KR101399430B1 - The apparatus for changing the pitch between the substrates - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 꺼내서 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 기판 피치 변경장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 피치 변경장치는 기판 적재 간격이 제1 피치인 슬릿이 N개 형성되어 있는 소폭 카세트를 고정 지지하는 소폭 카세트 지지부; 상기 소폭 카세트 지지부에 인접하게 설치되며, 기판 적재 간격이 상기 제1 피치의 M 배수인 제2 피치를 가지는 슬릿이 N개 형성되어 있는 광폭 카세트를 고정 지지하는 광폭 카세트 지지부; 상기 제2 피치와 동일한 간격으로 형성되는 L 개의 기판 홀딩수단을 구비하며, 상기 소폭 카세트 또는 광폭 카세트에 적재된 기판을 개별적으로 승강 및 수평 이동시키는 기판 이동부; 상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 (AM + C) 번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 광폭 카세트의 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿까지 순서대로 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하고, 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 소폭 카세트의 (AM + C)번째 슬릿에 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하는 제어부;를 포함한다. ( 단, 상기 A는 0과 자연수이며, 상기 B, N, M은 자연수이고, 상기 L은 N/M - 1 보다 큰 자연수이고, 상기 C는 0 또는 M보다 작은 자연수임.) In the present invention, a plurality of substrates are taken out from a wide cassette in which a space between the substrates is widely inserted, the cassette is inserted into a narrow cassette with a narrow gap between the substrates, or a plurality of substrates inserted in a small cassette are transferred to a wide cassette A substrate pitch changing device according to the present invention includes: a small width cassette supporting part for fixing and supporting a small width cassette having N slits having a first pitch; A wide cassette supporting portion which is provided adjacent to the small cassette supporting portion and fixes and supports the wide cassette having N slits having a second pitch at which the board loading interval is M times the first pitch; A substrate moving unit having L substrate holding means formed at the same interval as the second pitch, and moving up and down the substrates loaded on the small cassette or the wide cassette individually; L substrates inserted in the (AM + C) th slit among the N substrates inserted in the small cassette are picked up and inserted in order from the B slit of the wide cassette to the (B + L - 1) th slit (AM + C) of the small-size cassette by controlling the substrate moving unit to pick up L substrates inserted in the (B + L - 1) -th slit from the B-th slit among the N substrates inserted into the wide cassette, And a control unit controlling the substrate moving unit to insert the substrate into the first slit. (Wherein A is a natural number equal to 0, B, N and M are natural numbers, L is a natural number greater than N / M - 1, and C is a natural number less than 0 or M.)

Description

기판 피치 변경 장치{THE APPARATUS FOR CHANGING THE PITCH BETWEEN THE SUBSTRATES}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate pitch changing apparatus,

본 발명은 기판 사이의 간격 즉, 기판 피치를 변경하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 꺼내서 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 기판 피치 변경장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an apparatus for changing the interval between substrates, that is, a substrate pitch changing apparatus, and more particularly, The present invention relates to a substrate pitch changing apparatus for inserting a plurality of substrates accurately inserted or, conversely, inserted into a small-size cassette, into a wide-width cassette.

일반적으로 반도체 소자 제조, 엘시디 등 평판표시소자 제조, 태양전지 셀 제조 등의 공정에서는 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등 다양한 기판에 대하여 다양한 공정을 처리하여 반도체 소자, 평판표시소자, 태양전지셀 등을 제조한다. BACKGROUND ART Generally, semiconductor devices, flat panel display devices, solar cells, etc. are manufactured by processing various substrates on various substrates such as semiconductor wafers or glass substrates in processes such as semiconductor device manufacturing, flat panel display device manufacturing such as LCD, and solar cell manufacturing .

이러한 공정 중에는 다수장의 기판을 카세트에 적재한 상태에서 공정 사이를 이동하거나 실제 공정을 수행하는 경우가 많다. 그런데 일반적으로는 카세트 내에 적재된 상태의 기판 사이의 간격 즉, 기판 피치가 여유 있게 형성되는 광폭 카세트가 많이 사용되지만, 특정한 경우에는 기판 사이의 간격 즉, 기판 피치를 매우 좁게 하여 기판이 컴팩트하게 삽입되는 소폭 카세트가 사용되기도 한다. During such a process, there are many cases where a plurality of substrates are loaded on a cassette and moved between steps or actual processes are performed in many cases. However, in general, a wide cassette in which the pitch between the substrates in a state of being loaded in the cassette, that is, the pitch of the substrate is large, is widely used. However, in a specific case, A small cassette may be used.

이러한 경우에는 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 소폭 카세트로 이동시키거나, 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트로 이동시키는 작업이 반드시 필요하다. In this case, it is necessary to move a plurality of substrates inserted in the wide cassette to a small cassette, or to transfer a plurality of substrates inserted in a small cassette to a wide cassette.

그런데 종래에는 이러한 광폭 카세트와 소폭 카세트 간의 기판 이동 투입에 대한 기술이 제시되지 않았다. 따라서 이렇게 기판이 삽입되는 카세트를 변경하여 기판 사이의 간격을 변경하는 기판 피치 변경 기술의 개발이 절실하게 요구되고 있다. However, in the past, there has been no description on the transfer of substrates between such a wide cassette and a small cassette. Therefore, there is a desperate need to develop a substrate pitch changing technique in which the cassette into which the substrate is inserted is changed to change the interval between the substrates.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 자동 제어에 의하여 기판 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 꺼내서 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 기판 피치 변경장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for automatically inserting a plurality of substrates in a wide cassette in which a gap between substrates is widely inserted, And a substrate pitch changing device for inserting a plurality of substrates having the plurality of substrates thereinto into a wide cassette.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 피치 변경장치는 기판 적재 간격이 제1 피치인 슬릿이 N개 형성되어 있는 소폭 카세트를 고정 지지하는 소폭 카세트 지지부; 상기 소폭 카세트 지지부에 인접하게 설치되며, 기판 적재 간격이 상기 제1 피치의 M 배수인 제2 피치를 가지는 슬릿이 N개 형성되어 있는 광폭 카세트를 고정 지지하는 광폭 카세트 지지부; 상기 제2 피치와 동일한 간격으로 형성되는 L 개의 기판 홀딩수단을 구비하며, 상기 소폭 카세트 또는 광폭 카세트에 적재된 기판을 개별적으로 승강 및 수평 이동시키는 기판 이동부; 상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 (AM + C) 번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 광폭 카세트의 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿까지 순서대로 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하고, 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 소폭 카세트의 (AM + C)번째 슬릿에 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하는 제어부;를 포함한다. ( 단, 상기 A는 0과 자연수이며, 상기 B, N, M은 자연수이고, 상기 L은 N/M - 1 보다 큰 자연수이고, 상기 C는 0 또는 M보다 작은 자연수임.)
According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate pitch changing apparatus comprising: a small-width cassette supporting unit for fixing and supporting a small-width cassette having N slits having a first pitch; A wide cassette supporting portion which is provided adjacent to the small cassette supporting portion and fixes and supports the wide cassette having N slits having a second pitch at which the board loading interval is M times the first pitch; A substrate moving unit having L substrate holding means formed at the same interval as the second pitch, and moving up and down the substrates loaded on the small cassette or the wide cassette individually; L substrates inserted in the (AM + C) th slit among the N substrates inserted in the small cassette are picked up and inserted in order from the B slit of the wide cassette to the (B + L - 1) th slit (AM + C) of the small-size cassette by controlling the substrate moving unit to pick up L substrates inserted in the (B + L - 1) -th slit from the B-th slit among the N substrates inserted into the wide cassette, And a control unit controlling the substrate moving unit to insert the substrate into the first slit. (Wherein A is a natural number equal to 0, B, N and M are natural numbers, L is a natural number greater than N / M - 1, and C is a natural number less than 0 or M.)

