KR101578322B1 - 기판 세정 장치 - Google Patents

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KR101578322B1
KR101578322B1 KR1020150023233A KR20150023233A KR101578322B1 KR 101578322 B1 KR101578322 B1 KR 101578322B1 KR 1020150023233 A KR1020150023233 A KR 1020150023233A KR 20150023233 A KR20150023233 A KR 20150023233A KR 101578322 B1 KR101578322 B1 KR 101578322B1
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이윤홍
이주명
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엠에스티코리아(주)
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Abstract

본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 특히 기판에 대한 세정 공정을 진행하기 위하여 기판을 이송하는 과정에서, 상기 기판이 기울어진 상태로 이송될 수 있도록 구성함으로써, 세정 공정을 위한 액체의 한쪽 방향으로의 흐름을 발생시키고, 이로 인하여 세정 공정의 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
본 발명인 기판 세정 장치를 이루는 구성수단은, 기판 세정 장치에 있어서, 외부로부터 인입되어 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제1 순수 세정존, 상기 제1 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 산 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 산 약액 세정존, 상기 산 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제2 순수 세정존, 상기 제2 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 알칼리 약액 세정존, 상기 알칼리 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제3 순수 세정존, 상기 제3 순수 세정존으로부터 이송되는 기판의 양면에 묻어 있는 물기를 건조시키는 건조존, 상기 제1 순수 세정존부터 상기 건조존까지 배치되어 상기 기판을 연속적으로 이송시키되, 상기 이송되는 기판이 한쪽으로 기울어져 틸팅 상태로 이송될 수 있도록 하는 이송 수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

기판 세정 장치{apparatus for cleaning substrates}
본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 특히 기판에 대한 세정 공정을 진행하기 위하여 기판을 이송하는 과정에서, 상기 기판이 기울어진 상태로 이송될 수 있도록 구성함으로써, 세정 공정을 위한 액체의 한쪽 방향으로의 흐름을 발생시키고, 이로 인하여 세정 공정의 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
기판 또는 글라스에 대하여 다양한 공정을 진행하는 과정에서, 기판 등에 대하여 세정 공정을 진행하는 것은 일반적으로 적용되고 있다. 또한, 기판에 대한 다양한 공정, 예를 들어 세정 공정 또는 에칭 공정을 수행하기 위하여 기판을 이송할 수 있는 이송 수단이 요청되고 있다. 즉, 기판 세정 장치는 내부에 기판 이송 수단을 구비하고 있다.
이와 같은 기판 이송 수단은 대부분 기판을 수평으로 유지한채 이송시키는 방법을 채택하고 있다. 예를 들어, 대한민국 공개특허공보 제2006-0002373호(글라스 이송용 컨베이어 시스템)에는 글라스 이송을 보다 안전하게 진행할 수 있는 기술적 특징에 대하여 기술하고 있다.
그런데, 글라스를 수평으로 유지한 채, 액체를 상부에서 분사하여 세정 공정 또는 에칭 공정을 수행하면, 글라스에 공정 액체가 잔류하여 균일한 세정 또는 에칭 공정이 진행되지 못할 수도 있으며, 특정 부분이 과 세정 또는 과 에칭되어 공정 효율을 떨어뜨릴 수 있는 문제점을 안고 있다.
따라서, 최근에 들어와서 대형 기판에 대한 에칭 또는 세정 공정을 수행함에 있어서, 기판을 수평으로 이송하다가 특정 지점에서 상기 대형 기판에 대한 이송을 정지시키고, 소정 각도로 틸팅시킨 후 상측에서 공정 액체를 분사하여 세정 또는 에칭 공정을 수행하는 방법이 활용되고 있다.
상기 에칭 또는 세정 공정이 끝나면, 상기 기판은 다시 수평한 상태로 눕혀진 후 이송시키는 과정을 통하여 최종적으로 세정 또는 에칭 공정을 수행받게 된다.
그런데, 이와 같이 대형 기판에 대한 틸팅 공정을 추가적으로 진행하게 되면, 전체 공정의 택트 타임이 증가하여 생산 효율을 떨어뜨리는 단점이 발생하고, 틸팅하는 과정에서 대형 기판이 파손될 수 있는 문제점을 가지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 기판에 대한 세정 공정을 진행하기 위하여 기판을 이송하는 과정에서, 상기 기판이 기울어진 상태로 이송될 수 있도록 구성함으로써, 세정 공정을 위한 액체의 한쪽 방향으로의 흐름을 발생시키고, 이로 인하여 세정 공정의 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 기판 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한 본 발명은 세정 공정을 수행하기 위한 기판이 이송되는 과정에서 정지하지 않고 연속적으로 이동하면서 공정을 수행받도록 함으로써, 공정의 택트 타임을 감소시켜 생산 효율을 증대시킬 수 있도록 하는 기판 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한 본 발명은 세정 공정을 수행하기 위한 기판이 이송되는 과정에서 별도의 틸팅 장치에 의하여 틸팅되는 공정을 수행받지 않고, 이송되는 과정에서 자연스럽게 틸팅되도록 구성함으로써, 별도의 틸팅 공정에 의한 기판 파손 가능성을 제거할 수 있고, 추가 장비를 제거하여 구조의 단순화를 달성할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 세정 장치를 이루는 구성수단은, 기판 세정 장치에 있어서, 외부로부터 인입되어 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제1 순수 세정존, 상기 제1 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 산 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 산 약액 세정존, 상기 산 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제2 순수 세정존, 상기 제2 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 알칼리 약액 세정존, 상기 알칼리 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제3 순수 세정존, 상기 제3 순수 세정존으로부터 이송되는 기판의 양면에 묻어 있는 물기를 건조시키는 건조존, 상기 제1 순수 세정존부터 상기 건조존까지 배치되어 상기 기판을 연속적으로 이송시키되, 상기 이송되는 기판이 한쪽으로 기울어져 틸팅 상태로 이송될 수 있도록 하는 이송 