KR101537337B1 - The apparatus for drying the substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다양한 파장의 적외선 중에서 처리되는 피처리물이나 작업 상황에 적합한 파장을 선택하여 매우 정밀도가 높은 건조 작업을 수행할 수 있는 건조 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 건조 장치는, 상면이 노출된 상태로 평판표시패널을 일정한 방향으로 이송시키는 패널 이송부; 상기 패널 이송부의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널 방향으로 압축공기를 분사하는 압축공기 분사부; 상기 압축공기 분사부에 설치되며, 상기 평판표시패널과 그 상측 공간을 가열하는 가열램프; 상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 파장을 선택하는 파장 선택부; 및 상기 압축공기 분사부에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부 하측을 통과한 패널에 대하여 냉각 기체를 분사하는 냉각부;를 포함하다. The present invention relates to a drying apparatus capable of performing a highly precise drying operation by selecting a target to be processed in infrared rays of various wavelengths or a wavelength suitable for a working situation, A panel transferring unit for transferring the flat panel display panel in a predetermined direction; A compressed air injecting unit installed above the panel conveying unit to inject compressed air in the direction of the flat panel display panel; A heating lamp installed in the compressed air spraying unit for heating the flat panel display panel and a space above the flat panel display panel; A wavelength selector provided below the heating lamp and selecting a wavelength of light emitted from the heating lamp; And a cooling unit installed adjacent to the compressed air ejecting unit and ejecting a cooling gas to the panel passing through the lower side of the compressed air ejecting unit.

Description

ＩＲ 파장 선택이 가능한 건조장치{THE APPARATUS FOR DRYING THE SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a drying apparatus capable of selecting an IR wavelength,

본 발명은 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 파장의 적외선 중에서 처리되는 피처리물이나 작업 상황에 적합한 파장을 선택하여 매우 정밀도가 높은 건조 작업을 수행할 수 있는 건조 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drying apparatus, and more particularly, to a drying apparatus capable of performing a highly precise drying operation by selecting a target to be processed in infrared rays of various wavelengths or a wavelength suitable for a working situation.

일반적으로 평판표시패널(Flat Panel Display)이라 함은 LCD, PDP, OLED, FED 등과 같이, 평면 형상으로 제조되어 영상을 표시하는 패널을 말한다. 이러한 평판표시패널은 정보화시대의 급속한 진행에 따라 그 수요가 기하급수적으로 증가하고 있으며, 자동 생산라인에서 다양한 공정을 거치면서 유리 패널 등의 패널 위에 소자를 구성하여 제조된다. In general, a flat panel display refers to a panel that is manufactured in a planar shape and displays an image, such as an LCD, a PDP, an OLED, and a FED. Such flat panel display panels have been growing exponentially in accordance with the rapid progress of the information age, and they are manufactured by composing devices on panels such as glass panels through various processes in an automatic production line.

평판표시패널의 제조 과정에서는 다양한 공정을 거치는 가운데, 반드시 패널을 세정하는 공정이 진행된다. 그리고 세정 공정이 완료된 후에는 세정에 사용된 순수(DeIonized Water)를 완전히 건조하여 제거하는 건조 공정이 진행된다. In the manufacturing process of the flat panel display panel, the process of cleaning the panel is performed while various processes are being performed. After the cleaning process is completed, a drying process is performed to completely dry and remove the deionized water used for cleaning.

종래에는 이러한 평판표시패널의 건조 과정에는 에어 나이프(air knife)와 같이 고온 고압의 압축 공기를 평판표시패널 표면에 직접 분사하여 수분을 신속히 제거하는 평판표시패널 건조장치가 많이 사용되고 있다. 그러나 이러한 에어 나이프는 고압의 압축 공기를 이용하므로 0.7mm의 유리 패널에는 사용할 수 있지만, 이보다 얇은 유리 패널 등에는 사용할 수 없는 한계가 있다. Conventionally, a flat panel display panel drying apparatus for rapidly removing moisture by spraying high-temperature, high-pressure compressed air such as an air knife directly onto the surface of a flat panel display panel has been widely used. However, since such an air knife uses high-pressure compressed air, it can be used for a 0.7 mm glass panel, but it can not be used for a thinner glass panel or the like.

