KR102363996B1 - 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서(10)에 관한 것이다. 상기 센서(10)는 센서 하우징(12), 상기 센서 하우징(12) 내에 적어도 부분적으로 배치된 압력 센서 모듈(18), 압력 채널(22)을 가진 압력 접속부(14), 및 상기 압력 채널(22) 내의 압력을 스로틀링하기 위한 스로틀 부재(30)를 포함한다. 상기 스로틀 부재(30)는 상기 압력 센서 모듈(18)을 향한 면(32)에 적어도 하나의 제 1 리세스(40)를 그리고 상기 압력 센서 모듈(18) 반대편 면(34)에 적어도 하나의 제 2 리세스(42)를 포함한다.

Description

유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서{SENSOR FOR DETECTING A PRESSURE OF A FLUID MEDIUM}
본 발명은 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서에 관한 것이다.
기술, 예컨대 자연과학 또는 의료 공학의 여러 분야에서 유체 매체의 하나 또는 다수의 특성이 검출되어야 한다. 상기 특성들은 기본적으로 유체 매체, 즉 기체 및/또는 액체의 임의의 물리적 및/또는 화학적 특성, 예컨대 온도, 압력, 유동 특성 등일 수 있다. 중요한 예는 유체 매체의 압력의 검출이지만, 본 발명이 이것에 제한되지는 않는다. 압력 센서들은 예컨대 Konrad Reif(발행인): Sensoren im Kraftfahrzeug, 제 1 권, 2010, 페이지 134-136에 개시되어 있다.
다른 압력 센서는 DE 10 2010 001 963 A1에 개시되어 있다. 압력 센서는 압력 센서 모듈을 가진 센서 하우징 및 압력 채널을 가진 압력 접속부를 포함한다. 압력 채널의 개구의 영역에 스로틀 부재가 조립된다. 스로틀 부재는 포트형으로 형성되고 바닥에 개구를 포함한다.
상기 센서에 의해 이루어지는 개선에도, 여전히 공지된 센서의 최적화 가능성이 있다. 최후에 언급된 압력 센서에서, 스로틀 부재는 추가로 압력 접속부 내의 4개의 레이저 용접점에 의해 센서 작동시 의도치 않게 떨어지지 않아야 한다. 이는 이러한 센서의 제조 비용을 현저히 높인다.
본 발명의 과제는 공지된 센서의 단점들을 적어도 거의 방지하며, 더 경제적으로 제조되고, 센서 칩 멤브레인에서 증기 기포 형성에 의한 압력 피크 및 공동화 효과를 방지하는, 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서를 제공하는 것이다.
유체 매체의 압력을 검출하기 위한 본 발명에 따른 센서는 센서 하우징, 상기 센서 하우징 내에 적어도 부분적으로 배치된 압력 센서 모듈, 압력 채널을 가진 압력 접속부, 및 상기 압력 채널 내의 압력을 스로틀링하기 위한 스로틀 부재를 포함한다. 스로틀 부재는 압력 센서 모듈을 향한 면에 적어도 하나의 제 1 리세스를 그리고 상기 압력 센서 모듈 반대편 면에 적어도 하나의 제 2 리세스를 포함한다.
본 발명의 범위에서 "제 1" 및 "제 2" 라는 표현은 단지 관련 부품을 구별하기 위해서만 사용되고, 언급된 부품의 특정 가중 또는 순서를 나타내기 위해 사용되지 않는다.
