KR101532110B1 - 유리 용착 방법 - Google Patents

유리 용착 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101532110B1
KR101532110B1 KR1020107022466A KR20107022466A KR101532110B1 KR 101532110 B1 KR101532110 B1 KR 101532110B1 KR 1020107022466 A KR1020107022466 A KR 1020107022466A KR 20107022466 A KR20107022466 A KR 20107022466A KR 101532110 B1 KR101532110 B1 KR 101532110B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
layer
heat conductor
glass layer
glass member
Prior art date
Application number
KR1020107022466A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110021726A (ko
Inventor
사토시 마츠모토
Original Assignee
하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 filed Critical 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
Publication of KR20110021726A publication Critical patent/KR20110021726A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101532110B1 publication Critical patent/KR101532110B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06Joining glass to glass by processes other than fusing
    • C03C27/10Joining glass to glass by processes other than fusing with the aid of adhesive specially adapted for that purpose
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/20Bonding
    • B23K26/32Bonding taking account of the properties of the material involved
    • B23K26/324Bonding taking account of the properties of the material involved involving non-metallic parts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/02Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
    • C03C17/04Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass by fritting glass powder
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0025Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam

Abstract

용착 예정 영역을 따르도록 유리 부재(4)와 열전도체(7) 사이에 유리층(3)을 배치한다. 유리층(3)은 열전도체(7)를 핫 플레이트로 하여 페이스트층으로부터 유기용제 및 바인더를 제거함으로써 형성된 것이다. 그 후, 열전도체(7)를 히트 싱크로 하여 레이저 광(L1)을 조사함으로써 유리층(3)을 용융시켜 유리 부재(4)에 유리층(3)을 달구어 붙여 정착시킨다. 그 후, 유리층(3)이 달구어 붙여진 유리 부재(4)에 대해 유리층(3)을 통하여 다른 유리 부재를 겹쳐 맞춘다. 그리고, 레이저 광을 용착 예정 영역을 따라서 조사함으로써 유리 부재끼리를 용착한다.

