KR101373393B1 - 회전식 기판 이송 레일 - Google Patents

Abstract

회전식 기판 이송 레일은 로더로부터 제공되는 기판을 가이드하기 위한 제1 가이드 레일과, 제1 가이드 레일에 연결되도록 구비되며, 기판을 가이드하기 위한 제2 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 지지하도록 구비되며, 제2 가이드 레일에 의해 가이드되는 기판의 방향을 전환하기 위해 제2 가이드 레일을 회전시키는 회전테이블을 포함할 수 있다. 따라서, 회전식 기판 이송 레일은 기판을 레일 상에서 피커가 픽업할 수 있도록 회전시킬 수 있다.

Description

회전식 기판 이송 레일{Rotatable rail for transferring a substrate}

본 발명은 회전식 기판 이송 레일에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로더로부터 기판을 전달받아 절단의 위해 이송하는 회전식 기판 이송 레일에 관한 것이다.

일반적으로, 기판의 절단하기 위한 공정은 로더로부터 공급되는 기판을 이송 레일이 이송하고, 스트립 피커가 상기 기판을 척 테이블로 이송한 후 블레이드로 상기 기판을 절단하여 이루어진다. 이때, 상기 이송 레일에서의 기판 방향과 상기 척 테이블에서의 기판 방향은 90도의 차이가 있다.

종래 기술에 따르면, 상기 스트립 피커가 상기 이송 레일 상의 기판을 픽업하고 90도 회전하여 상기 기판의 방향을 전환한 후 상기 기판을 상기 척 테이블로 이송한다.

상기 스트립 피커가 상기 기판을 회전시켜야 하므로, 상기 스트립 피커의 구조가 복잡해질 수 있다. 또한, 상기 이송 레일로 상기 기판에 반대 방향으로 공급되는 경우, 상기 스트립 피커의 회전 방향과 각도가 정해져 있으므로 상기 기판 공급 에러를 상기 스트립 피커에서 해결하기 어렵다.

본 발명은 기판의 방향을 전환하고, 상기 기판이 반대 방향으로 공급되는 기판 공급 에러를 해결할 수 있는 회전식 기판 공급 레일을 제공한다.

본 발명에 따른 회전식 기판 공급 레일은 로더로부터 제공되는 기판을 가이드 하기 위한 제1 가이드 레일과, 제1 가이드 레일에 연결되도록 구비되며, 상기 기판을 가이드하기 위한 제2 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일을 지지하도록 구비되며, 상기 제2 가이드 레일에 의해 가이드되는 기판의 방향을 전환하기 위해 상기 제2 가이드 레일을 회전시키는 회전테이블을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 회전식 기판 공급 레일은 상기 제1 가이드 레일 사이에 배치되며, 상기 기판의 공급 방향을 확인하기 위한 카메라를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카메라를 통해 확인된 상기 기판의 공급 방향에 따라 상기 기판이 동일한 방향으로 전환되도록 상기 회전 테이블의 회전 방향 또는 회전 각도를 조절할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 회전식 기판 공급 레일은 상기 회전 테이블 상에서 상기 제2 가이드 레일 사이를 따라 이동 가능하도록 구비되며, 제1 가이드 레일에 위치하는 기판을 상기 제2 가이드 레일로 가져오기 위한 그리퍼를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 회전식 기판 공급 레일은 상기 회전 테이블 상에서 상기 제2 가이드 레일 사이에 배치되며, 피커가 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 기판을 상승시키는 승강 가이드를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 가이드는 상기 그리퍼가 이동할 수 있도록 중앙 부위가 개방될 수 있다.

본 발명에 따르면 회전식 기판 공급 레일은 로더로부터 공급된 기판을 레일 상에서 회전시킬 수 있다. 상기 기판을 이송하는 피커가 상기 기판을 회전시킬 필요가 없으므로, 상기 피커의 구조를 단순화하거나 상기 기판을 절단하기 전후에 상기 기판을 이송하는 피커들의 구조를 통일할 수 있다.

또한, 상기 회전식 기판 공급 레일은 카메라를 이용하여 상기 기판의 공급 방향을 확인하고, 상기 기판이 반대 방향으로 공급되더라도 상기 회전 테이블의 회전 방향이나 각도를 조절하여 상기 기판 공급 에러를 해결할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 기판 이송 레일을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일로의 기판 공급을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일의 회전을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일에서 기판이 반대 방향으로 공급될 때의 회전을 설명하기 위한 평면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 회전식 기판 이송 레일에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 기판 이송 레일을 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일로의 기판 공급을 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일의 회전을 설명하기 위한 평면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 회전식 기판 이송 레일에서 기판이 반대 방향으로 공급될 때의 회전을 설명하기 위한 평면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 회전식 기판 이송 레일(100)은 기판(10)을 공급하는 로더(미도시)의 일측에 배치되어 기판(10)을 이송하기 위한 것으로, 스테이지(110), 제1 가이드 레일(120), 카메라(130), 회전 테이블(140), 제2 가이드 레일(150), 그리퍼(160) 및 승강 가이드(170)를 포함한다. 기판(10)은 반도체 소자들이 본딩된 인쇄회로기판을 수지로 몰딩한 반도체 패키지이거나, 인쇄회로기판 또는 반도체 기판 일 수 있다.

