KR101413683B1 - 진공 모드 전환 전자빔 조사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치는 내부에 시료가 안착되는 공간이 마련되고, 공간과 연통되는 구조를 가진 컬럼이 설치된 챔버; 챔버의 공간과 연통가능하게 챔버의 일측에 설치된 밸브본체와, 밸브본체의 내부에 설치된 개폐밸브가 구비된 밸브부; 제 2 공기관에 의해 밸브본체에 연결되어, 챔버의 내부압력이 고진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 1 펌프; 제 3 공기관에 의해 밸브본체에 연결되고 제 4 공기관에 의해 제 1 펌프에 연결되어, 챔버의 내부압력이 저진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 2 펌프; 및 밸브본체와 컬럼을 연결하는 제 1 공기관, 제 2 공기관, 제 3 공기관과, 제 1 펌프와 제 2 펌프를 연결하는 제 4 공기관이 구비된 관부를 포함하고, 개폐밸브는 제 1 펌프와 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 폐쇄하고 제 2 공기관을 개방토록 작동되어, 챔버와 컬럼 내의 공기가 제 2 공기관을 경유하여 제 1 펌프로 흡입된 후 제 4 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록 하고, 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 개방하고 제 2 공기관을 폐쇄토록 작동되어, 챔버 내의 공기가 제 3 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 하는 것이 바람직하다.

Description

진공 모드 전환 전자빔 조사장치{Electron Beam Irradiator For Transfering Vacuum Mode}
본 발명은 진공 모드 전환 전자빔 조사장치에 관한 것이며, 상세하게는 단일의 밸브구조를 통해 챔버 내부의 진공압력이 고진공압력 또는 저진공압력이 되도록 챔버 내부의 압력을 조절할 수 있는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치에 관한 것이다.
선행기술문헌 출원번호 제10-1993-0001636호에는 반도체 소자 식각장비의 진공 시스템 및 그 운용방법에 관한 것으로서, 챔버의 내부공간이 진공상태가 되도록 압력을 제공하는 진공시스템에 대해 개시되어 있다.
선행기술문헌에 개시된 바와 같이, 챔버로 진공압력을 제공하는 로터리펌프와 터보펌프는 챔버에 연결되며, 로터리펌프와 챔버, 로터리펌프와 터보펌프, 터보펌프와 챔버 사이에는 각각 밸브가 구비되며, 진공압력에 따라 콘트롤러의 제어에 따라 각각의 밸브가 개폐되면서 챔버 내부공간이 진공상태가 되도록 작동된다.
다만, 선행기술문헌에 개시된 장치를 사용하여, 챔버 내부의 진공압력을 제어하는 경우, 로터리펌프와 챔버, 로터리펌프와 터보펌프, 터보펌프와 챔버 사이에 연계된 복수 개의 밸브가 개폐되어 작동되는 관계로 구조가 복잡하여, 고장날 확률이 높았으며, 장치 제조시 조립이 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 하나의 밸브를 사용하여 두개의 펌프로 흡입되는 공기의 흐름을 허용 또는 차단할 수 있는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치는 내부에 시료가 안착되는 공간이 마련되고, 공간과 연통되는 구조를 가진 컬럼이 설치된 챔버; 챔버의 공간과 연통가능하게 챔버의 일측에 설치된 밸브본체와, 밸브본체의 내부에 설치된 개폐밸브가 구비된 밸브부; 제 2 공기관에 의해 밸브본체에 연결되어, 챔버의 내부압력이 고진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 1 펌프; 제 3 공기관에 의해 밸브본체에 연결되고 제 4 공기관에 의해 제 1 펌프에 연결되어, 챔버의 내부압력이 저진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 2 펌프; 및 밸브본체와 컬럼을 연결하는 제 1 공기관, 제 2 공기관, 제 3 공기관과, 제 1 펌프와 제 2 펌프를 연결하는 제 4 공기관이 구비된 관부를 포함하고, 개폐밸브는 제 1 펌프와 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 폐쇄하고 제 2 공기관을 개방토록 작동되어, 챔버와 컬럼 내의 공기가 제 2 공기관을 경유하여 제 1 펌프로 흡입된 후 제 4 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록 하고, 