KR101391191B1 - 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버 - Google Patents

스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버 Download PDF

Info

Publication number
KR101391191B1
KR101391191B1 KR1020130029812A KR20130029812A KR101391191B1 KR 101391191 B1 KR101391191 B1 KR 101391191B1 KR 1020130029812 A KR1020130029812 A KR 1020130029812A KR 20130029812 A KR20130029812 A KR 20130029812A KR 101391191 B1 KR101391191 B1 KR 101391191B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rotary support
combustion chamber
removing member
byproduct
removal device
Prior art date
Application number
KR1020130029812A
Other languages
English (en)
Inventor
이재명
성철현
서영원
Original Assignee
영진아이엔디(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 영진아이엔디(주) filed Critical 영진아이엔디(주)
Priority to KR1020130029812A priority Critical patent/KR101391191B1/ko
Priority to TW103107533A priority patent/TWI515817B/zh
Priority to CN201410097660.6A priority patent/CN104056794A/zh
Application granted granted Critical
Publication of KR101391191B1 publication Critical patent/KR101391191B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

본 발명은 유해가스가 연소되면서 챔버내에 증착된 파우더 등의 부산물을 효율적으로 제거하기 위한 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 스크러버용 부산물 제거장치는 화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체; 상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부; 및 상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버{BYPRODUCT REMOVING APPARATUS FOR SCRUBBER AND PLASMA SCRUBBER INCLUDING THE SAME}
본 발명은 플라즈마 스크러버용 부산물 제거장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유해가스가 연소되면서 챔버내에 증착된 파우더 등의 부산물을 효율적으로 제거하기 위한 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버에 관한 것이다.
반도체 및 LCD 제조 공정 등에서 배출되는 유해가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하기 때문에 인체에 유해할 뿐만 아니라 그대로 대기중으로 방출될 경우에는 환경오염을 유발하는 원인이 되기도 한다. 이러한 유해가스는 유해성분의 농도 함량을 허용 기준치 이하로 낮추기 위한 정화처리 과정을 반드시 거쳐 대기 중으로 배출되도록 법적으로 의무화되어 있다.
도 1은 연결통로(30)에 의해 연결된 수처리장치(60) 및 연소챔버(50)의 개략적인 설치상태를 도시한 사시도이다. 도 2(a) 내지 도 2(c)는 도 1에 표시된 A, B 및 C 지점에서 증착된 부산물을 도시한 사진이다. 유해가스가 연소되면서 파우더(분진가루) 등의 부산물이 생성되는데, 도 2에 도시된 바와 같이, 부산물은 화염(flame)에 의해 가열된 연소챔버(50)의 상부 내측벽면(C 지점)에 집중적으로 증착되고(도 2(c) 참조), 동시에 연소가스의 병목 현상에 따른 체류시간의 지연으로 인하여 연결통로(30)의 입구측(B 지점) 및 출구측(A 지점)에서도 부산물이 대량 증착되는 것이 사진을 통해서 확인할 수 있다(도 2(b) 및 도 2(c) 참조). 이와 같이 증착된 부산물은 각종 가스의 유동을 차단하거나 방해하여 플라즈마 스크러버(10)의 유해가스 정화처리효율을 상당히 저하시키고, 나아가 연소챔버(50)에 증착된 부산물을 제거하기 위해서 통상 하루에 한 번씩은 연소챔버 내벽면을 청소해야 하기 때문에 플라즈마 스크러버(10)의 작동을 정지시켜야 한다는 문제도 있다.
