KR101488300B1 - 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템 - Google Patents

막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템에 관한 것으로서, 주로 반도체 생산공정에서 발생하는 육불화황을 포함하는 과불화화합물을 효과적으로 분리하고 이를 제거 또는 재활용할 수 있도록 하기 위하여 개발된 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에서 막분리필터가 일정한 온도를 유지하여 과열 또는 과냉하지 않도록 하기 위하여 개발된 것으로;
드라이 에칭공정과 CVD 세정 챔버 등의 과불화화합물을 이용하거나 생성되는 배가스 발생시설에서 발생하는 분진을 포함하는 가스를 처리하기 위하여 하나 이상의 배가스 발생시설에서 발생하는 배가스를 흡입하는 제1 드라이 펌프와, 질소와 육불화황을 제외한 성분과 각종 분진 및 수분을 흡착하는 전처리 필터와, 상기 전처리 필터를 거친 배가스가 유입되어 질소는 분리홀을 통과하여 질소 배출부로 배출되고 육불화황은 통과하지 못하여 육불화황 배출부로 배출하여 연소시키도록 하는 막분리 필터와, 상기 질소 배출부로 배출된 질소와 함께 제1 드라이 펌프로 질소를 공급하는 질소 재활용 공급부와, 상기 육불화황 배출부로 배출되는 육불화황이 충진되어 하나 이상의 배가스 발생시설에 육불화황을 공급하는 육불화황 재활용 공급부와, 일련의 관로를 제어하는 제어부로 구성됨을 특징으로 하는 과불화화합물의 분리 및 재활용 시스템에 있어서;
상기 막분리 필터의 제2 챔버 외표면은 내부에 열선이 장착되어 상기 제어부에서 설정된 온도까지 상승하도록 하는 히터자켓을 포함하는 히팅장치가 장착됨을 특징으로 하는 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템에 관한 것이다.

Description

막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템{The separation and recycling system for a perfluoro compounds that have a separation fillter heating equipment}
본 발명은 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템에 관한 것으로서, 좀더 상세하게 설명하면 주로 반도체 생산공정에서 발생하는 육불화황을 포함하는 과불화화합물을 효과적으로 분리하고 이를 제거 또는 재활용할 수 있도록 하기 위하여 개발된 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에서 막분리필터가 일정한 온도를 유지하여 과열 또는 과냉하지 않도록 하기 위하여 개발된 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템에 관한 것이다.
최근 지구온난화에 의한 기후 및 생태계의 변화가 갈수록 두드러지게 나타남에 의하여 이에 대한 관심은 날로 증가되고 그 주요원인이라고 할 수 있는 온실가스의 배출 규제에 대한 관심도 전 세계적으로 높아지고 있다.
하지만 대부분의 사람들은 온실가스는 화석연료에 의한 이산화탄소(
Figure 112013008572886-pat00001
)만을 떠올리게 되고 있지만 메탄(
Figure 112013008572886-pat00002
), 아산화질소(
Figure 112013008572886-pat00003
) 및 과불화화합물(perfluoro compounds)인 수소불화탄소(
Figure 112013008572886-pat00004
)와, 과불화탄소(
Figure 112013008572886-pat00005
) 및 육불화황(
Figure 112013008572886-pat00006
) 등도 지구 온난화의 주요원인이 되고 있다.
이는 급격하게 늘어나는 이산화탄소의 사용량에 비교하여 그 비중이 12.2%에 이를 정도라는 것은 상당히 많은 배출이 이루어짐을 뜻하는 것이며 반도체, 디스플레이, LED, 태양광 등을 포함하는 우리나라의 주력 산업이라고 할 수 있는 전자관련 분야에서 많이 배출하는 과불화화합물이 차지하는 비율은 4.4%로 이 역시 상당히 많은 비율을 차지하고 있다고 말할 수 있는 것이다.