스테이지(110)는 대략 평판 형태를 갖는다. 제1 가이드 레일(120), 카메라(130), 회전 테이블(140), 제2 가이드 레일(150), 그리퍼(160) 및 승강 가이드(170)는 스테이지(110) 상에 구비된다.

한편, 제1 가이드 레일(120), 카메라(130), 회전 테이블(140), 제2 가이드 레일(150), 그리퍼(160) 및 승강 가이드(170)는 스테이지(110) 없이 구비될 수도 있다.

제1 가이드 레일(120)은 스테이지(110)의 상부면 일측에 상기 로더와 인접하도록 구비된다. 제1 가이드 레일(120)은 한 쌍의 레일로 이루어지며, 상기 로더로부터 공급되는 기판(10)을 가이드한다. 제1 가이드 레일(120)의 길이는 기판(10)의 길이보다 짧은 것이 바람직하며, 제1 가이드 레일(120)은 기판(10)이 제2 가이드 레일(150)로 안정적으로 이송되도록 가이드하는 역할을 한다.

카메라(130)는 스테이지(110)의 상부면에 배치되며 제1 가이드 레일(120) 사이에 위치한다. 카메라(130)는 제1 가이드 레일(120)로 공급되는 기판(10)을 촬영하여 기판(10)의 공급 방향을 확인한다. 즉, 카메라(130)는 기판(10)이 정상적인 방향으로 공급되는지 앞뒤가 바뀌어 반대 방향으로 공급되는지를 확인한다.

제2 가이드 레일(150)은 제1 가이드 레일(120)에서 기판(10)이 배출되는 방향에 배치되며, 제1 가이드 레일(120)과 연결된다. 제2 가이드 레일(150)은 제1 가이드 레일(150)에 의해 가이드되어 이송된 기판(10)을 가이드한다. 제2 가이드 레일(150)은 제1 가이드 레일(120)과 동일한 폭을 갖는다.

제2 가이드 레일(150)은 기판(10)의 회전을 위해 기판(10) 전체를 지지해야 하므로, 제2 가이드 레일(150)의 길이는 기판(10)의 길이와 같거나 기판(10)의 길이보다 약간 길다. 따라서, 회전식 기판 이송 레일(100)의 크기를 최소화할 수 있다.

제2 가이드 레일(150)의 길이가 기판(10)의 길이보다 많이 긴 경우, 제2 가이드 레일(150)의 회전을 위해 회전식 기판 이송 레일(100)의 크기가 커질 수 있다.

회전 테이블(140)은 원판 형태를 가지며, 스테이지(110) 상에 회전 가능하도록 구비된다. 회전 테이블(140)은 제2 가이드 레일(150)을 지지한다. 예를 들면, 제2 가이드 레일(150)은 회전 테이블(140)의 상부면 중앙을 가로지른다. 회전 테이블(140)이 회전함에 따라 제2 가이드 레일(150)도 회전한다. 따라서, 회전 테이블(140)을 회전시켜 제2 가이드 레일(150)에 의해 가이드되는 기판(10)의 방향을 전환할 수 있다.

카메라(130)를 통해 확인된 기판(10)의 공급 방향에 따라 회전 테이블(140)의 회전 방향 또는 회전 각도를 조절하여 기판(10)을 동일한 방향으로 전환시킬 수 있다. 일 예로, 도 3과 같이 기판(10)이 정상적인 방향으로 공급된 경우, 회전 테이블(140)이 시계 방향을 따라 90도 회전하여 기판(10)의 방향을 전환할 수 있다. 도 4와 같이 기판(10)이 반대 방향으로 공급된 경우, 회전 테이블(140)이 반시계 방향을 따라 90도 회전하거나 시계 방향으로 270도 회전하여 기판(10)의 방향을 전환할 수 있다. 따라서, 기판(10)의 공급 방향에 무관하게 회전 테이블(140)을 이용하여 기판(10)을 동일한 방향으로 전환시킬 수 있다.

