KR101531177B1 - 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치 - Google Patents

플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101531177B1
KR101531177B1 KR1020140169600A KR20140169600A KR101531177B1 KR 101531177 B1 KR101531177 B1 KR 101531177B1 KR 1020140169600 A KR1020140169600 A KR 1020140169600A KR 20140169600 A KR20140169600 A KR 20140169600A KR 101531177 B1 KR101531177 B1 KR 101531177B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transparent electrode
flexible transparent
specimen
flexible
tester
Prior art date
Application number
KR1020140169600A
Other languages
English (en)
Inventor
이상덕
이강섭
이영석
Original Assignee
(주)원텍코리아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)원텍코리아 filed Critical (주)원텍코리아
Priority to KR1020140169600A priority Critical patent/KR101531177B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101531177B1 publication Critical patent/KR101531177B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/20—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady bending forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

본 발명은 플렉시블 투명전극 시편의 양측을 클램핑하여 액츄에이터의 작동에 의해 플렉시블 투명전극 시편에 반복적으로 인장과 압축 및 밴딩과 같은 기계적 변형을 가하는 시험기; 상기 시험기에 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편에 전류 및 전압을 가하여 상기 인장과 압축 및 벤딩과 같은 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항값을 실시간으로 측정하고 저장하는 계측기; 및 상기 시험기와 계측기를 전기적으로 연결하고 그 작동을 제어하는 제어부를 포함하여 플렉시블 투명전극 시편의 기계적 변형과 전기적 특성을 동시에 측정하기 위한 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명은 플렉시블 투명전극 시편에 인장과 벤딩(bending)과 같은 기계적 변형을 가해 재료적 특성을 파악하고, 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항을 실시간 계측하여 그 데이터를 자동저장함에 따라 플렉시블 투명전극 시편의 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 실시간으로 측정하고 저장할 수 있는 효과가 있다.

Description

플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치{Foldable tester device of flexible transparent electrode specimen}
본 발명은 폴더블(벤딩) 테스터(Foldable tester)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편(flexible transparent electrode specimen)에 인장과 압축 및 벤딩(bending)과 같은 기계적 변형을 가해 재료적 특성을 파악하고, 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항값을 실시간 계측하여 그 데이터를 자동저장함에 따라 플렉시블 투명전극의 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 실시간으로 측정하고 저장할 수 있는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치에 관한 것이다.
일반적으로 제품이 일상 생활에 깊숙이 침투하기 시작하면서 플라즈마(PDP), 액정(LCD), 유기발광다이오드(OLED) 등 첨단 디스플레이에 대한 소비자들의 관심이 무척 높아지고 있다. 이 때문에 개발업체들은 최첨단 디스플레이 기술 개발에 치열한 경쟁을 펼치고 있으며, 현재까지는 고화질, 초슬림, 초경량의 디스플레이가 기술 경쟁의 핵심이 되고 있으나 이제는 휘는 디스플레이 연구개발에도 박차를 가하고 있다. 여기서 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)라고 부르는 이 기술은 플라스틱 등 휠 수 있는 기판에 만들어진 평판 디스플레이로 우수한 화면표시 특성을 그대로 지니면서 구부리거나 두루마리 형태로 둘둘 말 수 있는 편리함 때문에 차세대 평판 디스플레이의 총아로 떠오르고 있다.
플렉시블 디스플레이는 기존의 LCD나 OLED에서 액정을 싸고 있는 유리로 된 기판을 플라스틱 필름으로 대체함으로써 유리기판을 사용하는 LCD나 OLED에 비해 얇고 가볍고 충격에도 강한 유연성을 갖고 있다. 특히 백라이트가 없는 OLED 플렉시블 디스플레이는 그 형태를 구부리거나 두루마리 형태로 가변되기 때문에 기계적 변형에 따른 발광소자의 전기적 및 광학적 특성이 매우 중요함으로 다양한 역학과 연관된 광학특성 실험이 요구된다.
이런 OLED 플렉시블 디스플레이는 플라스틱 필름상에 투명한 전도층(이하, '투명전극' 이라 함; ITO)을 형성하고 상기 투명전극이 전극으로서 작동하도록 하는 구조를 가지도록 제작되어지고, 상기 투명전극 상에는 다양한 유기물층이 증착되고 상기 유기물층은 일반적으로 수 10㎚ 범위의 매우 얇은 두께를 가지며, 여기에 일반적으로 금속으로 이루어진 반대편 전극의 결합과 이의 봉합에 의하여 표시장치(Display)가 완성된다. 이런 OLED에서 요구되는 투명전극의 특성은 전압구동형인 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 그 요구특성이 매우 까다롭다. 즉, 전기저항은 LCD에서 요구되는 저항값 중 가장 낮은 전기 면저항인 10ohm/sq. 정도의 값을 가져야 하며, 동시에 투과율은 최소 85% 수준이 유지되어야 하고, 표면의 거칠기가 Rp-v(피크(peak)와 밸리(vally) 의 높이차로 나타낸 표면 조도 값)값 기준으로 현재의 20 ~ 30nm 수준인 LCD와 달리 유기물층의 전기적 특성에 영향을 미치지 않는 10nm 이하로 낮아져야 한다.