또한 최근에는 평판표시패널 내에 형성되는 패턴 사이의 간격이 매우 좁아지면서 세정 과정에서 패턴 사이에 존재하는 수분 덩어리의 크기도 매우 작아지는 경향이 있다. 이러한 작은 크기의 수분 덩어리는 기존의 에어 나이프로는 제거가 쉽지 않은 상황이다. In addition, recently, the interval between patterns formed in the flat panel display panel becomes very narrow, and the size of the water mass existing between the patterns in the cleaning process tends to be very small. These small sized droplets of water are not easily removed by conventional air knives.

따라서 최근에 개발된 건조장치는 가열 램프를 추가적으로 구비하여 종래의 에어 나이프보다는 낮은 압력의 압축공기를 사용하면서도 미세 패턴 사이의 수분도 제거할 수 있도록 그 사용 범위를 확대하였다. Accordingly, recently developed drying apparatus has a heating lamp, and thus, the use range of the compressed air is lowered than that of the conventional air knife so as to remove moisture between fine patterns.

그러나 이러한 종래의 건조장치는 특정 평판표시패널의 특정 영역만을 선택적으로 건조하거나 다양한 평판표시패널에 대하여 대응할 수 없는 문제점이 있다. However, such a conventional drying apparatus can not selectively dry only a specific region of a specific flat panel display panel, and can not cope with various flat panel display panels.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 다양한 파장의 적외선 중에서 처리되는 피처리물이나 작업 상황에 적합한 파장을 선택하여 매우 정밀도가 높은 건조 작업을 수행할 수 있는 건조 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a drying apparatus capable of performing a highly precise drying operation by selecting a material to be processed in infrared rays of various wavelengths or a wavelength suitable for a working situation.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 건조 장치는, 상면이 노출된 상태로 평판표시패널을 일정한 방향으로 이송시키는 패널 이송부; 상기 패널 이송부의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널 방향으로 압축공기를 분사하는 압축공기 분사부; 상기 압축공기 분사부에 설치되며, 상기 평판표시패널과 그 상측 공간을 가열하는 가열램프; 상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 파장을 선택하는 파장 선택부; 및 상기 압축공기 분사부에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부 하측을 통과한 패널에 대하여 냉각 기체를 분사하는 냉각부;를 포함하다. According to an aspect of the present invention, there is provided a drying apparatus including: a panel transferring unit for transferring a flat panel display panel in a predetermined direction with an upper surface exposed; A compressed air injecting unit installed above the panel conveying unit to inject compressed air in the direction of the flat panel display panel; A heating lamp installed in the compressed air spraying unit for heating the flat panel display panel and a space above the flat panel display panel; A wavelength selector provided below the heating lamp and selecting a wavelength of light emitted from the heating lamp; And a cooling unit installed adjacent to the compressed air ejecting unit and ejecting a cooling gas to the panel passing through the lower side of the compressed air ejecting unit.

그리고 본 발명에서 상기 파장 선택부는 상기 가열램프 하측에 탈착가능하게 설치되는 필터판넬인 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the wavelength selector is a filter panel detachably installed below the heating lamp.

또한 본 발명의 건조장치에는, 상기 가열 램프가 설치되는 공간에 냉각 매체를 순환시키는 냉각 매체 순환부가 더 구비되는 것이 바람직하다. The drying apparatus of the present invention may further include a cooling medium circulation unit for circulating the cooling medium in a space where the heating lamp is installed.

또한 상기 냉각 매체 순환부는 냉각된 질소 기체를 순환시키는 것이 바람직하다. Further, it is preferable that the cooling medium circulation unit circulates the cooled nitrogen gas.

