KR101564688B1 - 필터 검사방법 및 필터 검사장치 - Google Patents

필터 검사방법 및 필터 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 필터 분리방법 및 필터 분리장치에 관한 것으로써, 특히, 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주고, 들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하여, 장치구조를 단순하게 유지하는 동시에 복수개의 필터를 동시에 효과적으로 분리가능한 필터 분리방법 및 필터 분리장치에 관한 것이다.

Description

필터 검사방법 및 필터 검사장치{filter inspection method and apparatus for filter inspection}
본 발명은 필터 분리방법 및 필터 분리장치에 관한 것으로써, 특히, 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주고, 들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하여, 장치구조를 단순하게 유지하는 동시에 복수개의 필터를 동시에 효과적으로 분리가능한 분리단계를 포함에 관한 것이다.
광학기기에 있어서, 렌즈에 의해 생긴 상의 기록과 그 재현을 목적으로 하는 이미지 인식 광학기기는 위에서도 언급한 바와 같이 캠코더, 디지털 카메라, PDA, 감시카메라, 차량용 카메라, 화상캠, 휴대폰 카메라 등과 같이 다양하며, 아날로그 방식보다는 디지털 방식의 이미저가 사용되고 있고, 그러한 디지털 방식의 이미저로는 상보성 금속 산화막 반도체인 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)나, 고체 촬상 소자인CCD(Charged Coupled Device)가 사용되고 있다.
그리고 최근에는 디지털 이미저인 CMOS 및 CCD 등 촬상에 관련된 부품이 점차로 소형화되면서 이미지 인식 광학기기가 소형화되어 휴대가 용이해지고 있으며, 휴대폰에 소형의 디지털 카메라를 접목시켜 사용하기도 한다.
또한 상기와 같은 디지털 이미저에는 적외선 차단 필터(Infrared Ray Cut Off Filter) 등이 장착되는데, 상기 적외선 차단 필터는 디지털 이미저로 도달하는 가시광선(Visible)만을 투과시켜 광학적인 이미지 정보를 전기신호로 바꾸어 주고, 적외선은 반사 혹은 흡수하여 디지털 이미저인 CCD 또는 CMOS에 적외선이 도달되지 못하도록 해주는 역할을 하며, 그 두께는 주로 0.05mm 및 0.4mm 또는 그 이상으로 만들어지고, 그 형상은 디지털 이미저가 설치되는 제품의 설치부 형상에 따라 원형 또는 사각 및 그 외 다양한 형상으로 만들어진다.
상기에 사용되는 적외선 차단 필터 등 필터는 필름의 상부에 일정하게 정렬된 필터 세트 내에 포함된 상태로 공장에서 출시된다.
필터 세트는 소정의 필름 위에 적외선 필터, 자외선 필터 등의 필터가 위치하며, 상기 필터와 필터간 홈(홀)이 형성된 구조를 가진다. 상기 필터와 필름의 접착은 소정의 접착제(예 :UV 경화제 등)를 사용하거나 상기 필름 자체를 UV 테이프를 사용한다.
상기와 같은 필터를 실제 소형 광학 기기에 사용할 때 필터 세트에서 필름과 필터를 분리시킨 후, 분리된 필터를 현미경 등을 이용하여 검사한다. 종래의 검사장치는 한국공개특허공보 제2007-0105675호에 제시된 것이 있다.
종래의 필터 분리방법 및 필터 분리장치는 한국등록특허공보 제755232호에 제시된 것이 있다. 종래의 필터 분리장치는 필름의 한쪽을 잡고 다른 한쪽을 필터 세트를 하방향으로 잡아당기면, 최외곽 라인의 필터를 한 라인씩 분리시킬 수 있다. 이때, 진공 흡착부에 흡착된(매달려 있는) 최외곽 라인의 필터를 수평방향으로 이동시키고, 필터 세트를 상기 진공 흡착부와 동일한 속도로 하방향으로 이동시킴으로써 필터 세트에서 상기 최외곽 라인의 필터가 분리시킬 수 있다. 이로 인해 분리장치의 전체 구조가 복잡해지며 필름을 아래로 잡아당기는 속도와 분리시 필터를 흡착하는 진공흡착부의 속도를 동일하게 유지해주어야 하는 것과 같이 장치의 제어가 용이하지 않은 문제점이 있다.