압력 접속부는 특히 압력 조인트로서 구현될 수 있다. 압력 조인트는 단일 부품으로서 형성될 수 있다. 대안으로서, 압력 조인트는 2개의 서로 결합하는 부품으로 형성될 수 있다. 상기 2개의 부품은, 예컨대 6각형의 형태로 형성될 수 있는 하우징 베이스, 및 유동관에 센서를 부착하기 위해 형성된 나사부를 포함하고, 상기 하우징 베이스 상에는 센서 하우징이 배치된다. 조인트는 본 발명의 범위에서 짧은 관형 연장부, 예컨대 둥근 또는 다각형 횡단면을 가진 적어도 부분적으로 원통형으로 형성된 연장부를 의미한다. 본 발명의 범위에서 압력 접속부의 압력 채널이 적어도 부분적으로 압력 접속부에서 매체를 공급하기 위해 형성되고 유체 매체가 통상 대기압 및/또는 정상 기압을 초과하는 압력을 갖기 때문에, 조인트는 본 발명의 범위에서 압력 조인트 또는 압력 접속부라고도 한다.
압력 센서 모듈은 본 발명의 범위에서 유체 매체의 압력을 검출하기 위해 사용되는 압력에 대한 측정 신호 및/또는 측정값을 제공하는 센서 소자 및 추가의 부품들을 포함하는 예비 조립된 모듈을 의미한다. 예컨대, 센서 소자는 압력 센서에서 통상적인 바와 같이, 하나 또는 다수의 압전 저항 소자 및/또는 다른 방식의 감지 소자들을 가지고 측정 브리지로서 형성된 센서 멤브레인을 포함할 수 있다. 상기 방식의 압력 센서의 다른 가능한 실시예에 대해, 전술한 선행 기술, 특히 Konrad Reif(발행인): Sensoren im Kraftfahrzeug, 제 1 권, 2010, 페이지 134-136이 참고될 수 있다. 그러나 기본적으로 다른 실시예도 가능하다. 다른 부품들은 예컨대 신호 처리 부품, 유체 매체 및 접촉에 대한 보호 수단으로서 겔, 장착 및 연결 기술의 부품, 특히 본딩 와이어, 접착제 등, 리드 프레임 및 커패시터를 가진 플라스틱 성형체일 수 있다. 신호 처리 부품은 예컨대 "커스텀 칩(Custom Chip)이라고도 공지된 주문형 집적 회로(ASIC-application specific integrated circuit)일 수 있다. 이러한 회로는 집적 회로로 구현된 전자 회로이다. 센서 소자 및 집적 회로(ASIC)는 2개의 별도의 칩 상에 또는 하나의 공통 칩 상에 배치될 수 있다. 예컨대 압력을 검출하기 위한 압력 센서 모듈은 유리 베이스, 및 상기 유리 베이스 상에 배치된 센서 소자로서 실리콘 칩을 포함하고, 상기 실리콘 칩의 표면 상에는 예컨대 압전 저항성 저항 소자들로 휘트스톤 브리지의 형태로 구성될 수 있는 측정 브리지가 제공된다. 압력 검출에 필요한 멤브레인은 실리콘 칩 후면의 에칭에 의해 제조될 수 있다. 센서 소자는 유리 베이스와 연결될 수 있고 적어도 측정 브리지를 포함한다.
제 1 리세스 및/또는 제 2 리세스는 홈 형태로 형성될 수 있다. 스로틀 부재는 압력 센서 모듈을 향한 면과 압력 센서 모듈 반대편 면에 대해 평행한 평면에 대해 대칭으로 형성될 수 있다. 제 1 리세스 및 제 2 리세스는 그 사이의 상기 평면을 중심으로 서로 마주보고 있을 수 있다. 스로틀 부재는 압력 센서 모듈과 압력 채널의 개구 사이에 배치될 수 있다. 압력 채널은 실린더 축을 중심으로 원통형으로 형성될 수 있다. 제 1 리세스 및/또는 제 2 리세스는 실린더 축에 대해 실질적으로 수직으로 연장될 수 있다. 스로틀 부재는 직경을 가지고 실질적으로 디스크 형태로 형성될 수 있다. 제 1 리세스 및/또는 제 2 리세스는 완전히 압력 센서 모듈을 향한 면 및/또는 압력 센서 모듈 반대편 면의 치수에 걸쳐 상기 직경에 대해 평행하게 연장될 수 있다.
