KR101538152B1 - 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 유연 기판 증착 장치 - Google Patents

다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 유연 기판 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액상 폴리머의 완전한 기화를 유도하고 한 번 기화된 가스가 가스 이송로를 따라 이송되면서 재 액화되는 것을 방지하여 초기 기화 후 샤워 헤드를 통과하여 최종으로 증착되는 마지막 순간까지도 안정적이고 균일하게 증착 되도록 함을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치는, 액상 폴리머가 저장되는 도가니(10), 상기 도가니에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 도가니 가열수단, 상기 도가니 가열수단에 의해 기화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로(30), 상기 이송로의 둘레부를 덮으며 상기 이송로 내부를 가열하는 이송로측 가열기(32), 상기 이송로를 통해 이송되는 기상 폴리머를 분사하는 샤워 헤드(50), 상기 샤워 헤드를 가열하는 샤워 헤드측 가열기, 유연 기판이 이송되며 상기 샤워 헤드에서 분사되는 기상 폴리머를 상압 또는 진공 상태에서 상기 유연 기판에 증착시키는 증착부(40)를 포함하고, 상기 도가니 가열수단은, 상기 도가니의 바닥부에 설치되어 도가니의 바닥부를 가열하는 바닥측 가열기(20-1), 상기 도가니의 둘레부에 설치되어 도가니의 둘레부를 가열하는 주벽측 가열기(20-2), 상기 도가니의 천정 내부 또는 외부에 설치되어 상기 도가니 내부의 천정부를 가열하는 천정측 가열기(20-3)로 구분되고, 상기 바닥측 가열기와 주벽측 가열기 및 천정측 가열기는 서로 다른 온도로 제어되어 상기 도가니를 서로 다른 온도 조건으로 가열한다.

Description

다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 유연 기판 증착 장치{FLEXIBLE SUBSTRATE DEPOSITION EQUIPMENT OF WETHER POLYMER THROUGH VARIOUS HEATING TEMPERATURE ADJUSTMENT}
본 발명은 기상 폴리머의 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 폴리머가 초기 기화 후 샤워 헤드를 통과하여 최종으로 증착되는 마지막 순간까지도 안정적이고 균일하게 증착 되도록 한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 시장은 대면적이 용이하고 경량화가 가능한 평판 디스플레이 위주로 급속히 변화하고 있다. 이러한 평판 디스플레이에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PlasmaDisplay Panel; PDP), 유기 발광 표시 장치(Organic Electro Luminescence Display; OLED) 등이 있다. 이 평판 디스플레이는 다수의 박막을 지지하는 지지체로 유리 기판을 이용한다. 유리기판은 그 두께를 박형화하는데 한계가 있고, 박형화하더라도 내구성 및 유연성이 없어 쉽게 깨지는 문제점이 있다.
따라서, 최근에는 내구성 및 유연성이 없는 유리 기판 대신에 롤 기판 등과 같이 얇으면서 내구성이 강한 재료를 기판으로 사용하는 플렉시블 표시 장치가 대두되고 있다. 플렉시블 표시 장치는 롤 기판을 공급 롤러에 권취하고, 공급롤러를 권출하면서 롤 기판 상에 박막을 형성하는 롤투롤 방식을 통해 주로 형성된다. 뿐만 아니라 조명, 솔라셀 등에 적용되는 소재도 롤투롤 방식을 통해 제조된다.
그러나, 롤투롤 방식에서 사용되는 유연 기판은 가스와 수분을 충분히 제거하지 못하면 균일한 박막을 형성하기 어려우며, 따라서, 박막을 증착하기 전후에 유연 기판을 코팅한다. 즉 예를 들어 기판은 유연 기판의 코팅(상압 조건) - 증착(진공, 고진공 등) - 코팅(상압 조건)의 공정을 통해 제조된다.
종래 기술의 경우, 액상 폴리머를 기화기를 통해 기화시키고 이송 가스와 함께 기화된 폴리머를 보내어 기판에 증착을 유도하는데 기화기가 액상 폴리머를 완전히 기화시키지 못하여 정상적인 증착이 이루어지지 못하는 문제점이 있고, 완전히 기화된다 하여도 재액상화가 발생되어 균일한 증착이 이루어지지 못하는 문제점이 있다.
