KR101456255B1

KR101456255B1 - A Apparatus for Preventing Deflection of Shutter in Feeder

Info

Publication number: KR101456255B1
Application number: KR1020130036833A
Authority: KR
Inventors: 정희영
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2013-04-04
Filing date: 2013-04-04
Publication date: 2014-11-04
Also published as: KR20140121016A

Abstract

본 발명은 OLED 제조를 위한 증착물질 공급장치의 셔터 처짐 방지장치에 관한 것으로서, 알갱이 형태의 증착물질을 일정량씩 증발원으로 공급해 주는 공급부와, 상기 공급부를 회전시킴으로써 증착물질을 공급할 위치를 결정하는 제1 회전축과, 상기 공급부의 홀더를 개폐하는 셔터와, 상기 홀더에 공급된 증착물질을 증발원에 투입시키기 위해 상기 셔터를 구동시키는 제2 회전축과, 상기 셔터를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하는 지지수단과, 상기 제1 회전축을 회전시키는 제1 모터와, 상기 제2 회전축을 회전시키는 제2 모터를 포함함으로써, 공급장치의 홀더에 공급된 금속 펠렛을 증발원에 투입시키기 위한 셔터를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하고, 장비의 수명을 연장시키며 셔터의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a shutter deflection preventing device for a deposition material supplying apparatus for manufacturing an OLED, and more particularly, to a shutter deflection preventing apparatus for a deposition material supplying apparatus for manufacturing an OLED, comprising a supply unit for supplying a granular deposition material to an evaporation source in a predetermined amount, A shutter for opening and closing the holder of the supply unit; a second rotation shaft for driving the shutter to apply the evaporation material supplied to the holder to the evaporation source; and a support means for supporting the shutter to prevent deflection of the shutter, A first motor for rotating the first rotation shaft and a second motor for rotating the second rotation shaft to support a shutter for introducing the metal pellets supplied to the holder of the supply device into the evaporation source, The life of the equipment can be prolonged, and the precision of the position of the shutter can be improved.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a deposition apparatus,

본 발명은 OLED 제조를 위한 증착물질 공급장치의 셔터 처짐 방지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 홀더에 공급된 금속 펠렛을 증발원에 투입시키기 위한 셔터를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하고, 장비의 수명을 연장시키며 셔터의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착물질 공급장치의 셔터 처짐방지장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a shutter deflection preventing device for a deposition material supply device for manufacturing an OLED, and more particularly, to a shutter deflection preventing device for preventing the deflection of a shutter by supporting a shutter for injecting metal pellets supplied to a holder into an evaporation source, And more particularly, to a shutter deflection preventing device for a deposition material supplying device that can improve the positional accuracy of a shutter.

일반적으로, 유기 전계발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)는 유기 다이오드, 유기 EL이라고도 하며, 빠른 응답속도 이외에 기존의 액정보다 소비 전력이 작고, 가벼우며 초박형으로 만들 수 있고, 휘도가 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있다.In general, organic light emitting diodes (OLEDs) are also referred to as organic diodes and organic ELs. In addition to their rapid response speed, they can be made to be light and thin, And it is getting attention as a next generation display.

일반적인 유기 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 전계발광 소자에는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 된다. 상기 중간층에는 다양한 층들이 구비될 수 있는데, 홀 주입층, 홀 수소층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.In an organic electroluminescent device provided in a general organic electroluminescent display device, an intermediate layer including at least a light emitting layer is formed between the electrodes facing each other. The intermediate layer may include various layers such as a hole injection layer, a hole hydrogen layer, a light emitting layer, an electron transport layer, or an electron injection layer. In the case of an organic electroluminescent device, these intermediate layers are organic thin films formed of organic materials.

전하 운반층(charge transport player) 및 전하 주입층(charge injection layer)과 같은 금속층 및 유기층은 열 물리 기상 증착 공정(Physical Vapor Deposition; PVD)을 이용하여 주로 형성된다.A metal layer and an organic layer such as a charge transport layer and a charge injection layer are mainly formed by using a physical vapor deposition (PVD) process.