수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조존에서 건조되어 이송되는 기판을 순서대로 수직 방향으로 적재하는 카세트를 구비하고, 상기 카세트를 상하 방향으로 업다운하는 업다운 구동부를 구비하는 카세트 버퍼존을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 카세트 버퍼존으로부터 이송되는 상기 기판 상에 잔존하는 이물질을 태우고, 태워진 이물질을 부유시킨 후 흡입함으로써, 기판 상에 잔존하는 이물질을 최종적으로 제거하는 최종 이물질 제거존을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송 수단은, 서로 마주보도록 배치되는 제1 프레임과 제2 프레임으로 구성되는 한 쌍의 프레임, 상기 제1 프레임 상에 일단이 회전 가능하게 장착되고, 제2 프레임 상에 타단이 회전 가능하게 결합되되, 상호 이격되어 연속해서 배치되는 복수개의 회전바를 포함하여 구성되되, 상기 제1 프레임 상에 장착되는 각각의 회전바들의 일단은 서로 동일한 높이를 유지하고, 상기 제2 프레임 상에 연속해서 장착되는 회전바들의 타단은 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간을 가질 수 있도록 장착되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 프레임과 제2 프레임의 각 상부에는 서로 이격되어 상측으로 돌출되는 분리벽들이 연속해서 형성되고, 인접하고 있는 분리벽에 의하여 브라켓 장착부들이 형성되며, 상기 각 브라켓 장착부에는 상기 회전바의 끝단에 결합되는 베어링 조립체가 장착되는 브라켓이 삽입 결합되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 프레임 상부에 형성되는 브라켓 장착부들의 바닥면은 서로 동일한 높이를 유지하고, 상기 제2 프레임 상부에 연속해서 형성되는 브라켓 장착부들의 바닥면은 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간을 가질 수 있도록 형성되며, 상기 브라켓은 동일한 사이즈로 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간에 형성되는 브라켓 장착부에 삽입 결합되는 각 브라켓은 상기 베어링 조립체가 안착되는 바닥 접촉면이 경사지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 기판 세정 장치에 의하면, 기판에 대한 세정 공정을 진행하기 위하여 기판을 이송하는 과정에서, 상기 기판이 기울어진 상태로 이송될 수 있도록 구성하기 때문에, 세정 공정을 위한 액체의 한쪽 방향으로의 흐름을 발생시키고, 이로 인하여 세정 공정의 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 장점이 있다.
또한 본 발명인 기판 세정 장치에 의하면, 기판을 이송하는 과정에서 기판의 이송을 정지시킨 후 소정 각도로 기판을 틸팅을 수행한 다음 세정 공정을 수행하는 기존 방법을 이용하지 않고, 기판을 연속적으로 이송하면서 틸팅이 이루어지도록 하여 공정을 진행하기 때문에, 공정의 택트 타임이 감소하여 공정 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세부 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 정면도 및 배면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단의 일 측면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단의 타 측면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단의 부분 분리 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단에 적용되는 브라켓의 일측 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 세정 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 구성도이고, 도 3은 세부 구성도이고, 도 4는 개략적인 정면도 및 배면도이며, 도 5는 개략적인 측단면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치(1000)는 크게 제1 순수 세정존(200), 산 약액 세정존(300), 제2 순수 세정존(400), 알칼리 약액 세정존(500), 제3 순수 세정존(600), 건조존(700) 및 상기 각각의 존에 연속해서 배치되는 이송 수단(100)을 포함하여 구성된다.
본 발명에 따른 기판 세정 장치(1000)는 기본적으로 순수(DIW : DEIONIZED WATER), 산 약액 및 알칼리 약액을 이용하여 이송되는 기판에 대한 세정 공정을 진행한다.
구체적으로, 본 발명에 따른 기판 세정 장치(1000)는 상기 이송 수단(100)을 통해 이송되는 상기 제1 순수 세정존(200)에서 1차적으로 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하고, 2차적으로 상기 산 약액 세정존(300)에서 산 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하고, 3차적으로 상기 제2 순수 세정존(400)에서 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하고, 4차적으로 상기 알칼리 약액 세정존(500)에서 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하며, 마지막으로 상기 제3 순수 세정존(400)에서 순수를 이용하여 세정 공정을 수행한다.
좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 제1 순수 세정존(200)은 외부로부터 인입되어 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행한다. 즉, 상기 제1 순수 세정존(200)은 외부로부터 순차적으로 인입되는 상기 기판을 연속적으로 이송하고, 기판의 상하부면에서 순수를 뿌려줌으로써 기판에 대한 세정 공정을 수행한다.
상기 제1 순수 세정존(200)은 다양하게 구성될 수 있다. 즉 적어도 하나의 챔버로 구성하여 순수를 이용하여 이송되는 기판에 대하여 세정 공정을 수행할 수 있으면 다양한 구성으로 형성될 수 있다.
본 발명에서는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 순수 세정존(200)은 제1 롤브러쉬 챔버(210), 제1 버블젯 챔버(230) 및 초기 린스 챔버(250)으로 구성되는 것을 예시하고 있다.
상기 제1 롤브러쉬 챔버(210)는 수평으로 이송되는 기판의 상하부면 각각 순수를 뿌려줄 수 있는 샤워 노즐을 구비하고, 상기 기판의 상하부면을 각각 브러싱할 수 있는 롤브러쉬를 구비한다. 상기 롤브러쉬는 상기 기판의 상하부면 측에 각각 구비되고, 상하 업다운될 수 있도록 배치된다. 이와 같은 롤브러쉬는 기판의 상하부면에 묻어있는 큰 이물질들을 제거하는 역할을 수행한다. 상기 제1 롤브러쉬 챔버(210)의 입구측에는 액절을 위하여 에어커튼이 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제1 롤브러쉬 챔버(210)에서 세정 과정을 거친 상기 기판은 상기 제1 버블젯 챔버(230) 내로 이송되어 상기 기판의 상하부면 측에 각각 구비되는 버블젯에 의하여 세정 과정을 거친다. 상기 버블젯은 상기 기판의 상하부면 측에 각각 구비되어 고압 청정공기(CDA : Clean Dry Air)와 순수를 혼합하여 상기 기판의 상하면에 뿌려준다.