Description

유리 용착 방법{GLASS WELDING METHOD}
본 발명은 유리 부재끼리를 용착하여 유리 용착체를 제조하는 유리 용착 방법에 관한 것이다.
상기 기술 분야에서의 종래의 유리 용착 방법으로서, 레이저 광 흡수성 안료를 포함하는 유리층을 용착 예정 영역을 따르도록 한 쪽의 유리 부재에 달구어 붙인 후, 그 유리 부재에 유리층을 통하여 다른 쪽의 유리 부재를 겹쳐 맞추고, 용착 예정 영역을 따라서 레이저 광을 조사함으로써 한 쪽의 유리 부재와 다른 쪽의 유리 부재를 용착하는 방법이 알려져 있다.
그런데, 유리 부재에 유리층을 달구어 붙이는 기술(燒付)로는, 유리 프리트(frit), 레이저 광 흡수성 안료, 유기용제 및 바인더를 포함하는 페이스트층으로부터 건조 로(爐) 및 가열 로(爐) 각각에서 유기용제 및 바인더를 제거함으로써 유리 부재에 유리층을 고착시킨 후, 유리층이 고착된 유리 부재를 소성 로(爐) 내에서 가열함으로써 유리층을 용융시켜 유리 부재에 유리층을 달구어 붙이는 기술이 일반적이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
이에 대해, 소성 로의 사용에 의한 소비 에너지의 증대 및 달구어 붙임 시간의 장시간화를 억제한다는 관점(즉, 고효율화라는 관점)으로부터 유리 부재에 고착된 유리층에 레이저 광을 조사함으로써 유리층을 용융시켜 유리 부재에 유리층을 달구어 붙이는 기술이 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
일본 특표 2006-524419호 공보 일본 특개 2002-366050호 공보
그렇지만, 유리 부재에 대한 유리층의 달구어 붙임을 레이저 광의 조사에 의해서 실시하면, 달구어 붙일 때나 그 후의 유리 부재끼리의 용착시에 유리 부재에 크랙이 생기는 등 유리 부재가 파손하는 일이 있었다. 또, 건조 로 및 가열 로의 미사용에 따른 추가적인 고효율화가 요구되고 있었다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 유리 부재의 파손을 방지하여, 효율적으로 유리 부재끼리를 용착할 수 있는 유리 용착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는 상기 목적을 달성하기 위해서 열심히 검토를 거듭한 결과, 레이저 광의 조사에 의해 유리층을 달구어 붙이는 것이 유리 부재의 파손에 관련되는 것은, 도 12에 나타낸 바와 같이 달구어 붙일 때에 유리층의 온도가 융점(Tm)을 넘으면 유리층의 레이저 광 흡수율이 급격하게 높아지는 것에 기인하고 있다는 것을 알아냈다. 즉 유리 부재에 고착된 유리층에 있어서는 바인더의 제거에 의한 공극이나 유리 프리트의 입자성에 의해서 레이저 광 흡수성 안료의 흡수 특성을 상회하는 광 산란이 일어나 레이저 광 흡수율이 낮은 상태로 되어 있다(예를 들면, 가시광에서 흰 빛을 띠게 보인다). 따라서, 도 13에 나타낸 바와 같이 유리층의 온도가 융점(Tm)보다도 높고, 또한 결정화 온도(Tc)보다도 낮은 온도(Tp)가 되도록 레이저 파워(P)로 레이저 광을 조사하면, 유리 프리트의 용융에 의해서 공극이 메워짐과 동시에 입자성이 무너지기 때문에 레이저 광 흡수성 안료의 흡수 특성이 현저하게 나타나 유리층의 레이저 광 흡수율이 급격하게 높아진다(예를 들면, 가시광에서 검은 빛을 띠게 보인다). 이것에 의해, 유리층에 있어서 상정 이상의 레이저 광의 흡수가 일어나 입열 과다에 의한 열 쇼크(heat shock)로 유리 부재에 크랙이 생기는 것이다. 또, 레이저 파워(P)로의 레이저 광의 조사에 의해서, 실제로는 도 13에 나타낸 바와 같이 유리층의 온도가 결정화 온도(Tc)보다도 높은 온도(Ta)에 이른다. 유리층에서 달구어 붙이는 대상인 유리 부재와 반대 측에 위치하는 부분(즉, 유리층에서 용착 대상인 유리 부재측에 위치하는 부분)이 입열 과다에 의해서 결정화하면, 그 부분의 융점이 높아진다. 그 때문에, 그 후의 유리 부재끼리의 용착시에, 유리층에서 용착 대상인 유리 부재 측에 위치하는 부분을 용융시키기 위해 레이저 파워를 높게 하여 레이저 광을 조사하는 것이 필요해져, 달구어 붙일 때와 마찬가지로 입열 과다에 의한 열 쇼크로 유리 부재에 크랙이 생기는 것이다. 본 발명자는 이 지견에 근거해 재차 검토를 거듭해 본 발명을 완성시키기에 이르렀다. 또한, 유리층의 용융에 의해 유리층의 레이저 광 흡수율이 높아지는 경우에 있어서의 가시광 하에서의 유리층의 색 변화는 흰 빛을 띠는 상태에서 검은 빛을 띠는 상태로 변화하는 것으로 한정되지 않으며, 예를 들면 근적외 레이저 광용의 레이저 광 흡수성 안료 중에는 유리층이 용융하면 녹색을 나타내는 것도 존재한다.
즉, 본 발명에 관한 유리 용착 방법은 제 1 유리 부재와 제 2 유리 부재를 용착하여 유리 용착체를 제조하는 유리 용착 방법으로서, 유리 가루, 레이저 광 흡수재, 유기용제 및 바인더를 포함하는 페이스트층을 용착 예정 영역을 따르도록 열전도체에 형성하는 공정과, 열전도체를 핫 플레이트(hot plate)로 하여 페이스트층으로부터 유기용제 및 바인더를 제거함으로써 열전도체에 유리층을 형성하는 공정과, 유리층이 형성된 열전도체에 유리층을 통하여 제 1 유리 부재를 겹쳐 맞춤으로써 제 1 유리 부재와 열전도체 사이에 유리층을 배치하는 공정과, 열전도체를 히트 싱크(heat sink)로 하여 용착 예정 영역을 따라서 제 1 레이저 광을 조사함으로써 제 1 유리 부재와 열전도체 사이에 배치된 유리층을 용융시켜 제 1 유리 부재에 유리층을 정착시키는 공정과, 유리층이 정착된 제 1 유리 부재에 유리층을 통하여 제 2 유리 부재를 겹쳐 맞추고 용착 예정 영역을 따라서 제 2 레이저 광을 조사함으로써 제 1 유리 부재와 제 2 유리 부재를 용착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 유리 용착 방법에서는 용착 예정 영역을 따르도록 제 1 유리 부재와 열전도체 사이에 유리층을 배치한 후, 열전도체를 히트 싱크로 하여 제 1 레이저 광을 조사함으로써 유리층을 용융시켜 제 1 유리 부재에 유리층을 정착시킨다. 