이러한 공정에서, 유기 재료는 증발점(또는 승화점)까지 가열되고, 증발된 유기재료는 증착 소스로부터 분출된 후 기판 상에 코팅된다. 통상적인 PVD 공정은 증발 챔버(evaporation chamber) 내에 높은 열 저항 및 화학적 안정성을 갖는 도가니를 포함하는 기상 증착 장치를 이용한다.In this process, the organic material is heated to the evaporation point (or sublimation point), and the evaporated organic material is ejected from the deposition source and then coated on the substrate. A typical PVD process utilizes a vapor deposition apparatus comprising a crucible having a high thermal resistance and chemical stability in an evaporation chamber.

상기 증착 방법은 일반적으로 진공 챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착된 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다. Such a deposition method is generally performed by mounting a substrate in a vacuum chamber, and then heating the heating container containing the deposited material to evaporate or sublimate the substance to be deposited therein to produce a thin film.

그리고, 유기 전계발광 소자를 제조하는 공정에서, 중간층의 상하부에 구비되는 전극들은 증착 장치를 이용하여 증착의 방법에 의해 형성될 수 있다. 물론 그 외의 배선 등도 역시 증착의 방법에 의해 형성될 수 있다.In the process of manufacturing the organic electroluminescent device, the electrodes provided on the upper and lower portions of the intermediate layer may be formed by a deposition method using a vapor deposition apparatus. Of course, other wiring and the like can also be formed by a method of deposition.

유기 전계발광 소자의 전극 및 배선의 재료는 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네슘(Mg)은 500~600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상, 알루미늄(Al)은 1000℃ 내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에서 증발한다.The material of the electrode and the wiring of the organic electroluminescent device generally evaporates at a high temperature, and the evaporation temperature varies depending on the kind of the material. Generally, magnesium (Mg) evaporates at 500 to 600 ° C, silver (Ag) evaporates at 1000 ° C or higher, aluminum (Al) evaporates at around 1000 ° C, and lithium (Li) evaporates at about 300 ° C.

이와 같은 증착을 위해서는 증발 또는 승화가 이루어지는 증발원에 증발 또는 승화될 물질이 공급되어야 한다. 증발원에 공급되는 물질은 볼 또는 펠렛 형태로 제작되어 공급된다.For this deposition, evaporation or sublimation material to be evaporated or sublimed must be supplied. The material supplied to the evaporation source is supplied in the form of balls or pellets.

이와 관련된 종래의 기술로서, 본 출원인이 출원한 한국 등록특허 제10-1081363호에는 유기발광 다이오드 제조공정용 금속재료 공급장치가 개시되어 있다. 상기 문헌에서는 증착원 상에 증착원을 개폐하는 셔터가 설치되어 증착원에 대한 금속 펠렛을 선택적으로 공급할 수 있으나, 상기 셔터는 소정의 길이를 가지는 판형으로 이루어지고 그 일단이 회전축에 의해 고정되어 회전하는 형태이므로, 장시간 사용하다 보면 셔터의 자중에 의해 처짐이 발생하는 문제점이 있었다. Korean Patent No. 10-1081363, filed by the present applicant, discloses a metal material supplying apparatus for an organic light emitting diode manufacturing process. In this document, a shutter for opening and closing an evaporation source is provided on an evaporation source to selectively supply metal pellets to an evaporation source. However, the shutter is a plate having a predetermined length, and one end thereof is fixed by a rotation shaft, Therefore, there is a problem that when the shutter is used for a long time, deflection occurs due to the self weight of the shutter.

