KR101451321B1 - 자계를 이용한 챔버 장치 - Google Patents

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KR101451321B1
KR101451321B1 KR1020130067111A KR20130067111A KR101451321B1 KR 101451321 B1 KR101451321 B1 KR 101451321B1 KR 1020130067111 A KR1020130067111 A KR 1020130067111A KR 20130067111 A KR20130067111 A KR 20130067111A KR 101451321 B1 KR101451321 B1 KR 101451321B1
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김명수
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엠에스테크에스아이 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 챔버장치는 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되어 대상물이 로딩되는 척; 상기 대상물에 접촉하여 상기 대상물에 흐르는 전기적 신호를 감지하는 프로브; 상기 척 하부에 위치하여 상기 척으로 향하는 자력의 경로를 형성하는 폴; 및 상기 폴의 외측면에 인접하도록 배치된 코어와 상기 코어의 높이 방향을 따라 상기 코어에 감긴 코일을 포함하여, 상기 코일에 전류가 흐를 때 상기 자력을 형성하는 코일부를 포함하는 자계인가부를 포함한다.

Description

자계를 이용한 챔버 장치{CHAMBER APPARATUS USING MAGNETIC FIELD}
본 발명은 자계를 이용한 챔버 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼(wafer)나 디스플레이 장치와 같이 다양한 재질의 기판 상에형성된 도선이나 회로의 특성 평가를 위해서는 테스트가 이루어져야 하며, 이러한 테스트는 챔버(chamber) 장치 내에서 이루어진다.
기판 상에 형성된 도선이나 회로의 특성 평가를 위한 테스트를 하기 위하여 다수의 니들(niddle)들을 포함하는 프로브 카드(probe card)가 이용된다. 프로브 카드는 한번에 다수의 도선이나 회로의 패드(pad)들에 접촉하여 도선이나 회로에 테스트 신호를 공급할 수 있다.
이와 같은 특성 평가 중 도선이나 회로의 임피던스(impedance)에 대한 테스트가 이루어져야 하며, 도선이나 회로의 임피던스 테스트를 하기 위한 다양한 방법이 연구되고 있다.
한국공개특허 1999-0040304
본 발명의 실시예에 따른 챔버 장치는 다양한 방향에서 형성된 자계에 따른 도선이나 회로의 임피던스를 측정하기 위한 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되어 대상물이 로딩되는 척; 상기 대상물에 접촉하여 상기 대상물에 흐르는 전기적 신호를 감지하는 프로브; 상기 척 하부에 위치하여 상기 척으로 향하는 자력의 경로를 형성하는 폴; 및 상기 폴의 외측면에 인접하도록 배치된 코어와 상기 코어의 높이 방향을 따라 상기 코어에 감긴 코일을 포함하여, 상기 코일에 전류가 흐를 때 상기 자력을 형성하는 코일부를 포함하는 자계인가부를 포함하는 챔버장치가 제공된다.
상기 폴의 끝단은 상기 챔버의 하부를 관통하여 상기 척 하부에 위치할 수 있다.
상기 챔버는 상측 바디와, 상기 상측 바디와 연결되며 상기 폴이 삽입되는 홀을 지닌 하측 바디를 포함하며, 상기 척과 접촉하여 상기 척을 냉각시키는 쿨링부와, 상기 챔버 내부의 기밀을 유지하도록 상기 쿨링부 하부에 설치되며 상기 하측 바디의 상기 홀 둘레와 상기 폴의 외측면 사이에 위치하는 기밀부재를 포함할 수 있다.
상기 쿨링부는, 상기 척과 연결되는 척 받침대와, 상기 척 받침대의 하부가 삽입되며 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가지는 쿨링 탱크를 포함할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 챔버장치는 상기 쿨링부와 상기 하측바디 사이를 이격시키는 단열부재를 더 포함할 수 있다.
