KR101423661B1 - Glass substrate cooling apparatus - Google Patents

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(주)신성이엔지
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Abstract

본 발명의 글래스 냉각장치는, 컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서, 컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임; 상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러; 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛; 상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 글래스 냉각장치를 컨베이어의 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.A glass cooling apparatus according to the present invention is a glass cooling apparatus installed on a conveyor and cooled during conveyance of a glass, comprising: a frame installed in a conveyance path of a conveyor; A plurality of rollers installed in the frame and rotated to move the glass; A fan filter unit installed in the frame to supply a cooling air stream in a clean state by sucking outside air; And a nozzle chamber in which a plurality of nozzles are formed to jet the cooling air flow generated in the fan filter unit toward the glass.
Accordingly, the glass cooling device is installed on the conveyance path of the conveyor, so that the glass heated to 100 ° C or more in the LCD / OLED or thin film solar cell manufacturing process can be cooled to room temperature for a short time.

Description

글래스 냉각장치{GLASS SUBSTRATE COOLING APPARATUS}[0001] GLASS SUBSTRATE COOLING APPARATUS [0002]

본 발명은 글래스 냉각장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정 중에 고온으로 가열된 글래스를 냉각하기 위한 CP(Cool plate)를 대체 혹은 보완하는 목적으로 글래스를 이송 중 냉각하는 글래스 냉각장치에 관한 것이다.
[0001] The present invention relates to a glass cooling apparatus, and more particularly, to a glass cooling apparatus for cooling or cooling a glass for the purpose of replacing or supplementing a CP (Cool plate) for cooling a glass heated at a high temperature during an LCD / To a glass cooling apparatus.

일반적으로 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정 중에는 글래스를 세정 후 또는 글래스에 유기막을 도포 후에 필요에 따라 글래스를 100도 이상의 고온으로 가열 후 다음 공정에서의 레시피에 따라 상온으로 냉각시켜야하는 과정을 거치게 된다.Generally, during the LCD / OLED or thin-film solar cell manufacturing process, after the glass is cleaned or the organic film is applied to the glass, the glass is heated to a high temperature of 100 ° C or higher and cooled to room temperature according to the recipe in the next process do.

이와 같은 글래스의 냉각을 담당하는 장비를 일반적으로 CP(Cool plate)장비라고 부른다. Such a device for cooling glass is generally referred to as a CP (cool plate) device.

그러나, 한정된 CP장비로 글래스를 냉각 시에는 그 소요되는 시간으로 인하여 생산 또는 물류 상 병목현상이 일어나는 문제점이 발생하게 된다.However, when the glass is cooled by the limited CP equipment, the time required for cooling the glass causes a bottleneck in production or distribution.

이러한 문제점을 개선하여 생산성 향상을 위해서는 고가의 CP장비의 추가설치를 하여야 하지만 이는 생산원가가 상승하게 됨과 더불어 기존 생산라인의 경우 공간상의 제약으로 추가설치가 불가능한 문제점이 있다.In order to improve the productivity and improve the productivity, it is necessary to install an expensive CP equipment. However, this increases the production cost.

따라서 생산성 향상을 위하여 냉각 공정을 보다 단순화하고 시간을 단축하려는 연구가 진행되고 있다
Therefore, studies are underway to simplify the cooling process and shorten the time to improve the productivity

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 컨베이어 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 글래스 냉각장치를 제공하는데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems of the related art, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a thin film solar cell, And to provide a glass cooling apparatus capable of cooling.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 글래스 냉각장치는, 컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서, 컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임; 상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러; 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛; 상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a glass cooling apparatus provided in a conveyor for cooling during conveyance of glass, comprising: a frame installed in a conveyance path of a conveyor; A plurality of rollers installed in the frame and rotated to move the glass; A fan filter unit installed in the frame to supply a cooling air stream in a clean state by sucking outside air; And a nozzle chamber in which a plurality of nozzles are formed to jet the cooling air flow generated in the fan filter unit toward the glass.

또한, 상기 노즐챔버는, 상기 팬필터유닛에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버와, 상기 흡입챔버를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐이 형성된 토출챔버로 구분 형성되는 것을 특징으로 한다.The nozzle chamber may be divided into a suction chamber into which the cooling air sucked by the fan filter unit flows and a discharge chamber in which the nozzle is formed to discharge the cooling air flowing through the suction chamber.

또한, 상기 팬필터유닛은 프레임에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버는 2개의 팬필터 유닛에 각각 대응되게 2개로 분할형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, two fan filter units are provided so as to face each other on the frame, and the suction chambers are divided into two corresponding to the two fan filter units.