이는 증착원을 개폐하는 기능에 악영향을 미칠 수 있어서 금속 펠렛의 공급이 안정적으로 이루어지지 않을 수 있으며, 이로 인해 전체 장비의 수명을 단축시킬 수 있는 단점이 있었던바, 이에 대한 개선안이 요구되는 실정이다. This may adversely affect the function of opening and closing the evaporation source, so that the supply of the metal pellets may not be stably performed, and as a result, the life of the entire equipment may be shortened. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 공급장치의 홀더에 담겨진 금속 펠렛을 증발원에 투입시키기 위한 셔터를 2개의 링크부재로 구성하여 그 중 하나의 링크부재를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하고, 장비의 수명을 연장시키며 셔터의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착물질 공급장치의 셔터 처짐방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an image forming apparatus in which a shutter for putting a metal pellet contained in a holder of a supply device into an evaporation source is constituted by two link members, An object of the present invention is to provide a shutter sag prevention device for a deposition material supplying apparatus which can improve the positional accuracy of a shutter by extending the service life of the apparatus.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 알갱이 형태의 증착물질을 일정량씩 증발원으로 공급해 주는 공급부와, 상기 공급부를 회전시킴으로써 증착물질을 공급할 위치를 결정하는 제1 회전축과, 상기 공급부의 홀더를 개폐하는 셔터와, 상기 홀더에 공급된 증착물질을 증발원에 투입시키기 위해 상기 셔터를 구동시키는 제2 회전축과, 상기 셔터를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하는 지지수단과, 상기 제1 회전축을 회전시키는 제1 모터와, 상기 제2 회전축을 회전시키는 제2 모터를 포함하는 증착물질 공급장치의 셔터 처짐방지장치가 제공된다. In order to accomplish the above object, the present invention provides a method of manufacturing an evaporation apparatus, comprising: a supply unit for supplying a granular deposition material to an evaporation source in a predetermined amount; a first rotation shaft for determining a position to supply the evaporation material by rotating the supply unit; A second rotating shaft for driving the shutter to apply the evaporation material supplied to the holder to the evaporation source; support means for supporting the shutter to prevent sagging of the shutter; There is provided a shutter deflection preventing device for a deposition material supply apparatus including a first motor and a second motor for rotating the second rotation shaft.

본 발명에서, 상기 공급부는 일정량의 증착 물질이 담겨지는 홀더와, 상기 홀더에 일단이 고정되고, 상기 제1 회전축에 타단이 고정되어 상기 제1 회전축을 중심으로 회전하는 지지 암(Arm)을 포함할 수 있다. In the present invention, the supply unit includes a holder in which a predetermined amount of evaporation material is contained, and a support arm having one end fixed to the holder and the other end fixed to the first rotation axis and rotating about the first rotation axis can do.

또한, 상기 지지수단은, 상기 셔터에서 연장형성되고, 상기 셔터의 반대편 단부에 장공이 형성된 제1 링크부재와, 상기 제2 회전축에 일단이 고정되고 상기 제1 링크부재에 타단이 연결되는 제2 링크부재와, 상기 제2 링크부재의 타단에 고정되며, 상기 장공에 끼워져 장공 내에서 이동하는 연결부재와, 상기 제1 링크부재의 길이방향으로 중앙부에 설치되며, 상기 공급부의 지지 암과 상기 제1 링크부재를 고정시키는 고정부재를 포함하여 구성될 수 있다. The supporting means includes a first link member extending from the shutter and having a slot formed at the opposite end of the shutter, a second link member having one end fixed to the second rotation shaft and the other end connected to the first link member, A link member which is fixed to the other end of the second link member and is inserted in the elongated hole and moves in the slot; a second link member which is provided at a central portion in the longitudinal direction of the first link member, And a fixing member for fixing the one link member.

여기서, 상기 연결부재는 상기 장공의 직경보다 큰 면적을 가지는 걸림부가 하단에 형성되어 상기 장공에서 이탈되지 않는 상태로 이동하는 것을 특징으로 한다. Here, the connecting member is formed at a lower end of the hook having an area larger than the diameter of the slot, and moves in a state that the hook is not detached from the slot.

한편, 상기 지지 암의 상부에는 상기 셔터의 위치 정밀도를 개선하기 위한 탄성체가 설치될 수 있는데, 상기 탄성체는 코일 스프링으로서, 일단은 상기 지지 암에 고정되고, 타단은 상기 제1 링크부재에 고정될 수 있다. On the other hand, an elastic body for improving the positional accuracy of the shutter can be provided on the upper portion of the support arm. The elastic body is a coil spring, one end is fixed to the support arm, and the other end is fixed to the first link member .

