KR101405330B1 - 배기 장치 및 그것을 포함하는 전자부품 제조장치 - Google Patents

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Abstract

배기 장치가 제공된다. 배기 장치는 전자부품 제조장치에서 배출되는 배기 가스를 배기하고 외부 배기시스템과 연결되는 배기관 및 상기 배기관 내에 설치되는 하나 또는 둘 이상의 회전체를 포함한다.

Description

배기 장치 및 그것을 포함하는 전자부품 제조장치{Exhausting apparatus and electronic component manufacturing apparatus including the same}
본 발명은 배기 장치 및 그 것을 포함하는 전자부품 제조장치에 관한 것이다.
반도체 또는 인쇄회로기판과 같은 전자부품 제조과정에서는 반도체 웨이퍼 또는 베이스 기재 상에 도전층을 형성한 다음, 상기 도전층을 원하는 패턴(pattern)으로 형성하기 위해, 감광물질을 도포하고 도포된 감광물질을 패턴 마스크(pattern mask)를 통해 노광한 후 화학약품으로 식각하고 잔여 감광물질을 제거함으로써 그 원하는 패턴을 얻는 일련의 패턴처리공정을 거친다. 이러한 패턴처리 공정에는 피가공물 상의 이물질을 제거하기 위한 세정과 린스 및 건조 등의 후처리작업을 필요로 한다.
전자부품 제조장치는 이러한 식각, 세정, 린스, 건조, 도금, 인쇄 등의 작업을 진행하기 위한 장치로서, 통상적으로, 피가공물을 작업 위치로 이송하기 위한 로더(loader)와, 식각, 도금, 인쇄 또는 세정 등이 이루어지는 다수의 처리조와, 피가공물을 수용하는 언로더(unloader)를 구비하고 있으며, 상기 다수의 처리조 전후에는 그 작업의 성격에 따라 화학 처리조(chemical bath)와 세정 처리조(rinse bath) 및 최종 세정 처리조(final rinse bath)를 구비할 수 있다.
또한, 상기한 각 처리조들은 피가공물을 처리할 때 발생되는 흄(Fume) 또는 그 속에 포함된 미립자를 배기하기 위한 배기 장치를 구비할 수 있다.
본 고안은 전자부품 제조장치의 배기장치에 관한 것으로서, 특히 각종 공정 처리시 발생되는 배기 가스의 양 및 유속을 측정할 수 있고, 배출되는 배기 가스의 양을 조절하여 배기할 수 있도록 하는 배기 장치 및 그것을 포함하는 전자부품 제조장치에 관한 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 배기 장치의 일 태양(aspect)은, 전자부품 제조장치에서 배출되는 배기 가스를 배기하고 외부 배기시스템과 연결되는 배기관 및 상기 배기관에 설치되는 하나 또는 둘 이상의 회전체를 포함한다.
상기 회전체는 상기 배기관 내에 설치되는 원통형의 베어링, 상기 배기 가스의 유속에 의해 회전하고 상기 베어링 외면에 부착된 복수의 회전 날개, 상기 베어링 내부에 삽입되고 상기 배기관을 관통하는 샤프트 및 상기 배기관 외벽에 밀착되고 상기 샤프트를 지지하는 베어링 하우징을 포함한다. 상기 복수의 회전 날개는 일정한 간격으로 배치되고, 상기 복수의 회전 날개 각각은 상기 배기 가스의 진행방향에 수직으로 배치되는 메인 날개와 상기 메인 날개로부터 절곡되어 연장되며 상기 회전 날개의 회전력을 증가시키는 보조 날개를 포함할 수 있다. 또한, 상기 회전체는 복수의 플레이트를 더 포함하고 상기 복수의 플레이트는 상기 복수의 회전 날개 각각의 양 측면에 상기 복수의 회전 날개와 수직으로 부착된다.
