KR101552246B1

KR101552246B1 - 열처리로

Info

Publication number: KR101552246B1
Application number: KR1020130162384A
Authority: KR
Inventors: 쇼 마츠오카
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2012-12-28
Filing date: 2013-12-24
Publication date: 2015-09-10
Also published as: CN103910529A; JP2014129906A; TW201433768A; JP5716734B2; CN103910529B; TWI550248B; KR20140086865A

Abstract

가스 공급관으로부터 가스를 공급하면서 피열처리물의 열처리를 실시하는 열처리로에 있어서, 열처리 영역에서의 온도 편차를 억제한다.
노체내부(2)의 열처리 영역(12)을 소정의 반송방향으로 반송함으로써 피열처리물(15)을 연속적으로 열처리하는 열처리로(10)에 있어서, 반송방향(A)을 따른 복수의 위치에, 반송방향에 직교하도록 가스 공급관(4)을 노체내부에 삽입함과 아울러, 가스 공급관으로서 노체내부에 삽입된 선단(14a)은 봉하여 막히고, 둘레벽(14b)의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에 가스를 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구(24)가 마련되고, 선단과는 반대측의 해방단(14c)으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관을 이용하면서, 노체내부에 삽입된 복수의 가스 공급관 중, 반송방향에 있어서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관에 대해서 본 경우에, 한쪽의 가스 공급관(4a)과 다른쪽의 공급 가스 공급관(4b)을 서로 반대측으로부터 노체내부에 삽입한다.

Description

열처리로{HEAT TREATMENT FURNACE}

본 발명은, 예를 들면 세라믹 전자부품의 제조공정 등에 있어서 이용되는 열처리로에 관하여, 자세하게는 가스 공급관으로부터 가스(분위기 가스)를 공급하면서 연속적으로 피열처리물의 열처리를 실시하는 열처리로에 관한 것이다.

예를 들어 적층 세라믹 콘덴서 등의 세라믹 전자부품은, 통상적으로 미소성의 세라믹 적층체(세라믹 성형체)를 열처리하여 바인더를 제거하는 탈바인더 공정, 그 후에 본 소성을 실시하는 소성공정 등을 거쳐서 제조되고 있고, 상기 탈바인더 공정이나 소성공정은 분위기나 온도 등을 제어할 수 있도록 구성된 열처리로를 이용하여 실시되고 있다.

그러한 열처리로 중 하나로, 도 13에 도시하는 바와 같은 열처리로가 제안되고 있다. 이 열처리로는 노체(furnace body)(101)의 긴 길이방향을 따라 다수의 롤러(103)가 줄지어 설치되고, 이 롤러(103)들의 회전에 의해서 소성실(102) 내를 피소성물(M)이 이송되는 소성로에 있어서, 롤러(103)가 중공 통형상으로 그 통벽에 다수의 분기공(105)이 형성되고, 이 롤러(103)들의 외부개방단(103a)에 가스 공급원(106)이 연통 접속된 구조를 가지고 있다.

이 열처리로에 있어서는 롤러(103)의 한쪽측의 단부(端部)인 외부개방단(103a)측에서 분위기 가스가 공급되기 때문에 외부개방단(103a)에 가까운 위치에 존재하는 분기공(105)으로부터 공급되는 가스와, 외부개방단(103a)에서부터 먼 위치에 존재하는 분기공(105)으로부터 공급되는 가스에서는 온도차가 커진다. 즉, 외부개방단(103a)에 가까운 분기공(105)으로부터 공급되는 가스는 온도가 낮지만, 롤러(103)가 연소실에서 가열되기 때문에 외부개방단(103a)에서부터 먼 분기공(105)으로부터 공급되는 가스는 온도가 높아진다.

그 결과, 소성실(102) 내에 온도 분포가 생겨서 균일한 소성을 실시하는 것이 어려워져서 소성상태에 편차가 발생하는 문제점이 있다.