상기 제1 버블젯 챔버(230)에서 세정 과정을 거친 상기 기판은 상기 초기 린스 챔버(250) 내로 이송되어 순수에 의하여 세정 공정을 받는다. 상기 초기 린스 챔버(250)는 상기 기판에 순수를 뿌려줄 샤워 노즐이 구비되어 있다. 그리고, 상기 초기 린스 챔버(250)의 출구측에는 순수를 액절시키기 위한 에어 커튼이 설치되는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 상기 이송되는 기판은 틸팅 상태를 유지하는 구간을 가진다. 즉, 기판이 기울어진 상태가 되기 위하여, 상기 기판의 한쪽이 상승하는 구간을 가진다. 이와 같은 틸팅 구간의 시작점은 다양하게 변경될 수 있지만, 본 발명에서는 상기 초기 린스 챔버(250) 내에서 이송되는 상기 기판이 틸팅되는 것을 예시하고 있다. 즉, 상기 기판은 상기 초기 린스 챔버(250) 내에서 틸팅되기 시작한다.
상기와 같이 구성되는 상기 제1 순수 세정존(200)에서 순수에 의하여 1차 세정 공정을 받은 상기 기판은 상기 산 약액 세정존(300)으로 이송된다. 그러면, 상기 산 약액 세정존(300)은 상기 제1 순수 세정존(200)으로부터 이송되는 기판에 대하여 산 약액을 이용하여 세정 공정을 수행한다. 즉, 상기 산 약액 세정존(300)은 이송되어 오는 상기 기판을 연속적으로 이송하고, 기판의 상하부면에서 산 약액을 뿌려줌으로써 기판에 대한 세정 공정을 수행한다.
상기 산 약액 세정존(300)은 산 약액을 이용하여 상기 기판을 미세하게 에칭함으로써 세정 효과를 달성할 수 있다면 다양하게 구성할 수 있다. 본 발명에서의 상기 산 약액 세정존(300)은 두개의 디스크브러쉬 챔버, 즉 제1 디스크브러쉬 챔버(310) 및 제2 디스크브러쉬 챔버(330)로 구성되는 것을 예시하고 있다.
상기 제1 디스크브러쉬 챔버(310) 및 제2 디스크브러쉬 챔버(330)는 각각 구연산, 즉 산 약액을 상기 기판의 상하부면에 뿌려줄 수 있는 샤워 노즐을 구비하고, 상기 산 약액이 묻은 상기 기판의 상하부면 각각을 문질러서 세정할 수 있는 디스크브러쉬를 구비하고 있다.
상기 디스크브러쉬는 상기 기판의 상하부면 측에 각각 배치되고 업다운할 수 있도록 구동된다. 그리고, 상기 제1 디스크브러쉬 챔버(310)의 입구측에는 상기 산 약액이 상기 제1 순수 세정존(200) 쪽으로 이동하는 것을 방지함과 동시에 상기 기판에 잔존하고 있는 순수를 액절하기 위한 에어 커튼이 설치되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제2 디스크브러쉬 챔버(330)의 출구측에는 상기 산 약액이 상기 제2 순수 세정존(400) 쪽으로 이동하는 것을 방지함과 동시에 상기 기판에 잔존하고 있는 산 약액을 액절하기 위한 에어 커튼이 설치되는 것이 바람직하다.
상기와 같이 구성되는 상기 산 약액 세정존(300)에서 산 약액에 의하여 2차 세정 공정을 수행받은 상기 기판은 상기 제2 순수 세정존(400)으로 이송된다. 그러면, 상기 제2 순수 세정존(400)은 상기 산 약액 세정존(300)으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행한다. 즉, 상기 제2 순수 세정존(400)은 이송되어 오는 상기 기판을 연속적으로 이송하고, 기판의 상하부면에서 순수를 뿌려줌으로써 기판에 대한 세정 공정을 수행한다.
상기 제2 순수 세정존(400)은 상기 산 약액 세정존(300)에서 발생한 부유물, 잔존물 등을 세정할 수 있다면 다양하게 구성될 수 있다. 실제 상기 산 약액 세정존에서는 미세한 에칭에 의하여 세정 효과를 달성하기 때문에, 에칭에 의한 부산물 들이 기판의 상하부면에 잔존하게 된다. 따라서 상기 제2 순수 세정존에서 상기 부산물 등을 제거할 필요가 있다.
본 발명에서의 상기 제2 순수 세정존(400)은 제2 버블젯 챔버(410), 제2 롤브러쉬 챔버(430) 및 제3 버블젯 챔버(450)가 연속적으로 연결되어 구성되는 것을 예시하고 있다.
상기 제2 버블젯 챔버(410) 및 제3 버블젯 챔버(450)는 상기 제1 버블젯 챔버(230)와 대동소이하게 구성될 수 있다. 다만, 상기 제2 버블젯 챔버(410) 및 제3 버블젯 챔버(450)는 고압 청정 공기와 순수를 혼합하여 뿌려주는 버블젯뿐만 아니라, 순수를 뿌려서 세정 효과를 증가시키기 위한 샤워 노즐을 더 포함하고 있다.
상기 제2 롤브러쉬 챔버(430)는 상기 제1 롤브러쉬 챔버(210)와 거의 동일하게 형성된다. 상기 제2 버블젯 챔버(410), 제2 롤브러쉬 챔버(430) 및 제3 버블젯 챔버(450) 내에는 세정액, 즉 순수를 액절하기 위한 에어 커튼이 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제2 순수 세정존(400)에서 순수에 의하여 3차 세정 공정을 수행받은 상기 기판은 상기 알칼리 약액 세정존(500)으로 이송된다. 그러면, 상기 알칼리 약액 세정존(500)은 상기 제2 순수 세정존(400)으로부터 이송되는 기판에 대하여 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행한다. 즉, 상기 알칼리 약액 세정존(500)은 이송되어 오는 상기 기판을 연속적으로 이송하고, 기판의 상하부면에서 알칼리 약액을 뿌려줌으로써 기판에 대한 세정 공정을 수행한다.
상기 알칼리 약액 세정존(500)은 상기 기판에 대한 세정 효과를 더욱 향상시키기 위하여 이송되는 기판에 대하여 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행한다. 상기 알칼리 약액 세정존(500)은 세정 효과를 증대시킬 수 있다면 다양한 구성으로 형성될 수 있다.
본 발명에서의 상기 알칼리 약액 세정존(500)은 제3 디스크브러쉬 챔버(510), 제3 롤브러쉬 챔버(530) 및 제4 롤브러쉬 챔버(550)를 포함하여 구성되는 것을 예시하고 있다.
