KR101486612B1 - Container for processing tool for mounting substrate - Google Patents

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Abstract

지지편과 링 프레임의 접촉에 수반하는 이물질의 발생을 억제하고, 링 프레임의 덜거덕거림을 억제할 수 있고, 용기 본체의 구성을 간소화하여 부품 수를 저감할 수 있는 기판을 탑재하는 처리 도구용의 수납 케이스를 제공한다. 전후부가 각각 개구한 용기 본체(10)와, 이 용기 본체의 양 측벽(14)의 내면에 대향하여 형성되고, 반도체 웨이퍼를 탑재하는 처리 도구의 링 프레임(2)을 지지하는 한 쌍의 지지편(20)을 구비하고, 용기 본체(10)의 상하 방향으로 한 쌍의 지지편(20)을 간격을 두어 복수 배열하고, 인접하는 지지편(20)과 지지편(20) 사이를 링 프레임용의 삽입홈(21)으로 형성한다. 그리고, 각 지지편(20)의 후부에, 링 프레임의 측부 후방에 간섭하는 스토퍼(22)를 설치하고, 스토퍼(22)에는 경사면(23)을 형성한다. 경사면(23)이 삽입홈(21)을 서서히 메우므로, 링 프레임의 상하 방향에의 덜거덕거림을 억제 방지할 수 있어 링 프레임의 손상을 방지할 수 있다.There is provided a substrate processing apparatus for mounting a substrate capable of suppressing the generation of foreign matter accompanying the contact between the support piece and the ring frame and suppressing rattling of the ring frame and reducing the number of parts by simplifying the structure of the container body Thereby providing a storage case. And a pair of supporting pieces (12) for supporting the ring frame (2) of the processing tool on which the semiconductor wafers are mounted, which are formed to face the inner surfaces of both side walls (14) of the container body, A plurality of pairs of support pieces 20 are arranged at intervals in the vertical direction of the container main body 10 and a space between adjacent support pieces 20 and the support pieces 20 As shown in Fig. A stopper 22 interfering with the rear side of the ring frame is provided on the rear portion of each support piece 20 and an inclined surface 23 is formed on the stopper 22. Since the inclined surface 23 gradually fills the insertion groove 21, it is possible to prevent rattling in the vertical direction of the ring frame, thereby preventing the ring frame from being damaged.

Description

기판을 탑재하는 처리 도구용의 수납 케이스{CONTAINER FOR PROCESSING TOOL FOR MOUNTING SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a container case for a processing tool,

본 발명은 반도체 웨이퍼(wafer) 등으로 이루어지는 각종의 기판을 탑재하는 처리 도구(processing tool)용의 수납 케이스에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a storage case for a processing tool on which various substrates such as semiconductor wafers are mounted.

반도체 웨이퍼는 반도체 패키지(package)의 제조시에 다이싱(dicing)용 테이프 프레임(tape frame)으로 불리는 처리 도구에 탑재되지만, 이 처리 도구의 링 프레임(ring frame)은 일반적으로 수납 케이스에 보관된다. 이런 종류의 수납 케이스는, 도시하지 않지만, 전후부가 각각 개구한 알루미늄제의 용기 본체와, 이 용기 본체의 양 측벽 내면에 대설(對設)되고, SUS제의 링 프레임을 지지하는 한 쌍의 지지편을 구비하여 구성되어 있다(특허문헌 1, 2 참조). 이 수납 케이스는 용기 본체의 상하 방향으로 한 쌍의 지지편이 소정의 간격으로 복수 배열되고, 상하 방향에 있어서 인접하는 지지편과 지지편 사이가 링 프레임용의 삽입홈으로 구획 형성되어 있다. Although the semiconductor wafer is mounted on a processing tool called a tape frame for dicing in the manufacture of a semiconductor package, the ring frame of the processing tool is generally stored in a storage case . This type of storage case includes a container body made of aluminum and having front and rear portions opened, respectively, and a pair of supports (not shown), which are provided on inner surfaces of both side walls of the container body, (See Patent Documents 1 and 2). The storage case has a pair of support pieces arranged at a predetermined interval in the vertical direction of the container body, and a space between the adjacent support pieces and the support piece in the up-and-down direction is defined by the insertion groove for the ring frame.

그런데, 이런 종류의 수납 케이스는 작업자에 의해 반송, 운반, 수송되는 관계상, 반송, 운반, 수송할 때에 링 프레임이 용기 본체로부터 튀어나와 탈락할 우려가 있으므로, 이 링 프레임의 튀어나옴을 규제하기 위해 각종의 규제 방법이 검토되어 채용되고 있다. However, since this type of storage case is transported, transported and transported by an operator, there is a risk that the ring frame protrudes out of the container body when it is transported, transported, or transported, Various regulatory methods have been reviewed and adopted.

관련되는 규제 방법으로서는, (1) 한 쌍의 지지편의 전부나 후부에 억제 부품을 장착하는 방법, (2) 용기 본체의 개구부 양측에 회전편을 각각 지지시키고, 이 회전편에 의해 용기 본체의 개구부를 막아 링 프레임의 튀어나옴을 규제하는 방법, (3) 용기 본체의 각 측벽에 복수의 지지편의 일부를 형성하는 슬라이드(slide)벽을 슬라이드 가능하게 구비하고, 이 슬라이드벽을 상하 방향으로 슬라이드시켜 링 프레임을 끼워 지지하는 방법 등을 들 수 있다.As a related regulating method, there are (1) a method of mounting a restraining part on the front and rear of a pair of supporting pieces, (2) a rotating piece is supported on both sides of the opening of the container body, (3) a method of slidably moving a slide wall that forms a part of a plurality of support pieces on each side wall of the container body, and sliding the slide wall in the vertical direction And a method of holding the ring frame therebetween.