특히 기판에 일정한 패턴을 형성하기 위하여 육불화황을 플라즈마 설비를 이용하여 F- 이온을 생성하고 이를 이용하여 절연체와 반응하여 식각하는 에칭 공정에서는 많은 분진과 육불화황(
Figure 112013008572886-pat00007
)과 육불화실리콘(
Figure 112013008572886-pat00008
) 등을 배출하게 된다.
또한 CVD 세정 챔버(chamber cleaning) 공정은 플라즈마 에칭의 방법을 이용하여 절연체(
Figure 112013008572886-pat00009
)로 코팅된 코팅층을 제거하기 위한 것으로 주로
Figure 112013008572886-pat00010
가스를 사용하는데 이때 분진,
Figure 112013008572886-pat00011
,
Figure 112013008572886-pat00012
,
Figure 112013008572886-pat00013
등을 배출하게 된다.
이러한 분진을 포함하는 각종 가스는 펌프 및 장비의 보호를 위하여 다량의 질소와 혼합된 후 드라이 펌프에 흡입되어 후처리 시설로 보내지게 된다.
이때 일반적으로 과불화화합물을 포함하는 각종 가스 및 분진을 용이하게 분리하고 제거하는 막분리필터가 일정 온도 이상이 되면 기체의 확산속도가 증가되어 분리효율이 높아지나 국부적으로 급격하게 가온되면 막분리 필터가 깨져버리는 등의 문제점이 발생하고 있다.
(특허 문헌 1) 대한민국특허등록 제10-0271694-0000호 (2000년08월18일) (특허 문헌 2) 대한민국특허공개 제10-2009-0113360호 (2009년10월30일) (특허 문헌 3) 대한민국특허등록 제10-0509304-0000호 (2005년08월11일) (특허 문헌 4) 대한민국특허등록 제10-0319783-0000호 (2001년12월21일) (특허 문헌 5) 대한민국특허등록 제10-0806011-0000호 (2008년02월14일) (특허 문헌 6) 대한민국특허등록 제10-0634173-0000호 (2006년10월09일)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 그 목적은 전자산업에서 생성되는 과불화화합물을 포함하는 각종 가스를 용이하게 분리하기 위해 기체의 분리특성을 극대화할 수 있는 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템를 개발하는 것에 있다.
또한, 기체의 분리특성을 극대화하기 위한 장착하는 히터에 있어서 가열된 외부 히터로 인하여 분리막의 수명을 단축시키는 현상을 보완할 수 있는 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템를 개발하는 것에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 드라이 에칭공정과 CVD 세정 챔버 등의 과불화화합물을 이용하거나 생성되는 배가스 발생시설에서 발생하는 분진을 포함하는 가스를 처리하기 위하여 하나 이상의 배가스 발생시설에서 발생하는 배가스를 흡입하는 제1 드라이 펌프와, 질소와 육불화황을 제외한 성분과 각종 분진 및 수분을 흡착하는 전처리 필터와, 상기 전처리 필터를 거친 배가스가 유입되어 질소는 분리홀을 통과하여 질소 배출부로 배출되고 육불화황은 통과하지 못하여 육불화황 배출부로 배출하여 연소시키도록 하는 막분리 필터와, 상기 질소 배출부로 배출된 질소와 함께 제1 드라이 펌프로 질소를 공급하는 질소 재활용 공급부와, 상기 육불화황 배출부로 배출되는 육불화황이 충진되어 하나 이상의 배가스 발생시설에 육불화황을 공급하는 육불화황 재활용 공급부와, 일련의 관로를 제어하는 제어부로 구성됨을 특징으로 하는 과불화화합물의 분리 및 재활용 시스템에 있어서;
상기 막분리 필터의 제2 챔버 외표면은 내부에 열선이 장착되어 상기 제어부에서 설정된 온도까지 상승하도록 하는 히터자켓을 포함하는 히팅장치가 장착됨을 특징으로 한다.