일본국 공개특허공보 평6-3070호

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것이며, 가스 공급관으로부터 가스를 공급하면서 연속적으로 피열처리물의 열처리를 실시하는 열처리로에 있어서, 열처리 영역에서의 온도 편차가 적고 안정된 소성을 실시하는 것이 가능한 열처리로를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 열처리로는,

노체내부의 열처리 영역을, 소정의 반송방향으로 반송함으로써 피열처리물을 연속적으로 열처리하는 열처리로로서,

상기 반송방향을 따른 복수의 위치에, 상기 반송방향에 직교하도록 가스 공급관이 노체내부에 삽입되어 있음과 아울러,

상기 가스 공급관으로서, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에, 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되어 노체외부에 위치하는 해방단으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되고 있으며, 또한,

복수의 상기 가스 공급관 중, 반송방향에 있어서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관에 대해서 본 경우에, 한쪽의 상기 가스 공급관과 다른쪽의 상기 가스 공급관이 서로 반대측으로부터 상기 노체내부에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한 본 발명에 있어서 피열처리물의 반송방향에 직교하도록 가스 공급관이 노체내부에 삽입되어 있다는 것은 글자 그대로 반송방향에 직교하도록 가스 공급관이 삽입되어 있는 경우에 한하지 않고, 실장치(real device)에 있어서 생기는 삽입방향의 편차 등은 허용하는 개념이다.

또 본 발명의 열처리로에 있어서는, 상기 한쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구와, 상기 다른쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구가 상기 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하는, 상기 반송방향에 평행한 동일선상의 위치에 마련되어 있는 것이 바람직하다.

가스 분출구가, 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하는 위치에 마련되어 있는(즉, 반송방향에 평행한 동일선상에 위치하고 있는) 구성으로 한 경우, 가스 분출구로부터 분출된 가스끼리가 충돌함으로써 노체내부의 분위기를 교반하여 노체내부의 온도 편차를 억제할 수 있게 된다.

또 본 발명의 열처리로에 있어서는, 상기 한쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구와, 상기 다른쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구가, 상기 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하지 않는, 상기 반송방향에 평행한 동일선상이 아닌 위치에 마련되어 있는 구성으로 하는 것도 가능하다.

가스 분출구가, 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하지 않는 위치에 마련되어 있는(즉, 반송방향에 평행한 동일선상에 위치하고 있지 않은) 구성으로 한 경우, 대응하는 위치에 마련되어 있는 가스 분출구로부터 분출되는 가스의 영향을 받지 않고, 노체내부의 온도 편차를 억제할 수 있게 된다.

또한 본 발명에 있어서, 한쪽의 가스 공급관의 가스 분출구와 다른쪽의 가스 공급관의 가스 분출구가 서로 대응하지 않는 위치에 마련되어 있다는 것은, 가스 분출구가 반송방향에 평행한 동일선상에 위치하지 않는 것을 의미하는 개념이며, 일례로는 반송방향에 이웃하는 가스 공급관에 있어서 갈지자형상으로 가스 분출구가 배치되어 있는 경우를 들 수 있다. 또한 가스 분출구가, 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하는 위치에 마련되는 구성으로 할지, 혹은 서로 대응하지 않는 위치에 마련되는 구성으로 할지는 가스 분출구의 간격 등에 기초하여 어느쪽이 보다 노체내부의 온도 편차를 억제할 수 있을지에 따라서 적절히 선택할 수 있다.

또 상기 한 쌍의 가스 공급관의 상기 가스 분출구가, 상기 가스 공급관의 상기 노체내부에 위치하는 영역 중, 반송방향에 직교하는 방향에서의 상기 노체내부의 중앙보다 안쪽측에 위치하는 가스 공급관 선단측 영역에만 배치되어 있는 것이 바람직하다.

가스 분출구가, 가스 공급관의 노체내부에 위치하는 영역 중, 반송방향에 직교하는 방향의 노체내부의 중앙보다 안쪽측의 가스 공급관 선단측 영역에만 배치된 구성으로 한 경우, 공급된 가스가 가스 공급관을 통과하여 노체내부의 중앙을 넘는 영역에 도달할 때까지의 과정에서 충분히 가열되어서 노체내부에 공급되는 가스의 온도가 높아지기 때문에 노체내부의 온도 편차를 억제, 방지할 수 있게 된다.