본 발명에 따르면 다수개의 가열 램프를 사용하므로 압축공기의 압력을 낮게 조정하면서도 미세 패턴에 잔존하는 수분도 제거할 수 있으며, 조사 영역 조절부를 구비하여 하나의 평판표시패널에 대하여 특정한 영역만을 선택적으로 건조하거나 특정한 영역에 대한 근적외선 조사를 차단할 수 있는 장점이 있다. According to the present invention, since a plurality of heating lamps are used, moisture remaining in a fine pattern can be removed while adjusting the pressure of compressed air, and an irradiation area adjusting unit is provided to selectively dry only a specific area Or to block near-infrared irradiation on a specific area.

또한 조사되는 적외선의 파장을 미세하게 선택할 수 있어서, 처리되는 피처리물의 종류 또는 동일한 피처리물에 대해서도 서로 다른 종류의 건조 작업을 수행할 수 있는 장점이 있다. 또한 건조 과정에서 열을 최대한 차단하여 피처리물 표면이 비정상적으로 가열되는 것을 방지할 수 있어서 후속 작업에 적합한 상태를 유지할 수 있는 장점도 있다. In addition, since the wavelength of infrared rays to be irradiated can be finely selected, different kinds of drying operations can be performed on the kind of the object to be treated or the same object to be treated. In addition, it is possible to prevent the surface of the object to be heated abnormally by blocking heat as much as possible during the drying process, thereby maintaining the state suitable for the subsequent work.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건조장치의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조사 영역 조절부의 구조 및 작동 상태를 도시하는 저면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a structure of a drying apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a bottom view showing the structure and operating state of the irradiation area adjusting unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 패널 이송부(10), 압축공기 분사부(20), 가열램프(30), 조사 영역 조절부(40), 배기부(50), 냉각부(60) 및 파장 선택부(70)를 포함하여 구성된다. 1 and 2, the flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment includes a panel conveying unit 10, a compressed air injecting unit 20, a heating lamp 30, an irradiation area adjusting unit 40, A base unit 50, a cooling unit 60, and a wavelength selection unit 70.

먼저 상기 패널 이송부(10)는 제조 중인 평판표시패널(P)을 수평 방향으로 이송시키는 구성요소이다. 이 패널 이송부(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 컨베이어, 롤러 등 다양한 구조를 가질 수 있다. First, the panel transferring unit 10 is a component for horizontally transferring the flat panel display panel P being manufactured. The panel transferring unit 10 may have various structures such as a conveyor and a roller as shown in FIG.

본 실시예에서는 상기 패널 이송부(10)에 의하여 이송되는 평판표시패널(P)이 도 1에 도시된 바와 같이, 상면이 상측으로 노출된 상태로 이송된다. 이는 상기 평판표시패널(P)을 일정한 속도로 이송시키면서 노출된 면을 건조시키기 때문이다. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the flat panel display panel P transported by the panel transporting unit 10 is transported in such a state that its top surface is exposed upward. This is because the exposed surface is dried while the flat panel display panel P is transported at a constant speed.

다음으로 상기 압축공기 분사부(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 패널 이송부(10)의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널(P) 방향으로 압축공기를 분사하는 구성요소이다. 이 압축공기 분사부(20)는 외부에 설치되어 있는 압축 공기 공급원(도면에 미도시)과 연결되는 압축공기 공급관(28)과 연결된다. 그리고 상기 압축 공기 공급원은 일반적으로 압축공기를 공급하는 컴프레셔 등으로 구성될 수 있으며, 공급되는 압축공기를 가열하기 위한 히터(도면에 미도시)가 압축공기 공급관(28)의 중간 부분에 더 구비될 수도 있다. As shown in FIG. 1, the compressed air injecting unit 20 is disposed above the panel transferring unit 10 and injects compressed air in the direction of the flat display panel P. As shown in FIG. The compressed air spraying unit 20 is connected to a compressed air supply pipe 28 connected to a compressed air supply source (not shown in the drawing) provided outside. The compressed air supply source may be generally composed of a compressor or the like for supplying compressed air, and a heater (not shown in the figure) for heating the supplied compressed air may be further provided in the middle portion of the compressed air supply pipe 28 It is possible.