또한 본 발명에서 상기 기판 홀딩수단은 기판의 일 측면을 진공으로 흡착하여 고정하는 기판 흡착 패드이며, Further, in the present invention, the substrate holding means is a substrate adsorption pad for adsorbing and fixing one side of a substrate by vacuum,

상기 기판 이동부는, L 개의 기판 흡착 패드가 평행하게 구비되는 패드부; 상기 패드부를 승강하는 패드부 승강수단; 및 상기 패드부 승강수단을 수평 방향으로 이동시키는 패드부 수평 이동수단;을 포함하는 것이 바람직하다.The substrate moving unit may include: a pad unit having L substrate adsorption pads arranged in parallel; A pad portion elevating means for moving the pad portion up and down; And pad unit horizontal moving means for moving the pad portion elevating means in the horizontal direction.

그리고 상기 기판 이동부에는, 상기 패드부 수평 이동수단에 설치되어 함께 이동하되, 상기 패드부가 완전히 상승한 상태에서 상기 패드부 하측에 위치되며, 각 패드부에 흡착 고정된 기판의 양 측부가 삽입되는 기판 안내 수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.The substrate moving unit is provided with a substrate moving unit that moves the substrate moving unit together with the substrate moving unit. The substrate moving unit moves the substrate moving unit together with the substrate moving unit. It is preferable that a guide means is further provided.

여기에서 상기 패드부는, 상기 기판 흡착 패드가 L 개 이하로 구비되는 다수개의 패드부로 구성되며, 각 패드부는 독립적으로 상하 구동하는 것이 바람직하다. Here, the pad unit may include a plurality of pad units having L or less substrate adsorption pads, and each pad unit may be independently driven up and down.

또한 상기 소폭 카세트 지지부는, 상기 소폭 카세트를 지지 고정하는 소폭 카세트 고정부;와 상기 소폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 소폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것이 바람직하다. The small width cassette supporting portion includes a small width cassette fixing portion for supporting and fixing the small width cassette and a small width cassette horizontal moving portion for horizontally moving the small width cassette fixing portion in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving portion .

그리고 상기 소폭 카세트 지지부에는, 상기 소폭 카세트 고정부 하측에 설치되며, 상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 상기 기판을 하측에서 상측으로 일정 높이로 밀어올리는 기판 상승 수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. Preferably, the small-width cassette supporting unit further includes a substrate elevating unit that is provided below the small-width cassette fixing unit and pushes up the substrate inserted in the small-width cassette from the lower side to the upper side at a predetermined height.

또한 상기 기판 상승 수단은, 상기 소폭 카세트에 형성되어 있는 슬릿에 삽입될 수 있는 두께로 형성되며, 상승하면서 상기 소폭 카세트의 슬릿에 삽입되어 있는 기판의 하부를 밀어올리는 다수개의 슬릿 통과 판넬; 상기 다수개의 슬릿 통과 판넬이 기립된 상태로 평행하게 설치되는 판넬 설치부; 상기 판넬 설치부와 결합되어 설치되며, 상기 판넬 설치부를 승강시키는 판넬 승강부;를 포함하는 것이 바람직하다. The substrate elevating means may include a plurality of slit passing panels formed to have a thickness capable of being inserted into the slits formed in the small width cassette and pushing up the lower portion of the substrate inserted into the slits of the small width cassette while being raised; A plurality of slit passing panels installed parallel to each other in a standing state; And a panel elevating part coupled to the panel mounting part to elevate the panel mounting part.

그리고 상기 기판 상승 수단에는, 상기 판넬 설치부를 수평 방향으로 이동시키는 판넬 수평 이동부가 더 구비되는 것이 바람직하다.The substrate elevating means may further include a panel horizontal moving unit for horizontally moving the panel mounting unit.

한편 상기 광폭 카세트 지지부는, 상기 광폭 카세트를 지지 고정하는 광폭 카세트 고정부; 상기 광폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 광폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것이 바람직하다. Meanwhile, the wide cassette supporting portion includes a wide cassette fixing portion for supporting and fixing the wide cassette; And a wide cassette horizontal moving unit that horizontally moves the wide cassette fixing unit in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving unit.

또한 상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부의 양 측에 전후진 가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 양 측부를 삽입하여 기판 간격을 일정하게 조정하는 기판 얼라이너부가 더 구비되는 것이 바람직하다. The wide cassette supporting portion is provided with a substrate aligner portion which is provided on both sides of the wide cassette fixing portion so as to be able to move forward and backward and which inserts both side portions of a plurality of substrates inserted into the wide cassette, .

또한 상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부를 일단을 회전 중심으로하여 타단을 일정 각도로 회전시키는 틸팅 수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. The wide cassette supporting part may further include a tilting unit that rotates the other end of the wide cassette fixing part at a predetermined angle with one end serving as a rotation center.

그리고 상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부 하측에 상하 방향으로 승강가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트 고정부에 고정된 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 하면을 밀어올려서 상승시키는 기판 상승 지그가 더 구비되는 것이 바람직하다. The wide cassette supporting portion is provided with a substrate elevating jig which is vertically movable up and down below the wide cassette fixing portion and which pushes up and elevates a plurality of substrate surfaces inserted into the wide cassette fixed to the wide cassette fixing portion, Is further provided.

본 발명의 피치 변경장에 따르면 광폭 카세트의 피치가 소폭 카세트 피치의 자연수 배수가 되는 경우에 모두 적용할 수 있으며, 다수장의 기판에 대하여 자동으로 기판 적재 피치를 변경할 수 있는 획기적인 효과를 달성할 수 있다. According to the pitch changing field of the present invention, it is possible to apply the present invention to all cases where the pitch of the wide cassette becomes a natural multiple of a small cassette pitch, and an epoch-making effect of automatically changing the substrate loading pitch for a large number of substrates can be achieved .

특히, 기판을 카세트에서 꺼내는 패드부를 다수개로 분리하여 구비하여 다양한 개수의 기판에 대하여 탄력적으로 대응할 수 있으며, 기판의 피치 변경 작업에 소요되는 시간을 대폭 단축할 수 있는 장점도 있다. Particularly, a plurality of pad portions for taking out the substrate from the cassette are provided separately, so that it is possible to flexibly cope with various numbers of substrates, and the time required for changing the pitch of the substrate can be drastically shortened.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 피치 변경장치의 구조를 도시하는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 흡착 패드의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 흡착 패드와 기판 안내 수단의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 안내 수단에 기판이 삽입된 상태를 도시하는 상태도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 상승 수단의 구조 및 작동 상태를 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광폭 카세트에 기판들이 삽입된 상태를 도시하는 도면이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 틸팅 수단에 의하여 기판이 정렬된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라이너부의 구조를 도시하는 도면이다.
도 9, 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 상승 지그의 작동 상태를 도시하는 도면들이다. 1 is a front view showing a structure of a substrate pitch changing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a structure of a substrate adsorption pad according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing the structure of a substrate adsorption pad and substrate guiding means according to an embodiment of the present invention.
4 is a state diagram showing a state in which a substrate is inserted into a substrate guiding means according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram showing the structure and operating state of the substrate lifting means according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a state in which substrates are inserted into a wide cassette according to an embodiment of the present invention,
7 is a view illustrating a state in which the substrates are aligned by the tilting means according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a structure of a substrate aligner according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 9 and 10 are views showing an operation state of the substrate lifting jig according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 기판 피치 변경장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 소폭 카세트 지지부(100), 광폭 카세트 지지부(200), 기판 이동부(300) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다. 1, the substrate pitch changing apparatus 1 according to the present embodiment includes a small width cassette supporting unit 100, a wide cassette supporting unit 200, a substrate moving unit 300, and a control unit (not shown) .