그리고, 기화기 등의 구성요소가 이송 가스가 기화된 가스(폴리머 가스)를 증착하기 위한 방향으로만 흐르지 않고 기화된 가스를 역류하게도 만들어 증착을 방해하거나 기화된 가스를 재 액화 상태로 만들어 기판의 증착 균일도를 나쁘게 한다.
대한민국 공개특허 제10-2008-0028542호 대한민국 등록특허 제10-0358727호 대한민국 공개특허 제10-2008-0070893호
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액상 폴리머의 완전한 기화를 유도하고 한 번 기화된 가스가 가스 이송로를 따라 이송되면서 재 액화되는 것을 방지하여 초기 기화 후 샤워 헤드를 통과하여 최종으로 증착되는 마지막 순간까지도 안정적이고 균일하게 증착 되도록 한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.
본 발명에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치는, 액상 폴리머가 저장되는 도가니, 상기 도가니에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 도가니 가열수단, 상기 도가니 가열수단에 의해 기화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로, 상기 이송로의 둘레부를 덮으며 상기 이송로 내부를 가열하는 이송로측 가열기, 상기 이송로를 통해 이송되는 기상 폴리머를 분사하는 샤워 헤드, 상기 샤워 헤드를 가열하는 샤워 헤드측 가열기, 유연 기판이 이송되며 상기 샤워 헤드에서 분사되는 기상 폴리머를 상압 또는 진공 상태에서 상기 유연 기판에 증착시키는 증착부를 포함하고, 상기 도가니 가열수단은, 상기 도가니의 바닥부에 설치되어 도가니의 바닥부를 가열하는 바닥측 가열기, 상기 도가니의 둘레부에 설치되어 도가니의 둘레부를 가열하는 주벽측 가열기, 상기 도가니의 천정 내부 또는 외부에 설치되어 상기 도가니 내부의 천정부를 가열하는 천정측 가열기로 구분되고, 상기 바닥측 가열기와 주벽측 가열기 및 천정측 가열기는 서로 다른 온도로 제어되어 상기 도가니를 서로 다른 온도 조건으로 가열하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 의하면, 도가니를 상중하로 구분하여 서로 다른 온도로 가열함으로써 최적의 기상 폴리머를 제조하고 또한, 이송로와 샤워 헤드와 증착부 모두에서 기상 폴리머의 액화를 방지하여 유연 기판에 증착될 때까지 기상 폴리머가 기상을 유지하게 됨에 따라 폴리머의 양호하고 균일한 증착이 이루어지므로 유연 기판의 불량을 극소화할 수 있고 양질의 유연 기판을 생산할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치로서 상압 증착용의 전체 구성도.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 도가니의 확대도.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 이송로의 확대도.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 샤워 헤드를 보인 정면도.
도 5a와 도 5b는 각각 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 1단 샤워 헤드와 2단 샤워 헤드의 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예 1에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 상압 증착부의 구성도.
도 7은 본 발명의 실시예 2에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치로서 진공 증착용의 구성도.
도 8은 본 발명의 실시예 2에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치에 적용된 도가니의 다른 예시도.
본 발명에 의한 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치는, 액상 폴리머가 저장되는 도가니, 상기 도가니에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 가열수단, 상기 가열수단에 의해 기화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로, 유연 기판이 이송되며 상기 이송로를 통해 이송되는 기상 폴리머를 상기 유연 기판에 증착시키는 증착부로 구성된다. 상기 증착부는 상압 증착부, 진공 증착부로 구분되며 이하 각 증착부에 따른 구체적인 실시예를 설명한다. 실시예 1은 상압 증착용이고, 실시예 2는 진공 증착용이다.
