KR101434987B1 - Pre-assembly final inspection device for LCD and inspection method using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법은, 검사할 TFT 어레이 기판모듈에 빛을 조사하는 백라이트 유닛과, 상기 백라이트 유닛의 상부에 부착된 액정시트와, 상기 액정시트와 검사할 TFT 어레이 기판모듈 또는 TFT 어레이 기판모듈에 구동 신호를 입력하는 구동 신호 입력부로 구성되어, 상기 액정시트의 상부에 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 투입하여 TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사하도록 구성됨으로써, TFT 어레이 기판모듈을 미합착 상태에서 검사하여, 기판 검사의 신뢰성을 높이고, 경제적 손실을 최소화함과 아울러 생산성도 향상될 수 있게 된다.An apparatus and method for pre-bonding a liquid crystal display according to the present invention includes a backlight unit for irradiating light to a TFT array substrate module to be inspected, a liquid crystal sheet attached to an upper portion of the backlight unit, And a drive signal input unit for inputting a drive signal to the array substrate module or the TFT array substrate module. The TFT array substrate module to be inspected is inserted into the upper portion of the liquid crystal sheet to inspect the TFT array substrate module for defects, The array substrate module can be inspected in the non-adhered state to improve the reliability of the inspection of the substrate, minimize the economic loss, and improve the productivity.

합착, 컬러필터, TFT, PDLC, 불량, 백라이트, 편광 필름 Adhesion, color filter, TFT, PDLC, defective, backlight, polarizing film

Description

액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법{Pre-assembly final inspection device for LCD and inspection method using the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a pre-assembly final inspection device for LCD,

도 1은 일반적인 액정표시장치의 내부 구조를 보인 단면도,1 is a sectional view showing the internal structure of a general liquid crystal display device,

도 2는 종래 액정표시장치의 합착 전의 검사 구조를 보인 개략도,FIG. 2 is a schematic view showing an inspection structure of a conventional liquid crystal display device before adherence,

도 3은 종래 액정표시장치의 합착 후의 검사 구조를 보인 개략적인 단면도,FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an inspection structure of a conventional liquid crystal display device after adhesion,

도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치가 도시된 구성도,FIG. 4 is a diagram showing a pre-attachment inspection apparatus of a liquid crystal display according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치를 이용한 검사 상태의 구성도,5 is a configuration diagram of a test state using a pre-attachment inspection apparatus of a liquid crystal display device according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예의 액정표시장치의 합착 전 검사 장치를 이용한 검사 상태의 구성도,6 is a configuration diagram of a test state using a pre-attachment inspection apparatus of a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention,

도 7은 본 발명에 따른 액정시트의 일 실시예를 도시한 상세도,7 is a detailed view showing one embodiment of a liquid crystal sheet according to the present invention,

도 8은 본 발명에 따른 액정시트의 다른 실시예를 도시한 상세도,8 is a detailed view showing another embodiment of the liquid crystal sheet according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착전 검사 방법이 도시된 순서도이다.FIG. 9 is a flowchart showing a pre-stick inspection method of a liquid crystal display according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

60 : TFT 어레이 기판모듈 61 : 하부 기판60: TFT array substrate module 61: lower substrate

62 : TFT 어레이 63 : 화소 전극62: TFT array 63: pixel electrode

70 : 액정시트 80 : 백라이트 유닛70: liquid crystal sheet 80: backlight unit

85 : 베이스85: Base

90 : 구동 신호 입력부90: drive signal input section

본 발명은 액정표시장치(이하 'LCD'라 함)의 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 LCD 주요 구성품인 박막트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor) 어레이 기판모듈의 최종성능을 합착 전에 검사할 수 있는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for inspecting a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD), and more particularly, to a method and apparatus for inspecting a final performance of a thin film transistor (TFT) To an apparatus and a method for inspecting a liquid crystal display device before cementation.

일반적으로 LCD는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정기판에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 액티브 매트릭스 타입의 LCD에서 스위칭소자로는 주로 TFT가 이용되고 있다.2. Description of the Related Art In general, an LCD displays an image corresponding to a video signal on a liquid crystal substrate on which liquid crystal cells are arranged in a matrix by adjusting a light transmittance of liquid crystal cells according to a video signal. TFTs are mainly used as switching elements in an active matrix type LCD.

도 1은 일반적인 LCD의 내부 구조를 보인 단면도이다.1 is a sectional view showing the internal structure of a general LCD.

이에 도시된 바와 같이 LCD는 R,G,B 색상이 패터닝되어 있는 컬러필터 기판모듈(10)과, 각 픽셀의 전기신호를 제어할 수 있는 소자가 패터닝되어 있는 TFT 어레이 기판모듈(20)과, 상기 두 기판모듈(10, 20) 사이에서 광학적 이방성을 가지고 빛의 통과를 제어할 수 있는 액정(35)과, 상기 TFT 어레이 기판모듈(20)의 배면에서 빛을 발광해 주는 백라이트 유닛(40) 등으로 구성되어 있다.As shown, the LCD includes a color filter substrate module 10 patterned with R, G, and B colors, a TFT array substrate module 20 patterned with elements capable of controlling electric signals of respective pixels, A liquid crystal 35 capable of controlling the passage of light with optical anisotropy between the two substrate modules 10 and 20 and a backlight unit 40 for emitting light from the back surface of the TFT array substrate module 20, And the like.

여기서 상기 컬러필터 기판모듈(10)은 상부 기판(11) 상에 순차적으로 컬러필터(12), 공통 전극(13) 및 배향막(14)이 구성되고, 상기 TFT 어레이 기판모듈(20)은 하부 기판(21) 상에 순차적으로 TFT 어레이(22), 화소전극(23), 배향막(24)이 구성된다.The color filter substrate module 10 includes a color filter 12, a common electrode 13 and an alignment film 14 sequentially formed on an upper substrate 11. The TFT array substrate module 20 includes a lower substrate The TFT array 22, the pixel electrode 23, and the alignment film 24 are sequentially formed on the substrate 21.

그리고 상기 컬러필터 기판모듈(10)과 TFT 어레이 기판모듈(20) 사이에는 간격을 유지하는 스페이서 또는 밀봉재(30)가 구비되고, 그 내부 공간에 상기 액정(35)이 주입된다.A spacer or a sealing material 30 is provided between the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20 to maintain a gap therebetween and the liquid crystal 35 is injected into the space.

이와 같이 구성되는 LCD는 기본구조패턴의 피치(pitch)가 80~300um 등으로 매우 미세한 격자 형태를 가지며, 이는 반도체공정과 동일한 포토리소그라피(photo lithography) 즉, 포토 공정으로 제작된다.The LCD having such a structure has a very fine lattice shape with a pitch of 80 to 300 μm or the like of the basic structure pattern, which is manufactured by the same photolithography or photo process as the semiconductor process.