상기 제3 롤브러쉬 챔버(530) 및 제4 롤브러쉬 챔버(550)는 상기 제2 롤브러쉬 챔버(430)와 대동소이하다. 다만 상기 제2 롤브러쉬 챔버에서는 순수를 이용하여 세정 공정을 진행하는 반면, 상기 제3 롤브러쉬 챔버(530) 및 제4 롤브러쉬 챔버(550) 내에서는 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 진행한다.
상기 제3 디스크브러쉬 챔버(510)는 상기 제1 및 제2 디스크브러쉬 챔버(310, 330)와 대동소이하다. 다만 상기 제3 디스크브러쉬 챔버(510)에서는 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 진행하는 반면, 상기 제1 및 제2 디스크브러쉬 챔버에서는 산 약액을 이용하여 세정 공정을 진행한다.
상기 알칼리 약액 세정존(500)은 상기 알칼리 약액이 인접하는 존 즉, 제2 순수 세정존(400) 및 제3 순수 세정존(600)으로 이동하는 것을 방지하고, 상기 제2 순수 세정존(400)에서 사용한 순수를 제거하여 액절하며, 상기 제3 순수 세정존으로 이송하는 과정에서 알칼리 약액을 액절하여 제거하기 위하여, 상기 제3 디스크브러쉬 챔버의 입구측과 상기 제4 롤브러쉬 챔버의 출구측에 에어 커튼을 설치하는 것이 바람직하다.
상기 알칼리 약액 세정존(500)에서 알칼리 약액에 의하여 4차 세정 공정을 수행받은 상기 기판은 상기 제3 순수 세정존(600)으로 이송된다. 그러면, 상기 제3 순수 세정존(600)은 상기 알칼리 약액 세정존(500)으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행한다. 즉, 상기 제3 순수 세정존(600)은 이송되어 오는 상기 기판을 연속적으로 이송하고, 기판의 상하부면에서 순수를 뿌려줌으로써 기판에 대한 세정 공정을 수행한다.
상기 제3 순수 세정존(600)은 상기 알칼리 약액 세정존(500)에서 발생한 부유물 및 이물질을 제거하고, 최종적으로 순수에 의하여 세정 공정을 수행할 수 있다면 다양하게 구성될 수 있다.
본 발명에서의 상기 제3 순수 세정존(600)은 제1 슬릿젯 챔버(610), 제5 롤브러쉬 챔버(630), 제2 슬릿젯 챔버(650), 제4 버블젯 챔버(670) 및 최종 린스 챔버(690)가 연속적으로 연결되어 구성될 수 있는 것을 예시하고 있다.
상기 제1 및 제2 슬릿젯 챔버(610, 650)는 동일한 구조로 이루어져 있다. 구체적으로, 각각의 슬릿젯 챔버는 고압 청정 공기와 순수를 혼합하여 상기 기판의 상하부면에 뿌려줄 수 있는 슬릿젯을 기판의 상하부측에 구비하고, 더 나아가 순수를 상기 기판 상하부면에 뿌려주어서 세정 효과를 증대시킬 수 있는 샤워 노즐을 구비하고 있다.
상기 제5 롤브러쉬 챔버는 상기 제4 롤브러쉬 챔버와 동일한 구조를 가지고, 상기 제4 버블젯 챔버는 상기 제4 버블젯 챔버와 동일한 구조를 가진다. 그리고, 상기 제1 슬릿젯 챔버(610)의 입구측에는 상기 알칼리 약액 세정존에서 잔존한 알칼리 약액을 액절시켜 제거하기 위하여 에어 커튼을 설치하는 것이 바람직하다.
상기 최종 린스 챔버(690)는 최종 세정 공정을 진행하기 위하여, 상기 기판의 상하부면 측에 각각 샤워 노즐을 구비하여 상기 기판의 상하부면에 순수를 뿌려주어서 최종 세정 공정을 진행한다. 상기 최종 린스 챔버의 출구측에는 상기 최종 세정 공정에서 사용한 순수를 액절시키기 위한 에어 커튼이 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제3 순수 세정존(600)에서 순수에 의하여 5차 세정 공정을 수행받은 상기 기판은 상기 건조존(700)으로 이송된다. 그러면, 상기 건조존(700)은 상기 제3 순수 세정존(600)으로부터 이송되는 기판에 대하여 에어 나이프를 통한 건조 및 자연 건조 등을 수행한다.
상기 건조존(700)은 상기 제3 순수 세정존(600)으로부터 이송되는 기판의 상하부면에 잔존하고 있는 물기를 제거할 수 있으면 다양하게 구성할 수 있다. 본 발명에서의 건조존(700)은 에어나이프 챔버(710)와 건조 버퍼 챔버(730)가 연속 연결되어 구성되는 것을 예시하고 있다.
상기 에어나이프 챔버(710)는 상기 이송되는 기판의 상하부면 측에 각각 구비되어 상기 기판의 상하부면에 잔존하고 있는 물기를 완전히 제거할 수 있는 에어나이프가 구비된다. 본 발명에서는 상기 에어나이프 챔버 내의 상기 이송 수단(100)은 틸팅 구간 내에 포함되지만, 기판의 기울기가 점점 작아질 수 있도록 하면서 상기 기판을 이송시킬 수 있는 구조를 가진다.
상기 건조 버퍼 챔버(730)는 틸팅 구간이 끝나는 지점에 해당된다. 즉, 상기 건조 버퍼 챔버 내에서의 상기 기판은 틸팅된 상태가 아니고, 수평한 상태를 유지한다. 상기 건조 버퍼 챔버(730)는 상기 에어나이프 또는 다른 다양한 건조 기구를 구비할 수도 있고, 이송과정에서 자연 건조될 수 있도록 아무것도 구비하지 않을 수도 있다.
이와 같은 수번의 세정 공정과 건조 공정을 통하여 상기 기판에 대한 세정 공정을 완료할 수 있다. 상기 기판은 제1 순수 세정존으로부터 상기 제3 순수 세정존까지 이송되면서 세정 공정을 수행받고, 이송을 통하여 건조 공정을 수행받는다.
따라서, 상기 제1 순수 세정존부터 상기 건조존까지는 상기 기판을 이송시킬 수 있는 이송 수단(100)이 구비된다. 즉, 상기 이송 수단(100)은 상기 기판이 연속적으로 이송되면서 세정 공정과 건조 공정을 수행받을 수 있도록 상기 각 존 내부에 연속적으로 배치 형성된다.
