KR101493198B1 - 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치 - Google Patents

레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101493198B1
KR101493198B1 KR20140075849A KR20140075849A KR101493198B1 KR 101493198 B1 KR101493198 B1 KR 101493198B1 KR 20140075849 A KR20140075849 A KR 20140075849A KR 20140075849 A KR20140075849 A KR 20140075849A KR 101493198 B1 KR101493198 B1 KR 101493198B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical
light
output
unit
alignment
Prior art date
Application number
KR20140075849A
Other languages
English (en)
Inventor
강신섭
최국현
Original Assignee
주식회사 아이스기술
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이스기술 filed Critical 주식회사 아이스기술
Priority to KR20140075849A priority Critical patent/KR101493198B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101493198B1 publication Critical patent/KR101493198B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J2003/423—Spectral arrangements using lasers, e.g. tunable
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/061—Sources
    • G01N2201/06113—Coherent sources; lasers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 광 출력단에서 방출되어 수신부의 광 수신단으로 입사되는 광의 일부를 일정 각도로 반사시켜 특정 형태의 광센서 모듈로 조사하도록 설계되어 이를 통해 출력단에서 방출되는 빛의 방향을 자동 조절할 수 있는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에 관한 것으로서, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치는, 발신부의 렌즈를 통과하는 출력 광을 수신하는 수신부에 구비되며, 상기 수신부를 통해 수신되는 상기 발신부의 출력 광 일부를 분리시켜 다른 방향으로 진행시키는 광 분리부와, 상기 광 분리부에서 분리되는 광의 진행 방향에 위치하여 진행되는 광의 통과 영역을 기준으로 상기 통과 영역의 최외각을 따라 광을 전기적 신호로 변환하는 광센서가 서로 마주보는 두 광센서를 한 쌍으로 하여 두 쌍 이상 설치되어 상기 광 분리부로부터 진행되는 광의 방향과 세기를 감지하는 광 정렬용 센서모듈과, 상기 광센서에서 변환되는 전기적 신호를 수신하여 수신되는 전기적 신호를 기준으로 상기 발신부의 광 출력 방향을 조절하기 위한 신호를 생성하여 출력하는 제어부와, 상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 발신부를 통한 광 출력 방향의 조절을 위해 상기 발신부의 광 출력 위치를 가변하는 광 정렬 구동부를 포함할 수 있다.

Description

레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치{Automatic optical alignment device for laser absorption spectroscopy gas analyser}
본 발명은 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에 관한 것으로서, 예컨대, 광 출력단에서 방출되어 수신부의 광 수신단으로 입사되는 광의 일부를 일정 각도로 반사시켜 특정 형태의 광센서 모듈로 조사하도록 설계되어 이를 통해 출력단에서 방출되는 빛의 방향을 자동 조절할 수 있는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에 관한 것이다.
미국에서 생산되는 전기의 많은 부분은 석탄 연소 발전소에서 생산된다. 세계적으로도 비슷하게 전기 생산의 많은 부분을 주요 에너지원인 석탄에 의존하고 있다. 핵발전에 의해 생기는 폐기물과 관련된 장기간의 환경문제와 태양열 발전과 관련된 비효율을 고려하면, 가까운 장래에는 석탄이 주요 에너지원으로서의 지위를 유지할 것 같다. 또한, 막대한 세계적인 석탄 매장량은 현재와 같은 비율로 사용하여도 최소한 200년 동안 에너지를 생산하기에 충분하다.
그러나, 석탄 화력 발전에 관련된 오염물질의 방출을 감소시키고 석탄 화력 발전 프로세스의 전체적인 효율을 올리라는 강한 요구가 있어 왔으며, 앞으로도 계속될 것이다. 전통적으로, 발전소와 다른 산업 연소 시설에 있어서, 연소 프로세스의 효율과 오염물질방출의 정도는 채취한 가스 샘플을 비분산적외선(NDIR) 광도측정법(photometry)과 같은 기술로 측정하여 그 농도를 간접적으로 산출하였다. 가스채취시간과 최종분석시간 사이에는 의미 있는 지연이 있을 수 있기 때문에, 샘플 채취시스템은 연소 프로세스의 폐 루프 제어에는 적절하지 않다. 또한, 채취과정은 일반적으로 한 점 측정이 되기 때문에, 그 결과가 매우 변화가 심하며, 동적인 연소실 내의 측정된 물질의 실제 농도를 나타낼 수도 있고 아닐 수도 있다.
레이저 기반 광학 성분센서는 최근에 추출측정기술과 관련되어 관심을 끌고 있다. 레이저 기반 측정기술은 현장에서 즉시 측정을 할 수 있고, 또한 동적 프로세스제어에 적합한 고속의 피드백을 제공한다는 이점이 있다. 파장가변 다이오드 레이저 흡수 분광기술(tunable diode laser absorption spectroscopy, 이하 TDLAS라 함)은 연소가스의 성분, 온도, 등의 연소 파라미터를 측정하는 매우 유망한 기술이다. TDLAS는 전형적으로 근적외선(near-infrared)과 중적외선(mid-infrared) 스펙트럼 영역에서 작동하는 다이오드 레이저를 사용한다. 통신산업에서 사용하기 위해 적절한 레이저들이 광범위하게 개발되어 왔다. 그러므로 그 레이저들은 TDLAS 응용을 위해 즉시 사용될 수 있다. 파장가변형 다이오드 레이저가 발명된 이래, 연소 프로세스를 감지하고 제어하기 위한 여러 TDLAS 기술들이 개발되어 왔다.