또 본 발명의 다른 열처리로는,

상기 반송방향을 따른 복수의 위치 각각에, 상기 반송방향에 직교하는 동일선상에 축심이 위치하는 2개의 가스 공급관이, 서로 반대측으로부터 선단이 상기 반송방향에 직교하는 방향의 상기 노체내부의 중앙에 도달하면서 상기 선단이 서로 정면으로 마주보는 양태로 삽입되어 있음과 아울러,

상기 가스 공급관으로서, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에, 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되어 있고, 노체외부에 위치하는 해방단으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또 본 발명의 또 다른 열처리로는,

상기 반송방향을 따른 복수의 위치 각각으로부터 상기 노체내부에, 상기 반송방향에 직교하면서 상기 노체내부를 관통하도록 가스 공급관이 삽입되어 있음과 아울러,

상기 가스 공급관으로서, 양단이 해방단이 되고, 중앙부에서 연통이 차단되어서 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에, 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되고, 상기 양단의 해방단 각각으로부터 공급된 가스가 상기 가스 분출구를 거쳐서 상기 노체내부에 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 열처리로는, 상술한 바와 같이 반송방향을 따른 복수의 위치에 반송방향에 직교하도록 가스 공급관이 노체내부에 삽입되어 있고, 가스 공급관으로서 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에 가스를 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되며, 노체외부에 위치하는 해방단으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관을 이용하고, 노체내부에 삽입된 복수의 가스 공급관 중, 반송방향에 있어서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관에 대해서 본 경우에 한쪽의 가스 공급관과 다른쪽의 가스 공급관을 서로 반대측으로부터 노체내부에 삽입하도록 하고 있다. 따라서 한쪽의 가스 공급관에서는 선단측을 향하여 가스의 온도가 서서히 상승하게 되고, 다른쪽의 가스 공급관에서는 상기 한쪽의 가스 공급관의 경우와는 반대측에 위치하는 선단측을 향하여 가스의 온도가 서서히 상승하게 된다. 즉, 한쪽의 가스 공급관과 다른쪽의 가스 공급관으로부터 공급되는 가스의, 피열처리물의 반송방향에 직교하는 방향에서의 온도 분포는, 서로 대칭관계가 되기 때문에 그들이 서로 섞임으로써 노체내부의 온도 편차가 작아져서 안정된 분위기 중에서 양호한 열처리를 실시할 수 있게 된다.

또 본 발명의 다른 열처리로(본 발명의 제2 열처리로)에서는 반송방향을 따른 복수의 위치 각각에, 반송방향에 직교하는 동일선상에 축심이 위치하는 2개의 가스 공급관을 서로 반대측으로부터 선단이 상기 반송방향에 직교하는 방향에서의 상기 노체내부의 중앙에 도달하면서 상기 선단이 서로 정면으로 마주보는 양태로 삽입하도록 하고 있다. 따라서 한쪽측으로부터 삽입되는 가스 공급관의 가스 분출구의 위치와, 다른쪽측으로부터 삽입되는 가스 공급관의 가스 분출구의 위치가 점대칭관계가 되기 때문에 온도 분포도 거의 대칭관계가 된다. 그리고 이러한 가스 분출구로부터 분출하는 가스가 서로 섞임으로써 노체내부의 온도 편차가 작아져서 안정된 분위기 중에서 양호한 열처리를 실시할 수 있게 된다.