특허문헌1:일본특허공개1996-80989호공보Patent Document 1: JP-A-1996-80989 특허문헌2:일본특허공표2005-508274호공보Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 2005-508274

종래에 있어서의 처리 도구용의 수납 케이스는, 이상과 같이 알루미늄을 사용하여 용기 본체나 복수의 지지편이 단순히 제조되어 있으므로, 지지편과 링 프레임의 미끄럼 접합에 수반하여 도전성의 이물질이 발생하고, 이 결과 반도체 웨이퍼나 링 프레임의 오염을 초래한다고 하는 문제가 있다. Conventionally, since the container body and the plural supporting pieces are simply manufactured using the aluminum as described above, conductive foreign matter is generated along with sliding contact between the supporting piece and the ring frame, As a result, there is a problem that contamination of the semiconductor wafer or the ring frame occurs.

또, 종래에 있어서의 처리 도구용의 수납 케이스는, 링 프레임이 용기 본체로부터 튀어나오는 것을 규제하는 여러 가지 규제 방법이 채용되고 있지만, (1), (2)의 방법의 경우에는, 링 프레임의 튀어나옴을 규제할 수가 있지만, 반송, 운반, 수송시의 진동으로 링 프레임의 상하 방향에의 덜거덕거림을 방지할 수가 없어, 반도체 웨이퍼나 링 프레임의 손상을 초래한다고 하는 큰 문제가 새롭게 생기게 된다. 또, (3)의 방법의 경우에는, 링 프레임의 상하 방향에의 덜거덕거림을 방지할 수가 있지만, 슬라이드벽의 슬라이드 조작이 요구되고, 또한 용기 본체의 구성이 복잡화하여 부품 수가 증가할 우려가 있다. In the case of the conventional method of the methods (1) and (2), it is preferable that the ring frame It is impossible to prevent the ring frame from being rattled in the up and down direction due to the vibration during transportation, transportation and transportation, thereby causing a new problem of damaging the semiconductor wafer or the ring frame. In the case of the method (3), rattling in the up-and-down direction of the ring frame can be prevented. However, sliding operation of the slide wall is required, and the structure of the container body is complicated, .

본 발명은 상기를 감안한 것으로, 지지편과 링 프레임의 접촉에 수반하는 이물질의 발생을 억제하고, 링 프레임의 덜거덕거림을 억제할 수가 있고, 용기 본체의 구성을 간소화하여 부품 수를 저감할 수 있는 처리 도구용의 수납 케이스를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a container body which can suppress the generation of foreign matter accompanying contact between the support piece and the ring frame, suppress the rattling of the ring frame, And it is an object of the present invention to provide a storage case for a processing tool.

본 발명에 있어서는 상기 과제를 해결하기 위해, 전후부가 각각 개구한 용기 본체와, 이 용기 본체의 양 측벽의 내면에 대향하여 돌출 형성되고, 기판을 탑재하는 처리 도구의 링 프레임(ring frame)을 지지하는 한 쌍의 지지편을 구비한 것으로서, 용기 본체의 상하 방향으로 한 쌍의 지지편을 소정의 간격으로 복수 배열하고, 상하 방향으로 인접하는 지지편과 지지편 사이를 링 프레임용의 삽입홈으로 구획 형성하고, 지지편과 삽입홈의 어느 일방의 대략 후부에, 링 프레임의 측부 후방에 대향하는 스토퍼(stopper)를 설치함과 아울러, 이 스토퍼에는 링 프레임의 덜거덕거림을 규제하는 경사면을 형성한 것을 특징으로 하고 있다. In order to solve the above problems, in the present invention, there is provided a container body, comprising: a container body having front and rear portions respectively opened; and a ring frame protruding from the inner surface of both side walls of the container body, A plurality of pairs of support pieces are arranged at predetermined intervals in the vertical direction of the container body, and between the support pieces and the support pieces which are adjacent in the up-and-down direction, A stopper opposed to the rear side of the ring frame is provided on substantially the rear of one of the support piece and the insertion groove and the stopper is provided with an inclined surface for restricting the rattling of the ring frame .

또한, 용기 본체의 개구한 전후부의 적어도 어느 일방을 착탈이 자유롭게 개폐하는 덮개를 구비하고, 이 덮개의 내면에 링 프레임에 간섭하는 돌기부를 설치할 수가 있다.In addition, it is also possible to provide a lid for opening and closing at least one of the front and rear openings of the container body so as to freely attach and detach, and a protrusion interfering with the ring frame can be provided on the inner surface of the lid.

또, 용기 본체의 적어도 양 측벽과 한 쌍의 지지편을 슬라이딩(sliding)성의 수지를 포함하는 성형 재료에 의해 성형할 수가 있다.In addition, at least both side walls of the container body and the pair of supporting pieces can be formed by a molding material including a sliding resin.

또, 지지편의 대략 전부(前部)와 대략 중앙부 중 적어도 어느 일방에, 링 프레임의 측부에 대향하는 돌기를 설치하고, 이 돌기에는 하방의 지지편을 향함에 따라 서서히 좁아지는 경사면을 형성할 수가 있다. It is also possible to provide a protrusion opposed to the side portion of the ring frame on at least one of the substantially front portion and the substantially central portion of the support piece and form an inclined surface that gradually narrows toward the lower support piece have.

여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 용기 본체는 투명, 불투명, 반투명의 어느 것이라도 좋다. 기판은 구경 200mm, 300mm, 450mm의 반도체 웨이퍼라도 좋고, 직사각형의 유리 기판 등이라도 좋다. 또, 처리 도구의 링 프레임은 기판을 탑재한 상태에서 지지편에 지지되어도 좋고, 기판을 탑재하지 않은 단독의 상태에서 지지편에 지지되어도 좋다. 이 링 프레임은 중공(中空)의 링(ring)형이라도 좋지만, 외주면에 절결(切缺)이나 직선부 등이 형성되어 있어도 좋고, 외주면이 다각형 등이라도 좋다. 대략 후부에는 후단부를 포함하는 후부나 후부로 인지되는 부분이 포함된다. Here, the container body in the claims may be transparent, opaque or translucent. The substrate may be a semiconductor wafer having a diameter of 200 mm, 300 mm or 450 mm, or a rectangular glass substrate. The ring frame of the processing tool may be supported on the support piece in a state where the substrate is mounted, or may be supported on the support piece in a state where the substrate is not mounted. The ring frame may be of a hollow ring type, but it may have a cutout, a straight line, or the like on its outer circumferential surface, or may have a polygonal outer circumferential surface. The rear portion roughly includes a portion recognized as a rear portion or a rear portion including a rear end portion.

