KR20130049866A - The apparatus for drying the substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for drying a flat display panel is provided to control the pressure of compressed air and to remove moisture remaining on a micro pattern by using heating lamps. CONSTITUTION: A panel transfer part(10) transfers a flat display panel in one direction. A compressed air injection part(20) sprays compressed air from the upper surface of the panel transfer part to the flat display panel. A heating lamp(30) heats the flat display panel. An irradiation area control part is formed in the lower part of the heating lamp and controls the light emitted from the heating lamp.

Description

평판표시패널 건조 장치{THE APPARATUS FOR DRYING THE SUBSTRATE}Flat Panel Display Dryer {THE APPARATUS FOR DRYING THE SUBSTRATE}

본 발명은 평판표시패널 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 낮은 분사압력의 압축 공기를 사용하면서도 평판표시패널의 다양한 영역을 부분적으로 건조하거나 하나의 건조 장치로 다양한 크기의 평판표시패널을 건조시킬 수 있는 평판표시패널 건조 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display panel drying apparatus, and more particularly, to partially dry various areas of a flat panel display panel while using compressed air of low injection pressure, or to dry flat panel panels of various sizes with a single drying device. A flat panel display panel drying apparatus can be provided.

일반적으로 평판표시패널(Flat Panel Display)이라 함은 LCD, PDP, OLED, FED 등과 같이, 평면 형상으로 제조되어 영상을 표시하는 패널을 말한다. 이러한 평판표시패널은 정보화시대의 급속한 진행에 따라 그 수요가 기하급수적으로 증가하고 있으며, 자동 생산라인에서 다양한 공정을 거치면서 유리 기판 등의 패널 위에 소자를 구성하여 제조된다. In general, a flat panel display refers to a panel that is manufactured in a planar shape and displays an image, such as an LCD, a PDP, an OLED, and a FED. Such flat panel display panels are growing exponentially with the rapid progress of the information age, and are manufactured by constructing devices on panels such as glass substrates through various processes in automatic production lines.

평판표시패널의 제조 과정에서는 다양한 공정을 거치는 가운데, 반드시 기판을 세정하는 공정이 진행된다. 그리고 세정 공정이 완료된 후에는 세정에 사용된 순수(DeIonized Water)를 완전히 건조하여 제거하는 건조 공정이 진행된다. In the manufacturing process of the flat panel display panel, a process of cleaning the substrate is always performed while going through various processes. After the cleaning process is completed, a drying process is performed to completely dry and remove the deionized water used for cleaning.

종래에는 이러한 평판표시패널의 건조 과정에는 에어 나이프(air knife)와 같이 고온 고압의 압축 공기를 평판표시패널 표면에 직접 분사하여 수분을 신속히 제거하는 평판표시패널 건조장치가 많이 사용되고 있다. 그러나 이러한 에어 나이프는 고압의 압축 공기를 이용하므로 0.7mm의 유리 기판에는 사용할 수 있지만, 이보다 얇은 유리 기판 등에는 사용할 수 없는 한계가 있다. Conventionally, a flat panel display panel drying apparatus for rapidly removing moisture by spraying high-temperature, high-pressure compressed air such as an air knife directly onto the surface of a flat panel display panel has been widely used. However, such air knives can be used for 0.7 mm glass substrates because of the use of high pressure compressed air.

또한 최근에는 평판표시패널 내에 형성되는 패턴 사이의 간격이 매우 좁아지면서 세정 과정에서 패턴 사이에 존재하는 수분 덩어리의 크기도 매우 작아지는 경향이 있다. 이러한 작은 크기의 수분 덩어리는 기존의 에어 나이프로는 제거가 쉽지 않은 상황이다. In addition, recently, the interval between patterns formed in the flat panel display panel becomes very narrow, and the size of the water mass existing between the patterns in the cleaning process tends to be very small. These small sized droplets of water are not easily removed by conventional air knives.