여기서 중요한 사항은 상기 이송 수단(100)이 상기 기판을 지속적으로 수평하게 이송시키는 것이 아니라, 상기 기판의 한쪽이 기울어진 상태, 즉 틸팅 상태가 유지될 수 있도록 상기 기판을 이송한다.
정리하면, 상기 이송 수단(100)은 상기 제1 순수 세정존(200)부터 상기 건조존(700)까지 배치되어 상기 기판을 연속적으로 이송시키되, 상기 이송되는 기판이 한쪽으로 기울어져 틸팅 상태로 이송될 수 있도록 한다.
도 4의 (a)는 본 발명에 따른 기판 세정 장치의 정면도(배면도)를 보여주고, 도 4의 (b)는 본 발명에 따른 기판 세정 장치의 배면도(정면도)를 보여준다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이송 수단(100)의 한쪽은 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 변화 없이 동일한 높이를 가지는 반면, 상기 이송 수단의 다른쪽은 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 이송수단의 한쪽과 수평한 상태에서 상승하는 과정을 거친 후, 다시 하강하는 과정을 거치고, 최종적으로 상기 이송수단의 한쪽과 수평한 상태로 다시 돌아오는 과정을 거친다.
예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 초기 린스 챔버(250) 내에서부터 상기 이송 수단(100)은 틸팅 상태를 유지하고, 이후 틸팅 상태를 유지하다가 에어나이프 챔버(710)까지 틸팅 상태를 지속적으로 유지하며, 이후 건조 버퍼 챔버(730)부터 수평한 상태를 유지한다.
구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 이송 수단(100)을 구성하는 회전바(30)는 수평한 상태를 유지하는 경우가 있고(도 5의 (a) 참조), 틸팅된 상태를 유지하는 경우도 있다(도 5의 (b) 참조).
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치의 측단면도를 보여주고, 구체적으로, 상기 도 5의 (a)는 틸팅 구간 이외의 구간, 예를 들어 도 4의 (b)에서 "a"로 표시된 구간과 "e"로 표시된 구간에서의 측단면도를 보여주고, 도 5의 (b)는 틸팅 구간, 예를 들어 도 4의 (b)에서 "b" ~ "d"로 표시된 구간에서의 측단면도를 보여준다.
이와 같이 상기 이송 수단(100)을 구성하는 회전바(30)는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 틸팅 구간 이외의 구간에서는 수평한 상태를 유지하고, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 틸팅 구간에서는 기울어진 상태, 틸팅 상태를 유지한다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하겠다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 건조존(700)에서 건조되어 이송되는 기판을 순서대로 수직 방향으로 적재하는 카세트(미도시)를 구비하고, 상기 카세트를 상하 방향으로 업다운하는 업다운 구동부(미도시)를 구비하는 카세트 버퍼존(800)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 카세트 버퍼존(800)은 상기 건조존(700)의 출구측에 연결되어 있다. 그리고, 상기 카세트 버퍼존(800)은 다단으로 기판을 적재할 수 있는 카세트를 구비하고 있다. 예를 들어, 상기 카세트는 15개의 기판을 적재할 수 있도록, 수직 방향으로 15단으로 구성될 수 있다.
상기 카세트는 상기 건조존에서 이송되는 기판을 각 단에 하나씩 적재하기 위하여 상하 방향으로 업다운될 수 있도록 구동되어야 한다. 따라서, 상기 카세트 버퍼존은 상기 카세트를 상하 방향으로 업다운하여 상기 기판을 각 단에 하나씩 적재하기 위한 업다운 구동부가 구비된다.
또한, 본 발명은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 카세트 버퍼존(800)으로부터 이송되는 상기 기판 상에 잔존하는 이물질을 태우고, 태워진 이물질을 부유시킨 후 흡입함으로써, 기판 상에 잔존하는 이물질을 최종적으로 제거하는 최종 이물질 제거존(900)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 최종 이물질 제거존(900)은 상기 카세트 버퍼존(800)으로부터 하나씩 이송되는 기판 또는 상기 카세트 버퍼존으로부터 전달되는 카세트에 적재된 기판에 잔존하는 이물질을 태우기 위하여 상압 플라즈마 발생기를 구비한다. 그리고, 상기 상압 플라즈마 발생기의 동작에 의하여 태워진 이물질을 부유시킨 후 썩션하여 외부로 배출하기 위한 USC(Ultrasonic Dry Cleaner) 수단을 구비한다. 상기 USC(Ultrasonic Dry Cleaner) 수단은 초음파로 이물질을 부유시킨 후 흡입할 수 있는 기능을 수행한다.
이와 같은 최종 이물질 제거존(900)을 통과한 기판들은 세정 효과가 극대화된 상태가 되고, 더 나아가 건조된 이물질도 완전히 제거된 상태가 될 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이 상기 기판은 상기 이송 수단(100)을 통해 이송되는 과정에서 세정 효과를 향상시키기 위하여 틸팅된 상태를 유지하는 틸팅 구간을 가진다. 이에 대해서 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단(100)의 평면도이고, 도 7은 일 측면도이고, 도 8은 타 측면도이며, 도 9는 부분 분리 사시도이다.
도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치를 구성하는 이송 수단(100)은 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 프레임(10a, 10b)과 상기 한 쌍의 프레임에 각각의 끝단이 회전 가능하게 결합되는 복수개의 회전바(30)를 포함하여 구성된다.
상기 한 쌍의 프레임은 한 쪽 프레임에 해당하는 제1 프레임(10a)과 다른 쪽 프레임에 해당하는 제2 프레임(10b)으로 구성된다. 상기 회전바(30)의 각각은 일단이 상기 제1 프레임(10a)에 회전 가능하게 장착되고, 타단이 상기 제2 프레임(10b)에 회전 가능하게 장착된다.
상기 회전바(30)는 복수개로 구성되어 상기 기판(1)이 안착된 상태로 이송될 수 있도록 상기 제1 프레임과 제2 프레임에 걸쳐진 상태로 서로 소정 간격 이격되어 배치된다.
