KR101478781B1 - Substrate Tray for Thin Layer Deposition and Thin Layer Deposition Equipment Having the Same - Google Patents

Substrate Tray for Thin Layer Deposition and Thin Layer Deposition Equipment Having the Same Download PDF

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    • C23C14/24—Vacuum evaporation

Abstract

본 발명은, 로딩된 기판의 증착면을 노출시키는 개구를 가지는 트레이 바디, 개구에 기판을 지지할 수 있도록 구비되어 개구를 통한 기판의 휨 변형을 방지하는 지지 플레이트, 트레이 바디에 회전 가능하게 장착되어 회전방향에 따라 지지 플레이트 상에 기판을 사이에 두고 덮이거나 덮인 상태가 해제되는 커버를 포함하는 박막증착용 기판 트레이 및 이렇게 구성되는 기판 트레이를 포함하는 박막증착장비를 제공한다.The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: a tray body having an opening exposing a deposition surface of a loaded substrate; a support plate provided to support the substrate in the opening to prevent bending deformation of the substrate through the opening; And a cover for covering the substrate with the substrate interposed therebetween or releasing the cover from being covered on the support plate according to the rotation direction, and a substrate tray configured as described above.

Description

박막증착용 기판 트레이 및 이를 포함하는 박막증착장비 {Substrate Tray for Thin Layer Deposition and Thin Layer Deposition Equipment Having the Same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate tray for thin film deposition, and a thin film deposition apparatus including the substrate tray. 2. Description of the Related Art [0002] Substrate Tray for Thin Layer Deposition and Thin Layer Deposition Equipment Having the Same [

본 발명은, 박막증착공정에서 기판을 지지하기 위하여 사용하는 기판 트레이 및 이를 포함하는 박막증착장비에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate tray used for supporting a substrate in a thin film deposition process, and a thin film deposition apparatus including the same.

유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode ; OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 발광하는 전계발광현상을 이용하여 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이러한 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며 넓은 시야각과 신속한 응답속도를 갖고 있기 때문에, 일반 LCD(liquid crystal display)와는 달리, 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고 화면에 잔상이 남지 않는다. 그리고, 소형화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 큰 주목을 받고 있다.Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-emitting organic materials that emit light by using an electroluminescence phenomenon in which a fluorescent organic compound emits light when an electric current flows. Such a display using an organic light emitting diode can be driven at a low voltage and can be formed into a thin and thin shape. Since it has a wide viewing angle and a fast response speed, unlike a general liquid crystal display (LCD) There are no afterimages on the screen. In addition, in the case of a small-size screen, the display device has attracted a great deal of attention as a next-generation display device because of its superior price competitiveness owing to the image quality and simple manufacturing process of the LCD.

유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전 등을 생산할 때 요구되는 것이 바로 박막증착장비인데, 박막증착장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것으로서 유기발광다이오드의 제조를 위한 중요한 장비 중 하나이다.A thin film deposition apparatus is required for producing a display or a television for a mobile communication terminal using an organic light emitting diode. The thin film deposition apparatus forms a thin film by depositing an organic material on a substrate, and is important for manufacturing an organic light emitting diode Equipment.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 박막증착장비는 증착챔버(2)를 가진다. 증착챔버(2)는 내부공간의 상측에 기판(10)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)이 위치되고 내부공간의 하측에 도가니장치(4)가 배치된다. 기판은 트레이(6) 위에 로딩된다. 기판은 증착챔버(2)의 외부에서 트레이(6)에 로딩된 상태로 증착챔버(2)에 반입될 수 있다.1 is a schematic view showing a general thin film deposition equipment. As shown in FIG. 1, the thin film deposition apparatus has a deposition chamber 2. In the deposition chamber 2, a substrate 10 (hereinafter referred to as a reference numeral is omitted) is placed on the upper side of the inner space, and a crucible 4 is disposed on the lower side of the inner space. The substrate is loaded on the tray 6. The substrate can be brought into the deposition chamber 2 while being loaded on the tray 6 outside the deposition chamber 2. [

트레이(6)의 중앙 부분에는 로딩된 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구가 마련되므로, 트레이(6)는 전체적으로 대략 사각형 프레임의 구조를 가진다. 도가니장치(4)에서 증발되고 방출되어서 상승하는 유기물질은 트레이(6)의 개구를 통하여 기판에 도달, 증착되어 기판의 증착면에 박막을 형성한다.The tray 6 is provided with an opening for exposing the deposition surface of the loaded substrate, so that the tray 6 has a substantially rectangular frame structure as a whole. The organic material evaporated and discharged from the crucible device 4 and ascending reaches the substrate through the opening of the tray 6 and is deposited to form a thin film on the deposition surface of the substrate.

그러나, 이와 같은 박막증착장비는 트레이(6) 위에 로딩된 기판이 자중에 의하여 트레이(6)의 개구를 통하여 하측으로 볼록하도록 휘는 처짐 현상이 발생되고, 이에 따라 기판에 박막을 균일하게 증착하기가 매우 어렵다는 문제점이 있다. 특히나, 면적이 상대적으로 큰 대면적 기판의 경우에는 처짐 현상이 보다 더 심할 수밖에 없고, 이에 따라 박막의 균일도 유지가 더 어렵다.However, in such a thin film deposition apparatus, the substrate loaded on the tray 6 is deflected by its own weight so as to be convex downward through the opening of the tray 6, so that the thin film is uniformly deposited on the substrate There is a problem that it is very difficult. Particularly, in the case of a large-area substrate having a relatively large area, the sagging phenomenon is more severe and it is more difficult to maintain the uniformity of the thin film.

