KR101400870B1 - 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법 - Google Patents

반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 다수개의 직선 배관과, 상기 직선 배관의 확관부에 삽입하고 용접하여 상기 직선 배관을 연결하는 다수개의 헤어밴드를 구비한 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 열교환기의 작동 여부를 확인하는 작동확인단계; 상기 열교환기의 누수 위치를 확인하는 위치확인단계; 상기 위치확인단계에서 확인된 누수 위치를 보수하는 누수보수단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
본 발명에서 제안하는 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법에 따르면, 반도체 제조용 열교환기의 작동 여부 및 누수위치를 확인하고 이에 따라 개별적으로 적합한 보수 방법을 이용하여 누수를 보수 및 보강을 할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법{Repairing and reinforcing method for heat exchanger of semiconductor apparatus}
본 발명은 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법으로서, 특히 작동 여부 및 누수위치를 확인하고 이에 따라 개별적으로 적합한 보수 방법을 이용하여 누수를 보수 및 보강할 수 있는 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법에 관한 것이다.
반도체 패키지는 단결정 제조 공정, 확산, 포토, 박막 형성, 식각 공정을 반복하여 반제품 상태의 웨이퍼를 제조하는 패브리케이션 공정, 조립 공정, 검사공정에 의해 형성된다. 이러한 각각의 공정들이 진행되는 웨이퍼의 공정조건인 온도, 압력, 고주파 전원, 가스 유동률 등이 적합한 상태로 유지할 수 있어야 수율, 식각률, 균일도 등이 저하되지 않고 생산성을 유지시킬 수 있다. 그러므로 웨이퍼는 반도체 소자로서의 고유 성질을 가질 수 있도록 적정온도를 유지하는 것 또한 중요하다.
공정 진행시 화학적 또는 물리적으로 발생하는 열에너지로부터 웨이퍼의 온도를 일정하고도 안정적으로 유지하기 위하여 각 반도체 제조 공정설비의 외부에는 자동 온도조절을 위한 열교환기가 구비된다.
내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 직선 배관과 직선 배관의 확관부에 삽입하고 용접하여 직선 배관을 연결하는 헤어밴드를 구비는 열교환기에 있어서, 직선 배관과 헤어밴드를 연결하는 확관부나 구부러진 헤어밴드는 사용으로 균열 및 파손이 되어 누수 되기 쉬우며 냉매가 새어나오면 반도체 제조 장치를 손상시키거나 온도를 안정적으로 유지하지 못하여 웨이퍼에 불량이 발생되면 큰 경제적, 생산적 손실을 일으킨다.
또한, 열교환기의 누수 보수를 위하여 작동을 중지시켜 반도체 제조용 장비는 작동이 중지되면 막대한 손실이 발생하는 문제점이 있다.
이와 같이, 반도체 제조용 장치와 이에 따른 열교환기의 작동 여부를 확인하고 열교환기의 누수 위치를 확인하여 이에 따른 개별적으로 적합한 열교환기 누수 보수보강방법이 절실히 요구되는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 작동 여부 및 누수위치를 확인하고 이에 따라서 개별적으로 적합한 보수방법을 이용하여 누수를 보수 및 보강할 수 있는 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법으로 특히, 열교환기가 작동 중이고 누수 위치가 헤어밴드인 경우 탄성고무밴드를 패킹하여 클랩프로 결합하여 보수하고, 확관부인 경우 몰드를 부착하여 에폭시를 충진하여 보수하고, 열교환기가 작동 중지중인 경우에는 접착제 및 스프레이를 도포하여 보수함으로써 누수를 보수 및 보강할 수 있는 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, 내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 다수개의 직선 배관(20)과, 상기 직선 배관(20)의 확관부(21)에 삽입하고 용접하여 상기 직선 배관(20)을 연결하는 다수개의 헤어밴드(30)를 구비한 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법에 있어서, 상기 열교환기의 작동 여부를 확인하는 작동확인단계(S100); 상기 열교환기의 누수 위치를 확인하는 위치확인단계(S200); 상기 위치확인단계(S200)에서 확인된 누수 위치를 보수하는 누수보수단계(S300); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 반도체 제조용 열교환기의 작동 여부 및 누수위치를 확인하고 이에 따라 개별적으로 적합한 보수 방법을 이용하여 누수를 보수 및 보강을 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 이용한 열교환기를 나타낸 일실시예의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 이용한 열교환기를 나타낸 일실시예의 분해 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 순서도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 실시도.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 순서도.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 실시도.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 순서도.
도 8은 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 실시도.
도 9는 본 발명에 따른 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법을 나타낸 일실시예의 실시도.