디스크 형태는 본 발명의 범위에서 디스크와 유사한 형태를 의미한다. 이 경우, 디스크는 두께보다 훨씬 더 큰 반경을 가진 실린더를 의미한다. 예컨대, 반경은 실린더의 두께보다 적어도 팩터 2 정도 더 크다.
스로틀 부재는 적어도 2개의 라운딩된 측면, 및 적어도 2개의 서로 마주보는 편평해진 측면을 포함할 수 있다. 측면들은 바람직하게 스로틀 부재의, 압력 센서 모듈을 향한 면 또는 압력 센서 모듈 반대편 면에 대해 수직으로 연장된다. 제 1 리세스 및/또는 제 2 리세스는 2개의 편평해진 측면들을 연결하는 방향에 대해 평행하게 연장될 수 있다. 달리 표현하면, 제 1 리세스 및/또는 제 2 리세스는 2개의 편평해진 측면을 연결하는, 예컨대 수직으로 연결하는 가상 선에 대해 평행하게 연장된다. 압력 센서 모듈은 센서 칩 및 지지체를 포함할 수 있다. 지지체는 예컨대 유리 베이스로서 형성될 수 있다. 센서 칩은 지지체 상에 배치된다. 스로틀 부재는 지지체에 인접하게 배치될 수 있다. 스로틀 부재는 적어도 부분적으로 예컨대 스테인리스 강과 같은 금속 또는 플라스틱으로 제조될 수 있다.
스로틀 부재의 재료는 유체 매체에 대해 내성을 가져야 한다.
본 발명의 기본 사상은 스로틀 부재가 스탬핑 또는 프레싱에 의해 대칭으로 제조되어 압력 채널 내로 압입된다는 것이다. 이로 인해, 레이저 용접 프로세스 및 그 프로세스 모니터링 그리고 나머지 부분의 품질 모니터링이 생략될 수 있다. 스로틀 부재는 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서에 사용될 수 있고, 유체 매체의 압력 및 온도를 검출하기 위한 센서에도 사용될 수 있다. 스로틀 부재가 대칭으로 형성되기 때문에, 조립시 측면과 무관한 공급이 가능하다. 달리 표현하면, 방향이 정해진 조립이 필요 없다. 본 발명에 따른 스로틀 부재에 의해, 압력 센서 모듈의 실리콘 칩 멤브레인에서 증기 기포 형성에 의한 압력 피크 및 공동화 효과를 방지하기 위한 간단하고 경제적인 조치가 제공된다. 이로 인해, 실리콘 칩 멤브레인의 사전 손상 및 기계적 파손이 방지된다.
본 발명의 다른 선택적 세부사항들 및 특징들은 도면에 개략적으로 도시된 바람직한 실시예의 하기 설명에 제시된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서의 종단면도.
도 2는 본 발명의 스로틀 부재의 사시도.
도 3은 스로틀 부재의 횡단면도.
도 4는 스로틀 부재의 평면도.
도 5는 동작 방식을 나타내기 위한 스로틀 부재의 사시도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유체 매체의 압력 및 온도를 검출하기 위한 센서의 종단면도.
도 7은 유체 매체의 압력 및 온도를 검출하기 위한 센서의 일부의 확대도.
도 1은 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서(10)의 종단면도를 도시한다. 센서(10)는 예컨대 내연기관의 연료관 내의 연료압 또는 내연기관의 배기가스 시스템 내의 배기가스를 검출하도록 형성될 수 있다. 센서(10)는 센서 하우징(12), 압력 접속부(14), 6각형 형태의 하우징 하부(16) 및 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 모듈(18)을 포함한다. 압력 센서 모듈(18)은 센서 하우징(12)의 내부에 적어도 부분적으로 배치된다. 센서 하우징(12)은 하우징 하부(16) 상에 배치된다. 센서 하우징(12)은 예컨대 상세히 도시되지 않은 플러그와의 접속을 위한 플러그 하우징으로서 형성된다.