본 발명에서, 상기 제1 회전축과 제1 모터는 동력전달수단에 의해 연결되어 제1 모터의 회전에 의해 제1 회전축이 회전하도록 구성될 수 있으며, 이 경우, 상기 제1 회전축의 외주면에는 풀리가 고정되고, 상기 풀리와 상기 제1 모터는 벨트로 연결되어 상기 제1 회전축이 회전하는 것이 가능하다. In the present invention, the first rotation shaft and the first motor may be connected by a power transmission means so that the first rotation shaft is rotated by rotation of the first motor. In this case, a pulley And the pulley and the first motor are connected by a belt so that the first rotation shaft can rotate.

또한, 상기 제1 회전축은 외축으로 구성되고, 상기 제2 회전축은 내축으로 구성되어 동축상에 설치될 수 있다. In addition, the first rotation shaft may be constituted by an outer shaft, and the second rotation shaft may be constituted by an inner shaft and installed coaxially.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 공급장치의 홀더에 공급된 금속 펠렛을 증발원에 투입시키기 위한 셔터를 지지하여 셔터의 처짐을 방지하고, 장비의 수명을 연장시키며 셔터의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the deflection of the shutter by supporting the shutter for putting the metal pellets supplied to the holder of the supply device into the evaporation source, to prolong the service life of the equipment, .

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착물질 공급장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 증착물질 공급장치의 셔터 처짐 방지장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 셔터 처짐 방지장치의 요부를 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 셔터 처짐 방지장치의 요부를 도시한 평면도로서,
도 4는 셔터가 회전하지 않은 상태를 도시한 것이고,
도 5는 셔터가 회전한 상태를 도시한 것이다. 1 is a perspective view showing a deposition material supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a shutter deflection preventing device of the evaporation material supply device of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a main part of the shutter deflection preventing device of the present invention.
4 and 5 are plan views showing essential parts of the shutter deflection preventing device of the present invention,
Fig. 4 shows a state in which the shutter is not rotated,
Fig. 5 shows a state in which the shutter is rotated.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착물질 공급장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 증착물질 공급장치의 셔터 처짐 방지장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 셔터 처짐 방지장치의 요부를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a deposition material supplying apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a shutter deflection preventing apparatus of the evaporation material supplying apparatus of the present invention, and FIG. Fig.

본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 제조공정용 금속재료 공급장치는 증착물질을 일정량씩 증발원으로 공급해 주는 공급부(100)와, 상기 공급부(100)의 하부에 결합되어 상기 공급부(100)를 회전시킴으로써 증착물질을 공급할 위치를 결정하는 회전부(200)를 포함한다. The metal material supply device for manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes a supply part 100 for supplying a deposition material to an evaporation source by a predetermined amount, And a rotation unit 200 for determining a position to supply the deposition material.

도 1에 도시한 바와 같이, 상기 공급부(100)는 알갱이 형태의 증착물질이 저장되는 다수의 관통공(112)이 원주방향으로 형성되고 외주부에 톱니(114)가 형성되어 있는 상부원판(110)과, 상기 상부원판(110)의 다수의 관통공(112) 중 하나와 일치하는 투입홀(도시하지 않음)이 형성된 하부원판(120)과, 상기 상부원판(110)의 톱니(114)에 기어결합되는 피니언 기어들(116)(118)로 구성된다.1, the supply unit 100 includes an upper circular plate 110 having a plurality of through holes 112 for storing granular deposition materials in a circumferential direction and teeth 114 formed on an outer circumferential portion thereof, A lower disc 120 having an injection hole (not shown) coinciding with one of the plurality of through holes 112 of the upper disc 110 and a lower disc 120 formed on the tooth 114 of the upper disc 110, And pinion gears 116 and 118 to be engaged.