상기 배기 장치는 상기 회전체의 회전 수 및/또는 상기 배기 가스의 유속을 측정하는 인코더를 더 포함한다. 상기 배기 장치는 상기 인코더와 연결된 컨트롤러를 더 포함하고 상기 컨트롤러는 상기 인코더로부터 상기 회전체의 회전 수 및/또는 상기 배기 가스의 유속을 전달받아 표시 및 저장하고, 상기 회전체의 회전 수 및/또는 상기 배기 가스의 유속이 일정치 이하 또는 이상인 경우 경고한다. 또한, 상기 배기 장치는 상기 컨트롤러 및 상기 회전체에 연결되고, 상기 컨트롤러로부터 신호를 전달받아 상기 회전체를 회전시키는 동력부를 더 포함한다.
한편, 상기 배기관은 내벽 양 측면에 돌출부를 포함하고, 상기 회전체는 상기 배기관 내에 설치되는 원통형의 베어링과 상기 배기 가스의 유속에 의해 회전하고 상기 베어링 외면에 부착된 복수의 회전 날개와 상기 베어링 내부에 삽입되고 상기 돌출부에 삽입되어 고정되는 샤프트를 포함할 수 있고, 상기 배기관은 투명 하우징 유닛일 수 있다. 이 때, 상기 인코더와 연결되고 상기 회전 날개의 회전을 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 전자부품 배기 장치의 일 태양(aspect)은, 전자부품 제조장치에서 배출되는 배기 가스를 배기하고 외부 배기시스템과 연결되는 배기관 및 상기 배기관에 설치되는 하나 또는 둘 이상의 회전체를 포함한다. 또한, 상기 배기 장치를 복수개 구비하고 상기 복수의 배기 장치와 연결되고 상기 복수의 배기 장치 각각의 배기 가스의 유속을 측정하는 인코더를 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 배기 장치 및 그것을 포함하는 전자부품 제조장치의 경우, 배기 가스의 흐름 및/또는 유속을 눈으로 바로 확인 가능하고 이를 토대로 배기 가스 배출량을 조절할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 콘트롤러의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전체의 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전 날개의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배기 장치의 측면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 표시된 구성요소의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자나 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자나 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자나 구성요소를 다른 소자나 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자나 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자나 구성요소 일 수도 있음은 물론이다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치의 개략도이고 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 콘트롤러의 블록도이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치(200)는 전자부품 제조장치(100)와 외부 배기 시스템(110) 사이에 위치한다. 전자부품 제조장치(100)는 여러 공정을 수행하므로 그에 따라 적어도 하나 이상의 배기 장치(200)가 구비될 수 있다. 전자부품 제조장치(100)에서 발생한 배기 가스는 배기 장치(200)를 지나 외부 배기 시스템(110)으로 이동하여 배출되며, 배기 가스는 예를 들어, 흄일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 배기 장치(200)는 외부 배기 시스템(110)과 연결될 수 있다. 외부 배기 시스템(110)에는 스크라바(미도시)가 배치될 수 있으며 스크라바의 크기, 용량 등에 따라 배기 장치(200)에 흐르는 배기 가스의 유량, 유속 등이 바뀔 수 있다.
도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 장치(200)에 대하여 자세히 설명하기로 한다.
배기 장치(200)는 제1 연결부(210), 제2 연결부(220), 배기관(230), 회전체(300), 인코더(400)를 포함할 수 있다. 제1 연결부(210)는 배기 장치(200)의 상부에 위치하며, 도 1의 외부 배기 시스템(110)과 연결될 수 있다. 제1 연결부(210)는 외부 배기 시스템과 고정부(213, 215)를 통하여 배기 가스가 누설되지 않도록 견고하게 고정될 수 있다. 제2 연결부(220)는 배기 장치(200)의 하부에 위치하며, 도 1의 웨트 스테이션(100)과 연결될 수 있다. 즉, 배기 가스는 제2 연결부(220)를 통해 배기 장치(200) 내로 흡입되며, 제1 연결부(210)를 통해 배출된다.
제1 연결부(210)와 제2 연결부(220) 사이에는 배기관(230)이 위치한다. 배기관(230)은 도 1의 전자부품 제조장치(100)에서 배출되는 배기 가스가 도 1의 외부 배기 시스템(110)으로 빠져나갈 수 있도록 설치된 연결 통로이다.