한국공개특허공보 제2007-0105675호 한국등록특허공보 제755232호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 장치구조를 단순하게 유지하는 동시에 복수개의 필터를 동시에 효과적으로 분리가능한 필터 분리방법 및 필터 분리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 필터 분리방법은, 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정단계와, 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주는 단계와, 들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하는 분리단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정단계에서, 분리되는 필터와 분리되지 않는 필터 사이를 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 흡착하여 고정하며, 상기 고정단계에서, 분리되는 필터의 양측을 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 흡착하여 고정할 수 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 필터 검사방법은, 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정단계와, 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주는 단계; 들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하는 분리단계; 분리된 필터를 검사하는 검사단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 검사단계 이후에 불량 필터를 배출하는 불량배출단계를 더 포함하며, 상기 불량배출단계에서 불량 필터를 제전할 수 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 필터 분리장치는, 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정부와, 상기 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 상기 필터를 들어올려주는 분리바와, 두개 이상의 상기 필터를 흡착하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필름 가장자리는 링프레임에 의해 둘러싸이고, 상기 고정부는 상기 필름 하부에 배치되며, 상기 고정부는 바형상으로 형성되고, 공기흡입구가 형성되며, 상기 고정부에는 상기 분리바가 인출되는 인출공이 형성되고, 상기 공기흡입구는 상기 인출공의 양측에 각각 배치될 수 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 필터 검사장치는, 필터를 필름으로부터 분리하는 분리장치와, 분리된 상기 필터를 검사하는 검사부를 포함하며, 상기 분리장치는 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정부와, 상기 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 상기 필터를 들어올려주는 분리바와, 두개 이상의 상기 필터를 흡착하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 검사부는 두개 이상의 상기 필터가 놓여지는 받침대를 포함하며, 상기 받침대는 고정대와, 상기 고정대에 대해 이동가능하게 설치되는 이동대와, 상기 이동대에 회동가능하게 설치되는 볼트부와, 상기 볼트부에 나사결합되며 상기 고정대에 대해 고정되는 너트부와, 상기 이동대 또는 볼트부에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 필터 분리방법 및 필터 분리장치에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.
필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주고, 들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하여, 장치구조를 단순하게 유지하는 동시에 복수개의 필터를 동시에 효과적으로 분리가능한 이점이 있다. 각 장치의 제어도 용이하게 될 수 있다.
상기 고정단계에서, 분리되는 필터와 분리되지 않는 필터 사이를 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 흡착하여 고정하여, 분리되지 않는 필터 부분의 필름이 들리는 것이 방지되어 1열의 필터만 정밀하게 분리될 수 있다.
상기 고정단계에서, 분리되는 필터의 양측을 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 흡착하여 고정할 수 있어서, 필터의 분리가 더욱 원활하게 될 수 있다.
검사단계 이후에 불량 필터를 배출하는 불량배출단계를 더 포함하며, 상기 불량배출단계에서 불량 필터를 제전하여, 불량 필터가 정전기로 인해 제거되지 않는 것이 방지된다.
상기 필름 가장자리는 링프레임에 의해 둘러싸여서 필름을 반송하기에 용이하고, 필름 가장자리를 용이하게 고정시킬 수 있게 되고, 필터를 용이하게 정렬시킬 수 있다.
상기 고정부는 상기 필름 하부에 배치되며, 상기 고정부는 바형상으로 형성되고, 공기흡입구가 형성되며, 상기 고정부에는 상기 분리바가 인출되는 인출공이 형성되고, 상기 공기흡입구는 상기 인출공의 양측에 각각 배치되어, 장치가 더욱 컴팩트해지며, 고정부로 인해 분리바의 승강이동이 가이드될 수 있어서 더욱 정확하게 승강이동될 수 있다.