<실시예 1>
도 1에서 보이는 바와 같이, 본 실시예에 따른 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 상압 증착 장치는, 액상 폴리머가 저장되며 액상 폴리머의 기화를 위한 공간을 제공하는 도가니(10), 도가니(10)에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 가열기로서 바닥측 가열기(20-1)와 주벽측 가열기(20-2) 및 천정측 가열기(20-3), 도가니(10)와 기체 연통 가능하게 연결되며 상기 가열기(20-1,20-2,20-3)에 의해 상변화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로(30), 이송로(30)에서 이송되는 기상 폴리머를 유연 기판(1)에 증착하는 상압 증착부(40)로 구성된다.
도가니(10)는 내부에 액상 폴리머가 담기는 공간이 구비된 예컨대 원형일 수 있고, 액상 폴리머의 보충을 위한 투입구 등이 갖추어진다.
도가니(10)는 가열기(20-1,20-2,20-3)에 의해 발열되는 열의 손실을 막기 위하여 단열재가 구성된다.
도가니(10)에서 발생된 기상 폴리머는 자연 대류에 의해 상압 증착부(40)로 이송되어 별도의 이송 가스를 필요로 하지 않지만, 자연 대류에 의한 기상 폴리머의 증착이 어려운 경우 이송 가스를 이용하여 기상 폴리머를 상압 증착부(40)로 이송하고, 이를 위하여 이송가스 주입수단이 포함된다. 상기 이송가스 주입수단은 예를 들어 이송가스 탱크, 정량공급 장치 및 밸브 등, 도가니(10) 내부와 연통하며 상기 정량공급 장치 및 밸브를 통해 공급되는 이송 가스를 도가니(10) 안에 주입하는 이송가스 주입관(11) 등으로 구성된다.
도 1과 도 2에서 보이는 것처럼, 가열기(20-1,20-2,20-3)는 도가니(10)에 담긴 액상 폴리머를 가열하여 기상 폴리머로 상변화시키는 것으로, 전원을 인가받아 발열한다.
바닥측 가열기(20-1)는 도가니(10)의 바닥측에 설치되고, 주벽측 가열기(20-2)는 도가니(10)의 주벽인 둘레부에 설치되며, 천정측 가열기(20-3)는 도가니(10)의 천정(외부일 수도 있음)에 설치된다.
가열기(20-1,20-2,20-3)는 서로 다른 온도로 제어됨을 특징으로 하며, 예를 들어 바닥측 가열기(20-1)와 주벽측 가열기(20-2)는 120℃, 천정측 가열기(20-3)는 150℃를 유지한다. 이와 같이 가열기(20-1,20-2,20-3)의 온도가 다른 이유는 액상 폴리머의 기화율을 높이고 또한 기화된 폴리머를 재액화없이 신속하게 이송하기 위한 것이며, 액상 폴리머를 기화하고 기화된 폴리머를 재액화없이 이송하기 위해서는 좀 더 높은 압력이 필요한데, 기화된 폴리머의 온도를 높여서 기화된 폴리머의 압력을 높일 수 있기 때문이다. 즉 바닥측과 주벽측 가열기(20-1,20-2)는 폴리머의 기화온도 정도로 가열하는 것이며, 천정측 가열기(20-3)는 기화된 폴리머를 이송하기 위한 힘을 실어 주기 위한 것으로 기화온도 이상이되 기화온도보다 10~30% 상승된 온도가 바람직하다. 전술한 각 가열기의 수치는 폴리머의 종류에 따라 달라지는 것이므로 전술한 수치로 한정되는 것은 아니다.
도 3과 도 4에서 보이는 것처럼, 이송로(30)는 내부에 유로가 있는 관으로서 도가니(10) 내부와 샤워 헤드(50)를 연결하여 도가니(10)에서 상변화된 기상 폴리머를 샤워 헤드(50)로 이송하며, 기상 폴리머를 자연 대류에 의해 이송할 수 있도록 수직의 직선형으로 형성되는 것이 바람직하다.
이송로(30)는 내부의 유로를 개폐 내지 개도를 조정하는 밸브(31)가 구성된다.
또한, 이송로(30)는 기상 폴리머의 이송 중에 액화를 막기 위하여 이송로측 가열기(32)가 갖추어진다. 이송로측 가열기(32)는 전원을 인가받아 발열하는 것이며 이송로(30)의 둘레부를 감싸도록 설치되어 이송로(30)의 모든 구간에서 기상 폴리머의 상 변화를 방지하고, 도면에 도시되지는 않았지만 단열재 등으로 열손실이 일으키지 않도록 설치된다.