예를 들어 파장변조 분광기술, 주파수변조 분광기술, 직접흡수 분광기술 등이 일반적으로 알려져 있다. 이러한 기술들은 연소실에 존재하는 가스들이 흡수할 수 있는 파장을 가진 레이저 빛이 연소실을 통과하면서 특정 스펙트럼 밴드에서 흡수되면 검출기에 의해 수신된 레이저 빛의 세기가 가스의 농도와 반비례 관계에 있다는 점에 그 기반을 두고 있다. 검출기에 의해 수신된 흡수 스펙트럼은 온도와 같은 관련 연소 파라미터 외에 분석중인 가스 성분의 양을 결정하는데 사용된다.
예를 들면, 미국 특허출원 2002/0031737A1(Von Drasek 외)은 고온 프로세스를 모니터링 및/또는 제어용 파장가변 다이오드 레이저를 사용한 방법 및 장치를 기재하고 있다. 이 특허는 수많은 연소 성분의 상대농도, 온도, 다른 파라미터들을 결정하기 위해 직접 흡수 분광기술을 사용하는 데 특징이 있다.
미국특허 5,813,767은 연소실에서 이루어지는 연소와 오염물질들을 모니터링 하기 위해 유사한 시스템을 기재하고 있다. 이 미국특허는 관측된 흡수특성의 모양의 도플러 넓음(Doppler broadening)을 온도분석을 위한 기초로 사용하는 간접 분광기술을 사용한다.
Teichert, Fernholz, Ebert는 실험실 분석기술로서의 TDLAS를 실제 석탄발전설비의 보일러 화구 내에서 특정 연소 파라미터를 계측할 수 있는 실행가능한 현장 기술로 확장하였다. 그들의 논문, "Simultaneous in situ Measurement of CO, H2O, Gas Temperature in a Full-Sized, Coal-Fire Power Plant by Near-Infrared Diode Lasers,"(Applied Optics, 42(12):2043, 20 April 2003)에서 저자들은 석탄 화력발전소에서 직접흡수 분광기술의 성공적인 실행을 보여주고, 석탄연소프로세스의 매우 크고 격렬한 성질에 기인하는 기술적인 도전들에 대해 논의한다. 특히, 종래의 석탄화력발전소의 연소실은 지름이 10~20m 이다. 이러한 화력 발전소는 미분탄을 땐다, 따라서 연소프로세스는 많은 먼지 때문에 레이저 빛의 전달이 곤란하고, 매우 다양한 파장의 빛을 방출하게 된다.
또한, 발전소의 연소조건하에서는 다양한 강한 교란이 발견된다. 연소실을 통과하는 전체적인 빛의 통과율은 광대역 흡수, 입자들에 의한 분산, 또는 반사율의 변동에 따른 빔 조향(beam steering)의 결과로 시간에 따라 극적으로 변동할 것이다. 또한, 검출기 신호에 간섭을 끼칠 수 있는 연소하는 석탄입자로부터 강렬한 열방사도 있다. 또, 발전소 보일러의 외부환경도 TDLAS 검출 또는 제어시스템의 실행에 문제를 일으킨다. 예를 들면, 전자부품, 광학부품 또는 다른 민감한 분광기술 구성부품들은 강한 열로부터 먼 위치에 있거나, 적절하게 차폐되거나 냉각되어야 한다. TDLAS 시스템의 실행이 이러한 조건하에서는 매우 어렵다고 할지라도 TDLAS는 석탄연소 프로세스를 모니터하고 제어하는데 가장 적합하다.
한국등록특허 10-1072657호에서는 TDLAS 실행의 문제들을 해결하기 위한 센싱장치가 제시되어 있다.
센싱장치는 고온 온도 측정과 가스 농도 동시 측정장치에 사용하는 일정한 발진 주파수를 갖는 한 개 이상의 다이오드 레이저가 광 섬유에 연결되어 발신 광학부에 연결된다. 발신 광학부는 연소실 또는 석탄 또는 가스 화력 발전소의 보일러 등과 같은 프로세서 실과 작용적으로 연결되고, 프로세서 실은 발신 광학부와 광학적으로 연통되고 프로세서 실을 관통하여 발사된 다중화 레이저 출력을 수신하는 수신광학부와 연결된다. 여기서, 발신 광학부에는 광의 출력 방향을 조절하여 광을 집속하기 위한 발신측 얼라인먼트 기구가 연결되고, 수신 광학부에는 광의 수집 효율을 최대화시키기 위한 수신측 얼라인먼트 기구가 연결되어 광학부를 조절하도록 하고 있다.
그러나, 종래의 센싱 장치의 얼라인먼트 기구는 광학부를 조절하여 광을 정렬하는 시간이 너무 오래 걸리고 또한 정밀도가 떨어지는 것이었다.
한국등록특허 제10-1072657호(2011.10.11.공고), “연소제어 및 모니터링 방법 및 장치” 한국등록특허 제10-0358543호(2002.10.25.공고), “내연기관용 연소제어장치 및 연소제어방법”
본 발명의 실시 예는 광 출력단에서 방출되어 광 수신단으로 들어가는 빛의 일부만을 일정각도로 반사시켜 특정 형태의 광센서 모듈로 조사하도록 설계하여 광 출력단에서 방출되는 광의 방향을 자동적으로 제어하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치를 제공한다.
