JPH11189490A - インゴット製造装置のインゴット径測定機 - Google Patents
インゴット製造装置のインゴット径測定機Info
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- JPH11189490A JPH11189490A JP36042497A JP36042497A JPH11189490A JP H11189490 A JPH11189490 A JP H11189490A JP 36042497 A JP36042497 A JP 36042497A JP 36042497 A JP36042497 A JP 36042497A JP H11189490 A JPH11189490 A JP H11189490A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】結晶成長中のインゴットの径を自動で測定する
ことができるインゴット径測定機を提供する。 【解決手段】本発明は、結晶成長中のインゴット２６を
ＣＣＤカメラ３２〜３４で撮像し、この画像からインゴ
ット径を算出する三角測量方式を採用したものである。
即ち、ＣＣＤカメラ３０、３２で撮像された画像からイ
ンゴット中心ＯとＣＣＤカメラ３４の撮影レンズＸまで
の距離Ｌ２を算出する。そして、ＣＣＤカメラ３４で撮
像された画像からインゴットの径Ｄ１を算出する。次
に、距離Ｌ２とメモリに記憶されている基準距離Ｌ１と
を比較し、距離Ｌ２が基準距離Ｌ１ＯＸと一致しない場
合に、算出したインゴット径Ｄ１を距離Ｌ１と基準距離
Ｌ１ＯＸとのズレ量分に対応する分だけ補正してインゴ
ット径Ｄ２を再算出する。
ことができるインゴット径測定機を提供する。 【解決手段】本発明は、結晶成長中のインゴット２６を
ＣＣＤカメラ３２〜３４で撮像し、この画像からインゴ
ット径を算出する三角測量方式を採用したものである。
即ち、ＣＣＤカメラ３０、３２で撮像された画像からイ
ンゴット中心ＯとＣＣＤカメラ３４の撮影レンズＸまで
の距離Ｌ２を算出する。そして、ＣＣＤカメラ３４で撮
像された画像からインゴットの径Ｄ１を算出する。次
に、距離Ｌ２とメモリに記憶されている基準距離Ｌ１と
を比較し、距離Ｌ２が基準距離Ｌ１ＯＸと一致しない場
合に、算出したインゴット径Ｄ１を距離Ｌ１と基準距離
Ｌ１ＯＸとのズレ量分に対応する分だけ補正してインゴ
ット径Ｄ２を再算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインゴット製造装置
のインゴット径測定機に係り、特に引き上げ式のインゴ
ット製造装置で結晶成長中のシリコンインゴットの直径
を測定するインゴット製造装置のインゴット径測定機に
関する。
のインゴット径測定機に係り、特に引き上げ式のインゴ
ット製造装置で結晶成長中のシリコンインゴットの直径
を測定するインゴット製造装置のインゴット径測定機に
関する。
【０００２】
【従来の技術】引き上げ式のインゴット製造装置では、
結晶成長中のインゴットの直径を測定し、この測定結果
に基づいてインゴットの引き上げ速度をフィードバック
制御することにより、設定寸法のインゴットを製造して
いる。
結晶成長中のインゴットの直径を測定し、この測定結果
に基づいてインゴットの引き上げ速度をフィードバック
制御することにより、設定寸法のインゴットを製造して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インゴット径の測定は、１台のカメラのみでインゴット
の径を測定していたので、るつぼ内液面位置の変動によ
る撮影距離の変化による誤差を含んでおり、正確な寸法
が得られていなかった。そのため、従来のインゴット径
測定方法は、作業者が経験と感等によって誤差の補正を
行っていたので、手間がかかると共に熟練を要し、なお
かつ不正確であるという欠点があった。
インゴット径の測定は、１台のカメラのみでインゴット
の径を測定していたので、るつぼ内液面位置の変動によ
る撮影距離の変化による誤差を含んでおり、正確な寸法
が得られていなかった。そのため、従来のインゴット径
測定方法は、作業者が経験と感等によって誤差の補正を
行っていたので、手間がかかると共に熟練を要し、なお
かつ不正確であるという欠点があった。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、インゴットの径を自動で正確に測定すること