아울러, 상기 히터자켓과 제2 챔버의 외표면 사이에는 일측에서 유입되어 타측으로 빠져나가도록 제2 챔버를 감아 형성되는 냉각배관과, 상기 냉각배관의 양 끝단과 연결되는 냉각수 탱크와, 상기 냉각배관으로 냉각수를 공급하는 펌프와, 상기 냉각배관에 장착되는 하나 이상의 밸브와, 제2 챔버의 온도를 감지하는 온도감지센서로 구성되는 냉각장치가 추가로 구비됨을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 과불화화합물을 포함하는 각종 가스를 용이하게 분리하기 위해 기체의 분리특성을 극대화할 수 있도록 적정 온도로 효과적으로 가온하여 기체의 분리가 더욱 용이하게 이루어지는 효과가 있다.
또한, 기체의 분리특성을 극대화하기 위한 장착하는 히터가 일정 온도 이상 가열되어 분리막이 깨져 버리는 등의 막분리 장치의 수명을 단축시키는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 흐름도
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 히팅장치를 나타낸 개념도
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅 및 냉각장치를 나타낸 흐름도
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 개념도
이에 본 발명의 구성을 첨부된 도면에 의하여 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 흐름도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 히팅장치를 나타낸 개념도로서, 본원을 구성하는 기본 과불화화합물 분리 및 재활용시스템의 작동원리에 대하여 먼저 설명하면 드라이 에칭공정과 CVD 세정 챔버 등의 과불화화합물을 이용하거나 생성되는 배가스 발생시설(1)에서 발생하는 분진을 포함하는 가스를 처리하는 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에 있어서;
본원은 하나 이상의 배가스 발생시설(1)에서 발생하는 배가스를 흡입하는 제1 드라이 펌프(2)를 구비한다.
이때 배가스는 배출되는 가스를 칭하는 것으로 특히 드라이 에칭공정에서는 육불화황(
Figure 112013008572886-pat00014
), 프로메튬(PM)과, 사불화실리콘(
Figure 112013008572886-pat00015
)과, 산소(
Figure 112013008572886-pat00016
)과,
Figure 112013008572886-pat00017
및 각종 분진 등이 배출된다.
이러한 과불화화합물을 포함하는 각종 가스 및 분진은 제1 드라이 펌프(2)의 각 부품을 급속 부식시키는 성질이 있으므로 후술한 질소 재활용 공급부(5)에 의하여 질소를 혼합하여 장치의 손상을 방지하도록 하는 구성은 필수적이라고 하겠다.
이렇게 질소가 혼합된 배가스는 제1 챔버(31)와, 상기 제1 챔버(31)의 하부에 충진되는 물(32)과, 물(32)의 수면 바로 위로 상기 제1 드라이 펌프(2)에서 흡입된 배가스가 유입되는 배가스 유입부(33)와, 상기 배가스 유입부(33)로 유입된 배가스가 상승하여 통과하도록 하는 알카리성 흡착제층(34)과, 하부에 충진된 물의 일부가 유입되어 상기 알카리성 흡착제층(34)의 상부로 물(32)을 분사하는 다수의 물분사노즐(35)과, 상기 물분사노즐(35)의 상부에 형성되는 수분 흡착필터(36) 및 상기 수분 흡착필터(36)의 상부로 형성되는 배가스 배출부(37)으로 구성되는 전처리 필터(3)를 거치게 된다.
상기 전처리 필터(3)는 습식필터로서 질소(
Figure 112013008572886-pat00018
)와 육불화황(
Figure 112013008572886-pat00019
)을 제외한 프로메튬(PM)과, 사불화실리콘(
Figure 112013008572886-pat00020
)과, 산소(
Figure 112013008572886-pat00021
)과,
Figure 112013008572886-pat00022
및 각종 분진을 흡착시키는 것으로 최초 배가스가 산성을 띄고 있으므로 이를 정화하고 마지막 수분 흡착필터(36)에서 최종적으로 수분와 함께 미세 분진이 흡착을 하게 되면 최종적으로 질소(
Figure 112013008572886-pat00023
)와 육불화황(
Figure 112013008572886-pat00024
)만 남게 된다.