그러나, 이런 OLED 플렉시블 디스플레이 내부에 장착되는 상기 플렉시블 투명전극은 플렉시블에 따른 회로의 단락이나 누설전류 및 전기저항이나 내부소자의 특성을 떨어뜨리는 결함이 해결되어야 하므로 미리 이에 따른 플렉시블에 따른 기계적인 테스트와 전기적인 테스트가 이루어져야 하나 현실적으로는 광학적인 테스트만으로 대신하는 문제점이 있었다.
(1) 대한민국 특허 등록번호 제10-0970204호)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편에 인장과 압축 및 벤딩(bending)과 같은 기계적 변형을 가해 재료적 특성을 파악하고, 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항값을 실시간 계측하여 그 데이터를 자동저장함에 따라 플렉시블 투명전극의 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 실시간으로 측정하고 저장할 수 있는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 플렉시블 투명전극 시편의 양측단부를 클램핑하여 액츄에이터의 작동에 의해 플렉시블 투명전극 시편에 반복적으로 인장 및 밴딩과 같은 기계적 변형을 가하는 시험기;
상기 시험기에 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편에 전류 및 전압을 가하여 상기 인장, 압축 및 벤딩과 같은 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항 및 전류값을 실시간으로 측정하고 저장하는 계측기; 및
상기 시험기와 계측기를 전기적으로 연결하고 그 작동을 제어하는 제어부를 포함하여 플렉시블 투명전극 시편의 기계적 변형과 전기적 특성을 동시에 측정하기 위한 특징이 있다.
상기 시험기는, 상판에 설치되어 일측에 모터풀리를 갖고 상기 제어부에 의해 동작되는 구동모터; 상기 상판 중심측에서 수직설치된 수직격판에 회전가능하게 축설치되고 일측에 상기 구동모터의 모터풀리에 동력연결되는 스크류풀리가 형성되고 중심을 기준으로 좌우측으로 각각 스크류방향이 다른 좌측스크류부와 우측스크류부가 형성된 정역회전분할스크류; 상기 수직격판의 상하부에 각각 수평으로 설치된 상하부가이드에 결합되어 좌우측으로 슬라이딩이동되는 판체로 하부에는 상기 정역회전분할스크류의 좌우측스크류부에 볼너트를 갖는 서포트유닛로 각각 슬라이딩 가능하게 결합되는 좌우측이동대; 상기 좌우측이동대에 각각 결합되어 플렉시블 투명전극 시편을 클램핑하는 좌우측클램핑장치; 및 상기 좌우측클램핑장치의 상하부에 각각 위치되어 좌우측클램핑장치에 고정된 플렉시블 투명전극 시편으로 선택적으로 에어를 압출하는 상하부에어블로워를 포함하는 특징이 있다.
상기 구동모터로는 스텝핑모터 또는 서보모터 중 어느 하나를 선택적으로 사용하는 특징이 있다.
상기 좌우측클램핑장치는, 판체로 선단이 상기 좌우측이동대에 고정결합되고 상면에 탄발스프링이 감싸는 앵커볼트가 상부로 수직기립되는 좌우측하부수평판; 판체로 상기 좌우측하부수평판 상면에 안착되어 상기 앵커볼트가 상부로 돌출되는 볼트공을 갖고 볼트공을 통해 상부로 돌출된 앵커볼트에 나사결합되는 클램프노브에 의해 좌우측하부수평판에 고정 또는 분리되는 좌우측상부수평판을 포함하여서 이루어지는 특징이 있다.
상기 좌우측클램핑장치는, 판체로 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판의 내측단 상하부에 수직으로 각각 위치되어 상기 좌우측이동대에 고정설치된 좌우측개폐고정수단에 의해 개폐되어 상기 플렉시블 투명전극 시편을 클램핑하는 좌측상하부개폐수직판과 우측상하부개폐수직판을 더 포함하는 특징이 있다.
상기 좌우측개폐고정수단으로는 클램프 노브장치나 모터 또는 실린더 중 어느 하나를 선택적으로 사용하는 특징이 있다.
상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 있는 경우에는, 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴에 대응되어 접촉통전되는 전극이 형성되고 타측에는 전극과 연결되는 컨넥터가 형성되며 컨넥터는 상기 좌우측상부수평판 또는 좌우측하부수평판 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공을 통해 외부로 돌출되어 상기 계측기와 연결되는 좌우측통전가이드가 더 포함된 상태에서 상기 패턴을 갖는 플렉시블 투명전극 시편이 동반 클램핑되는 특징이 있다.