이 유리층의 정착시에는 유리층의 레이저 광 흡수율이 급격하게 높아지지만, 열전도체가 히트 싱크로서 유리층으로부터 열을 빼앗기 때문에 유리층이 입열 과다 상태로 되는 것이 억지된다. 이것에 의해, 제 1 레이저 광의 조사에 의해서 제 1 유리 부재에 유리층을 정착시켜도 유리층의 정착시나 그 후의 유리 부재끼리의 용착시에 유리 부재에 크랙이 생기는 등, 유리 부재가 파손하는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 열전도체를 핫 플레이트로 하여 페이스트층으로부터 유기용제 및 바인더를 제거함으로써 유리층을 형성하기 때문에, 건조 로 및 가열 로의 사용에 의한 소비 에너지의 증대를 억제할 수 있다. 따라서, 이 유리 용착 방법에 의하면, 유리 부재의 파손을 방지하여 효율적으로 유리 부재끼리를 용착하는 것이 가능해진다.
본 발명에 관한 유리 용착 방법에 있어서는 열전도체의 열전도율은 유리 가루의 열전도율보다도 높은 것이 바람직하다. 이 경우, 열전도체를 핫 플레이트로 하여 효율적으로 유리층에 열을 주는 것이 가능해지고, 또 열전도체를 히트 싱크로 하여 효율적으로 유리층으로부터 열을 빼앗는 것이 가능해진다. 이때, 열전도체의 열전도율은 제 1 유리 부재의 열전도율보다도 높은 것이 보다 바람직하다. 이 경우, 열전도체를 핫 플레이트로 하여 보다 한층 효율적으로 유리층에 열을 주는 것이 가능해지고, 또 열전도체를 히트 싱크로 하여 보다 한층 효율적으로 유리층으로부터 열을 빼앗는 것이 가능해진다.
본 발명에 관한 유리 용착 방법에 있어서는 유리 가루와 열전도체의 선팽창 계수의 차이는 유리 가루와 제 1 유리 부재의 선팽창 계수의 차이보다도 큰 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 유리 부재에 유리층을 정착시켰을 때에 열전도체에 유리층이 고착되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 유리 용착 방법에 있어서는 제 1 레이저 광은 제 1 유리 부재 측으로부터 유리층에 조사되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 유리 부재와 유리층의 계면 부분이 충분히 가열되기 때문에, 제 1 유리 부재에 유리층을 강고하게 정착시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 유리 부재의 파손을 방지하여 효율적으로 유리 부재끼리를 용착할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 유리 용착 방법의 일 실시 형태에 의해서 제조된 유리 용착체의 사시도이다.
도 2는 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 3은 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 4는 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 5는 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 6은 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 7은 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 8은 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 9는 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 10은 도 1의 유리 용착체를 제조하기 위한 유리 용착 방법을 설명하기 위한 평면도 및 확대 종단면도이다.
도 11은 도 2 내지 도 8의 각 경우에서의 열전도체의 온도 이력을 나타내는 그래프이다.
도 12는 유리층의 온도와 레이저 광 흡수율의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 13은 레이저 파워와 유리층의 온도 관계를 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서, 도면을 참조해 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에서 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명에 관한 유리 용착 방법의 일 실시 형태에 의해서 제조된 유리 용착체의 사시도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 유리 용착체(1)는 용착 예정 영역(R)을 따라서 형성된 유리층(3)을 통하여 유리 부재(제 1 유리 부재)(4)와 유리 부재(제 2 유리 부재)(5)가 용착된 것이다. 유리 부재(4,5)는, 예를 들면 무알칼리 유리로 이루어진 두께 0.7㎜의 사각형 판 모양의 부재이며, 용착 예정 영역(R)은 유리 부재(4,5)의 바깥 테두리를 따라서 사각형 고리 모양으로 설정되어 있다. 유리층(3)은, 예를 들면 저융점 유리(바나듐 인산계 유리, 납붕산 유리 등)로 이루어지고, 용착 예정 영역(R)을 따라서 사각형 고리 모양으로 형성되어 있다.
