KR101458719B1 - 이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법 - Google Patents

이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 암바디에 형성된 기준홈에 삽입되기 위한 기준삽입기구; 상기 암바디에 이동 가능하게 결합되는 제 1 암기구에 삽입되기 위한 제 1 조정기구; 상기 제 1 암기구에 이동 가능하게 결합되는 제 2 암기구에 삽입되기 위한 제 2 조정기구; 및 상기 암바디를 기준으로 상기 제 1 암기구 및 상기 제 2 암기구에 대한 원점을 조정하기 위해 상기 암바디에 결합되는 본체를 포함하고, 상기 본체는 상기 기준삽입기구가 삽입되기 위한 기준공, 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 1 암기구의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공, 및 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 2 암기구의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공을 포함하는 이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 본체를 기준으로 이송암의 원점을 조정함으로써, 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있고, 작업자의 숙련도, 집중도 등이 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.

Description

이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법{ADJUSTING APPARATUS FOR STARTING POINT OF TRANSFERRING ARM AND METHOD FOR ADJUSTING STARTING POINT OF TRANSFERRING ARM}
본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송장치에 있어서 이송암에 대한 원점을 조정하기 위한 이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 상기 승강부(20)를 회전시키기 위한 선회부(30), 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판을 이송하기 위해 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 승강부(20)에 결합되는 암베이스(11), 상기 암베이스(11)에 결합되는 암바디(12), 상기 암바디(12)에 상기 직선으로 이동 가능하게 결합되는 제 1 암기구(13), 상기 제 1 암기구(13)에 직선으로 이동 가능하게 결합되는 제 2 암기구(14), 및 상기 기판을 지지하기 위한 지지핸드(15)를 포함한다. 상기 제 1 암기구(13) 및 상기 제 2 암기구(13)가 직선으로 이동함에 따라, 상기 지지핸드(15)는 직선으로 이동하여 상기 기판을 이송할 수 있다.
상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합되는 상기 지지핸드(11), 및 상기 암유닛(12)을 승강시킨다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)에 지지된 상기 기판을 회전시킨다.
상기 주행부(40)는 상기 주행방향으로 상기 선회부(30)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 이송암(10), 및 상기 승강부(20)를 상기 주행방향으로 이동시킨다.
도시되지 않았지만 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)에는 상기 제 1 암기구(13), 상기 제 2 암기구(14), 및 상기 지지핸드(15)를 이동시키기 위한 동력원(미도시)이 설치된다. 상기 동력원은 상기 제 1 암기구(13), 및 상기 제 2 암기구(14)를 직선으로 이동시킴으로써, 상기 지지핸드(15)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제 1 암기구(13) 및 상기 제 2 암기구(14)가 상기 동력원에 의해 반복적으로 이동되는 과정에서 미끄러짐 등의 오류로 인해 상기 제 1 암기구(13), 및 상기 제 2 암기구(14)의 원점이 틀어지게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송암(10)을 목적으로 하는 위치로 이동시키기 위해 상기 이송암(10)을 제어하는데 어려움이 따르게 된다. 이를 방지하기 위해, 상기 이송암(10)의 원점을 조정하는 작업이 요구된다.
종래 기술에 따른 이송암 원점 조정방법은 상기 제 1 암기구(13)가 제 1 원점위치로부터 이격된 거리를 작업자가 줄자를 이용하여 측정한 후에, 측정값에 따라 상기 동력원이 상기 제 1 암기구(13)를 상기 제 1 원점위치로 이동시킴으로써, 상기 제 1 암기구(13)에 대한 원점을 조정하였다. 또한, 종래 기술에 따른 이송암 원점 조정방법은 상기 제 2 암기구(14)가 상기 제 2 원점위치로부터 이격된 거리를 작업자가 줄자를 이용하여 측정한 후에, 측정값에 따라 상기 동력원이 상기 제 2 암기구(14)를 상기 제 2 원점위치로 이동시킴으로써, 상기 제 2 암기구(14)에 대한 원점을 조정하였다. 이러한 과정들을 통해, 종래 기술에 따른 이송암 원점 조정방법은 상기 이송암(10)에 대한 원점을 조정하였다.