회전체(300)는 배기관(230)에 설치될 수 있다. 회전체(300)는 배기관(230) 내부의 배기 가스의 흐름 및 속도를 측정하고, 사용자의 눈으로 직접 확인하기 위해 설치할 수 있다. 회전체(300)의 구체적은 형상은 추후 서술하기로 한다.
한편, 도 2에는 회전체(300)가 하나만 도시되어 있으나 이에 제한되지는 않는다. 예를 들어, 배기관(230)에 2개 이상의 회전체(300)가 설치될 수 있다. 회전체(300)가 2개 이상 설치될 경우, 회전체(300)가 설치된 위치마다 배기 가스의 속도를 측정할 수 있으므로 배기 가스의 유속을 세분화하여 정밀하게 측정할 수 있다.
배기관(230)은 투명 하우징 유닛일 수 있다. 투명한 배기관(230)을 사용할 경우, 회전체(300)의 회전을 직접 눈으로 확인할 수 있다. 구체적으로, 배기관(230)으로 흡입되는 배기 가스에 의해 회전체(300)는 회전하며, 배기관(230)이 투명한 경우 회전체(300)의 회전을 직접 눈으로 확인할 수 있어서 배기 가스의 유량 및/또는 유속을 판단하기 용이하다. 한편, 인코더(400) 등을 통해서 배기 가스의 유량 및/또는 유속을 측정할 수도 있으나(추후 서술), 인코더(400) 등의 오작동, 불량 등으로 에러가 발생하거나 측정값에 이상이 발생하더라도 회전체(300)의 회전을 눈으로 직접 확인할 수 있으므로 즉각적인 조치가 취해질 수 있다. 결국, 투명한 배기관(230) 및 회전체(300)를 설치함으로써, 배기 가스의 흐름을 눈으로 직접 보고 이에 따른 즉각적인 조치가 이루어질 수 있으므로, 전자부품 제조장치(100)의 신뢰성 및 상기 전자부품 제조장치(100)로 제조한 제품의 신뢰성 또한 향상될 수 있다.
회전체(300)에는 인코더(400)가 연결될 수 있다. 인코더(400)는 회전체(300)와 연결되어 회전체(300)의 회전 수를 측정하고, 이를 토대로 배기 가스의 유속을 측정할 수 있다. 인코더(400)는 배기 장치(200)마다 하나씩 연결될 수 있고 배기 장치(200)를 그룹지어 각각의 그룹마다 인코더(400)를 연결할 수 있으며, 복수의 배기 장치(200)가 하나의 인코더(400)에 연결될 수도 있다. 복수의 배기 장치(200)를 하나의 인코더(400)에 연결하면, 복수의 배기 장치(200)를 통합하여 일괄적으로 관리할 수 있어 시간적, 경제적으로 유리할 수 있다.
한편, 배기장치(200)는 컨트롤러(500) 및 동력부(600)를 더 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 컨트롤러(500)는 인코더(400)와 연결될 수 있다. 도 3을 참조하면, 컨트롤러(500)는 입력부(510), 제어부(520) 및 표시부(530)을 포함할 수 있다. 입력부(510)는 인코더(400)로부터 회전체(300)의 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속을 입력받을 수 있다. 입력부(510)는 인코더(400)로부터 받은 정보를 제어부(520)에 전달한다. 제어부(520)는 전달받은 회전체(300)의 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속을 저장할 수 있으며, 측정된 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속이 일정치 이하 또는 이상인 경우를 판단할 수 있다. 표시부(530)는 회전체(300)의 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속을 표시하고, 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속에 이상이 있는 경우, 제어부(520)로부터 신호를 전달 받아 이를 표시하거나 경고음 발생시킬 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 동력부(600)는 콘트롤러(500)와 회전체(300)에 연결될 수 있으며, 콘트롤러(500)로부터 전달된 신호를 바탕으로 회전체(300)에 동력을 전달하여 회전체(300)를 회전시킬 수 있다. 동력부(600)는 배기 가스의 유속을 일정하게 유지시킬 수 있고, 결과적으로 배기 가스의 원활한 배출 및 제어를 가능하게 만들 수 있다.
도 4를 참조하여, 회전체(300)에 대해서 자세히 서술하기로 한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전체의 분해사시도이다.
