KR101452955B1 - 터치 감지 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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티피케이 터치 솔루션즈 (씨아먼) 인코포레이티드
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Abstract

본 개시된 발명은 복수의 감지 전극 유닛들 및 절연 패턴층을 포함하는 터치 감지 장치에 관한 것이다. 절연 패턴층은 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하고, 복수의 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들을 갖는다. 본 개시된 발명은 또한 터치 감지 장치 제조 방법을 개시한다.

Description

터치 감지 장치 및 그 제조 방법{TOUCH SENSING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 개시된 발명은 입력 인터페이스에 관한 것으로, 좀더 구체적으로 터치 감지 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
작동의 편리함에 대한 요구가 증가함에 따라, 점점 더 많은 전자 제품들이 터치 감지 장치를 갖는 터치 패널들을 사용하는데, 이는 정보 전송을 끝내기 위해 사용자들이 손가락이나 스타일러스(stylus)로 입력 기능을 실행하는 것을 가능하게 한다.
터치 패널에서 터치 감지 장치는 일반적으로 감지 전극 어레이들(arrays)로 형성된다. 터치 감지 장치의 제조 공정에서, 감지 전극 어레이들은 제조 단계들이 완료된 이후에 일반적으로 한 번 베이킹(baking) 된다. 그러나, 감지 전극 어레이들이 산소가 있는 데서 베이킹 될 때, 면저항(sheet resistance)은 온도 상승과 더불어 증가한다. 일단 저항이 특정 임계를 초과하면, 제어 회로(도시되지 않음)에 의해 인식된 터치 지점들의 위치들이 영향을 받음으로써, 터치 감지 장치의 감도(sensitivity)가 감소된다.
그러므로, 앞서 언급한 문제들을 방지하는, 새롭고 개선된 터치 감지 장치를 모색할 필요가 있다.
본 개시된 발명의 실시예들의 목적은 터치 감지 장치들에서 앞서 언급한 문제들을 해결하는 것이다. 본 개시된 발명은, 고온 베이킹 기간 중에 산소를 차단하고, 그 안의 변화가 변경되거나 감소되는 것으로부터 감지 전극들의 저항을 방지하기 위해, 모든 감지 전극들을 도포하도록 보호 구조체를 이용하는데, 그렇게 함으로써 터치 감지 장치의 감도를 향상시키거나 유지한다.
본 개시된 발명의 일 실시예에 따르면, 터치 감지 장치는: 복수의 감지 전극 유닛들, 및 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하고 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들(openings)을 갖는 절연 패턴층을 포함한다.
본 개시된 발명의 일 실시예에 따르면, 터치 감지 장치 제조 방법은: 복수의 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계, 및 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하기 위해 절연 패턴층을 형성하는 단계를 포함하는데, 여기서 절연 패턴층은 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들을 갖는다.
본 개시된 발명의 이점은 제조 중에 발생하는 감지 전극들의 저항 변화를 막거나 감소시키는 보호 구조체를 터치 감지 장치가 제공함으로써, 터치 감지 장치의 감도를 향상시키거나 유지한다는 것이다. 또한, 본 개시된 발명의 실시예의 다른 이점은 별도의 제조 공정을 추가하지 않으면서 보호 구조체의 제조를 완료하는 것이 가능하다는 것이다.
도 1a 내지 1c는 본 개시된 발명의 일 실시예에 따른 터치 감지 장치의 제조 방법의 평면도;
도 2는 2-2' 선분에 따른 도 1c의 단면도; 및
도 3은 감지 전극 유닛들의 면저항과 서로 다른 베이킹 조건들 사이의 상관관계 그래프.
본 개시된 발명의 일 실시예에 따른 터치 감지 장치가 하기에서 기술된다. 그러나, 본 개시된 발명에 의해 제공된 실시예는 단지 본 개시된 발명의 구체적인 제조 및 사용 방법을 기술하기 위한 것일 뿐이고, 본 개시된 발명의 범위를 제한하려는 의도는 아님이 쉽게 이해될 것이다.
도 1c 및 도 2를 참조하면, 도 1c는 본 개시된 발명의 일 실시예에 따른 터치 감지 장치의 평면도이고, 도 2는 2-2' 선분에 따른 도 1c의 단면도이다. 정전용량식 터치 감지 장치와 같은 터치 감지 장치(200)는: 복수의 감지 전극 유닛들 및 절연 패턴층(208b)을 포함하는데, 여기서 절연 패턴층(208b)은 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하고, 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들(209)을 갖는다.