따라서, 종래 기술에 따른 이송암 원점 조정방법은 작업자가 줄자를 이용하여 상기 제 1 암기구(13) 및 상기 제 2 암기구(14)가 각각의 원점으로부터 이격된 거리를 측정하였기 때문에, 상기 이송암(10)에 대한 원점을 정확하게 조정하기 어려운 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 이송암 원점 조정방법은 작업자의 숙련도, 집중도 등이 영향을 미침에 따라 조정됨 원점에 대한 신뢰성이 떨어지고, 상기 이송암(10)에 대한 원점을 조정하는데 오랜 시간이 걸리는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있는 이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 작업자의 숙련도, 집중도 등이 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 이송암 원점 조정장치 및 이송암 원점 조정방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치는 암바디에 형성된 기준홈에 삽입되기 위한 기준삽입기구; 상기 암바디에 이동 가능하게 결합되는 제 1 암기구에 삽입되기 위한 제 1 조정기구; 상기 제 1 암기구에 이동 가능하게 결합되는 제 2 암기구에 삽입되기 위한 제 2 조정기구; 및 상기 암바디를 기준으로 상기 제 1 암기구 및 상기 제 2 암기구에 대한 원점을 조정하기 위해 상기 암바디에 결합되는 본체를 포함하고, 상기 본체는 상기 기준삽입기구가 삽입되기 위한 기준공, 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 1 암기구의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공, 및 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 2 암기구의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공을 포함하며, 상기 기준삽입기구는 상기 기준공 및 상기 기준홈에 삽입되고, 상기 제 1 조정기구는 상기 제 1 암기구가 상기 제 1 원점위치에 위치되도록 상기 제 1 조정공 및 상기 제 1 암기구에 형성된 제 1 원점홈에 삽입되며, 상기 제 2 조정기구는 상기 제 2 암기구가 상기 제 2 원점위치에 위치되도록 상기 제 2 조정공 및 상기 제 2 암기구에 형성된 제 2 원점홈에 삽입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치는 상기 제 1 암기구에 이동 가능하게 결합되는 제 3 암기구에 삽입되기 위한 제 3 조정기구를 포함하고; 상기 본체는 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 3 암기구의 제 3 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 3 조정공을 포함하며, 상기 제 3 조정기구는 상기 제 3 암기구가 상기 제 3 원점위치에 위치되도록 상기 제 3 조정공 및 상기 제 3 암기구에 형셩된 제 3 원점홈에 삽입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법은 기준삽입기구를 본체에 형성된 기준공에 삽입하고, 상기 기준공에 삽입된 기준삽입기구를 암바디에 형성된 기준홈에 결합시키는 단계; 상기 기준홈을 기준으로 제 1 암기구의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공에 제 1 조정기구를 삽입하고, 상기 제 1 조정공에 삽입된 제 1 조정기구를 상기 제 1 암기구에 형성된 제 1 원점홈에 결합시키는 단계; 및 상기 기준홈을 기준으로 제 2 암기구의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공에 제 2 조정기구를 삽입하고, 상기 제 2 조정공에 삽입된 제 2 조정기구를 상기 제 2 암기구에 형성된 제 2 원점홈에 결합시키는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법에 따르면 상기 제 1 조정기구를 상기 제 1 원점홈에 결합시키는 단계는, 상기 암바디에 대해 상기 제 1 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 1 브레이크를 해제하는 단계, 및 상기 제 1 조정공 및 상기 제 1 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 1 암기구를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법에 따르면 상기 제 2 조정기구를 상기 제 2 원점홈에 결합시키는 단계는, 상기 제 1 암기구에 대해 상기 제 2 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 2 브레이크를 해제하는 단계, 및 상기 제 2 조정공 및 상기 제 2 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 2 암기구를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법은 상기 제 1 암기구에 대해 제 3 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 3 브레이크를 해제하는 단계; 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 3 암기구의 제 3 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 3 조정공 및 상기 제 3 암기구에 형성된 제 3 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 3 암기구를 이동시키는 단계; 및 상기 제 3 조정공에 제 3 조정기구를 삽입하고, 상기 제 3 조정공에 삽입된 제 3 조정기구를 상기 제 3 원점홈에 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 본체를 기준으로 이송암의 원점을 조정함으로써, 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 본체를 기준으로 이송암의 원점을 조정할 수 있으므로, 작업자의 숙련도, 집중도 등이 이송암에 대한 원점을 조정하는 작업에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치가 이용되는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치를 나타내는 사시도이고,
도 4는 도 3의 이송암 원점 조정방법을 나타내는 공정흐름도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
도 2는 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치가 이용되는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치를 나타내는 사시도이다.