또, 본 발명의 또 다른 열처리로(본 발명의 제3 열처리로)에서는 반송방향을 따른 복수의 위치 각각으로부터 노체내부에, 반송방향에 직교하면서 노체내부를 관통하도록 양단이 해방단이 되며 중앙부에서 연통이 차단되고, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에 가스를 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되고, 양단의 해방단 각각으로부터 공급된 가스가 가스 분출구를 거쳐서 노체내부에 공급되도록 구성된 가스 공급관을 삽입한 구성으로 하고 있다. 따라서 노체내부를 관통하도록 삽입된 1개의 가스 공급관에 의해서 양측으로부터 노체내부에 가스를 공급할 수 있게 되어서 상술한 본 발명의 제2 열처리로의 경우에 준하는 작용 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태(실시형태 1)에 따른 열처리로의 구성을 나타내는 측면단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 따른 열처리로의 구성을 나타내는 평면단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태 1에 따른 열처리로의 구성을 나타내는 정면단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태 1에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 5는 비교용의 열처리로에서의 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 6은 실시형태 1 및 비교용의 열처리로에 대해서 조사한 노체내부의 온도 편차를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시형태 2에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시형태 3에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시형태 4에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시형태 5에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시형태 6에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시형태 7에 따른 열처리로 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 13은 종래의 열처리로의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 나타내어 본 발명을 더욱 자세하게 설명한다.

또한 이하의 각 실시형태에서는 세라믹 전자부품을 제조할 경우에 미소성의 세라믹 성형체를 열처리할 때에 이용되는 열처리로를 예로 들어서 설명한다.

[실시형태 1]

도 1은 본 발명의 일실시형태(실시형태 1)에 따른 열처리로(10)의 구성을 도시하는 측면단면도, 도 2는 그 평면단면도, 도 3은 정면단면도이다.

이 열처리로(10)는 도 1, 2, 3에 도시하는 바와 같이 노체(1)의 내부(노체내부)(2)에 가열수단(히터)(3)과, 분위기를 조정하기 위한 가스를 공급하는 가스 공급관(4)과, 피열처리물(미소성의 세라믹 성형체가 수용된 상자)(15)을, 소정의 반송방향(도 1, 2에 있어서 화살표 A로 나타내는 방향)으로 반송하기 위한 롤러(6) 등을 구비한 반송기구(7)를 구비하고 있다.

또 노체내부(2)에는 각 영역에서의 가스량 및 온도를 제어하는 기능을 하는 둑(8)이 마련되어 있다.

이 열처리로(10)는 복수의 피열처리물(15)이 순차적으로 노체내부(2)의 열처리 영역(12)을 통과함으로써(화살표 A(도 1, 2) 방향으로 통과함으로써) 연속적으로 열처리가 실시되도록 구성되어 있다.

그리고 이 실시형태 1의 열처리로(10)에 있어서는 복수의 가스 공급관(4)이, 도 1, 2, 3에 도시하는 바와 같이 상기 반송방향(A)을 따른 복수의 위치에 반송방향(A)에 직교하도록 노체내부(2)에 삽입되어 있다.

그리고 노체내부(2)에 삽입된 복수의 가스 공급관(4) 중, 반송방향에 있어서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4)(예를 들면 도 2의 4a ,4b)에 대해서 본 경우에, 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))이 서로 반대측으로부터 노체내부(2)에 삽입되어 있다.

그리고 각 가스 공급관(4(4a, 4b))은 어느 한쪽의 노벽측으로부터 노체내부(2)에 삽입되고, 선단측이 다른쪽의 노벽에 지지됨으로써 노체(1)에 안정해서 지지되도록 구성되어 있다.

또한 가스 공급관(4)으로는 통상적으로, 예를 들면 세라믹이나 내열금속 등의 내열성을 구비한 재료로 이루어지는 것이 이용된다.

또 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 도 4에 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 착안한 가스 공급관의 배치 양태를 모식적으로 도시한다.

가스 공급관(4(4a, 4b))은, 도 2, 도 3, 도 4 등에 도시하는 바와 같이 노체내부(2)에 삽입된 선단(14a)은 봉하여 막히고, 도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이 둘레벽(14b)의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에는 가스를 노체내부(2)에 분출시키기 위한 가스 분출구(24)가 마련되며, 선단(14a)과는 반대측의 노체(1)의 외부에 위치하는 해방단(14c)으로부터 가스 공급관(4)에 공급된 가스가 가스 분출구(24)로부터 노체내부(2)에 공급되도록 구성되어 있다.

또한 이 실시형태 1 및 이하의 각 실시형태에 있어서 가스 분출구(24)는, 예를 들면 가스가 바로 아래를 향하여 분출하도록 구성되어 있어도 되고, 또 전후나 좌우로 어느 정도의 각도를 가지고 분출하도록 구성되어 있어도 된다.