상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 없는 경우에는, 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편에 밀착되는 컨택용패드가 형성되고 타측에는 컨넥터가 형성되며 컨넥터는 상기 좌우측상부수평판 또는 좌우측하부수평판 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공을 통해 외부로 돌출되는 좌우측컨택용가이드가 더 포함된 상태에서 상기 패턴이 없는 플렉시블 투명전극 시편이 동반 클램핑되는 특징이 있다.
상기 좌우측클램핑장치의 좌우측하부수평판의 표면에는 하부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편의 저면에서 밀착고정시키는 좌우측하부측정용보드가 삽입고정되고 일부가 상부로 돌출되는 보드홈이 더 형성되고, 이에 대응되는 상기 좌우측상부수평판의 저면에는 상부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편의 상면에서 밀착고정시키는 좌우측상부측정용보드가 삽입고정되고 일부가 하부로 돌출되는 보드홈이 더 형성되는 특징이 있다.
상기 좌우측하부측정용보드와 상기 좌우측상부측정용보드에는 플렉시블 투명전극 시편의 패턴에 대응되는 전극이 형성되어 상기 계측기에 연결되는 특징이 있다.
이와 같이, 본 발명은 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편에 인장과 압축 및 벤딩(bending)과 같은 기계적 변형을 가해 재료적 특성을 파악하고, 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 전기적 저항값을 실시간 계측하여 그 데이터를 자동저장함에 따라 플렉시블 투명전극의 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 실시간으로 측정하고 저장할 수 있는 효과가 있다.
또한, 플렉시블 투명전극 시편의 벤딩시험시 절곡R 값이 0.3R(0.3R은 완전하게 접힘이라고 본다)까지 가능하여 거의 180도 벤딩시험이 가능한 효과가 있다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
도 1은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 모습을 보인 사시도,
도 2는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 정면모습을 보인 요부확대 정면도,
도 3은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 평면모습을 보인 평면도,
도 4는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 우측면 모습을 보인 우측면도,
도 5는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치의 정면을 확대한 확대사시도,
도 6은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치의 배면모습을 보인 배면 확대사시도,
도 7은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 플렉시블 투명전극 시편이 안착된 모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면 설명도,
도 8은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 안착된 플렉시블 투명전극 시편의 좌우측단부가 좌우측상부수평판과 좌우측하부수평판에 의해 각각 밀착고정된 모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면 설명도,
도 9는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 안착된 플렉시블 투명전극 시편의 좌우측부가 좌우측상부수평판과 좌우측하부수평판 내측에서 좌측상하부개폐수직판과 우측상하부개폐수직판에 의해 각각 밀착고정된 모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면 설명도,
도 10은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치에 의해 밀착고정된 플렉시블 투명전극 시편이 하부에어블로워의 공기압에 의해 좌측상하부개폐수직판과 우측상하부개폐수직판 내에서 중심부가 상측에 위치된 상태에서 접혀진 상태의 모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면 설명도,
도 11은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치에 의해 밀착고정된 플렉시블 투명전극 시편이 하부에어블로워의 공기압에 의해 좌측상하부개폐수직판과 우측상하부개폐수직판 내에서 중심부가 하측에 위치된 상태에서 접혀진 상태의 모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면 설명도,
도 12는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 안착된 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 있을 경우에 사용되는 좌우측통전가이드의 모습과 설치모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면도와 평면도,
도 13은 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 안착된 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 없을 경우에 사용되는 좌우측커넥용가이드의 모습과 설치모습을 보인 요부확대 사시도 및 정면도와 평면도,
도 14는 본 발명 실시 예인 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치의 좌우측클램핑장치의 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판에 좌우측하부측정용보드와 좌우측상부측정용보드가 일체로 형성되는 다른 실시예의 모습을 보인 정면도 및 요부확대 정면도.
이하, 본 발명을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
참고로 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단될 경우에는 그 상세한 설명을 생략하였다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운영자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.
그러므로, 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것임은 물론이다.
본 발명의 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치(1)는, 플렉시블 투명전극 시편(40)의 반복적인 벤딩시험이나 인장 또는 압축시험시 또는 시험후의 기계적 변형과 전기적 특성을 동시에 측정하여 저장하기 위한 테스터장치로, 플렉시블 투명전극 시편(40)의 양측단부를 클램핑하여 액츄에이터의 작동에 의해 플렉시블 투명전극 시편(40)에 반복적으로 인장과 압축 및 밴딩과 같은 기계적 변형을 가하는 시험기(10)와, 상기 시험기(10)에 클램핑된 플렉시블 투명전극 시편(40)에 전류 및 전압을 가하여 상기 인장과 압축 및 벤딩과 같은 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편(40) 내부소자의 단락여부와 전기적 저항값을 실시간으로 측정하고 저장하는 계측기(20)와, 상기 시험기(10)와 계측기(20)를 전기적으로 연결하고 그 작동을 제어하는 제어부(30)로 구성된다.