상기 검사부는 두개 이상의 상기 필터가 놓여지는 받침대를 포함하며, 상기 받침대는 고정대와, 상기 고정대에 대해 이동가능하게 설치되는 이동대와, 상기 이동대에 회동가능하게 설치되는 볼트부와, 상기 볼트부에 나사결합되며 상기 고정대에 대해 고정되는 너트부와, 상기 이동대 또는 볼트부에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함하여, 필터의 크기 등에 따라 이격거리를 용이하게 조절할 수 있고, 탄성부재에 의해 나사풀림이 방지되어 진동 등에도 조정된 이격거리가 안정적으로 유지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 필터 검사장치 평면 개략도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 필터세트 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정부 평면 확대도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정부 측면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정부와 분리바 분리 사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정부와 분리바 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 흡착부 측면 사시도.
도 8은 도 7의 A-A 단면도.(흡착부 일부에서 필터를 제거한 상태를 보여주는 도면)
도 9는은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 흡착부 저면도.(흡착부 일부에서 필터를 제거한 상태를 보여주는 도면)
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 받침대 확대 사시도.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 필터 분리 과정을 보여주는 개략도.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.
도 1 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 필터 검사장치는, 필터(10)를 필름(11)으로부터 분리하는 분리장치와, 분리된 상기 필터(10)를 검사하는 검사부를 포함하며, 상기 분리장치는 필터(10)가 부착된 필름(11)을 고정하는 고정부(930)와, 상기 필터(10)가 부착된 면(11a)의 반대면(11b)에서 상기 필터(10)가 부착된 필름(11)을 눌러주어서 두개 이상의 상기 필터(10)를 들어올려주는 분리바(940)와, 두개 이상의 상기 필터(10)를 흡착하는 흡착부(410)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 필터(10)는 플렉서블한 필름(11)의 상면 중앙에 부착되어 있다. 따라서, 필터(10)가 부착된 면(11a)은 필름(11)의 상면이다. 필름(11)의 하면은 반대면(11b)으로 필터(10)가 부착되어 있지 않다.
필름(11)의 가장자리는 링프레임(12)에 둘러싸인다. 필름(11)의 가장자리는 링프레임(12)에 고정된다. 상면에 필터(10)가 부착되고 가장자리가 링프레임(12)에 고정되는 필름(11)을 이하 필터세트라 한다.
링프레임(12)은 스틸소재 등과 같이 강성이 있는 소재로 형성된다.
링프레임(12)의 양측 및 전후 외측에는 원호형상이 아닌 평편부(13)가 형성되어 있다.
링프레임(12)의 우측 외측에는 삽입홈(14)이 두개 절개되어 형성된다.
이와 같이 필터(10)가 부착된 플렉서블한 필름(11)은 강성을 갖는 링프레임(12)에 고정되어 필터(10) 세트를 용이하게 적재 및 이송할 수 있고, 필터(10) 세트를 용이하게 정렬시킬 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 상기 필터세트는 카세트(100)에 적층되게 수납되어 있다.
카세트(100)의 전방에는 제1스테이지(200)가 배치된다.
상기 필터세트의 링프레임(12)은 스테이지 전방에 배치되는 반송집게(120)에 의해 집어져서 제1스테이지(200)로 이송된다. 이러한 반송집게(120)는 반도체 분야에서 다양하게 사용되고 있는 장치이므로 이에 대한 상세한 설명 및 도시는 생략한다.
반송집게(120)는 제1스테이지(200)의 전방에 배치된다.
제1스테이지(200)는 분리되는 필터세트가 대기하는 곳으로, 서로 이격되게 배치되는 바로 구비된다. 상기 바에는 전후방향(바의 길이방향)을 따라 링프레임(12)이 안착되는 안착홈이 형성되어 있다.
제1스테이지(200)에 놓여진 링프레임(12)은 필터세트반송장치(210)에 의해서 제2스테이지(300)로 이송된다.
필터세트반송장치(210)는 진공흡착부를 4개 구비하여, 상기 진공흡착부를 통해 링프레임(12)의 4곳을 진공흡착하여 상기 필터세트를 이송한다.