다음에, 상술한 유리 용착체(1)를 제조하기 위한 유리 용착 방법에 대해서 설명한다. 또한, 도 2 내지 도 10에 있어서, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 확대 종단면도이다. 또, 도 11은 도 2 내지 도 8의 각 경우에서의 열전도체의 온도 이력을 나타내는 그래프이다.
우선 도 2에 나타낸 바와 같이, 알루미늄으로 이루어진 판 모양의 열전도체(7)를 준비한다. 열전도체(7)에는 전열선 등의 히터(8)가 매설되어 있다. 계속해서 도 3에 나타낸 바와 같이, 디스펜서나 스크린 인쇄 등에 의해서 프릿 페이스트를 도포함으로써 열전도체(7)의 표면(7a)(여기에서는, 연마면)에 페이스트층(6)을 매트릭스 모양으로 복수 형성한다. 프릿 페이스트는, 예를 들면 비정질의 저융점 유리(바나듐 인산계 유리, 납붕산 유리 등)로 이루어진 분말 모양의 유리 프릿(유리 가루)(2), 산화철 등의 무기 안료인 레이저 광 흡수성 안료(레이저 광 흡수재), 아세트산아밀 등인 유기용제 및 유리의 연화 온도 이하에서 열분해하는 수지 성분(아크릴 등)인 바인더를 혼련한 것이다. 각 페이스트층(6)은 유리 프릿(2), 레이저 광 흡수성 안료, 유기용제 및 바인더를 포함하고 있고, 용착 예정 영역(R)에 따르도록 사각형 고리 모양으로 형성되어 있다.
계속해서 도 4에 나타낸 바와 같이, 히터(8)를 작동시켜 열전도체(7)를 핫 플레이트로 하여 페이스트층(6)으로부터 유기용제를 제거하고, 아울러 바인더가 분해하는 온도까지 열전도체(7)의 온도를 상승시켜 바인더를 제거함으로써 열전도체(7)의 표면(7a)에 유리층(3)을 고착시킨다. 또한, 열전도체(7)의 표면(7a)에 고착된 각 유리층(3)은 바인더의 제거에 의한 공극이나 유리 프릿(2)의 입자성에 의해서 레이저 광 흡수성 안료의 흡수 특성을 상회하는 광 산란이 일어나 레이저 광 흡수율이 낮은 상태로 되어 있다(예를 들면, 가시광에서 흰 빛을 띠게 보인다).
계속해서 도 5에 나타낸 바와 같이, 히터(8)를 정지시키는 방법으로 팬(9)을 작동시켜 열전도체(7)를 상온(常溫) 정도의 온도로 냉각한다. 계속해서 도 6에 나타낸 바와 같이, 유리층(3)이 고착된 열전도체(7)의 표면(7a)에 유리층(3)을 통하여 유리 부재(4)(여기에서는, 각 유리층(3)에 대응하도록 매트릭스 모양으로 배치된 복수의 유리 부재(4)를 포함하는 기판)를 재치한다. 이것에 의해, 열전도체(7)에 유리층(3)을 통하여 유리 부재(4)가 겹쳐 맞춰지고, 유리 부재(4)와 열전도체(7) 사이에 유리층(3)이 배치된다.
계속해서 도 7에 나타낸 바와 같이, 열전도체(7)를 히트 싱크로 하여 유리층(3)에 집광 스포트를 맞추고 레이저 광(제 1 레이저 광)(L1)을 용착 예정 영역(R)을 따라서 조사한다. 이것에 의해, 유리 부재(4)와 열전도체(7) 사이에 배치된 유리층(3)이 용융·재고화하여 유리 부재(4)의 표면(4a)에 유리층(3)이 달구어 붙여진다. 또한, 유리 부재(4)의 표면(4a)에 달구어 붙여진 유리층(3)은 유리 프릿(2)의 용융에 의해서 공극이 메워짐과 동시에 입자성이 무너지기 때문에 레이저 광 흡수성 안료의 흡수 특성이 현저하게 나타나 레이저 광 흡수율이 높은 상태로 된다(예를 들면, 가시광에서 검은 빛을 띠게 보인다). 또, 유리 부재(4)의 표면(4a)에 달구어 붙여진 유리층(3)은 열전도체(7) 측의 표면(3a)이 평탄화될 뿐더러, 유리 부재(4) 측의 표면(3b)의 요철도 평탄화된 상태로 된다.
이 유리층(3)을 달구어 붙일 때에는 열전도체(7)가 히트 싱크로서 유리층(3)으로부터 열을 빼앗기 때문에 유리층(3)이 입열 과다 상태로 되는 것이 억지된다. 이때, 열전도체(7)가 알루미늄으로부터 되어 있어 유리 프릿(2)의 열전도율 및 유리 부재(4)의 열전도율보다도 열전도체(7)의 열전도율이 높아지고 있기 때문에 유리층(3)으로부터 열전도체(7)로의 방열이 극히 효율적으로 행해진다.
또, 유리 프릿(2)과 유리 부재(4)의 선팽창 계수의 차이보다도 유리 프릿(2)과 열전도체(7)의 선팽창 계수의 차이가 커지고 있기 때문에, 유리층(3)을 달구어 붙일 때에 열전도체(7)의 표면(7a)에 유리층(3)이 고착되는 일이 없다. 이것으로부터 유리 프릿(2)과 열전도체(7)의 선팽창 계수의 차이는 보다 커지는 것이 바람직하기는 하지만, 바나듐 인산계 유리(선팽창 계수: 7.0×10-6/K)나 납붕산 유리(선팽창 계수: 13×10-6/K)로 이루어진 유리 프릿(2)에 대해서는, 알루미늄(선팽창 계수: 23×10-6/K) 외에 스텐레스강(선팽창 계수: 17.3×10-6/K)이나 구리(선팽창 계수: 16.8×10-6/K)로 이루어진 열전도체(7)를 이용할 수 있다.
유리층(3)을 달구어 붙임에 이어서, 도 8에 나타낸 바와 같이 유리층(3)이 달구어 붙여진 유리 부재(4)를 픽업한다. 계속해서 도 9에 나타낸 바와 같이, 유리층(3)이 달구어 붙여진 유리 부재(4)에 대해, 유리층(3)을 통하여 유리 부재(5)(여기에서는 각 유리층(3)에 대응하도록 매트릭스 모양으로 배치된 복수의 유리 부재(5)를 포함하는 기판)를 겹쳐 맞춘다. 이때, 유리층(3)의 표면(3a)이 평탄화되어 있기 때문에, 유리 부재(5)의 표면(5a)이 유리층(3)의 표면(3a)에 틈새 없게 접촉한다.