상기 시험기(10)는, 상판(16)에 설치되어 일측에 모터풀리(14a)를 갖고 상기 제어부(30)에 의해 동작되는 구동모터(14)와, 상기 상판(16) 중심측에서 수직설치된 수직격판(15') 일측면에 회전가능하게 축설치되고 일측에 상기 구동모터(14)의 모터풀리(14a)에 벨트와 같은 공지의 동력전달장치에 의해 동력연결되는 스크류풀리(13c)가 형성되고 중심부를 기준으로 좌우측으로 각각 스크류방향이 다른 좌측스크류부(13a)와 우측스크류부(13b)가 각각 형성된 정역회전분할스크류(13)와, 상기 수직격판(15')의 상하부에 각각 수평으로 고정설치된 상하부가이드(12b,12c)에 상하단부가 각각 슬라이딩 결합되어 좌우측으로 슬라이딩이동되는 판체로 하부에는 상기 정역회전분할스크류(13)의 좌우측스크류부(13a,13b)에 볼너트(12d,12e)를 갖는 서포트유닛(12f,12g)로 각각 좌우측으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 좌우측이동대(12,12a)와, 상기 좌우측이동대(12,12a)에 각각 결합되어 플렉시블 투명전극 시편(40)을 클램핑하는 좌우측클램핑장치(11,11')와, 상기 좌우측클램핑장치(11,11')의 상하부에 각각 위치되어 좌우측클램핑장치(11,11')에 고정된 플렉시블 투명전극 시편(40)으로 선택적으로 에어를 압출하는 상하부에어블로워(15,15a)를 포함하여서 이루어진다. 상기 구동모터(14)로는 스텝핑모터나 서보모터가 사용됨이 바람직하다.
상기 좌우측클램핑장치(11.11')는, 판체로 선단이 상기 좌우측이동대(12,12a)에 고정결합되고 상면에 탄발스프링(환선코일)(11d)이 감싸는 앵커볼트(11c)가 상부로 수직기립되는 좌우측하부수평판(11a,11b)과, 판체로 상기 좌우측하부수평판(11a,11b) 상면에 안착되어 상기 앵커볼트(11c)가 상부로 돌출되는 볼트공(11o,11p)을 갖고 볼트공(11o,11p)을 통해 상부로 돌출된 앵커볼트(11c)에 나사결합되는 클램프노브(11i,11j)에 의해 좌우측하부수평판(11a,11b)에 고정 또는 분리되는 좌우측상부수평판(11g,11h)으로 구성된다. 또한, 판체로 상기 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h)의 내측단 상하부에 수직으로 각각 위치되어 상기 좌우측이동대(12,12a)에 각각 고정설치된 좌우측개폐고정수단(17,17a)에 의해 상하부로 개폐되어 상기 플렉시블 투명전극 시편(40)을 클램핑하고 클램핑상태를 지속적으로 유지하는 좌측상하부개폐수직판(11e,11f)과 우측상하부개폐수직판(11m,11n)을 더 포함하여서 이루어짐이 바람직하다.
상기 플렉시블 투명전극 시편(40)에 패턴이 없는 경우에는, 상기 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편(40)에 밀착되는 컨택용패드(19c)가 형성되고 타측에는 컨넥터(19b)가 형성되며 컨넥터(19b)는 상기 좌우측상부수평판(11g,11h) 또는 좌우측하부수평판(11a,11b) 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공(11k,11k')을 통해 외부로 돌출되는 좌우측컨택용가이드(19,19a)가 각각 포함된 상태에서 상기 패턴이 없는 플렉시블 투명전극 시편(40)이 동반 클램핑되어서 테스트가 이루어진다.
또한, 상기 플렉시블 투명전극 시편(40)에 패턴이 있는 경우에는, 상기 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편(40)에 패턴에 대응되어 접촉통전되는 전극(18c)이 형성되고 타측에는 전극(18c)과 연결되는 컨넥터(18b)가 형성되며 컨넥터(18b)는 상기 좌우측상부수평판(11g,11h) 또는 좌우측하부수평판(11a,11b) 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공(11k,11k')을 통해 외부로 돌출되어 상기 계측기(20)와 연결되는 좌우측통전가이드(18,18a)가 포함된 상태에서 상기 패턴을 갖는 플렉시블 투명전극 시편(40)이 동반 클램핑되어서 이루어진다.
이와 같은 본 발명은, 먼저, 시험하려는 플렉시블 투명전극 시편(40)에 패턴이 있는 경우에는, 먼저, 앵커볼트(11c) 상단에 나사결합된 클램프노브(11i,11j)를 풀면, 도 7과 같이, 앵커볼트(11c)에 감겨진 탄발스프링(11d)의 탄발력에 의해서 좌우측하부수평판(11a,11b)에 밀착된 좌우측상부수평판(11g,11h)은 상부로 이동되면서 사이에 틈새가 발생된다. 이때, 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h)의 내측면에 밀착되어 수직설치된 좌측상하부개폐수직판(11e,11f)과 우측상하부개폐수직판(11m,11n)은 이미 좌우측개폐고정수단(17,17a)에 의해 상하부가 각각 개방되어 벌어진 상태를 유지시키게 된다.