상기 척에 인접한 상기 폴의 끝단의 직경은 상기 끝단의 맞은 편 단의 직경보다 작을 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 챔버장치는 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되어 대상물이 로딩되는 척; 상기 대상물에 접촉하여 상기 대상물에 흐르는 전기적 신호를 감지하는 프로브; 상기 척 하부에 위치하여 상기 척으로 향하는 자력의 경로를 형성하는 폴; 및 양측 각각에 상기 폴과 연결되는 코어와, 상기 코어의 길이 방향을 따라 상기 코어에 감긴 코일을 포함하여, 상기 코일에 전류가 흐를 때 상기 자력을 형성하는 코일부를 포함하는 자계인가부를 포함하는 챔버장치가 제공될 수 있다.
상기 챔버는 상측 바디와 상기 상측 바디와 연결되어 상기 챔버의 내부 공간을 형성하는 하측 바디를 포함하며, 상기 척 하부에 상기 하측 바디를 관통하는 쿨링부가 배치되며, 상기 폴은 상기 쿨링부 둘레를 회전가능하다.
본 발명의 다른 측면에 따른 챔버장치는, 상기 폴이 제1 위치에서 제2 위치로 회전하여 정지한 후 상기 프로브에 의하여 감지된 전기적 신호를 통하여 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 각각에서의 상기 대상물의 임피던스 사이의 변화를 표시할 수 있다.
상기 폴의 끝단은 상기 쿨링부의 전체 영역 중 상기 챔버 외부에 노출된 상기 쿨링부의 외측면에 인접하도록 배치될 수 있다.
상기 쿨링부는 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 챔버장치는 상기 폴의 회전을 위한 구동축과 상기 구동축을 회전시키는 모터를 더 포함하며, 구동축용 부재가 상기 폴이 연결된 상기 코어의 양측 맞은 편에 연결되고, 상기 구동축은 상기 코어의 길이방향에 수직하게 상기 구동축용 부재에 연결될 수 있다.
상기 챔버 내부가 진공 상태로 유지된 상태에서 상기 자력에 대한 상기 대상물의 임피던스 변화가 테스트될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 챔버 장치는 대상물의 측면뿐만 아니라 상하를 관통하는 자력에 대한 대상물의 임피던스를 측정함으로써 하나의 대상물에 대한 다양한 방향의 자계 영향을 테스트할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 단면도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 자력 경로를 나타낸다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 분해도 및 결합도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 단면도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 자력 경로를 나타낸다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 폴 회전에 따른 자력 경로를 나타낸다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 단면도를 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치는 챔버(110), 척(chuck)(120), 프로브(probe)(130), 폴(pole)(140) 및 자계인가부(150)를 포함한다.
척(120)은 챔버(110) 내부에 설치되어 대상물(10)이 로딩된다. 이 때 대상물(10)에는 반도체 칩(chip)과 같이 회로가 구현될 수 있다.
프로브(130)는 대상물(10)에 접촉하여 대상물(10)에 흐르는 전기적 신호를 감지한다. 프로브(130)는 대상물(10)에 형성된 회로의 패드(pad)에 접촉하여 대상물(10)에 전기적 신호를 공급하거나 대상물(10)로부터 출력된 전기적 신호를 공급받을 수 있다.
폴(140)은 척(120) 하부에 위치하여 척(120)으로 향하는 자력의 경로를 형성한다.
자계인가부(150)는 폴(140)의 외측면에 인접하도록 배치된 코어(core)(160)와, 코어(160)의 높이 방향을 따라 코어(160)에 감긴 코일(coil)(171)을 포함하여 코일(171)에 전류가 흐를 때 자력을 형성하는 코일(171)부(170)를 포함한다. 이 때 높이 방향은 대상물(10)이 놓이는 척(120) 표면에 수직한 방향일 수 있다.
자계인가부(150)의 코일(171)에 전류가 흐르면, 코일(171)은 자력을 형성할 수 있다. 폴(140)은 자력의 경로가 대상물(10)이 놓인 척(120)의 표면을 관통하도록 형성시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 자력 경로를 나타낸다. 도 2에서는 설명의 편의를 위하여 자력의 경로를 설명하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 일부가 도시된다.
도 2에는 둘레에 코일(171)이 감긴 코어(160) 4개가 적층되어 있고, 폴(140)이 적층된 코어(160)들에 삽입될 수 있다. 도 2 우측의 확대도는 코일(171)이 감긴 하나의 코어(160)를 나타낸 것이다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치는 적층된 4개의 코어(160)를 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니고 하나 이상의 코어(160)를 포함할 수 있다.
앞서 설명된 바와 같이, 자계인가부(150)의 코일(171)이 코어(160)의 높이 방향을 따라 코어(160) 둘레에 감기므로 척(120)에 인접한 폴(140)의 일단은 N 극이 되고, 일단 맞은 편의 타단이 S 극이 될 수 있다. 코일(171)에 흐르는 전류의 방향이 바뀌면 폴(140)의 일단은 S 극이 되고, 일단 맞은 편의 타단이 N 극이 될 수 있다.
이와 같은 N 극과 S 극의 형성에 따라 척(120)에 대상물(10)이 놓였을 때 홀 효과(hall effect)에 따라 대상물(10)을 관통하는 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화가 측정될 수 있다.
홀 효과는 자기장 속에 반도체 칩을 놓고 칩의 회로에 전류를 공급하면 반도체 칩의 단면에 전하가 발생하여 초전력(超電力)이 생기는 현상을 말한다. 이와 같은 초전력을 이용하여 자계에 따른 대상물(10)의 임피던스 변화가 측정될 수 있다.
자계인가부(150)에 의하여 형성된 자계에 대상물(10)이 놓일 때 대상물(10)에 접촉된 프로브(130)가 칩의 회로에 전류를 공급할 수 있다. 홀 효과에 따라 칩에서 발생한 초전력에 따라 칩에 인가된 전압이나 전류가 변할 수 있는데, 프로브(130)가 변화된 전류나 전압을 감지할 수 있다.
도 1의 프로세서(180)는 전압이나 전류의 비율에 따라 칩의 임피던스(impedance)를 계산할 수 있으며, 이와 같이 계산된 임피던스에 해당되는 이미지신호를 출력할 수 있다. 디스플레이장치(190)는 이미지신호를 입력받아 임피던스를 표시할 수 있다.
이와는 다르게 프로세서(180)는 감지된 전류 및 전압이 매핑된 그래프에 대한 이미지신호를 출력할 수 있으며, 디스플레이장치(190)는 이미지신호를 입력받아 전류 및 전압을 변수로 하는 그래프를 표시할 수 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치는 척(120)에 놓인 자계가 대상물(10)을 관통할 때 자력에 따른 대상물(10)의 임피던스 변화를 측정할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치의 분해도 및 결합도이다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 폴(140)의 끝단은 챔버(110)의 하부를 관통하여 척(120) 하부에 위치할 수 있다. 폴(140)의 끝단이 챔버(110)의 하부를 관통하여 챔버(110)의 내부에 위치하므로 자계인가부(150)에 의하여 형성된 자계가 대상물(10)에 원활하게 영향을 미칠 수 있다.
이 때 챔버(110)는 상측 바디(111)와, 상측 바디(111)와 연결되며 폴(140)이 삽입되는 홀을 지닌 하측 바디(113)를 포함할 수 있다. 상측 바디(111)와 하측 바디(113)는 서로 분리된 상태에서 용접에 의하여 연결될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 방법에 의하여 연결될 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치는 척(120)과 접촉하여 척(120)을 냉각시키는 쿨링부(200)와, 챔버(110) 내부의 기밀을 유지하도록 쿨링부(200) 하부에 설치되며 하측 바디(113)의 홀 둘레와 폴(140)의 외측면 사이에 위치하는 기밀부재(210)를 포함할 수 있다.
폴(140)이 챔버(110)의 하부를 관통할 때 챔버(110)의 기밀구조가 깨질 수 있으므로 챔버(110) 내부의 기밀 상태를 유지할 수 있는 구조가 필요하다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 하측 바디(113)에 형성된 홀에 폴(140)이 삽입될 때 기밀부재(210)는 하측 바디(113)와 폴(140) 사이의 간격을 메울 수 있다. 이를 위하여 폴(140)이 삽입된 기밀부재(210)가 하측 바디(113)의 홀에 압입될 수 있다.
대상물(10)은 챔버(110) 내부의 고온 환경에서 테스트될 수 있으며, 이에 따라 자계에 의하나 대상물(10)의 임피던스 변화가 대상물(10)의 온도 상승에 의하여 왜곡될 수 있다. 이와 같은 대상물(10)의 온도 상승에 따른 임피던스 변화 왜곡을 방지하기 위하여 쿨링부(200)는 대상물(10)이 로딩되는 척(120)과 접촉하여 대상물(10)의 온도를 낮출 수 있다.
이와 같은 쿨링부(200)는 척(120)과 연결되는 척 받침대(207)와, 척 받침대(207)의 하부가 삽입되며 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가지는 쿨링 탱크(209)를 포함할 수 있다. 냉각용 유체는 LN2(Liquid Nitrogen)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
쿨링 탱크(209)는 냉각용 유체의 유입 및 유출을 위한 유입부, 유출부, 펌프 및 밸브를 포함할 수 있으나, 이는 통상의 기술자에게 일반적인 내용으로 이에 대한 상세한 설명은 생략된다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 챔버장치는 쿨링부(200)와 하측 바디(113) 사이를 이격시키는 단열부재(220)를 더 포함할 수 있다. 단열부재(220)는 척(120)이나 대상물(10)의 열이 쿨링부(200)를 통하여 기밀부재(210) 및 폴(140)로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 단열부재(220)는 열전도도가 낮은 에폭시 계열의 수지로 이루어질 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 척(120)에 인접한 폴(140)의 끝단의 직경(D1)은 끝단의 맞은 편 단의 직경(D2)보다 작을 수 있다. 폴(140)의 끝단의 직경(D1)이 맞은 편 단의 직경(D2)보다 작기 때문에 자기력선이 폴(140)의 끝단으로 집중될 수 있다. 이에 따라 척(120) 및 대상물(10)에 인가되는 자기력선의 밀도가 높아지므로 자계에 의한 대상물(10)의 임피던스 변화가 용이하게 검출될 수 있다.
다음으로 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 단면도를 나타낸다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치는 챔버(115), 척(120), 프로브(130), 폴(145), 및 자계인가부(155)를 포함한다. 척(120) 및 프로브(130)에 대해서는 앞서 설명되었으므로 이에 대한 설명은 생략된다. 또한 도 4의 프로세서(180) 및 디스플레이장치(190) 역시 제1 실시예를 통하여 설명하였으므로 이에 대한 설명은 생략된다.
폴(145)은 척(120) 하부에 위치하여 척(120)으로 향하는 자력의 경로를 형성한다.
자계인가부(155)는 코어(165)와 코일부(175)를 포함한다. 이 때 코어(165)의 양측 각각은 폴(145)과 연결되고, 코일부(175)의 코일(171)은 코어(165)의 길이 방향을 따라 코어(165)에 감기며, 코어(165)부는 코일(171)에 전류가 흐를 때 자력을 형성한다. 이 때 코어(165)의 길이 방향은 대상물(10)이 놓이는 척(120) 표면에 평행한 방향일 수 있다.
이와 같이 코일(171)이 코어(165)의 길이 방향을 따라 코어(165)에 감기므로 코어(165)의 양측이 각각 N 극 및 S 극이 될 수 있다. 또한 코어(165)의 양측에 폴(145)이 연결되어 있으므로 자력의 경로는 폴(145)을 따라 형성되므로 양측 폴(145)들의 끝단이 각각 N 극 및 S 극이 될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 자력 경로를 나타낸다.
앞서 설명된 바와 같이, 자계인가부(155)의 코일(171)이 코어(165)의 길이 방향을 따라 코어(165) 둘레에 감기므로 코어(165)의 일측과 연결된 폴(145)의 일단은 N 극이 되고, 코어(165)의 타측과 연결된 폴(145)의 일단은 S 극이 될 수 있다. 이 때 코일(171)에 흐르는 전류의 방향이 바뀌면 코어(165)의 일측과 연결된 폴(145)은 N 극이 되고, 코어(165)의 타측과 연결된 폴(145)은 S 극이 될 수 있다.
이와 같은 N 극과 S 극의 형성에 따라 척(120)에 대상물(10)이 놓였을 때 홀 효과(hall effect)에 따라 대상물(10)을 관통하는 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화가 측정될 수 있다.
앞서 설명된 바와 같이, 제1 실시예에 따른 챔버장치는 척(120)에 놓인 자계가 대상물(10)을 관통할 때 자력에 따른 대상물(10)의 임피던스 변화를 측정할 수 있다. 제1 실시예와 다르게 제2 실시예의 경우 자력의 경로가 척(120)을 관통한다기 보다는 척(120)의 측면을 지나도록 폴(145)이 설치될 수 있다. 따라서 제2 실시예에 따른 챔버장치는 대상물(10)의 측면을 지나가는 경로를 지닌 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화를 테스트할 수 있다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 챔버(115)는 상측 바디(111)와, 상측 바디(111)와 연결되어 챔버(115)의 내부 공간을 형성하는 하측 바디(113)를 포함할 수 있다. 이 때 척(120) 하부에 하측 바디(113)를 관통하는 쿨링부(205)가 배치될 수 있으며, 척(120)은 쿨링부(205)와 접촉하도록 설치될 수 있다. 또한 폴(145)은 쿨링부(205) 둘레를 회전가능할 수 있다.
폴(145)의 회전을 위하여 도 4에 도시된 바와 같이, 구동축(230)을 회전시키는 모터(240)가 구비될 수 있으며, 구동축(230)은 코어(165)에 연결될 수 있다. 폴(145)의 회전을 위하여 구동축(230)은 코어(165)의 길이 방향에 수직하게 코어(165)와 연결되어야 하는데, 코일(171)이 코어(165)의 길이방향으로 감겨있고 구동축(230)이 코일부(175)와 직접 연결되기 어렵다.
이에 따라 구동축(230)의 연결을 위한 별도의 부재가 필요하다. 즉, 구동축용 부재(250)가 폴(145)이 연결된 코어(165)의 양측 맞은 편에 연결되고, 구동축(230)은 코어(165)의 길이방향에 수직하게 구동축용 부재(250)에 연결될 수 있다.
이와 같이 폴(145)이 회전하므로 제2 실시예에 따른 챔버장치는 대상물(10)의 측면을 지나가는 다양한 경로를 형성하여 각 방향에 따른 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화를 테스트할 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치의 폴(145) 회전에 따른 자력 경로를 나타내는 것으로, 대상물(10)이 로딩된 척(120)과 폴(145)의 위치 관계를 나타내는 평면도이다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치는 제1 위치에 정지한 폴(145)에 의하여 형성된 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스를 테스트할 수 있다.
또한 도 6b에 도시된 바와 같이, 폴(145)이 제1 위치에서 제2 위치로 회전하여 정지한 후 본 발명의 제2 실시예에 따른 챔버장치는 프로브(130)에 의하여 감지된 전기적 신호를 통하여 제1 위치 및 제2 위치 각각에서의 대상물(10)의 임피던스 사이의 변화를 표시할 수 있다.
한편, 제2 실시예의 경우 폴(145)이 회전하므로 폴(145)의 끝단은 챔버장치의 내부에 위치하지 않고 챔버장치의 외부에 위치할 수 있다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 폴(145)의 끝단은 쿨링부(205)의 전체 영역 중 챔버(115) 외부에 노출된 쿨링부(205)의 외측면에 인접하도록 배치될 수 있다.
이 때 쿨링부(205)는 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가질 수 있으며, 냉각용 유체는 LN2일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 챔버 장치는 챔버(115) 내부가 진공 상태로 유지된 상태에서 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화를 테스트할 수 있다.
즉, 제1 실시예의 경우 폴(145)의 끝단이 챔버(115) 내부에 위치하며, 챔버(115)의 기밀 상태를 위하여 기밀부재(210)가 구비되므로 챔버(115)가 진공상태를 유지하면서 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화를 테스트할 수 있다.