이러한 필터세트반송장치(210)는 한국등록특허공보 제0670165호 등에 제시된 것이 있으므로 이에 대한 상세한 설명 및 도시를 생략하기로 한다.
제2스테이지(300)는 제1스테이지(200)의 오른쪽에 배치된다.
제2스테이지(300)는 링프레임(12)에 대응되도록 링형상으로 형성된다.
제2스테이지(300)의 우측 상면에는 링프레임(12)의 삽입홈(14)에 삽입되는 삽입돌기(330)가 두개 형성된다.
제2스테이지(300)의 좌측에는 링프레임(12)의 상부에 배치되는 걸림부(310)가 형성된다.
걸림부(310)는 제2스테이지(300)의 하부에 좌우방향으로 이동가능하게 설치된다. 이러한 걸림부(310)는 링프레임(12)이 제2스테이지(300) 상부에 놓여지면 걸림부(310)가 링프레임(12) 상부로 이송되어 링프레임(12)이 움직이지 않도록 잡아주는 역할을 한다. 제2스테이지(300)에 놓여지는 필터세트의 필터(10)를 모두 분리하면 걸림부(310)는 외측으로 이송되어 링프레임(12)이 제2스테이지(300)로부터 분리될 수 있도록 한다.
또한, 제2스테이지(300)에는 제2스테이지(300)를 x,y,Θ방향으로 이동시킬 수 있는 정렬장치(미도시)가 연결되어 있다. 상기 정렬장치는 필터(10)가 고정된 제2스테이지(300)를 이동시켜서 필터(10)를 정렬시킨다. 세방향으로 이동시킬 수 있는 정렬장치는 반도체장치 등에 다양하게 적용되고 있으므로 이에 대한 상세한 설명 및 도시는 생략하기로 한다.
제2스테이지(300) 상부에는 필터(10)의 위치를 감지하는 제1센서부(320)가 구비된다.
센서부(320)는 필터(10)의 x,y,Θ방향 위치를 감지한다.
센서부(320)는 카메라와 같이 이미징센서로 구비될 수 있다.
센서부(320)에서 감지된 신호는 제어부(미도시)로 이송되어 상기 제어부는 상기 정렬장치를 제어한다.
상기 분리장치는 필터(10)를 필름(11)으로부터 분리한다.
상기 분리장치는 제2스테이지(300)의 상부 및 하부에 배치된다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 분리장치는 필터(10)가 부착된 필름(11)을 고정하는 고정부(930)와, 상기 필터(10)가 부착된 면(11a)의 반대면(11b)에서 상기 필터(10)가 부착된 필름(11)을 눌러주어서 두개 이상의 상기 필터(10)를 들어올려주는 분리바(940)와, 두개 이상의 상기 필터(10)를 흡착하는 흡착부(410)를 포함한다.
고정부(930)는 제2스테이지(300) 위에 놓여진 상기 필터세트의 필름(11) 하부에 배치된다. 따라서, 고정부(930)는 필터(10)가 부착된 면(11a)의 반대면(11b)에서 필름(11)을 고정한다.
고정부(930)는 바형상으로 형성되고, 분리바(940)가 인출되는 인출공(934)이 길이방향을 따라 형성된다. 인출공(934)은 상하방향으로 관통되게 형성된다.
이와 같이 고정부(930)는 바형상으로 형성되어, 1열의 필터(10)에 대응하는 부분을 고정할 수 있다.
또한, 고정부(930)에는 인출공(934)의 양측에 각각 배치되도록 공기흡입구(938)가 상하방향으로 형성된다. 따라서, 고정부(930)는 진공흡착을 통해 필름(11)을 고정한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 공기흡입구(938)는 다수개 형성되며 고정부(930)의 길이방향을 따라 서로 이격되게 배치된다. 공기흡입구(938)는 양측에 각각 2열로 배치된다.
고정부(930)의 상면(필름(11)의 하면에 접촉하는 면)에는 1열의 공기흡입구(938)가 연통되도록 연통홈(935)이 형성된다.