또한, 상기 토출챔버는 글래스의 진행방향을 기준으로 전방챔버와 후방챔버로 구분 형성되되, 상기 전방챔버와 후방챔버에는 각각 노즐이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the discharge chamber is divided into a front chamber and a rear chamber based on a traveling direction of the glass, and nozzles are formed in the front chamber and the rear chamber, respectively.

또한, 상기 전방챔버는 글래스보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버는 글래스보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 상면을 향해 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The front chamber is positioned below the glass and is configured to emit a cooling air stream toward the lower surface of the glass. The rear chamber is located above the glass and is configured to emit the cooling air toward the upper surface of the glass do.

또한, 상기 후방챔버와 프레임 사이에는 글래스의 이송을 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, an opening for transferring the glass is formed between the rear chamber and the frame.

또한, 상기 노즐의 내측으로 타공판이 설치되는 것을 특징으로 한다.
In addition, a perforated plate is installed inside the nozzle.

본 발명에 따른 글래스 냉각장치에 따르면, 글래스 냉각장치를 컨베이어의 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.According to the glass cooling apparatus of the present invention, the glass cooling apparatus is provided on the conveying path of the conveyor to cool the glass heated to 100 ° C or more in the LCD / OLED or thin film solar cell manufacturing process to room temperature for a short time .

결국, 고온으로 가열된 글래스는 컨베이어를 따라 이동하는 중에 냉각이 이루어진다.As a result, the glass heated to a high temperature is cooled while moving along the conveyor.

더욱이, 기존의 고가 CP장비를 대체 또는 보완할 수 있게 된다.Furthermore, it is possible to replace or supplement existing high cost CP equipment.

마지막으로, 고온의 글래스가 이동 공정 중에 냉각됨으로 인해 냉각에 소요되는 시간이 단축되어 생산성 향상을 이룰 수 있게 된다.Finally, since the high-temperature glass is cooled during the moving process, the time required for cooling can be shortened and productivity can be improved.

또한, 전방챔버, 후방챔버 및 상기 전,후방챔버의 노즐에 설치된 타공판에 의해 글래스의 전면과 후면을 향해 균일한 압력으로 냉기를 토출할 수 있어 글래스는 균일한 온도분포를 유지하면 냉각된다.
Further, cold air can be discharged at uniform pressure toward the front and back surfaces of the glass by the front chamber, the rear chamber, and the perforated plates provided in the nozzles of the front and rear chambers, so that the glass is cooled when a uniform temperature distribution is maintained.

도 1은 본 발명에 따른 글래스 냉각장치를 분해 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 정면도이다.
도 4는 도 2의 측면도이다.
도 5는 도 3의 'a-a'부 단면도이다.
도 6은 냉각기류를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing an exploded view of a glass cooling apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the coupled state of FIG. 1. FIG.
3 is a front view of Fig.
4 is a side view of Fig.
5 is a cross-sectional view taken along line 'a-a' in FIG.
6 is a view showing a cooling air flow.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 글래스 냉각장치를 분해 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 정면도이고, 도 4는 도 2의 측면도이며, 도 5는 도 3의 'a-a'부 단면도이고, 도 6은 냉각기류를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a perspective view showing an exploded view of the glass cooling apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a coupled state of FIG. 1, FIG. 3 is a front view of FIG. 2, 5 is a sectional view taken along the line 'a-a' in FIG. 3, and FIG. 6 is a view showing a cooling air flow.

도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 컨베이어(C)의 이송결로 상에 설치되어 글래스(G)의 이송중에 냉각하는 본 발명에 따른 글래스 냉각장치(A)는, 컨베이어(C)의 이송 경로에 설치되는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 설치되며 글래스(G)가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러(200)와, 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임(100)에 설치된 팬필터유닛(300) 및 상기 팬필터유닛(300)에서 발생된 냉각기류를 글래스(G)를 향해 분사하도록 노즐(401)이 형성된 노즐챔버(400)로 구성된다.1 to 6, the glass cooling apparatus A according to the present invention, which is provided on the conveying condensation of the conveyor C and cooled during conveyance of the glass G, A plurality of rollers 200 mounted on the frame 100 and rotated so as to move the glass G so as to supply a cooling air stream in a clean state by sucking outside air; And a nozzle chamber 400 in which a nozzle 401 is formed to jet the cooling air flow generated in the fan filter unit 300 toward the glass G. [

먼저, 상기 프레임(100)은 전체적인 틀을 형성하며, 그 바닥으로 컨베이어(C)와의 높이를 조절하기 위한 회전 받침대(101)가 구비된다.First, the frame 100 forms an overall frame, and the bottom of the frame 100 is provided with a rotation support 101 for adjusting the height thereof with the conveyor.

또한, 상기 롤러(200)는 프레임(100)에 자전가능하게 설치된다.In addition, the roller 200 is rotatably mounted on the frame 100.