이와 같은 문제점을 해소하기 위해서 플라즈마 스크러버(10)의 작동을 정지시키지 않으면서도 연소챔버(50) 및 각종 가스가 유출입하는 통로(15, 30)에 증착되는 부산물을 동시에 효율적으로 제거할 수 있는 장치의 개발이 시급한 실정이다.
[문헌 1] 특허출원공개 제2010-0137663호(2010.12.31.) [문헌 2] 특허출원공개 제2010-0137661호(2010.12.31.)
본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 연소챔버와 가스통로에 증착된 부산물을 플라즈마 스크러버의 작동을 정지시키지 않으면서도 동시에 효과적으로 제거할 수 있는 부산물 제거장치 및 이를 포함하는 플라즈마 스크러버를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 관점에 따르면,
스크러버용 부산물 제거장치에 있어서, 화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체; 상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부; 및 상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 부산물 제거장치가 제공된다.
상기 회전 지지체의 상면으로부터 상방으로 연장 형성되어 가스통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제2 부산물 제거부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제1 부산물 제거부재는 다수 개로 구비되며, 그들 각각은 상기 회전 지지체의 원주방향을 따라 소정의 간격을 두고 이격되어 회전 지지체의 하면에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제2 부산물 제거부재는 다수 개로 구비되며, 그들 각각은 상기 회전 지지체의 원주방향을 따라 소정의 간격을 두고 이격되어 회전 지지체의 상면에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제1 부산물 제거부재는 봉 형상으로 형성되고, 상기 제1 부산물 제거부재는 반경방향 바깥 쪽으로 연장되어 돌출된 블레이드를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제2 부산물 제거부재는 봉 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 구동부는 모터 및 상기 모터와 연결되는 구동기어를 구비하고, 상기 회전 지지체는 상기 구동기어와 치합되어 회전력을 전달받는 것이 바람직하다.
상기 구동부는 실린더 내부에서 직선 왕복운동을 하는 피스톤 로드; 및
일단부가 상기 피스톤 로드와 회전가능하게 연결되고, 타단부가 상기 회전 지지체의 일측과 회전가능하게 연결되는 링크를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 회전 지지체 또는 상기 제1 부산물 제거부재는 SUS310S 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제2 부산물 제거부재는 SUS310S 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 연소챔버의 하단부와 수처리장치를 연결하는 연결통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제3 부산물 제거부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 연소챔버의 하단부와 수처리장치를 연결하는 연결통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제3 부산물 제거부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제3 부산물 제거부재는 U자형이고, 상기 제3 부산물 제거부재는 모터의 구동에 의해 회전력을 전달받는 것이 바람직하다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 다른 제2 관점에 따르면,
유해가스가 유입되는 유입관; 캐소드전극체와 애노드전극체에 의해 반응공간에서 형성되는 화염에 의해 유해가스를 정화처리하는 플라즈마 발생기; 상기 유해가스를 연소시켜 정화처리하는 연소챔버; 및 화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체와, 상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부와, 상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 구비하는 부산물 제거장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스크러버가 제공된다.