이때 상기 컬러 필터(12) 및 TFT 어레이(22)에는 색빠짐, 돌기, 핀홀, 얼룩, 단선, 쇼트 등의 다양한 불량이 발생할 수 있으며, 이들이 유출될 경우 수율에 상당한 영향을 미치게 되므로 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20), 셀(Cell) 패널 등에 대해 다양한 검사방법으로 불량을 검사하여 수정, 폐기 등의 과정을 거치고 있다.At this time, various defects such as color drop, protrusion, pinhole, unevenness, disconnection, and short can occur in the color filter 12 and the TFT array 22, and when they are leaked, the color filter 12 and the TFT array 22 have a considerable influence on the yield, The TFT array substrate module 20, the cell panel, and the like are inspected for defects by various inspection methods, and subjected to processes such as correction and disposal.

LCD 검사 방법에는 크게 두 기판모듈(10, 20)을 미합착 상태에서 검사하는 방법과 두 기판모듈(10, 20)을 합착한 후에 검사하는 방법이 있는데, 이를 도 2와 도 3을 참조하여 설명한다.The LCD inspection method includes a method of inspecting two substrate modules 10 and 20 in an unattached state and a method of inspecting the two substrate modules 10 and 20 after they are attached to each other. do.

먼저, 합착 전의 기판 검사는 두 기판모듈(10, 20)을 합착하기 전에 컬러필터 기판모듈(10) 또는 TFT 어레이 기판모듈(20)에 발생되는 스캔(scan) 얼룩(Coater), 렌즈 얼룩(노광기), 전극 얼룩, 크리티컬 디멘죤(CD; Critical Dimension), 컬럼 스페이스(CS; Colume Space) 등을 주로 검사하게 되고, 검사 방법은 빛 반사 및 빛 투과 등의 방법으로 이루어진다.First, the inspection of the substrate prior to the laminating is carried out by using a scan stain (Coater), a lens stain (exposure light) generated in the color filter substrate module 10 or the TFT array substrate module 20 before the two substrate modules 10, ), Electrode smear, critical dimension (CD), and column space (CS) are mainly inspected. The inspection method is performed by a method of light reflection and light transmission.

즉, 도 2에서와 같이 컬러필터가 구성된 컬러필터 기판모듈(10) 또는 TFT 막이 구성된 TFT 어레이 기판모듈(20) 상태에서 투과조명(1) 또는 반사조명(3)에서 상기 두 모듈(10)(20)에 조사된 빛을 촬상소자(5)가 인식하여 화상처리를 함으로써 검사가 이루어진다. 이때 촬상소자(5)에 의한 자동검사 대신에 육안에 의한 수동 검사가 행해지기도 한다.That is, in the state of the TFT array substrate module 20 in which the color filter substrate module 10 in which the color filter is constituted or the TFT film is constituted, as shown in Fig. 2, in the transmission light 1 or the reflection light 3, 20 are recognized by the image pickup element 5 and subjected to image processing. At this time, a manual inspection by the naked eye may be performed instead of the automatic inspection by the image pickup device 5. [

특히 얼룩의 경우, 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20) 상태에서는 육안으로 잘 보이지 않는 특성으로 인해 특별한 조명을 조사하여 검사를 실시하고 있으며 이를 매크로 검사기라 한다. In particular, in the case of color spots, in the state of the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20, a special inspection is performed by examining the special illumination due to the characteristics that can not be seen with the naked eye.

그러나 이와 같은 합착 전 검사 방법은 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20)을 개별적으로 각각 검사할 경우에는 두 기판모듈(10, 20)을 합착한 후에 발생되고 있는 얼룩 등의 불량을 정확히 검출해내기 어려운 문제점이 있다.However, in the case of inspecting the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20 individually, the pre-adhesion inspection method may be applied to the case where the defect of the stain etc. occurring after the two substrate modules 10, Which is difficult to accurately detect.

즉, 종래 합착 전 검사 방법은 특정 공정 중에 발생하는 얼룩 검사, 반사광의 간섭, 회절, 산란으로 CD, 막두께 등에 의한 얼룩 검사는 가능하나, 두 기판모듈(10, 20)을 합착한 후, 최종 검사시 픽셀(Pixel) 단위의 얼룩 검사는 어려우며, 특히 두 기판모듈이 합착된 후에 액정에 미치는 상관관계를 알 수 없으므로, 불량 여부를 사전에 검출하기는 대단히 어려운 문제점이 발생하는 것이다.That is, in the conventional pre-bonding inspection method, it is possible to perform stain inspection by CD, film thickness or the like due to stain inspection, interference of reflected light, diffraction and scattering occurring in a specific process, but after bonding two substrate modules 10 and 20, It is difficult to check a pixel by pixel in the inspection. In particular, since the correlation between the two substrate modules after bonding is unknown, it is very difficult to detect the defect in advance.

다음, 합착 후의 검사는, 도 3에 도시된 바와 같은 셀 공정에서 액정(35)이 컬러필터 기판모듈(10)과 TFT 어레이 기판모듈(20) 사이에 주입되고 밀봉제(30)에 의해 봉입이 이루어진 상태, 즉 셀(Cell) 공정 최종 제품을 검사하는데, 이때에는 주로 얼룩, 액정구동 상태 등을 검사하게 되고, 검사 방법은 백라이트 유닛을 구동하거나 액정을 구동하여 오토 프로브(Auto Probe) 검사를 하게 된다.3, the liquid crystal 35 is injected between the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20 and is sealed by the sealing agent 30 In this case, the inspection of the stain, liquid crystal driving state, etc. is performed. In the inspection method, the backlight unit is driven or the liquid crystal is driven to perform an auto-probe inspection. do.

즉, 두 기판모듈(10, 20)의 합착이 이루어진 상태에서 TFT 어레이 기판모듈(20)과 컬러필터 기판모듈(10)에 구동신호 입력부(45)를 통해 전기 신호를 인가하고 백라이트 유닛(40)을 구동하여 각종 패턴을 띄운 상태에서 디스플레이 상태를 검사한다. 이때 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20)의 막두께 등이 액정 거동에 영향을 미쳐 최종 투과율의 상이함을 감지하고, 픽셀 단위의 액정 구동으로 특정 색의 얼룩을 구별하게 된다.That is, in a state where the two substrate modules 10 and 20 are joined together, an electric signal is applied to the TFT array substrate module 20 and the color filter substrate module 10 through the driving signal input unit 45 and the backlight unit 40, And the display state is checked in a state in which various patterns are displayed. At this time, the film thickness of the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20 affects the liquid crystal behavior and senses the difference in the final transmissivity, and distinguishes specific color spots by pixel-by-pixel liquid crystal driving .