ができるインゴット製造装置のインゴット径測定機を提
供することを目的とする。
たもので、インゴットの径を自動で正確に測定すること
ができるインゴット製造装置のインゴット径測定機を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、インゴット製造装置に対して設置されると
共に所定の間隔をもって配置され、該インゴット製造装
置で結晶成長中のインゴットを撮像する少なくとも２台
の撮像手段と、前記２台の撮像手段で撮像された画像を
画像処理して前記インゴットの円弧状輪郭画像を取得す
る画像処理手段と、前記画像処理手段で取得した前記円
弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を算出する算出手
段と、から成ることを特徴としている。
するために、インゴット製造装置に対して設置されると
共に所定の間隔をもって配置され、該インゴット製造装
置で結晶成長中のインゴットを撮像する少なくとも２台
の撮像手段と、前記２台の撮像手段で撮像された画像を
画像処理して前記インゴットの円弧状輪郭画像を取得す
る画像処理手段と、前記画像処理手段で取得した前記円
弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を算出する算出手
段と、から成ることを特徴としている。
【０００６】請求項１記載の発明によれば、少なくとも
２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮像
し、その撮像手段で撮像された画像を画像処理手段で画
像処理してインゴットの円弧状輪郭画像を取得し、その
取得した円弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を算出
手段で算出するようにしたので、インゴットの径を自動
で正確に測定することができる。
２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮像
し、その撮像手段で撮像された画像を画像処理手段で画
像処理してインゴットの円弧状輪郭画像を取得し、その
取得した円弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を算出
手段で算出するようにしたので、インゴットの径を自動
で正確に測定することができる。
【０００７】ところで、インゴット製造装置のるつぼ内
液面高さ（融解シリコンの液面高さ）がインゴットの引
き上げ中に変動したり、引き上げ中のインゴットがすり
こぎ運動したりすると、撮像手段で撮像しているインゴ
ットの位置が変動するので、インゴット径を正確に得る
ことができないという不具合が生じる。したがって、イ
ンゴット径測定機の測定精度を向上させるためには、前
記不具合を解消する必要がある。請求項２記載の発明
は、この不具合を解決する具体的な発明を示したもので
ある。
液面高さ（融解シリコンの液面高さ）がインゴットの引
き上げ中に変動したり、引き上げ中のインゴットがすり
こぎ運動したりすると、撮像手段で撮像しているインゴ
ットの位置が変動するので、インゴット径を正確に得る
ことができないという不具合が生じる。したがって、イ
ンゴット径測定機の測定精度を向上させるためには、前
記不具合を解消する必要がある。請求項２記載の発明
は、この不具合を解決する具体的な発明を示したもので
ある。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、少なくとも
２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮像
し、その撮像手段で撮像された画像を画像処理手段で画
像処理してインゴットの円弧状輪郭画像を取得する。そ
して、第１算出手段は、前記円弧状輪郭画像に基づいて
インゴット径とインゴット中心とを算出すると共に、算
出したインゴット中心と前記２台の撮像手段を結ぶ線分
の中心との距離を算出する。そして、第２算出手段は、
前記第１算出手段で算出された前記距離と予め設定され
た基準距離とを比較し、基準距離と一致しない場合に、
前記算出したインゴット径を前記距離と基準距離とのズ
レ量分に対応する分だけ補正して再算出する。したがっ
て、本発明は、撮像手段で撮像しているインゴットの位