가스의 분출방향을 적절하게 제어함으로써 분위기의 제어를 효율적으로 실시할 수 있게 되는 경우가 있다.

단, 실시형태 1 및 이하의 각 실시형태에 있어서는 가스 분출구(24)로부터 바로 아래를 향하여 가스를 분출하도록 하도록 한 경우를 예로 들어서 설명한다.

또 이 실시형태 1에서는 가스 공급관(4)으로서 노체내부(2)에 위치하는 영역에, 긴 길이방향에 따라 약 20개의 가스 분출구(24)를 구비한 가스 공급관(4)을 이용하고 있다. 단, 가스 분출구(24)의 배치 개수에 아무런 제약은 없고, 열처리로의 실제 구조나 치수 등의 다양한 조건을 고려하여 배치 개수를 설정할 수 있다.

또 가스 공급관(4)의 치수나 구체적인 형상, 또한 배치 피치나 배치수 등에 관해서도 특별히 제약은 없다.

또 이 실시형태 1에서는, 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))에 있어서 가스 분출구(24)는 반송방향(A)을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하는 위치에 형성되어 있다(즉, 반송방향(A)에 평행한 동일선상에 위치하도록 형성되어 있다).

이렇게 구성된 열처리로(10)의 경우, 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 있어서, 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))이 서로 반대측으로부터 노체내부(2)에 삽입되어 있으므로, 한쪽측에서 노체내부(2)에 삽입된 한쪽의 가스 공급관(4(4a))에서는, 선단측을 향하여 가스의 온도가 서서히 상승하게 되고, 반대측으로부터 노체내부(2)에 삽입된 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))에서도 상기 한쪽의 가스 공급관(4(4a))의 경우와는 반대측의 선단측을 향하여 가스의 온도가 서서히 상승하게 된다. 그 결과, 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))으로부터 공급되는 가스의, 반송방향(A)에 직교하는 방향에서의 온도 분포는, 서로 대칭관계가 되기 때문에, 그들이 서로 섞임으로써 노체내부(2)의 온도 편차가 작아져서 안정된 분위기 중에서 양호한 열처리를 실시할 수 있게 된다.

또한 비교를 위해서, 도 5에 모식적으로 도시하는 바와 같이 모든 가스 공급관을 동일방향으로부터 노체내부(2)에 삽입한 열처리로, 즉 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))이 동일방향으로부터 노체내부(2)에 삽입되어 있는 열처리로(비교용의 열처리로)(10a)를 제작하여 상기 실시형태 1의 열처리로(10)와 아울러 노체내부(2) 온도의 위치적인 편차의 크기를 조사했다.

또한 비교용의 열처리로(10a)의 다른 조건은 상술한 실시형태 1의 열처리로(10)의 경우와 마찬가지이다.

노체내부(2) 온도의 위치적인 편차의 크기를 조사하는데에 있어서는 도 4 및 도 5에 부호 1, 2, 3, 4, 5로 나타낸 5점의 위치에서 노체내부(2)의 온도를 측정했다.

그 결과, 도 6에 도시하는 바와 같이 가스 공급관(4)을 동일방향으로부터 노체내부(2)에 삽입한 비교용의 열처리로(10a)의 경우, 노체내부(2)의 온도 편차가 큰 것에 비해서, 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))의 한쪽과 다른쪽을 서로 반대측으로부터 노체내부(2)에 삽입하도록 한 실시형태 1의 열처리로(10)의 경우, 노체내부(2)의 온도 편차가 작아지는 것이 확인되었다.

[실시형태 2]

이 실시형태 2에서는 상기 실시형태 1의 열처리로(10)와는 구성이 다른 열처리로에 대해서 설명한다.

도 7은 본 발명의 실시형태 2에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다. 이 실시형태 2의 열처리로(10)에 있어서는, 가스 공급관(4)으로서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 대해서 본 경우의, 한쪽의 가스 공급관(4(4a)) 및 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))으로서 서로 반대측으로부터 노체내부(2)의 중앙에까지 도달하는 길이의 가스 공급관(4(4a, 4b))이 이용되고 있다.