이러한 검사 방법은 TFT 구동을 위해 탐침을 프로빙(probing) 해주고, 적정한 패턴을 인가하기 위한 패턴 발생기 등 필요한 검사 시스템을 이용하게 된다.Such an inspection method probes a probe for driving a TFT and uses a necessary inspection system such as a pattern generator for applying an appropriate pattern.

그러나 상기와 같은 합착 후 검사 방법은, 상기 두 기판모듈(10, 20)의 합착 전 상태인 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20) 상태에서 보이지 않던 불량들이 액정(35)이 주입되고, 편광판(polarizer)(14)(25)이 부착되는 등 셀(CELL) 공정을 거친 후 최종 상태에서 검사하는 오토 프로브(auto probe) 검사에서는 검출되는 경우가 많으며, 이는 TFT 어레이 기판모듈(20)에 전기를 인가하여 액정(35)에 의해 산란된 빛으로부터 보게 되는 경우 합착 전 각 기판모듈을 단독으 로만 볼 때와는 광학적 특성이 상이해짐으로써 검사의 오류가 발생하게 되는 것이다.However, in the post-adhesion inspection method as described above, defects that are not seen in the state of the color filter substrate module 10 and the TFT array substrate module 20 before the two substrate modules 10 and 20 are bonded together are transferred to the liquid crystal 35 And is often detected in an auto probe inspection that is performed in a final state after being subjected to a cell process such as a polarizer 14 and a polarizer 25 attached to the TFT array substrate module 20 are viewed from the light scattered by the liquid crystal 35, errors in the inspection occur because the optical characteristics of the substrate module before the bonding are different from those of the substrate module alone.

이때에는 검사 결과 두 기판모듈(10, 20)의 구성 중 어느 한쪽 기판모듈에서만 불량이 발생하더라도 컬러필터 기판모듈(10), TFT 어레이 기판모듈(20), 액정(35) 등이 포함되어 있는 모듈 전체를 폐기 처분하여야 하므로, 재생이 불가능하여 경제적 손실이 커지고, 생산성도 크게 떨어지는 문제점이 있다.The TFT array substrate module 20, the liquid crystal 35, and the like, even if only one of the substrate modules of the two substrate modules 10 and 20 is defective. It is necessary to discard the entire product, so that it is impossible to regenerate the product, resulting in an increase in economic loss and a significant decrease in productivity.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 미합착된 TFT 어레이 기판모듈을 액정시트를 이용하여 불량 여부를 검사할 수 있도록 구성함으로써 픽셀, 라인, 또는 무라 등의 불량을 미합착 상태에서 검사하여, 기판 검사의 신뢰성을 높이고, 경제적 손실을 최소화함과 아울러 생산성도 향상될 수 있도록 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a TFT array substrate module in which unfused TFT array substrate modules can be inspected for defects by using a liquid crystal sheet to prevent defects such as pixels, lines, The present invention also provides an apparatus and method for pre-bonding a liquid crystal display device that can improve reliability of a substrate inspection, minimize an economic loss, and improve productivity.

특히, 본 발명은 미합착된 상태의 TFT 어레이 기판모듈을 연속적으로 교체하면서 검사할 수 있는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.In particular, it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for pre-bonding a liquid crystal display device which can be inspected while continuously replacing the TFT array substrate module in a non-bonded state.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치는, 검사할 TFT 어레이 기판모듈에 빛을 조사하는 백라이트 유닛과, 상기 백라 이트 유닛의 상부에 부착된 액정시트와, 상기 액정시트와 검사할 TFT 어레이 기판모듈 또는 TFT 어레이 기판모듈에 구동 신호를 입력하는 구동 신호 입력부로 구성되어, 상기 액정시트의 상부에 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 투입하여 TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사하도록 구성된 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, there is provided an apparatus for inspecting a pre-adhesion of a liquid crystal display according to the present invention, comprising: a backlight unit for irradiating light to a TFT array substrate module to be inspected; a liquid crystal sheet attached to an upper portion of the backlight unit; And a driving signal input unit for inputting a driving signal to a TFT array substrate module to be inspected or a TFT array substrate module to be inspected. A TFT array substrate module to be inspected is put on the liquid crystal sheet to determine whether or not the TFT array substrate module is defective And inspection is performed.

여기서 상기 액정시트는 상부 보호막과 하부 보호막 사이에 액정이 주입될 수 있다.Here, the liquid crystal sheet may be injected with liquid crystal between the upper protective film and the lower protective film.

또한 상기 액정시트는 상기 백라이트 유닛에 에 액정이 바로 도포되고, 그 위에 액정을 보호하는 보호 유리가 설치되는 구성도 가능하다.Further, the liquid crystal sheet may be configured such that the liquid crystal is directly applied to the backlight unit, and a protective glass for protecting the liquid crystal is provided thereon.

상기 액정시트에는 고분자분산형 액정(PDLC)이 구성되는 것이 바람직하다.The liquid crystal sheet preferably comprises polymer dispersed liquid crystal (PDLC).

상기 백라이트 유닛과 액정시트 사이에는 편광필름이 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that a polarizing film is provided between the backlight unit and the liquid crystal sheet.

또한 상기 검사할 TFT 어레이 기판모듈 또는 그 전방의 검사 장비 쪽에는 편광필름이 구비되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a polarizing film is provided on the TFT array substrate module to be inspected or the inspection equipment in front thereof.

상기 액정시트에는 투명 도전막이 구비되어 상기 구동 신호 입력부에 연결되게 구성될 수 있다.The liquid crystal sheet may include a transparent conductive film and may be connected to the driving signal input unit.

다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 방법은, 백라이트 유닛에 액정시트를 부착하고, 구동 회로를 구성하여 세팅하는 단계와; 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 상기 액정시트의 상부에 투입하는 단계와; 상기 단계 후에 TFT 어레이 기판모듈에 구동회로를 연결함과 아울러 상기 액정시트에 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 밀착시키는 단계와; 상기 단계 후에 백라이 트 유닛 점등한 상태에서, 구동 신호를 변경시키면서 TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.Next, a method for inspecting a liquid crystal display before inserting a liquid crystal display according to the present invention for realizing the above-mentioned problems comprises the steps of: attaching a liquid crystal sheet to a backlight unit; Placing a TFT array substrate module to be inspected on top of the liquid crystal sheet; Connecting a driving circuit to the TFT array substrate module after the step and closely adhering the TFT array substrate module to be inspected to the liquid crystal sheet; And checking whether the TFT array substrate module is defective while changing the driving signal in a state in which the backlight unit is turned on after the above step.