따라서, 연통홈(935)은 양측에 각각 2개씩 형성된다.
고정부(930)의 하부에는 설치부(932)가 외측으로 돌출되게 형성된다.
설치부(932)에는 볼트와 같은 체결요소가 체결될 수 있도록 체결공이 형성된다.
고정부(930)의 하부에는 하우징부(933)가 설치된다.
하우징부(933)는 연결블럭과 고정부(930)를 연결한다.
하우징부(933)에는 공기를 이송하는 호스가 연결되는 호스연결구(937)가 형성되어 있다.
하우징부(933)의 내부에는 상부가 개방되는 공간부(936)가 형성된다. 공간부(936)는 고정부(930)에 의해 덮힌다.
공간부(936)는 호스연결구(937)에 연통된다.
하우징부(933)의 하부에는 이하 서술되는 제2봉이 관통되는 관통공이 두개 형성된다. 상기 관통공은 공간부(936)에 연통된다.
고정부(930)는 작업대(미도시)에 고정되는 브라켓부에 대해 상하방향으로 이동가능하도록 연결된다.
고정부(930)는 연결블럭에 의해 브라켓부에 연결된다.
연결블럭은 고정부(930)의 전방에 배치되고, 브라켓부의 후방에 배치된다.
연결블럭에는 상하방향으로 이동하는 제1봉이 설치되고, 상기 제1봉은 브라켓부에 형성된 관통공에 삽입되어 가이드된다. 상기 제1봉을 상하방향으로 이동시키는 제1구동부(미도시)가 구비된다.
따라서, 고정부(930)는 상기 제어부의 제어에 따라 필름(11)에 대해 상하방향으로 이동가능하게 된다.
나아가, 고정부(930)의 높이를 감지하는 제2센서부가 구비되어, 상기 제어부는 상기 고정부(930)를 더욱 정밀하게 제어할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 분리바(940)는 바형상으로 형성되어 인출공(934)을 통해 인출된다.
이와 같이 분리바(940)는 바형상으로 형성되어 필터(10)를 들어올릴 때 필터(10)가 손상되는 것이 방지된다.
분리바(940)는 비사용시 고정부(930)와 하우징부(933)의 내부에 배치된다.
이로 인해, 분리바(940)가 손상되거나 이물질 등이 부착되는 것이 방지된다.
분리바(940)는 두께가 얇은 박육부와, 박육부의 일측 하부에 돌출되도록 형성되며 두께가 두꺼운 후육부를 포함한다. 상기 박육부는 인출공(934)을 통해 인출되어 필터(10)의 중간부분에 대응되는 필름(11) 부위를 들어올린다. 상기 후육부는 상기 박육부를 지지하여 분리바(940)의 내구성을 향상시킨다.
상기 후육부의 중간 하부에는 설치돌출판이 형성된다.
상기 설치돌출판은 설치블럭(942)에 형성된 설치홈에 안착된다. 상기 설치돌출판은 상기 설치돌출판 외측에 배치되는 고정판(941)에 의해 설치블럭(942)에 볼트 등을 통해 고정된다.
연결블럭의 전방에는 분리바(940)를 연결블럭 및 고정부(930)에 대해 상하방향으로 이동시키는 이동부(950)가 연결된다.
도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 이동부(950)는 연결블럭에 설치되는 가이드레일과, 설치블럭(942)의 하부에 연결되는 제2봉(951)과, 제2봉(951)에 연결되어 상기 가이드레일에 의해 가이드되는 베어링부와, 제2봉(951)을 상하로 이동시키는 제2구동부(미도시)를 포함한다.
제2봉(951)은 하부하우징(933)에 형성된 관통공을 관통한다.
따라서, 분리바(940)는 고정부(930)에 대해 상하로 이동가능하다.
도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 흡착부(410)는 제2스테이지(300)에 놓여진 필터(10)의 상부에 배치된다.
흡착부(410)는 하단 중간 부분에 바형상으로 접촉돌출부(411)가 아래로 돌출되게 형성된다.