본 발명의 실시예에서, 상기 하부원판(120)에는 한 개의 투입홀이 형성되어 있다. 상기 투입홀은 상기 상부원판(110)이 회전하면서 금속재료가 삽입되어 저장된 상기 상부원판(110)의 관통공(112) 중 하나와 일치하게 됨으로써 상기 금속재료가 증발원으로 투하된다.In the embodiment of the present invention, a single injection hole is formed in the lower circular plate 120. The injection hole is coincided with one of the through holes 112 of the upper circular plate 110 in which the upper circular plate 110 rotates while the metal material is inserted and stored, whereby the metal material is dropped into the evaporation source.

또한, 상기 공급부(100)의 내부를 살펴보면 도 2에서 보는 바와 같이, 일정량의 증착 물질이 담겨지는 홀더(140)와, 상기 홀더(140)에 일단이 고정되는 지지 암(Arm)(142)을 포함하는데, 상기 홀더(140)는 그 하면이 개방되어 있고, 상기 홀더(140)의 하면에는 회동가능한 셔터(150)가 설치되어 상기 셔터(150)의 회동에 의해 상기 홀더(140)를 개폐하도록 구성된다. 2, a holder 140 in which a predetermined amount of evaporation material is contained, and a support arm 142 having one end fixed to the holder 140 are disposed in the holder 140, The lower surface of the holder 140 is opened and a rotatable shutter 150 is installed on the lower surface of the holder 140 to open and close the holder 140 by the rotation of the shutter 150 .

한편, 상기 회전부(200)는 상기 공급부(100)를 회전시키는 제1 회전축(220)과, 상기 제1 회전축(220)을 회전시키는 제1 모터(도시하지 않음)를 포함하여 구성되는데, 본 발명에서, 상기 제1 회전축(220)과 제1 모터는 동력전달수단에 의해 연결된다. The rotation unit 200 includes a first rotation shaft 220 for rotating the supply unit 100 and a first motor (not shown) for rotating the first rotation shaft 220. The first rotation shaft 220 and the first motor are connected by a power transmission means.

본 발명의 실시예에서는 상기 제1 회전축(220)의 외주면에 풀리(230)가 고정되고, 상기 풀리(230)와 상기 제1 모터는 벨트(도시하지 않음)로 연결되어 상기 제1 모터의 회전에 의해 제1 회전축(220)이 회전하도록 한다. 여기서, 상기 벨트는 타이밍 벨트로 이루어지는 것이 바람직하며, 상술한 풀리와 벨트 구조 이외에도 상기 제1 모터와 제1 회전축(220)을 연결하여 동력을 전달할 수 있는 구성이라면 통상의 다양한 기술이 적용가능하다. In the embodiment of the present invention, a pulley 230 is fixed to the outer circumferential surface of the first rotation shaft 220, and the pulley 230 and the first motor are connected by a belt (not shown) So that the first rotary shaft 220 rotates. Here, the belt is preferably formed of a timing belt, and various other techniques can be applied as long as the first motor and the first rotation shaft 220 are connected to each other so as to transmit power in addition to the pulley and belt structure described above.

이와 같은 제1 회전축(220)의 상단에는 상기 지지 암(142)의 타단이 고정된다. 상기 지지 암(142)을 제1 회전축(220)의 상단에 설치하기 위해서는 통상의 볼트(222)가 설치될 수 있다. The other end of the support arm 142 is fixed to the upper end of the first rotation shaft 220. In order to mount the support arm 142 on the upper end of the first rotation shaft 220, a normal bolt 222 may be installed.

이와 같이 제1 회전축(220)의 상단에 고정된 지지 암(142)은 상기 제1 회전축(220)의 회전에 따라 제1 회전축(220)을 중심으로 회전한다. 이로써, 상기 제1 회전축(220)의 회전에 의해 상기 공급부(100)를 회전시킬 수 있는 것이다. The support arm 142 fixed to the upper end of the first rotation shaft 220 rotates around the first rotation shaft 220 in accordance with the rotation of the first rotation shaft 220. [ Thus, the supply unit 100 can be rotated by the rotation of the first rotation shaft 220.