여기서 상기 불량 여부 검사는 육안 검사, 촬상소자를 이용한 이미지 검사 중 적어도 어느 하나를 이용할 수 있다.Here, at least one of visual inspection and image inspection using an image pickup device can be used for the defect inspection.

상기 불량 여부를 검사하는 단계 후에 검사가 완료된 TFT 어레이 기판모듈을 분리하여 배출하고, 새로 검사할 다른 TFT 어레이 기판모듈을 액정시트의 상부에 투입하여 TFT 어레이 기판모듈을 바꾸어가면서 검사하는 것이 바람직하다.It is preferable to separate and discharge the TFT array substrate module that has been inspected after inspecting whether or not the defect is detected, and inspect the TFT array substrate module by inserting another TFT array substrate module to be inspected into the upper portion of the liquid crystal sheet.

여기서 상기 TFT 어레이 기판모듈의 분리가 용이하도록 상기 전체 공정을 진공 챔버 내에서 실시할 수 있다.Here, the entire process can be performed in a vacuum chamber to facilitate separation of the TFT array substrate module.

이와는 달리, 상기 TFT 어레이 기판모듈의 분리가 용이하도록 두 기판 모듈 사이에 공기를 주입하면서 기판을 분리할 수도 있다.Alternatively, the substrate may be separated while injecting air between the two substrate modules to facilitate separation of the TFT array substrate module.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치가 도시된 구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치를 이용한 검사 상태의 구성도이다.FIG. 4 is a configuration diagram showing a pre-stick inspection apparatus of a liquid crystal display according to the present invention, and FIG. 5 is a configuration diagram of a state of inspection using a pre-stick detector of the liquid crystal display according to the present invention.

본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치는, 액정시트(70)가 부착된 백라이트 유닛(80)의 상부에 TFT 어레이 기판모듈(60)을 교체해가면서, TFT 어레이 기판모듈(60)을 컬러필터 기판과 합착 하지 않은 상태에서 도 5에서와 같이 적층하여 TFT 어레이 기판모듈(60)의 불량 여부를 검사할 수 있도록 이루어진 장치이다.The pre-stick inspection apparatus of the liquid crystal display according to the present invention is a device for inspecting the TFT array substrate module 60 in a color (white) state while the TFT array substrate module 60 is being replaced on the backlight unit 80 with the liquid crystal sheet 70 attached thereto. The TFT array substrate module 60 may be stacked as shown in FIG. 5 without being adhered to the filter substrate to inspect the TFT array substrate module 60 for defects.

이러한 본 발명의 검사 장치는 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)에 빛을 발광해주는 백라이트 유닛(80)과, 이 백라이트 유닛의 상부에 부착되는 액정시트(70)로 구성되어, 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)을, 상기 액정시트(70)의 상부에 위치시킨 상태에서 구동 신호 입력부(90)를 통해 TFT 어레이 기판모듈(60)에 구동 신호를 입력하면서 상기 TFT 어레이 기판모듈(60)을 검사할 수 있도록 구성된다.The inspection apparatus of the present invention comprises a backlight unit 80 for emitting light to a TFT array substrate module 60 to be inspected and a liquid crystal sheet 70 attached to the top of the backlight unit, The TFT array substrate module 60 is inspected while a driving signal is input to the TFT array substrate module 60 through the driving signal input unit 90 while the module 60 is positioned above the liquid crystal sheet 70 .

이와 같이 구성되는 본 발명의 검사 장치의 주요 구성 부분을 자세히 설명한다. The main constituent parts of the inspection apparatus of the present invention constituted as described above will be described in detail.

참고로, 도면에 도시된 TFT 어레이 기판모듈(60)은 개략적인 도면으로서, 주요 구성 부분을 단순화시켜 나타낸 것으로서, 도면의 구성에 한정되지 않고 일반적인 LCD 제조 공정에서 두 기판 모듈의 합착 직전 상태까지 제조된 상태의 기판모듈이면 모두 적용 가능함은 물론이다. For reference, the TFT array substrate module 60 shown in the drawing is a schematic view showing a simplified main constitutional part. The present invention is not limited to the structure of the drawings, but may be applied to manufacturing The present invention is not limited thereto.

먼저, 상기 백라이트 유닛(80)은 TFT 어레이 기판모듈(60)의 배면에서 빛을 발광해주는 수단으로서, 본 발명의 검사 장치에도 합착 후에 조립되는 백라이트 유닛과 동일한 조건의 백라이트 유닛(80)을 사용하여 TFT 어레이 기판모듈(60)의 불량 여부를 검사할 수 있도록 구성되는 부분이다.The backlight unit 80 is a means for emitting light from the back surface of the TFT array substrate module 60. The backlight unit 80 uses a backlight unit 80 having the same conditions as those of the backlight unit So that it is possible to check whether the TFT array substrate module 60 is defective or not.

이러한 백라이트 유닛(80)은 베이스(85) 상부에 지지된 상태로 설치되는 것이 바람직하고, 백라이트 유닛(80)의 상부에는 편광 필름(68)이 부착되는 것이 바람직하다.It is preferable that the backlight unit 80 is installed in a state of being supported on the base 85 and the polarizing film 68 is attached to the top of the backlight unit 80.

다음, 상기 액정시트(70)는, 상기 백라이트 유닛(80)의 상부에 부착된 부분으로서, 도 7에 도시된 바와 같이 상부 보호막(71)과 하부 보호막(73)의 내부 공간에 액정(75)을 주입하여 봉입한 액정봉입시트의 구성으로 이루어지며, 이때 주입되는 액정(75)은 고분자분산형 액정(PDLC; Polymer Dispersed Liquid Crystal)이 바람직하며, 이 고분자분산형 액정은 액정과 폴리머의 배합 후에 UV나 다른 방법으로 경화시켜 제조된 것이다.7, the liquid crystal sheet 70 is attached to the upper portion of the backlight unit 80 and includes a liquid crystal 75 in an inner space of the upper protective film 71 and the lower protective film 73, The liquid crystal 75 to be injected at this time is preferably a polymer dispersed liquid crystal (PDLC). The polymer dispersed liquid crystal is a liquid crystal transparent liquid crystal material which is obtained by mixing a liquid crystal and a polymer UV or other methods.

