KR101506877B1 - 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치 - Google Patents

잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치 Download PDF

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Abstract

실시 예는 잉곳과 와이어 쏘우(wire saw) 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치이며, 상면, 하면, 및 측면을 갖는 지지판, 상기 지지판의 상면에 배치되고, 상기 잉곳의 단면에 흡착하는 흡착면을 갖는 흡착부, 상기 지지판의 상면에 배치되는 제1 및 제2 지그들, 상기 제1 지그에 고정되고, 상기 지지판의 일 부분과 상기 와이어의 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제1 확대경, 및 상기 제2 지그에 고정되고, 상기 지지판의 다른 부분과 상기 와이어의 다른 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제2 확대경을 포함한다.

Description

잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치{APPARATUS FOR MEASURING ALIGNMENT BETWEEN AN INGOT AND A WIRE OF A WIRE SAW MACHINE}
실시 예는 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어의 수평 정렬을 측정하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 제조 공정은 모래에서 규소(Si)를 추출 정제하여 실리콘 원재료를 생성한 후 원하는 불순물을 주입하여 N형 또는 P형 실리콘 잉곳(ingot)을 제조하고, 제조된 실리콘 잉곳을 원하는 두께로 잘라 웨이퍼를 만드는 슬라이싱(slicing) 공정을 포함한다.
이러한 슬라이싱 공정은 웨이퍼 슬라이싱 공정은 잉곳 제조 공정에서 제조된 잉곳을 다수의 박판으로 슬라이싱하는 것을 말하며, 와이어 쏘우 장치(WIRE SAW MACHINE) 가 널리 사용되고 있다.
와이어 쏘우 장치로 잉곳을 슬라이싱하기 이전에 잉곳의 단면과 와이어가 평행한지를 측정해야 한다. 일반적으로 와이어 쏘우 장치에 다이얼 게이지(Dial gage)를 장착한 후 잉곳의 단면과의 평행도를 측정한다.
그러나 와이어 쏘우 장치의 부착면과 잉곳의 단면의 수평을 맞추기 때문에, 잉곳의 단면과 와이어가 실질적으로 평행하지 않을 수 있고, 이로 인하여 잉곳의 단면과 와이어의 수평 맞춤에 대한 신뢰도가 떨어질 수 있다. 그리고 잉곳 절단시 잉곳의 단면과 와이어가 실질적으로 평행하지 않기 때문에 오리엔테이션(orientation) 품질 제어가 어려울 수 있다.
실시 예는 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 용이하고 정확한 수평 정렬을 측정할 수 있는 장치를 제공한다.
실시 예는 잉곳과 와이어 쏘우(wire saw) 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치이며, 상면, 하면, 및 측면을 갖는 지지판(supporting plate); 상기 지지판의 상면에 배치되고, 상기 잉곳의 단면에 흡착하는 흡착면을 갖는 흡착부; 상기 지지판의 상면에 배치되는 제1 및 제2 지그들; 상기 제1 지그에 고정되고, 상기 지지판의 일 부분과 상기 와이어의 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제1 확대경; 및 상기 제2 지그에 고정되고, 상기 지지판의 다른 부분과 상기 와이어의 다른 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제2 확대경을 포함한다.
상기 제1 지그는 상기 흡착부 일 측에 위치하는 상기 지지판의 상면의 일 영역 상에 고정되고, 상기 제2 지그는 상기 흡착부의 타 측에 위치하는 상기 지지판의 다른 영역 상에 고정될 수 있다.
상기 제1 지그는 상기 지지판의 상면 상에 배치되는 제1 지지부, 및 상기 제1 지지부와 연결되고 상기 제1 확대경이 삽입되는 제1 삽입부를 갖는 제1 확대경 고정부를 포함하며, 상기 제2 지그는 상기 지지판의 상면 상에 배치되는 제2 지지부, 및 상기 제2 지지부와 연결되고 상기 제2 확대경이 삽입되는 제2 삽입부를 갖는 제2 확대경 고정부를 포함할 수 있다.
상기 지지판의 측면은 상기 흡착면과 평행할 수 있다.
상기 제1 확대경과 제2 확대경은 상기 흡착면과 평행하도록 서로 정렬될 수 있다.