상기 회전 지지체의 상면으로부터 상방으로 연장 형성되어 가스통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제2 부산물 제거부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면 앞서서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 플라즈마 스크러버의 연소챔버 및 가스통로에 증착된 부산물을 동시에 간편하게 제거할 수 있다.
둘째, 연소 챔버의 하단부와 수처리장치를 연결하는 연결통로의 입구측과 출구측에 증착된 부산물을 동시에 제거할 수 있다.
셋째, 유해가스를 연소시키기 위한 화염 형성 및 연소가스의 유동 흐름을 방해하지 않으면서 본 발명에 따른 부산물 제거장치를 구동시켜 증착되는 부산물을 플라즈마 스크러버의 작동 중에도 용이하게 제거할 수 있다.
넷째, 본 발명에 따른 부산물 제거장치를 통하여 플라즈마 스크러버의 청소주기를 대폭 늘려 플라즈마 스크러버의 한 대당 정화처리효율을 대폭적으로 개선시킬 수 있다.
도 1은 연결통로에 의해 연결된 연소챔버 및 수처리장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2(a) 내지 (c)는 연결통로의 출구측(A 지점)와 입구측(B 지점) 및 연소챔버의 상부 측벽(C 지점)에 부산물이 집중적으로 증착된 상태를 보여주는 사진이다.
도 3은 본 발명에 따른 부산물 제거장치를 구비한 플라즈마 스크러버의 단면을 도시한 단면도이다.
도 4(a) 및 (b)는 본 발명에 따른 부산물 제거장치의 일 실시예 및 다른 일 실시예를 각각 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 제3 부산물 제거부재를 도시한 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명의 특징 및 장점은 이하의 실시예를 통해 명료하게 이해될 수 있을 것이다. 다만, 이와 같은 실시예는 본 발명의 기술사상을 더욱 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것이며, 본 발명의 권리범위가 이하의 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다.
본 발명을 설명함에 있어서 각 도면의 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하여 설명하고 동일한 구성에 대한 중복된 설명은 생략한다. 그리고, 공지 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 생략된다. 나아가, 도면에 나타난 각 구성요소의 형상, 두께, 길이, 폭 등은 본 발명의 명확한 설명을 위해 과장될 수 있음을 미리 밝혀 둔다.
도 3은 본 발명에 따른 부산물 제거장치(100) 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버(10)의 단면을 도시한 단면도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 플라즈마 스크러버는 플라즈마 발생기(34), 유해가스 유입관(13), 보조가스 유입관(40) 및 부산물 제거장치(100)를 포함한다. 유해가스를 연소하기 위한 화염은 플라즈마 형성가스인 질소와, 캐소드 전극체(27)와, 애노드 전극체(33)의 상호작용에 의해 반응공간(35)에서 생성된다. 유해가스는 유해가스 유입관(13)을 통하여 유입되고, 가스 통로(15)를 통하여 연소 공간(39)으로 안내된다. 유해가스의 원활한 연소를 위해 산소 및 수소와 같은 보조가스는 보조가스 유입관(40)을 통하여 유입되고, 가스 통로(15)를 통하여 연소공간(39)으로 안내된다. 이와 같이 연소공간으로 유입된 유해가스는 보조가스의 도움을 받아 플라즈마 발생기(34)에 의해 생성된 화염에 의해 연소된다.
도 4(a) 및 도 4(b)는 본 발명에 따른 부산물 제거장치(100)의 일 실시예 및 다른 일 실시예를 각각 도시한 사시도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 부산물 제거장치(100)는 회전 지지체(110), 구동부(160) 및 제1 부산물 제거부재(130)를 포함한다.
구체적으로, 회전 지지체(110)는 원반 형상으로 형성되고, 그 중앙부에는 개구된 관통공이 형성된다. 회전 지지체(110)는 연소챔버(50)의 상단에 설치되는 안착 플랜지(17)의 상면에 형성된 안착부에 회전가능하게 안착된다. 플라즈마 발생기(34)에서 생성된 화염은 상기 회전 지지체(100)의 관통공을 통과하면서 유해가스를 연소시킨다.
제1 부산물 제거부재(130)는 회전 지지체(100)의 하면으로부터 연장 형성된 봉 형상의 부재로서, 반경방향 바깥 쪽으로 블레이드가 연장 돌출되는데, 이 블레이드를 통해 제1 부산물 제거부재(130)는 연소 챔버(50)의 상부 측벽으로 확실히 밀착될 수 있다. 제1 부산물 제거부재(130)는 상기 회전 지지체(100)와 함께 회전하면서 연소 챔버(50)의 측벽에 형성된 부산물을 긁어낸다. 본 실시예에서는 제1 부산물 제거부재(130)가 하나인 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 회전 지지체(100)의 하면에서 원주 방향을 따라 등간격으로 2개 이상이 설치될 수 있다.