먼저 본 실시예에서 '기판 피치'라 함은 카세트에 기판이 삽입될 수 있도록 형성되어 있는 다수개의 슬릿 중 이웃한 슬릿 사이의 간격을 말하는 것으로서, 상기 슬릿에 기판이 모두 삽입된 상태에서 이웃한 기판 사이의 간격을 말하는 것이다. 그리고 본 실시예에서 소폭 카세트의 기판 피치는 제1 피치로 하고, 광폭 카세트의 기판 피치는 제2 피치로 정한다. In the present embodiment, 'substrate pitch' refers to a distance between adjacent slits of a plurality of slits formed in a cassette so that a substrate can be inserted into the cassette. In this case, Quot; In this embodiment, the substrate pitch of the small-width cassette is set to the first pitch, and the substrate pitch of the wide-width cassette is set to the second pitch.

상기 소폭 카세트 지지부(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 소폭 카세트(101)를 고정 지지하는 구성요소이다. 여기에서 소폭 카세트라 함은 기판 적재 간격 즉, 기판 피치가 제1 피치로 형성되는 슬릿이 N 개 형성되어 있는 카세트를 말한다(여기에서 N은 자연수이다.). 상기 제1 피치의 정확한 수치는 공정에 따라 다양하게 변화될 수 있으며, 상기 소폭 카세트에 형성되는 슬릿의 수도 다양하게 변화될 수 있다. As shown in FIG. 1, the small width cassette supporting part 100 is a component for fixing and supporting the small width cassette 101. Here, the term "small-size cassette" refers to a cassette having N slits in which the substrate pitch, that is, the substrate pitch, is formed at the first pitch (where N is a natural number). The exact value of the first pitch can be variously changed according to the process, and the number of slits formed in the small-width cassette can be variously changed.

그리고 본 실시예에서 상기 소폭 카세트 지지부(100)는 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 소폭 카세트 고정부(110), 소폭 카세트 수평 이동부(120) 및 기판 상승수단(130)을 포함하여 구성될 수 있다. 1, the small width cassette supporting unit 100 includes a small width cassette fixing unit 110, a small width horizontal moving unit 120, and a substrate lifting unit 130. In this embodiment, .

먼저 소폭 카세트 고정부(110)는 외부에서 공급되는 소폭 카세트(101)를 공정 진행 중에 지지 고정하는 구성요소이다. 상기 소폭 카세트 고정부(110)는 상기 소폭 카세트(110)의 측부 및 하부 등과 접촉하여 반복적으로 지지 고정할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있다. First, the small width cassette fixing part 110 is a component for holding and fixing the small width cassette 101 supplied from the outside during the process. The small width cassette fixing unit 110 may have various structures capable of repeatedly supporting and fixing the small width cassette 110 in contact with the side and bottom of the cassette 110.

다음으로 상기 소폭 카세트 수평 이동부(120)는 상기 소폭 카세트 고정부(110)를 상기 기판 이동부(300)의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 구성요소이다. 공정 진행 과정에서는 상기 소폭 카세트 고정부(110)에 빈 소폭 카세트(101)를 공급하거나 기판이 채워진 소폭 카세트(101)를 외부로 배출하는 공정이 반드시 수반되는데, 이렇게 소폭 카세트(101)를 상기 소폭 카세트 고정부(110)에 공급하거나 배출하는 과정에서는 상기 소폭 카세트 고정부(110)가 상기 기판 이동부(300) 하측을 벗어난 위치로 수평 이동되는 것이 간섭 현상없이 소폭 카세트를 용이하게 취급할 수 있어서 바람직하다. Next, the small width cassette horizontal moving unit 120 horizontally moves the small width cassette fixing unit 110 in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving unit 300. In the course of the process, a process of supplying the empty small-width cassette 101 to the small cassette fixing unit 110 or discharging the small-width cassette 101 filled with the substrates to the outside is necessarily performed. In the process of supplying or discharging the cassette fixing unit 110, the small cassette fixing unit 110 is horizontally moved to a position deviating from the lower side of the substrate moving unit 300, so that the small cassette can be easily handled without interference desirable.

따라서 상기 소폭 카세트 수평 이동부(120)는 상기 소폭 카세트 고정부(110)를 상기 기판 이동부(300)의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키게 된다. 상기 소폭 카세트 수평 이동부(120)는 구체적인 구조는 수평 이동방향을 안내하는 리니어 가이드(122)와 이동 동력을 제공하는 동력수단(124)을 포함하여 구성될 수 있다. Accordingly, the small width cassette horizontal moving unit 120 horizontally moves the small width cassette fixing unit 110 in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving unit 300. The specific structure of the small width cassette horizontal moving unit 120 may include a linear guide 122 for guiding a horizontal movement direction and a power means 124 for providing a moving power.

다음으로 상기 기판 상승 수단(130)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 소폭 카세트 고정부(110) 하측에 설치되며, 상기 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 상기 기판을 하측에서 상측으로 일정 높이로 밀어올리는 구성요소이다. 1, the substrate lifting means 130 is installed below the small width cassette fixing portion 110, and the substrate inserted into the small width cassette 101 is moved upward from the lower side to a predetermined height As shown in FIG.

상기 소폭 카세트(101)에 형성되어 있는 슬릿은 매우 좁은 간격으로 형성되어 있어서 상기 슬릿에 삽입되어 있는 기판 사이의 간격도 매우 좁다. 따라서 상기 소폭 카세트(101)에 삽입되어 기판을 꺼내는 과정이나, 상기 소폭 카세트(101)에 기판을 삽입하는 과정에서 후술하는 기판 이동부(300)가 소폭 카세트(101)에 삽입된 상태의 기판 사이의 공간으로 진입하는 것이 매우 어려울 수 있다. The slits formed in the small width cassette 101 are formed at very narrow intervals, and the interval between the substrates inserted into the slits is very narrow. Therefore, in the process of inserting the substrate into the small width cassette 101 and the process of inserting the substrate into the small width cassette 101, the substrate moving unit 300, which will be described later, is inserted between the substrates in a state where the substrate moving unit 300 is inserted into the small width cassette 101 It can be very difficult to enter into the space of FIG.

따라서 상기 기판 상승 수단(130)은 상기 소폭 카세트(101)에서 기판을 꺼내는 과정에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 소폭 카세트(101)의 하측에서 상측 방향으로 꺼내질 기판(S)을 일정한 높이로 들어올리는 역할을 하는 것이다. 그러면 상기 소폭 카세트(101) 상측으로 노출된 기판(S)의 상측면을 기판 이동부(300)가 흡착하여 배출하는 것이다. 5, the substrate lifting means 130 moves the substrate S to be taken out from the lower side of the small-size cassette 101 in the upward direction to a predetermined position in the process of removing the substrate from the small- It lifts up to height. The substrate moving unit 300 sucks and discharges the upper surface of the substrate S exposed above the narrow cassette 101.