이러한 질소(
Figure 112014079329087-pat00025
)와 육불화황(
Figure 112014079329087-pat00026
)은 제2 챔버(41)와, 상기 제2 챔버(41) 내부에 적어도 하나 이상 형성되어 3~4 옴스트롬(Å)의 직경을 가진 다수의 분리홀이 형성되고 상기 전처리 필터(3)를 거친 배가스가 유입되어 질소는 분리홀을 통과하여 질소 배출부(43)로 배출되고 육불화황은 통과하지 못하여 육불화황 배출부(44)로 배출하여 연소시키도록하는 막분리 필터(4)를 거치게 된다.
상기 막분리 필터(4)는 입자의 크기를 이용한 필터로서 질소의 경우 입자크기가 3옴스트롬(Å)이며 육불화황의 경우 5옴스트롬(Å)으로 질소만 상기 분리홀(42)을 빠져나갈 수 있도록 하는 구조이다.
이때 옴스트롬(Å)은 0.1 나노미터의 길이를 말한다.
배출된 육불화황의 경우 연소되는 성질을 이용한 고효율의 Burn-WET 스크러버 또는 Burn 스크러버에 의하여 연소하도록 하면 유입되는 육불화황의 농도가 높음에 따라 그 제거효율도 비약적으로 향상되는 것이다.
또한 분리된 질소의 경우 상기 질소 배출부(43)로 배출된 질소를 흡입하는 제2 드라이 펌프(51)와, 막분리 필터(4)에 의하여 걸러진 질소를 제2 드라이 펌프(51)로 보내는 질소 배출배관(52)과, 질소가 충진되는 질소 탱크(53)와, 상기 제2 드라이 펌프(51)로부터 상기 탱크(53)로 질소를 공급하는 재공급배관(54)과, 상기 질소 탱크(53)에서 상기 제1 드라이 펌프(2)로 질소를 공급하는 질소 공급배관(55)으로 구성되는 질소 재활용 공급부(5)를 구성하여 재활용 순환하도록 하였으며, 질소는 대기중에 배출하여도 전혀 상관없는 기체이므로 선택적으로 배출 또는 재활용을 할 수 있게 된다.
또한, 상기 육불화황 배출부(44)로 배출되는 육불화황이 충진되는 육불화황 탱크(61)와, 하나 이상의 배가스 발생시설(1)에 육불화황을 공급하는 육불화황 공급배관(62)으로 구성되는 육불화황 재활용 공급부(6)의 구성은 주로 애칭공정에 사용되는 육불화황 가스를 과불화화합물을 분리하는 시스템과 연결하여 고순도의 육불화황 가스를 저장하고 재활용할 수 있도록 하는 방안을 제시한 것이다.
이때 상기 도면에서는 육불화황 탱크(61)에서 직접 육불화황 공급배관(62)으로 연결되는 형태로 도시되었으나 이는 직접적인 배관으로 공급할 수도 있으며 별도의 저장시설에서 각 산업현장에 차량 등을 이용하여 공급하는 흐름을 제시한 것이다.