압력 접속부(14)는 적어도 부분적으로 금속, 경금속 또는 이들의 합금으로 제조될 수 있다. 압력 접속부(14)는 예컨대 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 제조될 수 있다. 압력 접속부(14)는 선삭 부품, 다이캐스트 부품, 냉간 성형 부품 또는 금속 사출성형 부품으로서 제조될 수 있다. 압력 접속부(14)는 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 형성될 수 있다. 예컨대, 압력 접속부(14)는 원통형 압력 조인트로서 형성된다. 연료관의 연결을 위해 또는 이를 위해 제공된 다른 장소에 압력 접속부(14)는 수나사(20)를 갖는다. 압력 접속부(14) 및 하우징 하부(16)는 일체형으로 형성될 수 있거나 또는 2개의 서로 결합하는 부품으로서 형성될 수 있다. 센서 하우징(12)은 압력 접속부(14) 또는 하우징 하부(16)와 고정 연결된다. 압력 접속부(14)는 압력 채널(12)을 포함한다. 압력 채널(22)은 압력 접속부(14)의, 유체 매체를 향한 단부(26)에 배치된 개구(24)를 포함한다. 압력 채널(22)은 가압 유체 매체를 압력 센서 모듈(18)에 공급하기 위해 사용된다. 압력 채널(22)은 특히 압력 접속부(14)의 회전축일 수 있는 실린더 축(28)을 중심으로 원통형으로 형성될 수 있다.
센서(10)는 또한 스로틀 부재(30)를 포함한다. 스로틀 부재(30)는 유체 매체 내에 증기 기포 형성에 의한 높은 압력 맥동 및 공동화 효과를 댐핑하기 위해 사용된다. 스로틀 부재(30)는 하기에 상세히 설명되는 바와 같이 대칭으로 형성되고 압력 채널(22)의 개구(24)와 압력 센서 모듈(18) 사이에 배치된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 스로틀 부재(30)는 예컨대 개구(24)의 영역 내에 배치될 수 있거나 또는 압력 채널(22) 내의 임의의 장소에 배치될 수 있다.
도 2는 스로틀 부재(30)의 사시도를 도시한다. 스로틀 부재(30)는 실질적으로 디스크 형태로 형성된다. 스로틀 부재(30)는 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 및 압력 센서 모듈(18) 반대편 면(34)을 포함한다. 또한, 스로틀 부재(30)는 적어도 2개의 라운딩된 측면(36) 및 2개의 편평해진 측면(38)을 포함한다. 라운딩된 측면들(36)과 편평해진 측면들(38)은 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 또는 압력 센서 모듈 반대편 면(34)에 대해 수직으로 배치된다.
도 3은 스로틀 부재(30)의 횡단면도를 도시한다. 스로틀 부재(30)는 압력 센서 모듈을 향한 면(32)에 적어도 하나의 제 1 리세스(40)를 포함하며, 압력 센서 모듈 반대편 면(34)에 적어도 하나의 제 2 리세스(42)를 포함한다. 제 1 리세스(40) 및/또는 제 2 리세스(42)는 홈 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)는 0.25 ㎜ 내지 0.35 ㎜, 예컨대 0.30 ㎜의 반경을 가진 원형 횡단면을 갖는다. 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)는 특히 반원형 횡단면을 가질 수 있기 때문에, 반경(44)은 제 1 리세스(40) 또는 제 2 리세스(42)의 깊이(46)에 상응한다. 제 1 리세스(40) 및/또는 제 2 리세스(42)는 라운딩되어 0.095 ㎜ 내지 0.15 ㎜, 예컨대 0.1 ㎜의 반경(48)을 가지고 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 또는 압력 센서 모듈 반대편 면(34)으로 이어질 수 있다. 전술한 바와 같이, 스로틀 부재(30)는 대칭으로 형성된다. 특히, 스로틀 부재(30)는 디스크 형태로 그리고 평면(50)에 대해 대칭으로 형성된다. 평면(50)은 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 및 압력 센서 모듈 반대편 면(34)에 대해 평행하게 연장한다. 평면(50)은 중심 평면을 형성한다. 제 1 리세스(40)와 제 2 리세스(42)는 그 사이의 평면(50)을 중심으로 마주보고 있다. 스로틀 부재(30)는 예컨대 1.0 ㎜의 높이(52)를 갖는다. 또한, 스로틀 부재(30)는 디스크 형태에 의해 2.95 ㎜ 내지 3.05 ㎜, 예를 들면 3.0 ㎜의 직경을 갖는다.