상기 제1 및 제2 확대경들 각각은 현미경일 수 있다.
진공 압력에 의하여 상기 흡착면은 상기 잉곳의 단면에 흡착할 수 있다.
상기 흡착부는 상기 흡착면으로부터 노출되는 복수의 홀들; 및 상기 복수의 홀들을 연결하도록 내부에 마련되고, 상기 진공 압력을 상기 복수의 홀들로 전달하는 적어도 하나의 연결로를 포함할 수 있다.
상기 흡착부는 상기 적어도 하나의 연결로와 연결되고, 외부로부터 상기 진공 압력이 공급되는 압력 공급로를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 삽입부들 각각은 서로 이격하는 2개의 단부들을 가질 수 있다.
실시 예는 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 용이하고 정확한 수평 정렬을 측정할 수 있다.
도 1은 실시 예에 따른 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치의 측면도를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 측면도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 도시된 장치의 평면도를 나타낸다.
도 4는 와이어 쏘우 장치에 장착된 도 1의 실시 예(100)를 나타낸다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 실시 예를 이용하여 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬 측정을 나타낸다.
도 6은 도 1에 도시된 장치를 이용하여 잉곳의 단면을 와이어 쏘우 장치의 와이어에 정렬시키는 방법을 나타내는 플로차트이다.
이하, 실시 예들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 또한 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시 예에 따른 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치를 설명한다.
도 1은 실시 예에 따른 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치(100)의 정면도를 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 장치(100)의 측면도를 나타내고, 도 3은 도 1에 도시된 장치(100)의 평면도를 나타낸다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 잉곳(I)의 단면(101)을 와이어 쏘우 장치의 와이어에 정렬시키는 장치(100)는 지지판(supporting plate, 110), 지지판(110) 상에 배치되는 흡착부(120), 지지판(110) 상에 배치되는 제1 및 제2 지그들(132, 134), 및 제1 및 제2 지그들(132,134)에 고정되는 제1 및 제2 확대경들(142, 144)을 포함할 수 있다.
지지판(110)은 흡착부(120), 및 제1 및 제2 저그들(132, 134)을 지지하기 한다. 지지판(110)은 다각형의 편평한 판 형상일 수 있으나, 그 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 지지판(110)은 투명한 재질일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
예컨대, 지지판(110)은 상면(112), 하면(114), 및 상면(112)과 하면(114) 사이의 측면(116)을 포함할 수 있다.
와이어 쏘우 장치의 와이어와의 평행 여부를 확인하기 위해서는 지지판(110)의 측면(116)은 직선면 또는 평평한 면일 수 있다.
지지판(110)은 금속 재질, 예컨대, 스테인레스로 이루어질 수 있으나, 그 형상 및 재질이 이에 한정되는 것은 아니다.
흡착부(120)는 지지판(110) 상에 배치되고, 압력에 의하여 잉곳(I)의 단면(101)에 흡착되는 흡착면(102)을 구비할 수 있다. 예컨대, 진공 압력에 의하여 흡착부(120)의 흡착면(102)은 잉곳(I)의 단면(101)에 흡착될 수 있다.
흡착부(120)는 판 형태일 수 있고, 일단이 지지판(110) 상에 고정될 수 있다. 예컨대, 흡착부(120)는 볼트 또는 나사(115)에 의하여 지지판(110)의 상면(112) 상에 고정될 수 있다.
흡착부(120)의 흡착면(102)은 직선면 또는 평평한 면인 지지판(110)의 측면(116)과 평행할 수 있다.
흡착부(120)는 흡착면(102)에 형성되는 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수), 및 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)을 연통하는 연결로(112)를 포함할 수 있다.
복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)은 원형으로 배열될 수 있다. 예컨대, 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)은 동일한 중심을 갖는 복수의 원형들로 배열될 수 있다. 또한 복수의 홀(h1 내지 hn, n>1인 자연수) 중 일부는 원형의 직경 방향으로 배열될 수 있다.
복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수) 각각은 흡착면(102)으로부터 노출될 수 있다.