또한, 박막증착공정 시에, 기판의 증착면에는 마스크(mask)를 밀착시켜야 하고, 이를 위하여 마스크는 별도의 척킹장치를 이용하여 기판에 척킹시켜야 하기 때문에, 그만큼 구조가 복잡한 데다, 유지 및 보수가 어렵고, 제조비용이 상승된다는 문제점이 있다.In addition, in the thin film deposition process, a mask must be closely attached to the deposition surface of the substrate, and the mask must be chucked to the substrate by using a separate chucking device. Therefore, the structure is complicated, There is a problem that the manufacturing cost is increased.

본 발명의 목적은 로딩된 기판이 처지거나 함으로써 휘어지는 현상을 적극적으로 방지할 수 있는 박막증착용 기판 트레이 및 이를 포함하는 박막증착장비를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a thin film deposition substrate tray capable of positively preventing a phenomenon in which a loaded substrate is bent by being sagged, and a thin film deposition apparatus including the substrate tray.

본 발명의 다른 목적은 기판에 박막을 증착하기 위한 구성을 보다 더 단순화할 수 있는 박막증착용 기판 트레이 및 이를 포함하는 박막증착장비를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a thin film deposition substrate tray capable of further simplifying the structure for depositing a thin film on a substrate, and a thin film deposition apparatus including the same.

본 발명이 해결하려는 과제는 위 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 통상의 기술자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood from the following description if they are common knowledge (those skilled in the art to which the present invention belongs).

본 발명의 실시예에 따르면, 기판이 로딩되며 중앙 부분에 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구가 마련된 트레이 바디와; 상기 트레이 바디의 개구에 기판을 지지할 수 있게 구비되어 상기 개구를 통한 기판의 휨을 방지하는 지지 플레이트와; 상기 지지 플레이트 상에 기판을 사이에 두고 덮여 상기 지지 플레이트와 기판을 밀착시키는 커버를 포함하고, 상기 커버는 상기 트레이 바디에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 지지 플레이트 상에 덮이거나 덮인 상태가 해제되는 박막증착용 기판 트레이가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a tray body having a substrate loaded therein and having an opening for exposing a deposition surface of the substrate at a central portion thereof; A support plate provided to support the substrate in the opening of the tray body to prevent warping of the substrate through the opening; And a cover which is mounted on the support plate to close the support plate and the substrate, and the cover is rotatably mounted on the tray body so that the cover is covered or covered on the support plate along the rotation direction There is provided a thin film deposition substrate tray to be released.

상기 커버는 분할된 복수 개의 단위 커버로 구성되고, 상기 복수 개의 단위 커버는 상기 트레이 바디에 각각 회전 가능하도록 장착될 수 있다.The cover may include a plurality of divided unit covers, and the plurality of unit covers may be rotatably mounted on the tray body.

본 발명의 실시예에 따른 박막증착용 기판 트레이는 상기 커버를 회전시키는 커버 구동유닛을 더 포함할 수 있다.The thin film deposition substrate tray according to an embodiment of the present invention may further include a cover driving unit for rotating the cover.

상기 지지 플레이트는 상기 개구를 기판에 박막 증착 시 기판의 증착면을 노출시키는 노출영역과 차단시키는 차단영역으로 구분하도록 구성될 수 있다.The support plate may be configured to be divided into an exposed region for exposing the deposition surface of the substrate when the thin film is deposited on the substrate, and a blocking region for blocking the opening.

본 발명의 실시예에 따른 박막증착용 기판 트레이는 상기 지지 플레이트와 상기 커버를 사이의 기판에 밀착시키는 밀착수단을 더 포함할 수 있다.The thin film deposition substrate tray according to an embodiment of the present invention may further include a tightening means for tightly attaching the support plate and the cover to the substrate.

상기 밀착수단은 자력을 이용하여 상기 지지 플레이트와 상기 커버를 밀착시키도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 상기 밀착수단은 복수 개의 제1자성체를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 지지 플레이트와 상기 커버 중, 어느 하나에는 상기 복수 개의 제1자성체가 배치되고, 다른 하나는 상기 제1자성체들에 부착 가능하도록 구성될 수 있다.The contact unit may be configured to closely contact the support plate and the cover using a magnetic force. Specifically, the contact means may include a plurality of first magnetic bodies. The plurality of first magnetic bodies may be disposed on any one of the support plate and the cover, and the other may be configured to be attachable to the first magnetic bodies.

또는, 상기 밀착수단은, 상기 지지 플레이트에 배치된 복수 개의 제1자성체와; 상기 커버에 상기 복수 개의 제1자성체와 각각 대응하도록 배치되어 상기 제1자성체들과 인력을 발생시키는 제2자성체를 포함할 수 있다.Alternatively, the contact means may include: a plurality of first magnetic bodies disposed on the support plate; And a second magnetic body disposed on the cover so as to correspond to the plurality of first magnetic bodies and generating the attraction force with the first magnetic bodies.

상기 지지 플레이트는, 기판의 가장자리 부분을 지지하는 테두리부재와; 상기 테두리부재의 중앙공간을 구획하여 상기 개구를 노출영역과 차단영역으로 구분하면서 기판의 중앙 부분을 지지하는 구획부재를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 커버는 상기 지지 플레이트와 대응하는 구조를 가지도록 구성된 테두리부재와 구획부재를 포함하며 이 상태에서 복수의 단위체로 분할되어 상기 단위체를 각각 상기 단위 커버로 할 수 있다.The support plate includes: a frame member supporting an edge portion of the substrate; And a dividing member for dividing the center space of the frame member into the exposed region and the blocking region and supporting the central portion of the substrate. The cover may include a frame member and a partition member configured to have a structure corresponding to the support plate, and the unit cover may be divided into a plurality of unit pieces in this state, and each of the unit pieces may be the unit cover.