置が変動しても、インゴット径を正確に得ることができ
る。
２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮像
し、その撮像手段で撮像された画像を画像処理手段で画
像処理してインゴットの円弧状輪郭画像を取得する。そ
して、第１算出手段は、前記円弧状輪郭画像に基づいて
インゴット径とインゴット中心とを算出すると共に、算
出したインゴット中心と前記２台の撮像手段を結ぶ線分
の中心との距離を算出する。そして、第２算出手段は、
前記第１算出手段で算出された前記距離と予め設定され
た基準距離とを比較し、基準距離と一致しない場合に、
前記算出したインゴット径を前記距離と基準距離とのズ
レ量分に対応する分だけ補正して再算出する。したがっ
て、本発明は、撮像手段で撮像しているインゴットの位
置が変動しても、インゴット径を正確に得ることができ
る。
【０００９】請求項２記載の発明において、３台の撮像
手段を利用する場合には、２台の撮像手段をインゴット
の中心とで形成する二等辺三角形の底辺両端部に設置
し、１台の撮像手段を底辺中央部に設置する。そして、
第１算出手段は、両端２台の撮像手段で撮像された画像
から、インゴット中心と中央部の撮像手段までの距離を
算出する。そして、第２算出手段は、まず、中央部の撮
像手段で撮像された画像からインゴットの径を算出す
る。次に、第２算出手段は、第１算出手段で算出された
前記距離と予め設定された基準距離とを比較し、基準距
離と一致しない場合に、前記算出したインゴット径を前
記距離と基準距離とのズレ量分に対応する分だけ補正し
て再算出する。即ち、３台の撮像手段を利用する場合に
は、２台の撮像手段を測距用として使用し、１台の撮像
手段を径算出用として使用すれば良い。
手段を利用する場合には、２台の撮像手段をインゴット
の中心とで形成する二等辺三角形の底辺両端部に設置
し、１台の撮像手段を底辺中央部に設置する。そして、
第１算出手段は、両端２台の撮像手段で撮像された画像
から、インゴット中心と中央部の撮像手段までの距離を
算出する。そして、第２算出手段は、まず、中央部の撮
像手段で撮像された画像からインゴットの径を算出す
る。次に、第２算出手段は、第１算出手段で算出された
前記距離と予め設定された基準距離とを比較し、基準距
離と一致しない場合に、前記算出したインゴット径を前
記距離と基準距離とのズレ量分に対応する分だけ補正し
て再算出する。即ち、３台の撮像手段を利用する場合に
は、２台の撮像手段を測距用として使用し、１台の撮像
手段を径算出用として使用すれば良い。
【００１０】請求項３記載の発明は、前記第２算出手段
によるインゴット径算出式を示したものであり、 Ｄ２＝Ｄ１・Ｌ１／Ｌ２ Ｄ２…再算出したインゴット径 Ｄ１…第１算出手段で算出したインゴット径 Ｌ１…基準距離 Ｌ２…第１算出手段で算出した距離 の式によりインゴット径を算出する。これにより、イン
ゴット径を正確に算出することができる。
によるインゴット径算出式を示したものであり、 Ｄ２＝Ｄ１・Ｌ１／Ｌ２ Ｄ２…再算出したインゴット径 Ｄ１…第１算出手段で算出したインゴット径 Ｌ１…基準距離 Ｌ２…第１算出手段で算出した距離 の式によりインゴット径を算出する。これにより、イン
ゴット径を正確に算出することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るインゴット製造装置のインゴット径測定機の好ましい
実施の形態について詳説する。図１は、本発明の実施の
形態のインゴット径測定機１０が適用されたインゴット
製造装置１２の構造図である。同図に示すインゴット製
造装置１２は、引き上げ式のものであり、引き上げ炉１
４の内部に石英製のるつぼ１６が設置されている。前記
るつぼ１６は図示しないヒータによって所定の温度（約
１２００℃以上）に加熱され、これにより、るつぼ１６
内に供給されたシリコン原料が溶融されて、融解シリコ
ン２０として溜められている。るつぼ１６の上方には、
引上装置（図示せず）が設けられている。この引上装置
は、先端に種結晶２２が取り付けられたワイヤ２４を引
き上げる機構と、ワイヤ２４を回転させる機構とを有し
ている。したがって、前記インゴット製造装置１２によ
れば、前記引上機構を駆動して種結晶２２を回転させな
がら融解シリコン２０に浸し、そしてワイヤ２４を徐々
に引き上げることにより、シリコンインゴット２６を製
造することができる。また、るつぼ１６内の融解シリコ