이송로측 가열기(32)는 도가니(10)의 바닥측 가열기(20-1) 및 주벽측 가열기(20-2)와 동일한 온도 즉 액화 방지를 위한 온도인 120℃를 유지한다.
이송로(30)를 통해 이송되는 기상 폴리머는 샤워 헤드(50)를 통해 상압 증착부(40)를 통과하는 유연 기판(1)에 기상 폴리머를 증착한다.
도 4에서 보이는 것처럼, 샤워 헤드(50)는 다수의 분사공(51)이 구비된 블록이며, 예를 들어 분사공(51)은 상부와 하부가 연통되도록 형성되어 이루어지고, 분사공(51)과 유연 기판(1) 사이에 일정 간격을 유지하면서 상압 증착부(40)에 분리 가능하게 장착된다.
샤워 헤드(50)는 1단의 단층 및 2단 이상의 복층 구성이 가능하며, 도 5a는 1단 샤워 헤드(50-1)의 예시도이고 도 5b는 2단 샤워 헤드(50-2)의 예시도이다.
2단의 복층 구성의 경우 유연 기판(1)측의 1단 샤워 헤드의 분사공의 직경은 아랫단인 2단의 샤워 헤드의 분사공의 직경보다 작게 형성될 수 있다. 1단 샤워헤드로 기화된 폴리머의 증착 균일도를 맞추기 어려울 경우 2단 샤워헤드를 사용하여 1단 샤워헤드를 통과한 기화된 폴리머를 한 번 더 분산해 주면 증착 균일도를 높일 수 있다.
샤워 헤드(50)도 가열기(52,53)(도 5a와 도 5b 참고)에 의해 예컨대 이송로(30)와 동일한 온도 즉 재액화 방지를 위한 온도인 120℃로 가열되어 기상 폴리머가 분사되는 동안에도 액상화가 이루어지지 않도록 구성된다.
도 1과 도 6에서 보이는 것처럼, 상압 증착부(40)는 내부에 공간을 형성하는 상압 챔버(41), 원통형으로 형성되며 상압 챔버(41)의 내부에 유연 기판(1)의 증착 경로를 제공하는 이송안내 롤(42), 상압 챔버(41) 내부를 가열하는 챔버 가열기로 구성된다.
상압 챔버(41)는 유연 기판(1)이 유입 및 배출되는 공간을 제외한 나머지 부분을 외부와 밀폐하도록 구성되며, 유연 기판(1)의 이송 경로 상에 샤워 헤드(50)가 장착된다.
이송안내 롤(42)은 상압 챔버(41)의 내경보다 작은 외경으로 이루어져 상압 챔버(41)와의 사이에 유연 기판(1)의 이송 경로를 제공한다.
상기 챔버 가열기는 유연 기판(1)의 내측과 외측 모두를 가열하기 위한 챔버 내부측 가열기(43)와 챔버 외부측 가열기(44)로 구분된다.
챔버 내부측 가열기(43)는 이송안내 롤(42)의 중심에 설치되고, 챔버 외부측 가열기(44)는 이송안내 롤(42)의 외부이면서 상압 챔버(41)의 외부(또는 내부)에 설치되며, 따라서, 챔버 내부측 가열기(43)는 봉 형상일 수 있고 챔버 외부측 가열기(44)는 원통형일 수 있다.
챔버 내부측 가열기(43)의 가열 온도는 100℃, 챔버 외부측 가열기(44)의 온도는 120℃가 바람직하다. 폴리머는 기화온도보다 높은 100℃ 이상의 온도에서는 재 액화가 일어나지 않으며 액화가 일어나더라도 재 기화를 한다. 챔버 내부를 외부보다 낮은 온도로 하는 것은 내부에 유연기판이 부착되어 함께 이송되기에 내외부의 온도차에 의한 압력차를 이용하여 내부로 폴리머가 더 이송(몰리도록)되도록 하기 위함이다. 즉 챔버 내외부측 가열기(43,44)는 재 액화를 방지하면서 폴리머를 유연기판에 신속하게 흡착되도록 가열하는 것이다.