한편 본 실시예에서는 상기 압축공기 분사부(20)에 후술하는 가열램프(30)가 설치된다. 따라서 상기 압축공기 분사부(20)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 그 하측 중앙에 램프 안착홈(22)이 형성된다. 이 램프 안착홈(22)은 설치되는 가열 램프(30)의 수에 비례하여 그 면적이 커지게 된다. On the other hand, in the present embodiment, the compressed air injecting section 20 is provided with a heating lamp 30 to be described later. Therefore, as shown in FIG. 1, the compressed air injecting unit 20 is formed with a lamp seating groove 22 at a lower center thereof. The area of the lamp mounting groove 22 is increased in proportion to the number of the heating lamps 30 to be installed.

그리고 상기 압축공기 분사부(20) 중 상기 램프 안착홈(22)의 좌우 측부에는 도 1에 도시된 바와 같이, 압축공기를 평판표시패널에 분사하는 분사 노즐(24)이 형성된다. 상기 분사노즐(24)은 상기 압축공기 공급관(28)과 연결되는 압축공기 이동로(21)와 연통되어 형성된다. 이때 상기 압축공기 이동로(21) 상에는 공급된 압축공기를 균일하게 분사하기 위한 확산부재(26)가 더 구비되는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 1, a spray nozzle 24 for spraying compressed air onto the flat panel display panel is formed on left and right sides of the lamp seating groove 22 of the compressed air spray part 20. The injection nozzle 24 is formed in communication with the compressed air transfer path 21 connected to the compressed air supply pipe 28. In this case, it is preferable that a diffusion member 26 for uniformly spraying the supplied compressed air is further provided on the compressed air transfer path 21.

한편 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 분사 노즐(24)이 후술하는 배기부(50) 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 배기부(50) 방향으로 경사지게 압축공기를 분사하면, 배기부(50)에 의한 배기 작업이 용이하며, 수분, 파티클 등을 효과적으로 배출할 수 있는 장점이 있다. In this embodiment, as shown in FIG. 1, it is preferable that the injection nozzle 24 is formed to inject compressed air in an inclined manner in the direction of the exhaust part 50 to be described later. When the compressed air is injected obliquely in the direction of the exhaust part 50, the exhaust operation by the exhaust part 50 is easy, and moisture, particles, and the like can be effectively discharged.

다음으로 본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)에서 분사되는 압축공기를 흡입하여 배기하는 배기부(50)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 배기부(50)는 상기 압축공기 분사부(20)에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부(20) 주변의 공기를 흡입하여 배출한다. Next, as shown in FIG. 1, the flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment is further provided with an exhaust unit 50 for sucking and exhausting the compressed air injected from the compressed air injecting unit 20 desirable. The exhaust part 50 is installed adjacent to the compressed air injecting part 20 and sucks and discharges the air around the compressed air injecting part 20.

상기 평판표시패널 건조 장치에 의하여 진행되는 건조 작업 중에는 상기 평판표시패널(P)에서 이탈된 수분이나 파티클(발생할 가능성이 거의 없으나 혹시 발생하는 경우) 등이 주변의 기체와 함께 존재하는데, 상기 배기부(50)에 의하여 이러한 것을 배출하는 것이다. 따라서 본 실시예에서는 효과적인 기체의 배출을 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)의 전 후측에 각각 배기부(50)를 구비한다. During the drying operation carried out by the flat panel display panel drying apparatus, moisture or particles (almost no possibility of occurrence, if any) and the like separated from the flat panel display panel P exist together with the surrounding gas. (50). Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 1, the exhaust unit 50 is provided on the front and rear sides of the compressed air injecting unit 20 for the effective exhaust of the gas.

더 나아가서 상기 패널 이송부(10)의 하부에도 예비적으로 기체 배출을 위한 하부 배기부(60)를 더 구비할 수도 있다. Furthermore, the lower part of the panel transfer part 10 may further include a lower exhaust part 60 for exhausting gas.