ンの消費に伴ってるつぼ１６は上昇する。
るインゴット製造装置のインゴット径測定機の好ましい
実施の形態について詳説する。図１は、本発明の実施の
形態のインゴット径測定機１０が適用されたインゴット
製造装置１２の構造図である。同図に示すインゴット製
造装置１２は、引き上げ式のものであり、引き上げ炉１
４の内部に石英製のるつぼ１６が設置されている。前記
るつぼ１６は図示しないヒータによって所定の温度（約
１２００℃以上）に加熱され、これにより、るつぼ１６
内に供給されたシリコン原料が溶融されて、融解シリコ
ン２０として溜められている。るつぼ１６の上方には、
引上装置（図示せず）が設けられている。この引上装置
は、先端に種結晶２２が取り付けられたワイヤ２４を引
き上げる機構と、ワイヤ２４を回転させる機構とを有し
ている。したがって、前記インゴット製造装置１２によ
れば、前記引上機構を駆動して種結晶２２を回転させな
がら融解シリコン２０に浸し、そしてワイヤ２４を徐々
に引き上げることにより、シリコンインゴット２６を製
造することができる。また、るつぼ１６内の融解シリコ
ンの消費に伴ってるつぼ１６は上昇する。
【００１２】一方、インゴット径測定機１０は図２に示
すように、３台のＣＣＤカメラ（撮像装置）３０、３
２、３４を有している。これらのＣＣＤカメラ３０、３
２、３４は、図１に示すようにケーブル３６を介して、
インゴット径を算出する制御装置３８に接続されてい
る。また、ＣＣＤカメラ３０、３２、３４は、引き上げ
炉１４に形成された窓１５からインゴット２６を撮像す
ることができる位置であって、各々の光軸Ｐ１がインゴ
ット２６の軸芯Ｐ２に対して３０度傾斜した位置で、且
つ、結晶成長中のインゴット２６の位置２６Ａ（図３参
照）を撮像することができる位置に取り付けられてい
る。さらに、前記ＣＣＤカメラ３０、３２は図２に示す
ように、三角測量で基準距離（Ｌ１）ＯＸを算出するこ
とができる位置に設けられている。
すように、３台のＣＣＤカメラ（撮像装置）３０、３
２、３４を有している。これらのＣＣＤカメラ３０、３
２、３４は、図１に示すようにケーブル３６を介して、
インゴット径を算出する制御装置３８に接続されてい
る。また、ＣＣＤカメラ３０、３２、３４は、引き上げ
炉１４に形成された窓１５からインゴット２６を撮像す
ることができる位置であって、各々の光軸Ｐ１がインゴ
ット２６の軸芯Ｐ２に対して３０度傾斜した位置で、且
つ、結晶成長中のインゴット２６の位置２６Ａ（図３参
照）を撮像することができる位置に取り付けられてい
る。さらに、前記ＣＣＤカメラ３０、３２は図２に示す
ように、三角測量で基準距離（Ｌ１）ＯＸを算出するこ
とができる位置に設けられている。
【００１３】次に、制御装置３８によるインゴット径算
出方法について説明する。まず、インゴット径の絶対値
測定を行うために、前記基準距離（Ｌ１）ＯＸと、この
基準位置（Ｌ１）ＯＸにインゴット２６がある時のイン
ゴット径を予め取得しておく。基準位置（Ｌ１）ＯＸと
は、インゴット２６の中心ＯからＣＣＤカメラ３４の撮
影レンズＸまでの距離である。ＣＣＤカメラ３０、３２
におけるインゴット２６の中心Ｏの座標位置は、それぞ
れＹ１Ｙ２とＺ１Ｚ２の曲線により楕円中心座標を算出
して求めることができる。また、ＣＣＤカメラ３０の撮
影レンズＹによって結像面３１に投影される前記中心Ｏ
の位置（結像面３１の中心３１Ａに対する位置）をＡ１
とし、ＣＣＤカメラ３２の撮影レンズＺによって結像面
３３に投影される前記中心Ｏの位置（結像面３３の中心
３３Ａに対する位置）をＡ２とし、前記撮影レンズＹ、
Ｚの焦点距離をｆとし、そして、結像面３１の中心３１
Ａと結像面３３の中心３３Ａとの距離をＬとすると、基
準距離（Ｌ１）ＯＸは、ＯＸ＝Ｌｆ／（Ａ１＋Ａ２）の
式により算出することができる。また、前記基準距離
（Ｌ１）ＯＸの位置にインゴット２６がある場合のイン
ゴット２６の径をＤとすると、インゴット径Ｄは、ＣＣ
Ｄカメラ３４で撮像された画像に基づいて求めることが
できる。このように求められた基準距離（Ｌ１）ＯＸと
インゴット径Ｄは、制御装置のメモリに記憶され、必要
時に読みだされる。なお、符号３５は、ＣＣＤカメラ３
４の結像面である。
出方法について説明する。まず、インゴット径の絶対値
測定を行うために、前記基準距離（Ｌ１）ＯＸと、この
基準位置（Ｌ１）ＯＸにインゴット２６がある時のイン
ゴット径を予め取得しておく。基準位置（Ｌ１）ＯＸと