접촉돌출부(411)는 필터(10)에 접촉하는 부분이며, 중간에 다수개의 진공흡입공(413)이 상하방향으로 관통되어 형성되어 있다.
다수개의 진공흡입공(413)은 흡착부(410)에 연결된 호스에 연통된다.
1개의 진공흡입공(413)은 1개의 필터(10)에 각각 대응되어, 다수개의 진공흡입공(413)은 1열로 배치된다.
접촉돌출부(411)의 하부에는 1개의 진공흡입공(413)을 각각 둘러싸는 격벽(412)이 돌출되어 형성된다.
격벽(412)은 필터(10)의 형상에 대응되도록 형성되되, 필터(10)보다 약간 작게 형성된다. 따라서 각각의 격벽(412)은 서로 이격되게 배치된다.
이러한 격벽(412)에 둘러싸인 공간과 진공흡입공(413)은 연통되어, 필터(10)의 모든 면에 균일하게 진공흡입력이 전달될 수 있다.
흡착부(410)는 상기 작업대(미도시)에 고정되는 흡착부브라켓에 대해 흡착부(410)를 좌우방향으로 이동시키는 좌우이동부와, 흡착부(410)를 상하방향으로 이동시키는 상하이동부에 연결된다.
좌우이동부 및 상하이동부는 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 이동되는 이동블럭과, 상기 이동블럭을 이동시키는 구동부와, 이동블럭의 이동을 감지하는 제3센서부를 각각 포함한다.
흡착부브라켓에 좌우이동부가 연결되고, 좌우이동부에 상하이동부가 연결되고, 상하이동부에 흡착부(410)가 연결된다.
이로 인해, 흡착부(410)는 좌우방향 및 상하방향으로 이동가능하게 된다.
분리바(940)에 의해 들어올려진 1열의 필터(10)는 흡착부(410)에 흡착되어 완전히 분리된 후에 상기 검사부로 이송된다.
상기 검사부는 분리된 1열의 필터(10)의 불량여부를 검사한다.
상기 검사부는 회전하는 테이블(510)과, 상기 테이블(510)의 상부에 설치되는 1열의 필터(10)가 놓여지는 받침대(520)와, 필터(10)의 상부 및 하부에 배치되어 필터(10)의 상하부를 검사하는 검사센서부(600)를 포함한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 테이블(510)은 원형으로 형성되어, 테이블구동부(미도신)에 의해 반시계방향으로 회전된다.
테이블(510)에는 4개의 직사각형형상의 관통공(511)이 90도 간격으로 형성된다.
받침대(520)는 4개가 구비되어 4개의 관통공(511) 상부에 각각 배치된다.
흡착부(410)에 흡착된 1열의 필터(10)는 제2스테이지(300)의 우측에 좌우방향으로 배치되는 받침대(520) 상부에 놓여진다.
받침대(520)는 테이블(510)의 방사방향에 수직하게 배치된다.
도 10에 도시된 바와 같이, 받침대(520)는 고정대(521)와, 상기 고정대(522)에 대해 이동가능하게 설치되는 이동대(522)와, 상기 이동대(522)에 회동가능하게 설치되는 볼트부(523)와, 상기 볼트부(523)에 나사결합되며 상기 고정대(521)에 대해 고정되는 너트부(526)와, 상기 이동대(522) 또는 볼트부(523)에 탄성력을 가하는 탄성부재(524)를 포함한다.
고정대(521)는 테이블(510)의 상면에 고정설치된다.
고정대(521) 및 이동대(522)는 바형상으로 형성되며, 자유단은 하면이 경사지게 형성되어 끝단을 향할수록 상하두께가 작아지도록 형성된다.
고정대(521)와 이동대(522)의 자유단은 1열의 필터(10)의 전단과 후단을 각각 지지한다.
고정대(521)와 이동대(522)의 자유단 사이에는 이격공간(525)이 형성된다. 이격공간(525)은 관통공(511)에 연통된다. 이러한 관통공(511) 및 이격공간(525)을 통해 필터(10)의 하부를 검사할 수 있다.