다음으로 상기 가열램프(30)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)에 설치되며, 상기 평판표시패널(P)과 그 상측 공간을 가열하는 구성요소이다. 이 가열램프(30)에 의하여 상기 압축공기 분사부(20)와 상기 평판표시패널(P) 사이의 공간이 가열되어 상기 평판표시패널(P) 상의 수분이 건조될 수 있는 최상의 조건을 조성하는 것이다. 본 실시예에서는 상기 가열 램프(30)를 2개 이상 복수개로 설치하며, 필요에 따라 설치되는 가열 램프의 수를 조정할 수 있는 구조를 가진다. 1, the heating lamp 30 is installed in the compressed air spraying unit 20 and is a component for heating the flat panel display panel P and the upper space thereof. The space between the compressed air spraying part 20 and the flat display panel P is heated by the heating lamp 30 to create an optimum condition for drying the moisture on the flat panel display panel P . In this embodiment, a plurality of the above-mentioned heating lamps 30 are provided, and the number of the heating lamps to be installed can be adjusted as necessary.

구체적으로 상기 가열램프(30)는 별도의 설치 지그(32)를 통하여 상기 압축공기 분사부(20) 즉, 램프 설치홈(22)에 설치되는대, 상기 설치 지그(32) 자체를 상기 압축공기 분사부(20)로부터 탈부착할 수 있는 구조로 구성하며, 상기 설치 지그(32)를 설치되는 램프 개수에 따라 다양한 종류로 구성하는 것이다. More specifically, the heating lamp 30 is installed in the compressed air injection part 20, that is, the lamp installation groove 22, through the installation jig 32, And can be detached from the jetting section 20, and the installation jig 32 is constructed in various types according to the number of the installed lamps.

다음으로 상기 조사 영역 조절부(40)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 가열램프(30)의 하측에 설치되며, 상기 가열램프(30)에서 조사되는 빛의 조사영역을 조절하는 구성요소이다. 본 실시예에 따른 평판표시패널 건조 장치에서는 상기 조사 영역 조절부(40)를 이용하여 상기 패널 이송부(10)에 의하여 이송되는 평판표시패널(P)의 일부 영역에 대해서만 선택적으로 건조하는 작업이 가능하다. 평판표시패널의 종류에 따라서는 건조되는 영역이 특정한 부분에만 한정되는 경우가 있는데, 이러한 경우에 나머지 부분에 강한 압축공기와 열이 가해지는 것을 방지하기 위함이다. 2, the irradiation region regulating unit 40 is provided below the heating lamp 30 and controls the irradiation region of the light emitted from the heating lamp 30 . The flat panel display panel drying apparatus according to the present embodiment can selectively dry only a part of the flat panel display panel P transported by the panel transporting unit 10 using the irradiation area adjusting unit 40 Do. Depending on the type of the flat panel display panel, the area to be dried may be limited to a specific area. In such a case, strong air and heat are prevented from being applied to the remaining area.

이를 위해 구체적으로 본 실시예에서는 상기 조사 영역 조절부(40)를 셔터(42)와 셔터 구동수단(44)으로 구성한다. 먼저 셔터(42)는 상기 압축공기 분사부(20)의 하측에 설치되며, 상기 램프 안착홈(22)의 일부 또는 전부를 가릴 수 있는 구조를 가진다. 따라서 상기 셔터(42)는 도 2에 도시된 바와 같이, 일정한 영역에 개구된 개구부(46)가 형성되는 구조를 가지거나, 셔터(42)가 다수개의 조각으로 나뉘는 구조를 가질 수도 있다. 셔터가 다수개의 조각으로 나뉘는 경우에는 각 셔터 조각을 분리하여 구동하게 된다. Specifically, in the present embodiment, the irradiation area adjusting unit 40 includes a shutter 42 and a shutter driving unit 44. First, the shutter 42 is installed on the lower side of the compressed air injecting part 20 and has a structure capable of covering a part or all of the lamp seating groove 22. Therefore, the shutter 42 may have a structure in which an opening 46 is opened in a predetermined area as shown in FIG. 2, or may have a structure in which the shutter 42 is divided into a plurality of pieces. When the shutter is divided into a plurality of pieces, each shutter piece is separated and driven.