は、インゴット２６の中心ＯからＣＣＤカメラ３４の撮
影レンズＸまでの距離である。ＣＣＤカメラ３０、３２
におけるインゴット２６の中心Ｏの座標位置は、それぞ
れＹ１Ｙ２とＺ１Ｚ２の曲線により楕円中心座標を算出
して求めることができる。また、ＣＣＤカメラ３０の撮
影レンズＹによって結像面３１に投影される前記中心Ｏ
の位置（結像面３１の中心３１Ａに対する位置）をＡ１
とし、ＣＣＤカメラ３２の撮影レンズＺによって結像面
３３に投影される前記中心Ｏの位置（結像面３３の中心
３３Ａに対する位置）をＡ２とし、前記撮影レンズＹ、
Ｚの焦点距離をｆとし、そして、結像面３１の中心３１
Ａと結像面３３の中心３３Ａとの距離をＬとすると、基
準距離（Ｌ１）ＯＸは、ＯＸ＝Ｌｆ／（Ａ１＋Ａ２）の
式により算出することができる。また、前記基準距離
（Ｌ１）ＯＸの位置にインゴット２６がある場合のイン
ゴット２６の径をＤとすると、インゴット径Ｄは、ＣＣ
Ｄカメラ３４で撮像された画像に基づいて求めることが
できる。このように求められた基準距離（Ｌ１）ＯＸと
インゴット径Ｄは、制御装置のメモリに記憶され、必要
時に読みだされる。なお、符号３５は、ＣＣＤカメラ３
４の結像面である。
【００１４】次に、インゴット径の実測を開始する。ま
ず、第１の算出方法として、溶解シリコン２０に液面変
動がなく、インゴットにはすりこぎ運動が生じていない
と仮定した場合の算出方法、即ち、ＣＣＤカメラ３０〜
３４で撮像しているインゴットの位置２６Ａが変動しな
い場合の算出方法について説明する。この場合には、Ｃ
ＣＤカメラ３０〜３４によって結晶成長中のインゴット
２６の位置２６Ａ（図３参照）を撮像し、その画像を制
御装置３８の画像処理手段で画像処理してインゴット２
６の円弧状輪郭画像を取得する。そして、その取得した
円弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を、制御装置３
８の算出手段で算出する。これによって、インゴット径
を自動で測定することができる。
ず、第１の算出方法として、溶解シリコン２０に液面変
動がなく、インゴットにはすりこぎ運動が生じていない
と仮定した場合の算出方法、即ち、ＣＣＤカメラ３０〜
３４で撮像しているインゴットの位置２６Ａが変動しな
い場合の算出方法について説明する。この場合には、Ｃ
ＣＤカメラ３０〜３４によって結晶成長中のインゴット
２６の位置２６Ａ（図３参照）を撮像し、その画像を制
御装置３８の画像処理手段で画像処理してインゴット２
６の円弧状輪郭画像を取得する。そして、その取得した
円弧状輪郭画像に基づいてインゴット径を、制御装置３
８の算出手段で算出する。これによって、インゴット径
を自動で測定することができる。
【００１５】次に、ＣＣＤカメラ３０〜３４で撮像して
いるインゴットの位置２６Ａが変動している場合の算出
方法について説明する。この場合には、制御装置３８の
第１算出手段によって、ＣＣＤカメラ３０、３２で撮像
された画像からインゴット中心ＯとＣＣＤカメラ３４の
撮影レンズＸまでの距離Ｌ２（基準距離（Ｌ１）ＯＸで
はなく実測距離）を算出する。そして、制御装置３８の
第２算出手段は、ＣＣＤカメラ３４で撮像された画像か
らインゴット径Ｄ１を算出する。次に、第２算出手段
は、第１算出手段で算出された前記距離Ｌ２と、メモリ
に記憶されている基準距離（Ｌ１）ＯＸと比較し、距離
Ｌ２が基準距離（Ｌ１）ＯＸと一致しない場合に、前記
算出したインゴット径Ｄ１を前記距離Ｌ１と基準距離
（Ｌ１）ＯＸとのズレ量分に対応する分だけ補正してイ
ンゴット径Ｄ２を再算出する。
いるインゴットの位置２６Ａが変動している場合の算出
方法について説明する。この場合には、制御装置３８の
第１算出手段によって、ＣＣＤカメラ３０、３２で撮像
された画像からインゴット中心ＯとＣＣＤカメラ３４の
撮影レンズＸまでの距離Ｌ２（基準距離（Ｌ１）ＯＸで
はなく実測距離）を算出する。そして、制御装置３８の
第２算出手段は、ＣＣＤカメラ３４で撮像された画像か
らインゴット径Ｄ１を算出する。次に、第２算出手段
は、第１算出手段で算出された前記距離Ｌ２と、メモリ
に記憶されている基準距離（Ｌ１）ＯＸと比較し、距離
Ｌ２が基準距離（Ｌ１）ＯＸと一致しない場合に、前記
算出したインゴット径Ｄ１を前記距離Ｌ１と基準距離
（Ｌ１）ＯＸとのズレ量分に対応する分だけ補正してイ
ンゴット径Ｄ２を再算出する。
【００１６】例えば、Ｌ１＝１２５０ｍｍ、Ｌ２＝１２