도 4를 참조하면, 회전체(300)는 회전 날개(310), 베어링(320), 샤프트(330), 베어링 하우징(340a, 340b) 및 회전판(350)을 포함할 수 있다.
베어링(320)은 원통형일 수 있다. 베어링(320) 외면에는 복수의 회전 날개(310)가 부착될 수 있으며, 베어링(320) 내부에는 샤프트(330)가 삽입될 수 있다. 베어링(320)과 샤프트(330)는 서로 결합하여 같이 회전한다.
샤프트(330)는 베어링 하우징(340a, 340b)과 회전판(350)에도 삽입될 수 있다. 베어링 하우징(340a, 340b)은 샤프트(330)를 지지해주는 역할을 할 수 있으며, 배기관(230) 외부에 배치되며 배기관(230) 외벽에 밀착할 수 있다(도 6 참조). 회전판(350)도 배기관(230) 외부에 배치될 수 있으며 샤프트(330)와 결합하여 샤프트(330) 회전 시에 같이 회전한다. 회전판(350)은 인코더(400)(도 2 참조)와 연결되어 인코더(400)가 회전체(300)의 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속을 측정하는데 사용될 수 있다. 그러나 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 인코더(400)는 샤프트(330), 복수의 회전 날개(310) 또는 베어링(320)과 연결되어 회전체(300)의 회전 수 및/또는 배기 가스의 유속을 측정할 수 있다.
베어링(320) 외면에는 복수의 회전 날개(310)가 부착될 수 있다. 복수의 회전 날개(310) 각각은 베어링(320)을 중심으로 방사상의 방향으로 부착될 수 있으며, 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 도 4에서는 회전 날개(310)를 2개만 도시하였으나 이에 제한되지 않으며, 3개 이상의 회전 날개(310)가 배치될 수도 있다. 복수의 회전 날개(310)는 배기관에 흡입되는 배기 가스의 유속에 의해 회전한다.
복수의 회전 날개(310) 각각은 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)를 포함할 수 있다. 메인 날개(310a)는 배기 가스로부터 회전력을 받기 위하여 배기관(230) 내에 흐르는 배기 가스의 진행방향에 수직으로 배치될 수 있다. 메인 날개(310a)는 배기 가스로부터 많은 힘을 받기 위하여 베어링(320)의 양 단까지 연장되어 베어링(320) 외면에 부착될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
보조 날개(310b)는 메인 날개(310a)로부터 연장될 수 있다. 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)가 연결되는 부분은 절곡되어 있을 수 있으며 따라서 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)는 둔각을 형성할 수 있다. 보조 날개(310b)가 메인 날개(310a)로부터 절곡되어 연장된다면, 회전 날개(310)의 회전력을 더욱 증가시킬 수 있다. 구체적으로, 메인 날개(310a)만 존재한다면, 배기 가스는 메인 날개(310a)에 부딪친 다음 일부는 계속해서 메인 날개(310a)에 힘을 전달하는 반면, 일부는 메인 날개(310a)를 타고 넘어갈 수 있다. 그러나 보조 날개(310b)가 메인 날개(310a)에 절곡되어 연장된다면, 배기 가스의 일부는 메인 날개(310a)를 타고 넘어갈 수 없고 보조 날개(310b)에도 부딪쳐야 한다. 결국 배기 가스는 보조 날개(310b)에도 힘을 전달하기 때문에 회전 날개(310)의 회전력은 증가할 수 있다.
도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전 날개를 설명하기로 한다. 상술한 내용과 중복되는 내용은 설명을 생략하기로 한다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전 날개의 사시도이다. 회전 날개 이외의 구성은 동일하여 도 5에서 생략하였다.
도 5를 참조하면, 회전체(301)는 복수의 플레이트(311)를 더 포함할 수 있다. 복수의 플레이트(311)는 복수의 회전 날개(310) 각각의 양 측면에 복수의 회전 날개(310)와 수직으로 부착될 수 있다. 구체적으로, 메인 날개(310a)의 양 측면(313a, 313b) 및 보조 날개(310b)의 양 측면(313a, 315b)에 플레이트(311c, 311d)가 부착될 수 있다. 도 5에는 4개의 플레이트(311a, 311b, 311c, 311d)만 도시되어 있으나 이에 제한되는 것은 아니고 회전 날개(310)의 개수에 따라 그 이상의 플레이트(311)가 필요할 수 있고, 하나의 회전 날개(310)에는 2개의 플레이트(311)가 필요할 수 있다.