본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다마른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)", 및 "제 3(third)"과 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이를 위한 본 발명의 일실시예를 살펴보면,
내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 다수개의 직선 배관(20)과, 상기 직선 배관(20)의 확관부(21)에 삽입하고 용접하여 상기 직선 배관(20)을 연결하는 다수개의 헤어밴드(30)를 구비한 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법에 있어서, 상기 열교환기의 작동 여부를 확인하는 작동확인단계(S100); 상기 열교환기의 누수 위치를 확인하는 위치확인단계(S200); 상기 위치확인단계(S200)에서 확인된 누수 위치를 보수하는 누수보수단계(S300); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되고, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치가 상기 헤어밴드(30)인 경우에 상기 누수보수단계(S300)는, 상기 헤어밴드(30)의 외주연에 탄성고무밴드(31)를 패킹하는 패킹단계(S310); 상기 패킹단계(S310)에서 설치한 상기 탄성고무밴드(31)의 외주연에 클램프(32)를 조여 고정하는 결합단계(S320); 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되고, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치가 용접된 상기 확관부(21)인 경우에 상기 누수보수단계(S300)는, 상기 확관부(21)의 외주연에 주입구멍(23)을 구비한 원통형 플라스틱 몰드(22)를 부착하는 몰드부착단계(S330); 상기 플라스틱 몰드(22)의 주입구멍(23)에 보강제인 에폭시 수지를 충진하는 충진단계(S340); 상기 충진단계(S340)에서 충진한 에폭시 수지를 자연 경화시켜 고정하는 경화단계(S350); 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 정지 중으로 확인되는 경우에 상기 보수단계(S300)는, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치를 세척하여 이물질을 제거하는 세척단계(S360); 상기 세척단계(S360)에서 세척된 누수 위치에 경화액과 금속류 파우더를 3:1 중량비로 혼합한 접착제를 도포시키는 접착제 도포단계(S370); 상기 접착제 도포단계(S370)에서 도포된 접착제를 자연 경화시키는 경화단계(S380); 상기 경화단계(S380)에서 경화된 접착제 상부에 부식방지용액을 스프레이로 도포하는 스프레이 도포단계(S390); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법을 상세히 설명하도록 한다.
본 발명은 내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 다수개의 직선 배관(20)과, 상기 직선 배관(20)의 확관부(21)에 삽입하고 용접하여 상기 직선 배관(20)을 연결하는 다수개의 헤어밴드(30)를 구비한 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법에 관한 것으로서, 작동확인단계(S100), 위치확인단계(S200), 누수보수단계(S300)를 포함한다.
또한, 상기 열교환기는 상기 직선 배관(20) 사이를 흐르는 공기와의 전열면적을 증가시키는 핀(10)을 더 구비할 수 있다.
상기 작동확인단계(S100)에서는 상기 열교환기의 작동 여부를 확인한다. 반도체 제조용 장비는 작동이 중지될 때 막대한 손실이 발생하므로 반도체 제조용 장치와 이에 따른 열교환기의 작동 여부를 확인하고 적합한 열교환기 누수 보수보강방법을 이용함으로써 열교환기의 누수에 따른 반도체 제조에 손실을 줄일 수 있다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되는 경우에는 상기 위치확인단계(S200)에서 누수 위치를 확인하고 상기 보수단계(S300)에서 개별적인 열교환 누수 보수보강방법에 따라 누수를 보수할 수 있다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 정지 중으로 확인되는 경우에는 상기 위치확인단계(S200)에서 누수 위치를 확인하고 상기 보수단계(S300)에서 세척단계(S360), 접착제 도포단계(S370), 경화단계(S380), 스프레이 도포단계(S390)를 포함하는 열교환 누수 보수보강방법에 따라 누수를 보수보강할 수 있다.
상기 위치확인단계(S200)에서는 상기 열교환기의 누수 위치를 확인한다. 즉, 상기 열교환기의 누수 위치를 확인하고 적합한 열교환기 누수 보수보강방법을 이용함으로써 열교환기의 누수에 따른 반도체 제조에 손실을 줄일 수 있다.
특히, 상기 직선 배관(20)과 상기 헤어밴드(30)를 연결하는 상기 확관부(21)나 구부러진 헤어밴드(30)는 사용 시에 균열 및 파손이 되어 누수 되기 쉬우므로 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되고, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치가 상기 헤어밴드(30) 또는 용접된 상기 확관부(21)인 경우에 상기 누수보수단계(S300)는 적합한 열교환기 누수 보수보강방법을 이용하여 누수를 보수할 수 있다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 정지 중으로 확인되는 경우에는 상기 위치확인단계(S200)에서 누수 위치를 확인하고 상기 보수단계(S300)에서 세척단계(S360), 접착제 도포단계(S370), 경화단계(S380), 스프레이 도포단계(S390)를 포함하는 열교환 누수 보수보강방법에 따라 누수를 보수보강할 수 있다.