본 발명의 실시예에 따르면, 증착공간을 갖는 증착챔버와; 상기 증착공간의 상부에서 기판을 지지하는 기판 트레이와; 상기 증착공간의 하부에 배치되며 상기 기판 트레이에 의하여 지지된 기판에 증착물질을 제공하는 도가니장치를 포함하고, 상기 기판 트레이는, 기판이 로딩되며 중앙 부분에 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구가 마련된 트레이 바디와; 상기 트레이 바디의 개구에 기판을 지지할 수 있게 구비되어 상기 개구를 통한 기판의 휨을 방지하는 지지 플레이트와; 상기 지지 플레이트 상에 기판을 사이에 두고 덮여 상기 지지 플레이트와 기판을 밀착시키는 커버를 포함하되, 상기 커버는 상기 트레이 바디에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 지지 플레이트 상에 덮이거나 덮인 상태가 해제되는 박막증착장비가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a deposition apparatus including: a deposition chamber having a deposition space; A substrate tray for supporting the substrate at an upper portion of the deposition space; And a crucible disposed at a lower portion of the deposition space and provided with a deposition material on a substrate supported by the substrate tray, wherein the substrate tray is loaded with an opening for exposing a deposition surface of the substrate in a central portion thereof A tray body provided; A support plate provided to support the substrate in the opening of the tray body to prevent warping of the substrate through the opening; And a cover which covers the support plate with the substrate interposed therebetween to closely contact the support plate and the substrate, wherein the cover is rotatably mounted on the tray body so that the cover is covered or covered on the support plate along the rotation direction A thin film deposition apparatus is provided.

위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예(발명을 실시하기 위한 구체적인 내용)나 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이고, 나아가서는 위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단 이외에도 다양한 과제의 해결 수단이 이하에서 추가로 제시될 것이다.The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: Means for solving various problems besides the means will be further presented below.

본 발명은 지지 플레이트가 트레이 바디 상에 로딩된 기판의 중앙 부분을 지지하기 때문에, 트레이 바디의 개구를 통한 기판의 휨 변형(처침현상 등)을 방지할 수 있다. 그리고, 개구가 지지 플레이트에 의하여 노출영역과 차단영역으로 구분되기 때문에, 박막증착공정 시 마스크를 별도로 준비할 필요가 없으므로 그만큼 구성을 단순화할 수 있다.Since the support plate supports the central portion of the substrate loaded on the tray body, the present invention can prevent the substrate from being warped (sagging phenomenon) through the opening of the tray body. Since the opening is divided into the exposed region and the blocked region by the support plate, it is not necessary to separately prepare a mask in the thin film deposition process, and the structure can be simplified accordingly.

본 발명은 지지 플레이트에 덮여 지지 플레이트와 기판을 밀착시키는 커버가 회전 가능하여 회전방향에 따라 지지 플레이트에 덮이거나 덮인 상태가 해제되므로 커버를 용이하게 취급할 수 있다.In the present invention, the cover is covered by the support plate, and the cover for tightly attaching the support plate to the substrate is rotatable so that the cover is covered or covered by the support plate along the rotation direction, so that the cover can be easily handled.

본 발명은 지지 플레이트와 커버가 밀착수단에 의하여 사이의 기판에 긴밀하게 밀착되기 때문에, 지지 플레이트가 기판으로부터 들뜸으로 인한 섀도(shadow)현상 발생을 적극적으로 억제할 수 있고, 이에 따라 박막증착공정의 정밀도를 향상시킬 수 있다.Since the support plate and the cover are closely adhered to the substrate between the support plate and the cover by the close contact means, it is possible to positively suppress the occurrence of a shadow phenomenon due to lifting of the support plate from the substrate, Precision can be improved.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 3 내지 도 6은 도 2에 도시된 기판 트레이를 나타내는 것으로, 도 3은 단면도이고, 도 4는 도 3의 일부분을 확대하여 본 단면도이며, 도 5는 커버를 분리시킨 상태의 평면도이고, 도 6은 커버의 평면도이다.1 is a schematic view showing a general thin film deposition equipment.
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a thin film deposition apparatus according to the present invention.
3 is a cross-sectional view of the substrate tray shown in Fig. 2, Fig. 3 is a cross-sectional view thereof, Fig. 4 is an enlarged cross- 6 is a plan view of the cover.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For the sake of convenience, the size, line thickness, and the like of the components shown in the drawings referenced in the description of the present invention may be exaggerated somewhat. The terms used in the description of the present invention are defined in consideration of the functions of the present invention, and thus may vary depending on the user, the intention of the operator, customs, and the like. Therefore, the definition of this term should be based on the contents of this specification as a whole.

도 2는 본 발명에 따른 박막증착장비를 나타내는 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 박막증착장비는 증착챔버(20), 기판 트레이(100) 및 도가니장치(40)를 포함하는데, 증착챔버(20)의 내부에는 기판(60)에 박막을 증착하기 위한 증착공간(22)이 마련되고, 기판 트레이(100)는 증착공간(22)의 상부에서 기판(60)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)을 지지하며, 도가니장치(40)는 증착공간(22)의 하부에서 기판 트레이(100)에 의하여 지지된 기판에 박막 증착을 위한 유기물질(증착물질)을 제공한다.FIG. 2 is a view illustrating a thin film deposition apparatus according to the present invention. 2, the thin film deposition apparatus according to the present invention includes a deposition chamber 20, a substrate tray 100, and a crucible apparatus 40, and a substrate 60 is provided inside the deposition chamber 20 A substrate tray 100 is provided to support a substrate 60 (hereinafter referred to as a reference numeral is omitted) at an upper portion of the deposition space 22, and a crucible (Deposition material) for thin film deposition on the substrate supported by the substrate tray 100 in the lower part of the deposition space 22.