본 발명은 상기 셔터(150)의 처짐을 방지하여 금속 펠렛의 공급이 안정적으로 이루어지도록 하는 것으로서, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 홀더(140)에 공급된 증착물질을 증발원에 투입시키기 위해 상기 셔터(150)를 구동시키는 제2 회전축(210)과, 상기 셔터(150)를 지지하여 셔터(150)의 처짐을 방지하는 지지수단과, 상기 제2 회전축(210)을 회전시키는 제2 모터(240)를 포함한다. 3 is a perspective view illustrating a state in which the evaporator of the evaporator according to the embodiment of the present invention is inserted into the evaporator according to an embodiment of the present invention. A second rotating shaft 210 for driving the shutter 150 and a supporting means for supporting the shutter 150 to prevent the shutter 150 from sagging and a second motor for rotating the second rotating shaft 210 240).

본 발명에서, 상기 제2 회전축(210)은 제1 회전축(220)의 내부에 위치하며, 상기 제2 회전축(210)의 하단부에 제2 모터(240)가 설치되어 회전구동하게 된다. 즉, 상기 제1 회전축(220)은 외축으로 구성되고, 상기 제2 회전축(210)은 내축으로 구성되어 동축상에 설치될 수 있다. In the present invention, the second rotary shaft 210 is located inside the first rotary shaft 220, and the second motor 240 is installed at the lower end of the second rotary shaft 210 to rotate. That is, the first rotation shaft 220 is configured as an outer shaft, and the second rotation shaft 210 is configured as an inner shaft and installed coaxially.

이와 같이 설치되는 제1 회전축(220)과 제2 회전축(210)은 동축상에 설치되면서도 내축으로 구성되는 제2 회전축(210)에 제2 모터(240)가 직접 설치되고, 외축으로 구성되는 제1 회전축(220)은 풀리(230)와 벨트를 이용하여 제1 모터에 연결함으로써, 회전축들이 각각 구동할 수 있으며 설치공간을 줄일 수 있다. The second motor 240 is installed directly on the second rotation shaft 210, which is installed on the same axis as the first rotation shaft 220 and the second rotation shaft 210, By connecting the first rotary shaft 220 to the first motor using the pulley 230 and the belt, the rotary shafts can be respectively driven and the installation space can be reduced.

한편, 상기 지지수단은 상기 셔터(150)에서 연장형성되는 제1 링크부재(152)와, 상기 제2 회전축(210)에 일단이 고정되고 상기 제1 링크부재(152)에 타단이 연결되는 제2 링크부재(160)를 포함한다. The support means includes a first link member 152 extended from the shutter 150 and a second link member 152 having one end fixed to the second rotation shaft 210 and the other end connected to the first link member 152. [ 2 link member 160 as shown in FIG.

첨부한 도 4 및 도 5는 본 발명의 셔터 처짐 방지장치의 요부를 도시한 평면도로서, 상기 제1 링크부재(152)는 상기 셔터(150)의 반대편 단부에 장공(154)이 형성되어 있다. 4 and 5 are plan views showing essential parts of the shutter deflection preventing device of the present invention. The first link member 152 has a slot 154 formed at the opposite end of the shutter 150.

이와 같은 제1 링크부재(152)와 제2 링크부재(160)는 별도의 연결부재(162)를 통해 연결되는데, 상기 연결부재(162)는 상기 제2 링크부재(160)의 타단에 고정되며, 상기 장공(154)에 끼워져 장공(154) 내에서 이동하도록 설치된다. The first link member 152 and the second link member 160 are connected to each other through a separate connecting member 162. The connecting member 162 is fixed to the other end of the second link member 160 And is inserted into the slot 154 to move within the slot 154.

여기서, 상기 연결부재(162)는 상기 장공(154)의 직경보다 큰 면적을 가지는 걸림부(도 4에서 원형의 은선으로 표시)가 하단에 형성되어 상기 장공(154)에서 이탈되지 않는 상태로 이동할 수 있다. 4) is formed at the lower end of the connecting member 162 and moves in a state where the connecting member 162 is not separated from the elongated hole 154 .