복수의 플레이트(311)가 복수의 회전 날개(310)의 양 측면에 부착되는 경우, 메인 날개(310a)에 부딪친 배기 가스가 메인 날개(310a)의 양 측면(313a, 313b)으로 빠져나갈 수 없어 보조 날개(310b)를 향해 흘러가고, 보조 날개(310b)에도 부딪쳐 회전 날개(310)에 힘을 전달할 수 있다. 따라서, 회전 날개(310)는 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)만 있는 경우보다 배기 가스로부터 좀더 많은 힘을 받을 수 있고 이에 따라 회전 날개(310)의 회전력은 커질 수 있다.
한편, 도 4 및 도 5에서 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)를 절곡된 형상으로 도시하였으나 이에 제한되는 것은 아니며, 예를 들어, 메인 날개(310a)와 보조 날개(310b)는 곡선형으로 연결되어 연장될 수 있다.
도 6을 참조하여, 배기 장치(200)에서 회전체(300)의 배치 및 동작에 대하여 설명하기로 한다. 도 6은 배기 장치(200)의 측면도이다. 상술한 것과 중복되는 내용은 생략하기로 한다.
도 6을 참조하면, 배기관(230)을 관통하여 샤프트(330)가 배치될 수 있다. 도 6에는 샤프트(330)가 배기관(230) 양 측면 모두를 관통하는 것으로 도시되어 있으나 이에 제한되는 것은 아니며, 회전판(350)이 있는 배기관(230) 측면만 관통하고 다른 한 쪽 면은 관통하지 않을 수 있다. 샤프트(330)는 베어링(320), 베어링 하우징(340a, 340b) 및 회전판(350)을 관통할 수 있다. 베어링(320)은 배기관(230)의 내부에 존재할 수 있고, 베어링 하우징(340a, 340b)과 회전판(350)은 배기관(230)의 외부에 존재할 수 있다. 베어링 하우징(340a, 340b)은 샤프트(330)를 지지하는 역할을 할 수 있으며 배기관(230)의 외벽에 밀착될 수 있다. 베어링 하우징(340a, 340b)이 배기관(230)의 외벽에 밀착되면 배기 가스가 배기관(230) 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
베어링 외면(320)에는 복수의 회전 날개(310)가 부착될 수 있다. 복수의 회전 날개(310)가 배기관(310)으로 유입되는 배기 가스에 의해 회전하면 베어링(320)도 같이 회전하고 베어링(320)에 삽입되어 결합된 샤프트(330)도 회전할 수 있다.
도 7을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 배기 장치(201)를 설명하기로 한다. 상술한 바와 동일한 내용은 생략하기로 한다. 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배기 장치(201)의 측면도이다.
도 7을 참조하면, 배기관(230)은 양 측의 내벽에 제1 돌출부(260) 및 제2 돌출부(270)를 포함한다. 제1 돌출부(260) 및 제2 돌출부(270)에는 샤프트(330)가 고정될 수 있다. 샤프트(330)는 제1 돌출부(260) 및 제2 돌출부(270)에 삽입되어 고정된 채 회전하지 않으며, 도 6과 같이 샤프트(330)는 배기관(230)을 관통하지 않는다. 따라서 도 6의 베어링 하우징(340a, 340b)과 회전판(350)이 필요하지 않을 수 있다. 또한, 배기관(230)에 뚫려있는 부분이 존재하지 않아 배기 가스가 배출될 위험이 감소할 수 있다.
샤프트(330)는 베어링(320)에 삽입될 수 있다. 베어링(320)은 샤프트(330)와 결착되지 않으며 따라서 샤프트(330)가 고정되더라도 베어링(320)은 회전할 수 있다. 결국, 베어링(320)에 부착된 복수의 회전 날개(310)가 배기 가스의 유속에 의해 회전하면 베어링(320)도 같이 회전하나 샤프트(330)는 회전하지 않을 수 있다.