도 2 또는 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치는 기판 이송장치에 설치되는 이송암의 원점을 조정하기 위한 것이다. 상기 기판 이송장치는 상기 이송암을 이용하여 기판을 이송한다.
이하에서는 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치의 바람직한 실시예를 설명하기에 앞서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치가 이용되는 기판 이송장치의 일례에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.
상기 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강부(130), 상기 승강부(130)를 회전시키기 위한 선회부(140), 및 상기 선회부(140)를 이동시키기 위한 주행부(150)를 포함한다.
상기 이송암(120)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)가 상기 선회부(140)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강부(130)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(123)는 제 1 암기구(123a), 제 2 암기구(123b), 및 제 3 암기구(123c)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제 2 암기구(123b)는 상기 제 1 암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 2 암기구(123c)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 2 암기구(123c)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제 2 암기구(123b)는 상기 제 1 암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제 2 암기구(123b)에 결합될 수 있다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이를 위해, 상기 승강부(120)에는 상기 암베이스(121)가 결합된다. 이에 따라, 상기 승강부(120)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(120)는 상기 선회부(140)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 선회부(140)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(140)는 상기 이송암(120)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(140)는 상기 주행부(150)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(140)는 상기 주행ㅂ부(140)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(120)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(150)는 상기 선회부(140)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(150)는 상기 이송암(120)에 기기된 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(150)는 주행베이스(151) 및 주행가이드부(152)를 포함한다.
상기 주행베이스(151)는 상기 주행가이드부(152) 따라 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(151)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(151)가 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(151)에는 상기 선회부(140)가 결합된다.
상기 주행가이드부(152)는 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(152)는 상기 주행베이스(151)가 이동되는 경로를 제공한다. 상기 주행가이드부(152)에는 상기 주행베이스(151)가 결합된다.
이하에서는 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조정하기 위한 것이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 암바디(122)에 형성된 기준홈(122a)에 삽입되기 위한 기준삽입기구(210), 상기 암바디(122)에 결합되는 본체(220), 상기 제 1 암기구(123a)에 삽입되기 위한 제 1 조정기구(230), 및 상기 제 2 암기구(123b)에 삽입되기 위한 제 2 조정기구(240)를 포함한다.
여기서, 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)에는 상기 제 1 조정기구(230) 및 상기 제 3 조정기구(240)가 삽입되기 위한 제 1 원점홈(123a') 및 제 2 원점홈(123b')이 형성된다.
상기 기준삽입기구(210)는 상기 기준홈(123a)에 삽입됨으로써 상기 본체(220)가 기준위치에 위치되도록 한다. 이 상태에서, 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)를 이동시킴으로써, 원점을 조정할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 기준위치에 위치된 상기 본체(220)를 기준으로 상기 이송암(120)의 원점을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 기준위치에 위치된 상기 본체(220)를 기준으로 상기 이송암(120)의 원점을 조정할 수 있으므로, 작업자의 숙련도, 집중도 등이 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조정하는 작업에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 작업자의 숙련도, 집중도와 관계없이 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업을 수행할 수 있으므로, 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 상기 기준삽입기구(210), 상기 본체(220), 상기 제 1 조정기구(230), 및 상기 제 2 조정기구(240)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 기준삽입기구(210)는 상기 암바디(122)에 형성된 기준홈(122a)에 삽입된다. 이에 따라, 상기 기준삽입기구(210)는 상기 본체(220)를 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점에 대한 기준위치에 위치시킬 수 있다.