지지편의 대략 전부(前部)에는 전단부를 포함하는 전부나 전부로 인지되는 부분이 포함된다. 마찬가지로 지지편의 대략 중앙부에는 중앙부나 중앙부로 인지되는 부분이 포함된다. 또, 덮개는 투명, 불투명, 반투명의 어느 것이라도 좋고, 가요성(flexibility)이나 탄성의 유무를 특히 따지는 것은 아니다. 이 덮개의 돌기부는 단수 복수를 따지는 것은 아니다. 또한, 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스는 수평으로 사용되는 것이 주(主)이지만, 특히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 개구한 전부를 상방으로 향한 기립 상태로 사용되어도 좋다. A substantially front portion of the support piece includes a portion recognized as a front portion or a front portion including the front end portion. Similarly, the approximately central portion of the support includes a portion recognized as a center portion or a center portion. Further, the cover may be transparent, opaque or translucent, and does not particularly consider flexibility or elasticity. The protrusion of this cover is not a singular plural. The storage case for the treatment tool according to the present invention is mainly used for horizontal use, but is not particularly limited. For example, the storage case may be used in a standing state with all opened portions directed upward.

본 발명에 의하면, 지지편과 링 프레임의 접촉에 수반하는 이물질의 발생을 유효하게 억제할 수가 있다고 하는 효과가 있다. 또, 링 프레임의 덜거덕거림을 억제할 수가 있고, 용기 본체의 구성을 간소화하여 부품 수를 저감할 수가 있다고 하는 효과가 있다. According to the present invention, it is possible to effectively suppress the generation of foreign matter accompanying contact between the support piece and the ring frame. In addition, the backlash of the ring frame can be suppressed, and the structure of the container main body can be simplified, thereby reducing the number of parts.

또, 용기 본체의 개구한 전후부의 적어도 어느 일방을 착탈이 자유롭게 개폐하는 덮개를 구비하고, 이 덮개의 내면에 링 프레임에 간섭하는 돌기부를 설치하면, 이 돌기부의 간섭에 의해, 용기 본체에 수납된 링 프레임의 덜거덕거림을 보다 유효하게 억제할 수가 있다.It is also possible to provide a lid for opening and closing at least one of the front and rear openings of the container body so as to freely attach and detach. When the protruding portion interfering with the ring frame is provided on the inner surface of the lid, The rattling of the ring frame can be suppressed more effectively.

또, 용기 본체의 적어도 양 측벽과 한 쌍의 지지편을 슬라이딩성의 수지를 포함하는 성형 재료에 의해 성형하면, 지지편과 링 프레임의 접촉에 수반하는 이물질의 발생을 억제할 수가 있다. When at least both side walls of the container body and the pair of supporting pieces are formed by a molding material containing a sliding resin, generation of foreign matter accompanying contact between the supporting piece and the ring frame can be suppressed.

또, 지지편의 대략 전부와 대략 중앙부 중 적어도 어느 일방에, 링 프레임의 측부에 대향하는 돌기를 설치하고, 이 돌기에 하방의 지지편을 향함에 따라 서서히 좁아지는 경사면을 형성하면, 돌기에 의해 링 프레임이 삽입된 삽입홈을 메울 수가 있으므로, 진동 등에 수반하는 링 프레임의 덜거덕거림을 막는 것이 가능하게 된다. 또한, 돌기의 경사면의 가이드(guide) 기능에 의해, 삽입홈에 있어서의 링 프레임의 출납에 지장을 초래하는 일이 적게 되므로, 적어도 링 프레임의 손상 방지를 기대할 수 있다. If at least one of the substantially entire portion and the substantially central portion of the support piece is provided with a protrusion opposed to the side portion of the ring frame and the protrusion is formed with an inclined surface that gradually becomes narrower toward the lower support piece, The insertion groove into which the frame is inserted can be closed, thereby making it possible to prevent rattling of the ring frame accompanying vibration or the like. In addition, since the guiding function of the inclined surface of the projection reduces the inconvenience to the insertion and removal of the ring frame in the insertion groove, it is possible to at least prevent damage to the ring frame.