또한, 상기 제1 링크부재(152)는 상기 지지 암(142)에 고정되는데, 상기 지지 암(142)에 상기 제1 링크부재(152)를 고정시키기 위해 고정부재(170)가 설치된다. The first link member 152 is fixed to the support arm 142 and a fixing member 170 is provided to fix the first link member 152 to the support arm 142.

상기 고정부재(170)는 상기 제1 링크부재(152)의 길이방향으로 중앙부에 설치되는것이 바람직하며, 이와 같이, 상기 제1 링크부재(152)를 상기 지지 암(142)에 고정시킴으로써, 상기 셔터(150)를 길이방향으로 지지하게 되어 셔터(150)의 처짐을 방지할 수 있다. It is preferable that the fixing member 170 is installed at a central portion in the longitudinal direction of the first link member 152. By thus fixing the first link member 152 to the support arm 142, The shutter 150 can be supported in the longitudinal direction to prevent the shutter 150 from sagging.

이와 같이 설치되는 상기 고정부재(170)는 상기 제2 회전축(210)의 회전에 의해 제2 링크부재(160)와 제1 링크부재(152)가 회전할 때 제1 링크부재(152)의 회전중심이 된다. When the second link member 160 and the first link member 152 are rotated by the rotation of the second rotation shaft 210, the fixing member 170 installed as described above rotates the first link member 152 Center.

한편, 상기 지지 암(142)의 상부에는 상기 셔터(150)의 위치 정밀도를 개선하기 위한 탄성체(144)가 설치될 수 있다. On the other hand, an elastic member 144 for improving the positional accuracy of the shutter 150 may be provided on the support arm 142.

즉, 상기 셔터(150)가 홀더(140)의 하부를 개폐하기 위해 회전할 때 셔터(150)가 정확하게 위치할 수 있도록 탄성체(144)를 설치하는 것이다. That is, the elastic body 144 is installed so that the shutter 150 can be accurately positioned when the shutter 150 rotates to open and close the lower portion of the holder 140.

본 발명의 실시예에서, 상기 탄성체(144)는 코일 스프링으로 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 코일 스프링의 일단은 상기 지지 암(142)에 고정되고, 타단은 도면에 도시하지는 않았지만 상기 제1 링크부재(152)에 고정될 수 있다. 예컨대, 상기 코일 스프링의 타단은 상기 지지 암(142)에 형성된 통과홀(미도시)을 통해서 상기 제1 링크부재(152)에 고정될 수 있는 것이다. In an embodiment of the present invention, the elastic body 144 may be a coil spring.
In this case, one end of the coil spring may be fixed to the support arm 142, and the other end may be fixed to the first link member 152 (not shown). For example, the other end of the coil spring may be fixed to the first link member 152 through a through-hole (not shown) formed in the support arm 142.

상기 탄성체(144)의 일단은 상기 지지 암(142)에 볼트(146) 등의 통상의 구성으로 고정이 가능하다. One end of the elastic body 144 can be fixed to the support arm 142 by a conventional structure such as a bolt 146.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명은 상기 제2 회전축(210)이 회전하게 되면, 상기 제2 회전축(210)의 상단에 고정된 제2 링크부재(160)가 회전하게 되고, 상기 제2 링크부재(160)의 타단에 구비된 연결부재(162)가 상기 장공(154)에 끼워져 장공(154) 내에서 이동하면서 도 5에서 보는 바와 같이, 제1 링크부재(152)를 반대방향으로 회전시킴으로써, 셔터(150)를 회전시키게 된다. The second link member 160 fixed to the upper end of the second rotation shaft 210 rotates when the second rotation shaft 210 rotates, The link member 162 provided at the other end of the first link member 160 is inserted into the slot 154 and moves within the slot 154 to rotate the first link member 152 in the opposite direction, (Not shown).