따라서 최근에 개발된 건조장치는 가열 램프를 추가적으로 구비하여 종래의 에어 나이프보다는 낮은 압력의 압축공기를 사용하면서도 미세 패턴 사이의 수분도 제거할 수 있도록 그 사용 범위를 확대하였다. Accordingly, recently developed drying apparatus has a heating lamp, and thus, the use range of the compressed air is lowered than that of the conventional air knife so as to remove moisture between fine patterns.

그러나 이러한 종래의 건조장치는 특정 평판표시패널의 특정 영역만을 선택적으로 건조하거나 다양한 평판표시패널에 대하여 대응할 수 없는 문제점이 있다. However, such a conventional drying apparatus can not selectively dry only a specific region of a specific flat panel display panel, and can not cope with various flat panel display panels.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 낮은 분사압력의 압축 공기를 사용하면서도 평판표시패널의 다양한 영역을 부분적으로 선택하여 건조하거나 하나의 건조장치를 사용하여 다양한 크기의 평판표시패널을 건조시킬 수 있는 평판표시패널 건조 장치를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is a flat plate that can dry the flat panel display panel of various sizes using a single drying device or partially by selecting various areas of the flat panel display panel while using compressed air of low injection pressure A display panel drying apparatus is provided.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시패널 건조 장치는, 상면이 노출된 상태로 평판표시패널을 일정한 방향으로 이송시키는 패널 이송부; 상기 패널 이송부의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널 방향으로 압축공기를 분사하는 압축공기 분사부; 상기 압축공기 분사부에 설치되며, 상기 평판표시패널과 그 상측 공간을 가열하는 가열램프; 및 상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 조사영역을 조절하는 조사 영역 조절부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display panel drying apparatus including: a panel transfer unit for transferring a flat panel display panel in a predetermined direction with an upper surface exposed; A compressed air injecting unit installed above the panel conveying unit to inject compressed air in the direction of the flat panel display panel; A heating lamp installed in the compressed air spraying unit for heating the flat panel display panel and a space above the flat panel display panel; And an irradiation area adjusting unit installed below the heating lamp and adjusting an irradiation area of light emitted from the heating lamp.

그리고 상기 압축공기 분사부에는, 중앙에 상기 가열램프가 안착되는 램프 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. Preferably, the compressed air jetting portion is formed with a lamp seating groove in which the heating lamp is seated in the center.

또한 본 발명의 평판표시패널 건조 장치에는, 상기 압축공기 분사부에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부에서 분사되는 압축공기를 흡입하여 배기하는 배기부가 더 구비되는 것이 바람직하다.It is also preferable that the flat panel display panel drying apparatus of the present invention further includes an exhaust unit installed adjacent to the compressed air ejecting unit and sucking and exhausting the compressed air ejected from the compressed air ejecting unit.

여기에서 상기 압축공기 분사부는, 상기 배기부 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하는 다수개의 분사노즐을 구비하는 것이 바람직하다.The compressed air injector may include a plurality of injection nozzles that inject compressed air in an inclined direction toward the exhaust part.

그리고 상기 조사 영역 조절부는, 상기 압축공기 분사부의 하단에 설치되며, 상기 램프 안착홈의 일부 또는 전부를 가릴 수 있는 셔터; 및 상기 셔터를 상기 램프 안착홈 방향으로 전후진시키는 셔터 구동수단;을 포함하는 것이 바람직하다. The irradiation area regulating unit may include a shutter installed at a lower end of the compressed air injecting unit and capable of covering a part or all of the lamp seating groove; And shutter driving means for moving the shutter backward and forward in the direction of the lamp seating groove.

그리고 상기 셔터는, 다수개의 조각으로 분리되며, 상기 셔터 구동수단은 각 셔터 조각을 분리하여 구동하는 것이 바람직하다. Preferably, the shutter is divided into a plurality of pieces, and the shutter driving means separates and drives the respective shutter pieces.