물론 기판을 상기 소폭 카세트(101)로 집어넣는 과정에서도 동일한 문제가 발생한다. 따라서 상기 기판 상승 수단(130)은 상기 기판 이동부(300)에 의하여 기판이 삽입되는 과정에서는 상기 소폭 카세트(101) 내부로 진입하여 상승한 상태를 유지하여 상기 기판 이동부(300)에 의하여 이동된 기판(S)을 받는다. 그리고 다시 하강하여 기판이 상기 소폭 카세트(101)의 슬릿에 완벽하게 삽입되도록 한다. 이렇게 상기 기판 상승수단(130)을 이용하여 기판을 수취하면 기판 삽입과정에서 기판이 낙하하여 손상되는 문제점을 방지할 수 있다. Of course, the same problem also arises in the process of inserting the substrate into the small cassette 101. Therefore, the substrate lifting means 130 enters the small width cassette 101 during the process of inserting the substrate by the substrate moving unit 300, maintains the elevated state, and is moved by the substrate moving unit 300 And receives the substrate S. And the substrate is lowered again so that the substrate is completely inserted into the slit of the small-size cassette 101. When the substrate is lifted by using the substrate lifting means 130, it is possible to prevent the substrate from being dropped and damaged during the substrate inserting process.

이를 위하여 상기 기판 상승 수단(130)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 슬릿 통과 판넬(132), 판넬 설치부(134) 및 판넬 승강부(136)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 슬릿 통과 판넬(132)은 도 5에 도시된 바와 같이,상기 소폭 카세트(101)에 형성되어 있는 슬릿에 삽입될 수 있는 두께로 형성되며, 상승하면서 상기 소폭 카세트(101)의 슬릿에 삽입되어 있는 기판(S)의 하부를 밀어올리거나, 그 상면에 기판의 하면이 접촉한 상태에서 기판을 천천히 하강시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 상기 슬릿 통과 판넬(132)을 다수개가 나란하게 형성되되, 상기 다수개의 슬릿 통과 판넬(132)이 형성되는 간격은 상기 기판 이동부(300)에 형성되는 기판 흡착 패드의 간격과 일치되도록 형성되는 것이 바람직하다. The substrate lifting unit 130 may include a slit passing panel 132, a panel mounting unit 134, and a panel elevating unit 136 as shown in FIG. As shown in FIG. 5, the slit passing panel 132 is formed to have a thickness enough to be inserted into a slit formed in the small-width cassette 101, and inserted into the slit of the small-size cassette 101 The lower surface of the substrate S on which the substrate S is mounted is raised or the substrate is slowly lowered while the lower surface of the substrate is in contact with the upper surface. In this embodiment, a plurality of the slit passing panels 132 are formed in parallel to one another, and the interval between the plurality of slit passing panels 132 is equal to the interval between the substrate adsorption pads formed on the substrate moving part 300 .

따라서 상기 슬릿 통과 판넬(132)은 기판 이동부(300)의 기판 흡착 패드와 연동되어 동일한 위치의 기판을 상승시키거나 동일한 위치의 슬릿에서 대기하다가 삽입되는 기판을 수취하여야 한다. Accordingly, the slit passing panel 132 is interlocked with the substrate adsorption pad of the substrate moving part 300 to lift the substrate at the same position or to wait for the slit at the same position to receive the substrate to be inserted.

다음으로 판넬 설치부(134)는 상기 다수개의 슬릿 통과 판넬(132)이 기립된 상태로 평행하게 설치되는 구성요소이다. 상기 판넬 승강부(136)는 상기 판넬 설치부(134)와 결합되어 설치되며, 상기 판넬 설치부(134)를 승강시키는 구성요소이다. 또한 상기 기판 상승 수단(130)에는 상기 판넬 설치부(132)를 수평 방향으로 이동시키는 판넬 수평 이동부(도면에 미도시)가 더 구비될 수도 있다. 상기 판넬 수평 이동부는 전술한 바와 같이, 상기 슬릿 통과 판넬(132)의 위치를 상기 기판 이동부의 기판 흡착 패드의 위치와 연동하여 이동시키는 과정에서 상기 슬릿 통과 판넬(132)의 수평 위치를 변동시킨다.
Next, the panel mounting part 134 is a component that is installed in parallel with the plurality of slit passing panels 132 standing upright. The panel elevating unit 136 is coupled to the panel mounting unit 134 and is a component for moving the panel mounting unit 134 up and down. The substrate lifting unit 130 may further include a panel horizontal moving unit (not shown) for moving the panel mounting unit 132 in a horizontal direction. As described above, the panel horizontal moving unit varies the horizontal position of the slit passing panel 132 in the process of moving the position of the slit passing panel 132 in conjunction with the position of the substrate suction pad of the substrate moving unit.

다음으로 광폭 카세트 지지부(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 소폭 카세트 지지부(100)에 인접하게 설치되며, 광폭 카세트(201)를 고정 지지하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 광폭 카세트(201)는 기판 적재 간격이 상기 제1 피치의 M 배수인 제2 피치로 형성되는 슬릿이 N개 형성되어 있는 카세트를 말한다. 따라서 광폭 카세트(201)에 형성되는 슬릿의 개수는 상기 소폭 카세트와 동일하지만, 슬릿 사이의 간격이 상기 소폭 카세트의 간격인 제1 피치보다 M 배 큰 제2 피치인 것이다.(여기에서 M 은 자연수이다.) Next, as shown in FIG. 1, the wide cassette supporting part 200 is provided adjacent to the small cassette supporting part 100 and is a component for fixing and supporting the wide cassette 201. In this embodiment, the wide cassette 201 refers to a cassette having N slits formed at a second pitch at which the board loading interval is M times the first pitch. Therefore, the number of slits formed in the wide cassette 201 is the same as that of the small-size cassette, but the second pitch is the interval between the slits M times larger than the first pitch that is the interval between the small cassettes. (Here, to be.)

그리고 본 실시예에서 상기 광폭 카세트 지지부(200)는 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 광폭 카세트 고정부(210), 광폭 카세트 수평 이동부(220), 기판 얼라이너부(230) 및 틸팅 수단(240)이 구비되는 구조를 가질 수 있다. 1, the wide cassette supporting unit 200 includes a wide cassette fixing unit 210, a wide cassette horizontal moving unit 220, a substrate aligner unit 230, and a tilting unit (not shown) 240 may be provided.

먼저 상기 광폭 카세트 고정부(210)는 상기 광폭 카세트(201)를 지지 고정하는 구성요소이다. 즉, 상기 광폭 카세트 고정부(210)는 공정 진행 중에 외부에서 공급되는 상기 광폭 카세트(201)의 측부 및 하부를 접촉한 상태에서 지지 및 고정하는 것이다. 상기 광폭 카세트 고정부(210)의 구체적인 구조는 다양하게 변경될 수 있다. First, the wide cassette fixing part 210 is a component for supporting and fixing the wide cassette 201. That is, the wide cassette fixing part 210 supports and fixes the side and the bottom of the wide cassette 201, which are supplied from the outside during the process, in a state of being in contact with each other. The specific structure of the wide cassette fixing part 210 may be variously changed.