증착챔버(20)는 증착공간(22)에 기판을 반입하고 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구(24)를 가진다. 기판 출입구(24)는 증착챔버(20)를 구성하는 벽체의 양쪽에 각각 마련되어 서로 대향하고 출입구 개폐수단(26)에 의하여 각각 개방되고 폐쇄된다. 기판 출입구(24)는 하나만 구비될 수 있다. 도시된 바는 없으나, 증착공간(22)은 배기수단에 의하여 진공분위기로 조성될 수 있다.The deposition chamber 20 has a substrate entry port 24 for carrying a substrate into the deposition space 22 and carrying out the carried substrate. The substrate entrance 24 is provided on both sides of the wall constituting the deposition chamber 20, facing each other, and opened and closed by the entrance opening / closing means 26, respectively. Only one substrate entrance 24 may be provided. Although not shown, the deposition space 22 can be formed in a vacuum atmosphere by the exhaust means.

기판 트레이(100)는 기판 출입구(24)를 통하여 증착공간(22)인 증착챔버(20)의 내부와 증착챔버(20)의 외부를 오갈 수 있고, 이에 기판은 증착챔버(20)의 외부에서 기판 로딩-언로딩장치(도시되지 않음)에 의하여 기판 트레이(100)에 로딩, 언로딩될 수 있다. 기판 트레이(100)에 로딩된 기판은 증착면(박막이 증착되는 면)이 하측을 향하도록 배치됨에 따라, 증착공간(22)에 반입된 기판의 증착면은 도가니장치(40)와 대향한다. 기판을 반입, 반출하기 위한 증착챔버(20) 내외로의 기판 트레이(100)의 이송과정에는 반송장치(도시되지 않음)가 이용될 수 있고, 증착공간(22)에 투입된 기판 트레이(100)는 이동장치(30)에 의하여 이동될 수 있다. 예를 들어, 기판 트레이(100)는 증착공간(22)에서 이동장치(30)에 의하여 양쪽의 기판 출입구(24) 사이를 왕복이동 할 수 있다. 또는, 이러한 좌우이동과 함께, 상하이동 및/또는 회전운동 할 수도 있다.The substrate tray 100 can go through the substrate entrance 24 to the inside of the deposition chamber 20 and the outside of the deposition chamber 20 which is the deposition chamber 22, Can be loaded and unloaded onto the substrate tray 100 by a substrate loading-unloading device (not shown). The substrate loaded into the substrate tray 100 faces the crucible device 40 as the deposition surface (the surface on which the thin film is deposited) faces downward so that the deposition surface of the substrate carried into the deposition space 22 is opposed. A transfer device (not shown) may be used for transferring the substrate tray 100 into and out of the deposition chamber 20 for loading and unloading the substrate, and the substrate tray 100 inserted into the deposition space 22 Can be moved by the mobile device (30). For example, the substrate tray 100 can reciprocate between the substrate outlets 24 of both substrates by the moving device 30 in the deposition space 22. Alternatively, this horizontal movement and / or the vertical movement may be performed.

도가니장치(40)는, 내부에 박막재료인 유기물질이 담기는 상향분출식 구조의 도가니(42), 도가니(42)에 열을 가하여 도가니(42)의 내부에 담긴 유기물질을 증발시키는 가열수단(44)을 포함한다. 예를 들어, 가열수단(44)은 도가니(42)의 주위에 감긴 전열선을 포함할 수 있는데, 전열선은 전류에 의한 발열작용으로 고온의 열을 발산한다. 도가니(42)로부터 분출되어 상승하는 유기물질은 증착공간(22)의 상부에 위치한 기판에 도달, 증착되어 기판의 증착면에 박막을 형성한다.The crucible device 40 includes a crucible 42 having an upwardly projecting structure in which an organic substance as a thin film material is contained and a heating means 42 for evaporating organic substances contained in the crucible 42 by applying heat to the crucible 42. [ (44). For example, the heating means 44 may include a heating wire wound around the crucible 42, which radiates heat of high temperature due to the heating action by the current. The organic material sprayed upward from the crucible 42 reaches and reaches the substrate located in the upper part of the deposition space 22 to form a thin film on the deposition surface of the substrate.

도 2에서, 설명되지 않은 도면부호 50은 기판 트레이(100)와 도가니장치(40) 사이에서 유기물질 이동경로를 차단하거나 차단을 해제하는 셔터(shutter)이다. 셔터(50)는, 박막증착공정 중에는 유기물질 이동경로의 차단이 해제된 상태로 유지하고, 박막증착공정이 완료되거나 중지된 경우에는 유기물질 이동경로를 차단하여 기판에 도가니장치(40)로부터의 유기물질이 증착되는 것을 방지한다.2, an unillustrated reference numeral 50 is a shutter for blocking or unblocking the organic material movement path between the substrate tray 100 and the crucible device 40. In FIG. The shutter 50 keeps the blocking of the organic material movement path in a released state during the thin film deposition process. When the thin film deposition process is completed or stopped, the organic material movement path is shut off, Thereby preventing the organic material from being deposited.

도 3 내지 도 6에는 기판 트레이(100)가 도시되어 있다. 이를 참조하여 기판 트레이(100)를 구체적으로 살펴본다.3-6, a substrate tray 100 is shown. The substrate tray 100 will be described in detail.