본 발명에 따르면 다수개의 가열 램프를 사용하므로 압축공기의 압력을 낮게 조정하면서도 미세 패턴에 잔존하는 수분도 제거할 수 있으며, 조사 영역 조절부를 구비하여 하나의 평판표시패널에 대하여 특정한 영역만을 선택적으로 건조하거나 특정한 영역에 대한 근적외선 조사를 차단할 수 있는 장점이 있다. According to the present invention, since a plurality of heating lamps are used, moisture remaining in a fine pattern can be removed while adjusting the pressure of compressed air, and an irradiation area adjusting unit is provided to selectively dry only a specific area Or to block near-infrared irradiation on a specific area.

또한 상기 조사 영역 조절부를 다수개의 조각으로 분리하여 다양한 크기의 평판표시패널에 대하여 대응할 수 있으며, 상기 셔터의 특정 영역에 개구부를 구성하고 이 개구부를 이동시킬 수 있으므로 평판표시 패널에 대하여 다양한 형태의 건조 작업을 진행할 수 있는 장점이 있다. In addition, the irradiation area regulating unit can be divided into a plurality of pieces to correspond to various sizes of flat panel display panels, and an opening can be formed in a specific area of the shutter and the opening can be moved. Therefore, There is an advantage that work can proceed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시패널 건조장치의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조사 영역 조절부의 구조 및 작동 상태를 도시하는 저면도이다. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a flat panel display panel drying apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a bottom view showing the structure and operating state of the irradiation area adjusting unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 패널 이송부(10), 압축공기 분사부(20), 가열램프(30), 조사 영역 조절부(40) 및 배기부(50)를 포함하여 구성된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment includes a panel conveying unit 10, a compressed air spraying unit 20, a heating lamp 30, an irradiation area adjusting unit 40, and a ship. And a base 50.

먼저 상기 패널 이송부(10)는 제조 중인 평판표시패널(P)을 수평 방향으로 이송시키는 구성요소이다. 이 패널 이송부(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 컨베이어, 롤러 등 다양한 구조를 가질 수 있다. First, the panel transferring unit 10 is a component for horizontally transferring the flat panel display panel P being manufactured. The panel transferring unit 10 may have various structures such as a conveyor and a roller as shown in FIG.

본 실시예에서는 상기 패널 이송부(10)에 의하여 이송되는 평판표시패널(P)이 도 1에 도시된 바와 같이, 상면이 상측으로 노출된 상태로 이송된다. 이는 상기 평판표시패널(P)을 일정한 속도로 이송시키면서 노출된 면을 건조시키기 때문이다. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the flat panel display panel P transported by the panel transporting unit 10 is transported in such a state that its top surface is exposed upward. This is because the exposed surface is dried while the flat panel display panel P is transported at a constant speed.

다음으로 상기 압축공기 분사부(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 패널 이송부(10)의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널(P) 방향으로 압축공기를 분사하는 구성요소이다. 이 압축공기 분사부(20)는 외부에 설치되어 있는 압축 공기 공급원(도면에 미도시)과 연결되는 압축공기 공급관(28)과 연결된다. 그리고 상기 압축 공기 공급원은 일반적으로 압축공기를 공급하는 컴프레셔 등으로 구성될 수 있으며, 공급되는 압축공기를 가열하기 위한 히터(도면에 미도시)가 압축공기 공급관(28)의 중간 부분에 더 구비될 수도 있다. As shown in FIG. 1, the compressed air injecting unit 20 is disposed above the panel transferring unit 10 and injects compressed air in the direction of the flat display panel P. As shown in FIG. The compressed air spraying unit 20 is connected to a compressed air supply pipe 28 connected to a compressed air supply source (not shown in the drawing) provided outside. The compressed air supply source may be generally composed of a compressor or the like for supplying compressed air, and a heater (not shown in the figure) for heating the supplied compressed air may be further provided in the middle portion of the compressed air supply pipe 28 It is possible.