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 개방하고 제 2 공기관을 폐쇄토록 작동되어, 챔버 내의 공기가 제 3 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에서, 밸브부는 챔버에 연통되는 제 1a 연결구와 제 1b 연결구, 제 1 공기관에 의해 컬럼과 연결되는 제 2 연결구, 제 2 공기관에 의해 제 1 펌프에 연결되는 제 3 연결구와, 제 3 공기관에 의해 제 2 펌프에 연결되는 제 4 연결구가 구비된 밸브본체; 밸브본체 내부에 설치되어, 제 1 흐름경로 또는 제 2 흐름경로로의 공기의 흐름을 개방 또는 폐쇄하는 개폐밸브; 개폐밸브에 연결되어, 챔버 내부의 공기가 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록, 또는 챔버 내부의 공기가 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 개폐밸브의 위치를 조정하는 구동유닛; 및 개폐밸브의 위치를 감지하는 센서유닛을 포함하는 것이 바람직하다.
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본 발명의 일 실시예에서, 센서유닛은 개폐밸브가 구동유닛의 작동에 의해 2 연결구 및 제 3 연결구를 폐쇄하도록 위치될 때 개폐밸브의 위치를 감지하는 제 1 센서와; 개폐밸브가 구동유닛의 작동에 의해 제 1 내지 제 3 연결구를 개방하고 제 4 연결구를 폐쇄하도록 위치될 때 개폐밸브의 위치를 감지하는 제 2 센서를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에서, 개폐밸브는 제 1a 연결구, 제 2 연결구와 제 3 연결구를 개방하고 제 1b연결구와 제 4 연결구를 폐쇄되도록 작동되고, 제 1 펌프와 제 2 펌프가 작동되어, 제 1 흐름경로를 따라, 챔버 내의 공기가 제 1a 연결구를 경유하여 밸브본체 내로 흡입되고, 컬럼 내의 공기가 제 2 연결구를 경유하여 밸브본체로 흡입된 후 제 3 연결구를 통해 외부로 토출되어 제 2 공기관을 따라 이동하여 제 1 펌프로 흡입된 후 제 4 공기관을 따라 토출되어 제 2 펌프로 흡입되어, 챔버 내의 압력이 고진공압력이 되도록 작동되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에서, 개폐밸브는 제 2 및 제 3 연결구를 폐쇄하고, 제 1b 및 제 4 연결구가 개방되도록 작동되고, 제 2 펌프가 작동되어, 제 2 흐름경로를 따라, 챔버 내의 공기가 제 1b 연결구를 경유하여 밸브본체 내로 흡입된 후 제 4 연결구를 통해 제 3 공기관을 따라 제 2 펌프로 흡입되어, 챔버 내의 압력이 저진공압력이 되게 하는 것이 바람직하다.
본 발명은 하나의 밸브를 사용하여 두개의 펌프로 흡입되는 공기의 흐름을 허용 또는 차단할 수 있다.
또한, 본 발명은 하나의 밸브를 사용하여 두개의 펌프와 챔버에 연결되어, 챔버와 두개의 펌프 사이의 연결구조를 단순화시킴으로써, 장치의 설치효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치의 전체 사시도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치의 구성도에 제 1 흐름경로를 개략적으로 표시한 도면이고, 도 3은 챔버 내부의 공기가 제 1 흐름경로를 따라 유동하는 경우 밸브부의 작동상태를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치의 구성도에 제 2 흐름경로를 개략적으로 도시한 것이고, 도 5는 챔버 내부의 공기가 제 2 흐름경로를 따라 유동하는 경우에 밸브부의 작동상태를 개략적으로 도시한 것이다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치에 대해 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)는 기초프레임(110), 챔버(120), 컬럼(125), 제 1 펌프(130), 제 2 펌프(140), 밸브부(150)와 관부(160)를 포함한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기초프레임(110)은 상부가 개방된 구조를 가진다. 기초프레임(110)은 챔버(120)와 제 1 펌프(130)를 지지하기 위한 부재이다. 그리고, 기초프레임(110)의 상부에는 진동흡수부재(111)가 설치된다. 진동흡수부재(111)는 챔버(120)의 하부에 위치되며, 이때, 진동흡수부재(111)는 복수 개가 구비될 수 있다. 여기서, 진동흡수부재(111)로는 에어마운트(air mount)가 사용될 수 있다.
여기서, 진동흡수부재(111)는 챔버(120)의 하부에서 상기 기초프레임(110)에 연결된 제 1 펌프(130)의 작동시, 제 1 펌프(130)에서 발생한 진동이 기초프레임(110)을 따라 챔버(120)로 전달되는 진동을 흡수하기 위한 부재이다. 본 실시예에서, 진동흡수부재(111)의 상부에는 지지부재(112)가 설치된다. 여기서, 지지부재(112)는 챔버(120)가 안착되는 부재이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 챔버(120)는 기초프레임(110)의 상부에 설치된다. 챔버(120)는 내부에 시료가 안착되는 공간이 마련된다. 챔버(120)에는 밸브부(150)가 설치된다. 다만, 본 발명의 일 실시예에서는 설명의 흐름을 위하여 챔버(120)의 내부 구조 및 구성부품에 대한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에서, 컬럼(125)은 챔버(120)의 상부에 설치된다. 이때, 컬럼(125)은 챔버(120)의 내부공간과 연통되는 구조를 가진다. 컬럼(125)에는 챔버(120)의 내부의 시료로 전자빔을 조사하는 전자빔조사부재(미도시)가 구비된다. 그리고, 컬럼(125)의 내부공간은 제 1 공기관(161)에 의해 후술할 밸브부(150)에 연결된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)는 챔버(120) 내부에 위치된 시료에 전자빔조사부재가 전자빔을 조사할 때, 미세 먼지나 공기의 흐름에 의해 시료에 전자빔이 정확하게 조사되지 못하는 경우를 방지하기 위해, 즉, 전자빔이 공기에 의해 영향을 받지 않는 상태에서 시료에 조사될 수 있도록, 챔버(120)와 컬럼(125)의 내부공간을 진공상태로 유지한다.
이와 같이, 챔버(120)와 컬럼(125) 내부공간이 진공상태를 유지하기 위해서는, 챔버(120)와 컬럼(125) 내부 공간의 공기를 흡입하는 부재가 필요로 하며, 본 실시예에서는 이를 위해 제 1 펌프(130), 제 2 펌프(140), 밸브부(150)와 이들을 상호 연결하는 관부(160)가 챔버(120)에 연결된다.
이하에서는 제 1 펌프(130) 및 제 2 펌프(140)에 대해 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 펌프(130)는 제 2 공기관(162)에 의해 챔버(120)에 설치된 밸브부(150)에 연결된다. 여기서, 제 1 펌프(130)는 챔버(120)의 내부공간이 고진공압력이 되도록, 예컨대, 10-5Pa이 되도록 챔버(120) 내부의 공기를 흡입하는 부재이다. 제 1 펌프(130)로는 예를 들어, 터보펌프가 사용될 수 있다.
다음으로, 제 2 펌프(140)는 제 3 공기관(163)에 의해 챔버(120)에 설치된 밸브부(150)에 연결되고, 제 4 공기관(164)에 의해 제 1 펌프(130)에 연결된다. 여기서, 제 2 펌프(140)는 챔버(120)의 내부공간이 저진공압력, 예컨대, 10-2Pa이 되도록 챔버(120) 내의 공기를 흡입하는 부재이다. 제 2 펌프(140)로는 예컨대 로터리펌프가 사용될 수 있다.