이 상태에서 유리층(3)에 집광 스포트를 맞추고 레이저 광(제 2 레이저 광)(L2)을 용착 예정 영역(R)을 따라서 조사한다. 이것에 의해, 레이저 광 흡수율이 높은 상태로 되어 있는 유리층(3)에 레이저 광(L2)이 흡수되어 유리층(3) 및 그 주변 부분(유리 부재(4,5)의 표면(4a,5a) 부분)이 용융·재고화하여 유리 부재(4)와 유리 부재(5)가 용착된다. 이때, 유리 부재(5)의 표면(5a)이 유리층(3)의 표면(3a)에 틈새 없게 접촉하고 있기 때문에 유리 부재(4)와 유리 부재(5)가 용착 예정 영역(R)을 따라서 균일하게 용착된다.
계속해서 도 10에 나타낸 바와 같이, 각 유리층(3)에 대응하도록 매트릭스 모양으로 배치된 복수의 유리 부재(4,5)를 포함하는 기판을 절단 예정 라인(10)을 따라서 절단하여 복수의 유리 용착체(1)를 얻는다. 여기서, 절단 예정 라인(10)은 매트릭스 모양으로 배치된 복수의 유리층(3)마다(즉, 용착 예정 영역(R)마다) 설정된 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 유리 용착체(1)를 제조하기 위한 유리 용착 방법에 있어서는 용착 예정 영역(R)에 따르도록 유리 부재(4)와 열전도체(7) 사이에 유리층(3)을 배치한 후, 열전도체(7)를 히트 싱크로 하여 레이저 광(L1)을 조사함으로써 유리층(3)을 용융시켜 유리 부재(4)에 유리층(3)을 달구어 붙여 정착시킨다. 이 유리층(3)을 달구어 붙일 때에는 유리층(3)의 레이저 광 흡수율이 급격하게 높아지지만, 열전도체(7)가 히트 싱크로서 유리층(3)으로부터 열을 빼앗기 때문에 유리층(3)이 입열 과다 상태로 되는 것이 억지된다. 이것에 의해, 유리 부재(4)에 대한 유리층(3)의 달구어 붙임을 레이저 광(L1)의 조사에 의해 실시해도 유리층(3)을 달구어 붙일 때에 입열 과다에 의한 열 쇼크로 유리 부재(4,5)에 크랙이 생기는 것을 방지할 수 있다. 또한, 유리층(3)을 달구어 붙일 때에 유리층(3)의 표면(3a) 부분(즉, 유리층(3)에서 용착 대상인 유리 부재(5) 측에 위치하는 부분)이 입열 과다에 의해 결정화하는 일이 없고, 따라서 그 부분의 융점이 높아질 일도 없다. 이 때문에, 그 후의 유리 부재(4,5)끼리의 용착시에 유리층(3)의 표면(3a) 부분을 용융시키기 위해 레이저 파워를 높게 해 레이저 광(L2)을 조사하는 것이 불필요해져 유리층(3)을 달구어 붙일 때와 마찬가지로 입열 과다에 의한 열 쇼크로 유리 부재(4,5)에 크랙이 생기는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상술한 유리 용착 방법에 의하면, 유리 부재(4,5)의 파손을 방지하여 효율적으로 유리 부재(4,5)끼리를 용착하는 것이 가능해진다.
또, 상술한 유리 용착 방법에 있어서는 열전도체(7)를 핫 플레이트로 하여 페이스트층(6)으로부터 유기용제 및 바인더를 제거함으로써 유리층(3)을 형성한다. 이 때문에, 건조 로 및 가열 로의 사용에 의한 소비 에너지의 증대를 억제할 수 있는 동시에, 건조 로 및 가열 로의 사용에 의한 유리 부재(4,5)의 크기의 제한을 자유화할 수 있다.
또, 상술한 유리 용착 방법에 있어서는 레이저 광(L1)이 유리 부재(4) 측으로부터 유리층(3)에 조사된다. 이 때문에, 유리 부재(4)와 유리층(3)의 계면 부분이 충분히 가열된다. 따라서, 유리 부재(4)에 유리층(3)을 강고하게 달구어 붙여 정착시킬 수 있다. 게다가, 유리층(3)에서 용착 대상인 유리 부재(5) 측에 위치하는 부분(유리층(3)의 표면(3a) 부분)이 입열 과다에 의해서 결정화하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 유리층(3)을 달구어 붙일 때에는 레이저 광(L1)의 조사에 의해서 유리층(3)에서 달구어 붙이는 대상인 유리 부재(4) 측에 위치하는 부분을 결정화시켜도 된다. 또, 유리 부재(4,5)끼리의 용착시에는 레이저 광(L2)의 조사에 의해서 유리층(3)에서 용착 대상인 유리 부재(5) 측에 위치하는 부분(유리층(3)의 표면(3a) 부분)을 결정화시켜도 된다. 최종적으로 유리층(3)을 결정화시키면 유리 용착체(1)에서 유리층(3)의 선팽창 계수가 작아지기 때문이다.
그런데, 유기 EL 패키지 등에 있어서는 용기 자체가 소형이기 때문에, 보다 박형화된 유리 부재(4,5)가 사용되는 것으로부터, 유리 부재(4,5)의 재료로는 깨짐을 일으키기 어렵게 하기 위해 저팽창 유리가 선택되는 경우가 많다. 이때, 유리층(3)의 선팽창 계수를 유리 부재(4,5)의 선팽창 계수와 맞추기 위해서(즉, 유리층(3)의 선팽창 계수를 낮게 하기 위해서), 세라믹스 등으로 이루어진 필러를 유리층(3)에 다량으로 함유시킨다. 유리층(3)에 필러를 다량으로 함유시키면, 레이저 광(L1)의 조사 전후에 유리층(3)의 레이저 광 흡수율이 보다 한층 크게 변화하게 된다. 따라서, 상술한 유리 용착 방법은 유리 부재(4,5)의 재료로서 저팽창 유리를 선택하는 경우에 특히 유효하다.
본 발명은 상술한 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 레이저 광(L1)에 대해서 투과성을 가지는 재료로 이루어진 열전도체(7)를 이용하여 유리 부재(4)와 반대측으로부터 열전도체(7)를 통하여 유리층(3)에 레이저 광(L1)을 조사해도 된다.
산업상의 이용 가능성
본 발명에 의하면, 유리 부재의 파손을 방지하여 효율적으로 유리 부재끼리를 용착할 수 있다.
1…유리 용착제, 2…유리 프릿(유리 가루), 3…유리층, 4…유리 부재(제 1 유리 부재), 5…유리 부재(제 2 유리 부재), 6…페이스트층, 7…열전도체, R…용착 예정 영영, L1…레이저 광(제 1 레이저 광), L2…레이저 광(제 2 레이저 광)