상기 상부 보호막(71)과 하부 보호막(73)은 실질적으로 상기 PDLC를 보호하는 시트로서, 모두 투명 박막으로 구성될 수 있으나 상부 보호막(71)은 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)이 자주 접촉하게 되므로, 충분한 강성을 갖는 보호 유리로 구성되는 것이 바람직하다.The upper protective film 71 and the lower protective film 73 may be substantially transparent sheets that protect the PDLC, but the upper protective film 71 may be formed in a manner such that the TFT array substrate module 60 to be inspected It is preferable that it is made of a protective glass having sufficient rigidity.

이와는 달리 도 8에 도시된 바와 같이, 액정시트(70')는 상기 백라이트 유닛(80)에 구비된 편광 필름(68)의 상면에 액정(75')을 도포한 다음, 그 바깥쪽에서 액정을 보호하기 위한 보호 유리 또는 보호막(73')을 설치하는 구성으로 이루어질 수 있다. 이때 사용되는 액정도 상기와 같이 PDLC를 이용할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 LCD에 사용되는 일반적인 액정을 사용하는 것도 가능하다.8, the liquid crystal sheet 70 'is formed by applying a liquid crystal 75' on the upper surface of the polarizing film 68 provided in the backlight unit 80 and then protecting the liquid crystal from the outside thereof The protection film or protective film 73 'may be provided. The liquid crystal to be used at this time may be PDLC as described above, but it is not necessarily limited to this, and it is also possible to use a general liquid crystal used for an LCD.

또한 상기 상부 보호막(71) 또는 보호막(71')에는 도 8에서와 같이 투명 도전막(ITO; Indium-Tin Oxide)(77)(77')이 구성되어 상기 구동 신호 입력부(90)에 연결하도록 구성된다. 이는 LCD의 종류 중 PVA 타입에서 컬러필터 기판모듈이 없는 관계로 TFT 어레이 기판모듈(60)의 전극과 대향 전극을 형성하기 위한 것이다.8, a transparent conductive film (ITO) 77 (77 ') is formed on the upper protective film 71 or the protective film 71' so as to be connected to the driving signal input unit 90 . This is for forming the electrode of the TFT array substrate module 60 and the counter electrode in the absence of the color filter substrate module in the PVA type of LCD.

이러한 상기 액정시트(70)(70')는 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)의 하부에 위치되어 실제 합착후 액정이 주입된 상태에서 컬러필터 기판모듈이 없는 상태로 상기 TFT 어레이 기판모듈(60)을 검사할 수 있도록 구성된 부분이다.The liquid crystal sheets 70 and 70 'are positioned below the TFT array substrate module 60 to be inspected. When the liquid crystal sheets 70 and 70' are actually bonded after the liquid crystal is injected, the TFT array substrate module 60 ).

다음, 상기 구동 신호 입력부(90)는 상기 액정시트(70)(70')의 투명 도전막(77)(77')과 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)의 TFT 어레이(62) 및 화소 전극(63) 등에 연결되어, LCD 구동 신호와 거의 유사한 전기 신호를 인가하여 액정시트(70)의 액정을 통해 광투과율을 조절하여 디스플레이 함으로써 TFT 어레이 기판모듈(60)에서 발생되는 결함 및 불량을 검출하기 위해 구성된 부분이다.Next, the drive signal input unit 90 receives the drive signal input unit 90 and the transparent conductive films 77 and 77 'of the liquid crystal sheets 70 and 70', the TFT array 62 of the TFT array substrate module 60 to be inspected, (Not shown). The controller 60 controls the light transmittance of the liquid crystal sheet 70 by applying an electric signal substantially similar to the LCD driving signal to the display panel 63, thereby detecting defects and defects generated in the TFT array substrate module 60 .

도면에서 92, 92', 93'은 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)에 구비되는 전극에 구동 신호를 입력할 수 있는 커넥터들이다. 도 4와 도 5에서는 TFT 어레이 기판모듈(60)과 액정 시트(70)에 전극이 각각 구비된 구성을 예시하였으나, 도 6에서와 같이 LCD 종류 즉, IPS와 PVA 중 IPS는 TFT 어레이 기판모듈(60')의 동일면에 모든 전극들이 형성되므로, 구동 신호 입력부(90')의 신호를 전달하는 커넥터(92', 93')들은 TFT 어레이 기판모듈(60')에만 구비된다.In the drawing, reference numerals 92, 92 'and 93' denote connectors for inputting driving signals to the electrodes provided in the TFT array substrate module 60 to be inspected. 4 and 5, the TFT array substrate module 60 and the liquid crystal sheet 70 are provided with electrodes, respectively. However, as shown in FIG. 6, the LCD type, that is, IPS among the IPS and PVA, All the electrodes are formed on the same surface of the TFT array substrate module 60 'so that the connectors 92' and 93 'for transmitting signals of the driving signal input unit 90' are provided only in the TFT array substrate module 60 '.

한편, 본 발명의 검사 장치는 상기 구성 요소 외에, 상기 TFT 어레이 기판모듈(60)의 상부에 도 5에 도시된 바와 같이, 검사용 카메라(100)와 같은 촬상소자 등의 장비가 추가로 구성될 수 있다. 물론 검사 장비가 없는 육안 검사도 가능하다.5, the inspection apparatus of the present invention further includes, on top of the TFT array substrate module 60, equipment such as an imaging device such as a camera 100 for inspection, in addition to the above components . Of course, visual inspection without inspection equipment is also possible.

또한 상기 액정시트(70)에 TFT 어레이 기판모듈(60)이 적층되어 불량 검사를 실시한 후에, 검사가 끝난 TFT 어레이 기판모듈(60)을 다시 분리해 내는 과정에서 액정시트(70)와의 사이에 표면 장력 등의 영향으로 분리가 힘들어질 수 있는 바, 기판모듈 검사를 진공 분위기 하에서 실시할 수 있는 진공 챔버나, 액정시트(70)와 TFT 어레이 기판모듈(60) 사이에 공기 또는 가스를 불어넣어 TFT 어레이 기판모듈(60)을 분리하는 분리용 에어분사장비가 구비될 수 있다.The TFT array substrate module 60 is stacked on the liquid crystal sheet 70 to perform a defect inspection and then the TFT array substrate module 60 after being inspected is separated again, A vacuum chamber in which the inspection of the substrate module can be performed in a vacuum atmosphere or a vacuum chamber in which air or gas is blown between the liquid crystal sheet 70 and the TFT array substrate module 60, A separation air jetting device for separating the array substrate module 60 can be provided.

다음, 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)의 구조에 대해 간단히 설명한다. Next, the structure of the TFT array substrate module 60 to be inspected will be briefly described.