또한 본 발명의 실시 예는 광 출력단에서 방출되어 광 수신단에서 검출되는 레이저 광을 효율적으로 수집하여 정밀하게 측정할 수 있는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치를 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치는, 발신부의 렌즈를 통과하는 출력 광을 수신하는 수신부에 구비되며, 상기 수신부를 통해 수신되는 상기 발신부의 출력 광 일부를 분리시켜 다른 방향으로 진행시키는 광 분리부와, 상기 광 분리부에서 분리되는 광의 진행 방향에 위치하여 진행되는 광의 통과 영역을 기준으로 상기 통과 영역의 최외각을 따라 광을 전기적 신호로 변환하는 광센서가 서로 마주보는 두 광센서를 한 쌍으로 하여 두 쌍 이상 설치되어 상기 광 분리부로부터 진행되는 광의 방향과 세기를 감지하는 광 정렬용 센서모듈과, 상기 광센서에서 변환되는 전기적 신호를 수신하여 수신되는 전기적 신호를 기준으로 상기 발신부의 광 출력 방향을 조절하기 위한 신호를 생성하여 출력하는 제어부와, 상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 발신부를 통한 광 출력 방향의 조절을 위해 상기 발신부의 광 출력 위치를 가변하는 광 정렬 구동부를 포함할 수 있다.
상기 광 정렬용 센서모듈은 상기 통과 영역을 형성하는 원형의 광홀이 형성되는 센서 본체와, 상기 광홀의 둘레를 따라 상기 광홀의 중심을 지나는 가상의 직선상에서 서로 마주보는 상태로 설치되는 상기 광센서를 포함할 수 있다. 여기서 상기 광센서는 상기 광홀의 둘레를 따라 90°간격으로 배치되는 것일 수 있다.
또한 상기 광 정렬용 센서모듈은 상기 통과 영역이 형성되는 센서 본체와, 상기 센서 본체의 상기 통과 영역상에 원형의 궤적을 따라 90°간격으로 배치되는 광센서를 포함하는 것일 수 있다.
또한 상기 광 분리부는 자외선(100∼400㎚), 가시광선(400∼760㎚), 적외선(760∼20,000㎚) 파장에 해당되는 레이저 광 일부를 광축과 상이한 방향으로 반사시키는 반사경일 수 있다.
또한 상기 광 정렬용 센서모듈의 각각의 상기 광센서는 상기 발신부의 가스 측정용 광의 파장과 동일하거나 오차범위 ±50㎚ 내의 파장에서 사용 가능한 것일 수 있다.
또한 상기 광 정렬용 센서모듈의 각각의 상기 광센서는 그 측정용 파장으로 산소 측정을 위한 750∼770(㎚) 파장이 사용되는 것일 수 있다.
또한 상기 제어부는 상기 한 쌍에 포함되는 두 광센서의 신호 크기를 비교하여 신호 크기가 비교되는 두 광센서의 신호 크기를 일치시키기 위한 상기 광 정렬 구동부의 구동 제어신호를 생성하여 상기 광 정렬 구동부에 출력하는 것일 수 있다.
또한 상기 광 정렬 구동부는 상기 발신부의 광 출력단과 상기 렌즈 간 거리를 조절하는 거리조절부와, 상기 발신부에서 출력되는 광의 광축과 수직을 이루는 방향으로 설치되는 스테이지와, 상기 스테이지에 직교되게 설치되어 상기 거리조절부를 틸트하는 틸트 구동부를 포함할 수 있다.
또한 상기 거리조절부는 상기 발신부에서 출력되는 광의 광축과 수직을 이루는 제1면을 포함하는 상태로 복수의 면을 포함하는 지지프레임과, 상기 지지프레임에 설치되는 스템모터와, 상기 스템모터의 구동축에 결합되어 상기 스템모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 동력전달부와, 상기 동력전달부에 결합되어 직선운동하고 상기 발신부의 광 출력단이 결합되는 광 커넥터와, 상기 광 커텍터가 일측에 수용되고 타측에 상기 렌즈가 수용되는 수용체를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 작동속도가 빠르고 프로그램을 원하는 대로 변경할 수 있어 다양한 조건에서 활용될 수 있고, 이를 통해 이러한 광 정렬 기능이 적용 시 열팽창이나 진동에 의한 오차율이 현저히 낮아지고 발신부와 수신부의 광 정렬 시간이 대폭 단축될 수 있다. 그리고 이를 통해 가스의 흡광도 측정이 실시간으로 이루어질 수 있고, 발신부에서 출력되는 광을 수신부에서 최대한으로 수집할 수 있게 됨으로써 광의 특정 파장의 변화에 따라서 측정되는 온도, 가스의 성분과 농도를 더 정확히 측정할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 전체 구성을 개략적으로 보인 구성도
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 발신부의 거리조절부를 도시한 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 수신부를 보인 사시도
도 4의 (a),(b)는 각각 도 3에 따른 수신부의 요부를 보이기 위해 서로 다른 각도에서 보인 측면도
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 광 정렬용 센서모듈의 일 실시 예를 보인 도면
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에서 발신부의 광 출력 각도 조절을 전기적 신호를 중심으로 개략적으로 보인 도면
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에서 광 정렬용 센서모듈의 광 정렬 과정을 예시적으로 보인 도면
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 발신부에 포함되는 거리조절부의 동작을 보인 단면도
이하의 본 발명에 대한 상세한 설명들은 본 발명이 실시될 수 있는 실시 예이고 해당 실시 예에 대한 예시로써 도시된 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시 예는 당업자가 본 발명을 실시하기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시 예에 관련하여 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시 예로 구현될 수 있다. 또한 각각의 기재된 실시 예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다.