다음으로 상기 셔터 구동수단(44)은 상기 셔터(42)를 상기 램프 안착홈(22) 방향으로 전후진시키는 구성요소이다. 이 셔터 구동수단(44)은 상기 셔터(42)를 수평방향으로 구동시킬 수 있는 단축 구동수단으로 구성될 수 있으며, 구체적으로는 상기 셔터를 수평이동시키는 동력을 제공하는 모터와 상기 셔터의 수평 이동방향을 안내하는 리니어 가이드로 구성될 수 있다. Next, the shutter driving means 44 is a component that causes the shutter 42 to move back and forth in the direction of the lamp seat groove 22. [ The shutter driving means 44 may be configured as a single-axis driving means capable of horizontally driving the shutter 42. More specifically, the shutter driving means 44 may include a motor for providing a power for moving the shutter horizontally, And a linear guide for guiding the direction.

다음으로 상기 냉각부(60)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축공기 분사부(20)에 인접하게 설치된다. 특히, 상기 냉각부(60)는 상기 패널 이송부(10)에 의하여 이송되는 패널이 배출되는 방향에 설치되며, 상기 압축공기 분사부 하측을 통과한 패널에 대하여 냉각 기체를 분사하는 구성요소이다. 상기 냉각부에 의하여 건조 과정에서 온도가 50℃ 이상으로 가열된 패널의 온도가 상온(23 ~25 ℃) 수준으로 하강한다. 이때 상기 냉각부(60)에서는 저온으로 냉각된 기체를 분사할 수도 있지만, 통상적인 온도의 공기를 분사할 수도 있다. Next, the cooling unit 60 is installed adjacent to the compressed air injection unit 20 as shown in FIG. Particularly, the cooling unit 60 is installed in a direction in which the panels conveyed by the panel conveyance unit 10 are discharged, and is a component that injects the cooling gas to the panel passing through the lower side of the compressed air injection unit. The temperature of the panel heated to 50 ° C or more in the drying process is lowered to the room temperature (23 to 25 ° C) by the cooling unit. At this time, the cooling unit 60 may inject the gas cooled at a low temperature, but it may also blow air at a normal temperature.

다음으로 상기 파장 선택부는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 파장을 선택하는 구성요소이다. 구체적으로 본 실시예에서 상기 파장 선택부는 상기 압축 공기 분사부(20)의 하부 중 상기 가열 램프(30)가 설치되는 공간을 차단하여 밀폐시키는 위치에 설치된다. 따라서 상기 가열 램프(30)에서 조사되는 적외선 중에서 필요한 파장의 빛만을 통과시키고, 나머지 파장의 빛은 차단하여 특정한 파장의 적외선만을 선택할 수 있는 것이다. 특히, 본 실시예에서 상기 파장 선택부는, 탈착가능하게 설치되는 필터판넬로 구성되어, 선택 파장의 변경시에 용이하게 필터 판넬을 변경하는 것에 의하여 달성되는 장점이 있다. Next, as shown in FIG. 1, the wavelength selection unit is provided below the heating lamp, and is a component for selecting the wavelength of the light emitted from the heating lamp. Specifically, in the present embodiment, the wavelength selection unit is installed at a position where the space in which the heating lamp 30 is installed in the lower portion of the compressed air injecting unit 20 is shut off. Therefore, only the light of the required wavelength is passed through the infrared rays irradiated from the heating lamp 30, and the light of the remaining wavelength is blocked, so that only infrared rays of a specific wavelength can be selected. Particularly, in this embodiment, the wavelength selector is composed of a filter panel that is detachably installed, and is advantageous in that the filter panel is easily changed at the time of changing the selected wavelength.