TFT 어레이 기판모듈(60)은 하부 기판(61) 상에 순차적으로 TFT 어레이(62), 화소 전극(63), 배향막(64), 편광 필름(67)이 구성된 하나의 세트로 이루어진다.The TFT array substrate module 60 is composed of one set of a TFT array 62, a pixel electrode 63, an orientation film 64, and a polarizing film 67 sequentially formed on a lower substrate 61.

상기 TFT 어레이(62)는 액정셀의 구동을 스위칭하는 LCD의 주요 구성 부분으로서, 게이트 라인에 연결된 게이트전극, 데이터 라인에 연결된 소스 전극, 접촉홀을 통해 화소 전극에 접속된 드레인 전극으로 이루어진다. 또한 상기 게이트전극과 소스 전극 및 드레인 전극의 절연을 위한 게이트 절연막과, 게이트 전극에 공급되는 게이트 전압에 의해 소스 전극과 드레인 전극 간 도통채널을 형성하기 위한 반도체층 등으로 이루어진다. 이와 같은 구성은 공지의 구성이므로, 도면에서 구체적인 도시는 생략한다.The TFT array 62 is composed of a gate electrode connected to the gate line, a source electrode connected to the data line, and a drain electrode connected to the pixel electrode through the contact hole, as a main constituent part of the LCD switching the driving of the liquid crystal cell. A gate insulating film for insulating the gate electrode from the source electrode and the drain electrode, and a semiconductor layer for forming a conduction channel between the source electrode and the drain electrode by a gate voltage supplied to the gate electrode. Since such a configuration is well-known, a detailed illustration is omitted in the drawings.

상기 화소 전극(63)은 하부기판(61) 전면에 도포되는 보호막(65) 위에 형성되며, 보호막(65)에 형성된 접촉홀을 통해 상기 TFT의 드레인 전극과 전기적으로 접속되는 구성으로 이루어진다.The pixel electrode 63 is formed on a protective film 65 applied to the entire surface of the lower substrate 61 and is electrically connected to the drain electrode of the TFT through a contact hole formed in the protective film 65.

상기 배향막(64)은 상기 화소 전극(63)이 형성된 하부 기판(61) 상부에 도포되어 구성된다.The alignment layer 64 is formed on the lower substrate 61 on which the pixel electrode 63 is formed.

이와 같이 하부 기판(61) 상에 TFT 어레이(62), 화소 전극(63), 배향막(64) 등이 구성된 TFT 어레이 기판모듈(60)은 컬러필터 기판모듈과 합착되기 전의 최종 상태의 모듈이 가장 바람직하나, 상기 하부 기판(61)에 모든 구성 요소가 완전히 설치된 구성에 한정되는 것은 아니고, 검사 조건에 따라서는 배향막(64) 등 일부 구성을 설치하지 않은 상태에서도 기판모듈의 불량여부를 검사할 수 있다.The TFT array substrate module 60 having the TFT array 62, the pixel electrode 63 and the alignment film 64 formed on the lower substrate 61 in this manner is a module in the final state before being adhered to the color filter substrate module However, the present invention is not limited to the configuration in which all the components are completely installed on the lower substrate 61, and it is possible to check whether or not the substrate module is defective even in a state in which some components such as the alignment film 64 are not installed have.

이제, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 검사 장치를 이용한 본 발명의 검사 방법을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the inspection method of the present invention using the inspection apparatus according to the present invention will be described.

도 9는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착전 검사 방법이 도시된 순서도이다.FIG. 9 is a flowchart showing a pre-stick inspection method of a liquid crystal display according to the present invention.

본 발명에 따른 액정표시장치의 합착전 검사 방법은, 백라이트 유닛(80)에 액정시트(70)를 부착하고, 상기 액정시트(70)의 상부에 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)을 위치시킨 상태에서, 백라이트 유닛(80)을 발광시키고, 상기 TFT 어레이 기판모듈(60) 또는 액정시트(70)와 TFT 어레이 기판모듈(60)에 구동 신호를 입력하면서, TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사한다.The method for inspecting a liquid crystal display device according to the present invention is characterized in that a liquid crystal sheet 70 is attached to a backlight unit 80 and a TFT array substrate module 60 to be inspected is placed on the liquid crystal sheet 70 It is checked whether or not the TFT array substrate module is defective while the backlight unit 80 is lighted and a driving signal is inputted to the TFT array substrate module 60 or the liquid crystal sheet 70 and the TFT array substrate module 60 do.

도 9를 참조하여 단계적으로 살펴본다.Referring to FIG. 9, a stepwise description will be given.

먼저 백라이트 유닛(80)에 편광 필름(68) 및 액정시트(70)를 순서대로 부착하고, 구동 신호 입력부(90)를 구성한다(S1).First, the polarizing film 68 and the liquid crystal sheet 70 are attached to the backlight unit 80 in order to constitute a driving signal input unit 90 (S 1 ).

다음, 상기와 같이 구성 부품이 세팅된 상태에서 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)을 액정시트(70)의 상부에 투입한다(S2). Next, the TFT array substrate module 60 to be inspected is put into the upper part of the liquid crystal sheet 70 (S 2 ) in the state where the component parts are set as described above.

다음, 상기 액정시트(70)와 TFT 어레이 기판모듈(60)에 구동 신호 입력부(90)의 구동회로 연결함과 아울러 TFT 어레이 기판모듈(60)을 액정시트(70)에 적층하여 밀착시킨다(S3). Next, the driving circuit of the driving signal input unit 90 is connected to the liquid crystal sheet 70 and the TFT array substrate module 60, and the TFT array substrate module 60 is laminated on the liquid crystal sheet 70 3 ).

다음, 백라이트 유닛(80) 점등한 상태에서, 구동 신호를 변경시키면서 TFT 어레이 기판모듈(60)의 불량 여부를 검사한다(S4)(S5).Next, in a state in which the backlight unit 80 is lit, it is checked whether the TFT array substrate module 60 is defective while changing the driving signal (S 4 ) (S 5 ).

이때, 검사 방법은 육안 검사나 촬상소자를 이용한 이미지 검사 등의 장비를 이용하여 TFT 어레이 기판모듈(60)에서 발생되는 픽셀, 라인, 또는 무라 등의 불량을 검사한다. 아울러 도 5를 참고하면, 검사용 카메라(100)의 렌즈 앞단이나 검사자의 바로 앞쪽에 소형 편광판(110)을 위치시킨 상태에서 검사가 가능하도록 구현할 수 있고, 이때 필요에 따라서는 소형 편광판(110)을 회전시키면서 편광량을 조절하면서 검사할 수도 있다.At this time, the inspection method examines defects such as pixels, lines, or noises generated in the TFT array substrate module 60 by using a device such as a visual inspection or an image inspection using an image pickup device. 5, the small polarizing plate 110 may be placed in front of the lens of the inspection camera 100 or in front of the inspector. In this case, the small polarizing plate 110 may be inspected, While adjusting the amount of polarization.