상기 본체(220)는 상기 기준삽입기구(210)가 상기 기준홈(122a)에 삽입됨에 따라 상기 기준위치에 위치된다. 상기 본체(220)는 상기 제 1 암기구(123a)의 원점 위치인 제 1 원점위치, 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점위치인 제 2 원점위치를 제공한다. 이를 위해, 상기 본체(220)는 기준공(221), 제 1 조정공(222), 및 제 2 조정공(223)을 포함한다.
상기 기준공(221)은 상기 기준홈(122a)에 대응되는 위치에 형성된다. 상기 기준삽입기구(210)가 상기 기준공(221)에 삽입될 경우, 상기 기준공(221)은 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)가 상기 제 1 원점위치 및 상기 제 2 원점위치에 위치되기 위한 기준위치에 상기 본체(220)를 위치시킬 수 있다.
상기 제 1 조정공(222)은 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서, 상기 본체(220)를 기준으로 상기 제 1 암기구(123a)를 상기 제 1 원점위치에 위치시키기 위한 기준을 제공한다. 이를 위해, 상기 제 1 조정공(222)은 상기 기준홈(122a)을 기준으로 상기 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공(221)으로부터 이격된 위치의 상기 본체(220)에 형성된다.
상기 제 2 조정공(223)은 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 본체(220)를 기준으로 상기 제 2 암기구(123b)를 상기 제 2 원점위치에 위치시키기 위한 기준을 제공한다. 이를 위해, 상기 제 2 조정공(223)은 상기 기준홈(122a)을 기준으로 상기 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공(221)으로부터 이격된 위치의 상기 본체(220)에 형성된다.
상기 제 1 조정기구(230)는 상기 제 1 암기구(123a)가 상기 제 1 원점위치에 위치되도록 상기 제 1 원점홈(123a')에 삽입된다. 상기 제 1 조정기구(230)는 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 제 1 조정공(222) 및 상기 제 1 원점홈(123a')에 삽입됨으로써, 상기 제 1 암기구(123a)를 상기 제 1 원점위치에 위치시킬 수 있다.
상기 제 2 조정기구(240)는 상기 제 2 암기구(123b)가 상기 제 2 원점위치에 위치되도록 상기 제 2 원점홈(123b')에 삽입된다. 상기 제 2 조정기구(230)는 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 제 2 조정공(223) 및 상기 제 2 원점홈(123b')에 삽입됨으로써, 상기 제 2 암기구(123b)를 상기 제 2 원점위치에 위치시킬 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 본체(220)를 기준으로 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점을 조절할 수 있으므로, 상기 이송암(120)의 원점을 조정하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 본체(220)가 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)에 대한 정확한 원점위치를 제공한다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 작업자의 숙련도, 집중도와 관계없이 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업을 수행할 수 있으므로, 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
상기 기판 이송장치(100)는 복수 개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 1 암기구(123a)를 기준으로 서 상기 제 2 암기구(123b)와 반대편에 위치되게 상기 제 1 암기구(123a)에 결합되는 제 3 암기구(123c)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 지지핸드(124)는 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 제 3 암기구(123c)에 각각 결합될 수 있다.
상기 제 3 암기구(123c)는 상기 제 2 암기구(123b)와 이격되도록 상기 제 1 암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 3 암기구(123c)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 3 암기구(123c)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제 3 암기구(123c)는 상기 제 1 암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)에 있어서, 상기 본체(220)는 상기 제 3 조정기구(250)가 삽입되는 제 3 조정공(224)을 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 이송암 원전 조정장치(200)는 상기 제 3 암기구(123c)에 삽입되기 위한 제 3 조정기구(250)를 포함할 수 있다.
상기 제 3 조정공(224)은 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 본체(220)를 기준으로 상기 제 3 암기구(123c)를 상기 제 3 원점위치에 위치시키기 위한 기준을 제공한다. 이를 위해, 상기 제 3 조정공(224)은 상기 기준홈(122a)을 기준으로 상기 제 3 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공(221)으로부터 이격된 위치의 상기 본체(220)에 형성된다.