또한, 터치 감지 장치(200)는 감지 전극 유닛들이 배치되어 있는 기판(202)을 포함한다. 기판(202)은 사용자들이 손가락, 스타일러스, 또는 공지 기술들로 직접 터치하도록 터치 표면을 제공하기 위해 상부 커버(cover)로 사용될 수 있다. 본 개시된 발명의 일 실시예에서, 기판(202)은 유리, 석영과 같은 투명 물질들, 또는 다른 탄성 투명 물질들로 구성될 수 있다. 본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 기판은 또한 비탄성 고분자 투명 물질들로 구성될 수 있다.
또한, 도 1a에 도시된 바와 같이, 감지 전극 유닛은: 복수의 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 복수의 제2 감지 전극 유닛들(206a)을 포함할 수 있다. 제1 감지 전극 유닛들(204a)은 복수의 제1 감지 전극 어레이들(204)을 형성하기 위해 제1 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 부분들(204b)을 통해 서로 연결되는데, 여기서 각각의 연결 부분(204b)은, 확장된, 인접한 제1 감지 전극 유닛들(204a)에 의해 형성된다. 제2 감지 전극 유닛들(206a)은 복수의 제2 감지 전극 어레이들(206)을 형성하기 위해 제2 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 라인들(210)을 통해 복수의 연결 라인들(210, 도 1c 및 도 2에 도시됨)을 통해 서로 연결된다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)은 (터치 표면에 상응하는) 기판의 비 터치 표면 상에 배치된다. 일 실시예에서, 제1 방향은 도 1c의 수직 방향에 평행하고, 제2 방향은 도 1c의 수평 방향에 평행하여, 제1 감지 전극 어레이들(204)의 각각은 제2 감지 전극 어레이들(206)의 각각에 수직이다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 제1 감지 전극 유닛들(204a), 연결 부분들(204b), 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)은 동일한 투명 전도층으로 형성될 수 있다. 이런 방식으로, 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)이 동일한 표면 상에 형성되어, 디스플레이 색상이 상대적으로 균일하고(uniform) 색상 차이를 만들어내기가 쉽지 않다. 본 실시예에서 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)은 서로 다른 방향들을 따라 동일한 표면 상에 정렬되고, 두 개의 축들(도시되지 않음)을 갖는 단층 구성 구조를 갖는다. 본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)은 또한 동일한 방향을 따라 동일한 표면 상에 정렬되고 단일 축을 갖는 단층 구성 구조를 가질 수 있거나, 서로 다른 방향을 따라 서로 다른 표면들 상에 정렬되고 두 개의 축들(도시되지 않음)을 갖는 이중층 구성 구조를 가질 수 있다.
도 1c 및 도 2를 참조하면, 본 개시된 발명의 일 실시예에서, 제1 감지 전극 어레이들(204)의 각각은: 각각의 연결 라인(210)의 상응하는 양측 상에 상응하게 배치되고 상응하는 연결 부분들(204b)에 전기적으로 연결된 복수의 연결 지점들(212)의 쌍들을 더 포함한다. 또한, 연결 라인들(210) 및 연결 지점들(212)은 동일한 전도층(도시되지 않음)으로 형성될 수 있다.
또한, 제1 감지 전극 유닛(204a)의 구역이 연결 부분(204b)의 구역보다 크기 때문에, 그것들의 교차점은 교차 저항을 높이도록 네크 구역(neck area)을 형성할 것이다. 그러나, 본 개시된 발명에서, 연결 부분(204b)과 전기적으로 접촉되는 연결 부분(212)은, 각각의 제1 감지 전극 어레이(204)를 통한 신호 감쇠를 방지하기 위해, 네크 구역의 저항을 감소시키는데 기여한다.