그 다음, 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 사이의 틈새로 좌우측통전가이드(18,18a)를 위치시키되, 도 12와 같이, 상기 플렉시블 투명전극 시편(40)에 형성된 패턴에 대응되어 접촉통전되록 형성된 좌우측통전가이드(18,18a)의 전극(18c)을 각각 밀착고정시킨 상태에서 좌우측하부수평판(11a,11b) 상면에 플렉시블 투명전극 시편(40)과 좌우측통전가이드(18.18a)를 안착시킨 다음, 도 8과 같이, 다시 볼트공(11o,11p)을 통해 상부로 돌출된 앵커볼트(11c) 상단에 클램프노브(11i,11j)를 나사결합하여 조이면 된다. 이 상태를 지속적으로 유지하기 위해서 좌우측개폐고정수단(17,17a)를 작동시킴으로써 상하부가 각각 개방되어 벌어진 상태의 좌측상하부개폐수직판(11e,11f)과 우측상하부개폐수직판(11m,11n)을 도 9와 같이, 폐쇄시킴으로써 플렉시블 투명전극 시편(40)을 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 내측에서 한번 더 완강하게 밀착고정시키게 된다.
이렇게 서로 이격된 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 사이에 위치되어 좌우측클램핑장치(11,11')에 의해 플렉시블 투명전극 시편(40) 양측단이 고정된 상태에서 플렉시블 투명전극 시편(40)의 장력을 확인하고, 컨넥터통공(11k,11k')을 통해 외부로 돌출된 좌우측통전가이드(18.18a)의 컨넥터(18b)를 계측기(20)와 연결하여 제어부(30)를 통해서 플렉시블 투명전극 시편(40) 내부의 저항치 검사하고, 이는 저장하며, 벤딩횟수 또는 인장횟수를 설정하여 입력하여 작동시키면 된다, 이때, 플렉시블 투명전극 시편(40)의 벤딩시 플렉시블 투명전극 시편(40)을 상부측으로 벤딩시킬 때에는 도 10과 같이, 하부에어블로워(15a)에서 에어를 일정압력으로 토출하고, 플렉시블 투명전극 시편(40)을 하부측으로 벤딩시킬 때에는 도 11과 같이, 상부에어블로워(15)에서 에어를 일정압력으로 토출하여 플렉시블 투명전극 시편(40)이 원하는 방향으로 벤딩되도록 한다.
이렇게 제어부(30)를 통해 설정된 횟수동안 플렉시블 투명전극 시편(40)의 벤딩 및 인장을 수행하고 내부의 저항치를 검사하여 터치스크린(31)을 포함하는 제어부(30)를 통해서 외부로 알려주게 된다. 이때, 7칸의 카운트 숫자 뒤 한칸 띄우고 정수 9자리 소수점 아래 3자리의 저항값을 "OOOOOOO.OOO"으로 표시하고, 플렉시블 투명전극 시편(40) 패턴의 오픈시(측정 저항값이 999MΩ 이상일때)에는 "OPEN_Error!!"의 표시로, 측정값 이입력시에는 "READ _Error!!"의 표시로, 검사 셋팅 횟수 종료시에는 "TEST COMPLETED!!"의 표시로 외부로 알려주게 된다.
또한, 패턴이 없는 플렉시블 투명전극 시편(40)을 사용할 경우에는 상기 좌우측통전가이드(18.18a) 대신에 좌우측컨택용가이드(19,19a)를 사용하여 컨택용패그(19c)로 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h) 사이에서 패턴이 없는 플렉시블 투명전극 시편(40)을 밀착고정시킨 상태에서 저항치의 검사없이 상기와 같이 벤딩횟수 또는 인장횟수를 설정하여 입력하여 작동시키면 된다.
또한, 도 14는 본 발명 폴더블 테스터장치(1)의 좌우측클램핑장치(11,11')의 좌우측하부수평판(11a,11b)과 좌우측상부수평판(11g,11h)에 좌우측하부측정용보드(50,51)와 좌우측상부측정용보드(52,53)가 일체로 형성되는 다른 실시예의 모습을 보인 것으로, 상기 좌우측클램핑장치(11,11')의 좌우측하부수평판(11a,11b)의 표면에는 하부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편(40)의 저면에서 밀착고정시키는 좌우측하부측정용보드(50,51)가 삽입고정되고 일부가 상부로 돌출되는 보드홈(11a',11b')이 더 형성되고, 이에 대응되는 상기 좌우측상부수평판(11g,11h)의 저면에는 상부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편(40)의 상면에서 밀착고정시키는 좌우측상부측정용보드(52,53)가 삽입고정되고 일부가 하부로 돌출되는 보드홈(11g',11h')이 더 형성되고, 상기 좌우측하부측정용보드(50,51)와 상기 좌우측상부측정용보드(52,53)에는 플렉시블 투명전극 시편(40)의 패턴에 대응되는 전극(50a,51a,52a,53a)이 형성되어 상기 계측기(20)에 연결되도록 구성시킬 수도 있음은 물론이다.