여기에 본원은 상기 배가스 발생시설(1)에 공급되는 육불화황 가스의 유량을 감지하는 제1 유량센서(71)와, 상기 제1 드라이 펌프(2)에 도달하기 전 배가스의 유량을 감지하는 제2 유량센서(72)와, 상기 질소 공급배관(55)의 유량을 감지하는 제3 유량센서(73)와, 상기 배가스 배출부(37)로 배출되는 유량을 감지하는 제4 유량센서(74)와, 상기 질소 배출부(43)의 유량을 감지하는 제5 유량센서(75)와, 상기 육불화황 배출부(44)의 유량을 감지하는 제6 유량센서(76)와, 상기 제4 유량센서(74)를 지난 후 제1 분기밸브(77a)에 의하여 상기 전처리필터(3)의 배가스 유입부(33)로 분기 연결되는 제1 분기관로(77)와, 상기 제5 유량센서(75)를 지난 후 제2 분기밸브(78a)에 의하여 분기되어 막분리 필터(4)로 재유입되도록 하는 제2 분기관로(78)와, 상기 제6 유량센서(76)를 지난 후 제3 분기밸브(79a)에 의하여 분기되어 막분리 필터(4)로 재유입되도록 하는 제3 분기관로(79)를 포함하는 제어부(7)를 구성하여 각 단계에서 분리되는 성분을 제어하여 보다 효율을 극대화하도록 하였다.
본원은 이러한 구성을 가진 장치에서 막분리장치(4)가 외부에 가열장치를 이용하여 막분리의 내부 온도를 순차적인 가온 및 기체의 확산속도를 증가시킬 경우 더 효율적인 분리가 가능하게 되는 것으로 상기 막분리 필터(4)의 제2 챔버(41) 외표면은 내부에 열선(81)이 장착되어 상기 제어부에서 설정된 온도까지 상승하도록 하는 히터자켓(82)을 포함하는 히팅장치(8)를 장착하도록 한 것이다.
이때 지나치게 온도가 높을 경우 또는 부분적인 가열상태가 될 경우 장치의 파손우려가 높기 때문에 50~60℃ 정도의 온도를 유지하도록 함이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅 및 냉각장치를 나타낸 흐름도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 개념도로서, 상기 히터자켓(82)과 제2 챔버(41)의 외표면 사이에는 일측에서 유입되어 타측으로 빠져나가도록 제2 챔버(41)를 감아 형성되는 냉각배관(91)과, 상기 냉각배관(91)의 양 끝단과 연결되는 냉각수 탱크(92)와, 상기 냉각배관(91)으로 냉각수를 공급하는 펌프(93)와, 상기 냉각배관(91)에 장착되는 하나 이상의 밸브(94)와, 제2 챔버(41)의 온도를 감지하는 온도감지센서(95)로 구성되는 냉각장치(9)가 추가로 구비되는 실시 예를 제시하였다.
상기 실시 예는 보통 막분리장치(4)의 경우 60℃를 넘어가면 분리막이 깨지는 현상이 발생하게 되며 이에 따라 본원은 온도감지센서(95)를 장착하여 실시간으로 온도를 모니터링 할 수 있고, 목표 온도가 도달 시 운전온도를 유지할 수 있도록 히팅장치(8)를 가동하다가 일정 온도 이상이 되면 냉각장치(9)를 가동하도록 하여 간접가열 방식에서 국부적으로 급격이 가온되어 분리막의 수명을 단축시키는 문제점을 해결하였다.