도 1은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 2는 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 평면 설명도이다.
도 3은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 측면 설명도이다.
도 4는 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태에 있어서의 처리 도구를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 5는 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태에 있어서의 중공(中空)의 링 프레임(ring frame)을 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 6은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태에 있어서의 덮개를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 7은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태에 있어서의 덮개를 모식적으로 나타내는 평면 설명도이다.
도 8은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태에 있어서의 덮개를 모식적으로 나타내는 측면 설명도이다.
도 9는 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 요부 설명도이다.
도 10은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 제2의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 요부 설명도이다.
도 11은 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 제2의 실시 형태에 있어서의 링 프레임, 지지편, 삽입홈 등의 관계를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 12는 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 제3의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 요부 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front view schematically showing an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention; FIG.
2 is a plan explanatory view schematically showing an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
3 is a side explanatory view schematically showing an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
4 is a perspective view schematically showing a processing tool in an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
5 is a perspective view schematically showing a hollow ring frame in an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
6 is an explanatory diagram schematically showing a lid in an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
7 is a plan view for schematically showing a lid in an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
8 is a side view for schematically showing a lid in an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
Fig. 9 is an explanatory view schematically showing an embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention. Fig.
10 is an explanatory view schematically showing a second embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
11 is an explanatory view schematically showing the relationship between a ring frame, a support piece, an insertion groove and the like in a second embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention.
Fig. 12 is an explanatory view schematically showing a third embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention. Fig.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관계되는 처리 도구용의 수납 케이스의 바람직한 실시 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 처리 도구용의 수납 케이스는, 도 1 내지 도 6에 나타내듯이, 반도체 웨이퍼(wafer)(W)를 탑재하는 처리 도구(processing tool)(1)를 출납 가능하게 수납하는 용기 본체(10)와, 이 용기 본체(10)의 양 측벽(14)에 대설(對設)되고, 처리 도구(1)의 링 프레임(ring frame)(2)을 지지하는 한 쌍의 지지편(20)과, 용기 본체(10)의 개구한 전부(前部)를 개폐하는 투명한 덮개(30)를 구비하고 있다. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a storage case for a processing tool according to the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in Figs. 1 to 6, a container body 10 for accommodating a processing tool 1 for loading and unloading wafers W thereon and a plurality of processing tools 1 mounted on both side walls 14 of the container body 10 A pair of supporting pieces 20 for supporting a ring frame 2 of the processing tool 1 and a transparent lid 30 for opening and closing the front portion of the container body 10, .

반도체 웨이퍼(W)는, 도 4에 나타내듯이, 예를 들면 얇고 둥글게 슬라이스(slice)된 구경 200mm의 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 주연부에는 위치 맞춤용의 오리엔테이션 플랫(orientation flat)이나 평면 대략 반원형의 노치(notch)가 선택적으로 적당히 형성된다. As shown in Fig. 4, the semiconductor wafer W is made of, for example, a thin and round sliced silicon wafer having a diameter of 200 mm, and the periphery thereof is provided with an orientation flat for positioning, a notch is selectively formed appropriately.

처리 도구(1)는, 도 1, 도 4, 도 5에 나타내듯이, 반도체 웨이퍼(W)를 수납 가능한 중공(中空)을 가지는 링 프레임(ring frame)(2)을 구비하고, 이 링 프레임(2)의 이면에는 중공을 하방으로부터 덮는 가요성(flexibility)의 점착층(3)이 착탈이 자유롭게 점착되어 있고, 이 점착층(3) 상에는 반도체 웨이퍼(W)가 착탈이 자유롭게 점착 보지(保持)된다. 링 프레임(2)은 SUS나 수지 등을 포함하는 소정의 재료에 의해 중공의 평판으로 형성되고, 전부(前部) 양측에는 위치 결정용의 절결(切缺)(4)이 각각 대략 삼각형으로 형성된다. The processing tool 1 is provided with a ring frame 2 having a hollow capable of accommodating a semiconductor wafer W as shown in Figs. 1, 4 and 5, and the ring frame 2 A flexible adhesive layer 3 covering the hollow from below is adhered freely to the rear surface of the adhesive layer 3 so that the semiconductor wafer W can be attached and detached freely, do. The ring frame 2 is formed as a hollow flat plate by a predetermined material including SUS, resin or the like, and on both sides of the front portion, a notch 4 for positioning is formed into a substantially triangular shape do.

용기 본체(10)는, 도 1 내지 도 3에 나타내듯이, 처리 도구(1)를 수납 가능한 크기를 가지는 직사각형의 저판(11)과, 이 저판(11)에 상방으로부터 간격을 두어 대향하는 동일 형태의 천판(天板)(13)과, 이들 저판(11)과 천판(13)의 양 측부 사이를 세로로 연결하는 한 쌍의 측벽(14)을 구비하고, 전후부가 각각 개구한 직사각형의 상자형으로 구성되어 있고, 반도체 웨이퍼(W)를 탑재한 처리 도구(1), 혹은 반도체 웨이퍼(W)를 탑재하는 처리 도구(1)의 링 프레임(2)을 도시하지 않은 반송 로봇(robot)을 통하여 수평으로 복수 정렬 수납하도록 기능한다. As shown in Figs. 1 to 3, the container body 10 includes a rectangular bottom plate 11 having a size capable of accommodating the processing tool 1 and a rectangular plate 11 having the same shape And a pair of side walls 14 vertically connecting between the bottom plate 11 and both side portions of the top plate 13. The front and rear portions of the top plate 13 are formed in a rectangular box- And the ring frame 2 of the processing tool 1 on which the semiconductor wafer W is mounted or the processing tool 1 on which the semiconductor wafer W is mounted is mounted on a transfer robot It functions to store multiple alignments horizontally.

용기 본체(10)의 저판(11), 천판(13), 및 한 쌍의 측벽(14)은, 예를 들면 슬라이딩(sliding)성이 뛰어난 수지를 포함하는 성형 재료에 의해 각각 사출 성형되고, 나사 등의 복수의 체결구에 의해 조립된다. 이 슬라이딩성의 성형 재료로서는, 예를 들면 PTFE 입자가 들어 있는 폴리카보네이트나 폴리아세탈 등을 들 수 있다. 또, 저판(11)의 내면 전단부에는 도 1에 나타내듯이, 하방의 링 프레임(2)의 출납에 도움이 되는 직사각형의 오목부(12)가 절결되고, 서로 대향하는 한 쌍의 측벽(14)의 상부 전방 사이와 상부 후방 사이에는, 단면 대략 모자(hat)형을 나타내는 쥠 조작용의 핸들(handle)(15)이 각각 세우거나 눕힐 수 있게 축걸침된다(도 2 참조). The bottom plate 11, the top plate 13 and the pair of side walls 14 of the container body 10 are respectively injection-molded by a molding material including a resin having excellent sliding property, And the like. Examples of the molding material of the sliding property include polycarbonate and polyacetal containing PTFE particles. As shown in Fig. 1, a rectangular concave portion 12 for cutting out the lower ring frame 2 is cut out and a pair of side walls 14 (See Fig. 2) between the upper front side and the upper rear side of the front side of the front side (front side) and the rear side