이하에서는, 밸브부(150)에 대해 설명하기로 한다.
밸브부(150)는 챔버(120)에 설치되고, 챔버(120)에서 제 1 펌프(130)로의 공기의 제 1 흐름경로(F1), 또는 챔버(120)에서 제 2 펌프(140)로의 공기의 제 2 흐름경로(F2)를 개폐토록 제 1 펌프(130)와 제 2 펌프(140)에 연결된 부재이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(150)는 밸브본체(150a), 구동유닛(155), 개폐밸브(156)와 센서유닛(157)을 포함한다. 여기서, 밸브본체(150a)는 챔버(120)의 내부공간에 연통되게 챔버(120)에 설치된다. 그리고, 밸브본체(150a)는 내부에 개폐밸브(156)와 센서유닛(157)이 마련되고, 개폐밸브(156)를 작동시키는 구동유닛(155)이 설치된다.
본 실시예에서, 밸브본체(150a)는 외면에 제 1 연결구(151), 제 2 연결구(152), 제 3 연결구(153)와 제 4 연결구(154)가 마련된다. 여기서, 제 1 연결구(151)는 제 2 연결구(152)에 인접하게 마련된 제 1a 연결구(151a)와 제 4 연결구(154)에 인접하게 마련된 제 1b 연결구(151b)를 포함한다. 이때, 제 1a 연결구(151a)와 제 1b 연결구(151b)는 밸브본체(150a)의 어느 일측에 마련되어 챔버(120)와 연통되는 개구이다.
그리고, 제 2 연결구(152)는 제 1 공기관(161)에 의해 컬럼(125)에 연결되는 부분이다. 제 1 펌프(130)의 작동시 컬럼(125)의 내부공기는 제 1 공기관(161)을 따라 밸브본체(150a)로 흡입된다. 다음으로, 제 3 연결구(153)는 제 2 공기관(162)에 의해 제 1 펌프(130)에 연결되는 부분이다. 다음으로, 제 4 연결구(154)는 제 3 공기관(163)에 의해 제 2 펌프(140)에 연결되는 부분이다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서, 개폐밸브(156)는 밸브본체(150a)의 내부에서 제 1 내지 제 4 연결구(151, 152, 153, 154)를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 위치에 설치된다. 여기서, 개폐밸브(156)는 위치가변부재(155a)에 의해 구동유닛(155)에 연결된다.
여기서, 위치가변부재(155a)는 구동유닛(155)의 회전축에 연결되고, 구동유닛(155)의 작동시 구동유닛(155)의 회전운동을 직선운동으로 가변시켜, 개폐밸브(156)의 위치를 도 3 또는 도 5에 도시된 바와 같이 가변시킬 수 있는 부재이다. 여기서, 구동유닛(155)으로는 모터가 사용될 수 있다.
이에 따라, 개폐밸브(156)는 구동유닛(155)의 작동시 위치가변부재(155a)에 의해 위치가 가변되어 제 1 내지 제 4 연결구(151, 152, 153, 154)를 개방 또는 폐쇄하여, 제 2 공기관(162) 또는 제 3 공기관(163)으로 유동하는 공기의 흐름을 허용 또는 차단할 수 있는 구조를 가진다.
본 발명의 일 실시예에서, 센서유닛(157)은 개폐밸브(156)의 위치를 감지하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 센서유닛(157)은 제 3 연결구(153)에 인접하게 설치된 제 1 센서(157a)와 제 4 연결구(154)에 인접하게 설치된 제 2 센서(157b)를 포함한다.
여기서, 제 1 센서(157a)는 개폐밸브(156)가 제 2 연결구(152)와 제 3 연결구(153)를 막도록 위치될 때 작동되며, 이때, 챔버 내부의 공기는 제 1b 연결구(151b)를 통해 밸브본체(150a) 내부로 유입된 후 도 5에 도시된 바와 같이 제 2 흐름경로(F2)를 따라 제 4 연결구(154)를 통해 제 3 공기관(163)으로 토출되는 흐름을 가진다.