도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 트레이(100)는 위에 기판이 놓이는 트레이 바디(110)를 포함한다. 트레이 바디(110)의 중앙 부분에는 그 위에 놓인 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구(112)가 형성된다. 개구(112)는 대략적으로 사각 형상이고, 이에 따라 트레이 바디(110) 역시 대략 사각형 프레임의 구조를 가지나, 트레이 바디(110) 및 그 개구(112)의 형상은 이와 같은 사각 형상에 한정되지 않고 기판의 형상 등에 따라 다양하게 변경될 수 있다.3 and 4, the substrate tray 100 includes a tray body 110 on which the substrate is placed. The center portion of the tray body 110 is formed with an opening 112 for exposing the deposition surface of the substrate placed thereon. The shape of the tray body 110 and the opening 112 is not limited to such a rectangular shape, and the shape of the tray body 110 is not limited to the rectangular shape, And the like.

기판 트레이(100)는, 트레이 바디(110)에 놓인 기판을 하측에서 지지하여 개구(112)를 통한 기판의 휨 변형(기판이 자중에 의하여 처지는 현상 등)을 방지하는 지지 플레이트(120), 트레이 바디(110)에 회전 가능하게 장착되어 회전방향에 따라 지지 플레이트(120) 상에 기판을 사이에 두고 덮여서 지지 플레이트(120)와 기판을 밀착시키거나 지지 플레이트(120) 상에 덮인 상태가 해제되는 커버 플레이트(130), 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130)를 그 사이의 기판에 밀착된 상태로 유지시키기 위한 밀착수단(140)을 더 포함한다.The substrate tray 100 includes a support plate 120 for supporting the substrate placed on the tray body 110 from below to prevent bending deformation of the substrate through the opening 112 The support plate 120 is rotatably mounted on the body 110 so that the support plate 120 is covered with the substrate therebetween so that the support plate 120 and the substrate are brought into close contact with each other, The cover plate 130, the support plate 120 and the cover plate 130 in close contact with the substrate therebetween.

커버 플레이트(130)를 회전시켜서 지지 플레이트(120)에 덮인 상태를 해제하면, 트레이 바디(110)에는 기판을 로딩, 언로딩할 수 있다. 트레이 바디(110)에 기판을 로딩하고 커버 플레이트(130)를 회전시켜서 지지 플레이트(120)를 덮으면, 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130)는 그 사이의 기판에 밀착된다.When the cover plate 130 is rotated to release the cover plate 120 from being covered, the substrate can be loaded or unloaded onto the tray body 110. When the substrate is loaded on the tray body 110 and the cover plate 130 is rotated to cover the support plate 120, the support plate 120 and the cover plate 130 are brought into close contact with the substrate therebetween.

지지 플레이트(120)는 개구(112)에 구비된다. 도 3, 도 5 등을 참조하면, 지지 플레이트(120)는, 기판의 가장자리 부분과 대응하는 구조로 형성되어 기판의 가장자리 부분을 지지하는 테두리부재(122), 테두리부재(122)의 중앙 빈 공간을 구획하여 개구(112)를 노출영역(A10)과 차단영역(A20)으로 구분하면서 기판의 중앙 부분을 지지하는 구획부재(124)로 구성된다. 노출영역(A10)은 박막증착공정 시 기판의 증착면을 노출시키기 위한 것인 반면, 차단영역(A20)은 기판의 증착면을 부분적으로 덮어 기판의 증착면을 차단하는 것이므로, 지지 플레이트(120)는 마스크의 역할을 겸한다. 물론, 기판에서 구획부재(124)에 의하여 지지되는 것과 동시에 덮여 차다되는 부분은 박막 증착이 이루어지지 않는 데드 존(dead zone)이다.The support plate 120 is provided in the opening 112. 3, 5, and the like, the support plate 120 includes a frame member 122 formed in a structure corresponding to the edge portion of the substrate and supporting the edge portion of the substrate, And a partition member 124 for supporting a center portion of the substrate while dividing the opening 112 into an exposed region A10 and a blocking region A20. Since the exposed region A10 is to expose the deposition surface of the substrate in the thin film deposition process, the blocking region A20 partially covers the deposition surface of the substrate to block the deposition surface of the substrate, Serves also as a mask. Of course, the part that is covered and overlapped with the part being supported by the partition member 124 is a dead zone in which thin film deposition is not performed.

이와 같은 지지 플레이트(120)가 박막증착공정 시 기판에 긴밀하게 밀착되지 않으면, 섀도(shadow)현상이 발생되어 박막 증착의 정밀도가 저하된다. 이에, 지지 플레이트(120)는 기판과의 밀착도를 높이기 위하여 전체적으로 평평하게 형성된다. 도 4와 같이, 지지 플레이트(120)는 트레이 바디(110)의 상측과 단차 없이 동일 평면을 이루도록 구성된다.If the support plate 120 is not closely adhered to the substrate during the thin film deposition process, a shadow phenomenon occurs and the precision of the thin film deposition is lowered. Accordingly, the support plate 120 is formed to be generally flat in order to improve the degree of adhesion with the substrate. As shown in FIG. 4, the support plate 120 is configured to be flush with the upper side of the tray body 110 without a step.

도 3과 도 6을 참조하면, 커버 플레이트(130)는 테두리부재(122)와 구획부재(124)로 구성된 지지 플레이트(120)와 대응하는 구조를 가지도록 구성된다. 즉, 커버 플레이트(130)도 테두리부재(132) 및 테두리부재(132)의 중앙 빈 공간을 구획하는 구획부재(134)로 구성되는 것이다. 물론, 이 같은 커버 플레이트(130)의 테두리부재(132) 및 구획부재(134)는 지지 플레이트(120)의 테두리부재(122) 및 구획부재(124)와 서로 대응된다.Referring to FIGS. 3 and 6, the cover plate 130 is configured to have a structure corresponding to the support plate 120 composed of the rim member 122 and the partition member 124. That is, the cover plate 130 is also composed of the frame member 132 and the partition member 134 that defines the central empty space of the frame member 132. Of course, the frame member 132 and the partition member 134 of the cover plate 130 correspond to the frame member 122 and the partition member 124 of the support plate 120, respectively.