한 쌍의 지지편(20)은, 도 1이나 도 9에 나타내듯이, 슬라이딩성이 뛰어난 수지를 포함하는 상기 성형 재료에 의해 일체 성형되고, 용기 본체(10)의 양 측벽 내면에 간격을 두고 대향하여 돌출 형성되어 있고, 링 프레임(2)의 양 측부를 대략 수평으로 지지하도록 기능한다. 이 한 쌍의 지지편(20)은 용기 본체(10)의 상하 방향으로 소정의 간격을 두어 복수 배열되고, 상하 방향에 있어서 인접하는 지지편(20)과 지지편(20) 사이가 링 프레임(2)용의 삽입홈(21)으로 구획 형성되어 있고, 각 지지편(20)이 용기 본체(10)의 전후 방향으로 뻗어 있는 가늘고 긴 판으로 형성된다. As shown in Figs. 1 and 9, the pair of support pieces 20 are integrally formed by the molding material including a resin having excellent sliding property, And functions to support both sides of the ring frame 2 substantially horizontally. The pair of support pieces 20 are arranged at a predetermined interval in the vertical direction of the container body 10 and the space between the adjacent support pieces 20 and the support pieces 20 in the up- 2, and each of the support pieces 20 is formed as an elongated plate extending in the front-rear direction of the container body 10.

각 지지편(20)의 하면 후부에는 도 9에 나타내듯이, 링 프레임(2)의 측부 후방에 간섭·대향하여 위치 결정하는 스토퍼(stopper)(22)가 일체 형성되고, 이 스토퍼(22)의 측면에는 하방의 지지편(20)을 향함에 따라 서서히 좁아지는 경사면(23)이 매끄럽게 형성되어 있고, 이 경사면(23)이 링 프레임(2)의 후부 표면에 간극을 두고 대향한다. 이들 스토퍼(22)나 경사면(23)도 슬라이딩성이 뛰어난 수지를 포함하는 상기 성형 재료에 의해 성형된다. 각 삽입홈(21)은 지지편(20)과 마찬가지로 용기 본체(10)의 전후 방향으로 신장 형성되고, 링 프레임(2)의 두께 이상의 높이(폭)를 가진다. 9, a stopper 22 is integrally formed at the rear of the lower surface of each support piece 20 so as to be positioned behind and facing the rear side of the ring frame 2 to face the stopper 22, The inclined surface 23 is formed so as to be gradually narrowed toward the lower support piece 20 on its side surface. The inclined surface 23 faces the rear surface of the ring frame 2 with a clearance therebetween. These stoppers 22 and the inclined surfaces 23 are also molded by the molding material containing a resin having excellent sliding properties. Each insertion groove 21 is elongated in the front and rear direction of the container body 10 like the support piece 20 and has a height (width) equal to or greater than the thickness of the ring frame 2. [

덮개(30)는, 도 6 내지 도 8에 나타내듯이, 소정의 수지를 포함하는 성형 재료에 의해 탄성을 가지는 단면 대략 접시형으로 성형되고, 용기 본체(10)의 개구한 전부에 착탈이 자유롭게 끼워맞춰진다. 이 정면 대략 직사각형의 덮개(30)는, 그 중앙부의 상하 방향으로, 링 프레임(2)의 전부에 간섭하여 위치 결정하고 끼워 지지하는 대략 줄 모양의 돌기부(31)가 복수 배열 형성되고, 양 측부에는 링 프레임(2)의 전부 양측에 압접(壓接)하여 덜거덕거림을 억제 방지하는 대략 직사각형의 불룩하게 나온 부분(32)이 각각 입체적으로 일체 형성된다. As shown in Figs. 6 to 8, the lid 30 is formed into a substantially dish-shaped cross section having elasticity by a molding material containing a predetermined resin. The lid 30 is detachably attached to the entire opening of the container body 10 It is tailored. The cover 30 having a substantially rectangular front face has a plurality of substantially row-like protruding portions 31 arranged and interposed in the vertical direction of the central portion of the ring frame 2 so as to interfere with the whole of the ring frame 2, Are each integrally formed integrally with the ring frame 2 in such a manner that the ring frame 2 is press-contacted on both sides of the ring frame 2 so as to prevent the rattling.

덮개(30)의 주연부는, 도 6이나 도 8에 나타내듯이, 돌기부(31)나 불룩하게 나온 부분(32)측으로 굴곡하여 대략 테두리형을 나타내고, 상하부의 양측에는 용기 본체(10)의 개구한 전부 외주면에 걸어맞춰지는 덮개(30)용의 걸어맞춤부(33)가 일체적으로 불룩하게 형성된다.The peripheral edge of the lid 30 is curved toward the protruding portion 31 or the bulged portion 32 as shown in Fig. 6 or Fig. 8 to show a substantially rim shape. On both sides of the upper and lower portions, An engaging portion 33 for the lid 30 to be engaged with the entire outer circumferential surface is formed integrally bulging.

또한, 덮개(30)의 주연부의 좌우 양측에, 용기 본체(10)의 개구한 전부 외주면에 걸어맞춰지는 걸어맞춤부(33)를 일체적으로 형성하는 것도 가능하다. It is also possible to integrally form the engaging portions 33 which are engaged with the outer circumferential surfaces of the entire openings of the container main body 10 on both left and right sides of the periphery of the lid 30.

상기에 있어서, 용기 본체(10) 내에 처리 도구(1)의 링 프레임(2)을 수납하는 경우에는, 용기 본체(10) 내에 처리 도구(1)의 링 프레임(2)을 전방으로부터 반송 로봇에 의해 수평으로 삽입하면 좋다.When the ring frame 2 of the processing tool 1 is accommodated in the container body 10 described above, the ring frame 2 of the processing tool 1 is inserted into the container body 10 from the front side to the transport robot It may be inserted horizontally.