따라서 후술되는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는 적절하게 설명된다면 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 또한 명세서에 기재된 “...부”, “...모듈” 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 전체 구성을 개략적으로 보인 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광 정렬기능을 갖는 가스측정장치는 발신부(100) 및 수신부(200) 그리고 반사경(241) 구성의 광분리부, 광 정렬용 센서모듈(242), 제어부(160), 광 정렬 구동부(130)로 이루어지는 자동 광 정렬장치로 크게 구분된다.
발신부(100)는 일단부가 광을 전달하는 광 섬유의 광 출력단(110)에 연결되고, 타단부가 연소실 또는 석탄 또는 가스 화력 발전소의 보일러 등과 같은 프로세서 실(10)과 작용적으로 연결되어 광섬유의 광 출력단(110)에서 출력되는 광을 프로세서 실(10)을 향해 발사한다.
수신부(200)는 발신부(100)와 광학적으로 연통되고 프로세서 실(10)과 작용적으로 연결되어 프로세서 실(10)을 관통하여 발사된 광을 수신한다.
발신부(100)는 광 섬유의 광 출력단(110)에서 출력되는 광의 발사 방향을 조절하는 광 정렬 구동부(130)와, 광 출력단과 렌즈 사이의 거리를 조절하여 수신부에 수신되는 광 크기를 조절하는 거리조절부(140)를 포함한다.
광 정렬 구동부(130)는 광 출력단(110)의 전방에 위치되고 광축에 수직하게 설치되어 거리조절부(140)를 지지하는 스테이지(131)와, 스테이지(131)에 직교되게 설치되어 스테이지(131)에 설치된 거리조절부(140)를 틸트하는 틸트 구동부(132)로 구성된다. 여기서, 틸트 구동부(132)는 거리조절부(140)를 틸트시켜 광 출력단에서 출력되는 광의 발사 방향을 조절한다.
거리조절부(140)는 광 출력단(110)의 전방에 위치하는 것으로서, 이러한 거리조절부(140)에 대해 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 발신부의 거리조절부를 도시한 사시도이다.
도시된 바와 같이, 거리조절부(140)는 광 출력단(110)의 광축에 수직하게 설치된 스테이지(131) 위에 설치되며 상면에 가이드홀(141)이 형성된 지지프레임(142)과, 구동축(143)이 지지프레임(142)의 일측면을 관통하여 지지프레임(142)의 내부에 위치되도록 지지프레임(142)의 일측면 외측에 설치되는 스템모터(144)와, 스템모터(144)의 구동축(143)에 결합되어 스템모터(144)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 동력전달부(145)와, 지지프레임(142)의 가이드홀(141)을 통해 동력전달부(145)와 결합되어 직선운동하고 일단부에 광출력단(110)이 결합되는 광커넥터(146)와, 일측 내부에 광커넥터(146)의 타단부가 수용되고 타측 내부에 렌즈(150)가 수용되는 수용체(147)로 구성된다.
다시 도 1로 돌아가서, 거리조절부(140)는 스템모터(144)의 회전에 의해 구동축(143)에 결합된 동력전달부재(145)가 직선운동을 하면서 동력전달부재(145)에 결합된 광커넥터(146)를 전,후진시킨다. 이로 인하여 광커넥터(146)에 결합된 광 출력단(110)과 렌즈(150) 사이의 거리(a)가 조절되고, 광 출력단(110)과 렌즈(150) 사이의 거리(a)에 따라 광의 초점거리가 달라지게 되며, 광의 초점거리에 따라 수신부(200)에 수신되는 광의 크기가 달라진다.
이때, 광 출력단(110)과 렌즈(150) 사이의 거리를 조절하여 수신부(200)에 수신되는 광의 크기를 계산할 수 있다.
Figure 112014057908222-pat00001
여기서, a는 광 출력단과 렌즈의 거리, b는 렌즈와 집속점의 거리, e는 렌즈와 측정면의 거리, f는 초점거리를 말한다.
Figure 112014057908222-pat00002
싱글 모드 광섬유는 모드 필드 지름이 대략 410um이고, 광의 파장이 700~1500nm이며, 광의 출력단에서 발산되는 값 (N.A.(numerical aperture): 0.15 0.25)를 포함한다.
예를 들어, 모드 필드 지름이 약 10um이고, N.A.=0.15인 광섬유에서 20mm 떨어진 위치에서 광의 지름은 약 6mm가 된다.
렌즈위치에서 광 지름은 DO =N.A.a2 이고, 렌즈방정식 1/a+1/b=1/f에서 b= fa/(a-f)이다.
측정면에서 광의 사이즈는 두 가지 조건에서만 실험에 사용한다.
조건 1은 a > f 일 때, 측정면 광 지름 D=(e-b)/bD0 이고
조건 2는 a = f 일 때, 측정면 광 지름 D=2De + D0 이다. 여기서, D : 레이저광의 발산각이다.
여기서, 조건 1은 광 지름을 크게 하여 고속 광 정렬을 위해서 사용한다. 그리고, 조건 2는 광을 평행광으로 만들고 온도, 가스 농도 측정을 위해서 사용한다. 또한, 광 지름을 크게 하는 방법으로 a < f인 경우에도 사용할 수 있다.