다음으로 상기 광폭 카세트 수평 이동부(220)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광폭 카세트 고정부(210)를 상기 기판 이동부(300)의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 구성요소이다. 전술한 소폭 카세트(101)와 마찬가지로, 상기 광폭 카세트(201)의 경우에도 공정이 시작되는 때 또는 공정이 완료된 후에는, 상기 광폭 카세트 고정부(210)에 빈 광폭 카세트(201)를 장착하거나, 기판이 채워진 광폭 카세트(201)를 배출하여야 한다. 이 경우에는 상기 광폭 카세트 고정부(210)를 상기 기판 이동부(300)의 직하방에서 수평 이동시켜 간섭이 없는 위치에서 작업하는 것이 유리하다. 따라서 광폭 카세트 수평 이동부(220)는 상기 광폭 카세트 고정부(210)를 상기 기판 이동부(300)의 수평 이동방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시킨다. 1, the wide cassette horizontal moving part 220 horizontally moves the wide cassette fixing part 210 in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving part 300 Element. The wide width cassette 201 may be attached to the wide cassette fixing part 210 either at the start of the process or after the process is completed in the case of the wide width cassette 201, The wide cassette 201 in which the substrate is filled must be discharged. In this case, it is advantageous that the wide cassette fixing part 210 is horizontally moved directly below the substrate moving part 300 to work at a position free from interference. Accordingly, the wide cassette horizontal moving unit 220 horizontally moves the wide cassette fixing unit 210 in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving unit 300.

다음으로 상기 기판 얼라이너부(230)는, 상기 광폭 카세트 고정부(210)의 양 측에 전후진 가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 다수개의 기판 양 측부를 삽입하여 기판 간격을 일정하게 조정하는 구성요소이다. 상기 광폭 카세트(201)의 슬릿은 기판의 두께보다 크게 형성될 수 있다. 따라서 상기 슬릿에 기판이 삽입된 상태에서 도 6에 도시된 바와 같이, 각 슬릿에 삽입되어 있는 기판의 상태가 상이할 수 있다. 이런 상태에서 상기 기판 이동부(300)의 기판 흡착 패드가 기판 흡착을 위하여 하강하면 기판(S)과 충돌하여 기판이 손상될 수 있다. Next, the substrate aligner 230 is installed on both sides of the wide cassette fixing part 210 so as to be able to move back and forth, and a plurality of substrate side parts inserted in the wide cassette 201 are inserted, To a constant value. The slit of the wide cassette 201 may be formed larger than the thickness of the substrate. Therefore, as shown in FIG. 6, when the substrate is inserted into the slit, the state of the substrate inserted into each slit may be different. In this state, if the substrate adsorption pad of the substrate moving part 300 is lowered for adsorption of the substrate, the substrate may be damaged by colliding with the substrate S.

따라서 상기 기판 얼라이너부(230)가 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 상태의 다수개 기판(S)의 측면을 양 측에서 삽입 지지하여 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 모든 기판(S)이 동일한 상태를 유지하도록한다. 이 기판 얼라이너부(230)에 의하여 다수개의 기판에 대한 배출 작업이 정확하게 진행될 수 있는 것이다. 구체적으로 상기 기판 얼라이너부(230)는 다수개의 기판 측면이 삽입될 수 있는 기판 삽입틈(231)이 형성되어 있는 정렬 바(232)와 상기 정렬 바(232)를 전후 방향으로 이동시키는 동력수단(234)을 포함하여 구성될 수 있다. 8, the side of the plurality of substrates S inserted into the wide cassette 201 is inserted and supported on both sides of the wide cassette 201, So that all the substrates S inserted into the substrate S remain in the same state. By this substrate aligner 230, the discharge operation for a plurality of substrates can be accurately performed. Specifically, the substrate aligner 230 includes an alignment bar 232 having a substrate insertion gap 231 into which a plurality of substrate sides can be inserted, and a power means for moving the alignment bar 232 in the forward and backward directions 234).

다음으로 상기 틸팅 수단(240)은 상기 광폭 카세트 고정부(210)를 일단을 회전 중심으로하여 타단을 일정 각도로 회전시키는 구성요소이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 광폭 카세트(201)에 삽입된 다수개의 기판(S)은 다양한 상태를 유지할 수 있다. 이때 상기 틸팅 수단(240)이 상기 광폭 카세트(201)가 고정되어 있는 광폭 카세트 고정부(210)의 각도를 기울어지게 틸팅하면, 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 다수개의 기판이 도 7에 도시된 바와 같이, 통일된 상태를 가지게 된다. 이 상태에서 상기 기판 얼라이너부(230)가 상기 기판 방향으로 접근하여 기판의 위치가 변경되지 않도록 기판(S)의 측부를 삽입하여 지지하게 된다. Next, the tilting means 240 is a component that rotates the other end of the wide cassette fixing part 210 at a predetermined angle with one end serving as a rotation center. As shown in FIG. 6, the plurality of substrates S inserted in the wide cassette 201 can maintain various states. When the tilting means 240 tilts the angle of the wide cassette fixing portion 210 to which the wide cassette 201 is fixed, the plurality of substrates inserted into the wide cassette 201 are aligned As shown, it has a unified state. In this state, the side of the substrate S is inserted and supported so that the substrate aligner 230 approaches the substrate and the position of the substrate is not changed.

본 실시예에서 상기 틸팅 수단(240)은 상기 광폭 카세트 고정부(210)의 일단에 형성되는 회전축(242) 및 상기 회전축(242)의 타단에 설치도어 상기 광폭 카세트 고정부(210)의 타단을 들어올리는 틸팅부(244)로 구성될 수 있다. The tilting means 240 includes a rotation shaft 242 formed at one end of the wide cassette fixing portion 210 and a second end of the wide cassette fixing portion 210 installed at the other end of the rotation shaft 242 And a tilting portion 244 for lifting.

그리고 본 실시예에 따른 상기 광폭 카세트 지지부(200)에는, 도 9, 10에 도시된 바와 같이, 상기 광폭 카세트 고정부(210) 하측에 상하 방향으로 승강가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트 고정부(210)에 고정된 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 다수개의 기판 하면을 밀어올려서 상승시키는 기판 상승 지그(250)가 더 구비될 수 있다. 9 and 10, the wide cassette supporting part 200 according to the present embodiment is provided to be vertically movable up and down below the wide cassette fixing part 210, and the wide cassette supporting part 200 And a substrate lifting jig 250 for pushing up and lifting a plurality of substrate substrates inserted into the wide cassette 201 fixed to the substrate holder 210.

전술한 소폭 카세트 지지부(100)에서와 마찬가지로 광폭 카세트 지지부(200)에서도 기판의 삽입 또는 배출 과정에서 상기 기판 이동부(300)와의 원활한 작업을 위하여 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 기판(S)들을 일정한 높이로 상승시키는 것이 바람직하다. 물론 전술한 소폭 카세트(101)와 달리 그 상승 높이는 작아도 무관하다.
In the wide cassette supporting part 200 as in the case of the small width cassette supporting part 100 described above, in order to smoothly work with the substrate moving part 300 during the insertion or ejection of the substrate, the substrate S Are raised to a constant height. Of course, unlike the small-width cassette 101 described above, the rising height thereof may be small.

다음으로 상기 기판 이동부(300)는 상기 제2 피치와 동일한 간격으로 형성되는 L 개의 기판 홀딩수단을 구비하며, 상기 소폭 카세트 또는 광폭 카세트에 적재된 기판을 개별적으로 승강 및 수평 이동시키는 구성요소이다. 즉 상기 기판 이동부(300)가 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 기판들을 광폭 카세트(201)로 옮겨 담거나, 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 기판들을 소폭 카세트(101)로 옮겨 담는 것이다. Next, the substrate moving unit 300 has L substrate holding means formed at the same interval as the second pitch, and is a component that elevates and horizontally moves the substrates loaded on the small cassette or the wide cassette . In other words, the substrate moving unit 300 moves the substrates inserted into the small cassette 101 to the wide cassette 201 or the substrates inserted into the wide cassette 201 to the small cassette 101 .