그러면, 용기 본체(10)의 삽입홈(21)에 링 프레임(2)이 수평으로 삽입되어 슬라이드(slide)됨과 아울러, 한 쌍의 지지편(20)에 링 프레임(2)의 양 측부가 하방으로부터 대략 수평으로 지지되고, 스토퍼(22)의 경사면(23)에 링 프레임(2)이 안내되어 접촉·정지되고, 이들에 의해 용기 본체(10) 내에 링 프레임(2)이 적절히 위치 결정 수납되게 된다. The ring frame 2 is horizontally inserted and slid into the insertion groove 21 of the container main body 10 and both side portions of the ring frame 2 are slid downward in the pair of support pieces 20, And the ring frame 2 is guided and stopped on the inclined surface 23 of the stopper 22 so that the ring frame 2 is properly positioned and housed in the container body 10 do.

용기 본체(10) 내에 처리 도구(1)의 링 프레임(2)이 수납되면, 용기 본체(10)의 개구한 전부에 덮개(30)가 착탈이 자유롭게 끼워맞춰지고, 이 덮개(30)의 복수의 돌기부(31)가 링 프레임(2)의 전부를 끼워 지지하여 그 움직임을 규제함으로써, 반송, 운반, 수송시의 진동에 수반하는 링 프레임(2)의 상하 방향에의 덜거덕거림이 억제 방지된다. When the ring frame 2 of the processing tool 1 is received in the container body 10, the lid 30 is detachably fitted to the entire opening of the container body 10, and a plurality of lids 30 The projections 31 of the ring frame 2 sandwich the whole of the ring frame 2 so as to restrain the movement of the ring frame 2 so as to prevent the ring frame 2 from being rattled in the vertical direction due to vibration during transportation, .

상기 구성에 의하면, 용기 본체(10)나 복수의 지지편(20)이 알루미늄제가 아니라 슬라이딩성이 뛰어난 경량의 수지제이므로, 링 프레임(2)과 지지편(20)의 미끄럼 접합에 수반하여 도전성의 이물질이 발생하는 일이 실로 적다. 따라서, 반도체 웨이퍼(W)나 링 프레임(2)의 오염 방지를 도모할 수가 있다. 또, 용기 본체(10)의 양 측벽(14)이나 지지편(20)뿐만 아니라 처리 도구(1)가 슬라이딩성의 수지제인 경우에는, 미끄럼 접합에 수반하는 도전성의 이물질 발생을 확실히 방지할 수가 있다. 또, 상기 작업시 스토퍼(22)에 링 프레임(2)의 후부가 규제되므로, 삽입된 링 프레임(2)의 위치 어긋남이나 탈락이 유효하게 방지된다. The container body 10 and the plurality of support pieces 20 are made of a lightweight resin excellent in sliding property and not in the form of an aluminum material. Therefore, the sliding contact between the ring frame 2 and the support piece 20, There is a small amount of foreign matter to be generated. Therefore, contamination of the semiconductor wafer W and the ring frame 2 can be prevented. When the processing tool 1 as well as both the side wall 14 and the holding pieces 20 of the container body 10 are made of a sliding resin, it is possible to reliably prevent conductive foreign matter from occurring due to sliding bonding. In addition, since the rear portion of the ring frame 2 is restricted to the stopper 22 during the above operation, the positional displacement and dropout of the inserted ring frame 2 are effectively prevented.

또, 스토퍼(22)의 테이퍼(taper)형의 경사면(23)이 삽입홈(21)의 여분의 공간을 서서히 메우므로, 진동에 수반하는 링 프레임(2)의 상하 방향에의 덜거덕거림을 억제 방지할 수가 있어, 반도체 웨이퍼(W)나 링 프레임(2)의 손상을 초래하는 일이 없다. 또한, 종래와 같은 슬라이드벽 등을 하등 필요로 하지 않으므로, 용기 본체(10)의 구성을 간소화할 수가 있어 부품 수의 삭감을 도모하는 것이 가능하게 된다. Since the tapered inclined surface 23 of the stopper 22 gradually fills the extra space of the insertion groove 21, the ring frame 2 can be prevented from being rattled in the vertical direction Therefore, the semiconductor wafer W and the ring frame 2 are not damaged. In addition, since no conventional slide wall or the like is required, the structure of the container body 10 can be simplified, and the number of parts can be reduced.

다음에, 도 10, 도 11은 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 각 지지편(20)의 하면 중앙부에, 링 프레임(2)의 측부 표면에 간극을 두고 대향하는 돌기(24)를 일체적으로 돌출 형성하고, 이 돌기(24)를 끝으로 갈수록 가늘어지는 사다리꼴로 형성하여 그 양 측부를 하방의 지지편(20)을 향함에 따라 서서히 좁아지는 매끄러운 경사면(25)으로 하도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다. Next, Figs. 10 and 11 show a second embodiment of the present invention. In this case, a gap is formed on the side surface of the ring frame 2 at the center of the lower surface of each support piece 20, The protrusions 24 are formed integrally with the protrusions 24. The protrusions 24 are formed in a trapezoidal shape that tapers toward the end and has smooth slopes 25 that are gradually narrowed toward the lower support pieces 20, . Other portions are substantially the same as those of the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 돌기(24)의 돌출에 의해 삽입홈(21)을 더 메울 수가 있으므로, 가령 덮개(30)를 생략해도 진동에 수반하는 링 프레임(2)의 상하 방향에의 덜거덕거림을 현저히 억제 방지할 수가 있는 것은 분명하다. 또, 돌기(24)의 가이드(guide) 기능을 가지는 비스듬한 경사면(25)에 링 프레임(2)이 원활히 미끄럼 접합하여 삽입의 도중에 정지하는 일이 없고, 링 프레임(2)의 출납이 저해되는 일이 없으므로, 반도체 웨이퍼(W)나 링 프레임(2)의 손상을 방지할 수가 있다. Also in this embodiment, the same operation and effect as in the above-described embodiment can be expected. Further, since the insertion groove 21 can be further filled with the protrusion 24, even if the lid 30 is omitted, It is clear that the rattling in the vertical direction of the ring frame 2 can be prevented from being remarkably suppressed. It is also possible to prevent the ring frame 2 from sliding smoothly against the oblique inclined surface 25 having the guide function of the projection 24 and stopping the insertion of the ring frame 2 during insertion, It is possible to prevent the semiconductor wafer W and the ring frame 2 from being damaged.