한편, 제 2 센서(157b)는 도 3에 도시된 바와 같이 개폐밸브(156)가 제 4 연결구(154)를 폐쇄하는 위치에 올 때 작동된다. 제 2 센서(157b)가 작동될 때, 챔버 내부의 공기는 제 1 흐름경로(F1)를 따라 제 1a 연결구(151a)와 제 2 연결구(152)를 통해 밸브본체(150a)로 유입된 후 제 3 연결구(153)를 통해 제 2 공기관(162)으로 토출되는 흐름을 가진다.
이하에서는, 도 2 및 도 3을 참조하여, 챔버(120)의 내부공간의 압력이 고진공상태가 되도록 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)를 작동시킨 경우, 챔버(120) 내부의 공기의 흐름과 밸브부(150)의 작동상태에 대해 설명하기로 한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)는 밸브부(150)의 개폐밸브(156)가 제 1 연결구(151) 중 제 1b 연결구(151b)와 제 4 연결구(154)를 폐쇄하고 제 1a 연결구(151a), 제 2 연결구(152)와 제 3 연결구(153)를 개방시키는 위치에 오도록 구동유닛(155)를 작동시킨다.
개폐밸브(156)가 도 3에 도시된 바와 같이 제 1b 연결구(151b)와 제 4 연결구(154)를 폐쇄토록 위치되면, 이 상태에서, 제 2 센서(157b)가 개폐밸브(156)의 위치를 감지하여 작동된다.
개폐밸브(156)의 위치가 도 3에 도시된 바와 같은 상태가 되면, 제 1 펌프(130)와 제 2 펌프(140)가 작동된다. 제 1 펌프(130)와 제 2 펌프(140)가 작동되면, 챔버(120)와 컬럼(125)의 내부공간의 공기는 제 1 흐름경로(F1)를 따라 제 1 펌프(130)를 경유하여 제 2 펌프(140)로 흡입되는 구조를 가진다.
즉, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 펌프(130) 및 제 2 펌프(140)의 작동시, 제 1a 연결구(151a)와 제 2 연결구(152)를 통해 밸브본체(150a) 내부로 유입된 공기는 제 1 흐름경로(F1)를 따라 제 3 연결구(153)를 경유하여 제 2 공기관(162)을 따라 연속적으로 제 1 펌프(130)로 흡입되어, 챔버(120) 내의 압력이 고진공압력, 예컨대, 10-5Pa이 되게 한다.
이하에서는, 도 4 및 도 5를 참조하여, 챔버(120)의 내부공간의 압력이 저진공상태가 되도록 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)를 작동시킨 경우, 챔버(120) 내부의 공기의 흐름과 밸브부(150)의 작동상태에 대해 설명하기로 한다.
챔버(120)의 내부공간이 저진공상태가 되기 위해서는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)는 밸브부(150)의 개폐밸브(156)가 제 1b 연결구(151b)와 제 4 연결구(154)를 개방하고, 제 1a 연결구(151a)와 제 2 및 제 3 연결구(152, 153)를 폐쇄시키게 위치되도록 구동유닛(155)을 작동시킨다.
이 경우, 개폐밸브(156)가 도 5에 도시된 바와 같이 제 1a 연결구(151a), 제 2 연결구(152)와 제 3 연결구(153)를 폐쇄토록 위치되면, 제 1 센서(157a)가 개폐밸브(156)의 위치를 감지하여 작동된다.
개폐밸브(156)의 위치가 도 5에 도시된 바와 같은 상태가 되면, 제 2 펌프(140)가 작동된다. 이때, 제 1 펌프(130)는 작동되지 않는다. 제 2 펌프(140)가 작동되면, 챔버(120) 내부공간의 공기는 제 2 흐름경로(F2)를 따라 제 3 공기관(163)을 경유하여 제 2 펌프(140)로 흡입되는 구조를 가진다.
