KR20000011162U - 진공 시스템의 이물 유입방지장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 진공 시스템의 이물 유입방지장치에 관한 것으로 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에 이물 유입방지수단을 구비하여 상기 챔버 내로 이물이 유입되는 것을 방지함과 동시에 챔버 내로 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하도록 한 것이다.
이를 위해, 본 고안은 공기유입구(3)가 형성된 챔버(1)와, 상기 챔버(1) 내에 설치되어 챔버(1) 내의 압력을 차별화하도록 하는 챔버(1) 내에 설치고정된 에어 실린더(6)와 상기 에어 실린더(6)에 결합되어 에어 실린더(6)에 의해 왕복이동되면서 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하는 플레이트(7)로 이루어진 슬릿 밸브(2)와, 상기 챔버(1)의 외부에 설치되어 챔버(1) 내의 공기를 외부로 강제토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프(5)를 구비한 진공 시스템에 있어서, 상기 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에는 챔버(1) 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버(1)의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단을 설치하여서 된 것이다.

Description

진공 시스템의 이물 유입방지장치
본 고안은 진공 시스템에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 진공 시스템의 챔버 내로 이물 등이 유입되는 것을 방지하도록 한 진공 시스템의 이물 유입방지장치에 관한 것이다.
종래 진공 시스템은 도 1에서 도시한 바와 같이, 공기가 유입되는 공기유입구(3)가 형성된 챔버(1)가 설치되어 있고, 상기 챔버(1) 내에는 챔버(1) 내를 대기상태 및 진공상태로 만들어 상기 챔버(1) 내의 압력을 차별화하도록 하는 슬릿 밸브(2)가 설치되어 있으며, 상기 챔버(1)의 외측면에는 챔버(1) 내의 공기를 챔버(1)의 외부로 토출하는 공기 토출구(4)가 형성되어 있고, 상기 공기토출구(4)의 끝단에는 챔버(1) 내의 공기를 외부로 강제 토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프(5)가 설치되어 있다.
상기 슬릿 밸브(2)는 도 2에서와 같이, 챔버(1) 내에 에어 실린더(6)가 설치고정되어 있고, 상기 에어 실린더(6)에는 에어 실린더(6)에 의해 왕복이동되면서 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하는 플레이트(7)가 결합되어 있으며, 상기 플레이트(7)의 상면에는 공기유입구(3)를 막을 때 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것을 방지하도록 챔버(1)의 내측면과 밀착되도록 오-링(O-Ring)(8)이 설치되어 있다.
이러한 구조의 진공 시스템은 진공 시스템의 챔버(1) 내를 대기상태와 진공상태로 만들도록 즉, 챔버(1) 내로 공기를 유입하여 대기상태와 동일하게 유지하거나 또는 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 유지하도록 하기 위해서 슬릿 밸브(2)를 사용함으로써, 상기 챔버(1) 내의 압력(pressure)은 대기상태와 진공상태로 차별화된다.
상기 챔버(1) 내에 설치된 슬릿 밸브(2)가 작동되는 상태를 설명하면, 상기 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동됨에 따라 상기 에어 실린더(6)에 결합된 플레이트(7)가 왕복이동하면서 상기 챔버(1)에 형성된 공기 유입구(3)를 개폐하게 된다.
즉, 에어 실린더(6)의 작동에 의해 도 2에서와 같이, 플레이트(7)가 챔버(1)의 공기 유입구(3) 측으로 이동하여 공기 유입구(3)를 막게 되면 상기 공기 유입구(3)를 통해 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 차단된다.
이와 동시에, 챔버(1)의 외측면에 형성된 공기 토출구(4)의 끝단에 설치된 펌프(5)가 작동하므로 상기 작동되는 펌프(5)의 펌핑력 즉, 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내의 공기는 공기 토출구(4)를 통해 펌프(5) 측으로 빨려나오게 됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.
그리고, 에어 실린더(6)의 작동에 따라 도 2에서와 같이, 플레이트(7)가 에어 실린더(6) 측으로 이동하게 되면 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 열림과 동시에 펌프(5)의 펌핑력에 의해 상기 챔버(1) 내로 공기 유입구(3)를 통해 공기가 유입되므로 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 된다.
여기서, 상기 플레이트(7)의 상면에는 오-링(8)이 설치되어 있으므로 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3) 막을 때 상기 플레이트(7)의 상면과 챔버(1)의 내측면은 오-링(8)에 의해 밀착됨에 따라 상기 공기 유입구(3)를 통해 외부에서 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 챔버(1) 내는 진공상태를 유지하게 된다.
그러나, 이러한 종래 진공 시스템에서 챔버(1) 내를 대기상태와 진공상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 왕복이동하면서 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하게 되는데, 즉 공기 유입구(3)를 개폐할 때 상기 왕복이동하는 플레이트(7)와 챔버(1)의 내측면이 부딪힘에 따라 상기 슬릿 밸브(2)의 이물 등이 떨어져 나와 챔버(1) 내로 유입되므로 상기 챔버(1) 내를 오염시키는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에 이물 유입방지수단을 구비하여 상기 챔버 내로 이물이 유입되는 것을 방지함과 동시에 챔버 내로 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 공기유입구가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 챔버 내의 압력을 차별화하도록 하는 챔버 내에 설치고정된 에어 실린더와 상기 에어 실린더에 결합되어 에어 실린더에 의해 왕복이동되면서 챔버의 공기 유입구를 개폐하는 플레이트로 이루어진 슬릿 밸브와, 상기 챔버의 외부에 설치되어 챔버 내의 공기를 외부로 강제토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프를 구비한 진공 시스템에 있어서, 상기 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에는 챔버 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단을 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 이물 유입방지장치가 제공된다.
도 1은 종래 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도.
도 2는 종래 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도.
도 3은 본 고안 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도.
도 4는 본 고안 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
101: 버퍼 슬릿 밸브 102: 제 1 에어 실린더
103: 제 1 플레이트 104: 차단막
105: 삽탈홈 106: 이물 배출관
이하, 본 고안의 일 실시예를 첨부도면 도 3과 도 4를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
진공 시스템은 종래의 구성에서 언급한 바 있으므로 중복되는 부분은 그 설명을 생략하고, 동일한 구조에 한해서는 종래와 동일한 부호를 부여키로 한다.
도 3은 본 고안 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도이고, 도 4는 본 고안 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도로써, 본 고안은 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에는 챔버(1) 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버(1)의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단이 설치되어 있다.