한편 본 실시예에서는 상기 압축공기 분사부(20)에 후술하는 가열램프(30)가 설치된다. 따라서 상기 압축공기 분사부(20)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 그 하측 중앙에 램프 안착홈(22)이 형성된다. 이 램프 안착홈(22)은 설치되는 가열 램프(30)의 수에 비례하여 그 면적이 커지게 된다. On the other hand, in the present embodiment, the compressed air injecting section 20 is provided with a heating lamp 30 to be described later. Therefore, as shown in FIG. 1, the compressed air injecting unit 20 is formed with a lamp seating groove 22 at a lower center thereof. The area of the lamp mounting groove 22 is increased in proportion to the number of the heating lamps 30 to be installed.

그리고 상기 압축공기 분사부(20) 중 상기 램프 안착홈(22)의 좌우 측부에는 도 1에 도시된 바와 같이, 압축공기를 평판표시패널에 분사하는 분사 노즐(24)이 형성된다. 상기 분사노즐(24)은 상기 압축공기 공급관(28)과 연결되는 압축공기 이동로(21)와 연통되어 형성된다. 이때 상기 압축공기 이동로(21) 상에는 공급된 압축공기를 균일하게 분사하기 위한 확산부재(26)가 더 구비되는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 1, a spray nozzle 24 for spraying compressed air onto the flat panel display panel is formed on left and right sides of the lamp seating groove 22 of the compressed air spray part 20. The injection nozzle 24 is formed in communication with the compressed air transfer path 21 connected to the compressed air supply pipe 28. In this case, it is preferable that a diffusion member 26 for uniformly spraying the supplied compressed air is further provided on the compressed air transfer path 21.

한편 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 분사 노즐(24)이 후술하는 배기부(50) 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 배기부(50) 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하면, 배기부(50)에 의한 배기 작업이 용이하며, 수분, 파티클 등을 효과적으로 배출할 수 있는 장점이 있다. In this embodiment, as shown in FIG. 1, it is preferable that the injection nozzle 24 is formed to inject compressed air in an inclined manner in the direction of the exhaust part 50 to be described later. When the compressed air is injected obliquely in the direction of the exhaust part 50, the exhaust operation by the exhaust part 50 is easy, and moisture, particles, and the like can be effectively discharged.

다음으로 본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)에서 분사되는 압축공기를 흡입하여 배기하는 배기부(50)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 배기부(50)는 상기 압축공기 분사부(20)에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부(20) 주변의 공기를 흡입하여 배출한다. Next, as shown in FIG. 1, the flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment is further provided with an exhaust unit 50 for sucking and exhausting the compressed air injected from the compressed air injecting unit 20 desirable. The exhaust part 50 is installed adjacent to the compressed air injecting part 20 and sucks and discharges the air around the compressed air injecting part 20.

상기 평판표시패널 건조 장치에 의하여 진행되는 건조 작업 중에는 상기 평판표시패널(P)에서 이탈된 수분이나 파티클(발생할 가능성이 거의 없으나 혹시 발생하는 경우) 등이 주변의 기체와 함께 존재하는데, 상기 배기부(50)에 의하여 이러한 것을 배출하는 것이다. 따라서 본 실시예에서는 효과적인 기체의 배출을 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)의 전 후측에 각각 배기부(50)를 구비한다. During the drying operation carried out by the flat panel display panel drying apparatus, moisture or particles (almost no possibility of occurrence, if any) and the like separated from the flat panel display panel P exist together with the surrounding gas. (50). Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 1, the exhaust unit 50 is provided on the front and rear sides of the compressed air injecting unit 20 for the effective exhaust of the gas.

더 나아가서 상기 패널 이송부(10)의 하부에도 예비적으로 기체 배출을 위한 하부 배기부(60)를 더 구비할 수도 있다. Furthermore, the lower part of the panel transfer part 10 may further include a lower exhaust part 60 for exhausting gas.