이로써, 상기 셔터(150)가 홀더(140)의 하면을 개방할 수 있고, 홀더(140) 내부에담겨진 알갱이 형태의 증착물질을 하부의 증발원에 떨어뜨릴 수 있게 되는 것이다. Thus, the shutter 150 can open the lower surface of the holder 140 and drop the granular deposition material contained in the holder 140 to the lower evaporation source.

이와 같이 본 발명의 셔터(150)는 2개의 링크부재로 이루어지고, 상기 2개의 링크부재는 서로 연결되어 이동하면서 셔터(150)를 회전시킴과 아울러, 상기 고정부재(170)가 상기 제1 링크부재(152)를 상기 지지 암(142)에 고정시킴으로써, 상기 셔터(150)를 길이방향으로 지지하게 되어 셔터(150)의 처짐을 방지할 수 있다. As described above, the shutter 150 of the present invention is composed of two link members, and the two link members are connected to each other to rotate the shutter 150 while the fixing member 170 moves the first link By fixing the member 152 to the support arm 142, the shutter 150 can be supported in the longitudinal direction, thereby preventing the shutter 150 from sagging.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변형은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation in the embodiment in which said invention is directed. It will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the appended claims.

100 : 공급부 110 : 상부원판
140 : 홀더 142 : 지지 암(Arm)
144 : 탄성체 150 : 셔터
152 : 제1 링크부재 154 : 장공
160 : 제2 링크부재 162 : 연결부재
170 : 고정부재 210 : 제2 회전축
220 : 제1 회전축 230 : 풀리
240 : 제2 모터100: Feeder 110: Upper disc
140: holder 142: support arm (arm)
144: elastic body 150: shutter
152: first link member 154: long hole
160: second link member 162: connecting member
170: fixing member 210: second rotating shaft
220: first rotation shaft 230: pulley
240: second motor

Claims

A supply unit for supplying a granular deposition material to the evaporation source in a predetermined amount;
A first rotation axis for determining a position to supply the deposition material by rotating the supply unit;
A shutter for opening and closing a holder of the supply unit;
A second rotation axis for driving the shutter to apply the evaporation material supplied to the holder to the evaporation source;
Support means for supporting the shutter to prevent slack of the shutter;
A first motor for rotating the first rotation shaft; And
A second motor for rotating the second rotation shaft;
And a shutter unit for preventing the shutter from falling down.

The method according to claim 1,
Wherein the supply unit includes: a holder in which a predetermined amount of evaporation material is contained; And
A support arm having one end fixed to the holder and the other end fixed to the first rotation axis and rotating about the first rotation axis;
Wherein the shutter is provided with a plurality of holes.

[2] The apparatus according to claim 1,
A first link member extending from the shutter and having a slot at an opposite end of the shutter;
A second link member having one end fixed to the second rotation shaft and the other end connected to the first link member;
A connecting member fixed to the other end of the second link member and inserted in the slot and moving in the slot; And
A fixing member installed at a central portion in the longitudinal direction of the first link member and fixing the support arm of the supply unit and the first link member;
Wherein the shutter is provided with a shutter.

The method of claim 3,
Wherein the coupling member is formed at a lower end of the latching portion having an area larger than the diameter of the elongated hole, and moves in a state in which the coupling member is not detached from the elongated hole.

The method of claim 3,
And an elastic body for improving the positional accuracy of the shutter is installed on the upper portion of the support arm.

The method of claim 5,
Wherein the elastic member is a coil spring having one end fixed to the support arm and the other end fixed to the first link member.

The method according to claim 1,
Wherein the first rotation shaft and the first motor are connected by a power transmission means so that the first rotation axis is rotated by the rotation of the first motor.

The method of claim 7,
A pulley is fixed to an outer peripheral surface of the first rotation shaft,
Wherein the pulley and the first motor are connected to each other by a belt to rotate the first rotation shaft.

The method according to claim 1,
Wherein the first rotation shaft is formed as an outer shaft,
Wherein the second rotation axis is coaxial with the inner shaft. &Lt; RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >