KR101448046B1 - Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes - Google Patents

Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes Download PDF

Info

Publication number
KR101448046B1
KR101448046B1 KR1020120156697A KR20120156697A KR101448046B1 KR 101448046 B1 KR101448046 B1 KR 101448046B1 KR 1020120156697 A KR1020120156697 A KR 1020120156697A KR 20120156697 A KR20120156697 A KR 20120156697A KR 101448046 B1 KR101448046 B1 KR 101448046B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
mask
pulleys
pair
belt
Prior art date
Application number
KR1020120156697A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140086345A (en
Inventor
홍성재
Original Assignee
엘아이지에이디피 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지에이디피 주식회사 filed Critical 엘아이지에이디피 주식회사
Priority to KR1020120156697A priority Critical patent/KR101448046B1/en
Publication of KR20140086345A publication Critical patent/KR20140086345A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101448046B1 publication Critical patent/KR101448046B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67184—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the presence of more than one transfer chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/04—Structural and physical details of display devices
    • G09G2300/0421—Structural details of the set of electrodes
    • G09G2300/0426—Layout of electrodes and connections

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

마스크의 처짐이 방지되고, 마스크를 간편하게 이송할 수 있도록 한 유기발광소자 제조장치가 개시된다.
본 발명에 따른 유기발광소자 제조장치는 기판을 전달받는 로드락챔버, 상기 로드락챔버로부터 이송되는 상기 기판에 유기물이 증착되는 공정이 수행되는 적어도 하나 이상의 공정챔버 및 상기 로드락챔버와 상기 공정챔버의 사이에 배치되며 상기 공정챔버와 상기 로드락챔버 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송유닛이 설치되는 트랜스퍼 챔버를 포함하며, 상기 공정챔버의 내부에는 상기 기판을 지지하는 기판지지부, 상기 기판을 향해 상기 유기물을 공급하는 소스부 및 상기 유기물이 선택적으로 통과되는 패턴이 형성된 벨트마스크를 회전시키고 상기 벨트마스크를 상기 기판과 상기 소스부의 사이로 이송하는 벨트마스크 이송부가 설치될 수 있다.An apparatus for manufacturing an organic light-emitting device is disclosed in which a mask is prevented from sagging and a mask can be easily transported.
An apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention includes at least one process chamber in which a process of depositing an organic material on a substrate transferred from a load lock chamber, a load lock chamber in which a substrate is transferred, And a transfer chamber in which a substrate transfer unit is provided for transferring the substrate between the process chamber and the load lock chamber, wherein the process chamber includes a substrate support for supporting the substrate, A source portion for supplying the organic material, and a belt mask transfer portion for transferring the belt mask between the substrate and the source portion by rotating a belt mask having a pattern through which the organic matter selectively passes.

Description

유기발광소자 제조장치{Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes}[0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED)

본 발명은 유기발광소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 유기물을 증착하여 유기발광소자를 제조하는 유기발광소자 제조장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic light emitting device manufacturing apparatus, and more particularly, to an organic light emitting device manufacturing apparatus for manufacturing an organic light emitting device by depositing an organic substance on a substrate.

유기발광소자(OLED;Organic Light Emitting Diodes)는 다른 평면 표시소자에 비해 발열 등이 제한적인 이상적인 구조를 가지고 있다. 또한 유기발광소자는 자체 냉발광형이라는 장점으로 인하여 산업계에서 그 수요가 증가하고 있다. 이러한 유기발광소자는 유기물이 담긴 도가니를 가열하고, 증발되는 유기물이 기판에 박막의 형태로 증착되도록 하는 방법으로 제조된다. Organic light emitting diodes (OLEDs) have an ideal structure with limited heat generation compared to other flat display devices. In addition, the demand for the organic light emitting device is increasing in the industry due to its advantage of its own light emitting type. Such an organic light emitting device is manufactured by heating a crucible containing an organic substance and allowing the evaporated organic substance to be deposited in the form of a thin film on a substrate.

이때, 기판과 도가니의 사이에는 유기물이 선택적으로 통과할 수 있는 소정의 패턴이 형성된 새도우마스크(shadow mask)를 위치시키고, 새도우마스크의 패턴에 따라 기판에 유기물이 증착되도록 한다. 이러한 새도우마스크를 이용하여 유기발광소자의 제조방법에 대해서는 이미 '대한민국 등록특허 제10-0351822호;유기EL 소자의 제조방법' 등에 개시된 바 있다.At this time, a shadow mask is formed between the substrate and the crucible. The shadow mask is formed with a predetermined pattern through which organic materials can selectively pass. An organic material is deposited on the substrate according to the pattern of the shadow mask. A method for manufacturing an organic light emitting device using such a shadow mask has already been disclosed in Korean Patent No. 10-0351822, a method for manufacturing an organic EL device, and the like.

하지만, 점차 기판이 대형화됨에 따라 새도우마스크의 처짐, 새도우마스크 이송에 따른 복잡한 구성 등의 이유로, 새도우마스크는 사용 한계에 도달하고 있다. 따라서 유기발광소자 제조 분야에서는 새도우마스크를 대체할 만한 다른 기술이 요구되고 있다. However, as the size of the substrate is gradually increased, the shadow mask is reaching its usage limit due to deflection of the shadow mask and complicated structure due to the transfer of the shadow mask. Therefore, in the field of organic light emitting diode manufacturing, another technique which can replace the shadow mask is required.

대한민국 등록특허 제10-0351822호(2002. 08. 26. 등록)Korean Registered Patent No. 10-0351822 (registered on Aug. 26, 2002)

본 발명의 목적은 마스크의 처짐이 방지되고, 마스크를 간편하게 이송할 수 있도록 한 유기발광소자 제조장치를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing an organic light emitting element, which is capable of preventing mask sagging and transferring a mask easily.

본 발명에 따른 유기발광소자 제조장치는 기판을 전달받는 로드락챔버, 상기 로드락챔버로부터 이송되는 상기 기판에 유기물이 증착되는 공정이 수행되는 적어도 하나 이상의 공정챔버 및 상기 로드락챔버와 상기 공정챔버의 사이에 배치되며 상기 공정챔버와 상기 로드락챔버 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송유닛이 설치되는 트랜스퍼 챔버를 포함하며, 상기 공정챔버의 내부에는 상기 기판을 지지하는 기판지지부, 상기 기판을 향해 상기 유기물을 공급하는 소스부 및 상기 유기물이 선택적으로 통과되는 패턴이 형성된 벨트마스크를 회전시키고 상기 벨트마스크를 상기 기판과 상기 소스부의 사이로 이송하는 벨트마스크 이송부가 설치될 수 있다.An apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention includes at least one process chamber in which an organic material is deposited on a substrate transferred from a load lock chamber and a load lock chamber in which a substrate is transferred, And a transfer chamber in which a substrate transfer unit is provided for transferring the substrate between the process chamber and the load lock chamber, wherein the process chamber includes a substrate support for supporting the substrate, A source portion for supplying the organic material, and a belt mask transfer portion for transferring the belt mask between the substrate and the source portion by rotating a belt mask having a pattern through which the organic matter selectively passes.

상기 벨트마스크 이송부는 상기 벨트마스크의 폭방향으로 이격되는 한쌍의 제 1풀리 및 상기 한쌍의 제 1풀리로부터 상기 벨트마스크의 길이방향으로 이격되고 상기 벨트마스크의 폭방향으로 이격되는 한쌍의 제 2풀리를 포함할 수 있다.Wherein the belt mask transfer portion comprises a pair of first pulleys spaced apart in the width direction of the belt mask and a pair of second pulleys spaced apart from each other in the longitudinal direction of the belt mask and spaced apart in the width direction of the belt mask from the pair of first pulleys, . ≪ / RTI >

상기 한쌍의 제 1풀리는 상기 한쌍의 제 2풀리의 상측에 배치될 수 있다.The pair of first pulleys may be disposed above the pair of second pulleys.

상기 소스부는 상기 한쌍의 제 1풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 상향 공급하는 도가니를 포함하며, 상기 기판지지부는 상기 한쌍의 제 1풀리의 상측으로 상기 기판을 구름 지지할 수 있다.Wherein the source portion includes a crucible disposed between the pair of first pulleys for upwardly supplying linear organic substances in the width direction of the belt mask, and the substrate support portion supports the substrate by rolling over the pair of first pulleys, can do.

상기 소스부는 상기 한쌍의 제 2풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 하향 공급하는 도가니를 포함하며, 상기 기판지지부는 상기 한쌍의 제 2풀리의 하측으로 상기 기판을 구름 지지할 수 있다.Wherein the source portion includes a crucible disposed between the pair of second pulleys for downwardly feeding a linear organic material in the width direction of the belt mask and the substrate support portion supports the substrate by rolling the lower portion of the pair of second pulleys can do.

상기 벨트마스크 이송부와 상기 도가니는 각각 복수로 마련되며, 상기 기판지지부는 상기 기판을 왕복 이송할 수 있다.The belt mask transferring part and the crucible are respectively provided in plural, and the substrate supporting part can reciprocate the substrate.

상기 소스부는 상기 한쌍의 제 1풀리와 상기 한쌍의 제 2풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 공급하는 도가니 및 상기 도가니를 상기 벨트마스크의 길이방향으로 왕복시키는 도가니 이송유닛을 포함할 수 있다.Wherein the source portion includes a crucible disposed between the pair of first pulleys and the pair of second pulleys for supplying linear organics in the width direction of the belt mask and a crucible feed unit for reciprocating the crucible in the longitudinal direction of the belt mask, . ≪ / RTI >

상기 소스부는 상기 벨트마스크의 내측에 배치되고, 상기 기판지지부는 상기 벨트마스크의 외측에 배치되어 상기 기판을 지지할 수 있다.The source portion is disposed inside the belt mask, and the substrate support portion is disposed outside the belt mask to support the substrate.

상기 소스부는 상기 벨트마스크의 외측에 배치되고, 상기 기판지지부는 상기 벨트마스크의 내측에 배치되어 상기 기판을 지지할 수 있다.The source portion is disposed outside the belt mask, and the substrate support portion is disposed inside the belt mask to support the substrate.

상기 유기발광소자 제조장치는 상기 기판을 상기 기판지지부로 이송하는 기판 이송유닛을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting diode manufacturing apparatus may further include a substrate transferring unit for transferring the substrate to the substrate supporting unit.

상기 유기발광소자 제조장치는 상기 벨트마스크를 가열하여 상기 벨트마스크에 증착된 유기물을 제거하는 세정부를 더 포함할 수 있다.The organic light emitting diode manufacturing apparatus may further include a cleaning unit for heating the belt mask to remove organic substances deposited on the belt mask.

상기 유기발광소자 제조장치는 상기 소스부와 상기 세정부의 사이에 배치되어 상기 세정부에서 방출되는 열이 상기 소스부로 전달되는 것을 방지하는 단열부를 더 포함할 수 있다.The organic light emitting diode manufacturing apparatus may further include a heat insulating portion disposed between the source portion and the cleaner portion to prevent heat emitted from the cleaner portion from being transmitted to the source portion.

상기 유기발광소자 제조장치는 상기 벨트마스크와 상기 기판지지대의 사이에 배치되어 상기 기판으로 향하는 상기 유기물과 불순물을 단속하는 셔터를 포함할 수 있다.The organic light emitting diode manufacturing apparatus may include a shutter disposed between the belt mask and the substrate support to intercept the organic matter and the impurities toward the substrate.

상기 트랜스퍼챔버에 연결되어 상기 유기물이 증착된 상기 기판이 반입되고, 상기 기판에 봉지 공정이 수행되는 봉지챔버를 더 포함할 수 있다.And an encapsulation chamber connected to the transfer chamber, in which the substrate on which the organic substance is deposited is introduced, and an encapsulating process is performed on the substrate.

상기 트랜스퍼챔버에 연결되어 상기 유기물이 증착되고 상기 공정챔버로부터 배출되는 상기 기판이 대기하는 버퍼챔버를 더 포함할 수 있다.
And a buffer chamber connected to the transfer chamber to deposit the organic material and wait for the substrate to be discharged from the processing chamber.

본 발명에 따른 유기발광소자 제조장치는 마스크의 처짐이 방지되고 마스크를 간편하게 이송할 수 있는 벨트마스크를 사용하므로, 간편하게 양질의 유기발광소자를 생산할 수 있는 효과가 있다.
The apparatus for fabricating an organic light emitting diode according to the present invention is advantageous in that it can easily produce a good quality organic light emitting device because a mask is prevented from sagging and a mask can be easily transferred.

도 1은 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이다.
도 2는 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이다.
도 3은 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 제 2실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이다.
도 5는 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이다.
도 6는 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이다.
도 7은 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 8은 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이다.
도 9는 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이다.
도 10은 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 11은 변형된 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부에서 유기물이 상향 공급되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 12는 변형된 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부에서 유기물이 상향 공급되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 13은 변형된 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부에서 유기물이 상향 공급되는 상태를 나타낸 측면도이다.1 is a plan view schematically showing the arrangement of chambers of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment.
2 is a plan view showing a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment.
3 is a side view showing the inside of a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment.
4 is a plan view schematically showing the arrangement of chambers of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the second embodiment.
5 is a plan view schematically illustrating the arrangement of chambers of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the third embodiment.
6 is a plan view showing a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the third embodiment.
7 is a side view showing the inside of a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the third embodiment.
8 is a plan view schematically showing the arrangement of chambers of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the fourth embodiment.
FIG. 9 is a plan view showing a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the fourth embodiment.
10 is a side view showing the inside of the process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the fourth embodiment.
11 is a side view showing a state in which organic substances are supplied upward in the process chamber of the modified organic light emitting device manufacturing apparatus according to the first embodiment.
FIG. 12 is a side view illustrating a state in which an organic material is supplied upward in a process chamber of the modified organic light emitting device manufacturing apparatus according to the third embodiment.
FIG. 13 is a side view illustrating a state in which an organic material is supplied upward in the process chamber of the apparatus for fabricating an organic light emitting diode according to the fourth modified example.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only examples of the present invention, and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention, so that various equivalents and modifications may be made thereto .

이하, 본 발명에 따른 유기발광소자 제조장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

제 1실시예First Embodiment

도 1은 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이며, 도 2는 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이며, 도 3은 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.2 is a plan view showing a process chamber of the apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to the first embodiment, and FIG. 3 is a plan view showing a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment. Is a side view showing the inside of the process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(101)는 로드락챔버(111), 공정챔버(113), 봉지챔버(115), 버퍼챔버(117)를 포함할 수 있다.1 to 3, an organic light emitting diode manufacturing apparatus 101 according to the first embodiment includes a load lock chamber 111, a process chamber 113, an encapsulation chamber 115, and a buffer chamber 117 can do.

로드락챔버(111), 공정챔버(113), 봉지챔버(115), 버퍼챔버(117)는 트랜스퍼챔버(119)에 연결되는 클러스터(Cluster) 형태로 배치될 수 있다. 트랜스퍼챔버(119)에는 기판(10)을 각 챔버로 이송하는 기판 이송유닛(119a)이 설치될 수 있다. 트랜스퍼챔버(119)에 접하는 각 챔버들의 일측벽에는 기판(10)의 출입을 위한 게이트밸브가 각각 설치될 수 있다. The load lock chamber 111, the process chamber 113, the sealing chamber 115 and the buffer chamber 117 may be arranged in a cluster form connected to the transfer chamber 119. The transfer chamber 119 may be provided with a substrate transfer unit 119a for transferring the substrate 10 to each chamber. A gate valve for entering and exiting the substrate 10 may be installed on one side wall of each of the chambers contacting the transfer chamber 119.

로드락챔버(111)는 기판 이송유닛(119a)이 공정챔버(113)로 기판(10)을 이송할 수 있도록 기판(10)을 전달받는다. The load lock chamber 111 receives the substrate 10 so that the substrate transfer unit 119a can transfer the substrate 10 to the process chamber 113.

공정챔버(113)는 벨트마스크(30)를 이용하여 기판(10)에 유기물의 증착되는 공정이 각각 수행된다. 벨트마스크(30)는 벨트 형상으로 마련된다. 벨트마스크(30)에는 유기물이 선택적으로 통과되어 기판(10)에 증착될 수 있는 패턴(31)이 형성될 수 있다. 공정챔버(113)의 내부에는 기판지지부(210), 소스부(230) 및 벨트마스크 이송부(250)가 설치될 수 있다. The process chamber 113 is subjected to a process of depositing an organic material on the substrate 10 using the belt mask 30, respectively. The belt mask 30 is provided in a belt shape. A pattern 31, which can be selectively deposited on the substrate 10 and deposited on the substrate 10, may be formed on the belt mask 30. A substrate support 210, a source portion 230, and a belt mask transfer portion 250 may be installed in the process chamber 113.

기판지지부(210)는 기판(10)을 지지한다. 기판지지부(210)는 복수의 롤러(211)로 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 복수의 롤러(211) 중 적어도 어느 하나에는 롤러(211)를 회전시키는 회전모터가 연결될 수 있다. 따라서 기판지지부(210)는 기판(10)을 구름 지지하며, 기판(10)을 왕복 이송시킬 수 있다. The substrate support 210 supports the substrate 10. The substrate support 210 may be formed of a plurality of rollers 211. Although not shown, a rotating motor for rotating the roller 211 may be connected to at least one of the plurality of rollers 211. Accordingly, the substrate support 210 supports the substrate 10 in a rolling manner, and can reciprocate the substrate 10.

소스부(230)는 기판지지부(210)에 지지되는 기판(10)을 향해 유기물을 공급한다. 소스부(230)는 유기물을 기화시키고, 기화된 유기물을 기판(10)으로 공급하는 도가니(231a, 231b, 231c)를 포함할 수 있다. 도가니(231a, 231b, 231c)는 벨트마스크(30)의 폭방향의 선형 유기물을 공급할 수 있다. The source portion 230 supplies the organic material toward the substrate 10 supported by the substrate supporting portion 210. The source portion 230 may include crucibles 231a, 231b, and 231c that vaporize the organic material and supply the vaporized organic material to the substrate 10. The crucibles 231a, 231b, and 231c can supply the linear organics in the width direction of the belt mask 30.

벨트마스크 이송부(250)는 기판(10)과 도가니(231a, 231b, 231c)의 사이로 벨트마스크(30)를 이송한다. 벨트마스크 이송부(250)는 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)를 포함할 수 있다. 한쌍의 제 1풀리(251)는 벨트마스크(30)의 폭방향으로 이격된다. 한쌍의 제 2풀리(252)는 한쌍의 제 1풀리(251)로부터 벨트마스크(30)의 길이방향으로 이격된다. 한쌍의 제 2풀리(252)는 벨트마스크(30)의 폭방향으로 이격된다. 따라서 벨트마스크(30)는 일측이 한쌍의 제 1풀리(251)에 연결되고, 타측이 한쌍의 제 2풀리(252)에 연결되어 회전될 수 있다. 도시되지 않았지만, 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)중 적어도 어느 하나에는 풀리들의 회전 동력을 제공하는 회전모터가 연결될 수 있다. 이와 같이 벨트마스크(30)는 소스부(230)와 기판(10)의 사이로 이송될 수 있다.The belt mask transfer unit 250 transfers the belt mask 30 between the substrate 10 and the crucibles 231a, 231b, and 231c. The belt-mask transferring part 250 may include a pair of first pulleys 251 and a pair of second pulleys 252. A pair of first pulleys 251 are spaced apart from each other in the width direction of the belt mask 30. A pair of second pulleys 252 are spaced from the pair of first pulleys 251 in the longitudinal direction of the belt mask 30. [ A pair of second pulleys 252 are spaced apart in the width direction of the belt mask 30. Accordingly, the belt mask 30 may be connected to a pair of first pulleys 251 on one side and to the pair of second pulleys 252 on the other side. Although not shown, a rotating motor may be connected to at least one of the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252 to provide rotational power of the pulleys. As such, the belt mask 30 can be transported between the source portion 230 and the substrate 10.

여기서, 한쌍의 제 1풀리(251)는 한쌍의 제 2풀리(252)의 상측에 배치될 수 있다. 이때 도가니(231a, 231b, 231c)는 한쌍의 제 2풀리(252)의 사이에 배치될 수 있다. 그리고 기판지지부(210)는 한쌍의 제 2풀리(252)의 전, 후에서, 벨트마스크(30)의 외측에 배치되는 복수의 롤러(211)를 포함하여 기판(10)을 왕복 이송할 수 있다. Here, the pair of first pulleys 251 may be disposed above the pair of second pulleys 252. At this time, the crucibles 231a, 231b, and 231c may be disposed between the pair of second pulleys 252. The substrate support 210 may include a plurality of rollers 211 disposed on the outer side of the belt mask 30 before and after the pair of second pulleys 252 to reciprocate the substrate 10 .

이와 같은 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(101)로 반입되는 기판(10)은 로드락챔버(111)로 전달된다. 로드락챔버(111)로 반입된 기판(10)은 기판 이송유닛(119a)에 의해 공정챔버(113)로 반입된다. 공정챔버(113)로 반입된 기판(10)은 복수의 롤러(211)에 의해 구름 지지될 수 있다. 이때 기판(10)은 도가니(231a, 231b, 231c)의 하측에 위치하며, 벨트마스크 이송부(250)는 도가니(231a, 231b, 231c)와 기판(10)의 사이로 벨트마스크(30)를 이송한다. 그리고 도가니(231a, 231b, 231c)는 선형 유기물을 하향 공급한다. 따라서 기판(10)에는 벨트마스크(30)에 형성된 패턴(31)에 따라 유기물이 증착될 수 있다.The substrate 10 transferred to the organic light emitting device manufacturing apparatus 101 according to the first embodiment is transferred to the load lock chamber 111. The substrate 10 transferred into the load lock chamber 111 is transferred to the process chamber 113 by the substrate transfer unit 119a. The substrate 10 transferred into the process chamber 113 can be supported by a plurality of rollers 211 in a rolling manner. At this time, the substrate 10 is positioned below the crucibles 231a, 231b, and 231c, and the belt mask transfer unit 250 transfers the belt mask 30 between the crucibles 231a, 231b, and 231c and the substrate 10 . The crucibles 231a, 231b, and 231c feed the linear organic material downward. Therefore, the substrate 10 may be deposited with an organic material according to the pattern 31 formed on the belt mask 30.

이때, 공정챔버(113)의 내부에는 복수의 벨트마스크 이송부(250)와 복수의 도가니(231a, 231b, 231c)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 소스부(230)는 기판(10)에 Red 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니(231a), 기판(10)에 Green 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니(231b), Blue 픽셀을 형성하기 위한 도가니(231c)를 포함할 수 있으며, 복수의 벨트마스크 이송부(250)는 각 픽셀에 해당되는 패턴이 형성된 벨트마스크(30)를 각각 도가니(231)와 기판(10)의 사이로 이송할 수 있다.At this time, a plurality of belt mask transferring parts 250 and a plurality of crucibles 231a, 231b, and 231c may be installed in the process chamber 113. For example, the source unit 230 includes a crucible 231a for supplying an organic material for forming red pixels to the substrate 10, a crucible 231b for supplying an organic material for forming Green pixels to the substrate 10, And a plurality of belt mask transferring parts 250 may be formed by sandwiching a belt mask 30 having a pattern corresponding to each pixel on the crucible 231 and the substrate 10 .

한편, 공정챔버(113)의 내부에는 세정부(270), 단열판(280) 및 셔터(290)가 추가로 구성될 수 있다. Meanwhile, the cleaning chamber 270, the heat insulating plate 280, and the shutter 290 may be additionally provided in the process chamber 113.

세정부(270)는 히터(271)와 흡입펌프(272)를 포함할 수 있다. 히터(271)는 한쌍의 제 2풀리(252)의 외측에 배치되어 증착공정이 완료된 벨트마스크(30)를 가열하여, 벨트마스크(30)에 증착된 유기물이 벨트마스크(30)로부터 이탈되도록 한다. 흡입펌프(272)는 벨트마스크(30)로부터 이탈되는 유기물을 흡입한다. 단열판(280)은 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 사이에 배치된다. 단열판(280)은 세정부(270)로부터 발생되는 열이 소스부(230)로 전달되지 않도록 한다. 셔터(290)는 벨트마스크(30)와 기판(10)의 사이에 배치된다. 셔터(290)는 기판으로 향하는 불필요한 유기물 또는 불순물을 단속한다. The cleaning section 270 may include a heater 271 and a suction pump 272. The heater 271 is disposed outside the pair of second pulleys 252 to heat the belt mask 30 having been subjected to the deposition process so that the organic matter deposited on the belt mask 30 is released from the belt mask 30 . The suction pump 272 sucks organic matter that is released from the belt mask 30. The insulating plate 280 is disposed between the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252. The heat insulating plate (280) prevents heat generated from the cleaning part (270) from being transmitted to the source part (230). The shutter 290 is disposed between the belt mask 30 and the substrate 10. The shutter 290 interrupts unnecessary organic matter or impurities directed to the substrate.

이와 같이 유기물이 증착된 기판(10)은 기판 이송유닛(119a)에 의해 봉지챔버(115)로 이송될 수 있다. 봉지챔버(115)의 내부에서는 유기물이 증착된 기판(10)에 봉지공정이 수행된다. 유기발광소자의 봉지기술에 대해서는 이미 본 출원인에 의해 출원된 바 있는 '대한민국 공개특허 10-2012-0103888;유기발광소자 밀봉장치 및 밀봉방법' 등에 개시된 바 있으므로, 봉지챔버 내부의 상세 구성에 대해서는 생략하도록 한다. The substrate 10 on which the organic substance has been deposited as described above can be transferred to the sealing chamber 115 by the substrate transfer unit 119a. In the sealing chamber 115, an encapsulating process is performed on the substrate 10 on which organic substances are deposited. The sealing technique of the organic light emitting diode is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0103888 filed by the applicant of the present invention, and the detailed configuration of the inside of the sealing chamber is omitted .

한편, 버퍼챔버(117)는 봉지공정이 완료된 기판(10)이 외부로 반출되기 이전에 기판(10)이 대기하는 곳으로, 봉지공정이 완료된 기판(10)이 외부로 배출되기 이전에 급격한 환경변화로부터 봉지막, 또는 유기막이 손상되는 것을 방지한다. The buffer chamber 117 is a place where the substrate 10 waits before the sealing process is completed before the substrate 10 is taken out to the buffer chamber 117. In this case, Thereby preventing the sealing film or the organic film from being damaged.

이와 같이 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(101)는 단일 공정챔버(113) 간편하게 이송되는 벨트마스크(30)가 사용되고, 단일 공정챔버(113)에서 서로 다른 유기물이 증착될 수 있다.
As described above, the organic light emitting device manufacturing apparatus 101 according to the first embodiment uses the belt mask 30, which is easily transported in the single process chamber 113, and different organic materials can be deposited in the single process chamber 113.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광소자 제조장치에 대해 설명하도록 한다. 이하의 설명에서는 상술된 제 1실시예에 따른 유기발광소자 제조장치에서 설명된 구성요소와 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략하도록 한다. 따라서 이하의 설명에서 상세한 설명이 생략된 구성요소에 대해서는 상술된 설명을 참조하여 이해해야 할 것이다.
Hereinafter, an apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to another embodiment of the present invention will be described. In the following description, components similar to those described in the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted. Therefore, elements omitted from the detailed description in the following description should be understood with reference to the above description.

제 2실시예Second Embodiment

도 4는 제 2실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이다.4 is a plan view schematically showing the arrangement of chambers of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the second embodiment.

도 4를 참조하면, 제 2실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(102)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)를 포함할 수 있다. 이때, 각 공정챔버(113a, 113b, 113c)의 내부에 배치되는 복수의 도가니(231a, 231b, 231c)는 동일한 유기물을 공급할 수 있다.Referring to FIG. 4, the organic light emitting diode manufacturing apparatus 102 according to the second embodiment may include a plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c. At this time, the plurality of crucibles 231a, 231b, and 231c disposed in the process chambers 113a, 113b, and 113c can supply the same organic material.

예를 들어, 제 1공정챔버(113a)의 내부에 배치되는 복수의 도가니(231a)는 기판(10)에 Red 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니들로 구성될 수 있다. 따라서 제 1공정챔버(113a)에서는 기판(10)에 Red 픽셀이 증착될 수 있다. For example, the plurality of crucibles 231a disposed in the first process chamber 113a may be crucibles that supply organic substances for forming Red pixels to the substrate 10. [ Accordingly, red pixels may be deposited on the substrate 10 in the first process chamber 113a.

제 2공정챔버(113b)의 내부에 배치되는 복수의 도가니(231b)는 기판(10)에 Green 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니들로 구성될 수 있다. 따라서 제 2공정챔버(113b)에서는 기판(10)에 Green 픽셀이 증착될 수 있다. The plurality of crucibles 231b disposed in the second process chamber 113b may be crucibles for supplying organic substances for forming green pixels to the substrate 10. [ Therefore, Green pixels can be deposited on the substrate 10 in the second process chamber 113b.

제 3공정챔버(113c)의 내부에 배치되는 복수의 도가니(231c)는 기판(10)에 Blue 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니들로 구성될 수 있다. 따라서 제 3공정챔버(113c)에서는 기판(10)에 Blue 픽셀이 증착될 수 있다.
The plurality of crucibles 231c disposed in the third process chamber 113c may be crucibles that supply organic substances for forming blue pixels to the substrate 10. [ Thus, a blue pixel can be deposited on the substrate 10 in the third process chamber 113c.

이와 같이 제 2실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(102)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)의 내부에서 간편하게 이송되는 벨트마스크(30)가 사용되고, 기판(10)이 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)로 출입되어 기판(10)에 서로 다른 유기물이 증착될 수 있다.
As described above, in the organic light emitting diode manufacturing apparatus 102 according to the second embodiment, the belt mask 30 that is easily transported in the plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c is used, The organic substances may be deposited on the substrate 10 by entering and exiting the chambers 113a, 113b, and 113c.

제 3실시예Third Embodiment

도 5는 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이며, 도 6는 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이며, 도 7은 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.6 is a plan view showing a process chamber of the apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to the third embodiment, and FIG. 7 is a plan view showing a process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the third embodiment. Is a side view showing the inside of the process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the third embodiment.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)를 포함할 수 있다. 각 공정챔버(113a, 113b, 113c)의 내부에는 평판 형태의 기판지지부(210)가 설치되며, 벨트마스크(30)가 기판(10)의 면적에 대응되는 면적을 가지고 기판(10)과 소스부(230)의 사이에 평판 형태로 위치할 수 있도록 벨트마스크(30)를 이송하는 벨트마스크 이송부(250)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 5 to 7, the organic light emitting diode manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment may include a plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c. A substrate supporting portion 210 in the form of a flat plate is provided in each of the process chambers 113a to 113c and a belt mask 30 is provided on the substrate 10, And a belt mask transferring part 250 for transferring the belt mask 30 so that the belt mask 30 can be positioned in a flat plate shape between the transfer part 230 and the transfer part 230.

기판지지부(210)는 처리공간의 하부에 배치되는 기판지지대와, 기판지지대에 설치되어 기판(10)이 안정적으로 지지될 수 있도록 하는 척킹장치의 조합으로 구성될 수 있다. 이때, 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)는 기판지지부(210)의 상측에서, 벨트마스크(30)가 기판(10)의 상측에서 평판형태로 위치할 수 있도록 배치된다. 이에 따라, 기판 이송유닛(119a)은 벨트마스크(30)가 이송되는 방향으로 기판(10)을 이송할 수 있다. The substrate support 210 may be composed of a combination of a substrate support disposed at the bottom of the processing space and a chucking device installed at the substrate support to enable the substrate 10 to be stably supported. At this time, the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252 are arranged on the upper side of the substrate support 210 so that the belt mask 30 can be positioned in the form of a flat plate on the upper side of the substrate 10 do. Thus, the substrate transfer unit 119a can transfer the substrate 10 in the direction in which the belt mask 30 is transferred.

소스부(150)는 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 사이에 배치되는 도가니(231)와, 도가니 이송유닛(232)을 포함할 수 있다. 도가니(231)는 벨트마스크(30)의 폭방향의 선형 유기물을 공급한다. 도가니 이송유닛(232)은 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 사이에서 도가니(231)를 왕복 이송하여 기판(10)의 전면적에 대하여 유기물이 균일한 분포로 공급되도록 한다.The source unit 150 may include a crucible 231 disposed between a pair of first pulleys 251 and a pair of second pulleys 252 and a crucible transfer unit 232. The crucible 231 supplies the linear organics in the width direction of the belt mask 30. The crucible transfer unit 232 reciprocates the crucible 231 between the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252 to supply the organic material uniformly distributed over the entire surface of the substrate 10 .

이러한 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)는 기판(10)과 소스부(230)의 사이에 벨트마스크(30)가 위치하고 유기물이 공급되면, 벨트마스크(30)에 형성된 패턴(31)에 따라 기판(10)에 유기물이 증착될 수 있다. The organic light emitting diode manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment is characterized in that when the belt mask 30 is positioned between the substrate 10 and the source portion 230 and organic matter is supplied, The organic material may be deposited on the substrate 10 according to the organic material 31.

여기서, 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)를 포함하는데, 각 공정챔버(113a, 113b, 113c)의 내부에서는 유기발광소자의 다른 픽셀의 증착공정이 수행될 수 있다.The organic light emitting device manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment includes a plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c. In the process chambers 113a, 113b, and 113c, A pixel deposition process can be performed.

즉, 제 1공정챔버(113a)에는 기판(10)에 Red 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니(231)가 설치되어 기판(10)에 Red 픽셀이 증착될 수 있다. 제 2공정챔버(113b)에는 기판(10)에 Green 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니(231)가 설치되어 기판(10)에 Green 픽셀이 증착될 수 있다. 제 3공정챔버(113c)에는 기판(10)에 Blue 픽셀을 형성하기 위한 유기물을 공급하는 도가니(231)가 설치되어 기판(10)에 Blue 픽셀이 증착될 수 있다.That is, a crucible 231 for supplying an organic material for forming red pixels to the substrate 10 is provided in the first process chamber 113a, and Red pixels may be deposited on the substrate 10. A green pixel may be deposited on the substrate 10 by providing a crucible 231 for supplying an organic material for forming Green pixels to the substrate 10 in the second process chamber 113b. A blue pixel may be deposited on the substrate 10 by providing a crucible 231 for supplying an organic material for forming blue pixels to the substrate 10 in the third process chamber 113c.

이와 같이 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)의 내부에서 처짐이 방지되고 간편하게 이송되는 벨트마스크(30)가 사용되고, 기판(10)이 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)로 출입되어 기판(10)에 서로 다른 유기물이 증착될 수 있다.
As described above, the organic light emitting diode manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment uses the belt mask 30, which is prevented from sagging and is easily transported in the plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c, 113b, and 113c, and different organic materials may be deposited on the substrate 10. In this case,

제 4실시예Fourth Embodiment

도 8은 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 챔버들의 배치 상태를 간략하게 나타낸 평면도이며, 도 9는 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버를 나타낸 평면도이며, 도 10은 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치의 공정챔버의 내부를 나타낸 측면도이다.9 is a plan view showing a process chamber of an apparatus for manufacturing an organic light emitting diode according to a fourth embodiment. FIG. 10 is a cross- Is a side view showing the inside of the process chamber of the organic light emitting diode manufacturing apparatus according to the fourth embodiment.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(104)는 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)의 변형된 실시예로, 기판지지부(210)는 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 사이에서, 벨트마스크(30)의 내측에 배치될 수 있다. 따라서 기판 이송유닛(119a)은 벨트마스크(30)가 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 기판(10)을 이송할 수 있다. 8 to 10, the organic light emitting diode manufacturing apparatus 104 according to the fourth embodiment is a modified embodiment of the organic light emitting diode manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment, May be disposed inside the belt mask 30 between a pair of first pulleys 251 and a pair of second pulleys 252. Thus, the substrate transfer unit 119a can transfer the substrate 10 in the direction crossing the direction in which the belt mask 30 is conveyed.

도가니(231)는 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 상측에서, 벨트마스크(30)의 외측에 배치될 수 있다. 도가니 이송유닛(232)은 한쌍의 제 1풀리(251)와 한쌍의 제 2풀리(252)의 상측에서 도가니(231)를 왕복 이송하여 기판(10)의 전면적에 대하여 유기물이 균일한 분포로 공급되도록 한다. 이때, 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(104)는 세정부(270)에서 발생되는 열이 도가니(231)에 전달되지 않을 정도로 도가니(231)와 세정부(270)의 거리가 이격되어 있기 때문에, 단열판(280)의 구성은 생략되어도 좋다. The crucible 231 can be disposed on the outer side of the belt mask 30 on the upper side of the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252. The crucible transfer unit 232 reciprocally transfers the crucible 231 on the upper side of the pair of first pulleys 251 and the pair of second pulleys 252 to supply the organic material uniformly to the entire surface of the substrate 10 . The distance between the crucible 231 and the cleaner 270 may be different from each other such that the heat generated in the cleaner 270 is not transferred to the crucible 231. In this case, The construction of the heat insulating plate 280 may be omitted.

이러한 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(104)는 기판(10)과 소스부(230)의 사이에 벨트마스크(30)가 위치하고 유기물이 공급되면, 벨트마스크(30)에 형성된 패턴(31)에 따라 기판(10)에 유기물이 증착될 수 있다. The organic light emitting diode manufacturing apparatus 104 according to the fourth embodiment is characterized in that when the belt mask 30 is positioned between the substrate 10 and the source portion 230 and organic matter is supplied thereto, The organic material may be deposited on the substrate 10 according to the organic material 31.

여기서, 제 3실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(103)와 마찬가지로 제 4실시예에 따른 유기발광소자 제조장치(104)는 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)를 포함하며, 기판(10)이 복수의 공정챔버(113a, 113b, 113c)로 출입되어 기판(10)에 서로 다른 유기물이 증착될 수 있다.
Like the organic light emitting device manufacturing apparatus 103 according to the third embodiment, the organic light emitting device manufacturing apparatus 104 according to the fourth embodiment includes a plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c, 10 may enter and exit the plurality of process chambers 113a, 113b, and 113c, and different organic materials may be deposited on the substrate 10.

한편, 상술된 실시예들은 소스부(230)가 기판지지부(210)의 상측에 배치되어 유기물이 하향 공급되는 실시예들에 대해 설명하고 있다. 하지만, 도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이 소스부(230)는 기판지지부(210)의 하측에 배치되어 유기물을 상향 공급할 수 있을 것이다.
Meanwhile, the above-described embodiments describe embodiments where the source portion 230 is disposed on the upper side of the substrate supporting portion 210 so that organic matter is supplied downward. However, as shown in FIGS. 11 to 13, the source portion 230 may be disposed below the substrate supporting portion 210 to supply the organic material upward.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

10 : 기판 30 : 벨트마스크
31 : 패턴 111 : 로드락챔버
113 : 공정챔버 115 : 봉지챔버
117 : 버퍼챔버 119 : 트랜스퍼챔버
119a : 기판 이송유닛 210 : 기판지지부
211 : 롤러 230 : 소스부
231 : 도가니 232 : 도가니 이송유닛
250 : 벨트마스크 이송부 251 : 한쌍의 제 1풀리
252 : 한쌍의 제 2풀리 270 : 세정부
271 : 히터 272 : 흡입펌프
280 : 단열판 290 : 셔터10: substrate 30: belt mask
31: pattern 111: load lock chamber
113: process chamber 115: sealing chamber
117: Buffer chamber 119: Transfer chamber
119a: substrate transfer unit 210:
211: roller 230:
231: crucible 232: crucible transfer unit
250: Belt mask transfer part 251: A pair of first pulleys
252: a pair of second pulleys 270:
271: Heater 272: Suction pump
280: insulating plate 290: shutter

Claims (15)

기판을 전달받는 로드락챔버;
상기 기판을 지지하는 기판지지부와, 상기 기판을 향해 유기물을 공급하는 소스부와, 상기 유기물이 선택적으로 통과되는 패턴이 형성된 벨트마스크를 회전시키고 상기 벨트마스크를 상기 기판과 상기 소스부의 사이로 이송하는 벨트마스크 이송부가 설치되는 적어도 하나의 공정챔버;
상기 로드락챔버와 상기 공정챔버의 사이에 배치되며 상기 공정챔버와 상기 로드락챔버 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송유닛이 설치되는 트랜스퍼 챔버;
상기 벨트마스크를 가열하여 상기 벨트마스크에 증착된 유기물을 제거하는 세정부;및
상기 소스부와 상기 세정부의 사이에 배치되어 상기 세정부에서 방출되는 열이 상기 소스부로 전달되는 것을 방지하는 단열부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. A load lock chamber receiving the substrate;
A substrate support for supporting the substrate, a source for supplying organic material toward the substrate, a belt for rotating the belt mask having a pattern through which the organic matter selectively passes, and conveying the belt mask between the substrate and the source, At least one process chamber in which a mask transfer section is installed;
A transfer chamber disposed between the load lock chamber and the process chamber, wherein the transfer chamber is provided with a substrate transfer unit for transferring the substrate between the process chamber and the load lock chamber;
A cleaning unit for heating the belt mask to remove organic substances deposited on the belt mask;
And a heat insulating portion disposed between the source portion and the cleaning portion to prevent heat emitted from the cleaning portion from being transmitted to the source portion. 제 1항에 있어서, 상기 벨트마스크 이송부는
상기 벨트마스크의 폭방향으로 이격되는 한쌍의 제 1풀리;및
상기 한쌍의 제 1풀리로부터 상기 벨트마스크의 길이방향으로 이격되고 상기 벨트마스크의 폭방향으로 이격되는 한쌍의 제 2풀리;를 포함하는 유기발광소자 제조장치. The apparatus of claim 1, wherein the belt-mask transferring portion
A pair of first pulleys spaced apart in the width direction of the belt mask;
And a pair of second pulleys spaced from the pair of first pulleys in the longitudinal direction of the belt mask and spaced apart in the width direction of the belt mask. 제 2항에 있어서,
상기 한쌍의 제 1풀리는 상기 한쌍의 제 2풀리의 상측에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. 3. The method of claim 2,
Wherein the pair of first pulleys are disposed on the upper side of the pair of second pulleys. 제 3항에 있어서,
상기 소스부는 상기 한쌍의 제 1풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 상향 공급하는 도가니를 포함하며,
상기 기판지지부는 상기 한쌍의 제 1풀리의 상측으로 상기 기판을 구름 지지하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. The method of claim 3,
Wherein the source portion includes a crucible disposed between the pair of first pulleys for upwardly supplying linear organic matter in the width direction of the belt mask,
Wherein the substrate support part supports the substrate by rolling over the pair of first pulleys. 제 3항에 있어서,
상기 소스부는 상기 한쌍의 제 2풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 하향 공급하는 도가니를 포함하며,
상기 기판지지부는 상기 한쌍의 제 2풀리의 하측으로 상기 기판을 구름 지지하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. The method of claim 3,
Wherein the source portion includes a crucible disposed between the pair of second pulleys to supply linear organic matter in the width direction of the belt mask downward,
Wherein the substrate supporting part supports the substrate by rolling on a lower side of the pair of second pulleys. 제 4항 또는 제 5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 벨트마스크 이송부와 상기 도가니는 각각 복수로 마련되며,
상기 기판지지부는 상기 기판을 왕복 이송하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. 6. The method according to any one of claims 4 to 5,
The belt mask transferring part and the crucible are respectively provided in plural,
Wherein the substrate support part reciprocates the substrate. 제 2항에 있어서,
상기 소스부는 상기 한쌍의 제 1풀리와 상기 한쌍의 제 2풀리의 사이에 배치되어 상기 벨트마스크의 폭방향의 선형 유기물을 공급하는 도가니;및
상기 도가니를 상기 벨트마스크의 길이방향으로 왕복시키는 도가니 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. 3. The method of claim 2,
Wherein the source portion is a crucible disposed between the pair of first pulleys and the pair of second pulleys to supply a linear organics in the width direction of the belt mask;
And a crucible transfer unit for reciprocating the crucible in the longitudinal direction of the belt mask. 제 7항에 있어서,
상기 소스부는 상기 벨트마스크의 내측에 배치되고, 상기 기판지지부는 상기 벨트마스크의 외측에 배치되어 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. 8. The method of claim 7,
Wherein the source portion is disposed inside the belt mask, and the substrate support portion is disposed outside the belt mask to support the substrate. 제 7항에 있어서,
상기 소스부는 상기 벨트마스크의 외측에 배치되고, 상기 기판지지부는 상기 벨트마스크의 내측에 배치되어 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. 8. The method of claim 7,
Wherein the source portion is disposed outside the belt mask, and the substrate support portion is disposed inside the belt mask to support the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 기판을 상기 기판지지부로 이송하는 기판 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. The organic light emitting diode manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a substrate transferring unit for transferring the substrate to the substrate supporting unit. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 벨트마스크와 상기 기판지지부의 사이에 배치되어 상기 기판으로 향하는 상기 유기물과 불순물을 단속하는 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치. The organic light emitting diode manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a shutter disposed between the belt mask and the substrate supporter for interrupting impurities and the organic material toward the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 트랜스퍼챔버에 연결되어 상기 유기물이 증착된 상기 기판이 반입되고, 상기 기판에 봉지 공정이 수행되는 봉지챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치.The organic light emitting diode manufacturing apparatus of claim 1, further comprising an encapsulation chamber connected to the transfer chamber, in which the substrate on which the organic substance is deposited is carried, and an encapsulating process is performed on the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 트랜스퍼챔버에 연결되어 상기 유기물이 증착되고 상기 공정챔버로부터 배출되는 상기 기판이 대기하는 버퍼챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조장치.2. The apparatus of claim 1, further comprising a buffer chamber connected to the transfer chamber, in which the organic material is deposited and the substrate is discharged from the process chamber.
KR1020120156697A 2012-12-28 2012-12-28 Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes KR101448046B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120156697A KR101448046B1 (en) 2012-12-28 2012-12-28 Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120156697A KR101448046B1 (en) 2012-12-28 2012-12-28 Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140086345A KR20140086345A (en) 2014-07-08
KR101448046B1 true KR101448046B1 (en) 2014-10-15

Family

ID=51735649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120156697A KR101448046B1 (en) 2012-12-28 2012-12-28 Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101448046B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102427211B1 (en) * 2015-07-17 2022-07-29 주식회사 선익시스템 System to deposition substrate and method to transfer substrate thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060037513A (en) * 2004-10-28 2006-05-03 주성엔지니어링(주) Manufacturing apparatus for display device
KR20080074552A (en) * 2007-02-09 2008-08-13 (주)올레돈 Manufacturing equipment using belt source for flexible oled and white oled
KR20100081470A (en) * 2009-01-06 2010-07-15 삼성전기주식회사 Thin film formation apparatus
KR20120078835A (en) * 2011-01-03 2012-07-11 주성엔지니어링(주) Apparatus and method for manufacturing of thin film pattern

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060037513A (en) * 2004-10-28 2006-05-03 주성엔지니어링(주) Manufacturing apparatus for display device
KR20080074552A (en) * 2007-02-09 2008-08-13 (주)올레돈 Manufacturing equipment using belt source for flexible oled and white oled
KR20100081470A (en) * 2009-01-06 2010-07-15 삼성전기주식회사 Thin film formation apparatus
KR20120078835A (en) * 2011-01-03 2012-07-11 주성엔지니어링(주) Apparatus and method for manufacturing of thin film pattern

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140086345A (en) 2014-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103282538B (en) Vapor deposition apparatus, vapor deposition method, organic EL element, and organic EL display apparatus
KR101036123B1 (en) Apparatus for depositing film
CN103430625B (en) The manufacture method of evaporation coating device, evaporation coating method and organic EL display
US20160149135A1 (en) Vapor deposition particle projection device and vapor deposition device
CN102456852A (en) Organic layer deposition apparatus, and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US20160133838A1 (en) Manufacturing flexible organic electronic devices
US11335892B2 (en) Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
KR20120039944A (en) Depositing system for substrate and dspoiting method for the same
CN105324511B (en) The manufacture method and organic electroluminescence display device and method of manufacturing same of organic electroluminescent device
KR20140145383A (en) Inline Type OLED Face Up Evaporator for large size OLED
CN104271798A (en) Device and method for the surface treatment of a substrate and method for producing an optoelectronic component
CN110620061A (en) Organic vapor jet printhead with redundant set of depositors
KR101197403B1 (en) In-line deposition apparatus using multi-deposition type
KR101448046B1 (en) Apparatus For Manufacturing Organic Light Emitting Diodes
KR101456690B1 (en) Belt Mask for Manufacturing Organic Light Emitting Diodes, Apparatus and method for depositing Organic material using the same
KR101248355B1 (en) Vacuum deposition apparatus and method of manufacturing organic el display device
CN103476962A (en) Deposition particle emitting device, deposition particle emission method, and deposition device
WO2010110615A2 (en) Source supplying unit, method for supplying source, and thin film depositing apparatus
KR101929408B1 (en) An in-line type manufacturing system for organic light emitting device, manufacturing method, organic layer device and donor substrate
KR20140038844A (en) Top down linear type evaporation source and downward evaporator for manufacturing the super large size oled thin film
KR20120037744A (en) Substrate treatment system
KR101456691B1 (en) Apparatus for depositing organic material of organic light emitting diodes
CN110612362A (en) Vacuum processing system and method of operating a vacuum processing system
US9054342B2 (en) Apparatus and method for etching organic layer
KR101739012B1 (en) Substrate processing system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181002

Year of fee payment: 5