그리고 광 정렬 구동부(130)는 제어부(160)와 전기적으로 연결되어 제어부(150)에 의해 동작이 제어될 수 있다. 즉, 제어부(150)는 입력되는 초점 거리와 틸트 각도에 따라 틸트 구동부(133)와 거리조절부(140)의 동작을 제어하게 된다. 그리고 이러한 제어부 및 제어부를 통해 틸트 구동부 및 거리조절부의 동작이 제어되는 것에 대해서는 이어서 설명되는 수신부의 설명 후 광분리부(240), 광 정렬용 센서모듈(242), 제어부(160), 광 정렬 구동부(130)로 이루어지는 자동 광 정렬장치에 대한 설명에서 구체적으로 설명키로 한다.
수신부(200)는 광의 출력을 집광하는 광학구경(210)과, 광학구경에 집광된 광을 수신하는 수신광학부(220)와, 광 출력의 발사 방향에 대해 수신광학부(220)를 조정하는 틸트부(230)로 구성된다.
여기서, 수신부(200)의 틸트부(230)는 발신부의 광 정렬 구동부(130)와 동일하게 광 출력의 발사 방향에 직교되게 설치되는 스테이지(231)에 설치되어 수신광학부를 틸트하는 틸트 구동부(232)를 포함한다.
도 1에 도 3 내지 도 7을 더 참조하여 수신부(200) 및 이러한 수신부(200) 쪽에 설치되는 반사경 구성의 광분리부(240), 광 정렬용 센서모듈(242), 제어부(160), 광 정렬 구동부(130)로 이루어지는 자동 광 정렬장치에 대해 설명키로 한다.
광분리부는 반사경(241)의 구성으로서, 이하의 설명에서 광분리부는 반사경(241)을 예로 설명한다. 반사경(241)은 발신부(100)의 렌즈(150)를 통과하는 출력 광을 수신하는 수신부(20)에 구비되며, 수신부(200)를 통해 수신되는 발신부(100)의 출력 광 일부를 분리시켜 다른 방향으로 진행시킨다. 본 실시 예에서는 이러한 광분리부(240)가 발신부(100)의 광 출력단(110)의 광축과 수직을 이루는 방향으로 광 일부를 분리시키는 것을 예로 하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 본 실시 예에서는 광분리부가 자외선(100∼400㎚), 가시광선(400∼760㎚), 적외선(760∼20,000㎚) 파장에 해당되는 레이저 광 일부를 광축과 상이한 방향으로 반사시키는 반사경(241)인 것을 예로 하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 광분리부는 특정 파장의 레이저 광 일부를 광축과 상이한 방향으로 반사시키는 조건을 만족하는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
광 정렬용 센서모듈(242)은 반사경(241)에서 분리되는 광의 진행 방향에 위치하여 진행되는 광의 통과 영역을 기준으로 상기 통과 영역의 최외각을 따라 광을 전기적 신호로 변환하는 광센서(242c)가 서로 마주보는 두 광센서(242c)를 한 쌍으로 하여 두 쌍 이상 설치된다. 이러한 광 정렬용 센서모듈(242)은 반사경(241)으로부터 진행되는 광의 방향과 세기를 감지한다.
본 실시 예에서는 이러한 광 정렬용 센서모듈(242)이 센서 본체(242a) 및 광센서(242c)를 포함하는 것을 예로 하였다.
센서 본체(242a)는 반사경(241)에서 분리되는 광의 통과영역을 원형의 광홀(242b)이 형성된다.
광센서(242c)는 센서 본체(242a)의 광홀(242b) 둘레를 따라 광홀(242b)의 중심을 지나는 가상의 직선상에서 서로 마주보는 상태로 설치된다. 또한 본 실시 예에서는 이러한 광센서(242c)가 광홀(242b)의 둘레를 따라 90° 간격으로 배치되는 형태를 예로 하였다. 즉, 광센서(242c)는 광홀(242b)의 중심에서 상하좌우 방향, 다시 말해 12시와 6시 그리고 9시와 3시 방향에 배치된다. 이는, 반사경(240)에서 분리된 일부의 자외선(100∼400㎚), 가시광선(400∼760㎚), 적외선(760∼20,000㎚) 파장 영역대의 레이저 광이 전자기판 형태의 광 정렬용 센서모듈(242)에 수직 방향으로 조사되었을 때 동일한 광밀도를 얻을 수 있도록 하기 위함이다. 그리고 이를 위하여 본 실시 예에서는 광센서(242c)가 750∼770(㎚) 파장 영역대에서의 높은 감도를 위한 실리콘 포토다이오드인 것을 예로 하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 도면에 도시하지 않았지만, 광 정렬용 센서모듈은 광 분리부에서 분리되는 광의 통과영역이 형성되는 센서 본체 그리고 이러한 센서 본체의 상기 통과 영역상에 원형의 궤적을 따라 배치되되, 상기 원형의 궤적의 중심을 지나는 가상의 직선상에서 서로 마주보는 상태로 설치되는 광센서를 포함하는 형태일 수도 있다. 여기서, 광센서는 상기 원형의 궤적을 따라 90°간격으로 배치되는 것일 수 있다.
또한 광 정렬용 센서모듈(242)의 각각의 광센서(242c)는 발신부(100)의 가스 측정용 광의 파장과 동일하거나 오차범위 ±50㎚ 내의 파장에서 사용 가능한 것일 수 있다. 특히 광 정렬용 센서모듈(242)의 각각의 광센서(242c)는 그 측정용 파장으로 산소 측정을 위한 750∼770(㎚) 파장이 사용될 수 있다.