도 4는 스로틀 부재(30)의 평면도를 도시한다. 제 1 리세스(40) 또는 제 2 리세스(42)가 완전히 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 또는 압력 센서 모듈 반대편 면(34)을 통해 연장되는 것이 나타난다. 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)는 완전히 압력 센서 모듈을 향한 면(32) 또는 압력 센서 모듈 반대편 면(34)의 치수(56)에 걸쳐 직경(54)에 대해 평행하게 연장된다. 특히, 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)는 2개의 편평해진 측면들(38)을 연결하는 방향에 대해 평행하게 연장된다. 또한, 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)는 각각 편평해진 측면(38)에 이르는 것이 나타난다. 스로틀 부재(30)는 제 1 리세스(40) 및 제 2 리세스(42)에 대해, 편평해진 측면들(38)에 대해 수직인 스로틀 부재(30)의 치수인, 2.35 ㎜ 내지 2.45 ㎜, 예컨대 2.4 ㎜의 길이(58)를 갖는다.
도 5는 동작 방식을 나타내기 위한 스로틀 부재(30)의 사시도를 도시한다. 압력 센서 모듈 반대편 면(34)에서 스로틀 부재(30)로의 유입이 나타난다. 화살표(60)는 시스템으로 인해 발생하는 높은 압력 맥동을 나타낸다. 2중 홈 판 형태를 가진 스로틀 부재(30)의 특별한 구조에 의해, 제 2 리세스(42) 및 편평해진 측면(38)의 영역에서 압력 맥동이 화살표 62, 64로 표시된 바와 같이 여러 번 방향 전환되고 댐핑된다. 시스템으로 인한 저압 효과 및 그에 따른 증기 기포 형성에 의해 그리고 되돌아오는 압력파에 의해 생긴 공동화 기포들은 늦어도 스로틀 부재(30)의 바로 하류에 상세히 도시되지 않은 데드 스페이스 내에서 파열하므로 압력 센서 모듈(18)로부터 멀리 떨어진다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유체 매체의 압력 및 온도를 검출하기 위한 센서(10)의 종단면도를 도시한다. 이하에서는 제 1 실시예와의 차이점만이 설명되고 동일한 부품들은 동일한 도면 부호로 표시된다. 유체 매체의 온도를 검출하기 위해, 센서(10)는 온도 측정 센서(66)를 포함한다. 온도 측정 센서(66)는 예컨대 NTS(negative temperature coefficient)로서 형성될 수 있다. 온도 측정 센서(66)는 슬리브(69) 내에 배치된다. 슬리브(68)는 하우징 하부(16)와 연결된다. 슬리브(68)는 경금속, 금속 또는 그 합금으로 제조될 수 있다. 예컨대, 슬리브(68)는 스테인리스 강으로 제조된다. 슬리브(68)는 예컨대 딥 드로잉 부품으로서 또는 냉간 성형 부품으로서 제조될 수 있다. 슬리브(68)는 압력 접속부(14)로부터 돌출한다.