즉, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제 2 펌프(140)의 작동시, 제 1b 연결구(151b)를 통해 밸브본체(150a)로 흡입된 공기는 제 2 흐름경로(F2)를 따라 제 4 연결구(154)를 경유하여 제 3 공기관(163)을 통해 제 2 펌프(140)로 흡입되는 흐름을 가진다.
밸브본체(150a)로 흡입된 공기는 제 4 연결구(154)를 통해 외부로 토출되어 제 3 공기관(163)을 따라 이동하여 제 2 펌프(140)로 흡입된다. 챔버(120) 내부의 공기가 제 2 흐름경로(F2)를 따라 제 2 펌프(140)로 흡입되는 상기와 같은 과정이 반복되면, 챔버(120) 내의 압력은 저진공압력, 예컨대, 10-2Pa이 된다.
한편, 컬럼(125) 내부의 공기는 개폐밸브(156)에 의해 컬럼(125)과 연결되는 제 2 연결구(152)가 폐쇄된 상태여서 제 2 펌프(140)의 작동시 제 3 공기관(163)으로 흡입되지 않으며, 이로 인해 컬럼(125)의 내부공기는 고진공압력상태, 예컨대 10-5Pa를 유지한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)는 상술한 바와 같이, 하나의 밸브부(150)를 이용하여 제 1 펌프(130)에서 흡입되는 공기의 제 1 흐름경로(F1)와 제 2 펌프(140)에서 흡입되는 공기의 제 2 흐름경로(F2)를 조절하는 구조를 가짐으로써, 기존과 달리 제 1 흐름경로(F1)와 제 2 흐름경로(F2)를 형성하기 위해 사용되는 다수의 공기관과 복수의 밸브를 생략하여, 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)의 유지보수를 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 하나의 밸브부(150)를 통해 제 1 펌프(130)와 제 2 펌프(140)를 단순하게 연결할 수 있어, 진공 모드 전환 전자빔 조사장치(100)의 제조시 소요되는 부품비를 절감시킬 수 있고, 아울러, 구성요소간의 연결관계를 최소화하여 공기의 흐름을 정확하게 제어할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
100: 진공 모드 전환 전자빔 조사장치 110: 기초프레임
111: 진동흡수부재 112: 지지부재
120: 챔버 125: 컬럼
130: 제 1 펌프 140: 제 2 펌프
150: 밸브부 150a: 밸브본체
151: 제 1 연결구 152: 제 2 연결구
153: 제 3 연결구 154: 제 4 연결구
155: 구동유닛 155a: 위치가변부재
156: 개폐밸브 157: 센서유닛
157a: 제 1 센서 157b: 제 2 센서
160: 관부 161: 제 1 공기관
162: 제 2 공기관 163: 제 3 공기관
164: 제 4 공기관 F1: 제 1 흐름경로
F2: 제 2 흐름경로

Claims (6)

  1. 내부에 시료가 안착되는 공간이 마련되고, 상기 공간과 연통되는 구조를 가진 컬럼이 설치된 챔버;
    상기 챔버의 상기 공간과 연통가능하게 상기 챔버의 일측에 설치된 밸브본체와, 상기 밸브본체의 내부에 설치된 개폐밸브가 구비된 밸브부;
    제 2 공기관에 의해 상기 밸브본체에 연결되어, 상기 챔버의 내부압력이 고진공압력이 되도록 상기 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 1 펌프;
    제 3 공기관에 의해 상기 밸브본체에 연결되고 제 4 공기관에 의해 상기 제 1 펌프에 연결되어, 상기 챔버의 내부압력이 저진공압력이 되도록 상기 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 2 펌프; 및
    상기 밸브본체와 상기 컬럼을 연결하는 제 1 공기관, 상기 제 2 공기관, 상기 제 3 공기관과, 상기 제 1 펌프와 상기 제 2 펌프를 연결하는 상기 제 4 공기관이 구비된 관부를 포함하고,
    상기 개폐밸브는