이러한 본 발명은 좌우측클램핑장치(11,11')에 의해 설정치 만큼 반복적으로 플렉시블 투명전극 시편(40)에 인장과 벤딩(bending)과 같은 기계적 변형을 가함으로써 플렉시블 투명전극 시편(40)의 재료적 특성을 파악할 수 있게 된다. 또한, 기계적인 변형시 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 플렉시블 투명전극 시편(40) 내부소자의 단락여부와 전기적 저항을 실시간 계측하여 그 데이터를 자동저장함에 따라 플렉시블 투명전극 시편(40)의 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 실시간으로 측정하고 저장할 수 있게 된다. 또한, 플렉시블 투명전극 시편(40)의 벤딩 시험시 절곡R 값이 0.3R(0.3R은 완전하게 접힘이라고 본다)까지 가능하여 거의 180도 벤딩시험이 가능하게 된다.
1 : 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치
10 : 시험기 11,11' : 좌우측클램핑장치
11a,11b : 좌우측하부수평판 11a',11b' : 보드홈
11c : 앵커볼트 11d : 탄발스프링(환선코일)
11e,11f : 좌측상하부개폐수직판 11g,11h : 좌우측상부수평판
11g',11h' : 보드홈 11i,11j : 클램프노브
11k,11k' : 컨넥터통공 11m,11n : 우측상하부개폐수직판
11o,11p : 볼트공 12,12a : 좌우측이동대
12b : 상부가이드 12c : 하부가이드
12d,12e : 볼너트 12f,12g : 서포트유닛
13 : 정역회전분할스크류 13a : 좌측스크류
13b : 우측스크류 13c : 스크류풀리
14 : 구동모터 14a : 모터풀리
15' : 수직격판 15 : 상부에어블로워
15a : 하부에어블로워 16 : 상판
17,17a : 좌우측개폐고정수단 18,18a : 좌우측통전가이드
18b : 컨넥터 18c : 전극
19,19a : 좌우측컨택용가이드 19b : 컨넥터
19c : 컨택용패드
20 : 계측기
30 : 제어부 31 : 터치스크린
40 : 플렉시블 투명전극 시편
50,51 : 좌우측상부측정용보드 52,53 : 좌우측하부측정용보드
50a,51a,52a,53a : 전극

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 플렉시블 시편의 양측단부를 클램핑하여 액츄에이터의 작동에 의해 플렉시블 시편에 반복적으로 인장과 같은 기계적 변형을 가하는 시험기와, 상기 시험기에 클램핑된 플렉시블 시편에 전류를 가하여 상기 인장과 같은 기계적 변형에 따른 플렉시블 시편의 저항값을 실시간으로 측정하고 저장하는 계측기와, 상기 시험기와 계측기를 전기적으로 연결하고 그 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 플렉시블 시편의 테스터장치에 있어서,
    상기 시험기의 플렉시블 시편은 플렉시블 투명전극 시편이고, 상기 기계적 변형은 압축 및 밴딩(bending)이며, 상기 계측기는 상기 플렉시블 투명전극 시편 내부소자의 단락여부와 저항값을 저장하여, 플렉시블 투명전극 시편의 기계적 변형과 전기적 특성을 동시에 측정하기 위한 것으로,
    상기 시험기는,
    상판에 설치되어 일측에 모터풀리를 갖고 상기 제어부에 의해 동작되는 구동모터;
    상기 상판 중심측에서 수직설치된 수직격판에 회전가능하게 축설치되고 일측에 상기 구동모터의 모터풀리에 동력연결되는 스크류풀리가 형성되고 중심을 기준으로 좌우측으로 각각 스크류방향이 다른 좌측스크류부와 우측스크류부가 형성된 정역회전분할스크류;
    상기 수직격판의 상하부에 각각 수평으로 설치된 상하부가이드에 결합되어 좌우측으로 슬라이딩이동되는 판체로 하부에는 상기 정역회전분할스크류의 좌우측스크류부에 볼너트를 갖는 서포트유닛로 각각 슬라이딩 가능하게 결합되는 좌우측이동대;
    상기 좌우측이동대에 각각 결합되어 플렉시블 투명전극 시편을 클램핑하는 좌우측클램핑장치; 및
    상기 좌우측클램핑장치의 상하부에 각각 위치되어 좌우측클램핑장치에 고정된 플렉시블 투명전극 시편으로 선택적으로 에어를 압출하는 상하부에어블로워를 포함하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동모터로는 스텝핑모터 또는 서보모터 중 어느 하나를 선택적으로 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 좌우측클램핑장치는,
    판체로 선단이 상기 좌우측이동대에 고정결합되고 상면에 탄발스프링이 감싸는 앵커볼트가 상부로 수직기립되는 좌우측하부수평판; 및
    판체로 상기 좌우측하부수평판 상면에 안착되어 상기 앵커볼트가 상부로 돌출되는 볼트공을 갖고 볼트공을 통해 상부로 돌출된 앵커볼트에 나사결합되는 클램프노브에 의해 좌우측하부수평판에 고정 또는 분리되는 좌우측상부수평판을 포함하여서 이루어지는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 좌우측클램핑장치는, 판체로 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판의 내측단 상하부에 수직으로 각각 위치되어 상기 좌우측이동대에 고정설치된 좌우측개폐고정수단에 의해 개폐되어 상기 플렉시블 투명전극 시편을 클램핑하는 좌측상하부개폐수직판과 우측상하부개폐수직판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 좌우측개폐고정수단으로는 클램프 노브장치나 모터 또는 실린더 중 어느 하나를 선택적으로 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 있는 경우에 상기 좌우측클램핑장치는, 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴에 대응되어 접촉통전되는 전극이 형성되고 타측에는 전극과 연결되는 컨넥터가 형성되며 컨넥터는 상기 좌우측상부수평판 또는 좌우측하부수평판 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공을 통해 외부로 돌출되어 상기 계측기와 