５２ｍｍ、Ｄ１＝２０３ｍｍとするとＤ２は、Ｄ２＝Ｄ
１・Ｌ１／Ｌ２の式により算出することができるので、
Ｄ２≒２０２．７ｍｍとなる。したがって、この算出方
法によれば、インゴットの撮影位置２６Ａが変動しても
インゴット径を正確に得ることができる。
５２ｍｍ、Ｄ１＝２０３ｍｍとするとＤ２は、Ｄ２＝Ｄ
１・Ｌ１／Ｌ２の式により算出することができるので、
Ｄ２≒２０２．７ｍｍとなる。したがって、この算出方
法によれば、インゴットの撮影位置２６Ａが変動しても
インゴット径を正確に得ることができる。
【００１７】なお、第２算出手段で算出されたインゴッ
ト径Ｄ２の情報は、引上装置のフィードバック情報とし
て使用される。即ち、Ｄ２＞Ｄの場合には、引き上げ速
度を上げるように、Ｄ２＜Ｄの場合には引き上げ速度を
下げるように引上装置が制御される。これにより、径寸
法のばらつきの少ないインゴット２６を製造することが
できる。
ト径Ｄ２の情報は、引上装置のフィードバック情報とし
て使用される。即ち、Ｄ２＞Ｄの場合には、引き上げ速
度を上げるように、Ｄ２＜Ｄの場合には引き上げ速度を
下げるように引上装置が制御される。これにより、径寸
法のばらつきの少ないインゴット２６を製造することが
できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るインゴ
ット製造装置のインゴット径測定機によれば、少なくと
も２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮
像し、その画像を画像処理手段で画像処理してインゴッ
トの円弧状輪郭画像を取得し、その円弧状輪郭画像に基
づいてインゴット径を算出手段で算出するようにしたの
で、インゴットの径を自動で測定することができる。
ット製造装置のインゴット径測定機によれば、少なくと
も２台の撮像手段によって結晶成長中のインゴットを撮
像し、その画像を画像処理手段で画像処理してインゴッ
トの円弧状輪郭画像を取得し、その円弧状輪郭画像に基
づいてインゴット径を算出手段で算出するようにしたの
で、インゴットの径を自動で測定することができる。
【００１９】また、本発明によれば、円弧状輪郭画像に
基づいてインゴット径とインゴット中心とを算出すると
共に、算出したインゴット中心と２台の撮像手段を結ぶ
線分の中心との距離を算出し、そして、算出された前記
距離と予め設定された基準距離とを比較し、基準距離と
一致しない場合に、前記算出したインゴット径を前記距
離と基準距離とのズレ量分に対応する分だけ補正して再
算出するようにしたので、撮像手段で撮像しているイン
ゴットの位置が変動しても、インゴット径を正確に得る
ことができる。
基づいてインゴット径とインゴット中心とを算出すると
共に、算出したインゴット中心と２台の撮像手段を結ぶ
線分の中心との距離を算出し、そして、算出された前記
距離と予め設定された基準距離とを比較し、基準距離と
一致しない場合に、前記算出したインゴット径を前記距
離と基準距離とのズレ量分に対応する分だけ補正して再
算出するようにしたので、撮像手段で撮像しているイン
ゴットの位置が変動しても、インゴット径を正確に得る
ことができる。
【図１】本発明に係るインゴット径測定機が適用された
インゴット製造装置の構造図
インゴット製造装置の構造図
【図２】本発明に係るインゴット径測定機の測定方法を
説明するための図
説明するための図
【図３】るつぼからインゴットが引き上げられている状
態を示す斜視図
態を示す斜視図
１０…インゴット径測定機 １２…インゴット製造装置 １６…るつぼ ２６…シリコンインゴット ３０、３２、３４…ＣＣＤカメラ ３８…制御装置
Claims (3)
- 【請求項１】インゴット製造装置に対して設置されると
共に所定の間隔をもって配置され、該インゴット製造装
置で結晶成長中のインゴットを撮像する少なくとも２台
の撮像手段と、 前記少なくとも２台の撮像手段で撮像された画像を画像
処理して前記インゴットの円弧状輪郭画像を取得する画
像処理手段と、 前記画像処理手段で取得した前記円弧状輪郭画像に基づ
いてインゴット径を算出する算出手段と、 から成ることを特徴とするインゴット製造装置のインゴ
ット径測定機。 - 【請求項２】前記インゴット径を算出する前記算出手段
は、 前記画像処理手段で取得した前記円弧状輪郭画像に基づ
いてインゴット径とインゴット中心とを算出すると共
