pressure sensor port
KR102365216B1 (ko) 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서
US20130263671A1 (en) Fluid pressure spike attenuation feature for pressure sensing devices
KR101584682B1 (ko) 자가진단 기능을 갖는 압력감지장치
CN109073492B (zh) 压力传感器装置
US20220128423A1 (en) Pressure sensor
JP4049109B2 (ja) 圧力センサ
KR20240102528A (ko) 센서 모듈
KR101741677B1 (ko) 간략 구조형 압력감지장치
KR101250410B1 (ko) 고온 배기환경용 가스센서
KR20190069191A (ko) 토크렌치를 이용하여 세라믹 소재 센서의 고정 가압을 조절하는 압력 트랜스미터

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190104

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200103

Year of fee payment: 5