이를 위하여 본 실시예에서 상기 기판 홀딩수단은 다수개의 기판을 개별적으로 홀딩할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 기판의 일 측면을 진공으로 흡착하여 고정하는 기판 흡착 패드(311)로 구성될 수 있다. 상기 기판 흡착 패드(311)는 도 2에 도시된 바와 같이, 판상의 구조를 가지며, 패드의 측면 하부에는 기체를 흡입하는 흡입공(313)이 다수개 형성된다. 이 흡착면을 이용하여 기판(S)의 측면을 흡착하는 것이다. For this purpose, the substrate holding means in the present embodiment may have various structures capable of individually holding a plurality of substrates, for example, a substrate adsorption pad 311 for adsorbing and fixing one side of the substrate by vacuum . As shown in FIG. 2, the substrate adsorption pad 311 has a plate-like structure, and a plurality of suction holes 313 for sucking gas are formed at a lower side of the pad. And the side surface of the substrate S is adsorbed by using the adsorption surface.

그리고 상기 기판 이동부(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 패드부(310), 패드부 승강수단(320), 패드부 수평 이동수단(330) 및 기판 안내 수단(340)이 구비될 수 있다. 상기 패드부(310)는 L 개의 기판 흡착 패드(311)가 평행하게 구비되는 구성요소이다.(여기에서 L 은 자연수이다.) 상기 패드부(310)에 구비되는 L 개의 기판 흡착 패드(311)는 동일하게 수직 및 수평 이동하며 기판을 흡착 또는 방착하게 된다. 1, the substrate moving unit 300 may include a pad unit 310, a pad unit elevating unit 320, a pad unit horizontal moving unit 330, and a substrate guiding unit 340 have. The pad unit 310 is a component in which L substrate adsorption pads 311 are provided in parallel to each other (L is a natural number). L substrate adsorption pads 311 provided on the pad unit 310, Are vertically and horizontally moved in the same manner to adsorb or adhere the substrate.

본 실시예에서 상기 패드부(310)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개가 나란하게 설치될 수 있다. 이렇게 상기 패드부(310) 다수개로 설치하는 것은, 카세트에 삽입되어 있는 모든 기판들에 대하여 기판을 카세트에서 꺼내는 동작과 카세트에 기판을 삽입하는 동작을 상기 패드부(310)의 반복적인 수평 이동 없이 다수개의 패드부를 사용하여 신속하게 수행하기 위함이다. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a plurality of the pad units 310 may be installed side by side. The plurality of pads 310 may be formed by removing the substrate from the cassette and inserting the substrate into the cassette with respect to all of the substrates inserted into the cassette without repeating horizontal movement of the pad unit 310 So that a plurality of pad portions can be used for quick execution.

다음으로 상기 패드부 승강수단(320)은 상기 패드부(310)를 상하 방향으로 승강하는 구성요소이다. 즉, 상기 패드부 승강수단(320)은 상기 기판 흡착 패드(311)를 하강시켜 기판(S)을 들어올리거나 흡착되어 있는 기판(S)을 카세트에 삽입하고, 기판을 흡착한 상태의 기판 흡착 패드(311)를 상승시키는 역할을 한다. Next, the pad portion elevating means 320 is a component for vertically moving the pad portion 310. That is, the pad portion elevating means 320 descends the substrate adsorption pad 311 to insert the substrate S, which is lifted or adsorbed on the substrate S, into the cassette, (311).

물론 상기 패드부(310)가 다수개 구비되는 경우에는 상기 패드부 승강수단(320)도 각 패드부(301)에 독립적으로 구비되어 각 패드부(310)를 독립적으로 승강시킨다. Of course, when a plurality of the pad units 310 are provided, the pad unit elevating means 320 is also provided independently of each pad unit 301 to independently lift and lower the pad units 310.

다음으로 패드부 수평 이동수단(330)은 상기 패드부 승강수단(320)을 수평 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 패드부 수평 이동수단(330)은 상기 패드부 승강수단(320)이 고정되는 고정 플레이트(332)를 수평 방향으로 이동시킴으로써, 상기 패드부(310) 및 이에 흡착 고정되어 있는 기판(S)을 광폭 카세트 고정부(210)와 소폭 카세트 고정부(110) 사이로 왕복 이동시킨다. Next, the pad portion horizontal moving means 330 is a component for moving the pad portion elevating means 320 in the horizontal direction. That is, the pad moving unit 330 horizontally moves the fixing plate 332 to which the pad portion elevating means 320 is fixed, thereby moving the pad portion 310 and the substrate S ) Between the wide cassette fixing part (210) and the small width cassette fixing part (110).

다음으로 상기 기판 안내 수단(340)은 상기 패드부 수평 이동수단(330)에 설치되어 함께 수평 이동하되, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 패드부(310)가 완전히 상승한 상태에서 상기 패드부(310) 하측에 위치되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 각 패드부(310)에 흡착 고정된 기판(S)의 양 측부가 삽입되는 구성요소이다. 상기 기판 안내 수단(340)은 다수개의 기판(S)이 상기 기판 흡착 패드(311)에 흡착된 상태에서 도 3에 도시된 바와 같이, 그 하부가 흔들리는 것을 방지함과 아울러, 상기 기판 흡착 패드(311)에 의하여 기판이 하강하면서 카세트(101)에 삽입되는 과정에서 기판(S) 하부가 정확하게 카세트(101) 슬릿에 삽입되도록 위치를 안내하는 역할도 한다.
1, the substrate guiding unit 340 is installed on the pad unit horizontally moving unit 330 and moves horizontally together. When the pad unit 310 is fully raised, 310 and is a component in which both sides of the substrate S sucked and fixed to the pad portions 310 are inserted as shown in FIG. The substrate guiding means 340 prevents the lower portion of the substrate S from swinging as shown in FIG. 3 while a plurality of substrates S are attracted to the substrate adsorption pad 311, 311 so that the lower portion of the substrate S can be accurately inserted into the slit of the cassette 101 in the process of being inserted into the cassette 101 while descending.

다음으로 상기 제어부는 상기 소폭 카세트 지지부(100), 광폭 카세트 지지부(200) 및 기판 이동부(300)를 정확하게 제어하는 구성요소이다. 구체적으로 상기 제어부는 상기 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 (AM + C) 번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 광폭 카세트(201)의 B번째 슬릿부터 (B + L-1)번째 슬릿까지 순서대로 삽입하도록 상기 기판 이동부(300)를 제어하고, 상기 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 B번째 슬릿부터 (B + L-1)번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 소폭 카세트(101)의 (AM + C)번째 슬릿에 삽입하도록 상기 기판 이동부(300)를 제어한다.
Next, the control unit is a component that accurately controls the small width cassette supporting unit 100, the wide cassette supporting unit 200, and the substrate moving unit 300. Specifically, the control unit picks up the L substrates inserted in the (AM + C) th slit among the N substrates inserted into the narrow cassette 101, (B + L-1) -th slit to the (B + L-1) -th slit from among the N substrates inserted into the wide cassette 201, And controls the substrate moving unit 300 so that the inserted L substrates are picked up and inserted into the (AM + C) th slit of the small cassette 101.