に、該算出したインゴット中心と前記２台の撮像手段を
結ぶ線分の中心との距離を算出する第１算出手段と、 前記第１算出手段で算出された前記距離と予め設定され
た基準距離とを比較し、該基準距離と一致しない場合
に、前記算出したインゴット径を前記距離と基準距離と
のズレ量分に対応する分だけ補正して再算出する第２算
出手段と、 から成ることを特徴とする請求項１記載のインゴット製
造装置のインゴット径測定機。 - 【請求項３】前記第２算出手段は、 Ｄ２＝Ｄ１・Ｌ１／Ｌ２ Ｄ２…再算出したインゴット径 Ｄ１…第１算出手段で算出したインゴット径 Ｌ１…基準距離 Ｌ２…第１算出手段で算出した距離 の式によりインゴット径を算出することを特徴とする請
求項２記載のインゴット製造装置のインゴット径測定
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36042497A JPH11189490A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | インゴット製造装置のインゴット径測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36042497A JPH11189490A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | インゴット製造装置のインゴット径測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11189490A true JPH11189490A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18469353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36042497A Pending JPH11189490A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | インゴット製造装置のインゴット径測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11189490A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101138150B1 (ko) | 2010-06-24 | 2012-04-23 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳의 직경측정 시스템 및 이를 포함하는 단결정 잉곳 성장장치 |
| KR101506877B1 (ko) * | 2013-12-03 | 2015-03-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치 |
| CN110595369A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-12-20 | 太原理工大学 | 一种基于机器视觉的管材直径测量装置及其测量方法 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36042497A patent/JPH11189490A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101138150B1 (ko) | 2010-06-24 | 2012-04-23 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳의 직경측정 시스템 및 이를 포함하는 단결정 잉곳 성장장치 |
| KR101506877B1 (ko) * | 2013-12-03 | 2015-03-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳과 와이어 쏘우 장치의 와이어 간의 정렬을 측정하는 장치 |
| CN110595369A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-12-20 | 太原理工大学 | 一种基于机器视觉的管材直径测量装置及其测量方法 |
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