제어부(160)는 광센서(242c)에서 변환되는 전기적 신호를 수신하고, 이렇게 수신되는 전기적 신호를 기준으로 발신부(100)의 광 출력 방향을 조절하기 위한 신호를 생성하여 광 정렬 구동부(130)에 출력한다. 본 실시 예를 기준으로 설명하면, 제어부(160)는 한 쌍에 포함되는 두 광센서(242c)의 신호 크기를 비교하여 신호 크기가 비교되는 두 광센서(242c)의 신호 크기를 일치시키기 위한 광 정렬 구동부(130)의 구동 제어신호를 생성하여 광 정렬 구동부(130)에 출력한다. 이러한 제어부(160)는 광의 검출 데이터를 기준으로 발신부(100)의 거리조절부(140)와 광 정렬 구동부(130)의 동작을 제어하여 광 출력단(110)에서 발사되는 광이 손실되지 않고 모두 수신부(200)에 수신되도록 광을 정렬시킨다.
부연 설명하면, 제어부(160)는 광 정렬용 센서모듈(242)의 광센서(242c)의 신호를 각각 수신하여 디지털 신호로 전환하고, 이렇게 디지털 신호로 전환된 신호들의 세기를 비교하여 각 광센서(242c)의 신호 크기가 상이하면 각 광센서(242c)의 신호 크기가 동일한 조건이 될 때까지 광 출력단(110)의 틸트구동부(132)를 제어하여 레이저 광의 방향을 조절한다. 그리고 이러한 기능의 구현을 위해, 제어부(160)는 프로그래밍이 가능한 마이크로 컨트롤러가 탑재되며, 그 출력은 틸트구동부(132)의 모터 드라이브를 직접 제어할 수 있는 형태로 이루어진다.
상술한 구성에 의해 레이저 흡수 분광형 가스측정장치에서 발신부(100)의 광 출력단(110)의 광이 자동 정렬되는 일련의 과정의 예를 설명한다.
먼저, 발신부(100)의 광 출력단(110)에서 750~770nm 파장의 레이저 광 방출되며, 이렇게 발신부(100)의 광 출력단(110)에서 방출된 레이저 광이 수신부(200)의 대물렌즈에 도달된다.
그리고 수신부(200)의 대물렌즈를 지난 레이저 광은 수신부(200) 내부의 광 분리부(240)에서 일부 반사(약 10%) 되고 반사되지 아니한 나머지는 직진하여 수신부 내부의 집광부로 인입된다.
그리고 광 분리부(240)에서 반사된 일부 레이저 광은 광 정렬용 센서모듈(242)에 도달되며, 이에 따라 광 정렬용 센서모듈(242)에 도달한 레이저광은 4방향으로 배열된 각각의 광센서(242c)에서 전기적 신호로 변환되어 제어부(160)에 전달된다.
그리고 제어부(160)는 1차적으로 각각의 광센서 신호를 디지털로 변환한 후 신호 크기를 측정하며, 이렇게 각각의 광센서(242c)에서 도출된 신호크기는 2쌍의 페어로 묶여져서 비교된다. 상기 페어는 12시와 6시 센서가 한 쌍, 9시와 3시가 나머지 한 쌍으로 정의될 수 있다.
또한 제어부(160)는 각 광센서(242c) 페어별 신호 크기를 비교하고 각 페어별 광센서(242c) 신호의 크기가 일치되도록 광 출력단(110)의 광 정렬 구동부(130)를 제어하기 위한 제어신호를 발생한다. 즉, 12시와 6시 광센서(242c)의 신호크기를 비교하여 한쪽의 신호가 크면 그 방향으로 빛이 많이 들어온다는 반증이 되므로 레이저 광이 반대방향으로 이동하도록 한다. 예를 들어, 12시 방향의 신호크기가 100이고 6시 방향의 신호크기가 50이면 12시 방향으로 레이저 광이 치우쳐 있다는 뜻이 되므로 6시 방향으로 레이저 광이 이동할 수 있도록 광 출력단(110)의 틸트구동부(132) 모터 Y축(Vertical)을 제어하게 된다. 이는 9시와 3시 페어도 마찬가지 형태로 작동된다.
도 7을 참조하여 부연 설명하면, 도 7의 (a)는 광이 광센서(242c)의 우측 상부 방향의 외곽으로 치우친 상태를 나타낸 것이고, (b)는 제어부(160)가 (a) 상태에서의 광센서(242c)의 신호값에 따라 광 정렬 구동부(130)를 동작 제어하여 광이 광센서(242c)의 정중앙으로 일부 정렬된 상태를 나타낸 것이며, (c)는 제어부(160)가 (b) 상태에서의 광센서(242c)의 신호값에 따라 광 정렬 구동부(130)를 다시 동작 제어하여 광이 광센서(242c)의 정중앙으로 정렬된 상태를 나타낸 것이다. 그리고 (a) 내지 (c)에서 광센서(242c)의 옆에 표시된 수치는 광센서(242c)가 출력하는 광의 강도를 예시적으로 보인 것이다.
한편, 광분리부는 광 정렬시에만 사용되고, 가스측정시에는 제거되어 가스측정시 프로세스 실(10)을 통과한 광이 수신광학부(220)에 수신되어 광의 특정 파장의 변화를 측정할 수 있게 한다.