이와 같이 TFT 어레이 기판모듈(60)은 단위 셀 패널로 절개된 상태가 아닌 여러 셀 패널을 제작할 수 있는 원판 기판모듈 크기로 검사할 수 있으므로 전체 기판모듈을 빠른 시간 안에 효과적으로 검사할 수 있게 되어 검사의 효율성과 생산성이 높아질 수 있게 된다.As described above, the TFT array substrate module 60 can be inspected with a size of a disk substrate module capable of fabricating a plurality of cell panels, which are not cut into unit cell panels, so that the whole substrate module can be effectively inspected in a short time, Efficiency and productivity can be enhanced.

다음, 검사가 완료된 TFT 어레이 기판모듈(60)을 배출하고, 새로 검사할 다른 TFT 어레이 기판모듈을 액정시트(70)의 상부에 투입하여 검사를 진행한다(S6)(S7).Next, the TFT array substrate module 60 having been inspected is discharged, and another TFT array substrate module to be newly inspected is put into the upper part of the liquid crystal sheet 70 (S 6 ) (S 7 ).

여기서 검사가 끝단 TFT 어레이 기판모듈(60)이 액정시트(70)와의 표면 장력 등의 영향으로 분리가 힘들어질 수 있는데, TFT 어레이 기판모듈(60)의 분리가 용이하도록 상기 전체 검사 공정을 진공 챔버 내에서 실시하고, TFT 어레이 기판모듈(60) 검사가 완료되면, 진공 분위기를 해제하여 TFT 어레이 기판모듈을 분리해낸다.Here, the inspection may be difficult to separate due to the influence of the surface tension of the TFT array substrate module 60 with the liquid crystal sheet 70. In order to facilitate separation of the TFT array substrate module 60, And when inspection of the TFT array substrate module 60 is completed, the vacuum atmosphere is released to separate the TFT array substrate module.

또한 진공 챔버를 이용하는 방법 외에 분리용 에어분사장비 또는 에어공급장비를 이용하여 TFT 어레이 기판모듈(60)과 액정시트(70) 사이에 공기를 주입하면서 기판을 분리할 수도 있다.In addition to the method using a vacuum chamber, the substrate may be separated while injecting air between the TFT array substrate module 60 and the liquid crystal sheet 70 by using an air jetting device for separation or an air supplying device.

상기와 같은 본 발명은, 액정시트(70), 백라이트 유닛(80), 구동 신호 입력부(90)가 세팅된 상태에서 검사할 TFT 어레이 기판모듈(60)을 교체해가면서, TFT 어레이 기판모듈(60)을 전용으로 검사를 실시할 수 있게 된다. 이때 TFT 어레이 기판모듈(60)의 얼룩뿐만 아니라 TFT 각 소자의 작동 여부도 함께 검사할 수 있다.The TFT array substrate module 60 is replaced with the TFT array substrate module 60 to be inspected while the liquid crystal sheet 70, the backlight unit 80 and the driving signal input unit 90 are set, It is possible to carry out the inspection exclusively. At this time, not only the unevenness of the TFT array substrate module 60 but also the operation of each TFT element can be checked.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 전 검사 장치 및 방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.The apparatus and method for pre-bonding a liquid crystal display according to the present invention configured and operated as described above have the following effects.

먼저, 본 발명은 두 기판을 합착하기 전에 TFT 어레이 기판모듈의 검사를 실시하기 때문에 합착 공정 후에 불량이 발생하여 폐기하는 문제를 해결하여, 재료비를 절감하고 수율을 향상시켜 LCD 생산 비용을 절감할 수 있게 된다. First, since the inspection of the TFT array substrate module is performed before the two substrates are bonded together, it is possible to solve the problem of disposal due to defects after the bonding process, thereby reducing the material cost and the yield, .

즉, 합착 공정 전에 TFT 어레이 기판모듈을 검사하게 되므로, 불량이 발생한 기판만 수정하거나 폐기함으로써 합착 공정 후의 전체 LCD 모듈을 낭비하지 않게 되고, 이로 인한 실패 비용을 절감할 수 있다. 또한, LCD의 불량유무에 대한 판단이 합착전에 이루어지기 때문에 제조 공정상의 문제점을 조기에 발견하게 되어 최종상태에서 불량으로 발견될 때까지 장시간 생산되는 불량 제품들을 방지할 수 있어 대형 품질사고를 미연에 방지할 수 있게 된다.That is, since the TFT array substrate module is inspected before the laminating process, only the substrate having the defect is corrected or discarded, so that the entire LCD module after the laminating process is not wasted, thereby reducing the failure cost. In addition, since the determination of whether or not the LCD is defective is performed before the cementation, problems in the manufacturing process can be detected early, and defective products produced over a long period of time can be prevented until a defect is found in the final state. .

다음, 본 발명은 최종상태와 동일한 조건으로 검사를 실시하기 때문에 TFT 어레이 기판모듈의 검사 능력을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다. 즉, 오버킬(overkill)이나 언더킬(underkill)의 얼룩 판정 기준을 명확히 하여 TFT 어레이 기판모듈의 사전 검사와 최종 셀(CELL) 검사 사이의 차이를 극복함에 따라, 오버킬(overkill)이나 언더킬(underkill)의 문제없이 실제로 문제되는 결함만을 검출해 낼 수 있고, 단일 기판 상태로는 보이지 않는 불량들을 최종 제품 상태로서 검출할 수 있게 되는 것이다.Next, the present invention has the effect of improving the inspection ability of the TFT array substrate module because the inspection is performed under the same condition as the final state. That is, overkill or underkill smudge determination criteria are clarified to overcome the difference between the pre-inspection of the TFT array substrate module and the final cell (CELL) inspection, it is possible to detect only defects which are actually problematic without the problem of underkill and to detect defects that are not visible in a single substrate state as a final product state.

다음, 본 발명은 PDLC를 사용하여 TFT 어레이 기판모듈 전체를 대면적으로 검사할 수 있음에 따라 검사비용을 절감할 수 있는 효과를 갖는다. 즉, 얼룩검사 외에 TFT 소자의 구동 성능을 판정하는 검사가 가능하고, 또한 각 셀 단위로 절단하기 전에 검사가 이루어지므로 대면적 검사가 가능하여 LCD 제품 검사 시간을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.Next, the present invention is capable of inspecting the TFT array substrate module as a whole using a PDLC, thereby reducing inspection cost. In other words, it is possible to inspect the driving performance of the TFT element in addition to the inspection of the stain, and the inspection can be performed before cutting in units of cells, so that a large-area inspection is possible, and the inspection time of the LCD product can be drastically reduced.