상기 제 3 조정기구(250)는 상기 제 3 암기구(123b)가 제 3 원점위치에 위치되도록 상기 제 3 원점홈(123c')에 삽입된다. 상기 제 3 조정기구(250)는 상기 본체(220)가 상기 기준위치에 위치된 상태에서 상기 제 3 조정공(224) 및 상기 제 3 원점홈(123c')에 삽입됨으로써, 상기 제 3 암기구(123c)를 상기 제 3 원점위치에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 암유닛(123)이 복수 개로 설치될 경우, 상기 암유닛(123)들의 원점을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정장치(200)는 상기 암유닛(123)의 개수와 상관없이 상기 이송암(120)의 원점을 조정하는데 적용할 수 있는 범용성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3 또는 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상술한 본 발명에 따른 이송암 원점 조정창지(200)를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 기준삽입기구(210)를 암바디(122)에 형성된 기준홈(122a)에 결합시킨다(S110). 이러한 공정(S110)은 상기 기준삽입기구(210)를 본체(220)에 형성된 기준공(221)에 삽입한 상태에서, 상기 기준삽입기구(210)를 상기 기준홈(122a)에 결합시킴으로써 이루어질 수 있다.
다음, 제 1 조정기구(230)를 제 1 암기구(123a)에 형성된 제 1 원점홈(123a')에 결합시킨다(S120). 이러한 공정(S120)은 상기 기준홈(122a)을 기준으로 상기 제 1 암기구(123a)의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공(221)으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공(222)에 상기 제 1 조정기구(230)를 삽입한 상태에서, 상기 제 1 조정기구(230)를 상기 제 1 원점홈(123a')에 결합시킴으로써 이루어질 수 있다.
다음, 상기 제 2 조정기구(240)를 상기 제 2 암기구(123b)에 형성된 제 2 원점홈(123b')에 결합시킨다(S130). 이러한 공정(S130)은 상기 기준홈(122a)을 기준으로 상기 제 2 암기구(123b)의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공(221)으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공(223)에 상기 제 1 조정기구(230)를 삽입한 상태에서, 상기 제 2 고정기구(240)를 상기 제 2 원점홈(123b')에 결합시킴으로써 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상기 기준삽입기구(210)를 상기 기준홈(122a)에 결합시킨 후, 상기 제 1 조정기구(230) 및 상기 제 2 조정기구(240)를 이용하여 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점을 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상기 기준삽입기구(210)에 의해 상기 본체(220)가 기준위치에 위치된 상태에서 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)의 원점을 조절할 수 있으므로, 상기 이송암(120)의 원점을 조정하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)는 상기 기준삽입기구(210)가 상기 본체(220)를 상기 기준위치에 위치시킴으로써, 상기 제 1 암기구(123a) 및 상기 제 2 암기구(123b)에 대한 정확한 원점위치를 제공한다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)는 작업자의 숙련도, 집중도와 관계없이 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업을 수행할 수 있으므로, 상기 이송암(120)에 대한 원점을 조절하는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 제 1 조정기구(230)를 제 1 암기구(123a)에 형성된 제 1 원점홈(123a')에 결합시키는 공정(S120)은 제 1 브레이크(161)를 해제하는 공정(S121), 상기 제 1 암기구(123a)를 이동시키는 공정(S122), 및 상기 제 1 조정기구(230)를 상기 제 1 원점홈(123a')에 결합시키는 공정(S123)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 브레이크(161)를 해제하는 공정(S121)은 상기 암유닛(123)의 이동을 제한하는 브레이크부(160) 중에서 제 1 암기구(123a)의 이동을 제한하는 제 1 브레이크(161)를 해제함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 1 암기구(123a)를 이동시키는 공정(S122)은 상기 제 1 조정공(222) 및 상기 제 1 원점홈(123a')이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 1 암기구(123a)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 