그리고 한쪽의 가스 공급관(4(4a))에 형성된 가스 분출구(24)와, 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))에 형성된 가스 분출구(24)의 위치는 점대칭관계가 되도록 구성되어 있다.

따라서 이 실시형태 2의 열처리로(10)의 경우도, 한쪽의 가스 공급관과 다른쪽의 가스 공급관으로부터 공급되는 가스의 반송방향(A)에 직교하는 방향에서의 온도 분포는 서로 대칭관계가 되기 때문에 그들이 서로 섞임으로써 노체내부의 온도 분포가 작아져서 노체내부의 온도 편차를 억제할 수 있다.

[실시형태 3]

도 8은 본 발명의 또 다른 실시형태(실시형태 3)에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다. 이 실시형태 3에서는, 가스 공급관(4)으로서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 대해서 본 경우의, 한쪽의 가스 공급관(4(4a)) 및 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))으로서 상기 실시형태 2에서 이용한 가스 공급관(4(4a, 4b))보다도 더욱 길이가 짧아서 서로 반대측으로부터 노체내부(2)에 삽입했을 경우에 노체내부(2)의 중앙에까지 도달하지 않는 길이의 가스 공급관(4(4a, 4b))이 이용되고 있다.

단, 이 실시형태 3에 있어서도 가스 공급관(4a)에 형성된 가스 분출구(24)와 가스 공급관(4b)에 형성된 가스 분출구(24)의 위치는 점대칭관계가 되도록 구성되어 있다.

따라서 이 실시형태 3의 열처리로(10)의 경우도, 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))으로부터 공급되는 가스의 반송방향(A)에 직교하는 방향에서의 온도 분포는, 서로 대칭관계가 되기 때문에 그들이 서로 섞임으로써 노체내부의 온도 분포가 작아져서 노체내부의 온도 편차를 억제할 수 있다.

[실시형태 4]

도 9는 본 발명의 또 다른 실시형태(실시형태 4)에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다. 이 상기 실시형태 4에서는, 가스 공급관(4)으로서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 대해서 본 경우의, 한쪽의 가스 공급관(4(4a)) 및 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))으로서 상기 실시형태 1에 있어서 이용되고 있는 가스 공급관과 같이 노체내부(2)의 한쪽 단부에서 다른쪽 단부에 이르는 길이를 가지지만, 가스 분출구(24)의 위치 관계가, 실시형태 1에 있어서 이용되고 있는 가스 공급관과는 다른 가스 공급관(4(4a, 4b))이 이용되고 있다.

즉, 실시형태 4에서는 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4b)에 있어서 가스 분출구(24)가, 반송방향(A)을 따른 방향에 대해서 본 경우에, 서로 대응하지 않는 위치에 형성되어 있다(즉, 반송방향(A)에 평행한 동일선상에 위치하지 않도록 갈지자형상으로 배치되어 있다).

이 실시형태 4의 열처리로(10)의 경우, 상기 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 있어서 가스 분출구(24)가, 반송방향(A)을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하지 않는 위치에 형성되어 있기 때문에 한쪽의 가스 공급관(4(4a))의 가스 분출구(24)로부터 분출된 가스와, 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))의 가스 분출구(24)로부터 분출된 가스가 서로 간섭하지 않기 때문에 노체내부(2)의 온도 편차를 억제할 수 있게 된다.

[실시형태 5]

도 10은 본 발명의 또 다른 실시형태(실시형태 5)에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다. 이 상기 실시형태 5에서는 가스 공급관(4)으로서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관(4(4a, 4b))에 대해서 본 경우, 한쪽의 가스 공급관(4(4a)) 및 다른쪽의 가스 공급관(4(4b))으로서 상기 실시형태 1에서 이용되고 있는 가스 공급관과 같이 노체내부(2)의 한쪽 단부에서 다른쪽 단부에 이르는 길이를 가지지만, 가스 분출구(24)의 위치 관계가 실시형태 1에서 이용되고 있는 가스 공급관과는 다른 가스 공급관(4(4a, 4b))이 이용되고 있다.