제2 부산물 제거부재(120)는 회전 지지체(100)의 상면으로부터 연장 형성된 봉 형상의 부재이다. 제2 부산물 제거부재(120)는 회전 지지체(100)와 함께 회전하면서 가스 통로(15)의 측벽에 형성된 부산물을 긁어낸다. 본 실시예에서는 제2 부산물 제거부재(120)가 하나인 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 회전 지지체(100)의 상면에서 원주 방향을 따라 등간격으로 2개 이상이 설치될 수 있다.
상기 회전 지지체(120), 제1 및 제2 부산물제거장치(110, 130)는 화염과 근접한 위치에 설치되기 때문에 열 변형이 발생하기 쉽다. 특히, 플라즈마 스크러버(10)에서는 필요에 따라 초고온(대략 1300 ~ 2000℃)의 화염이 형성되기 때문에, 그들은 내열성이 우수한 SUS310S로 제조되는 것이 바람직하다.
도 4(a)에서는 구동부(190)의 일 실시예가 도시된다. 도 4(a)를 참조하면, 상기 회전 지지체(110)에 회전력을 전달하기 위한 구동부(190)는 모터(160)와 연결된 구동 기어(140)로 구성되고, 상기 회전 지지체(110)는 구동 기어(140)와의 이물림(齒合)을 통해 모터(160)의 회전력을 전달받아 회전하게 된다.
이와 달리, 도 4(b)에서는 구동부(190)의 다른 실시예가 도시된다. 도 4(b)를 참조하면, 상기 회전 지지체(110)에 회전력을 전달하기 위한 구동부(190)는 실린더(170) 내에서 직선 왕복운동을 하는 피스톤 로드(180) 및 링크(150)로 구성된다. 상기 링크(150)는 일단이 피스톤 로드와 회전가능하게 연결되고 타단이 회전 지지체(110)와 회전가능하게 연결됨으로써 상기 피스톤 로드(180)의 직선 왕복운동을 회전력으로 변환하여 상기 회전 지지체(110)에 전달한다. 이와 같은 구성에 의해 상기 회전 지지체(110)는 소정의 각도(θ)만큼 회전 왕복운동을 한다.
도 5는 본 발명에 따른 제3 부산물 제거부재를 도시한 사시도이다. 도 5를 참조하면, 제3 부산물 제거부재(200)는 U자형이고, 연결통로(30)의 입구측(B 지점) 및 출구측(A 지점)의 내주면을 따라 회전하면서 증착되는 부산물을 긁어낸다. 그것은 모터(30)와 연결된 연결봉(210)에 의해 회전력을 전달받는다.
본 발명에 따른 실시예의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다. 플라즈마 발생기(34)에 의해 생성된 화염이 연소공간(39)으로 유입되는 보조가스의 도움을 받아 유해가스를 연소시킨다. 이와 같이 연소된 유해가스는 연소챔버(50)의 아래로 하강 기류를 형성하고 연결통로(30)를 거쳐 수처리장치(60)로 이동한다. 스크러버(10)의 작동시간이 증가하면서 연소챔버(50) 및 연결통로(30)에 증착되는 부산물 축적량도 증가한다. 특정 지점(예를 들어, A, B 및 C 지점)에 부산물 축적량을 감지하는 센서를 설치할 수 있다. 센서에 의해 부산물 축적량이 설정치를 넘어섰다고 감지되면, 부산물 제거장치(100)를 자동으로 구동시켜 증착된 부산물을 제거한다.
부산물 제거장치(100)가 가동되면 회전 지지체(110)가 회전하고, 이에 고정 연결된 제1 및 제2 부산물 제거부재(120, 130)도 함께 회전한다. 제1 및 제2 부산물제거부재(120, 130)가 회전하면서 연소챔버(50) 및 가스통로(15)에 증착된 부산물을 동시에 긁어내 제거한다. 그리고, 제3 부산물 제거부재(200)는 연결통로(30)의 입구측과 출구측에 증착되는 부산물을 동시에 긁어내 제거한다. 이러한 부산물 제거장치(100)를 이용하면 스크러버(10)의 청소주기는 대폭 연장되고, 스크러버(10)의 작동 중단 시간은 최소화된다.
본 발명에 따른 부산물 제거장치(100) 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버(10)에 따르면, 스크러버(10)의 작동을 정지시키지 않으면서 연소챔버(50) 및 가스 통로(15)에 증착되는 부산물은 제1 및 제2 부산물 제거부재(120, 130)에 의해 동시에 제거된다. 그리고, 연결통로(30)의 입구측과 출구측에 증착되는 부산물은 제3 부산물 제거부재(200)에 의해 연소가스의 유동을 방해하기 않으면서 동시에 제거된다.
이상 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 안에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이고, 이러한 수정과 변형도 본 발명의 권리범위에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.
13 : 유해가스 유입관 15 : 가스통로
17 : 안착 플랜지 27 : 캐소드 전극체
30 : 연결통로 33 : 애노드 전극체
35 : 반응 공간 39 : 연소 공간
40 : 보조가스 유입관 50 : 연소챔버
60 : 수처리장치 100 : 부산물 제거장치
120 : 제2 부산물 제거부재 130 : 제1 부산물 제거부재
200 : 제3 부산물 제거부재