다음으로 상기 가열램프(30)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)에 설치되며, 상기 평판표시패널(P)과 그 상측 공간을 가열하는 구성요소이다. 이 가열램프(30)에 의하여 상기 압축공기 분사부(20)와 상기 평판표시패널(P) 사이의 공간이 가열되어 상기 평판표시패널(P) 상의 수분이 건조될 수 있는 최상의 조건을 조성하는 것이다. 본 실시예에서는 상기 가열 램프(30)를 2개 이상 복수개로 설치하며, 필요에 따라 설치되는 가열 램프의 수를 조정할 수 있는 구조를 가진다. 1, the heating lamp 30 is installed in the compressed air spraying unit 20 and is a component for heating the flat panel display panel P and the upper space thereof. The space between the compressed air spraying part 20 and the flat display panel P is heated by the heating lamp 30 to create an optimum condition for drying the moisture on the flat panel display panel P . In this embodiment, a plurality of the above-mentioned heating lamps 30 are provided, and the number of the heating lamps to be installed can be adjusted as necessary.

구체적으로 상기 가열램프(30)는 별도의 설치 지그(32)를 통하여 상기 압축공기 분사부(20) 즉, 램프 설치홈(22)에 설치되는대, 상기 설치 지그(32) 자체를 상기 압축공기 분사부(20)로부터 탈부착할 수 있는 구조로 구성하며, 상기 설치 지그(32)를 설치되는 램프 개수에 따라 다양한 종류로 구성하는 것이다. More specifically, the heating lamp 30 is installed in the compressed air injection part 20, that is, the lamp installation groove 22, through the installation jig 32, And can be detached from the jetting section 20, and the installation jig 32 is constructed in various types according to the number of the installed lamps.

다음으로 상기 조사 영역 조절부(40)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 가열램프(30)의 하측에 설치되며, 상기 가열램프(30)에서 조사되는 빛의 조사영역을 조절하는 구성요소이다. 본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치에서는 상기 조사 영역 조절부(40)를 이용하여 상기 패널 이송부(10)에 의하여 이송되는 평판표시패널(P)의 일부 영역에 대해서만 선택적으로 건조하는 작업이 가능하다. 평판표시패널의 종류에 따라서는 건조되는 영역이 특정한 부분에만 한정되는 경우가 있는데, 이러한 경우에 나머지 부분에 강한 압축공기와 열이 가해지는 것을 방지하기 위함이다. 2, the irradiation region regulating unit 40 is provided below the heating lamp 30 and controls the irradiation region of the light emitted from the heating lamp 30 . The flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment can selectively dry only a part of the flat panel display panel P transported by the panel transporting unit 10 using the irradiation area adjusting unit 40 Do. Depending on the type of the flat panel display panel, the area to be dried may be limited to a specific area. In such a case, strong air and heat are prevented from being applied to the remaining area.

이를 위해 구체적으로 본 실시예에서는 상기 조사 영역 조절부(40)를 셔터(42)와 셔터 구동수단(44)으로 구성한다. 먼저 셔터(42)는 상기 압축공기 분사부(20)의 하측에 설치되며, 상기 램프 안착홈(22)의 일부 또는 전부를 가릴 수 있는 구조를 가진다. 따라서 상기 셔터(42)는 도 2에 도시된 바와 같이, 일정한 영역에 개구된 개구부(46)가 형성되는 구조를 가지거나, 셔터(42)가 다수개의 조각으로 나뉘는 구조를 가질 수도 있다. 셔터가 다수개의 조각으로 나뉘는 경우에는 각 셔터 조각을 분리하여 구동하게 된다. Specifically, in the present embodiment, the irradiation area adjusting unit 40 includes a shutter 42 and a shutter driving unit 44. First, the shutter 42 is installed on the lower side of the compressed air injecting part 20 and has a structure capable of covering a part or all of the lamp seating groove 22. Therefore, the shutter 42 may have a structure in which an opening 46 is opened in a predetermined area as shown in FIG. 2, or may have a structure in which the shutter 42 is divided into a plurality of pieces. When the shutter is divided into a plurality of pieces, each shutter piece is separated and driven.