연결로(112)는 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)을 연결하고 통하게 하도록 흡착부(120) 내부에 마련될 수 있다. 예컨대, 원형의 원주 방향으로 배열되는 홀들을 연결하는 적어도 하나의 제1 연결로(122-1) 및 직경 방향으로 배열된 홀들을 연결하는 적어도 하나의 제2 연결로(122-2)를 포함할 수 있다.
적어도 하나의 제1 연결로(122-1)와 적어도 하나의 제2 연결로(122-2)는 서로 연결되고 서로 통할 수 있다.
복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)은 일정 간격을 두고 배열될 수 있으며, 다양한 형태로 배열될 수 있다.
흡착부(120)는 연결로(122)와 연결되고, 외부로부터 압력이 공급되는 압력 공급로(123)를 가질 수 있다. 도 1에도 도시되지 않았지만, 실시 예(100)는 압력 공급로(123)를 개폐시키는 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 압력 공급로(120)를 통하여 흡착부(120)에 진공 압력이 공급될 수 있고, 공급된 진공 압력은 연결로(122)를 통하여 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)에 공급될 수 있고, 복수의 홀들(h1 내지 hn, n>1인 자연수)을 통하여 전달된 진공 압력에 의하여 흡착면(102)이 잉곳(I)의 단면(101)에 흡착될 수 있다.
제1 및 제2 지그들(132, 134)은 지지판(110) 상에 배치된다. 예컨대, 제1 지그(132)는 지지판(110)의 상면(112)의 일 측 가장자리에 고정될 수 있고, 제2 지그(132)는 지지판(110) 상면(112)의 타 측 가장자리에 고정될 수 있다.
예컨대, 제1 지그(132)는 흡착부(120) 일 측에 위치하는 지지판(110)의 상면의 일 영역 상에 배치될 수 있고, 제2 지그(134)는 흡착부(120) 타 측에 위치하는 지지판(110)의 다른 영역 상에 배치될 수 있다.
제1 및 제2 지그들(132,134) 각각은 지지판(110)의 상면(112) 상에 배치되는 지지부(132-1, 또는 134-1), 및 지지부(132-1 또는 134-1)와 연결되고 확대경(142,144)를 고정하기 위한 삽입부(301)를 갖는 확대경 고정부(132-2, 134-2)를 포함할 수 있다.
예컨대, 제1 지지부(132-1)는 지지판(110)의 상면(112)의 일 영역 상에 고정되고, 제1 확대경 고정부(132-2)는 제1 지지부(132-1)에 연결되고 제1 확대경(142)가 삽입되어 고정되는 제1 삽입부(301)를 구비할 수 있다. 제1 삽입부(301)는 제1 확대경(142)가 통과할 수 있는 관통 홀 형태일 수 있다.
예컨대, 제1 삽입부(301)는 서로 이격하는 2개의 단부들(332,334)을 가질 수 있으며, 2개의 단부들(332,334)은 볼트 또는 나사에 의하여 서로 연결될 수 있고, 양 단부들 사이의 거리가 조절될 수 있다.
또한 예컨대, 제2 지지부(134-1)는 지지판(110)의 상면(112)의 다른 영역 상에 고정되고, 제2 확대경 고정부(134-2)는 제2 지지부(134-1)에 연결되고 제2 확대경(144)가 삽입되어 고정되는 제2 삽입부(302)를 구비할 수 있다. 제2 삽입부(302)는 제2 확대경(144)가 통과할 수 있는 관통 홀 형태일 수 있다.
예컨대, 제2 삽입부(302)는 서로 이격하는 2개의 단부들을 가질 수 있으며, 2개의 단부들은 볼트 또는 나사에 의하여 서로 연결될 수 있고, 양 단부들 사이의 거리가 조절될 수 있다.
제1 및 제2 삽입부들(301,302) 각각이 2개의 단부들을 포함하는 구조를 갖기 때문에, 제1 및 제2 확대경들(142,144)을 용이하게 삽입할 수 있다.
제1 확대경(142)는 제1 확대경 고정부(132-2)의 제1 삽입부(301)에 고정될 수 있고, 제2 확대경(144)는 제2 확대경 고정부(134-2)의 제2 삽입부(302)에 고정될 수 있다.
흡착면(102)은 지지판(110)의 상면(112)과 수직일 수 있고, 지지판(110)의 측면(116)은 흡착면(102)과 평행할 수 있다.