도 7은 도 6의 센서(10)의 일부의 확대도를 도시한다. 압력 센서 모듈(18)은 또한 센서 멤브레인(72)을 가진 센서 칩(70) 및 지지체(74)를 포함한다. 센서 칩(70)은 예컨대 유리 베이스(76)에 의해 지지체(74) 상에 배치된다. 특히 압력 접속부(14) 내에 압력 센서 모듈(18), 지지체(74), 스로틀 부재(30) 및 압력 채널(22)의 배치가 나타난다. 도 7에 나타나는 바와 같이, 스로틀 부재(30)는 지지체(74)에 인접하게 배치된다. 제 2 실시예의 센서(10)의 스로틀 부재(30)의 동작 방식은 기본적으로 제 1 실시예의 센서(10)의 스로틀 부재(30)의 동작 방식과 다르지 않다. 제 2 실시예의 센서(10)에서는 지지체(74) 내의 스로틀 부재(30) 바로 후방에 데드 스페이스가 배치된다. 따라서, 압력파 및 공동화 기포가 센서 멤브레인(72)으로부터 멀리 떨어진다. 이로 인해, 센서 멤브레인(72)의 사전 손상 및 기계적 파손이 방지된다.
10 센서
12 센서 하우징
14 압력 접속부
22 압력 채널
28 실린더 축
30 스로틀 부재
40 제 1 리세스
42 제 2 리세스
50 평면
54 직경
70 센서 칩
74 지지체

Claims (10)

  1. 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 센서(10)로서, 센서 하우징(12), 상기 센서 하우징(12) 내에 적어도 부분적으로 배치된 압력 센서 모듈(18), 압력 채널(22)을 가진 압력 접속부(14), 및 상기 압력 채널(22) 내의 압력을 스로틀링하기 위한 스로틀 부재(30)를 포함하는, 센서(10)에 있어서,
    상기 스로틀 부재(30)는 상기 압력 센서 모듈(18)을 향한 면(32)에 적어도 하나의 제 1 리세스(40)를 그리고 상기 압력 센서 모듈(18) 반대편 면(34)에 적어도 하나의 제 2 리세스(42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 리세스(40) 및/또는 상기 제 2 리세스(42)는 홈 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스로틀 부재(30)는 상기 압력 센서 모듈(18)을 향한 면(32)과 상기 압력 센서 모듈(18) 반대편 면(34)에 대해 평행한 평면(50)에 대해 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 리세스(40) 및 상기 제 2 리세스(42)는 그들 사이의 평면(50)을 중심으로 마주보고 있는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스로틀 부재(30)는 상기 압력 센서 모듈(18)과 상기 압력 채널(22)의 개구(24) 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 압력 채널(22)은 실린더 축(28)을 중심으로 원통형으로 형성되고, 상기 제 1 리세스(40) 및/또는 상기 제 2 리세스(42)는 상기 실린더 축(28)에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스로틀 부재(30)는 직경(54)을 가지고 실질적으로 디스크 형태로 형성되고, 상기 제 1 리세스(40) 및/또는 상기 제 2 리세스(42)는 완전히 상기 압력 센서 모듈(18)을 향한 면(32) 및/또는 상기 압력 센서 모듈(18) 반대편 면(34)의 치수(56)에 걸쳐 상기 직경(54)에 대해 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 스로틀 부재(30)는 적어도 2개의 라운딩된 측면(36) 및 적어도 2개의 서로 마주보는 편평해진 측면(38)을 포함하고, 상기 제 1 리세스(40) 및/또는 상기 제 2 리세스(42)는 상기 2개의 편평해진 측면(38)을 연결하는 방향에 대해 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 압력 센서 모듈(18)은 센서 칩(70) 및 지지체(74)를 포함하고, 상기 센서 칩(70)은 상기 지지체(74) 상에 배치되며, 상기 스로틀 부재(30)는 상기 지지체(74)에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스로틀 부재(30)는 적어도 부분적으로 금속 또는 플라스틱으로 제조되는 것을 특징으로 하는 센서(10).
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