즉, 실시형태 5에서는 한쪽의 가스 공급관(4(4a))과 다른쪽의 가스 공급관(4b)의 가스 분출구(24)가, 가스 공급관(4(4a, 4b))의 노체내부(2)에 위치하는 영역 중, 반송방향(A)에 직교하는 방향에서의 노체내부(2)의 중앙보다 안쪽측의 가스 공급관 선단측 영역에만 배치되어 있다.

이렇게 구성된 실시형태 5의 열처리로(10)의 경우, 가스 분출구(24)가 가스 공급관(4(4a, 4b))의 노체내부(2)에 위치하는 영역 중 노체내부(2)의 중앙보다 안쪽측의 영역에만 배치되어 있기 때문에, 공급된 가스가 가스 공급관(4(4a, 4b))을 통과하여 노체내부(2)의 중앙을 넘는 영역에 도달할 때까지의 과정에서 충분히 가열되고, 중앙보다 안쪽측의 영역에만 배치된 가스 분출구(24)로부터 노체내부(2)에 온도가 충분히 상승한 가스를 공급할 수 있게 되어서 노체내부(2)의 온도 편차를 확실하게 억제, 방지할 수 있다.

[실시형태 6]

도 11은 본 발명의 또 다른 실시형태(실시형태 6)에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.

이 상기 실시형태 6의 열처리로(10)는, 반송방향(A)을 따른 복수의 위치 각각에, 반송방향(A)에 직교하는 동일축선상에 위치하는 2개(한 쌍)의 가스 공급관(4(4c,4d))이 서로 반대측으로부터 선단(14a)이 반송방향(A)에 직교하는 방향에서의 노체내부(2)의 중앙에 도달하면서 선단(14a)끼리가 서로 정면으로 마주보는 양태로 삽입되어 있고, 노체외부에 위치하는 가스가 해방단(14c)으로부터 가스가 공급되도록 구성되어 있다.

이렇게 구성된 실시형태 6의 열처리로(10)의 경우, 한쪽측으로부터 삽입되는 가스 공급관(4(4c))의 가스 분출구(24)의 위치와, 다른쪽측으로부터 삽입되는 가스 공급관(4(4d))의 가스 분출구(24)의 위치가 대칭관계가 되기 때문에 노체내부(2)의 온도 분포도 상술한 바와 같이 대칭관계가 되어서 노체내부(2)의 온도 편차를 억제, 방지할 수 있게 된다. 그 결과, 안정된 분위기 중에서 양호한 열처리를 실시할 수 있게 된다.

[실시형태 7]

도 12는 본 발명의 또 다른 실시형태(실시형태 7)에 따른 열처리로(10)의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.

이 실시형태 7에서는, 반송방향(A)을 따른 복수의 위치 각각으로부터 노체내부(2)에, 반송방향(A)에 직교하면서 노체내부(2)를 관통하도록 가스 공급관(44)이 삽입되어 있다. 그리고 이 가스 공급관(44)으로서는 양단이 해방단(44a)이 되며 중앙부(44c)에서 연통이 차단되고, 중앙부(44c)의 양측의 둘레벽(44b)의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에 가스를 노체내부(2)에 분출시키기 위한 가스 분출구(24)가 마련된 구성의 것이 이용되고 있다.

그리고 가스 공급관(44) 양단의 해방단(44a) 각각으로부터 공급된 가스가 가스 분출구(24)를 거쳐서 노체내부(2)에 공급되도록 구성되어 있다.

이렇게 구성된 실시형태 7의 열처리로(10)의 경우, 노체내부(2)를 관통하도록 삽입된 1개의 가스 공급관(44)에 의해, 양측의 해방단(44a)으로부터 노체내부(2)에 가스를 공급할 수 있게 되어서 실시형태 6의 열처리로의 경우와 마찬가지 작용 효과를 얻을 수 있다.

또한 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 노체내부의 구조, 반송기구나 가열수단의 구체적인 구성 등에 관하여, 발명의 범위 내에 있어서 다양한 응용, 변형을 추가하는 것이 가능하다.