다음에, 도 12는 본 발명의 제3의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 각 지지편(20)의 하면 전부에, 링 프레임(2)의 측부 표면에 간극을 두고 대향하는 돌기(24A)를 일체적으로 돌출 형성하고, 이 돌기(24A)를 끝으로 갈수록 가늘어지는 사다리꼴로 형성하여 그 양 측부를 하방의 지지편(20)을 향함에 따라 서서히 좁아지는 매끄러운 경사면(25)으로 하고, 이 경사면(25)에 링 프레임(2)을 미끄럼 접합 가능하게 하도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 12A and 12B show a third embodiment of the present invention. In this case, protrusions 24A (opposite to each other with a gap on the side surface of the ring frame 2) The projections 24A are formed in a trapezoidal shape that tapers toward the end and has both side portions thereof formed as a smooth inclined surface 25 that gradually narrows toward the lower support piece 20, So that the ring frame 2 can be slidably joined to the inclined surface 25. Other portions are substantially the same as those of the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 새로운 돌기(24A)의 돌출에 의해, 삽입홈(21)의 여분의 공간을 보다 더 메울 수가 있으므로, 링 프레임(2)의 출납 작업의 최후까지 상하 방향에의 덜거덕거림을 큰 폭으로 억제 방지할 수가 있는 것은 명백하다. 또, 돌기(24A)의 가이드 기능을 가지는 비스듬한 경사면(25)에 링 프레임(2)이 원활히 안내되고, 전후 방향으로 슬라이드(slide)되므로, 링 프레임(2)의 출납에 지장을 초래하는 일이 없고, 반도체 웨이퍼(W)나 링 프레임(2)의 손상 방지를 크게 기대할 수 있다. Since the extra space of the insertion groove 21 can be further filled up by the protrusion of the new projection 24A, It is obvious that the backlash in the up-and-down direction can be largely restrained from being suppressed until the end of the cash-in / out operation. The ring frame 2 is smoothly guided on the oblique slant surface 25 having the guide function of the projection 24A and slides in the back and forth direction, It is possible to greatly prevent the semiconductor wafer W and the ring frame 2 from being damaged.

또한, 본 발명에 관계되는 처리 도구(1)용의 수납 케이스는 상기 실시 형태에 하등 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 실시 형태에서는 저판(11)의 내면 전단부에 오목부(12)를 절결했지만, 저판(11)의 내면 전후단부의 적어도 어느 일방에 링 프레임(2)의 출납에 도움이 되는 오목부(12)를 형성해도 좋고, 천판(天板)(13)의 내면 전후단부의 적어도 어느 일방에 링 프레임(2)의 출납에 도움이 되는 오목부(12)를 형성해도 좋다. Further, the storage case for the processing tool 1 according to the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the concave portion 12 is cut at the inner surface front end portion of the bottom plate 11, but at least one of the front and rear ends of the inner surface of the bottom plate 11 The concave portion 12 may be formed and at least one of the front and rear ends of the inner surface of the top plate 13 may be provided with a recess 12 for helping insertion and removal of the ring frame 2. [

또, 상기 실시 형태에서는 지지편(20)을 용기 본체(10)의 전후 방향으로 뻗어 있는 가늘고 긴 판으로 했지만, 하등 이것에 한정되는 것은 아니고, 링 프레임(2)의 수납에 특히 지장을 초래하지 않으면, 지지편(20)을 직선적인 판으로 해도 좋고, 지지편(20)을 후부가 J자형 등으로 굴곡된 판으로 해도 좋다. In the above embodiment, the support piece 20 is an elongated plate extending in the front-rear direction of the container body 10. However, the support piece 20 is not limited to this, The supporting piece 20 may be a linear plate, or the supporting piece 20 may be a plate whose rear portion is bent in a J-shape or the like.

또, 각 지지편(20)에 스토퍼(22)나 돌기(24·24A)를 형성해도 좋지만, 임의의 지지편(20)에 스토퍼(22)나 돌기(24·24A)를 형성해도 좋다. 또, 지지편(20)의 후부에 링 프레임(2)의 측부 후방에 간섭하는 스토퍼(22)를 설치했지만, 특히 지장을 초래하지 않으면, 삽입홈(21)의 후부에 링 프레임(2)의 측부 후방에 간섭하는 스토퍼(22)를 설치할 수도 있다. 또, 돌기(24)나 돌기(24A)의 양 측부가 아니라, 한 측부만을 하방의 지지편(20)을 향함에 따라 서서히 좁아지는 매끄러운 경사면(25)으로 할 수도 있다. The stopper 22 and the protrusions 24 and 24A may be formed on each of the support pieces 20 but the stopper 22 and the protrusions 24 and 24A may be formed on any of the support pieces 20. [ The stopper 22 interferes with the rear portion of the ring frame 2 at the rear portion of the support piece 20. The stopper 22 is provided at the rear portion of the insertion groove 21, It is also possible to provide a stopper 22 which interferes with the rear portion of the side portion. It is also possible to use not only the side portions of the protrusions 24 and the protrusions 24A but also the smooth inclined surface 25 which is gradually narrowed toward one of the support pieces 20 on the lower side.