그리퍼(160)는 회전 테이블(140)의 상부면에 제2 가이드 레일(150) 사이에 구비된다. 그리퍼(160)는 제2 가이드 레일(150) 사이에서 제2 가이드 레일(150)과 평행한 방향을 따라 왕복 이동할 수 있다. 제1 가이드 레일(120)과 제2 가이드 레일(150)이 연속적으로 연결된 상태에서 그리퍼(160)가 제1 가이드 레일(120)을 향해 이동하여 제1 가이드 레일(120)로 공급된 기판(10)을 고정한 후 제1 가이드 레일(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동함으로써 제1 가이드 레일(120) 상의 기판(10)을 제2 가이드 레일(150)로 이송한다. 그리퍼(160)는 기계력, 정전기력, 진공력 등으로 기판(10)을 고정할 수 있다.

그리퍼(160)는 기판(10)이 회전 테이블(140)의 중앙에 위치하도록 기판(10)을 제2 가이드 레일(150)로 이송할 수 있다. 기판(10)이 회전 테이블(140)의 중앙에 위치하므로, 회전 테이블(140)이 시계 방향이나 반시계 방향 등 어느 방향으로 회전하여 기판(10)의 방향이 전환되더라도 회전 테이블(140)에 대한 기판(10)의 위치가 달라지지 않는다. 그러므로, 피커(미도시)가 제2 가이드 레일(150) 상의 기판(10)을 일정한 위치에서 안정적으로 흡착할 수 있다.

승강 가이드(170)는 회전 테이블(140)의 상부면에 제2 가이드 레일(150) 사이에 배치된다. 승강 가이드(170)는 상승 및 하강 가능하도록 구비된다. 승강 가이드(170)는 제2 가이드 레일(150)에 의해 가이드되는 기판(10)을 상승시켜 상기 피커가 기판(10)을 용이하게 흡착할 수 있도록 한다.

승강 가이드(170)와 그리퍼(160)는 제2 가이드 레일(150) 사이에 배치되므로 그리퍼(160)의 이동이 승강 가이드(170)에 의해 제한될 수 있다. 이를 방지하기 위해 승강 가이드(170)는 중앙 부위가 개방된 형태를 갖는다. 예를 들면, 승강 가이드(170)는 개방 부위가 그리퍼(160)를 향하도록 ‘ㄷ’자 형태를 가질 수 있다. 따라서, 그리퍼(160)는 승강 가이드(170)의 개방 부위를 따라 왕복 이동할 수 있다.

회전식 기판 이송 레일(100)은 기판(10)의 공급 방향에 따라 회전 테이블(140)을 회전 방향 및 회전 각도를 조절하여 기판(10)이 일정한 방향을 향하도록 전환할 수 있다.

상술한 바와 같이, 회전식 기판 이송 레일은 로더로부터 공급된 기판을 레일 상에서 회전시키므로, 피커의 구조를 단순화하거나 상기 기판을 절단하기 전후에 상기 기판을 이송하는 피커들의 구조를 통일할 수 있다.

또한, 상기 회전식 기판 공급 레일은 기판이 반대 방향으로 공급되더라도 상기 회전 테이블의 회전 방향이나 각도를 조절하여 상기 기판 공급 에러를 해결할 수 있으므로, 상기 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 회전식 기판 이송 레일 110 : 스테이지
120 : 제1 가이드 레일 130 : 카메라
140 : 회전 테이블 150 : 제2 가이드 레일
160 : 그리퍼 170 : 승강 가이드
10 : 기판

Claims (6)

1. 로더로부터 제공되는 기판을 가이드하기 위한 제1 가이드 레일;
   제1 가이드 레일에 연결되도록 구비되며, 상기 기판을 가이드하기 위한 제2 가이드 레일;
   상기 제2 가이드 레일을 지지하도록 구비되며, 상기 제2 가이드 레일에 의해 가이드되는 기판의 방향을 전환하기 위해 상기 제2 가이드 레일을 회전시키는 회전테이블;
   상기 제1 가이드 레일 사이에 배치되며, 상기 기판의 공급 방향을 확인하기 위한 카메라;
   상기 회전 테이블 상에서 상기 제2 가이드 레일 사이를 따라 이동 가능하도록 구비되며, 제1 가이드 레일에 위치하는 기판을 상기 제2 가이드 레일로 가져오기 위한 그리퍼; 및
   상기 회전 테이블 상에서 상기 제2 가이드 레일 사이에 배치되며, 피커가 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 기판을 상승시키는 승강 가이드를 포함하고,
   상기 기판을 동일한 방향으로 전환하기 위해, 상기 기판이 정상적인 방향으로 공급된 경우 상기 회전 테이블이 시계 방향을 따라 90도 회전하여 상기 기판의 방향을 전환하고, 상기 기판이 반대 방향으로 공급된 경우 상기 회전 테이블이 반시계 방향을 따라 90도 회전하거나 시계 방향으로 270도 회전하여 상기 기판의 방향을 전환하며,
   상기 승강 가이드는 상기 그리퍼가 이동할 수 있도록 중앙 부위가 개방된 것을 특징으로 하는 회전식 기판 이송 레일.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제

Images