제1 확대경(142)과 제2 확대경(144)은 흡착면(102), 및 지지판(110)의 측면(116)과 평행하도록 서로 정렬될 수 있다.
제1 확대경(142)를 통하여 지지판(110)의 측면(116)의 일부분과 와이어 쏘우 장치의 와이어의 일부분을 확대하여 관찰할 수 있다. 또한 제2 확대경(144)를 통하여 지지판(110)의 측면(116)의 다른 일 부분과 와이어 쏘우 장치의 와이어의 다른 일 부분을 확대하여 관찰할 수 있다.
예컨대, 제1 및 제2 확대경들(142,144)은 현미경일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 물체를 확대해서 볼 수 있는 것이면 충분하다.
도 4는 와이어 쏘우 장치(10)에 장착된 도 1의 실시 예(100)를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 와이어 쏘우 장치(10)는 롤러들(Rollers; 401, 403,405), 와이어(wire, 410), 빔(beam, 412), 워크 플레이트(work plate, 415), 테이블(table, 420), 및 슬러리 노즐들(slurry nozzles; 432,434,436,438)을 포함한다.
롤러들(401,403,405)은 적어도 2 이상이 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 2 이상의 롤러들 중 적어도 하나의 롤러는 회전할 수 있다. 예컨대, 3개의 롤러들(401,403,405)이 삼각형 형태로 서로 이격되어 회전할 수 있다.
와이어(410, 예컨대, saw wire)는 서로 일정한 간격(pitch)을 두고 롤러들(401,403,405)의 외주면에 감길 수 있고, 롤러들(401,403,405)이 회전함에 따라 와이어(410)는 고속으로 움직일 수 있다.
빔(412)은 워크 플레이트(415)에 연결되어 고정될 수 있고, 잉곳(I)이 부착될 수 있다. 워크 플레이트(415)은 테이블(420)에 연결되어 장착될 수 있다. 빔(412)은 워크 플레이트(415)을 통하여 테이블(420)에 고정될 수 있다.
테이블(420)은 상하로 이동할 수 있으며, 고속 주행하는 와이어들(410)을 향하여 잉곳(I)을 이동시킬 수 있다.
슬러리 노즐들(432,434,436,438)은 주행하는 와이어들(410)과 수직 교차되도록 와이어(410) 상에 위치할 수 있다. 슬러리 노즐들(432,434,436,438)은 고속으로 움직이는 와이어들(410)에 슬러리를 공급할 수 있다.
잉곳(I)의 단면과 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410) 간의 정렬을 측정하기 위하여, 도 1에 도시된 장치(100)는 와이어(410) 상에 위치할 수 있으며, 흡착부(120)는 잉곳(I)의 단면(101)에 흡착할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 실시 예를 이용하여 잉곳(I)의 단면(101)과 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410) 간의 정렬을 측정하는 방법을 나타낸다.
도 5a를 참조하면, 제1 확대경(142)를 통하여 지지판(110)의 측면(116)의 일부분과 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410)의 일부분 사이의 제1 거리(d1)를 측정할 수 있다. 제2 확대경(144)를 통하여 지지판(110)의 측면(116)의 다른 일 부분과 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410)의 다른 일 부분 사이의 제2 거리(d2)를 측정할 수 있다.
측정된 제1 거리(d1)와 제2 거리(d2)가 서로 동일하지 않을 경우에는, 잉곳(I)의 단면(101)과 와이어(410) 간의 수평 정렬이 되지 않은 것이다. 여기서 수평 정렬이라 함은 잉곳(I)의 단면(101)이 와이어(410)에 평행하게 정렬되는 것을 의미한다. 이때 지지판(110)의 측면(116)의 연장선(501)과 와이어(401)가 이루는 각도는 θ(0°<θ<180°)일 수 있다.
도 5b를 참조하면, 측정된 제1 거리(d1)와 제2 거리(d2)가 서로 동일하거나, 또는 0일 경우에는, 잉곳(I)의 단면(101)과 와이어(410) 간의 수평 정렬이 된 것이다. 이때 지지판(110)의 측면(116)의 연장선(501)과 와이어(401)가 이루는 각도는 0°일 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 장치(100)를 이용하여 잉곳(I)의 단면(101)을 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410)에 정렬시키는 방법을 나타내는 플로차트이다.