Claims (10)

  1. 제 1 유리 부재와 제 2 유리 부재를 용착하여 유리 용착체를 제조하는 유리 용착 방법으로서,
    유리 가루, 레이저 광 흡수재, 유기용제 및 바인더를 포함하는 페이스트층을 용착 예정 영역을 따르도록 열전도체에 형성하는 공정과,
    상기 열전도체를 핫 플레이트(hot plate)로 하여 상기 페이스트층으로부터 상기 유기용제 및 상기 바인더를 제거함으로써 상기 열전도체에 유리층을 형성하는 공정과,
    상기 유리층이 형성된 상기 열전도체에 상기 유리층을 통하여 상기 제 1 유리 부재를 겹쳐 맞춤으로써 상기 제 1 유리 부재와 상기 열전도체 사이에 상기 유리층을 배치하는 공정과,
    상기 열전도체를 히트 싱크(heat sink)로 하여 상기 용착 예정 영역을 따라서 제 1 레이저 광을 조사함으로써 상기 제 1 유리 부재와 상기 열전도체 사이에 배치된 상기 유리층을 용융시켜 상기 제 1 유리 부재에 상기 유리층을 정착시키는 공정과,
    상기 유리층이 정착된 상기 제 1 유리 부재에 상기 유리층을 통하여 상기 제 2 유리 부재를 겹쳐 맞추고, 상기 용착 예정 영역을 따라서 제 2 레이저 광을 조사함으로써 상기 제 1 유리 부재와 상기 제 2 유리 부재를 용착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 용착 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 열전도체의 열전도율은 상기 유리 가루의 열전도율보다도 높은 것을 특징으로 하는 유리 용착 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 열전도체의 열전도율은 상기 제 1 유리 부재의 열전도율보다도 높은 것을 특징으로 하는 유리 용착 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 유리 가루와 상기 열전도체의 선팽창 계수의 차이는 상기 유리 가루와 상기 제 1 유리 부재의 선팽창 계수의 차이보다도 큰 것을 특징으로 하는 유리 용착 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 레이저 광은 상기 제 1 유리 부재측으로부터 상기 유리층에 조사되는 것을 특징으로 하는 유리 용착 방법.
  6. 제 1 유리 부재에 유리층을 정착시키는 유리층 정착 방법으로서,
    유리 가루, 레이저 광 흡수재, 유기용제 및 바인더를 포함하는 페이스트층을 용착 예정 영역을 따르도록 열전도체에 형성하는 공정과,
    상기 열전도체를 핫 플레이트로 하여 상기 페이스트층으로부터 상기 유기용제 및 상기 바인더를 제거함으로써 상기 열전도체에 상기 유리층을 형성하는 공정과,
    상기 유리층이 형성된 상기 열전도체에 상기 유리층을 통하여 상기 제 1 유리 부재를 겹쳐 맞춤으로써 상기 제 1 유리 부재와 상기 열전도체 사이에 상기 유리층을 배치하는 공정과,
    상기 열전도체를 히트 싱크로 하여 상기 용착 예정 영역을 따라서 제 1 레이저 광을 조사함으로써 상기 제 1 유리 부재와 상기 열전도체 사이에 배치된 상기 유리층을 용융시켜 상기 제 1 유리 부재에 상기 유리층을 정착시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리층 정착 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 열전도체의 열전도율은 상기 유리 가루의 열전도율보다도 높은 것을 특징으로 하는 유리층 정착 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 열전도체의 열전도율은 상기 제 1 유리 부재의 열전도율보다도 높은 것을 특징으로 하는 유리층 정착 방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 유리 가루와 상기 열전도체의 선팽창 계수의 차이는 상기 유리 가루와 상기 제 1 유리 부재의 선팽창 계수의 차이보다도 큰 것을 특징으로 하는 유리층 정착 방법.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 제 1 레이저 광은 상기 제 1 유리 부재측으로부터 상기 유리층에 조사되는 것을 특징으로 하는 유리층 정착 방법.
KR1020107022466A 2008-05-26 2009-05-11 유리 용착 방법 KR101532110B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2008-136841 2008-05-26
JP2008136841A JP5308717B2 (ja) 2008-05-26 2008-05-26 ガラス溶着方法
PCT/JP2009/058753 WO2009145044A1 (ja) 2008-05-26 2009-05-11 ガラス溶着方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110021726A KR20110021726A (ko) 2011-03-04
KR101532110B1 true KR101532110B1 (ko) 2015-06-26