도 3과 도 4를 참조하면, 이와 같이 구성되는 커버 플레이트(130)는 좌우 두 단위 커버(130A, 130B)로 분할되고, 분할된 두 단위 커버(130A, 130B)는 각각 힌지수단(150)에 의하여 트레이 바디(110)에 상하방향으로 회전 가능하게 장착된다. 이렇게 커버 플레이트(130)를 분할한 구조에 따르면, 커버 플레이트(130)의 회전반경을 축소시킬 수 있다. 여기에서는 커버 플레이트(130)가 두 단위 커버(130A, 130B)로 분할된 것으로 설명하였으나, 커버 플레이트(130)의 분할 개수는 실시조건 등에 따라 다양하게 변경될 수 있다.3 and 4, the cover plate 130 thus configured is divided into left and right unit covers 130A and 130B, and the divided two unit covers 130A and 130B are respectively connected to the hinge unit 150 And is rotatably mounted on the tray body 110 in the vertical direction. According to the structure in which the cover plate 130 is divided, the turning radius of the cover plate 130 can be reduced. Although the cover plate 130 is described as being divided into the two unit covers 130A and 130B, the number of the cover plates 130 may be variously changed according to the operating conditions and the like.

단위 커버(130A, 130B)는 쌍여닫이의 구조를 가진다. 도 3, 4 및 6에 도시된 바와 같이, 힌지수단(150)은, 단위 커버(130A, 130B)에 마련된 축부재(152), 트레이 바디(110)에 마련되며 축부재(152)를 회전 가능하게 지지하는 브래킷(154)을 포함한다.The unit covers 130A and 130B have a double-sided structure. 3, 4 and 6, the hinge unit 150 includes a shaft member 152 provided on the unit covers 130A and 130B, a shaft member 152 provided on the tray body 110, (Not shown).

단위 커버(130A, 130B)는 커버 구동유닛에 의하여 회전될 수 있다. 커버 구동유닛은 축부재(152)에 축부재(152)를 회전시키기 위한 동력을 제공하는 동력원을 포함할 수 있다. 이 때, 동력원은 구동모터일 수 있다. 실시조건에 따라서는, 커버 구동유닛은 단위 커버(130A, 130B)와 트레이 바디(110)에 양쪽이 각각 연결된 공압식 또는 유압식 실린더 등의 액추에이터를 포함하는 것일 수도 있다.The unit covers 130A and 130B can be rotated by the cover drive unit. The cover drive unit may include a power source for providing power for rotating the shaft member 152 to the shaft member 152. [ At this time, the power source may be a drive motor. Depending on the operating conditions, the cover drive unit may include an actuator such as a pneumatic or hydraulic cylinder connected to the unit covers 130A and 130B and the tray body 110, respectively.

밀착수단(140)은 지지 플레이트(120)가 기판으로부터 들뜸으로 인한 섀도 현상 발생이 방지되도록 기판에 지지 플레이트(120)를 긴밀히 밀착시킨다. 도 4 내지 도 6을 참조하면, 밀착수단(140)은, 지지 플레이트(120)의 테두리부재(122)와 구획부재(124) 전반에 걸쳐 서로 이격되도록 소정의 간격을 두고 배치된 복수 개의 제1자성체(142), 커버 플레이트(130)의 테두리부재(132)와 구획부재(134)에 제1자성체(142)와 각각 대응하도록 배치되어 제1자성체(142)와 인력을 발생시키는 제2자성체(144)를 포함한다.The contact means 140 tightly adheres the support plate 120 to the substrate such that the support plate 120 is prevented from being shadowed due to lifting from the substrate. 4 to 6, the contact unit 140 includes a plurality of first (first) and second (second) contact members 120 disposed at predetermined intervals so as to be spaced apart from each other across the rim 122 of the support plate 120 and the partition member 124, The first magnetic body 142 and the second magnetic body 142 that generate the attraction force are disposed so as to correspond to the magnetic body 142, the rim member 132 of the cover plate 130, and the partition member 134, respectively, 144).

이와 같은 밀착수단(140)에 따르면, 기판을 사이에 두고 대응하는 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130)는 복수의 제1자성체(142) 및 이들과 대응하는 제2자성체(144)들의 인력에 의하여 서로 부착되면서, 지지 플레이트(120)는 기판에 긴밀히 밀착된다.The support plate 120 and the cover plate 130 corresponding to each other with the substrate interposed therebetween can be moved in the direction in which the attraction force of the plurality of first magnetic bodies 142 and the corresponding second magnetic bodies 144 The support plate 120 is tightly adhered to the substrate.

도 4에 도시된 바와 같이, 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130)의 테두리부재(122,132) 및 구획부재(124,134)에는 제1자성체(142)와 제2자성체(144)가 각각 수용되는 수용홈(126,136)이 형성되고, 이들 각 수용홈(126,136)의 입구는 마감용 캡(128,138)에 의하여 폐쇄된다.4, the first magnetic member 142 and the second magnetic member 144 are accommodated in the rim members 122 and 132 and the partition members 124 and 134 of the support plate 120 and the cover plate 130, respectively, Grooves 126 and 136 are formed and the entrance of each of the receiving grooves 126 and 136 is closed by the closing caps 128 and 138. [