도 6을 참조하면, 잉곳(I)을 와이어 쏘우 장치(10)에 장착한다(S110).
다음으로 다이얼 게이지(dial gage)를 와이어 쏘우 장치(10)에 장착하고, 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 X축 방향 및 Y축 방향의 평형을 맞춘다(S120).
다음으로 도 1에 도시된 장치(100)를 잉곳(I)의 단면(101)에 흡착시킨 후 잉곳(I)의 단면(101)과 와이어 쏘우 장치(10)의 와이어(410) 간의 수평 정렬을 측정한다(S130).
예컨대, 실시 예(100)를 이용하여 도 5a에서 설명한 제1 거리(d1), 및 제2 거리(d2)를 측정하고, 제1 거리(d1)와 제2 거리(d2)의 편차(d2-d1)를 구한다.
편차가 기설정된 기준 값(k) 이하인지를 판단한다. 여기서 기설정된 기준 값(k)은 허용 가능한 오차의 척도를 나타낸다. 예컨대, 기설정된 기준 값(k)은 12.5um일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
편차가 기설정된 기준 값(k) 이하인 경우에는 슬라이싱을 진행한다(S140). 반면에 편차가 기설정된 기준 값을 초과하는 경우에는 잉곳(I)의 단면을 이동시키거나, 움직여서 와이어(410)와의 편차를 보정한다.
실시 예는 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어와 거리 측정을 통하여 와이어 쏘우 장치의 와이어와 잉곳의 단면의 수평 정렬을 실질적으로 측정할 수 있으며, 이를 통하여 사파이어 오리엔테이션의 고정도 제어가 가능할 수 있다.
또한 실시 예는 현미경을 사용하기 때문에 잉곳의 단면과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 용이하고 정확한 수평 정렬을 측정할 수 있다.
이상에서 실시 예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시 예에 포함되며, 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시 예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 지지판 120: 흡착부
132,134: 지그들 142,144: 확대경들.

Claims (10)

  1. 잉곳과 와이어 쏘우(wire saw) 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치에 있어서,
    상면, 하면, 및 측면을 갖는 지지판(supporting plate);
    상기 지지판의 상면에 배치되고, 상기 잉곳의 단면에 흡착하는 흡착면을 갖는 흡착부;
    상기 지지판의 상면에 배치되는 제1 및 제2 지그들;
    상기 제1 지그에 고정되고, 상기 지지판의 일 부분과 상기 와이어의 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제1 확대경; 및
    상기 제2 지그에 고정되고, 상기 지지판의 다른 부분과 상기 와이어의 다른 일부분 간의 거리 관찰이 가능한 제2 확대경을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지그는 상기 흡착부 일 측에 위치하는 상기 지지판의 상면의 일 영역 상에 고정되고, 상기 제2 지그는 상기 흡착부의 타 측에 위치하는 상기 지지판의 다른 영역 상에 고정되는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지그는 상기 지지판의 상면 상에 배치되는 제1 지지부, 및 상기 제1 지지부와 연결되고 상기 제1 확대경이 삽입되는 제1 삽입부를 갖는 제1 확대경 고정부를 포함하며,
    상기 제2 지그는 상기 지지판의 상면 상에 배치되는 제2 지지부, 및 상기 제2 지지부와 연결되고 상기 제2 확대경이 삽입되는 제2 삽입부를 갖는 제2 확대경 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지판의 측면은 상기 흡착면과 평행한 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 확대경과 제2 확대경은 상기 흡착면과 평행하도록 서로 정렬되는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 확대경들 각각은 현미경인 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    진공 압력에 의하여 상기 흡착면은 상기 잉곳의 단면에 흡착하는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 흡착부는,
    상기 흡착면으로부터 노출되는 복수의 홀들; 및
    상기 복수의 홀들을 연결하도록 내부에 마련되고, 상기 진공 압력을 상기 복수의 홀들로 전달하는 적어도 하나의 연결로를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 흡착부는,
    상기 적어도 하나의 연결로와 연결되고, 외부로부터 상기 진공 압력이 공급되는 압력 공급로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 삽입부들 각각은 서로 이격하는 2개의 단부들을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치.
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