즉, 상기 복수개의 회전바(30)는 상기 제1 프레임(10a) 상에 일단(30a)이 회전 가능하게 장착되고, 상기 제2 프레임(10b) 상에 타단(30b)이 회전 가능하게 결합되되, 상호 이격되어 연속해서 배치된다. 결과적으로, 상기 복수개의 회전바(30)에 상기 기판을 안착시킨 후, 상기 회전바(30)들을 회전시키면 상기 기판은 수평한 방향으로 이송될 수 있다.
상기 각각의 회전바(30)에는 소정 간격 이격되어 배치되는 지지링(31)이 복수개 구비된다. 상기 지지링(31)은 상기 기판(1)을 접촉 지지하는 기능을 수행한다. 즉, 상기 기판(1)은 상기 회전바(30)에 결합 구비되는 복수개의 지지링(31) 상에 안착된다.
따라서, 상기 지지링(31)은 매우 얇은 원판의 형상을 가지고, 상기 회전바(30)가 회전함에 따라 회전된다. 결과적으로, 상기 지지링(31) 상에 안착되는 상기 기판(10)은 수평 방향으로 이송될 수 있다.
상기 회전바(30)들의 회전은 다양한 방법에 의하여 달성될 수 있다. 예를 들어, 기어 맞물림에 의하여 상기 복수개의 회전바들을 동시에 회전시킬 수도 있고, 마그네틱 컨베이어 구조를 채택하여 상기 회전바들을 동시에 회전시킬 수도 있다. 본 발명에서는 상기 회전바(30)들을 동시에 회전할 수 있는 방법이면 기존 다양한 방법 중 어느 하나를 채택하여 사용할 수 있다.
그런데, 본 발명에 따른 이송 수단(100)은 대형 기판을 이송하면서 세정 또는 에칭 공정을 수행하기 위한 장치에 해당되고, 상기 기판(1)의 정지 동작 없이 틸팅 상태를 유지하여 세정 또는 에칭 공정을 수행할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 이송 수단(100)은 기판을 이송하는 과정에서 별도의 틸팅 장치를 이용하지 않고, 세정 또는 에칭 공정을 수행하기 위하여 기판 이송 과정을 정지시키는 동작 없이, 상기 기판에 대한 세정 공정 또는 에칭 공정을 수행할 수 있도록 한다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 이송 수단(100)은 상기 회전바(30)가 기울어지도록 배치될 수 있도록 구성한다. 즉, 본 발명에 따른 회전바(30)들 중, 일부의 회전바들은 상기 제1 프레임(10a)에서 상기 제2 프레임(10b)로 갈수록 높아지거나 낮아질 수 있도록 배치된다.
구체적으로, 상기 제1 프레임(10a) 상에 장착되는 각각의 회전바(30)들의 일단(30a)은 도 7에 도시된 바와 같이, 서로 동일한 높이를 유지하고, 상기 제2 프레임(10b) 상에 연속해서 장착되는 상기 회전바(30)들의 타단(30b)은 도 8에 도시된 바와 같이 상기 기판(1)이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅구간을 가질 수 있도록 장착된다.
결국, 상기 회전바(30)들은 수평 상태를 유지하는 수평 구간, 상기 기판(1)이 틸팅될 수 있는 틸팅 구간 및 다시 수평 구간을 발생시킨다. 따라서, 상기 기판(1)이 상기 틸팅 구간을 이동하면서 세정 또는 에칭 공정을 수행받게 되고, 상기 기판(1)이 틸팅된 상태를 유지하기 때문에, 상측에서 분사되는 공정 액체는 기판의 한쪽에서 반대쪽으로 흐르게 되며, 이로 인하여 상기 공정 액체의 잔류 없이 상기 기판(1)에 대한 세정 또는 에칭 공정을 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 기판을 틸팅시키기 위하여 별도의 틸팅 장치를 채택하지 않고 자연스럽게 상기 기판에 대한 틸팅동작을 수행하기 때문에, 전체 장치 구조가 단순하고 장치 비용이 절감되는 효과를 발생시키며, 세정 공정 등을 진행하기 위하여 기판 이송의 정지 동작을 거치지 않기 때문에, 공정 전체의 택트 타임을 감소시켜 생산효율을 향상시킬 수 있는 장점도 있다.
상술한 바와 같이, 상기 한 쌍의 프레임, 즉 제1 프레임(10a)과 제2 프레임(10b) 상에는 상기 회전바(30)의 각 끝단이 회전 가능하게 결합된다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 상기 제1 프레임(10a)과 제2 프레임(10b)의 각 상부에는 서로 이격되어 상측으로 돌출되는 분리벽(11a, 11b)들이 연속해서 형성되고, 인접하고 있는 분리벽에 의하여 브라켓 장착부(13a, 13b)들이 형성되며, 상기 각 브라켓 장착부에는 상기 회전바(30)의 끝단에 결합되는 베어링 조립체(50a, 50b)가 장착되는 브라켓(70a, 70b)이 삽입 결합된다.
상기 분리벽(11a, 11b)은 제1 프레임(10a) 상부에 소정 간격 이격되어 돌출 형성되는 분리벽(11a)과 제2 프레임(10b) 상부에 소정 간격 이격되어 돌출 형성되는 분리벽(11b)으로 구분될 수 있다.
상기 제1 프레임(10a) 상에 형성되는 분리벽(11a)과 상기 제2 프레임(10b) 상에 형성되는 분리벽(11b)은 동일한 길이로 돌출 형성되는 것이 바람직하고, 상기 제1 프레임(10a) 상에 형성되는 분리벽(11a)들은 서로 동일한 길이로 돌출 형성되는 것이 바람직하며, 상기 제2 프레임(10b) 상에 형성되는 분리벽(11b)들도 역시 동일한 길이로 돌출 형성되는 것이 바람직하다.
다만, 상기 제1 프레임(10a) 상에 형성되는 분리벽(11a)들은 서로 동일한 높이를 가지도록 형성되고, 상기 제2 프레임(10) 상에 형성되는 분리벽(11b)들은 서로 동일한 길이를 가지지만, 상기 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 구간에서는 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제2 프레임(10b) 상에 형성되는 분리벽(11b)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 기판이 이송되는 방향으로, 서로 동일한 높이를 가지는 제1 수평 구간(a), 수평 구간이 끝나는 지점부터 연속적으로 높이가 높아지는 상승 구간(b), 상승 구간이 끝나는 지점부터 서로 동일한 높이를 가지는 제2 수평 구간(c), 제2 수평 구간이 끝나는 지점부터 연속적으로 높이가 낮아지는 하강 구간(d) 및 하강 구간이 끝나는 지점부터 서로 동일한 높이를 가지는 제3 수평 구간(e)으로 구분 형성되고, 상기 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 구간(상승 구간, 하강 구간)에서의 분리벽(11b)들은 서로 다른 높이를 가지도록 형성된다.