참고로, 여기에서는 밀착수단(140)이 복수 개의 제1자성체(142)와 제2자성체(144)를 포함하는 것으로 설명하였으나, 밀착수단(140)은 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130) 중 어느 하나에 배치된 복수 개의 자성체를 포함하고, 지지 플레이트(120)와 커버 플레이트(130) 중 다른 하나는 자성체들에 부착 가능한 금속으로 구성될 수 있다. 이와 달리, 밀착수단(140)은 커버 플레이트(130)와 자성체의 자력을 이용하지 않는 타입일 수도 있는데, 그 일례로, 밀착수단(140)은 지지 플레이트(120)에 배치되어 점착력으로 기판에 지지 플레이트(120)를 밀착시키는 단수 개 또는 복수 개의 점착 척(adhesive chuck)을 포함할 수 있다.The contact means 140 may be formed by the support plate 120 and the cover plate 130. The contact member 140 may include a plurality of first magnetic members 142 and a plurality of second magnetic members 144, And the other of the support plate 120 and the cover plate 130 may be made of a metal that can be attached to the magnetic bodies. Alternatively, the contact means 140 may be of a type that does not utilize the magnetic force of the cover plate 130 and the magnetic body. For example, the contact means 140 may be disposed on the support plate 120, And may include a single or a plurality of adhesive chucks for bringing the plate 120 into close contact with each other.

설명한 바와 같이 구성되는 기판 트레이(100)는 그 지지 플레이트(120)가 트레이 바디(110)에 놓인 기판의 중앙 부분을 지지하기 때문에, 개구(112)를 통한 기판의 휨 변형(처지는 현상 등)을 방지할 수 있다. 또, 개구(112)가 지지 플레이트(120)에 의하여 노출영역(A10)과 차단영역(A20)으로 구분되기 때문에, 기판에 박막을 증착할 때 마스크를 별도로 준비할 필요가 없으므로 그만큼 구성을 단순화할 수 있다. 아울러, 기판에 지지 플레이트(120) 및 커버 플레이트(130)가 밀착수단(140)에 의하여 밀착되기 때문에, 지지 플레이트(120)가 기판으로부터 들뜸으로 인한 섀도 현상 발생을 적극적으로 억제할 수 있다.The substrate tray 100 constructed as described supports the center portion of the substrate on which the support plate 120 rests on the tray body 110 so that warpage of the substrate through the opening 112 . Since the opening 112 is divided into the exposed region A10 and the blocking region A20 by the support plate 120, it is not necessary to separately prepare a mask when depositing a thin film on the substrate, . In addition, since the support plate 120 and the cover plate 130 are closely attached to the substrate by the adhesion means 140, the occurrence of the shadow phenomenon due to lifting of the support plate 120 from the substrate can be positively suppressed.

한편, 도시하지는 않았으나, 지지 플레이트(120)에는 앞서 언급한 기판 로딩-언로딩장치에서 기판을 로딩, 언로딩할 때 기판을 받아서 내려 놓거나 들어 올리는 로딩-언로딩 핀이 관통되는 핀 홀이 마련될 수 있다.Although not shown, the support plate 120 is provided with a pin hole through which a loading / unloading pin for receiving and lifting a substrate is loaded when the substrate is loaded / unloaded from the substrate loading / unloading apparatus .

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 안에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들면, 위에서는 박막증착장비에 기판이 기판 트레이에 의하여 눕혀진 상태로 배치되는 것으로 설명하였으나, 기판은 기판 트레이에 의하여 세워진 상태로 배치되고, 이 같이 세워진 상태에서 박막증착이 이루어질 수도 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. For example, in the above description, the substrate is placed in a state that the substrate is laid down by the substrate tray in the thin film deposition equipment. However, the substrate may be disposed in a standing state by the substrate tray, and the thin film deposition may be performed in this state.

20 : 증착챔버 22 : 증착공간
40 : 도가니장치 100 : 기판 트레이
110 : 트레이 바디 112 : 개구
120 : 지지 플레이트 130 : 커버 플레이트
130A, 130B : 단위 커버 140 : 밀착수단
142, 144 : 자성체20: deposition chamber 22: deposition space
40: crucible device 100: substrate tray
110: tray body 112: opening
120: support plate 130: cover plate
130A, 130B: unit cover 140:
142, 144: magnetic substance

Claims (12)