상기 제어부의 정확한 제어 방법에 대해서는 이하에서 예를 들어서 상세하게 설명한다.
An accurate control method of the control unit will be described in detail below by way of example.

먼저 상기 소폭 카세트(101)에 100개의 기판이 삽입되어 있는 상태에서 이 기판들을 광폭 카세트(201)로 옮기는 과정을 설명한다. 이때 광폭 카세트(201)의 제2 피치는 소폭 카세트(101)의 제1 피치의 3배인 경우를 예를 들어 설명한다. A process of transferring the substrates to the wide cassette 201 in a state that 100 substrates are inserted into the small cassette 101 will be described. Here, the second pitch of the wide cassette 201 is three times the first pitch of the small cassette 101, for example.

이 경우 상기 제어부는 상기 패드부(310)의 34개의 기판 흡착 패드(311)가 상기 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 100개의 기판 중에서 1 번째, 4번째 ..... 100번째 기판을 집어서 들어올린 후 수평 이동하여 광폭 카세트(201)의 1번째 슬릿부터 34번째 슬릿까지 기판을 삽입하도록 제어한다. In this case, the control unit controls the 34 substrate suction pads 311 of the pad unit 310 to house the 1st, 4th, ..... 100th substrates among the 100 substrates inserted into the small-size cassette 101 And then moves horizontally to insert the substrate from the first slit to the 34th slit of the wide cassette 201. [

그리고 나서 다시 기판 흡착 패드(311)를 소폭 카세트(101) 방향으로 이동시킨 후, 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 기판 중에서 2번째, 5번째 ....... 98번째 기판을 집어서 들어올린 후 수평 이동하여 광폭 카세트(201)의 35번째 슬릿부터 67번째 슬릿까지 기판을 삽입하도록 제어한다. Subsequently, the substrate suction pad 311 is moved in the direction of the small width cassette 101, and the second, fifth,... 98th substrate among the substrates inserted into the small width cassette 101 is picked up And moves horizontally to control the insertion of the substrate from the 35th slit to the 67th slit of the wide cassette 201.

그리고 나서 다시 기판 흡착 패드(311)를 소폭 카세트(101) 방향으로 이동시킨 후, 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 기판 중에서 3번째, 6번째 ....... 99번째 기판을 집어서 들어올린 후 수평 이동하여 광폭 카세트(201)의 68번째 슬릿 부터 100번째 슬릿까지 기판을 삽입하도록 제어한다. 그러면 소폭 카세트(101)에 삽입되어 있는 100개의 기판을 모두 광폭 카세트(201)로 옮겨 담아서 기판 피치 변경이 마무리된다. Subsequently, the substrate suction pad 311 is moved in the direction of the small width cassette 101, and then the third, sixth, ..., 99th substrate among the substrates inserted into the small width cassette 101 is picked up And moves horizontally to control the insertion of the substrate from the 68th slit to the 100th slit of the wide cassette 201. [ Then, all of the 100 substrates inserted in the small cassette 101 are transferred to the wide cassette 201, and the substrate pitch change is completed.

물론 상기 패드부(310)가 다수개 구비되는 경우에는 기판을 소폭 카세트(101)에서 꺼내는 동작을 다수개의 패드부를 이용하여 순차적으로 실시하여 모두 꺼낸 후, 전체적으로 기판 이동부(300)가 전체적으로 광폭 카세트(201) 방향으로 수평 이동한 후, 기판을 광폭 카세트(201)에 삽입하는 동작을 다수개의 패드부를 순차적으로 구동하여 순차적으로 실시함으로써 공정 시간을 단축할 수 있을 것이다. 그러나 전체적인 기판 피치 변경 방법은 동일하다.
When a plurality of the pad portions 310 are provided, the operation of taking out the substrate from the small-size cassette 101 is sequentially performed using a plurality of pad portions, and then the substrate moving portion 300 as a whole is moved as a whole to the wide- The operation of inserting the substrate into the wide cassette 201 after horizontally moving in the direction of the substrate 201 is sequentially performed by sequentially driving the plurality of pad portions, thereby shortening the processing time. However, the overall method of changing the substrate pitch is the same.

반대로 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 100개의 기판을 소폭 카세트(101)로 옮겨 담는 것을 설명한다. Conversely, 100 substrates inserted in the wide cassette 201 are transferred to the small cassette 101. Next,

먼저 광폭 카세트(201)의 1번째 기판부터 34번째 기판까지를 집어 올린 후 기판 흡착 패드(311)를 소폭 카세트(101) 방향으로 수평 이동시킨 후, 상기 소폭 카세트(101)의 1번째 슬릿, 4번째 슬릿 ..... 100번째 슬릿까지 기판을 삽입한다. First the substrate from the first substrate to the 34th substrate of the wide cassette 201 is picked up and then the substrate suction pad 311 is horizontally moved in the direction of the small cassette 101 and then the first slit 4 Th Slit ..... Insert the substrate to the 100th slit.

그리고 나서 다시 기판 흡착 패드(311)를 광폭 카세트(201) 방향으로 이동시켜서 35번째 기판부터 67번째 기판 까지 집어 올린 후, 기판 흡착 패드(311)를 소폭 카세트(101) 방향으로 수평 이동시킨 후, 상기 소폭 카세트(101)의 2번째, 5번째 ...... 98번째 슬릿까지 기판을 삽입한다. Subsequently, the substrate suction pad 311 is moved in the direction of the wide cassette 201 to pick up the substrate from the 35th substrate to the 67th substrate, horizontally move the substrate suction pad 311 toward the small cassette 101, The substrate is inserted up to the second, fifth,... 98th slit of the small width cassette 101.

그리고 나서 다시 기판 흡착 패드(311)를 광폭 카세트(201) 방향으로 이동시켜서 68번째 기판부터 100번째 기판까지 집어 올린 후, 기판 흡착 패드(311)를 소폭 카세트(101) 방향으로 수평 이동시킨 후 상기 소폭 카세트(101)의 3번째, 6번째....... 99번째 슬릿까지 기판을 삽입한다. 그러면 광폭 카세트(201)에 삽입되어 있는 100개의 기판을 모두 소폭 카세트(101)로 옮겨 담아서 기판 피치 변경이 마무리된다.
Subsequently, the substrate adsorption pad 311 is again moved toward the wide cassette 201 to pick up the substrate from the 68th substrate to the 100th substrate, horizontally move the substrate adsorption pad 311 toward the small cassette 101, The substrate is inserted to the third, sixth,... 99th slit of the small-size cassette 101. Then, all of the 100 substrates inserted in the wide cassette 201 are transferred to the small cassette 101, and the substrate pitch change is completed.