Family

ID=41376930

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020107022466A KR101532110B1 (ko) 2008-05-26 2009-05-11 유리 용착 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8863553B2 (ko)
JP (1) JP5308717B2 (ko)
KR (1) KR101532110B1 (ko)
CN (1) CN102046556B (ko)
DE (1) DE112009001296T5 (ko)
TW (1) TWI504461B (ko)
WO (1) WO2009145044A1 (ko)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5308717B2 (ja) 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5308718B2 (ja) * 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5535654B2 (ja) * 2008-06-11 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
KR101665727B1 (ko) * 2008-06-11 2016-10-12 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 유리 용착 방법
JP5535653B2 (ja) * 2008-06-23 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5481167B2 (ja) * 2009-11-12 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5535590B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5525246B2 (ja) * 2009-11-25 2014-06-18 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481173B2 (ja) * 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535589B2 (ja) * 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5466929B2 (ja) * 2009-11-25 2014-04-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481172B2 (ja) 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535588B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5567319B2 (ja) 2009-11-25 2014-08-06 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535767B2 (ja) * 2010-05-28 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5882114B2 (ja) * 2012-04-09 2016-03-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
KR102102955B1 (ko) 2013-08-12 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005213125A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Futaba Corp 電子管と電子管の気密容器の製造方法
KR20050084160A (ko) * 2002-12-05 2005-08-26 니혼 이타가라스 가부시키가이샤 진공 유리 패널의 제조 방법, 및 이 제조 방법에 의해제조된 진공 유리 패널
KR20060005369A (ko) * 2003-04-16 2006-01-17 코닝 인코포레이티드 프릿으로 기밀 밀봉된 유리 패키지 및 이의 제조방법
JP2008115057A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Electric Power Dev Co Ltd 封止材料、ガラスパネルの製造方法および色素増感太陽電池