상기 누수보수단계(S300)에서는 상기 위치확인단계(S200)에서 확인된 누수 위치를 보수한다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되고, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치가 상기 헤어밴드(30)인 경우에 상기 누수보수단계(S300)는, 상기 헤어밴드(30)의 외주연에 탄성고무밴드(31)를 패킹하는 패킹단계(S310), 상기 패킹단계(S310)에서 설치한 상기 탄성고무밴드(31)의 외주연에 클램프(32)를 조여 고정하는 결합단계(S320)를 포함할 수 있다. 즉, 누수 확인 지점이나 누수 예상지점이 상기 헤어밴드(30)인 경우 요철이 적어 상기 탄성고무밴드(31)로 패킹하여 막을 수 있고 상기 탄성고무밴드(31)의 외주연에 상기 클램프(32)로 고정함으로써 상기 헤어밴드(30)의 누수를 보수할 수 있다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 중으로 확인되고, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치가 용접된 상기 확관부(21)인 경우에 상기 누수보수단계(S300)는, 상기 확관부(21)의 외주연에 주입구멍(23)을 구비한 원통형 플라스틱 몰드(22)를 부착하는 몰드부착단계(S330), 상기 플라스틱 몰드(22)의 주입구멍(23)에 보강제인 에폭시 수지(24)를 충진하는 충진단계(S340), 상기 충진단계(S340)에서 충진한 에폭시 수지(24)를 자연 경화시켜 고정하는 경화단계(S350)를 포함할 수 있다.
상기 직선 배관(20)의 확관부(21)에 헤어밴드(30)를 삽입하고 용접하게 되므로 상기 확관부(21)는 용접시 용융금속이 배관 내로 유입되어 돌출되면 배관 내를 흐르는 유체의 이송에 많은 저항이 걸리게 되고 배관 내에 용접부가 노출되면 산화부식이 빠르게 이루어지게 되어 균열 및 파손의 위험성이 크다. 또한, 상기 확관부(21)는 요철이 있어 상기 헤어밴드(30)의 누수와 같이 상기 탄성고무밴드(31)를 패킹하는데 한계가 있어 누수가 확인되거나 예상될 경우 원통형 플라스틱 몰드(22)를 부착하고 보강제인 에폭시 수지(24)를 주입구멍(23)에 충진하여 자연 경화시켜 누수를 보수할 수 있다.
또한, 상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 정지 중으로 확인되는 경우에 상기 보수단계(S300)는, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치를 세척하여 이물질을 제거하는 세척단계(S360), 상기 세척단계(S360)에서 세척된 누수 위치에 경화액과 금속류 파우더를 3:1 중량비로 혼합한 접착제를 도포시키는 접착제 도포단계(S370), 상기 접착제 도포단계(S370)에서 도포된 접착제를 자연 경화시키는 경화단계(S380), 상기 경화단계(S380)에서 경화된 접착제 상부에 부식방지용액을 스프레이로 도포하는 스프레이 도포단계(S390)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 보강 포인트를 세척하고 경화액과 주제인 구리 등의 금속류 파우더를 3:1의 중량비로 혼합한 접착제를 3회 이상 두껍게 도포한 후 경화시키고 육안 검사를 하고 상기 경화된 접착제 상부에 부식방지용액을 스프레이로 도포하여 마감함으로써 열교환기의 누수를 보수 및 보강할 수 있다. 접착제를 도포하는 누수 예상지점은 상기 위치확인단계(S200)에서 육안검사로 위치를 확인할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.
10: 핀 20: 직선 배관
21: 확관부 22: 플라스틱 몰드
23: 주입구멍 30: 헤어밴드
31: 탄성고무밴드 32: 클램프

Claims (4)

  1. 내부에 냉매가 이송되어 열 교환이 되도록 하는 다수개의 직선 배관(20)과, 상기 직선 배관(20)의 확관부(21)에 삽입하고 용접하여 상기 직선 배관(20)을 연결하는 다수개의 헤어밴드(30)를 구비한 반도체 제조용 열교환기의 누수 보수보강방법에 있어서,
    상기 열교환기의 작동 여부를 확인하는 작동확인단계(S100);
    상기 열교환기의 누수 위치를 확인하는 위치확인단계(S200);
    상기 위치확인단계(S200)에서 확인된 누수 위치를 보수하는 누수보수단계(S300);를 포함하되,
    상기 작동확인단계(S100)에서 상기 열교환기가 작동 정지 중으로 확인되는 경우에 상기 보수단계(S300)는,
    상기 위치확인단계(S200)에서 확인한 누수 위치를 세척하여 이물질을 제거하는 세척단계(S360);
    상기 세척단계(S360)에서 세척된 누수 위치에 경화액과 금속류 파우더를 3:1 중량비로 혼합한 접착제를 도포시키는 접착제 도포단계(S370);
    상기 접착제 도포단계(S370)에서 도포된 접착제를 자연 경화시키는 경화단계(S380);
    상기 경화단계(S380)에서 경화된 접착제 상부에 부식방지용액을 스프레이로 도포하는 스프레이 도포단계(S390);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 열교환기 누수 보수보강방법.


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