1 조정기구(230)를 상기 제 1 원점홈(123a')에 결합시키는 공정(S123)은 상기 제 1 암기구(123a)를 이동시켜 상기 제 1 조정공(222) 및 상기 제 1 원점홈(123a')을 동일선상에 위치시킨 상태에서, 상기 제 1 조정기구(230)를 상기 제 1 원점홈(123a') 및 상기 제 1 조정공(222)에 삽입시킴으로써 이루어질 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 제 2 조정기구(240)를 상기 제 2 암기구(123b)에 형성된 제 2 원점홈(123b')에 결합시키는 공정(S130)은 제 2 브레이크(162)를 해제하는 공정(S131), 상기 제 2 암기구(123b)를 이동시키는 공정(S132), 및 상기 제 2 조정기구(240)를 상기 제 2 원점홈(123b')에 결합시키는 공정(S133)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 브레이크(162)를 해제하는 공정(S131)은 상기 암유닛(123)의 이동을 제한하는 브레이크부(160) 중에서 제 2 암기구(123b)의 이동을 제한하는 제 2 브레이크(162)를 해제함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 2 암기구(123b)를 이동시키는 공정(S132)은 상기 제 2 조정공(223) 및 상기 제 2 원점홈(123b')이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 2 암기구(123b)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 2 조정기구(240)를 상기 제 2 원점홈(123b')에 결합시키는 공정(S133)은 상기 제 2 암기구(123b)를 이동시켜 상기 제 2 조정공(223) 및 상기 제 2 원점홈(123b')을 동일선상에 위치시킨 상태에서, 상기 제 2 조정기구(240)를 상기 제 2 원점홈(123b') 및 상기 제 2 조정공(223)에 삽입시킴으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상기 브레이크부(160)를 해제한 상태에서 상기 암유닛(123)들을 이동시킴으로써, 상기 이송암(120)의 원점을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상기 암유닛(120)의 원점을 조정하는 과정에 있어서, 상기 암유닛(120)을 원점위치로 이동시키는데 용이함을 제공한다.
상술한 바와 같이, 상기 암유닛(123)은 복수 개의 상기 기판(110)을 이송시키기 위해 상기 암바디(122)에 복수 개로 설치될 수 있다.
이 경우, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 제 3 브레이크(163)를 해제하는 공정(S140), 상기 제 3 암기구(123c)를 이동시키는 공정(S150), 및 상기 제 3 조정기구(250)를 상기 제 3 원점홈(123c')에 결합시키는 공정(S160)을 포함할 수 있다.
상기 제 3 브레이크(163)를 해제하는 공정(S140)은 상기 암유닛(123)의 이동을 제한하는 브레이크부(160) 중에서 제 3 암기구(123c)의 이동을 제한하는 제 3 브레이크(163)를 해제함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 3 암기구(123c)를 이동시키는 공정(S150)은 상기 제 3 조정공(224) 및 상기 제 3 원점홈(123c')이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 3 암기구(123c)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다.
상기 제 3 조정기구(250)를 상기 제 3 원점홈(123c')에 결합시키는 공정(S160)은 상기 제 3 암기구(123c)를 이동시켜 상기 제 3 조정공(224) 및 상기 제 3 원점홈(123c')을 동일선상에 위치시킨 상태에서, 상기 제 3 조정기구(250)를 상기 제 3 원점홈(123c') 및 상기 제 3 조정공(224)에 삽입시킴으로써 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)에 따르면 복수 개로설치되는 상기 암유닛(123)들을 원점위치에 순서대로 위치시킴으로써, 상기 암유닛(123)들의 원점을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 이송암 원점 조정방법(S100)은 상기 암유닛(123)의 개수와 상관없이 상기 이송암(120)의 원점을 조정하는데 적용할 수 있는 범용성을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 110: 기판
120: 이송암 121: 암베이스
122: 암바디 122a: 기준홈
123: 암유닛 123a: 제 1 암기구
123a': 제 1 원점홈 123b: 제 2 암기구
123b': 제 2 원점홈 123c: 제 3 암기구
123c': 제 3 원점홈 124: 지지핸드
130: 승강부 140: 선회부
150: 주행부 151: 주행베이스
152: 주행가이드부 160: 브레이크부
161: 제 1 브레이크 162: 제 2 브레이크
163: 제 3 브레이크 200: 이송암 원점 조정장치
210: 기준삽입기구 220: 본체
221: 기준공 222: 제 1 조정공
223: 제 2 조정공 224: 제 3 조정공
230: 제 1 조정기구 240: 제 2 조정기구