1 : 배가스 발생시설
2 : 제1 드라이 펌프
3 : 전처리 필터
31 : 제1 챔버 32 : 물
33 : 배가스 유입부 34 : 알카리성 흡착제층
35 : 물분사노즐 36 : 수분 흡착필터
37 : 배가스 배출부
4 : 막분리 필터
41 : 제2 챔버 42 : 분리홀
43 : 질소 배출부 44 : 육불화황 배출부
5 : 질소 재활용 공급부
51 : 제2 드라이 펌프 52 : 질소 배출배관
53 : 질소 탱크 54 : 재공급 배관
55 : 질소 공급배관
6 : 육불화황 재활용 공급부
61 : 육불화황 탱크 62 : 육불화황 공급배관
7 : 제어부
71 : 제1 유량밸브 72 : 제2 유량밸브
73 : 제3 유량밸브 74 : 제4 유량밸브
75 : 제5 유량밸브 76 : 제6 유량밸브
77a : 제1 분기밸브 77 : 제1 분기관로
78a : 제2 분기밸브 78 : 제2 분기관로
79a : 제3 분기밸브 79 : 제3 분기관로
8 : 히팅장치
81 : 열선 82 : 히터자켓
9 : 냉각장치
91 : 냉각배관 92 : 냉각수 탱크
93 : 펌프 94 : 밸브
95 : 온도감지센서

Claims (2)

  1. 드라이 에칭공정과 CVD 세정 챔버 등의 과불화화합물을 이용하거나 생성되는 배가스 발생시설(1)에서 발생하는 분진을 포함하는 가스를 처리하기 위하여 하나 이상의 배가스 발생시설(1)에서 발생하는 배가스를 흡입하는 제1 드라이 펌프(2)와, 질소와 육불화황을 제외한 성분과 각종 분진 및 수분을 흡착하는 전처리 필터(3)와, 상기 전처리 필터(3)를 거친 배가스가 유입되어 질소는 분리홀을 통과하여 질소 배출부로 배출되고 육불화황은 통과하지 못하여 육불화황 배출부로 배출하여 연소시키도록 하는 막분리 필터(4)와, 상기 질소 배출부로 배출된 질소와 함께 제1 드라이 펌프(2)로 질소를 공급하는 질소 재활용 공급부(5)와, 상기 육불화황 배출부로 배출되는 육불화황이 충진되어 하나 이상의 배가스 발생시설(1)에 육불화황을 공급하는 육불화황 재활용 공급부(6)와, 일련의 관로를 제어하는 제어부로 구성됨을 특징으로 하는 과불화화합물의 분리 및 재활용 시스템에 있어서;
    상기 막분리 필터(4)의 제2 챔버(41) 외표면은 내부에 열선(81)이 장착되어 상기 제어부에서 설정된 온도까지 상승하도록 하는 히터자켓(82)을 포함하는 히팅장치(8)가 장착됨을 특징으로 하는 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 히터자켓(82)과 제2 챔버(41)의 외표면 사이에는 일측에서 유입되어 타측으로 빠져나가도록 제2 챔버(41)를 감아 형성되는 냉각배관(91)과, 상기 냉각배관(91)의 양 끝단과 연결되는 냉각수 탱크(92)와, 상기 냉각배관(91)으로 냉각수를 공급하는 펌프(93)와, 상기 냉각배관(91)에 장착되는 하나 이상의 밸브(94)와, 제2 챔버(41)의 온도를 감지하는 온도감지센서(95)로 구성되는 냉각장치(9)가 추가로 구비됨을 특징으로 하는 막분리필터 히팅장치가 장착된 과불화화합물 분리 및 재활용시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110523248A (zh) * 2019-08-12 2019-12-03 江苏新久扬环保设备科技有限公司 一种恒温、多阶段废气处理系统
KR102564047B1 (ko) * 2021-07-07 2023-08-04 한국기계연구원 흡탈착식 유동층 반응기를 포함한 스크러버 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR930005622B1 (ko) * 1988-10-07 1993-06-23 유니온 카바이드 코포레이션 개량된 막분리 장치 및 방법
US5294345A (en) 1993-02-01 1994-03-15 Membrane Technology And Research, Inc. Membrane module assembly
JP2002363115A (ja) 2001-06-01 2002-12-18 Research Institute Of Innovative Technology For The Earth パーフルオロコンパウンドの低温精製によるリサイクル方法
KR20120117296A (ko) * 2011-04-15 2012-10-24 한국과학기술연구원 Ｓｆ6 분리회수장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR930005622B1 (ko) * 1988-10-07 1993-06-23 유니온 카바이드 코포레이션 개량된 막분리 장치 및 방법
US5294345A (en) 1993-02-01 1994-03-15 Membrane Technology And Research, Inc. Membrane module assembly
JP2002363115A (ja) 2001-06-01 2002-12-18 Research Institute Of Innovative Technology For The Earth パーフルオロコンパウンドの低温精製によるリサイクル方法
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