이동대(522)와 테이블(510) 사이에는 베어링과 베어링을 가이드하는 가이드레일이 배치된다.
볼트부(523)는 테이블(510) 상부에 방사방향으로 배치된다.
너트부(526)는 테이블(510)에 대해 고정된다.
탄성부재(524)는 코일 스프링으로 구비되며, 이동대(522)와 테이블(510)에 양단이 각각 연결된다.
탄성부재(524)는 두개가 구비되어 볼트부(523)의 양측에 각각 배치된다.
이러한 받침대(520)는 볼트부(523)를 회전시킴에 따라 이동대(522)가 고정대(521)에 대해 이동되어 이격공간(525)이 조절된다. 이로 인해 필터(10)에 따라 이격공간(525)을 용이하게 조절할 수 있다.
또한, 이격공간(525)이 조절된 후에는 탄성부재(524)로 인해 볼트부(523)의 풀림이 방지되어 조절된 간격이 정밀하게 유지될 수 있다.
검사센서부(600)는 테이블(510)의 상부 및 하부에 각각 배치되는 카메라로 구비될 수 있다.
또한, 검사센서부(600)를 전후방향으로 이동시키는 센서이동부를 포함한다.
상기 센서이동부로 인해 1열의 필터(10)를 효과적으로 검사할 수 있다.
받침대(520) 위에 필터(10)가 놓여지면 테이블(510)은 90도 회전하여 필터(10)는 검사센서부(600)를 통해 검사를 한다. 이어서, 검사가 완료되면 테이블(510)은 90도 회전하여 양품으로 판정된 필터(10)만을 받침대(520)로부터 흡착하여 양품저장부(미도시) 등으로 이송한다. 이어서, 테이블(510)은 90도 회전하여 받침대(520) 위에 남겨진 불량품의 필터(10)는 불량배출부(700)에 의해 진공흡착되어 불량품저장부(미도시)로 배출된다.
불량배출부(700)에 의해 불량 필터(10) 배출시 필터 및 불량배출부(700)를 이오나이저(800)를 통해 제전한다. 이로 인해 정전기로 인해 필터(10)가 배출되지 않고 불량배출부(700)에 그대로 남아있게 되는 것이 방지된다.
이오나이저(800)는 제2스테이지(300)와 테이블(510) 사이에 경사지게 배치된다.
이하, 전술한 구성을 갖는 본 실시예의 필터 검사방법을 설명한다.
본 실시예의 필터 검사방법은, 필터(10)가 부착된 필름(11)을 고정하는 고정단계와, 필터(10)가 부착된 면(11a)의 반대면(11b)에서 상기 필름(11)을 눌러주어서 두개 이상의 필터(10)를 들어올려주는 단계; 들어올려진 상기 필터(10)를 흡착하여 상기 필름(11)으로부터 두개 이상의 필터(10)를 분리하는 분리단계; 분리된 필터(10)를 검사하는 검사단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정단계 이전에 다음과 같은 단계를 더 포함할 수 있다.
반송집게(120)를 통해 카세트(100)에 적재된 링프레임(12)을 제1스테이지(200) 상부의 안착홈에 안착시킨다.
제1스테이지(200)에 안착된 링프레임(12)을 필터세트반송장치(210)를 통해 흡착하여 제2스테이지(300) 상부로 이동시킨다. 링프레임(12)이 제2스테이지(300) 위에 놓여질 때 삽입돌기(330)가 링프레임(12)의 삽입홈(14)에 삽입된다.
걸림부(310)는 내측으로 이동되어 링프레임(12)이 제2스테이지(300)에 대해 상하방향으로 이동되지 않도록 한다.
센서부(320)를 통해 필터(10)의 위치를 감지한다.
감지된 값을 상기 제어부는 전달받아서 상기 정렬장치를 작동시킨다.
상기 정렬장치를 통해 필터(10)를 정렬시킨다. 따라서, 최전방에 배치되는 1열의 필터(10)는 고정부(930)의 상부 및 분리바(940)의 하부에 위치된다.