본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 터치 감지 장치(200)는 각각의 연결 부분(204b)과 각각의 연결 라인(210) 사이에 상응하게 배치된 복수의 절연 베이들(208a)을 더 포함한다. 절연 베이들(208a)은 줄 형태(stripe shape)이고 제1 감지 전극 유닛들(204a)과 제2 감지 전극 유닛들(206a)을 전기적으로 절연하기 위해 연결 라인들(210)에 평행일 수 있다. 다른 실시예에서, 절연 베이들(208a)은 직사각형, 정사각형, 또는 다른 적용할 수 있는 형태들일 수 있다. 또한, 절연 베이들(208a) 및 절연 패턴층(208b)은 보호 구조체(208)를 형성하는데, 여기서 절연 패턴층(208b)은 제1 감지 전극 유닛들(204a), 제2 감지 전극 유닛들(206a), 및 연결 부분들(204b)의 일부를 도포한다. 또한, 절연 패턴층(208b)이 각각의 개구(209)를 통해 각각의 절연 베이(208a)를 둘러싸게 하도록 하기 위해 절연 패턴층(208b)의 개구들(209)은 절연 베이들(208a)의 위치에 상응한다. 이런 방식으로, 그 변화가 변경되거나 감소되는 것으로부터 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)의 저항을 방지하기 위해, 보호 구조체(208)는 터치 감지 장치(200)의 제조 공정에서 고온 베이킹 기간 중에 산소를 차단할 수 있다. 본 개시된 발명의 일 실시예에서, 절연 베이들(208a) 및 절연 패턴층(208b)은 동일한 절연층으로 형성될 수 있다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 절연 베이들(208a)을 둘러싸는 개구들(209)은 제2 전극 유닛들(206a)의 일부 및 연결 부분들(204b)의 일부를 드러낸다. 연결 지점들(212)은 절연 베이들(208a)과 절연 패턴층(208b) 사이의 갭(gap)에 위치될 수 있어서, 연결 라인들(210)이 개구들(209)을 통해 드러난 제2 감지 전극 유닛들(206a)과 전기적으로 연결되거나 접촉된다. 또한, 연결 지점들(212)은 개구들(209)을 통해 상응하는 연결 부분들(204b)과 전기적으로 연결되거나 접촉될 수 있다.
본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 터치 감지 장치(200)는: 복수의 제1 와이어들(214) 및 복수의 제2 와이어들(216)을 더 포함한다. 제1 와이어들(214)은 제1 감지 전극 어레이들(204)에 상응하게 연결되고, 제2 와이어들(216)은 제2 감지 전극 어레이들(206)에 상응하게 연결된다. 제1 및 제2 와이어들(214 및 216)은 연결 라인들(210) 및 연결 지점들(212)과 함께 동일한 전도층으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 와이어들(214 및 216)은 외부 회로(도시되지 않음)에 대한 입력 또는 출력 단자들로 사용된다.
본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 터치 감지 장치(200)는 보호 구조체(208, 즉, 절연 베이들(208a) 및 절연 패턴층(208b))을 도포하는 절연층(218), 연결 라인들(210), 및 연결 지점들(212)을 더 포함한다. 절연층(218)은 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)을 보호하고, 부식성 액체 또는 가스의 영향으로 야기될 수 있는 산화 및 손상을 방지하는데 사용된다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 도 1a 내지 도 1c는 평면도를 나타내고, 터치 감지 장치(200)의 제조 방법에 관련된다. 도 1a를 참조하면, 상기 제조 방법은 기판(202)을 제공하는 단계를 포함한다. 기판(202)은 유리, 석영과 같은 투명 물질, 또는 다른 탄성 또는 비탄성 고분자 투명 물질들로 구성된다. 일 실시예에서, 기판(202)은 불투명 물질이다.
본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 상기 제조 방법은 기판(202) 상에 인듐 주석 산화물(indium tin oxide, ITO), 인듐 아연 산화물(indium zinc oxide, IZO), 카드뮴 주석 산화물(cadmium tin oxide, CTO), 알루미늄 아연 산화물(aluminum zinc oxide, AZO), 인듐 주석 아연 산화물(indium tin zinc oxide, ITZO), 아연 산화물(zinc oxide), 카드뮴 산화물(cadmium oxide), 하프늄 산화물(hafnium oxide, HfO), 인듐 갈륨 아연 산화물(indium gallium zinc oxide, InGaZnO), 인듐 갈륨 아연 마그네슘 산화물(indium gallium zinc magnesium oxide, InGaZnMgO), 인듐 아연 마그네슘 산화물(indium zinc magnesium oxide, InZnMgO), 인듐 갈륨 알루미늄 산화물(indium gallium aluminum oxide, InGaAlO), 불소 주석 산화물(fluorine tin oxide, FTO), 또는 안티몬 주석 산화물(antimony tin oxide, ATO)과 같은 투명 전도층(도시되지 않음)을 배치하는 단계를 더 포함한다. 