1 노체
2 노체내부
3 가열수단(히터)
4 가스 공급관
4a 한 쌍의 가스 공급관 중, 한쪽의 가스 공급관
4b 한 쌍의 가스 공급관 중, 다른쪽의 가스 공급관
4c, 4d 동일축선상에 위치하는 2개의 가스 공급관
6 롤러
7 반송기구
8 둑
10 열처리로
10a 비교용의 열처리로
12 열처리 영역
14a 가스 공급관의 선단
14b 가스 공급관의 둘레벽
14c 가스 공급관의 해방단
15 피열처리물(미소성의 세라믹 성형체가 수용된 상자)
24 가스 분출구
44 양단이 해방단으로 되어 있는 가스 공급관
44a 양단이 해방단으로 되어 있는 가스 공급관의 해방단
44b 양단이 해방단으로 되어 있는 가스 공급관의 둘레벽
44c 양단이 해방단으로 되어 있는 가스 공급관의 중앙부
A 반송방향

Claims

노체(furnace body)내부의 열처리 영역을, 소정의 반송방향으로 반송함으로써 피열처리물을 연속적으로 열처리하는 열처리로로서,
상기 반송방향을 따른 복수의 위치에, 상기 반송방향에 직교하도록 가스 공급관이 노체내부에 삽입되어 있음과 아울러,
상기 가스 공급관으로서, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에, 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되어 노체외부에 위치하는 해방단으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되고 있으며, 또한,
복수의 상기 가스 공급관 중, 반송방향에 있어서 서로 이웃하는 한 쌍의 가스 공급관에 대해서 본 경우에, 한쪽의 상기 가스 공급관과 다른쪽의 상기 가스 공급관이 서로 반대측으로부터 상기 노체내부에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
제1항에 있어서,
상기 한쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구와 상기 다른쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구가, 상기 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하는, 상기 반송방향에 평행한 동일선상의 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
제1항에 있어서,
상기 한쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구와 상기 다른쪽 가스 공급관의 복수의 상기 가스 분출구가, 상기 반송방향을 따른 방향에 대해서 본 경우에 서로 대응하지 않는, 상기 반송방향에 평행한 동일선상이 아닌 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한 쌍의 가스 공급관의 상기 가스 분출구가, 상기 가스 공급관의 상기 노체내부에 위치하는 영역 중, 반송방향에 직교하는 방향에서의 상기 노체내부의 중앙보다 안쪽측에 위치하는 가스 공급관 선단측 영역에만 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
노체내부의 열처리 영역을, 소정의 반송방향으로 반송함으로써 피열처리물을 연속적으로 열처리하는 열처리로로서,
상기 반송방향을 따른 복수의 위치 각각에, 상기 반송방향에 직교하는 동일선상에 축심이 위치하는 2개의 가스 공급관이, 서로 반대측으로부터 선단이 상기 반송방향에 직교하는 방향의 상기 노체내부의 중앙에 도달하면서 상기 선단이 서로 정면으로 마주보는 양태로 삽입되어 있음과 아울러,
상기 가스 공급관으로서, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에, 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되어 있고, 노체외부에 위치하는 해방단으로부터 가스가 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되고 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
노체내부의 열처리 영역을, 소정의 반송방향으로 반송함으로써 피열처리물을 연속적으로 열처리하는 열처리로로서,
상기 반송방향을 따른 복수의 위치 각각으로부터 상기 노체내부에, 상기 반송방향에 직교하면서 상기 노체내부를 관통하도록 가스 공급관이 삽입되어 있음과 아울러,
상기 가스 공급관으로서, 양단이 해방단이 되며 중앙부에서 연통이 차단되고, 둘레벽의 긴 길이방향을 따른 복수의 위치에 가스를 상기 노체내부에 분출시키기 위한 가스 분출구가 마련되고, 상기 양단의 해방단 각각으로부터 공급된 가스가 상기 가스 분출구를 거쳐서 상기 노체내부에 공급되도록 구성된 가스 공급관이 이용되고 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.