상기 이물 유입방지수단은 버퍼 슬릿 밸브(buffer slit valve)(101)이며, 상기 상기 이물 유입방지수단인 버퍼 슬릿 밸브(101)는 도 3에서와 같이, 챔버(1) 내에 설치고정되는 제 1 에어 실린더(102)와, 상기 제 1 에어 실린더(102)에 결합되어 제 1 에어 실린더(102)의 작동에 따라 왕복이동하는 제 1 플레이트(103)와, 상기 제 1 플레이트(103)에 결합되어 제 1 플레이트(103)와 함께 왕복이동하면서 챔버(1)의 내측면에 형성된 삽탈홈(105)으로 끝단이 삽탈되는 차단막(104)으로 이루어져 있다.
상기 챔버(1)의 외측면 즉, 챔버(1)의 저면부에는 챔버(1) 내와 연통됨과 함께 공기 토출구(4)와 연통되어 상기 공기 토출구(4)의 끝단과 연결되어 펌핑되는 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내의 이물이 상기 챔버(1)의 외부로 배출되도록 하는 이물 배출관(106)이 형성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용은 다음과 같다.
먼저, 진공 시스템의 챔버(1) 내를 대기상태로 하기 위해서는 상기 챔버(1) 내에 설치된 슬릿 밸브(2)가 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 열으므로 상기 챔버(1) 내로 외부에서 공기가 유입됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 되고, 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)가 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 막으므로 상기 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 차단됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.
이 때, 챔버(1)에서 슬릿 밸브(2)의 작동에 의해 발생되는 이물은 상기 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에 설치된 버퍼 슬릿 밸브(101)에 의해 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 챔버(1) 내로 유입된 이물은 챔버(1)의 외측면에 형성된 이물 배출관(106)을 통해 챔버(1)의 외부로 배출된다.
좀 더 자세하게 설명하면, 챔버(1) 내를 진공상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동되어 도 4에서와 같이, 플레이트(7)가 챔버(1)의 공기 유입구(3) 측으로 이동하므로 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막게 된다.
이 때, 버퍼 슬릿 밸브(101)의 제 1 에어 실린더(102)도 작동되어 상기 제 1 에어 실린더(102)의 작동에 따라 제 1 플레이트(103)가 도면상 상방으로 이동됨과 동시에 상기 제 1 플레이트(103)에 결합된 차단막(104)도 제 1 플레이트(103)를 따라 도면상 상방으로 이동되고, 상기 상방으로 이동되는 차단막(104)의 끝단은 챔버(1)의 내측면에 형성된 삽탈홈(105)으로 삽입되므로 인해 챔버(1) 내를 막게 된다.
여기서, 상기 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막기 전에 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)으로 먼저 삽입되어 상기 챔버(1) 내를 막음으로써, 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막을 때 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 부딪히면서 발생되는 이물은 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)에 의해 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지된다.
또한, 챔버(1) 내와 연통됨과 함께 공기 토출구(4)와 연통되도록 상기 챔버(1)의 외측면 즉, 저면부에 이물 배출구(106)가 형성되어 있고, 상기 공기 토출구(4)의 끝단에는 흡입력을 발생시키도록 펌핑되는 펌프(5)가 설치되어 있으므로 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 부딪히면서 발생된 이물이 챔버(1) 내로 유입되면 즉, 슬릿 밸브(2)와 버퍼 슬릿 밸브(101) 사이에 위치하게 되면 상기 작동되는 펌프의 흡입력에 의해 이물은 이물 배출관(106)으로 유입되어 상기 이물 배출관(106) 내를 유동하면서 펌프(5)측으로 이동됨에 따라 상기 챔버(1) 내의 이물은 쳄버(1)의 외부로 배출된다.
상기와 같이, 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 막힘과 함께 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)에 의해 챔버(1) 내가 막힌 상태에서 상기 펌프(5)의 흡입력에 의해 이물이 챔버(1)의 외부로 배출됨과 동시에 상기 챔버(1) 내의 공기가 공기 토출구(4)를 통해 펌프(5)측으로 즉, 챔버(1)의 외부로 빨려나오게 됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.
그리고, 챔버(1) 내를 대기상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동되어 도 4에서와 같이, 플레이트(7)가 에어 실린더(6) 측으로 이동하므로 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)는 열리게 된다.
이와 동시에, 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 제 1 에어 실린더(102)도 작동되어 제 1 플레이트(103)가 도면상 하방 즉, 제 1 에어 실린더(102) 측으로 이동되고, 상기 제 1 플레이트(103)에 결합된 차단막(104)도 제 1 플레이트(103)를 따라 도면상 하방으로 이동됨에 따라 상기 차단막(104)의 끝단은 삽탈홈(105)에서 탈거되므로 상기 챔버(1) 내는 열리게 된다.
여기서, 상기 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 공기 유입구(3)가 열리고 나서 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)에서 이탈됨에 따라 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 열 때 발생되는 이물은 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 유입된 이물은 펌프(5)의 흡입력에 의해 이물 배출관(106) 내를 유동하면서 상기 챔버(1)의 외부로 배출된다.
상기와 같이, 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 열림과 함께 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)에서 탈거된 상태에서 상기 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내로 공기 유입구(3)를 통해 공기가 유입되므로 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 된다.
즉, 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막을 때에는 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 먼저 챔버(1) 내를 막고, 상기 챔버(1) 내를 대기상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 열 때에는 상기 플레이트(7)에 의해 공기 유입구(3)가 열리고 나서 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 챔버(1)를 열리도록 함으로써, 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 접촉될 때 발생되는 이물이 챔버(1) 내로 유입되는 것을 방지함과 함께 상기 챔버(1) 내로 유입된 이물은 챔버(1)의 외부로 원활하게 배출된다.
이상에서와 같이, 본 고안은 챔버 내에 설치되어 상기 챔버 내를 대기상태와 진공상태로 만들기 위해 작동되는 슬릿 밸브와 상기 챔버 내의 슬릿 밸브의 후방에는 챔버 내를 개폐하는 버퍼 슬릿 밸브를 설치함으로써, 상기 슬릿 밸브가 작동할 때 챔버의 내측면과 슬릿 밸브의 플레이트가 부딪히면서 발생되는 이물 등은 상기 버퍼 슬릿 밸브에의해 챔버 내로 유입되는 것이 방지되는 효과가 있다.
또한, 챔버의 외측면에는 챔버 내와 연통됨과 함께 공기 토출구와 연통되는 이물 배출관을 형성하고, 상기 이물 배출관이 연통된 공기 토출구의 끝단에는 펌프가 설치되어 있으므로 상기 챔버 내로 유입된 이물은 펌프의 흡입력에 의해 이물 배출관을 통해 챔버의 외부로 배출되므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하는 효과도 있다.