이와 같이 본 발명은 광 출력단(110)에서 발사되는 광이 수신부(200)의 외부로 손실되는 경우, 발사되는 광의 방향을 조절하여 수신부(200)의 광학 구경으로 최대한으로 집광될 수 있게 하고, 광 출력단(110)과 렌즈(150) 사이의 거리를 조절하여 수신부(110)의 광 크기를 조절함으로써 발신부(100)와 수신부(200)의 광 정렬이 빠르고 정확하게 이루어질 수 있게 한다. 따라서, 가스의 측정이 빨리 이루어질 수 있고, 발신부(100)에서 출력되는 광을 수신부(200)에서 최대한으로 수집할 수 있게 됨으로써 광의 특정 파장의 변화에 따라서 측정되는 온도, 가스의 성분과 농도를 더 정확하게 측정할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시 예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서 본 발명의 사상은 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술되는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 발신부 110: 광 출력단
130: 광 정렬 구동부 131: 스테이지
132: 틸트 구동부 140: 거리조절부
141: 가이드홈 142: 지지프레임
143: 구동축 144: 스텝모터
145: 동력전달부 146: 광 커넥터
147: 수용체 150: 렌즈
160: 제어부 200: 수신부
210: 광학구경 220: 수신광학부
230: 틸트부 231: 스테이지
232: 틸트구동부 241: 반사경
242: 광 정렬용 센서모듈 242a : 센서 본체
242b : 광홀 242c : 광센서

Claims (10)

  1. 발신부의 렌즈를 통과하는 출력 광을 수신하는 수신부에 구비되며, 상기 수신부를 통해 수신되는 상기 발신부의 출력 광 일부를 분리시켜 다른 방향으로 진행시키는 광 분리부;
    상기 광 분리부에서 분리되는 광의 진행 방향에 위치하여 진행되는 광의 통과 영역을 기준으로 상기 통과 영역의 최외각을 따라 광을 전기적 신호로 변환하는 광센서가 서로 마주보는 두 광센서를 한 쌍으로 하여 두 쌍 이상 설치되어 상기 광 분리부로부터 진행되는 광의 방향과 세기를 감지하는 광 정렬용 센서모듈;
    상기 광센서에서 변환되는 전기적 신호를 수신하여 수신되는 전기적 신호를 기준으로 상기 발신부의 광 출력 방향을 조절하기 위한 신호를 생성하여 출력하는 제어부;
    상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 발신부를 통한 광 출력 방향의 조절을 위해 상기 발신부의 광 출력 위치를 가변하는 광 정렬 구동부를 포함하며,
    상기 광 정렬용 센서모듈은 상기 통과 영역을 형성하는 원형의 광홀이 형성되는 센서 본체와, 상기 광홀의 둘레를 따라 배치되며 그 측정용 파장으로 산소 측정을 위한 750∼770(㎚) 파장이 사용되되 상기 광 분리부를 통해 분리된 광이 상기 광 정렬용 센서모듈에 수직 방향으로 조사되었을 때 동일한 광밀도를 얻을 수 있도록 상기 광홀의 둘레를 따라 90°간격으로 배치되는 광센서를 포함하는 것을 특징으로하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 분리부는 자외선(100∼400㎚), 가시광선(400∼760㎚), 적외선(760∼20,000㎚) 파장에 해당되는 레이저 광 일부를 광축과 상이한 방향으로 반사시키는 반사경인 것을 특징으로 하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 정렬용 센서모듈의 각각의 상기 광센서는 상기 발신부의 가스 측정용 광의 파장과 동일하거나 오차범위 ±50㎚ 내의 파장에서 사용 가능한 것을 특징으로 하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 한 쌍에 포함되는 두 광센서의 신호 크기를 비교하여 신호 크기가 비교되는 두 광센서의 신호 크기를 일치시키기 위한 상기 광 정렬 구동부의 구동 제어신호를 생성하여 상기 광 정렬 구동부에 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 광 정렬 구동부는
    상기 발신부의 광 출력단과 상기 렌즈 간 거리를 조절하는 거리조절부;
    상기 발신부에서 출력되는 광의 광축과 수직을 이루는 방향으로 설치되는 스테이지;
    상기 스테이지에 직교되게 설치되어 상기 거리조절부를 틸트하는 틸트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 거리조절부는
    상기 발신부에서 출력되는 광의 광축과 수직을 이루는 제1면을 포함하는 상태로 복수의 면을 포함하는 지지프레임;
    상기 지지프레임에 설치되는 스템모터;
    상기 스템모터의 구동축에 결합되어 상기 스템모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 동력전달부;
    상기 동력전달부에 결합되어 직선운동하고 상기 발신부의 광 출력단이 결합되는 광 커넥터;
    상기 광 커텍터가 일측에 수용되고 타측에 상기 렌즈가 수용되는 수용체를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치.