또한 오토 매크로(auto macro) 기능이 구현이 가능하고, 어레이 테스터(array tester)의 기능을 포함시킬 수 있으며, 또한 매뉴얼 매크로(manual macro)의 기능도 구현 가능하여, 자동광학검사기(AOI; automated optical inspection)의 대체가 가능함에 따라 각종 검사 장비의 수를 획기적으로 줄일 수 있고, 이에 따라 검사 장비 투자 비용, 풋 프린트(foot print) 감소에 의한 건설 및 운전 비용 등을 절감할 수 있다.In addition, auto macro functions can be implemented, array tester functions can be included, and manual macro functions can be implemented. Thus, automatic optical inspection (AOI) inspection, it is possible to drastically reduce the number of various inspection equipments, thereby reducing the investment cost of the inspection equipment and the construction and operation cost by reducing the foot print.

Claims (12)

검사할 TFT 어레이 기판모듈에 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;A backlight unit for irradiating light to the TFT array substrate module to be inspected; 상기 백라이트 유닛의 상부에 부착되며, 상기 검사할 TFT 어레이 기판모듈이 상부에 투입되어 밀착되고, 상기 TFT 어레이 기판모듈의 검사 후 상기 TFT 어레이 기판모듈과 분리되는 액정시트와;A liquid crystal sheet attached to an upper portion of the backlight unit, the TFT array substrate module to be inspected being put on the upper portion to be closely contacted and separated from the TFT array substrate module after inspection of the TFT array substrate module; 상기 액정시트와 검사할 TFT 어레이 기판모듈, 또는 상기 TFT 어레이 기판모듈에 구동 신호를 입력하는 구동 신호 입력부를 포함함으로써,And a driving signal input unit for inputting a driving signal to the TFT array substrate module or the TFT array substrate module to be inspected, 상기 액정시트의 상부에 상기 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 투입, 밀착시킴으로써 상기 TFT 어레이 기판모듈에 대한 합착 후의 상태를 구현한 상태에서 상기 TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사하도록 구성되고,And inspecting whether or not the TFT array substrate module is defective in a state in which the state after the coalescence of the TFT array substrate module is implemented by putting the TFT array substrate module to be inspected on the upper portion of the liquid crystal sheet, 상기 TFT 어레이 기판모듈을 검사 후 용이하게 분리하기 위하여 상기 TFT 어레이 기판모듈의 검사과정을 진공분위기 하에서 실시할 수 있게 하는 진공 챔버를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.And a vacuum chamber for inspecting the TFT array substrate module in order to easily separate the TFT array substrate module after inspecting the TFT array substrate module in a vacuum atmosphere. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 액정시트는 상부 보호막과 하부 보호막 사이에 액정이 주입된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.Wherein the liquid crystal sheet has a liquid crystal injected between an upper protective film and a lower protective film. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 액정시트는, 상기 백라이트 유닛에 바로 도포된 액정과; 상기 액정 위에 설치되어 상기 액정을 보호하는 보호 유리 또는 보호막으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.The liquid crystal sheet includes: a liquid crystal immediately applied to the backlight unit; And a protection glass or a protective film provided on the liquid crystal to protect the liquid crystal. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 액정시트에는 고분자분산형 액정(PDLC)이 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.Wherein the liquid crystal sheet comprises a polymer dispersed liquid crystal (PDLC). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 백라이트 유닛과 액정시트 사이에는 편광필름이 구비된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.And a polarizing film is provided between the backlight unit and the liquid crystal sheet. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 검사할 TFT 어레이 기판모듈 또는 그 전방의 검사 장비 쪽에는 편광필름이 구비된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.Wherein a polarizing film is provided on a side of the TFT array substrate module to be inspected or on an inspection equipment front side thereof. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 액정시트에는 투명 도전막이 구비되어 상기 구동 신호 입력부에 연결되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 장치.Wherein the liquid crystal sheet is provided with a transparent conductive film and connected to the driving signal input unit. 청구항 1에 기재된 검사 장치를 이용하는 것으로서,An inspection apparatus according to claim 1, 백라이트 유닛의 상부에 액정시트를 부착하고, 구동 회로를 구성하여 세팅하는 단계와;Attaching a liquid crystal sheet to an upper part of the backlight unit, and constituting and setting a driving circuit; 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 상기 액정시트의 상부에 투입하는 단계와;Placing a TFT array substrate module to be inspected on top of the liquid crystal sheet; 상기 단계 후에 검사할 TFT 어레이 기판모듈에 구동회로를 연결함과 아울러 상기 액정시트에 검사할 TFT 어레이 기판모듈을 밀착시켜 상기 TFT 어레이 기판모듈에 대한 합착 후 상태를 구현하는 단계와;Connecting the driving circuit to the TFT array substrate module to be inspected after the step and bonding the TFT array substrate module to be inspected to the liquid crystal sheet to implement the post-bonding state of the TFT array substrate module; 상기 단계 후에 백라이트 유닛을 점등한 상태에서, 구동 신호를 변경시키면서 상기 TFT 어레이 기판모듈의 불량 여부를 검사하는 단계를 포함하고,And checking whether the TFT array substrate module is defective while changing the driving signal in a state in which the backlight unit is turned on after the step, 상기 불량 여부를 검사하는 단계 후에 검사가 완료된 TFT 어레이 기판모듈을 액정시트로부터 분리하여 배출하고, 새로 검사할 다른 TFT 어레이 기판모듈을 액정시트의 상부에 투입하여 TFT 어레이 기판모듈을 바꾸어 가면서 검사하며,Separating the TFT array substrate module having been inspected from the liquid crystal sheet and discharging it, inserting another TFT array substrate module to be inspected into the upper portion of the liquid crystal sheet to inspect the TFT array substrate module while changing the TFT array substrate module, 상기 TFT 어레이 기판모듈의 분리가 용이하도록 상기 전체 공정을 진공 챔버의 내부에서 실시하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 방법.Wherein the entire process is performed inside the vacuum chamber so as to facilitate separation of the TFT array substrate module. 청구항 8에 있어서,The method of claim 8, 상기 불량 여부 검사는 육안 검사, 촬상소자를 이용한 이미지 검사 중 적어도 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 합착 전 검사 방법.Wherein the defect inspection is performed using at least one of a visual inspection and an image inspection using an image pickup device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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