분리바(940) 및 고정부(930)를 상부로 이동시켜서 필름(11)의 하면에 고정부(930)를 접촉시킨다.
공기흡입구(938)를 통해 공기를 빨아들여서 필름(11)을 진공흡착한다.
상기 고정단계에서, 도 11에 도시된 바와 같이, 고정부(930)는 분리되는 1열의 필터(10)의 양측(전방 및 후방)을 필터(10)가 부착된 면(11a)의 반대면(11b)에서 상기 필름(11)을 흡착하여 고정한다. 즉, 상기 고정단계에서, 분리되는 1열의 필터(10)와 분리되지 않는 필터(10) 사이를 고정한다.
이어서, 분리바(940)를 고정부(930)에 대해 상부로 이동시켜서 고정부(930)에 의해 고정된 두 부분의 중간 부분을 누른다.
이로 인해 필름(11)에 부착된 필터(10)의 중간 부분을 제외한 나머지 부분은 필름(11)으로부터 분리되게 된다.
분리바(940)에 의해 필터(10)가 들어올려지면 들어올려지는 필터(10)의 상부에 배치되는 흡착부(410)는 하강한다. 하강된 흡착부(410)를 통해 진공흡착하여 필터(10)를 필름(11)으로부터 완전히 분리한다.
이와 같이 1열의 필터(10)가 필름(11)으로부터 분리되어, 단순한 구조로 필터(10)가 분리과정에서 손상되는 것을 방지하는 동시에 여러개의 필터(10)를 한꺼번에 분리할 수 있다.
흡착부(410)는 1열의 필터(10)를 흡착한 상태로 상승하여 우측으로 이송된다.
흡착부(410)는 하강하여 필터(10)를 받침대(520)의 이격공간(525) 위에 놓는다.
상기 검사단계에서 테이블(510)은 90도 회전하여 검사센서부(600)를 통해 필터(10)를 검사한다.
검사결과에 따라 상기 제어부는 양품과 불량품을 선별하여 양품을 배출한 후에 불량품을 배출한다.
상기 검사단계 이후에 불량 필터를 배출하는 불량배출단계에서 이오나이저(800)를 통해 불량 필터(10)를 제전한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10 : 필터 11 : 필름
12 : 링프레임
100 : 카세트 200 : 제1스테이지
300 : 제2스테이지 400 : 흡착부
510 : 테이블 520 : 받침대
600 : 검사센서부 700 : 불량배출부
800 : 이오나이저 930 : 고정부
940 : 분리바

Claims (10)

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  5. 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정단계;
    상기 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 필터를 들어올려주는 단계;
    들어올려진 상기 필터를 흡착하여 상기 필름으로부터 두개 이상의 필터를 분리하는 분리단계;
    분리된 필터를 검사하는 검사단계;
    불량 필터를 배출하는 불량배출단계를 포함하며,
    상기 불량배출단계에서 상기 불량 필터를 제전하여 상기 불량 필터가 배출되지 않는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 필터 검사방법.
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  10. 필터를 필름으로부터 분리하는 분리장치;
    분리된 상기 필터를 검사하는 검사부를 포함하며,
    상기 분리장치는 필터가 부착된 필름을 고정하는 고정부와, 상기 필터가 부착된 면의 반대면에서 상기 필름을 눌러주어서 두개 이상의 상기 필터를 들어올려주는 분리바와, 두개 이상의 상기 필터를 흡착하는 흡착부를 포함하며,
    상기 검사부는 두개 이상의 상기 필터가 놓여지는 받침대를 포함하며,
    상기 받침대는 고정대와, 상기 고정대에 대해 이동가능하게 설치되는 이동대와, 상기 이동대에 회동가능하게 설치되는 볼트부와, 상기 볼트부에 나사결합되며 상기 고정대에 대해 고정되는 너트부와, 상기 이동대 또는 볼트부에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함하며, 상기 고정대와 상기 이동대 사이의 이격공간이 조절되는 것을 특징으로 하는 필터 검사장치.
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