Claims (3)

  1. 공기유입구가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 챔버 내의 압력을 차별화하도록 하는 챔버 내에 설치고정된 에어 실린더와 상기 에어 실린더에 결합되어 에어 실린더에 의해 왕복이동되면서 챔버의 공기 유입구를 개폐하는 플레이트로 이루어진 슬릿 밸브와, 상기 챔버의 외부에 설치되어 챔버 내의 공기를 외부로 강제토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프를 구비한 진공 시스템에 있어서,
    상기 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에는 챔버 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단을 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 이물 유입방지장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    이물 유입방지수단은 챔버 내에 설치고정되는 실린더와,
    상기 실린더에 결합되어 실린더의 작동에 따라 왕복이동하는 플레이트와,
    상기 플레이트에 결합되어 플레이트와 함께 왕복이동하면서 챔버의 내측면에 형성된 삽탈홈으로 끝단이 삽탈되는 차단막으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 이물 유입방지장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    챔버의 외측면에는 챔버 내와 연통됨과 동시에 공기 토출구와 연통되어 챔버 내의 이물을 챔버의 외부로 배출하는 이물 배출관을 형성한 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 이물 유입방지장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101413683B1 (ko) * 2012-09-03 2014-07-02 (주)펨트론 진공 모드 전환 전자빔 조사장치

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