Claims (15)

  1. 스크러버용 부산물 제거장치에 있어서,
    화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체,
    상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부,
    상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재 및
    상기 회전 지지체의 상면으로부터 상방으로 연장 형성되어 가스통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제2 부산물 제거부재를 포함하는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부산물 제거부재는 다수 개로 구비되며,
    그들 각각은 상기 회전 지지체의 원주방향을 따라 소정의 간격을 두고 이격되어 회전 지지체의 하면에 설치되는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부산물 제거부재는 다수 개로 구비되며,
    그들 각각은 상기 회전 지지체의 원주방향을 따라 소정의 간격을 두고 이격되어 회전 지지체의 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  5. 스크러버용 부산물 제거장치에 있어서,
    화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체,
    상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부,
    상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 포함하고,
    상기 제1 부산물 제거부재는 봉 형상으로 형성되고, 상기 제1 부산물 제거부재는 반경방향 바깥 쪽으로 연장되어 돌출된 블레이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 부산물 제거부재는 봉 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    모터 및 상기 모터와 연결되는 구동기어를 구비하고,
    상기 회전 지지체는 상기 구동기어와 치합되어 회전력을 전달받는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    실린더 내부에서 직선 왕복운동을 하는 피스톤 로드; 및
    일단부가 상기 피스톤 로드와 회전가능하게 연결되고, 타단부가 상기 회전 지지체의 일측과 회전가능하게 연결되는 링크를 구비하는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전 지지체 또는 상기 제1 부산물 제거부재는 SUS310S 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부산물 제거부재는 SUS310S 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  11. 삭제
  12. 스크러버용 부산물 제거장치에 있어서,
    화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체,
    상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부,
    상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 포함하고,
    상기 연소챔버의 하단부와 수처리장치를 연결하는 연결통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제3 부산물 제거부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제3 부산물 제거부재는 U자형이고,
    상기 제3 부산물 제거부재는 모터의 구동에 의해 회전력을 전달받는 것을 특징으로 하는
    부산물 제거장치.
  14. 유해가스가 유입되는 유입관,
    캐소드전극체와 애노드전극체에 의해 반응공간에서 형성되는 화염에 의해 유해가스를 정화처리하는 플라즈마 발생기,
    상기 유해가스를 연소시켜 정화처리하는 연소챔버,
    화염이 형성되는 반응공간 주위를 따라 회전가능하게 연소챔버의 상단부에 연결되고, 중앙부에 관통공이 형성된 회전 지지체와, 상기 회전 지지체에 연결되어 상기 회전 지지체에 회전력을 전달하는 구동부와, 상기 회전 지지체의 하면으로부터 하방으로 연장 형성되어 연소챔버의 측벽면에 증착되는 부산물을 제거하는 제1 부산물 제거부재를 구비하는 부산물 제거장치 및
    상기 회전 지지체의 상면으로부터 상방으로 연장 형성되어 가스통로에 증착되는 부산물을 제거하는 제2 부산물 제거부재를 포함하는 것을 특징으로 하는
    플라즈마 스크러버.
  15. 삭제
KR1020130029812A 2013-03-20 2013-03-20 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버 KR101391191B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130029812A KR101391191B1 (ko) 2013-03-20 2013-03-20 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버
TW103107533A TWI515817B (zh) 2013-03-20 2014-03-05 用於分離器之副產品移除裝置及包含其之電漿分離器
CN201410097660.6A CN104056794A (zh) 2013-03-20 2014-03-14 用于洗涤器的副产物去除装置和包括该装置的等离子洗涤器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130029812A KR101391191B1 (ko) 2013-03-20 2013-03-20 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101391191B1 true KR101391191B1 (ko) 2014-05-07