또한, 상기 제조 방법은 리소그래피(lithography) 또는 식각 공정을 통해 투명 전도층을 패터닝(patterning)하는 방식으로 복수의 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계를 포함한다. 일 실시예에서, 감지 전극 유닛들의 제조는 복수의 제1 감지 전극 유닛들(204a)을 형성하는 단계 및 복수의 제2 감지 전극 유닛들(206b)을 형성하는 단계를 포함한다. 제1 감지 전극 유닛들(204a)은 복수의 제1 감지 전극 어레이들(204)을 형성하기 위해 제1 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 부분들(204b)에 의해 서로 연결되는데, 여기서 각각의 연결 부분(204b)은, 확장된, 인접한 제1 감지 전극 유닛들(204a)에 의해 형성된다(즉, 연결 부분들(204b) 및 제1 감지 전극 유닛들(204a)은 동일한 투명 전도층을 패터닝하는 방식으로 형성된다). 제2 감지 전극 유닛들(206a)은 제2 방향을 따라 정렬되는데, 여기서 각각의 제2 감지 전극 어레이(206)에서 인접한 제2 감지 전극 유닛들(206a)은 제1 감지 전극 어레이(204)의 연결 부분(204b)에 의해 이격된다. 또한, 다음 제조 단계들에서, 복수의 제2 감지 전극 어레이들(206)을 형성하기 위해, 인접한 제2 감지 전극 유닛들(206a)이 연결 라인들(210)을 통해 서로 연결되게 하도록 다시 복수의 연결 라인들(210, 도 1c 및 도 2에 도시됨)이 형성된다.
또한, (터치 표면에 상응하는) 기판(202)의 비 터치 표면 상에 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)이 형성된다. 일 실시예에서, 제1 방향은 도 1c의 수직 방향에 평행하고, 제2 방향은 도 1c의 수평 방향에 평행하여, 제1 감지 전극 어레이들(204) 각각은 제2 감지 전극 어레이들(206) 각각에 수직이다.
본 개시된 발명의 다른 실시예에서, 도 1b를 참조하면, 상기 제조 방법은, 제2 감지 전극 유닛들(206a), 제1 감지 전극 어레이들(204), 및 제2 감지 전극 어레이들(206)을 도포하기 위해, 기판(202) 상에, 실리카층(silica layer), 질화 규소층(silicon nitride layer), 폴리이미드(polyimide) 또는 다른 투명 고분자 절연층, 또는 그 결합과 같은 절연층(도시되지 않음)을 형성하는 단계를 포함한다. 일단 절연층이 형성되면, 기판(202) 상에 절연 패턴층(208b)을 형성하기 위해 리소그래피 및 식각 공정으로 패터닝되는데, 이는 감지 전극 유닛들(즉, 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206b))을 도포하고, 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들(209)을 갖는다.
본 개시된 발명의 실시예에서, 절연층 아래에 배치되는 감지 전극 유닛들을 안정시키기 위해 절연층이 형성된 이후에 베이킹 공정이 수행된다. 일 실시예에서, 절연 패턴층(208b)을 형성하기 위해 일단 절연층이 패터닝되면 앞서 언급한 베이킹 공정이 수행될 수 있다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 절연 패턴층(208b)을 형성하기 위해 절연층을 패터닝하는 기간 중에 복수의 절연 베이들(208a)이 형성된다. 또한, 절연 패턴층(208b) 및 절연 베이들(208a)은 동일한 절연층을 패터닝하는 방식으로 형성된다. 절연 베이들(208a)은 형성된 각각의 연결 부분(204b)과 연결 라인들(210) 사이에 상응하게 배치되고(도 1c 및 도 2에 도시됨), 줄 형태이고 연결 라인들(210)에 수직일 수 있다. 일 실시예에서, 절연 베이들(208a)은 직사각형, 정사각형, 또는 다른 적용할 수 있는 형태들일 수 있다.
또한, 절연 패턴층(208b)은 제1 감지 전극 유닛들(204a), 제2 감지 전극 유닛들(206a), 및 연결 부분들(204b)의 일부를 도포한다. 그 개구들(209)은 절연 베이들(208a)에 상응하여, 절연 패턴층(208b)이 각각의 절연 베이(208a)를 둘러싸게 하도록 한다. 절연 베이들(208a)을 둘러싸는 개구들(209)은 제2 감지 전극 유닛들(206a)의 일부 및 연결 부분들(204b)의 일부를 드러낸다. 본 개시된 발명의 일 실시예에서, 절연 베이들(208a) 및 절연 패턴층(208b)은 보호 구조체(208)를 형성한다.