여기서 본 발명에 따른 상기 상승 구간(b)와 상기 하강 구간(d)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상대적으로 짧은 구간에 해당되고, 상기 제2 수평 구간(c)이 상대적으로 대부분의 구간을 차지하고 있음을 알 수 있다. 여기서 상기 제2 수평 구간(c)은 상기 제1 프레임 상의 분리벽과 수평하다는 의미가 아니고, 상승 또는 하강 없이 일정한 상태로 수평하게 유지된다는 것을 의미한다.
상기 제1 프레임(10a) 상에 형성되는 분리벽(11a)들 사이에 의하여 형성되는 공간인 브라켓 장착부(13a)와 상기 제2 프레임(10b) 상에 형성되는 분리벽(11b)들 사이에 의하여 형성되는 공간인 브라켓 장착부(13b)는 동일한 크기 및 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 프레임(10a) 상에 형성되는 분리벽(11a)들 사이에 의하여 형성되는 공간인 브라켓 장착부(13a)들은 서로 동일한 깊이를 가지는 것이 바람직하다. 즉 상기 제1 프레임(10a) 상부에 형성되는 브라켓 장착부(13a)들의 바닥면(13a')은 모두 서로 동일한 높이를 유지하는 것이 바람직하다.
그러나, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2 프레임(10b) 상에 형성되는 분리벽(11b)들 사이에 의하여 형성되는 공간인 브라켓 장착부(13b)들은 서로 다른 깊이를 가지는 것이 바람직하다. 즉 상기 제2 프레임(10b) 상부에 연속해서 형성되는 브라켓 장착부(13b)들의 바닥면(13b')은 기판(1)이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 구간을 가질 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.
구체적으로, 상기 제2 프레임(10b) 상부에 연속해서 형성되는 브라켓 장착부(13b)들의 바닥면(13b')들은 기판이 이송되는 방향으로, 서로 동일한 높이를 가지는 제1 수평 구간(a), 수평 구간이 끝나는 지점부터 연속적으로 높이가 높아지는 상승 구간(b), 상승 구간이 끝나는 지점부터 서로 동일한 높이를 가지는 제2 수평 구간(c), 제2 수평 구간이 끝나는 지점부터 연속적으로 높이가 낮아지는 하강 구간(d) 및 하강 구간이 끝나는 지점부터 서로 동일한 높이를 가지는 제3 수평 구간(e)으로 구분 형성된다.
상기와 같은 브라켓 장착부(13a, 13b)에는 상기 회전바(30)의 끝단에 결합되는 베어링 조립체(50a, 50b)가 장착되는 브라켓(70a, 70b)이 삽입 결합된다. 구체적으로, 제1 프레임(10a) 상부에 형성되는 브라켓 장착부(13a)에는 회전바(30)의 일단(30a)에 결합되는 베어링 조립체(50a)가 장착되는 브라켓(70a)이 삽입 결합되고, 제2 프레임(10b) 상부에 형성되는 브라켓 장착부(13b)에는 회전바(30)의 타단(30b)에 결합되는 베어링 조립체(50b)가 장착되는 브라켓(70b)이 삽입 결합된다.
상기 회전바(30)의 일단(30a)에 결합되는 베어링 조립체(50a)와 상기 회전바(30)의 타단(30b)에 결합되는 베어링 조립체(50b)는 동일한 형상 및 사이즈를 가지는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 회전바(30)의 일단(30a)에 결합되는 베어링 조립체(50a)가 장착되는 브라켓(70a) 및 상기 회전바(30)의 타단(30b)에 결합되는 베어링 조립체(50b)가 장착되는 브라켓(70b)은 서로 동일한 사이즈로 형성되는 것이 바람직하다.
다만 상기 기판(1)이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 구간에 형성되는 브라켓 장착부(13a, 13b)에 삽입 결합되는 각 브라켓(70a, 70b)은 상기 베어링 조립체(50a, 50b)가 안착되는 바닥 접촉면(70a', 70b')이 경사지도록 형성되는 것이 바람직하다.
구체적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 수평 구간, 상승 구간, 제2 수평 구간, 하강 구간 및 제3 수평 구간 중, 상기 상승 구간, 제2 수평 구간 및 하강 구간에 포함되는 브라켓 장착부(13a, 13b)에 삽입되어 장착 결합되는 상기 브라켓(70a, 70b)들의 바닥 접촉면(70a', 70b')들은 수평하게 형성되는 것이 아니라 상기 회전바(30)의 길이 방향으로 경사지도록 형성된다.
이와 같이, 상기 상승 구간, 제2 수평 구간 및 하강 구간에 포함되는 브라켓 장착부(13a, 13b)에 삽입되어 장착 결합되는 상기 브라켓(70a, 70b)들의 바닥 접촉면(70a', 70b')들이 경사지도록 형성되는 이유는 상기 회전바(30)가 경사지게 배치됨에 따라, 상기 회전바(30)의 일단(30a) 및 타단(30b)에 각각 결합되는 베어링 조립체(50a, 50b)가 상기 브라켓(70a, 70b)들의 바닥 접촉면(70a', 70b')에 경사지도록 접촉되기 때문이다.
즉, 상기 상승 구간, 제2 수평 구간 및 하강 구간에서의 경사지게 배치되는 상기 회전바(30)의 양 끝단에 결합되는 베어링 조립체 역시 회전바와 동일한 각도로 경사지게 배치되고, 이 경사지게 배치되는 베어링 조립체의 바닥면과 구조적으로 맞접되는 상기 브라켓(70a, 70b)들의 바닥 접촉면(70a', 70b') 역시 상기 베어링 조립체의 경사도와 동일하게 경사지게 형성된다. 이를 통하여 상기 브라켓과 상기 베어링 조립체가 구조적으로 안정되고, 견고하게 결합될 수 있도록 한다.