참고로 상압 챔버(41) 내부에서 유연 기판(1)에 증착되지 않고 잔류하는 기상 폴리머는 배기계통을 통해 배기[상압 챔버(41)에서 도면에 도시되지 않은 진공 증착 장치의 케이스 안으로 배기]된다.
<실시예 2>
도 7에서 보이는 바와 같이, 본 실시예에 따른 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 진공 증착 장치는, 액상 폴리머가 저장되며 액상 폴리머의 기화를 위한 공간을 제공하는 도가니(110), 도가니(110)에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 가열기로서 바닥측 가열기(120-1)와 주벽측 가열기(120-2) 및 천정측 가열기(120-3), 도가니(110)와 기체 연통 가능하게 연결되며 상기 가열기(120-1,120-2,120-3)에 의해 상변화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로(130), 이송로(130)를 통해 이송되는 기상 폴리머를 샤워 헤드(150)를 통해 유연 기판에 증착하는 진공 증착부로 구성된다.
도가니(110), 도가니측 가열기[바닥측 가열기(120-1), 주벽측 가열기(120-2), 천정측 가열기(120-3)], 이송로(130), 밸브(131), 이송로측 가열기(132), 샤워 헤드(150)[1단의 단층, 2단 이상의 복층], 샤워 헤드 가열기, 진공 챔버(140)의 가열기 등의 구성 및 가열 온도 등은 실시예 1과 동일하므로 구체적인 설명을 생략하고, 본 실시예에 의해 신규한 구성에 대해서만 구체적으로 설명한다.
본 실시예의 진공 증착부는 진공 챔버(140), 진공 챔버(140) 내부를 가열하는 챔버 가열기 및 진공 챔버(140) 내부를 진공 상태로 조성하는 진공수단(200)(도 8에 도시됨)을 포함한다. 진공수단(200)을 통해 진공 챔버(140) 내부를 진공 상태로 유지한다. 진공수단(200)은 진공펌프(210) 및 진공펌프(210)와 진공 챔버(140)를 연결하는 진공관(220)으로 구성되는데, 진공관(220)을 통해서 유연 기판에 증착되지 않은 기상 폴리머가 배기되도록 구성되고 이때, 기상 폴리머가 진공관(220)을 따라 배기되는 중에 액화되지 않도록 진공관(220)은 진공관 가열기에 의해 일정 온도로 가열된다.
도가니(110)는 도 7과 같이 자연 대류에 의한 기상 폴리머의 이송이 가능하도록 구성될 수도 있지만, 도 8과 같이 진공수단(200)을 이용한 이송이 가능하도록 내부에 이송관(112)이 적용될 수 있다. 이송관(112)은 상부가 도가니(110)의 천정으로부터 이격되어 개방되면서 하부가 이송로(130)와 연결되는 구성이며, 따라서, 이송관(112) 내부도 진공압이 작용하여 도가니(110)에서 상변화되어 도가니(110)의 천정으로 상승하는 기상 폴리머가 이송관(112)을 통해 이송로(130)에 공급될 수 있다. 즉, 진공 증착부의 경우 진공에 의해 기상 폴리머의 이송이 가능하므로 도가니(110)가 진공 챔버(140)의 저부에 배치되는 것으로 한정되지 않고 다양한 위치에 배치 가능하다.
물론 본 실시예도 필요에 따라 기상 폴리머의 원활한 증착을 위하여 이송가스 주입수단이 적용될 수 있다.