또, 지지편(20)의 전부에만 링 프레임(2)의 측부에 대향하는 돌기(24A)를 설치하고, 중앙부의 돌기(24)를 생략할 수도 있다. 또한, 용기 본체(10)의 개구한 후부에 덮개(30)를 착탈이 자유롭게 끼워맞춰도 좋고, 용기 본체(10)의 개구한 전후부에 덮개(30)를 각각 착탈이 자유롭게 끼워맞출 수도 있다. 게다가 또, 용기 본체(10)를 기립시켜 개구한 전부를 상방으로 향하게 하고, 이 용기 본체(10)에 처리 도구(1)의 링 프레임(2)을 상방으로부터 수동으로 삽입하여, 용기 본체(10) 내에 링 프레임(2)을 위치 결정 수납하는 것도 가능하다.It is also possible to provide protrusions 24A opposed to the side portions of the ring frame 2 only on the whole of the support pieces 20 and omit the protrusions 24 at the center portion. The cover 30 may be detachably fitted to the open rear portion of the container body 10 or the cover 30 may be removably fitted to the front and rear portions of the container body 10 which are opened. The ring frame 2 of the processing tool 1 is manually inserted into the container body 10 from above so that the whole of the container body 10 is erected by upwardly orienting the container body 10, It is also possible to position and store the ring frame 2. [

1 처리 도구(processing tool)
2 링 프레임(ring frame)
10 용기 본체
14 측벽
20 지지편
21 삽입홈
22 스토퍼(stopper)
23 경사면
24 돌기
24A 돌기
25 경사면
30 덮개
31 돌기부
W 반도체 웨이퍼(wafer)(기판) 1 processing tool
2 ring frame
10 container body
14 Side wall
20 support piece
21 Insert groove
22 Stopper
23 slope
24 protrusion
24A projection
25 slope
30 Cover
31 protrusion
W Semiconductor wafer (substrate)

Claims (5)

전후부가 각각 개구한 상자형의 용기 본체와, 이 용기 본체의 양 측벽 내면에 대향하여 돌출 형성되고, 반도체 웨이퍼를 탑재하는 처리 도구의 링 프레임을 수평으로 지지하는 한 쌍의 지지편과, 용기 본체의 개구한 전부를 착탈이 자유롭게 개폐하는 덮개를 구비한 처리 도구용의 수납 케이스로서,
용기 본체의 저판의 내면 전단부에 링프레임 출납용의 오목부를 절결하고, 용기 본체의 상하 방향으로 한 쌍의 지지편을 간격을 두어 복수 배열하고, 인접하는 지지편과 지지편 사이를 링 프레임용의 삽입홈으로 구획 형성하고, 지지편과 삽입홈의 어느 일방의 후부에, 링 프레임의 측부 후방에 대향하는 스토퍼를 설치함과 아울러, 이 스토퍼에는 링 프레임의 덜거덕거림을 규제하는 경사면을 형성하고,
덮개를 단면 접시형으로 형성하여 탄성을 부여하고, 이 덮개의 내면 중앙부에, 링프레임의 전부를 위치 결정하고 끼워 지지하는 줄 모양의 돌기부를 상하 방향으로 복수 배열 형성함과 아울러, 덮개의 내면 양측부에는, 링프레임의 전부 양측에 압접하는 불룩하게 나온 부분을 각각 일체 형성하고, 덮개의 주연부에는, 용기 본체의 전부 외주면에 걸어맞춰지는 걸어맞춤부를 형성하는 것을 특징으로 하는 처리 도구용의 수납 케이스.A pair of support pieces protruding from opposite inner surfaces of both side walls of the container body and horizontally supporting the ring frame of the processing tool for mounting the semiconductor wafer, And a lid for opening and closing the entire opening of the processing tool in a freely attachable and detachable manner,
A plurality of pairs of support pieces are arranged at intervals in the vertical direction of the container main body and a plurality of support pieces are arranged between the adjacent support pieces and the support pieces for a ring frame And a stopper opposed to the rear side of the ring frame is provided on one of the rear portions of the support piece and the insertion groove and the inclined surface for restricting the rattling of the ring frame is formed on the stopper ,
A plurality of row-shaped projections for positioning and fitting the whole of the ring frame are arranged in the vertical direction at the center of the inner surface of the lid, and at the same time, Wherein a bulging portion which is in pressure contact with both front and rear sides of the ring frame is formed integrally with each other and an engaging portion is formed at the periphery of the lid to engage with the entire outer circumferential surface of the container body, . 삭제delete 제1항에 있어서,
용기 본체의 적어도 양 측벽과 한 쌍의 지지편을, 슬라이딩성의 수지를 포함하는 성형 재료에 의해 성형한 것을 특징으로 하는 처리 도구용의 수납 케이스. The method according to claim 1,
Wherein at least both side walls of the container main body and the pair of supporting pieces are formed by a molding material containing a sliding resin. 제1항에 있어서,
지지편의 전부와 중앙부 중 적어도 어느 일방에, 링 프레임의 측부에 대향하는 돌기를 설치하고, 이 돌기에는 하방의 지지편을 향함에 따라 서서히 좁아지는 경사면을 형성한 것을 특징으로 하는 처리 도구용의 수납 케이스.The method according to claim 1,
Characterized in that protrusions opposed to the side portions of the ring frame are provided on at least one of the front portion and the center portion of the support piece and the protrusions are formed with inclined surfaces which become gradually narrower toward the lower support pieces case. 제1항에 있어서,
서로 대향하는 한 쌍의 측벽의 상부 전방 사이와 상부 후방 사이에는, 단면 모자형을 나타내는 쥠 조작용의 핸들이 각각 세우거나 눕힐 수 있게 축걸침되는 것을 특징으로 하는 처리 도구용의 수납 케이스.
The method according to claim 1,
Characterized in that between the upper front portion and the upper rear portion of the pair of side walls opposed to each other, the handles of the tongue-and-groove type, which are hat-shaped, are axially suspended so as to be raised or lowered respectively.
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