또한 제2 실시예의 경우 회전가능한 폴(145)이 챔버(115) 외부에 위치하므로 챔버(115)의 기밀 상태를 위하여 기밀부재(210)가 구비되므로 챔버(115)가 진공상태를 유지하면서 자력에 대한 대상물(10)의 임피던스 변화를 테스트할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
챔버 : 110, 115 상측 바디 : 111
하측 바디 : 113 척 : 120
프로브 :130 폴 : 140, 145
자계인가부 : 150, 155 코어: 160, 165
코일부 : 170, 175 코일: 171
프로세서 : 180 디스플레이장치 : 190
쿨링부 : 200, 205 척 받침대 : 207
쿨링 탱크 : 209 기밀부재 : 210
단열부재 : 220 구동축 : 230
모터 : 240 구동축용 부재 : 250

Claims (13)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 설치되어 대상물이 로딩되는 척;
    상기 대상물에 접촉하여 상기 대상물에 흐르는 전기적 신호를 감지하는 프로브;
    상기 척 하부에 위치하여 상기 척으로 향하는 자력의 경로를 형성하는 폴; 및
    상기 폴의 외측면에 인접하도록 배치된 코어와 상기 코어의 높이 방향을 따라 상기 코어에 감긴 코일을 포함하여, 상기 코일에 전류가 흐를 때 상기 자력을 형성하는 코일부를 포함하는 자계인가부를 포함하며,
    상기 폴의 끝단은 상기 챔버의 하부를 관통하여 상기 척 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 상측 바디와, 상기 상측 바디와 연결되며 상기 폴이 삽입되는 홀을 지닌 하측 바디를 포함하며,
    상기 척과 접촉하여 상기 척을 냉각시키는 쿨링부와,
    상기 챔버 내부의 기밀을 유지하도록 상기 쿨링부 하부에 설치되며 상기 하측 바디의 상기 홀 둘레와 상기 폴의 외측면 사이에 위치하는 기밀부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 쿨링부는,
    상기 척과 연결되는 척 받침대와, 상기 척 받침대의 하부가 삽입되며 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가지는 쿨링 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 쿨링부와 상기 하측바디 사이를 이격시키는 단열부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 척에 인접한 상기 폴의 끝단의 직경은 상기 끝단의 맞은 편 단의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  7. 챔버;
    상기 챔버 내부에 설치되어 대상물이 로딩되는 척;
    상기 대상물에 접촉하여 상기 대상물에 흐르는 전기적 신호를 감지하는 프로브;
    상기 척 하부에 위치하여 상기 척으로 향하는 자력의 경로를 형성하는 폴; 및
    양측 각각에 상기 폴과 연결되는 코어와, 상기 코어의 길이 방향을 따라 상기 코어에 감긴 코일을 포함하여, 상기 코일에 전류가 흐를 때 상기 자력을 형성하는 코일부를 포함하는 자계인가부를 포함하며,
    상기 챔버는 상측 바디와, 상기 상측 바디와 연결되어 상기 챔버의 내부 공간을 형성하는 하측 바디를 포함하며,
    상기 척 하부에 상기 하측 바디를 관통하는 쿨링부가 배치되며,
    상기 폴은 상기 쿨링부 둘레를 회전가능하고,
    상기 쿨링부는 냉각용 유체를 저장할 수 있는 공간을 가지는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 폴이 제1 위치에서 제2 위치로 회전하여 정지한 후 상기 프로브에 의하여 감지된 전기적 신호를 통하여 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 각각에서의 상기 대상물의 임피던스 사이의 변화를 표시하는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 폴의 끝단은
    상기 쿨링부의 전체 영역 중 상기 챔버 외부에 노출된 상기 쿨링부의 외측면에 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  11. 삭제
  12. 제7항, 제9항 및 제10중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴의 회전을 위한 구동축과 상기 구동축을 회전시키는 모터를 더 포함하며,
    구동축용 부재가 상기 폴이 연결된 상기 코어의 양측 맞은 편에 연결되고, 상기 구동축은 상기 코어의 길이방향에 수직하게 상기 구동축용 부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
  13. 제1항 또는 제7항에 있어서,
    상기 챔버 내부가 진공 상태로 유지된 상태에서 상기 자력에 대한 상기 대상물의 임피던스 변화가 테스트되는 것을 특징으로 하는 챔버장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990081874A (ko) * 1996-11-20 1999-11-15 히가시 데쓰로 플라즈마 처리장치
KR20050010205A (ko) * 2003-07-18 2005-01-27 삼성전자주식회사 집적회로 칩 검사장치

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