이와 같이 구성되는 이송 수단(100)을 통하여 상기 기판(1)을 이송하면, 상기 기판(1)은 이송하는 과정에서 자연스럽게 틸팅이 이루어지고, 상측에 배치되는 분사 모듈(미도시)에서 공정 액체가 분사되면, 이 공정 액체는 상기 기판의 한쪽에서 반대쪽으로 흐르게 되며, 이로 인하여 상기 기판에 대한 세정 또는 에칭 공정이 효과적으로 수행될 수 있다. 즉, 공정 액체의 잔류 등의 의한 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 별도의 틸팅 장치를 사용하지 않기 때문에, 구조적으로 단순화되고, 장비 가격을 감소시킬 수 있으며, 별도의 틸팅 장치를 이용하여 틸팅하는 과정에서 대형 기판의 파손 등을 미연에 방지할 수 있으며, 틸팅 장치에 의한 틸팅 과정에서 발생되는 기판 이송 정지가 필요없기 때문에 택트 타임이 감소되어 생산 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
1 : 기판 10a : 제1 프레임
10b : 제2 프레임 11a : 제1 프레임의 분리벽
11b : 제2 프레임의 분리벽 13a : 제1 프레임의 브라켓 장착부
13a' : 제1 프레임 상부에 형성된 브라켓 장착부의 바닥면
13b : 제2 프레임의 브라켓 장착부 13b' : 제2 프레임 상부에 형성된 브라켓 장착부의 바닥면 30 : 회전바
30a : 회전바의 일단 30b : 회전바의 타단
31 : 지지링 50a, 50b : 베어링 조립체
70a, 70b : 브라켓 70a', 70b' : 베어링 조립체가 안착되는 브라켓의 바닥 접촉면 100 : 이송 수단
200 : 제1 순수 세정존 210 : 제1 롤브러쉬 챔버
230 : 제1 버블젯 챔버 250 : 초기 린스 챔버
300 : 산 약액 세정존 310 : 제1 디스크 브러쉬 챔버
330 : 제2 디스크 브러쉬 챔버 400 : 제2 순수 세정존
410 : 제2 버블젯 챔버 430 : 제2 롤브러쉬 챔버
450 : 제3 버블젯 챔버 500 : 알칼리 약액 세정존
510 : 제3 디스크 브러쉬 챔버 530 : 제3 롤브러쉬 챔버
550 : 제4 롤브러쉬 챔버 600 : 제3 순수 세정존
610 : 제1 슬릿젯 챔버 630 : 제5 롤브러쉬 챔버
650 : 제2 슬릿젯 챔버 670 : 제4 버블젯 챔버
690 : 최종 린스 챔버 700 : 건조존
710 : 에어나이프 챔버 730 : 건조 버퍼 챔버
800 : 카세트 버퍼존 900 : 최종 이물질 제거존

Claims (7)

  1. 기판 세정 장치에 있어서,
    외부로부터 인입되어 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제1 순수 세정존;
    상기 제1 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 산 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 산 약액 세정존;
    상기 산 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제2 순수 세정존;
    상기 제2 순수 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 알칼리 약액을 이용하여 세정 공정을 수행하는 알칼리 약액 세정존;
    상기 알칼리 약액 세정존으로부터 이송되는 기판에 대하여 순수를 이용하여 세정 공정을 수행하는 제3 순수 세정존;
    상기 제3 순수 세정존으로부터 이송되는 기판의 양면에 묻어 있는 물기를 건조시키는 건조존;
    상기 제1 순수 세정존부터 상기 건조존까지 배치되어 상기 기판을 연속적으로 이송시키되, 상기 이송되는 기판이 한쪽으로 기울어져 틸팅 상태로 이송될 수 있도록 하는 이송 수단을 포함하여 이루어지되,
    상기 이송 수단은,
    서로 마주보도록 배치되는 제1 프레임과 제2 프레임으로 구성되는 한 쌍의 프레임, 상기 제1 프레임 상에 일단이 회전 가능하게 장착되고, 제2 프레임 상에 타단이 회전 가능하게 결합되되, 상호 이격되어 연속해서 배치되는 복수개의 회전바를 포함하여 구성되되, 상기 제1 프레임 상에 장착되는 각각의 회전바들의 일단은 서로 동일한 높이를 유지하고, 상기 제2 프레임 상에 연속해서 장착되는 회전바들의 타단은 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간을 가질 수 있도록 장착되고,
    상기 제1 프레임과 제2 프레임의 각 상부에는 서로 이격되어 상측으로 돌출되는 분리벽들이 연속해서 형성되고, 인접하고 있는 분리벽에 의하여 브라켓 장착부들이 형성되며, 상기 각 브라켓 장착부에는 상기 회전바의 끝단에 결합되는 베어링 조립체가 장착되는 브라켓이 삽입 결합되며,
    상기 제1 프레임 상에 형성되는 분리벽들은 서로 동일한 길이 및 높이를 가지도록 형성되고, 상기 제2 프레임 상에 형성되는 분리벽들은 서로 동일한 길이를 가지지만, 상기 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 높이가 연속해서 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 구간에서는 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 건조존에서 건조되어 이송되는 기판을 순서대로 수직 방향으로 적재하는 카세트를 구비하고, 상기 카세트를 상하 방향으로 업다운하는 업다운 구동부를 구비하는 카세트 버퍼존을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 카세트 버퍼존으로부터 이송되는 상기 기판 상에 잔존하는 이물질을 태우고, 태워진 이물질을 부유시킨 후 흡입함으로써, 기판 상에 잔존하는 이물질을 최종적으로 제거하는 최종 이물질 제거존을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 프레임 상부에 형성되는 브라켓 장착부들의 바닥면은 서로 동일한 높이를 유지하고, 상기 제2 프레임 상부에 연속해서 형성되는 브라켓 장착부들의 바닥면은 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간을 가질 수 있도록 형성되며, 상기 브라켓은 동일한 사이즈로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판이 이송되는 방향으로 갈수록 연속해서 높이가 상승되다가 다시 연속해서 하강될 수 있는 틸팅 구간에 형성되는 브라켓 장착부에 삽입 결합되는 각 브라켓은 상기 베어링 조립체가 안착되는 바닥 접촉면이 경사지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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