KR20140075849A 2014-06-20 2014-06-20 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치 KR101493198B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140075849A KR101493198B1 (ko) 2014-06-20 2014-06-20 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140075849A KR101493198B1 (ko) 2014-06-20 2014-06-20 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101493198B1 true KR101493198B1 (ko) 2015-02-13

Family

ID=52593464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140075849A KR101493198B1 (ko) 2014-06-20 2014-06-20 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101493198B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134904A (ko) * 2015-05-13 2016-11-24 주식회사 아이스기술 자동 광 정렬 기능을 갖는 연소가스 측정 시스템
KR101953853B1 (ko) * 2017-09-04 2019-03-04 주식회사 동양에프앤씨 배관용 이물질 측정 장치
WO2019045138A1 (ko) * 2017-08-30 2019-03-07 한국생산기술연구원 다종가스 동시 측정 tdlas 정렬 시스템
KR20190048918A (ko) * 2017-10-31 2019-05-09 주식회사 맥사이언스 분광복사 및 색채휘도 동시 측정 장치 및 측정 방법
KR20220163113A (ko) * 2021-06-02 2022-12-09 한국생산기술연구원 레이저 흡수 분광 분석 장치
KR20230078278A (ko) 2021-11-26 2023-06-02 주식회사 하우앳 디지털 레이저 평행광 자동 추적 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060008314A (ko) * 2003-03-31 2006-01-26 졸로 테크놀러지스, 아이엔씨. 연소제어 및 모니터링 방법 및 장치
KR100923111B1 (ko) 2009-06-08 2009-10-22 주식회사 나노베이스 광 정렬 장치 및 그 방법
KR20130062174A (ko) * 2011-12-02 2013-06-12 전자빔기술센터 주식회사 멀티 전자 칼럼과 시료표면의 수직정렬 감지장치
KR101409620B1 (ko) 2012-12-26 2014-06-18 주식회사 아이스기술 광 정렬기능을 갖는 가스 측정장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060008314A (ko) * 2003-03-31 2006-01-26 졸로 테크놀러지스, 아이엔씨. 연소제어 및 모니터링 방법 및 장치
KR100923111B1 (ko) 2009-06-08 2009-10-22 주식회사 나노베이스 광 정렬 장치 및 그 방법
KR20130062174A (ko) * 2011-12-02 2013-06-12 전자빔기술센터 주식회사 멀티 전자 칼럼과 시료표면의 수직정렬 감지장치
KR101409620B1 (ko) 2012-12-26 2014-06-18 주식회사 아이스기술 광 정렬기능을 갖는 가스 측정장치

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134904A (ko) * 2015-05-13 2016-11-24 주식회사 아이스기술 자동 광 정렬 기능을 갖는 연소가스 측정 시스템
KR101682112B1 (ko) * 2015-05-13 2016-12-13 주식회사 아이스기술 자동 광 정렬 기능을 갖는 연소가스 측정 시스템
WO2019045138A1 (ko) * 2017-08-30 2019-03-07 한국생산기술연구원 다종가스 동시 측정 tdlas 정렬 시스템
KR101953853B1 (ko) * 2017-09-04 2019-03-04 주식회사 동양에프앤씨 배관용 이물질 측정 장치
KR20190048918A (ko) * 2017-10-31 2019-05-09 주식회사 맥사이언스 분광복사 및 색채휘도 동시 측정 장치 및 측정 방법
KR102024812B1 (ko) 2017-10-31 2019-11-04 주식회사 맥사이언스 분광복사 및 색채휘도 동시 측정 장치 및 측정 방법
KR20220163113A (ko) * 2021-06-02 2022-12-09 한국생산기술연구원 레이저 흡수 분광 분석 장치
KR102504516B1 (ko) * 2021-06-02 2023-02-28 한국생산기술연구원 레이저 흡수 분광 분석 장치
KR20230078278A (ko) 2021-11-26 2023-06-02 주식회사 하우앳 디지털 레이저 평행광 자동 추적 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101493198B1 (ko) 레이저 흡수 분광형 가스측정장치의 자동 광 정렬장치
US8659759B2 (en) Laser based cavity enhanced optical absorption gas analyzer
JP6128361B2 (ja) 多成分用レーザ式ガス分析計
KR101409620B1 (ko) 광 정렬기능을 갖는 가스 측정장치
KR102056794B1 (ko) 미세 광경로를 이용한 다종가스 동시 측정 tdlas 정렬 시스템
KR20180125941A (ko) 펄스 광 생성 장치, 광 조사 장치, 광 가공 장치, 광 응답 측정 장치, 현미경 장치, 및 펄스 광 생성 방법
EP3557228B1 (en) Gas analyzer
CN104597011B (zh) 激发光源漂移校正装置及荧光光谱仪
KR101682112B1 (ko) 자동 광 정렬 기능을 갖는 연소가스 측정 시스템
RU75885U1 (ru) Оптический газовый сенсор на основе иммерсионных диодных оптопар
JP2015152405A (ja) 遠赤外撮像装置、および遠赤外撮像方法
JP2000121558A (ja) 計測装置
KR102056799B1 (ko) 다종가스 동시 측정 tdlas 자동 정렬 시스템
CN106441141A (zh) 一种燃烧检测系统及其燃烧检测方法
JP2008268064A (ja) 多成分対応レーザ式ガス分析計
JP5371295B2 (ja) 電磁波の分析装置
JP6742527B2 (ja) 遠赤外分光装置、および遠赤外分光方法
US10082456B2 (en) Photothermal conversion spectroscopic analyzer
RU135139U1 (ru) Фототермический регистратор
KR101614851B1 (ko) 광학적 온도분포 정밀계측 장치 및 방법
JP6632289B2 (ja) ガス検知装置
CN114354538A (zh) 激光气体传感装置及气体探测方法
US11977026B2 (en) Far-infrared spectroscopy device and far-infrared spectroscopy method
JP2015087158A (ja) テラヘルツ波計測装置
US10345226B1 (en) Spectrum adjuster and producing a pure analyte spectrum

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180125

Year of fee payment: 4