도 3은 감지 전극 유닛들의 면저항과 서로 다른 베이킹 조건들 사이의 상관관계 그래프를 도시한다. 곡선 A는 서로 다른 베이킹 조건들 하에서 보호 구조체(208)가 없는 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)의 면저항 변화를 보여주고, 곡선 B는 서로 다른 베이킹 조건들 하에서 보호 구조체(208)가 있는 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)의 면저항 변화를 보여준다.
또한, 도 3 및 도 1b를 참조하면, 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)을 안정시키기 위해 보호 구조체(208)가 제1 감지 전극 유닛들(204a), 제2 감지 전극 유닛들(206a), 및 연결 부분들(204b)의 일부를 근본적으로 도포하므로, 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)이 산화되는 것을 막도록 베이킹 공정에서 산소가 효율적으로 차단될 수 있는데, 그렇게 함으로써 (곡선 B로 도시된 바와 같이) 베이킹 온도 상승과 더불어 면저항이 증가하는 것을 막는다. 반대로, 만약 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)이 보호 구조체(208)로 도포되지 않는다면, (곡선 A로 도시된 바와 같이) 베이킹 온도 상승과 더불어 면저항이 증가하게 하도록 제1 감지 전극 유닛들(204a) 및 제2 감지 전극 유닛들(206a)이 산화될 것이다.
또한, 도 1c를 참조하면, 기판(202) 및 보호 구조체(208) 상에 전도층(도시되지 않음)이 형성되는데, 여기서 전도층의 물질은 몰리브덴(molybdenum), 알루미늄 또는 몰리브덴으로 구성된 금속 필름과 같은 금속일 수 있다. 일단 전도층이 형성되면, 절연 베이들(208a) 각각에 연결 라인(210)을 형성하도록 리소그래피 및 식각 공정으로 패터닝되고, 개구들(209)을 통해 노출된 인접한 제2 감지 전극 유닛들(206a)에 연결하기 위해 절연 베이들(208a)의 바깥쪽으로 확장한다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 전도층을 패터닝하는 단계는 제1 감지 전극 어레이들(204)의 각각에 복수의 연결 지점들(212)의 쌍들을 형성하는 단계를 더 포함한다. 또한, 연결 라인들(210) 및 연결 지점들(212)은 동일한 전도층을 패터닝하는 방식으로 형성된다. 연결 지점들(212)의 각각의 쌍은 절연 베이들(208a) 상에 상응하게 배치되는데, 이는 각각의 연결 라인(210)의 마주보는 양측에 위치되고, 개구들(209)을 통해 노출된 연결 부분(204b)을 전기적으로 연결하기 위해, 절연 베이들(208a)의 바깥쪽으로 확장하고 또한 절연 패턴층(208b)과 절연 베이들(208a) 사이의 갭에서 확장한다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 전도층을 패터닝하는 단계에서 제1 감지 전극 어레이들(204)에 상응하게 연결하기 위해 복수의 제1 와이어들(214)을 형성하는 단계, 및 제2 감지 전극 어레이들(206)에 상응하게 연결하기 위해 복수의 제2 와이어들(216)을 형성하는 단계를 더 포함한다. 또한, 연결 라인들(210), 연결 지점들(212)과, 제1 및 제2 와이어들(214 및 216)은 동일한 전도층을 패턴닝하는 방식으로 형성된다.
본 개시된 발명의 일 실시예에서, 전도층을 패터닝한 이후에, 부식성 액체나 가스에 의한 영향으로 야기되는 산화나 손상을 방지하기 위해 제1 감지 전극 어레이들(204) 및 제2 감지 전극 어레이들(206)을 보호하도록, 실리카층, 질화 규소층, 폴리아미드 또는 다른 투명 고분자 절연층, 또는 그 결합과 같은 절연층(218)이 보호층(208, 즉, 절연 베이들(208a) 및 절연 패턴층(208b)), 연결 라인들(210), 및 연결 지점들(212) 상에 덮어 씌워질 수 있다.
앞서 언급한 실시예들에 따르면, 보호 구조체는 감지 전극 유닛의 면저항이 증가하는 것을 막을 수 있어서, 터치 감지 장치의 감도가 향상되거나 유지될 수 있다. 또한, 연결 부분과 전기적으로 접촉되는 연결 지점들로 인해, (제1 감지 전극 유닛들과 연결 부분들의 교차점에 위치된) 네크 구역의 저항이 감소되고 각각의 감지 전극 어레이 가까이에 신호 감쇠가 효과적으로 방지된다. 또한, 보호 구조체에서 절연 베이들과 절연 패턴층이 동일한 절연층을 패터닝하는 방식으로 형성되고, 연결 지점들과 연결 라인들이 동일한 전도층을 패터닝하는 방식으로 형성되므로, 절연 패턴층 및 연결 지점들을 제조하기 위한 별도의 제조 공정이 없다.