배기 장치(201)는 센서(370)를 포함할 수 있다. 센서(370)는 회전 날개(310)의 적어도 하나 이상에 부착될 수 있으며 센서(370)를 통해서 배기관(230) 내에 흐르는 배기 가스의 유속 및/또는 회전체(300)의 회전 수를 측정할 수 있다. 센서(370)는 인코더(400)와 연결된다. 한편, 상기 센서(370)는 상기 배기관 내벽 또는 외벽에 설치되어 상기 회전날개(310)의 회전속도 및 회전수를 카운트하는 광학센서일 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 전자부품 제조장치 110: 외부 배기 시스템
200: 배기 장치 210: 제1 연결부
213, 215: 고정부 220: 제2 여결부
230: 배기관 300: 회전체
310: 회전 날개 320: 베어링
330: 샤프트 340a, 340b: 베어링 하우징
350: 회전판 370: 센서
400: 인코더 500: 컨트롤러
600: 동력부

Claims (12)

  1. 전자부품 제조장치에서 배출되는 배기 가스를 배기하고 외부 배기시스템과 연결되는 배기관; 및
    상기 배기관에 설치되는 하나 또는 둘 이상의 회전체를 포함되,
    상기 회전체는,
    상기 배기관 내에 설치되는 원통형의 베어링과,
    상기 배기 가스의 유속에 의해 회전하고 상기 베어링 외면에 부착된 복수의 회전 날개와,
    상기 베어링 내부에 삽입되고 상기 배기관을 관통하는 샤프트와,
    상기 배기관 외벽에 밀착되고 상기 샤프트를 지지하는 베어링 하우징을 포함하는 배기 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 회전 날개는 일정한 간격으로 배치되고,
    상기 복수의 회전 날개 각각은,
    상기 배기 가스의 진행방향에 수직으로 배치되는 메인 날개와,
    상기 메인 날개로부터 절곡되어 연장되며 상기 회전 날개의 회전력을 증가시키는 보조 날개를 포함하는 배기 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 회전체는 복수의 플레이트를 더 포함하고,
    상기 복수의 플레이트는 상기 복수의 회전 날개 각각의 양 측면에 상기 복수의 회전 날개와 수직으로 부착되는 배기 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 회전체의 회전 수와 상기 배기 가스의 유속 중 적어도 하나를 측정하는 인코더를 포함하는 배기 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 인코더와 연결된 컨트롤러를 더 포함하고,
    상기 컨트롤러는 상기 인코더로부터 상기 회전체의 회전 수와 상기 배기 가스의 유속 중 적어도 하나를 전달받아 표시 및 저장하고, 상기 회전체의 회전 수와 상기 배기 가스의 유속 중 적어도 하나가 일정치 이하 또는 이상인 경우 경고하는 배기 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 컨트롤러 및 상기 회전체에 연결되고, 상기 컨트롤러로부터 신호를 전달받아 상기 회전체를 회전시키는 동력부를 더 포함하는 배기 장치.
  8. 전자부품 제조장치에서 배출되는 배기 가스를 배기하고 외부 배기시스템과 연결되는 배기관; 및
    상기 배기관에 설치되는 하나 또는 둘 이상의 회전체를 포함하되,
    상기 배기관은,
    내벽 양 측면에 돌출부를 포함하고,
    상기 회전체는,
    상기 배기관 내에 설치되는 원통형의 베어링과,
    상기 배기 가스의 유속에 의해 회전하고 상기 베어링 외면에 부착된 복수의 회전 날개와,
    상기 베어링 내부에 삽입되고 상기 돌출부에 삽입되어 고정되는 샤프트를 포함하는 배기 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 배기관은 투명 하우징 유닛인 배기 장치.
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 인코더와 연결되고 상기 회전 날개의 회전을 감지하는 센서를 더 포함하는 배기 장치.
  11. 제 1항의 배기 장치를 포함하는 전자부품 제조장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 배기 장치를 복수개 구비하고,
    상기 복수의 배기 장치와 연결되고 상기 복수의 배기 장치 각각의 배기 가스의 유속을 측정하는 인코더를 포함하는 전자부품 제조장치.
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