그리고, 상기 팬필터유닛(300)은 송풍팬, 모터 및 필터 등으로 이루어지며, 상기 필터는 수 미크론의 파티클(particle)을 여과하여 글래스(G)로 파티클이 분사되는 것을 방지하게 된다.The fan filter unit 300 includes a blowing fan, a motor, and a filter. The filter filters particles of several microns to prevent particles from being injected into the glass G.

더욱이, 본 발명에서의 팬필터유닛(300)은 소형이고 얇은 팬필터유닛의 일종인 EFU(Equipment Fan Filter Unit)가 적용되는 것이 바람직하다.Furthermore, it is preferable that the fan filter unit 300 according to the present invention is applied to an equipment fan filter unit (EFU) which is a small and thin fan filter unit.

이러한, 흡입공기를 여과하여 토출하는 팬필터유닛(300)은 이미 종래에 많이 사용되고 있는 것이므로, 이에 대한 내부 구조 및 동작에 관한 상세한 설명은 생략한다.Since the fan filter unit 300 for filtering and discharging the intake air has already been widely used in the past, a detailed description of its internal structure and operation will be omitted.

한편, 상기 노즐챔버(400)는, 상기 팬필터유닛(300)에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버(410)와, 상기 흡입챔버(410)를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐(401)이 형성된 토출챔버(420)로 구분 형성된다. 더욱이, 상기 흡입챔버(410)와 토출챔버(420)는 내부가 서로 연통된다.The nozzle chamber 400 includes a suction chamber 410 through which the cooling air sucked by the fan filter unit 300 flows and a nozzle 430 through which the cooling air flowed through the suction chamber 410 is discharged. 401 are formed. In addition, the suction chamber 410 and the discharge chamber 420 communicate with each other.

또한, 상기 팬필터유닛(300)은 프레임(100)에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버(410)는 2개의 팬필터유닛(300)에 각각 대응되게 2개로 분할형성된다.Two fan filter units 300 are provided on the frame 100 so as to face each other and the suction chambers 410 are divided into two corresponding to the two fan filter units 300 respectively.

그리고, 상기 토출챔버(420)는 글래스(G)의 진행방향을 기준으로 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)로 구분 형성되되, 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)에는 각각 노즐(401)이 형성된다.The discharge chamber 420 is divided into a front chamber 420a and a rear chamber 420b on the basis of the traveling direction of the glass G. In the front chamber 420a and the rear chamber 420b, (401) is formed.

한편, 상기 전방챔버(420a)는 글래스(G)보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스(G)의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버(420b)는 글래스(G)보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스(G)의 상면을 향해 분사하도록 구성된다.The front chamber 420a is positioned below the glass G and is configured to inject a cooling air stream toward the lower surface of the glass G. The rear chamber 420b is positioned above the glass G And is configured to jet the cooling air stream toward the upper surface of the glass (G).

더욱이, 상기 노즐(401)은 장공 형태로 관통 형성되거나 다수의 홀이 길이방향으로 복수개 형성될 수도 있음은 물론이다.Needless to say, the nozzle 401 may be formed in a long hole or a plurality of holes may be formed in the longitudinal direction.

이에 따라, 도 6과 같이 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)가 크로스 배치되어 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)에 형성된 노즐(401)을 통해 글래스(G)의 상면과 하면을 향해 고르게 냉각기류를 분사하여 냉각성능 및 글래스(G)의 온도 균일도가 향상된다.6, the front chamber 420a and the rear chamber 420b are disposed in a cross arrangement so that the upper surface of the glass G and the upper surface of the glass G are connected to each other through the nozzles 401 formed in the front chamber 420a and the rear chamber 420b. So that the cooling performance and the temperature uniformity of the glass (G) are improved.

또한, 상기 후방챔버(420b)와 프레임(100) 사이에는 글래스(G)의 이송을 위한 개구부(110)가 형성된다.Between the rear chamber 420b and the frame 100, an opening 110 for conveying the glass G is formed.

그리고, 상기 노즐(401)의 내측으로 도 5와 같이 타공판(402)이 설치되어 노즐(401)로 분사되는 토출 압력을 균일하게 유지시켜 준다.As shown in FIG. 5, a piercing plate 402 is installed inside the nozzle 401 to uniformly maintain the discharge pressure injected by the nozzle 401.