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3663793A (en) * 1971-03-30 1972-05-16 Westinghouse Electric Corp Method of decorating a glazed article utilizing a beam of corpuscular energy
US4343833A (en) * 1979-06-26 1982-08-10 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method of manufacturing thermal head
JPH02120259A (ja) * 1988-10-28 1990-05-08 Toshiba Corp ガラスの封止接合体およびその製造方法
JP2002366050A (ja) 2001-06-12 2002-12-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像表示装置の製造方法、製造装置およびそれを用いて製造した画像表示装置
US20040206953A1 (en) 2003-04-16 2004-10-21 Robert Morena Hermetically sealed glass package and method of fabrication
JP4202836B2 (ja) 2003-06-17 2008-12-24 浜松ホトニクス株式会社 レーザ溶接方法およびレーザ溶接装置
US20050103755A1 (en) * 2003-11-13 2005-05-19 Baker Martin C. Hand-held laser welding wand reflection shield
US7371143B2 (en) * 2004-10-20 2008-05-13 Corning Incorporated Optimization of parameters for sealing organic emitting light diode (OLED) displays
US20070001579A1 (en) 2005-06-30 2007-01-04 Eun-Suk Jeon Glass-to-glass joining method using laser, vacuum envelope manufactured by the method, electron emission display having the vacuum envelope
TWI327757B (en) 2005-12-06 2010-07-21 Corning Inc System and method for frit sealing glass packages
US7537504B2 (en) * 2005-12-06 2009-05-26 Corning Incorporated Method of encapsulating a display element with frit wall and laser beam
KR100671647B1 (ko) * 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
KR100732808B1 (ko) * 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100713987B1 (ko) 2006-02-20 2007-05-04 삼성에스디아이 주식회사 기판 밀착장치 및 이를 이용한 유기전계발광 표시장치의밀봉방법
JP2008115067A (ja) 2006-11-07 2008-05-22 Lemi Ltd フラットパネルディスプレィ薄板の割断方法
US7800303B2 (en) 2006-11-07 2010-09-21 Corning Incorporated Seal for light emitting display device, method, and apparatus
JP2008127223A (ja) 2006-11-17 2008-06-05 Lemi Ltd フラットパネルディスプレィ薄板の割断方法
JP5308718B2 (ja) * 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5308717B2 (ja) 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
US7992411B2 (en) * 2008-05-30 2011-08-09 Corning Incorporated Method for sintering a frit to a glass plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050084160A (ko) * 2002-12-05 2005-08-26 니혼 이타가라스 가부시키가이샤 진공 유리 패널의 제조 방법, 및 이 제조 방법에 의해제조된 진공 유리 패널
KR20060005369A (ko) * 2003-04-16 2006-01-17 코닝 인코포레이티드 프릿으로 기밀 밀봉된 유리 패키지 및 이의 제조방법
JP2005213125A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Futaba Corp 電子管と電子管の気密容器の製造方法
JP2008115057A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Electric Power Dev Co Ltd 封止材料、ガラスパネルの製造方法および色素増感太陽電池

Also Published As

Publication number Publication date
TWI504461B (zh) 2015-10-21
CN102046556B (zh) 2013-06-12
DE112009001296T5 (de) 2011-04-07
CN102046556A (zh) 2011-05-04
WO2009145044A1 (ja) 2009-12-03
JP2009280469A (ja) 2009-12-03
US8863553B2 (en) 2014-10-21
TW201000240A (en) 2010-01-01
JP5308717B2 (ja) 2013-10-09
US20110061789A1 (en) 2011-03-17
KR20110021726A (ko) 2011-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101532110B1 (ko) 유리 용착 방법
KR101387838B1 (ko) 유리 용착 방법
KR101651300B1 (ko) 유리 용착 방법
JP5140201B2 (ja) ガラス層定着方法
JP5535589B2 (ja) ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
TWI402127B (zh) Glass welding method and glass layer fixation method
KR20110036527A (ko) 유리 용착 방법
JP5244077B2 (ja) ガラス層定着方法
JP5264683B2 (ja) ガラス層定着方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180530

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190530

Year of fee payment: 5