비록 본 발명이 상기의 더 나은 실시예들을 참조하여 기술되었으나, 이는 본 개시된 발명을 제한하려는 의도는 아니며, 본 개시된 발명의 사상을 벗어나지 않으면서 기술된 실시예들에 수정 및 대체가 이루어질 수 있음이 당업자들에게 자명하다. 이에 따라, 본 개시된 발명의 범위는 첨부된 청구항들로 규정된다.

Claims (17)

  1. 복수의 감지 전극 유닛들; 및
    상기 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하고, 상기 복수의 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들(openings)을 갖는 절연 패턴층;
    을 포함하되,

    상기 감지 전극 유닛들은:
    복수의 제1 감지 전극 어레이들을 형성하기 위해 제1 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 부분들을 통해 서로 연결된 복수의 제1 감지 전극 유닛들;
    복수의 제2 감지 전극 어레이들을 형성하기 위해 제2 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 라인들을 통해 서로 연결된 복수의 제2 감지 전극 유닛들; 및
    상기 연결 부분들 각각과 상기 연결 라인들 각각의 사이에 배치된 복수의 절연 베이들(insulating bays)을 포함하며, 상기 절연 패턴층의 개구들은 상기 절연 베이들의 위치들에 상응하고, 상기 복수의 절연 베이들 각각을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 감지 전극 어레이들 각각은:
    상기 연결 라인들 각각의 마주보는 양쪽에 상응하게 배치되고 상기 연결 부분들에 전기적으로 연결된 복수의 연결 지점들의 쌍들;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 연결 지점들은 상기 절연 패턴층과 상기 절연 베이들 사이의 갭(gap)에 위치되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 절연 패턴층, 상기 절연 베이들, 및 상기 연결 라인들을 도포하는 절연층;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 감지 전극 어레이들에 상응하게 연결된 복수의 제1 와이어들(wires); 및
    상기 제2 감지 전극 어레이들에 상응하게 연결된 복수의 제2 와이어들;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치.
  8. 복수의 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계; 및
    상기 복수의 감지 전극 유닛들을 도포하고, 상기 감지 전극 유닛들에 상응하지 않는 복수의 개구들을 갖는 절연 패턴층을 형성하는 단계;
    를 포함하되,

    상기 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계는:
    복수의 제1 감지 전극 어레이들을 형성하기 위해 제1 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 부분들을 통해 서로 연결된 복수의 제1 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계;
    복수의 제2 감지 전극 어레이들을 형성하기 위해 제2 방향을 따라 정렬되고 복수의 연결 라인들을 통해 서로 연결된 복수의 제2 감지 전극 유닛들을 형성하는 단계; 및
    상기 연결 부분들 각각과 상기 연결 라인들 각각의 사이에 배치된 복수의 절연 베이들을 형성하는 단계;
    를 포함하며, 상기 절연 패턴층의 개구들은 상기 절연 베이들의 위치들에 상응하고, 상기 절연 베이들 각각을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 절연 패턴층 및 상기 절연 베이들은 동일한 절연층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  12. 청구항 8에 있어서,
    복수의 연결 지점들의 쌍들을 형성하는 단계;
    를 더 포함하되,
    상기 연결 지점들의 각각의 쌍은 상기 연결 라인들 각각의 마주보는 양쪽에 상응하게 배치되고 상기 제1 감지 전극 어레이 각각 상의 상기 연결 부분들에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 연결 지점들은 상기 절연 패턴층과 상기 절연 베이들 사이의 갭에 위치되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 연결 라인들 및 상기 연결 지점들은 동일한 전도층을 패터닝(patterning)하는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  15. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 감지 전극 어레이들에 상응하게 연결하기 위해 복수의 제1 와이어들을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 감지 전극 어레이들에 상응하게 연결하기 위해 복수의 제2 와이어들을 형성하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 연결 라인들, 상기 제1 와이어들, 및 상기 제2 와이어들은 동일한 전도층을 패터닝하는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
  17. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 감지 전극 유닛들, 상기 연결 부분들, 및 상기 제2 감지 전극 유닛들은 동일한 투명 전도층을 패터닝하는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 감지 장치 제조 방법.
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