구체적으로, 2개의 팬필터유닛(300)에서 발생된 냉각기류는 흡입챔버(410)를 거쳐 토출챔버(420)로 전달되며, 이때 상기 토출챔버(420)의 양측부터 냉각기류가 유입되는 바, 상기 토출챔버(420) 중앙의 노즐(401)은 토출챔버(420) 양측의 노즐(401)보다 상대적으로 압력이 낮게 되며 이를 상기 타공판(402)에 의해 상쇄시켜 냉각기류의 분사압력을 균일하게 해준다.Specifically, the cooling air flow generated by the two fan filter units 300 is transmitted to the discharge chamber 420 through the suction chamber 410. At this time, the cooling air flows from both sides of the discharge chamber 420, The nozzles 401 at the center of the discharge chamber 420 are relatively lower in pressure than the nozzles 401 at both sides of the discharge chamber 420 and are canceled by the perforated plate 402 to uniformize the jetting pressure of the cooling airflow .

본 발명에 따르면, 본 발명의 글래스 냉각장치(A)를 컨베이어(C) 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스(G)를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the glass cooling apparatus A according to the present invention is installed on the conveying path of the conveyor C so that the glass (G) heated to 100 ° C or more in the LCD / OLED or thin- So that it is possible to cool it.

결국, 고온으로 가열된 글래스(G)는 컨베이어(C)를 따라 이동하는 중에 냉각이 이루어진다.As a result, the glass (G) heated to a high temperature is cooled while moving along the conveyor (C).

더욱이, 기존의 고가 CP장비를 대체 또는 보완할 수 있게 된다.Furthermore, it is possible to replace or supplement existing high cost CP equipment.

마지막으로, 고온의 글래스(G)가 이동 공정 중에 냉각됨으로 인해 냉각에 소요되는 시간이 단축되어 생산성 향상을 이룰 수 있게 된다.Finally, since the high-temperature glass (G) is cooled during the moving process, the time required for cooling is shortened and the productivity can be improved.

또한, 상기 전방챔버(420a), 후방챔버(420b) 및 상기 전,후방챔버(420a,420b)의 노즐(401)에 설치된 타공판(402)에 의해 글래스(G)의 전면과 후면을 향해 균일한 압력으로 냉기를 토출할 수 있어 글래스(G)는 균일한 온도분포를 유지하면 냉각된다.
The front and rear chambers 420a and 420b of the front and rear chambers 420a and 420b are uniformly arranged toward the front and back surfaces of the glass G by the front and rear chambers 420a and 420b, The cool air can be discharged by the pressure, and the glass (G) is cooled when the uniform temperature distribution is maintained.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

A - 글래스 냉각장치 100 - 프레임
200 - 롤러 300 - 팬필터유닛
400 - 노즐챔버 401 - 노즐A - Glass Cooling System 100 - Frame
200 - Roller 300 - Fan filter unit
400 - nozzle chamber 401 - nozzle

Claims (7)

컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서, 컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임; 상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러; 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛; 상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하되,
상기 노즐챔버는, 상기 팬필터유닛에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버와, 상기 흡입챔버를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐이 형성된 토출챔버로 구분 형성되며,
상기 토출챔버는 글래스의 진행방향을 기준으로 전방챔버와 후방챔버로 구분 형성되되, 상기 전방챔버와 후방챔버에는 각각 노즐이 형성되고,
상기 전방챔버는 글래스보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버는 글래스보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 상면을 향해 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
A glass cooling apparatus installed in a conveyor for cooling during conveyance of a glass, comprising: a frame installed in a conveyance path of a conveyor; A plurality of rollers installed in the frame and rotated to move the glass; A fan filter unit installed in the frame to supply a cooling air stream in a clean state by sucking outside air; And a nozzle chamber in which a plurality of nozzles are formed to jet the cooling air flow generated in the fan filter unit toward the glass,
Wherein the nozzle chamber is divided into a suction chamber into which a cooling air flow sucked in the fan filter unit flows and a discharge chamber in which the nozzle is formed to discharge a cooling air flow introduced through the suction chamber,
The discharge chamber is divided into a front chamber and a rear chamber based on a traveling direction of the glass. A nozzle is formed in each of the front chamber and the rear chamber,
Wherein the front chamber is located below the glass and is configured to emit a cooling air stream toward a lower surface of the glass, wherein the rear chamber is positioned above the glass and the cooling air stream is directed toward the upper surface of the glass. Cooling device.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 팬필터유닛은 프레임에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버는 2개의 팬필터 유닛에 각각 대응되게 2개로 분할형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
The method according to claim 1,
Wherein two of the fan filter units are provided so as to face each other in the frame, and the suction chambers are divided into two corresponding to the two fan filter units.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 후방챔버와 프레임 사이에는 글래스의 이송을 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
The method according to claim 1,
And an opening for transferring the glass is formed between the rear chamber and the frame.
제 1항에 있어서,
상기 노즐의 내측으로 타공판이 설치되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
The method according to claim 1,
And a perforated plate is installed inside the nozzle.
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