250: 제 3 조정기구

Claims (6)

  1. 암바디에 형성된 기준홈에 삽입되기 위한 기준삽입기구;
    상기 암바디에 이동 가능하게 결합되는 제 1 암기구에 삽입되기 위한 제 1 조정기구;
    상기 제 1 암기구에 이동 가능하게 결합되는 제 2 암기구에 삽입되기 위한 제 2 조정기구; 및
    상기 암바디를 기준으로 상기 제 1 암기구 및 상기 제 2 암기구에 대한 원점을 조정하기 위해 상기 암바디에 결합되는 본체를 포함하고,
    상기 본체는 상기 기준삽입기구가 삽입되기 위한 기준공, 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 1 암기구의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공, 및 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 2 암기구의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공을 포함하며,
    상기 기준삽입기구는 상기 기준공 및 상기 기준홈에 삽입되고,
    상기 제 1 조정기구는 상기 제 1 암기구가 상기 제 1 원점위치에 위치되도록 상기 제 1 조정공 및 상기 제 1 암기구에 형성된 제 1 원점홈에 삽입되며,
    상기 제 2 조정기구는 상기 제 2 암기구가 상기 제 2 원점위치에 위치되도록 상기 제 2 조정공 및 상기 제 2 암기구에 형성된 제 2 원점홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 이송암 원점 조정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 암기구에 이동 가능하게 결합되는 제 3 암기구에 삽입되기 위한 제 3 조정기구를 포함하고; 상기 본체는 상기 기준홈을 기준으로 상기 제 3 암기구의 제 3 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 3 조정공을 포함하며,
    상기 제 3 조정기구는 상기 제 3 암기구가 상기 제 3 원점위치에 위치되도록 상기 제 3 조정공 및 상기 제 3 암기구에 형셩된 제 3 원점홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 이송암 원점 조정장치
  3. 기준삽입기구를 본체에 형성된 기준공에 삽입하고, 상기 기준공에 삽입된 기준삽입기구를 암바디에 형성된 기준홈에 결합시키는 단계;
    상기 기준홈을 기준으로 제 1 암기구의 제 1 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 1 조정공에 제 1 조정기구를 삽입하고, 상기 제 1 조정공에 삽입된 제 1 조정기구를 상기 제 1 암기구에 형성된 제 1 원점홈에 결합시키는 단계; 및
    상기 기준홈을 기준으로 제 2 암기구의 제 2 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 2 조정공에 제 2 조정기구를 삽입하고, 상기 제 2 조정공에 삽입된 제 2 조정기구를 상기 제 2 암기구에 형성된 제 2 원점홈에 결합시키는 단계를 포함하는 이송암 원점 조정방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제 1 조정기구를 상기 제 1 원점홈에 결합시키는 단계는, 상기 암바디에 대해 상기 제 1 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 1 브레이크를 해제하는 단계, 및 상기 제 1 조정공 및 상기 제 1 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 1 암기구를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송암 원점 조정방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제 2 조정기구를 상기 제 2 원점홈에 결합시키는 단계는, 상기 제 1 암기구에 대해 상기 제 2 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 2 브레이크를 해제하는 단계, 및 상기 제 2 조정공 및 상기 제 2 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 2 암기구를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송암 원점 조정방법.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제 1 암기구에 대해 제 3 암기구가 이동하는 것을 제한하는 제 3 브레이크를 해제하는 단계;
    상기 기준홈을 기준으로 상기 제 3 암기구의 제 3 원점위치가 이격된 거리에 대응되는 거리로 상기 기준공으로부터 이격된 위치에 형성되는 제 3 조정공 및 상기 제 3 암기구에 형성된 제 3 원점홈이 서로 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제 3 암기구를 이동시키는 단계; 및
    상기 제 3 조정공에 제 3 조정기구를 삽입하고, 상기 제 3 조정공에 삽입된 제 3 조정기구를 상기 제 3 원점홈에 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송암 원점 조정방법.



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