연결되는 좌우측통전가이드가 더 포함된 상태에서 상기 패턴을 갖는 플렉시블 투명전극 시편이 동반 클램핑되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 플렉시블 투명전극 시편에 패턴이 없는 경우에 상기 좌우측클램핑장치는, 상기 좌우측하부수평판과 좌우측상부수평판 사이에, 일측단에는 상기 플렉시블 투명전극 시편에 밀착되는 컨택용패드가 형성되고 타측에는 컨넥터가 형성되며 컨넥터는 상기 좌우측상부수평판 또는 좌우측하부수평판 중 어느 하나 이상에 형성된 컨넥터통공을 통해 외부로 돌출되는 좌우측컨택용가이드가 더 포함된 상태에서 상기 패턴이 없는 플렉시블 투명전극 시편이 동반 클램핑되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 좌우측클램핑장치의 좌우측하부수평판의 표면에는 하부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편의 저면에서 밀착고정시키는 좌우측하부측정용보드가 삽입고정되고 일부가 상부로 돌출되는 보드홈이 더 형성되고, 이에 대응되는 상기 좌우측상부수평판의 저면에는 상부로 요부형성되어 플렉시블 투명전극 시편의 상면에서 밀착고정시키는 좌우측상부측정용보드가 삽입고정되고 일부가 하부로 돌출되는 보드홈이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 좌우측하부측정용보드와 상기 좌우측상부측정용보드에는 플렉시블 투명전극 시편의 패턴에 대응되는 전극이 형성되어 상기 계측기에 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극의 폴더블 테스터장치.
KR1020140169600A 2014-12-01 2014-12-01 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치 KR101531177B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140169600A KR101531177B1 (ko) 2014-12-01 2014-12-01 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140169600A KR101531177B1 (ko) 2014-12-01 2014-12-01 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101531177B1 true KR101531177B1 (ko) 2015-06-24

Family

ID=53519704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140169600A KR101531177B1 (ko) 2014-12-01 2014-12-01 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101531177B1 (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101664721B1 (ko) * 2015-07-01 2016-10-12 현대자동차주식회사 막전극접합체의 미세 균열 측정 장치 및 막전극접합체의 미세 균열 예측방법
KR101769951B1 (ko) * 2016-05-30 2017-08-21 울산과학기술원 균열 검출 장치 및 균열 검출 방법
KR20180087316A (ko) * 2015-12-24 2018-08-01 쿤산 뉴 플랫 패널 디스플레이 테크놀로지 센터 씨오., 엘티디. 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 신뢰성 테스트 치공구 및 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 온라인 신뢰성 테스트 장비
KR101901390B1 (ko) * 2017-01-20 2018-09-28 주식회사 준일테크 플렉시블 필름용 폴딩테스트 장치
CN110895190A (zh) * 2018-09-12 2020-03-20 三星显示有限公司 折叠测试装置
KR20210076447A (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 주식회사 아바텍 고유연성 투명전극 및 그 제조방법
CN114034628A (zh) * 2021-11-07 2022-02-11 中国兵器工业第五九研究所 一种用于柔性压电薄膜的加速环境老化试验方法
WO2023128538A1 (ko) * 2022-01-03 2023-07-06 주식회사 엘지에너지솔루션 셀 탭 장력 측정 장치 및 셀 탭 장력 측정 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315691A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 曲げ試験装置および曲げ試験方法
KR20090055391A (ko) * 2007-11-28 2009-06-02 한국기계연구원 발광소자 시편 시험장치
KR20100026366A (ko) * 2008-08-29 2010-03-10 한국기계연구원 Ｏｌｅｄ 시편 시험장치
JP2010078351A (ja) * 2008-09-24 2010-04-08 Fuji Xerox Co Ltd 曲げ特性計測装置及び曲げ特性の計測方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315691A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 曲げ試験装置および曲げ試験方法
KR20090055391A (ko) * 2007-11-28 2009-06-02 한국기계연구원 발광소자 시편 시험장치
KR20100026366A (ko) * 2008-08-29 2010-03-10 한국기계연구원 Ｏｌｅｄ 시편 시험장치
JP2010078351A (ja) * 2008-09-24 2010-04-08 Fuji Xerox Co Ltd 曲げ特性計測装置及び曲げ特性の計測方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10109044B2 (en) 2015-07-01 2018-10-23 Hyundai Motor Company Apparatus for measuring micro-cracks in a membrane electrode assembly and method for predicting generation of micro-cracks in the same