Family

ID=50893007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130029812A KR101391191B1 (ko) 2013-03-20 2013-03-20 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101391191B1 (ko)
CN (1) CN104056794A (ko)
TW (1) TWI515817B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190001883A (ko) 2017-06-28 2019-01-07 유니셈(주) 폐가스 처리장치
KR20220018662A (ko) 2020-08-07 2022-02-15 조원아 유해가스 제거용 스크러버
CN115475805A (zh) * 2021-06-16 2022-12-16 朴钟民 利用螺杆缸体的气体处理设备用粉末去除装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2334509Y (zh) * 1998-06-02 1999-08-25 张金柱 低温除臭装置
WO2000032990A1 (fr) * 1998-12-01 2000-06-08 Ebara Corporation Dispositif de traitement des gaz d'echappement
JP4009501B2 (ja) * 2002-06-25 2007-11-14 岩谷産業株式会社 燃焼式縦型除害装置
JP2004044968A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Babcock Hitachi Kk ガス処理装置
CN100516649C (zh) * 2005-12-20 2009-07-22 友达光电股份有限公司 废气处理系统
KR20100137661A (ko) * 2009-06-23 2010-12-31 유니셈(주) 체인 기어 스크래퍼 모듈 장치
KR20100137663A (ko) * 2009-06-23 2010-12-31 유니셈(주) 프로젝션 기어 스크래퍼 모듈 장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190001883A (ko) 2017-06-28 2019-01-07 유니셈(주) 폐가스 처리장치
KR101966628B1 (ko) 2017-06-28 2019-04-08 유니셈(주) 폐가스 처리장치
KR20220018662A (ko) 2020-08-07 2022-02-15 조원아 유해가스 제거용 스크러버
CN115475805A (zh) * 2021-06-16 2022-12-16 朴钟民 利用螺杆缸体的气体处理设备用粉末去除装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI515817B (zh) 2016-01-01
CN104056794A (zh) 2014-09-24
TW201444011A (zh) 2014-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101391191B1 (ko) 스크러버용 부산물 제거장치 및 이를 구비한 플라즈마 스크러버
EP1143197A1 (en) Exhaust gas treating device
JP6368458B2 (ja) 除害機能付真空ポンプ
KR101754758B1 (ko) 축열식 연소 산화 장치
KR20110133773A (ko) 유해가스 제거장치
JP2008545116A (ja) 回流発生ガス燃焼炉
JP2006299010A (ja) 外熱式ロータリーキルン
TW201506326A (zh) 廢氣處理裝置
JP4362227B2 (ja) チャンバ洗浄機構
JP2010156483A (ja) 回転式加熱処理装置
KR100501525B1 (ko) 반도체 공정용 가스세정장치
KR101635979B1 (ko) 스크러버
EP3374695B1 (en) Scraper
KR101766733B1 (ko) 스크러버
FR2976822B1 (fr) Dispositif d'epuration des gaz d'echappement d'un moteur thermique comprenant un support ceramique catalytique comprenant une arrangement de cristallites sensiblement identiques
JP2014206297A (ja) 排ガスの処理装置
KR20140141808A (ko) 폐가스 정화처리용 부산물 제거유닛 및 이를 포함한 폐가스 정화처리장치
KR100743399B1 (ko) 반도체 제조공정에서 발생하는 염소가스와 과불화물의처리장치
JP5283001B2 (ja) ロータリーキルンのシール構造
KR102178669B1 (ko) 유해가스 처리장치
KR100951693B1 (ko) 고온 발열 및 촉매 활성화와 마이크로파를 이용한 유해가스 정화장치
JP6321997B2 (ja) 除害装置、該除害装置で使用される掻き取り部及び軸受装置
CN208282143U (zh) 一种分仓回转式净化器及烟气净化系统
KR102514468B1 (ko) 스크류실린더를 이용한 가스처리설비용 파우더제거장치
CN109695891A (zh) 一种分仓回转式净化器及烟气净化系统

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170410

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180410

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190408

Year of fee payment: 6