    상기 제 1 펌프와 상기 제 2 펌프의 작동시, 상기 제 3 공기관을 폐쇄하고 상기 제 2 공기관을 개방토록 작동되어, 상기 챔버와 상기 컬럼 내의 공기가 상기 제 2 공기관을 경유하여 상기 제 1 펌프로 흡입된 후 상기 제 4 공기관을 경유하여 상기 제 2 펌프로 흡입되는 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록 하고,
    상기 제 2 펌프의 작동시, 상기 제 3 공기관을 개방하고 상기 제 2 공기관을 폐쇄토록 작동되어, 상기 챔버 내의 공기가 상기 제 3 공기관을 경유하여 상기 제 2 펌프로 흡입되는 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 밸브부는
    상기 챔버에 연통되는 제 1a 연결구와 제 1b 연결구, 상기 제 1 공기관에 의해 상기 컬럼과 연결되는 제 2 연결구, 상기 제 2 공기관에 의해 상기 제 1 펌프에 연결되는 제 3 연결구와, 상기 제 3 공기관에 의해 상기 제 2 펌프에 연결되는 제 4 연결구가 구비된 상기 밸브본체;
    상기 밸브본체 내부에 설치되어, 상기 제 1 흐름경로 또는 상기 제 2 흐름경로로의 공기의 흐름을 개방 또는 폐쇄하는 상기 개폐밸브;
    상기 개폐밸브에 연결되어, 상기 챔버 내부의 공기가 상기 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록, 또는 상기 챔버 내부의 공기가 상기 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 상기 개폐밸브의 위치를 조정하는 구동유닛; 및
    상기 개폐밸브의 위치를 감지하는 센서유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치.
  3. 삭제
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 센서유닛은
    상기 개폐밸브가 상기 구동유닛의 작동에 의해 상기 2 연결구 및 제 3 연결구를 폐쇄하도록 위치될 때 상기 개폐밸브의 위치를 감지하는 제 1 센서와;
    상기 개폐밸브가 상기 구동유닛의 작동에 의해 상기 제 1 내지 제 3 연결구를 개방하고 상기 제 4 연결구를 폐쇄하도록 위치될 때 상기 개폐밸브의 위치를 감지하는 제 2 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 개폐밸브는 상기 제 1a 연결구, 제 2 연결구와 제 3 연결구를 개방하고 상기 제 1b연결구와 제 4 연결구를 폐쇄되도록 작동되고, 상기 제 1 펌프와 상기 제 2 펌프가 작동되어,
    상기 제 1 흐름경로를 따라, 상기 챔버 내의 공기가 상기 제 1a 연결구를 경유하여 상기 밸브본체 내로 흡입되고, 상기 컬럼 내의 공기가 상기 제 2 연결구를 경유하여 상기 밸브본체로 흡입된 후 상기 제 3 연결구를 통해 외부로 토출되어 상기 제 2 공기관을 따라 이동하여 상기 제 1 펌프로 흡입된 후 상기 제 4 공기관을 따라 토출되어 상기 제 2 펌프로 흡입되어, 상기 챔버 내의 압력이 고진공압력이 되도록 작동되는 것을 특징으로 하는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치.

  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 개폐밸브는 상기 제 2 및 제 3 연결구를 폐쇄하고, 상기 제 1b 및 제 4 연결구가 개방되도록 작동되고, 상기 제 2 펌프가 작동되어,
    상기 제 2 흐름경로를 따라, 상기 챔버 내의 공기가 상기 제 1b 연결구를 경유하여 상기 밸브본체 내로 흡입된 후 상기 제 4 연결구를 통해 상기 제 3 공기관을 따라 상기 제 2 펌프로 흡입되어, 상기 챔버 내의 압력이 저진공압력이 되게 하는 것을 특징으로 하는 진공 모드 전환 전자빔 조사장치.
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