기판이 로딩되며 중앙 부분에 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구가 마련된 트레이 바디와;
상기 트레이 바디의 개구에 기판을 지지할 수 있게 구비되어 상기 개구를 통한 기판의 휨을 방지하는 지지 플레이트와;
상기 지지 플레이트 상에 기판을 사이에 두고 덮여 상기 지지 플레이트와 기판을 밀착시키는 커버를 포함하고,
상기 커버는 상기 트레이 바디에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 지지 플레이트 상에 덮이거나 덮인 상태가 해제되는 박막증착용 기판 트레이.A tray body to which a substrate is loaded and provided with an opening for exposing a deposition surface of the substrate at a central portion thereof;
A support plate provided to support the substrate in the opening of the tray body to prevent warping of the substrate through the opening;
And a cover which covers the support plate with the substrate interposed therebetween to closely contact the support plate and the substrate,
Wherein the cover is rotatably mounted on the tray body and is covered or released from the support plate along the rotation direction. 청구항 1에 있어서,
상기 커버는 분할된 복수 개의 단위 커버로 구성되고,
상기 복수 개의 단위 커버는 상기 트레이 바디에 각각 회전 가능하도록 장착된 박막증착용 기판 트레이.The method according to claim 1,
Wherein the cover is composed of a plurality of divided unit covers,
Wherein the plurality of unit covers are rotatably mounted on the tray body. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 커버를 회전시키는 커버 구동유닛을 더 포함하는 박막증착용 기판 트레이.The method according to claim 1 or 2,
And a cover drive unit for rotating the cover. 청구항 1에 있어서,
상기 지지 플레이트는 상기 개구를 기판에 박막 증착 시 기판의 증착면을 노출시키는 노출영역과 차단시키는 차단영역으로 구분하도록 구성된 박막증착용 기판 트레이.The method according to claim 1,
Wherein the support plate is divided into an exposed region for exposing the deposition surface of the substrate when the thin film is deposited on the substrate, and a blocking region for blocking the opening. 청구항 1에 있어서,
상기 지지 플레이트와 상기 커버를 사이의 기판에 밀착시키는 밀착수단을 더 포함하는 박막증착용 기판 트레이.The method according to claim 1,
Further comprising tightening means for tightly attaching the support plate and the cover to the substrate between the support plate and the cover. 청구항 5에 있어서,
상기 밀착수단은 자력을 이용하여 상기 지지 플레이트와 상기 커버를 밀착시키도록 구성된 박막증착용 기판 트레이.The method of claim 5,
Wherein the tightening means is configured to closely contact the support plate and the cover using a magnetic force. 청구항 5에 있어서,
상기 밀착수단은 복수 개의 제1자성체를 포함하며,
상기 지지 플레이트와 상기 커버 중, 어느 하나에는 상기 복수 개의 제1자성체가 배치되고, 다른 하나는 상기 제1자성체들에 부착 가능하도록 구성된 박막증착용 기판 트레이.The method of claim 5,
Wherein the contact means includes a plurality of first magnetic bodies,
Wherein the plurality of first magnetic bodies are disposed on one of the support plate and the cover and the other is capable of being attached to the first magnetic bodies. 청구항 5에 있어서, 상기 밀착수단은,
상기 지지 플레이트에 배치된 복수 개의 제1자성체와;
상기 커버에 상기 복수 개의 제1자성체와 각각 대응하도록 배치되어 상기 제1자성체들과 인력을 발생시키는 제2자성체를 포함하는 박막증착용 기판 트레이.[6] The apparatus according to claim 5,
A plurality of first magnetic bodies disposed on the support plate;
And a second magnetic body disposed on the cover so as to correspond to the plurality of first magnetic bodies to generate attraction with the first magnetic bodies. 청구항 1에 있어서, 상기 지지 플레이트는,
기판의 가장자리 부분을 지지하는 테두리부재와;
상기 테두리부재의 중앙공간을 구획하여 상기 개구를 노출영역과 차단영역으로 구분하면서 기판의 중앙 부분을 지지하는 구획부재를 포함하는 박막증착용 기판 트레이.[2] The apparatus according to claim 1,
A frame member for supporting an edge portion of the substrate;
And a partition member dividing a center space of the frame member and dividing the opening into an exposed region and a blocked region, the partition member supporting a central portion of the substrate. 청구항 9에 있어서,
상기 커버는 상기 지지 플레이트와 대응하는 구조를 가지도록 구성된 테두리부재와 구획부재를 포함하며 이 상태에서 복수의 단위체로 분할되어 상기 단위체를 각각 단위 커버로 하고,
상기 복수 개의 단위 커버는 상기 트레이 바디에 각각 회전 가능하도록 장착된 박막증착용 기판 트레이.The method of claim 9,
Wherein the cover includes a frame member and a partition member configured to have a structure corresponding to the support plate, the unit cover being divided into a plurality of unit pieces in this state,
Wherein the plurality of unit covers are rotatably mounted on the tray body. 청구항 10에 있어서,
상기 지지 플레이트와 상기 커버를 사이의 기판에 밀착시키는 밀착수단을 더 포함하고,
상기 밀착수단은,
상기 지지 플레이트의 테두리부재와 구획부재 전반에 소정의 간격을 두고 배치되어 서로 이격된 복수 개의 제1자성체와;
상기 단위 커버들에 상기 제1자성체들과 각각 대응하도록 배치되어 상기 제1자성체들과 인력을 발생시키는 제2자성체를 포함하는 박막증착용 기판 트레이.The method of claim 10,
Further comprising tightening means for tightly attaching the support plate and the cover to a substrate between the support plate and the cover,
The tightening means
A plurality of first magnetic members spaced apart from each other by a predetermined distance between a rim member of the support plate and the partition member;
And a second magnetic body disposed on the unit covers so as to correspond to the first magnetic bodies and generating the attraction force with the first magnetic bodies. 증착공간을 갖는 증착챔버와; 상기 증착공간의 상부에서 기판을 지지하는 기판 트레이와; 상기 증착공간의 하부에 배치되며 상기 기판 트레이에 의하여 지지된 기판에 증착물질을 제공하는 도가니장치를 포함하고,
상기 기판 트레이는,
기판이 로딩되며 중앙 부분에 기판의 증착면을 노출시키기 위한 개구가 마련된 트레이 바디와;
상기 트레이 바디의 개구에 기판을 지지할 수 있게 구비되어 상기 개구를 통한 기판의 휨을 방지하는 지지 플레이트와;
상기 지지 플레이트 상에 기판을 사이에 두고 덮여 상기 지지 플레이트와 기판을 밀착시키는 커버를 포함하되, 상기 커버는 상기 트레이 바디에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 지지 플레이트 상에 덮이거나 덮인 상태가 해제되는 박막증착장비.A deposition chamber having a deposition space; A substrate tray for supporting the substrate at an upper portion of the deposition space; And a crucible disposed under the deposition space and providing a deposition material to a substrate supported by the substrate tray,
The substrate tray includes:
A tray body to which a substrate is loaded and provided with an opening for exposing a deposition surface of the substrate at a central portion thereof;
A support plate provided to support the substrate in the opening of the tray body to prevent warping of the substrate through the opening;
And a cover which covers the support plate with the substrate interposed therebetween to closely contact the support plate and the substrate, wherein the cover is rotatably mounted on the tray body so that the cover is covered or covered on the support plate along the rotation direction Deposited film deposition equipment.
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