1 : 유연 기판,
10,110 : 도가니, 20-1,120-1 : 바닥측 가열기
20-2,120-2 : 주벽측 가열기, 20-3,120-3 : 천정측 가열기
30,130 : 이송로, 40 : 상압 증착부
50,150 : 샤워 헤드, 140 : 진공 챔버
200 : 진공수단,

Claims (5)

  1. 액상 폴리머가 저장되는 도가니, 상기 도가니에 저장된 액상 폴리머를 기상 폴리머로 상변화시키는 도가니 가열수단, 상기 도가니 가열수단에 의해 기화된 기상 폴리머를 이송하는 이송로, 상기 이송로의 둘레부를 덮으며 상기 이송로 내부를 가열하는 이송로측 가열기, 상기 이송로를 통해 이송되는 기상 폴리머를 분사하는 샤워 헤드, 상기 샤워 헤드를 가열하는 샤워 헤드측 가열기, 유연 기판이 이송되며 상기 샤워 헤드에서 분사되는 기상 폴리머를 상압 또는 진공 상태에서 상기 유연 기판에 증착시키는 증착부를 포함하고,
    상기 도가니 가열수단은, 상기 도가니의 바닥부에 설치되어 도가니의 바닥부를 가열하는 바닥측 가열기, 상기 도가니의 둘레부에 설치되어 도가니의 둘레부를 가열하는 주벽측 가열기, 상기 도가니의 천정 내부 또는 외부에 설치되어 상기 도가니 내부의 천정부를 가열하는 천정측 가열기로 구분되고, 상기 바닥측 가열기와 주벽측 가열기 및 천정측 가열기는 서로 다른 온도로 제어되어 서로 다른 온도 조건으로 가열하되, 상기 바닥측 가열기와 주벽측 가열기는 액상 폴리머의 기화온도로 가열하고, 상기 천정측 가열기는 상기 바닥측 가열기와 주벽측 가열기에 의해 기화된 폴리머를 기상으로 유지하면서 원활하게 이송되도록 기화온도보다 10~30% 상승된 온도로 가열하여 높은 압력을 유지하게 하고,
    상기 증착부는 상압 증착부(40)로서, 유연 기판의 유입부와 배출부가 구비된 통 구조이며 바닥부에 상기 샤워 헤드가 장착되는 상압 챔버(41), 상기 상압 챔버 내부에 일정 간격을 두고 장착되어 상기 유연 기판의 이송 경로를 제공하는 이송안내 롤(42), 상기 이송안내 롤(42)의 중심에 장착되는 챔버 내부측 가열기(43), 상기 상압 챔버의 내부 또는 외부에서 장착되는 챔버 외부측 가열기(44)를 포함하되, 상기 챔버 내부측 가열기는 상기 챔버 외부측 가열기보다 낮은 온도로 가열하여 내부와 외부의 서로 다른 온도에 의한 압력차를 발생하여 폴리머의 신속한 흡착을 유도하는 것을 특징으로 하는 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 도가니는 상기 이송로를 통해 상기 상압 챔버의 직하부에 장착되어 기상 폴리머를 자연 대류에 의해 이송하는 것을 특징으로 하는 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 증착부는 진공 증착부로서, 유연 기판이 이송되며 내부에 상기 샤워 헤드가 장착되는 진공 챔버(140), 상기 진공 챔버를 가열하는 챔버 가열기 및 상기 진공 챔버 내부를 진공으로 조성하는 진공수단(200)을 포함하되, 상기 진공수단은 진공펌프(210), 상기 진공펌프와 상기 진공 챔버(140)를 연결하는 진공관(220) 및 상기 진공관을 가열하는 진공관 가열기를 포함하는 것을 특징으로 하는 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 도가니(110)는 상기 진공 챔버의 하부가 아닌 곳에 배치되며 내부에 상기 진공 챔버와 상기 이송로를 통해 연결되며 상부가 상기 도가니의 천정으로부터 이격되어 상기 도가니 내부의 기상 폴리머를 상기 이송로에 유도하는 이송관(122)이 포함되는 것을 특징으로 하는 다양한 가열 온도 조정을 통한 기상 폴리머의 기판 증착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005113221A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Lintec Co Ltd 気化器並びにこれを用いた液体気化供給装置
KR100521697B1 (ko) * 2003-12-04 2005-10-14 한국전자통신연구원 시간 분할 급속 가열 폴리머 박막 증착 장치 및 방법
KR20080098813A (ko) * 2007-05-07 2008-11-12 주식회사 에이디피엔지니어링 캐니스터 온도조절장치, 유기물 공급라인 및 이를 이용한유기물 증착장치

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