다음으로 상기 셔터 구동수단(44)은 상기 셔터(42)를 상기 램프 안착홈(22) 방향으로 전후진시키는 구성요소이다. 이 셔터 구동수단(44)은 상기 셔터(42)를 수평방향으로 구동시킬 수 있는 단축 구동수단으로 구성될 수 있으며, 구체적으로는 상기 셔터를 수평이동시키는 동력을 제공하는 모터와 상기 셔터의 수평 이동방향을 안내하는 리니어 가이드로 구성될 수 있다. Next, the shutter driving means 44 is a component that causes the shutter 42 to move back and forth in the direction of the lamp seat groove 22. [ The shutter driving means 44 may be configured as a single-axis driving means capable of horizontally driving the shutter 42. More specifically, the shutter driving means 44 may include a motor for providing a power for moving the shutter horizontally, And a linear guide for guiding the direction.

10 : 패널 이송부 20 : 압축공기 분사부
30 : 가열 램프 40 : 조사 영역 조절부
50 : 배기부10: panel conveying section 20: compressed air jetting section
30: heating lamp 40: irradiation area regulator
50: exhaust

Claims (6)

상면이 노출된 상태로 평판표시패널을 일정한 방향으로 이송시키는 패널 이송부;
상기 패널 이송부의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널 방향으로 압축공기를 분사하는 압축공기 분사부;
상기 압축공기 분사부에 설치되며, 상기 평판표시패널과 그 상측 공간을 가열하는 가열램프;
상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 조사영역을 조절하는 조사 영역 조절부;를 포함하는 평판표시패널 건조 장치.A panel transfer unit for transferring the flat panel display panel in a predetermined direction with the top surface exposed;
A compressed air injecting unit installed above the panel conveying unit to inject compressed air in the direction of the flat panel display panel;
A heating lamp installed in the compressed air spraying unit for heating the flat panel display panel and a space above the flat panel display panel;
And a radiation area adjusting unit disposed below the heating lamp and configured to adjust an irradiation area of light emitted from the heating lamp. 제1항에 있어서, 상기 압축공기 분사부에는,
중앙에 상기 가열램프가 안착되는 램프 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 건조 장치.The air conditioner according to claim 1,
Wherein the lamp mounting groove is formed at the center of the flat panel display panel to receive the heating lamp. 제1항에 있어서,
상기 압축공기 분사부에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부에서 분사되는 압축공기를 흡입하여 배기하는 배기부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 건조 장치.The method of claim 1,
Further comprising an exhaust unit installed adjacent to the compressed air ejecting unit for sucking and exhausting the compressed air ejected from the compressed air ejecting unit. 제3항에 있어서, 상기 압축공기 분사부는,
상기 배기부 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하는 다수개의 분사노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 건조 장치.The air conditioner according to claim 3, wherein the compressed-
And a plurality of spray nozzles for spraying the compressed air obliquely toward the discharge unit. 제2항에 있어서, 상기 조사 영역 조절부는,
상기 압축공기 분사부의 하단에 설치되며, 상기 램프 안착홈의 일부 또는 전부를 가릴 수 있는 셔터; 및
상기 셔터를 상기 램프 안착홈 방향으로 전후진시키는 셔터 구동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 건조 장치.
[3] The apparatus of claim 2,
A shutter installed at a lower end of the compressed air injecting portion and capable of covering a part or all of the lamp seat; And
And shutter driving means for moving the shutter back and forth in the direction of the lamp seat.
제5항에 있어서, 상기 셔터는,
다수개의 조각으로 분리되며, 상기 셔터 구동수단은 각 셔터 조각을 분리하여 구동하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 건조 장치.
The method of claim 5, wherein the shutter,
The flat panel display panel drying apparatus, characterized in that is separated into a plurality of pieces, wherein the shutter driving means separate and drive each shutter piece.
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