KR101664721B1 (ko) * 2015-07-01 2016-10-12 현대자동차주식회사 막전극접합체의 미세 균열 측정 장치 및 막전극접합체의 미세 균열 예측방법
US10971042B2 (en) 2015-12-24 2021-04-06 Kunshan New Flat Panel Disp. Tech. Center Co., Ltd Reliability test fixture for flexible display component and online reliability test device for flexible display component
KR20180087316A (ko) * 2015-12-24 2018-08-01 쿤산 뉴 플랫 패널 디스플레이 테크놀로지 센터 씨오., 엘티디. 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 신뢰성 테스트 치공구 및 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 온라인 신뢰성 테스트 장비
KR102014921B1 (ko) * 2015-12-24 2019-08-27 쿤산 뉴 플랫 패널 디스플레이 테크놀로지 센터 씨오., 엘티디. 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 신뢰성 테스트 치공구 및 플렉서블 디스플레이 구성요소에 대한 온라인 신뢰성 테스트 장비
KR101769951B1 (ko) * 2016-05-30 2017-08-21 울산과학기술원 균열 검출 장치 및 균열 검출 방법
KR101901390B1 (ko) * 2017-01-20 2018-09-28 주식회사 준일테크 플렉시블 필름용 폴딩테스트 장치
CN110895190A (zh) * 2018-09-12 2020-03-20 三星显示有限公司 折叠测试装置
KR20210076447A (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 주식회사 아바텍 고유연성 투명전극 및 그 제조방법
KR102340203B1 (ko) * 2019-12-16 2021-12-17 (주)아바텍 고유연성 투명전극 및 그 제조방법
CN114034628A (zh) * 2021-11-07 2022-02-11 中国兵器工业第五九研究所 一种用于柔性压电薄膜的加速环境老化试验方法
CN114034628B (zh) * 2021-11-07 2023-06-27 中国兵器工业第五九研究所 一种用于柔性压电薄膜的加速环境老化试验方法
WO2023128538A1 (ko) * 2022-01-03 2023-07-06 주식회사 엘지에너지솔루션 셀 탭 장력 측정 장치 및 셀 탭 장력 측정 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101531177B1 (ko) 플렉시블 투명전극 시편의 폴더블 테스터장치
KR100970204B1 (ko) Ｏｌｅｄ 시편 시험장치
KR101432338B1 (ko) Ｔｆｔ 액정 패널의 물성 측정 방법, 및 ｔｆｔ 액정 패널의 물성 측정 장치
US7893706B2 (en) Test apparatus for liquid crystal display device and test method using the same
US10186181B2 (en) Display device, method and apparatus for adjusting brightness of the display device, and method and apparatus for testing the display device
KR101013514B1 (ko) 정전식 터치 패널 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법
US9847046B2 (en) Display apparatus and method of testing the same
KR20080014500A (ko) 봉지재 접착력 테스트 장치
WO2003102679A1 (en) Apparatus for inspecting flat panel display
KR100969292B1 (ko) 발광소자 시편 시험장치
KR100999864B1 (ko) 이종 액정디스플레이패널 검사용 프로브블록
KR20100064498A (ko) 액정패널과 연결기판 간의 접속 상태를 테스트하는 방법 및이를 이용한 액정표시장치
US9217909B2 (en) Display panel and display apparatus having the display panel
KR100752937B1 (ko) 회로기판의 검사장치
KR101746860B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 검사방법
JP2018004341A (ja) 打点試験装置及び打点試験方法
KR20100066237A (ko) 액정패널과 드라이버 ｉｃ 간의 접속상태를 테스트 하는 방법 및 이를 이용한 액정표시장치
KR20080092522A (ko) 회로기판의 검사장치
KR101007107B1 (ko) Ｌｅｄ 모듈의 검사 장치
CN111812869B (zh) 液晶显示面板的光学量测方法及量测系统
KR100999862B1 (ko) 액정디스플레이 검사용 프로브블록
KR100401931B1 (ko) 커패시터의 작동원리를 이용한 평판 디스플레이용 tft 셀 어레이의 비접촉식 양부 테스트방법
CN219799933U (zh) 一种非接触测量设备
TWI714103B (zh) 一種使用平板顯示器檢查裝置的z軸進給器檢查探針接觸壓力的裝置
KR20060075173A (ko) 액정 표시 장치의 테스트 장치 및 그 테스트 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180618

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190718

Year of fee payment: 5