다음으로 본 실시예에 따른 건조장치(1)에는, 냉각 매체 순환부(90)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 냉각 매체 순환부(90)는 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압축 공기 분사부(20)와 파장 선택부(70)에 의하여 형성되는 밀폐 공간(80) 내부에 냉각 매체를 공급하는 매체 공급관(92)과, 상기 밀폐 공간(80) 내부의 냉각 매체를 흡입하여 배출하는 매체 배출관(94)을 포함하여 구성될 수 있다. Next, it is preferable that the drying apparatus 1 according to the present embodiment is further provided with a cooling medium circulation unit 90. 1, the cooling medium circulation unit 90 supplies the cooling medium to the inside of the closed space 80 formed by the compressed air injection unit 20 and the wavelength selection unit 70 A medium supply pipe 92, and a medium discharge pipe 94 for sucking and discharging the cooling medium in the closed space 80.

이렇게 냉각 매체 순환부(90)가 구비되면, 상기 가열 램프(30)가 설치되는 공간이 가열되지 않고 효과적으로 냉각되어 건조 처리되는 패널(P)이 불필요하게 가열되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다. 특히, 본 실시예에서는 다른 공정에 영향을 주지 않기 위하여 상기 냉각 매체를 냉각된 질소 기체(N2)로 하는 것이 바람직하다. When the cooling medium circulation unit 90 is provided, the space in which the heating lamp 30 is installed is not heated, and the panel P, which is effectively cooled and dried, can be prevented from being unnecessarily heated. In particular, in this embodiment, it is preferable that the cooling medium is a cooled nitrogen gas (N 2 ) in order not to affect other processes.

10 : 패널 이송부 20 : 압축공기 분사부
30 : 가열 램프 40 : 조사 영역 조절부
50 : 배기부 60 : 냉각부
70 : 파장 선택부 80 : 밀폐 공간
90 : 냉각 매체 순환부10: panel conveying section 20: compressed air jetting section
30: heating lamp 40: irradiation area regulator
50: exhaust part 60: cooling part
70: wavelength selector 80: sealed space
90: cooling medium circulation part

Claims (4)

상면이 노출된 상태로 평판표시패널을 일정한 방향으로 이송시키는 패널 이송부;
상기 패널 이송부의 상측에 설치되어, 상기 평판표시패널 방향으로 압축공기를 분사하는 압축공기 분사부;
상기 압축공기 분사부에 설치되며, 상기 평판표시패널과 그 상측 공간을 가열하는 가열램프;
상기 가열램프의 하측에 설치되며, 상기 가열램프에서 조사되는 빛의 파장을 선택하는 파장 선택부; 및
상기 압축공기 분사부에 인접하게 설치되며, 상기 압축공기 분사부 하측을 통과한 패널에 대하여 냉각 기체를 분사하는 냉각부;를 포함하는 파장 선택이 가능한 건조장치.A panel transfer unit for transferring the flat panel display panel in a predetermined direction with the top surface exposed;
A compressed air injecting unit installed above the panel conveying unit to inject compressed air in the direction of the flat panel display panel;
A heating lamp installed in the compressed air spraying unit for heating the flat panel display panel and a space above the flat panel display panel;
A wavelength selector provided below the heating lamp and selecting a wavelength of light emitted from the heating lamp; And
And a cooling unit disposed adjacent to the compressed air ejecting unit and configured to eject a cooling gas to a panel passing through a lower side of the compressed air ejecting unit. 제1항에 있어서, 상기 파장 선택부는,
상기 가열램프 하측에 탈착가능하게 설치되는 필터판넬인 것을 특징으로 하는 파장 선택이 가능한 건조장치.2. The wavelength division multiplexing optical switch according to claim 1,
Wherein the filter panel is a filter panel detachably installed under the heating lamp. 제1항에 있어서,
상기 가열 램프가 설치되는 공간에 냉각 매체를 순환시키는 냉각 매체 순환부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 파장 선택이 가능한 건조장치.The method according to claim 1,
Further comprising a cooling medium circulation unit for circulating the cooling medium in a space where the heating lamp is installed. 제3항에 있어서, 상기 냉각 매체 순환부는,
냉각된 질소 기체를 순환시키는 것을 특징으로 하는 파장 선택이 가능한 건조장치.4. The cooling system according to claim 3,
Wherein the cooled nitrogen gas is circulated.
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