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 피치 변경장치
100 : 소폭 카세트 지지부 200 : 광폭 카세트 지지부
300 : 기판 이동부1: substrate pitch changing device according to one embodiment of the present invention
100: Small cassette supporting part 200: Wide cassette supporting part
300: substrate moving part

Claims (12)

기판 적재 간격이 제1 피치인 슬릿이 N개 형성되어 있는 소폭 카세트를 고정 지지하는 소폭 카세트 지지부;
상기 소폭 카세트 지지부에 인접하게 설치되며, 기판 적재 간격이 상기 제1 피치의 M 배수인 제2 피치를 가지는 슬릿이 N개 형성되어 있는 광폭 카세트를 고정 지지하는 광폭 카세트 지지부;
상기 제2 피치와 동일한 간격으로 형성되는 L 개의 기판 홀딩수단을 구비하며, 상기 소폭 카세트 또는 광폭 카세트에 적재된 기판을 개별적으로 승강 및 수평 이동시키는 기판 이동부;
상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 (AM + C) 번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 광폭 카세트의 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿까지 순서대로 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하고,
상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 N개의 기판 중에서 B번째 슬릿부터 (B + L - 1)번째 슬릿에 삽입되어 있는 L개의 기판들을 집어서 상기 소폭 카세트의 (AM + C)번째 슬릿에 삽입하도록 상기 기판 이동부를 제어하는 제어부;를 포함하는 기판 피치 변경장치.
( 단, 상기 A는 0과 자연수이며, 상기 B, N, M은 자연수이고, 상기 L은 N/M - 1 보다 큰 자연수이고, 상기 C는 0 또는 M 보다 작은 자연수 임.) A small width cassette supporting portion for fixing and supporting a small width cassette having N slits having a first pitch of substrate mounting intervals;
A wide cassette supporting portion which is provided adjacent to the small cassette supporting portion and fixes and supports the wide cassette having N slits having a second pitch at which the board loading interval is M times the first pitch;
A substrate moving unit having L substrate holding means formed at the same interval as the second pitch, and moving up and down the substrates loaded on the small cassette or the wide cassette individually;
L substrates inserted in the (AM + C) th slit among the N substrates inserted in the small cassette are picked up and inserted in order from the B slit of the wide cassette to the (B + L - 1) th slit Controls the substrate moving unit,
(L + 1) -th slit from the B-th slit to the (AM + C) -th slit of the small cassette among the N substrates inserted into the wide cassette, And a control unit for controlling the moving unit.
(Where A is a natural number and 0, B, N and M are natural numbers, L is a natural number greater than N / M - 1, and C is a natural number less than 0 or M.) 제1항에 있어서,
상기 기판 홀딩수단은 기판의 일 측면을 진공으로 흡착하여 고정하는 기판 흡착 패드이며,
상기 기판 이동부는,
L 개의 기판 흡착 패드가 평행하게 구비되는 패드부;
상기 패드부를 승강하는 패드부 승강수단;
상기 패드부 승강수단을 수평 방향으로 이동시키는 패드부 수평 이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.The method according to claim 1,
The substrate holding means is a substrate adsorption pad for adsorbing and fixing one side of a substrate by vacuum,
Wherein:
A pad portion in which L number of substrate adsorption pads are provided in parallel;
A pad portion elevating means for moving the pad portion up and down;
And a pad portion horizontal moving means for moving the pad portion elevating means in a horizontal direction. 제2항에 있어서, 상기 기판 이동부에는,
상기 패드부 수평 이동수단에 설치되어 함께 이동하되, 상기 패드부가 완전히 상승한 상태에서 상기 패드부 하측에 위치되며, 각 패드부에 흡착 고정된 기판의 양 측부가 삽입되는 기판 안내 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.The substrate processing apparatus according to claim 2,
And a substrate guiding unit installed on the pad unit horizontal moving unit and moving together with the substrate unit being positioned below the pad unit in a state in which the pad unit is fully raised, Wherein the substrate pitch changing device is a substrate pitch changing device. 제2항에 있어서, 상기 패드부는,
상기 기판 흡착 패드가 L 개 이하로 구비되는 다수개의 패드부로 구성되며, 각 패드부는 독립적으로 상하 구동하는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.3. The semiconductor device according to claim 2,
Wherein the substrate adsorption pad is composed of a plurality of pad portions each having L or less, and each pad portion is independently driven up and down. 제1항에 있어서, 상기 소폭 카세트 지지부는,
상기 소폭 카세트를 지지 고정하는 소폭 카세트 고정부;
상기 소폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 소폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치The apparatus according to claim 1, wherein the small-
A small width cassette fixing unit for supporting and fixing the small width cassette;
And a small width cassette horizontal moving unit for horizontally moving the small width cassette fixing unit in a direction perpendicular to a horizontal moving direction of the substrate moving unit. 제5항에 있어서, 상기 소폭 카세트 지지부에는,
상기 소폭 카세트 고정부 하측에 설치되며, 상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 상기 기판을 하측에서 상측으로 일정 높이로 밀어올리는 기판 상승 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.The apparatus as claimed in claim 5, wherein the small-
Further comprising a substrate elevating means provided below the small width cassette fixing means for pushing up the substrate inserted in the small width cassette from a lower side to an upper side by a predetermined height. 제6항에 있어서, 상기 기판 상승 수단은,
상기 소폭 카세트에 형성되어 있는 슬릿에 삽입될 수 있는 두께로 형성되며, 상승하면서 상기 소폭 카세트의 슬릿에 삽입되어 있는 기판의 하부를 밀어올리는 다수개의 슬릿 통과 판넬;
상기 다수개의 슬릿 통과 판넬이 기립된 상태로 평행하게 설치되는 판넬 설치부;
상기 판넬 설치부와 결합되어 설치되며, 상기 판넬 설치부를 승강시키는 판넬 승강부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.7. The apparatus according to claim 6,
A plurality of slit passing panels formed to have a thickness capable of being inserted into the slits formed in the small-width cassette and pushing up the lower portion of the substrate inserted into the slits of the small-width cassette while lifting up;
A plurality of slit passing panels installed parallel to each other in a standing state;
And a panel elevating unit coupled to the panel mounting unit and configured to raise and lower the panel mounting unit. 제7항에 있어서,
상기 판넬 설치부를 수평 방향으로 이동시키는 판넬 수평 이동부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.8. The method of claim 7,
And a panel horizontal moving unit for moving the panel mounting unit in a horizontal direction. 제1항에 있어서, 상기 광폭 카세트 지지부는,
상기 광폭 카세트를 지지 고정하는 광폭 카세트 고정부;
상기 광폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 광폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.The cassette according to claim 1,
A wide cassette fixing unit for supporting and fixing the wide cassette;
And a wide cassette horizontal moving unit for horizontally moving the wide cassette fixing unit in a direction perpendicular to the horizontal moving direction of the substrate moving unit. 제9항에 있어서, 상기 광폭 카세트 지지부에는,
상기 광폭 카세트 고정부의 양 측에 전후진 가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 양 측부를 삽입하여 기판 간격을 일정하게 조정하는 기판 얼라이너부가 더 구비되는 것을 특징으로 기판 피치 변경장치.10. The apparatus according to claim 9, wherein the wide cassette support portion
Further comprising a substrate aligner unit provided on both sides of the wide cassette fixing unit so as to be able to move back and forth and to insert a plurality of substrate side portions inserted in the wide cassette to adjust the substrate spacing uniformly. Change device. 제10항에 있어서, 상기 광폭 카세트 지지부에는,
상기 광폭 카세트 고정부를 일단을 회전 중심으로하여 타단을 일정 각도로 회전시키는 틸팅 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.11. The apparatus according to claim 10, wherein, in the wide cassette supporting portion,
Further comprising tilting means for rotating the other end of the wide cassette fixing portion at a predetermined angle with one end as a rotation center. 제11항에 있어서, 상기 광폭 카세트 지지부에는,
상기 광폭 카세트 고정부 하측에 상하 방향으로 승강가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트 고정부에 고정된 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 하면을 밀어올려서 상승시키는 기판 상승 지그가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 피치 변경장치.12. The apparatus according to claim 11, wherein the wide-
And a substrate lifting jig which is vertically movable up and down under the wide cassette fixing part and which pushes up the plurality of substrate bottoms inserted into the wide cassette fixed to the wide cassette fixing part. And the substrate pitch changing device.
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