KR101372527B1 - 벨로우즈의 진공누설 검사기기 - Google Patents

벨로우즈의 진공누설 검사기기 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 벨로우즈의 진공누설 검사기기는 벨로우즈(B)의 내부에 존재하는 공기를 흡입하는 진공펌프(11)와 상기 벨로우즈(B)의 양측부에 연결되는 진공유입호스(12)와 흡입되는 공기 중 가스를 검출하는 가스검출부(13)로 이루어진 검사수단(10)과; 상기 벨로우즈(B)의 일단부가 수평으로 부착되도록 중심부에 제1천공부(21a)가 형성된 판형상의 제1부착판(21)과, 상기 제1천공부(21a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제1진공연결부(22)와, 상기 제1부착판(21)이 직립되어 고정되도록 상기 제1부착판(21)의 하부에 수평으로 연결된 제1거치판(23)으로 이루어진 제1안착수단(20)과; 상기 제1안착수단(20)과 대향되도록 형성되며 상기 벨로우즈(B)의 타단부가 타측면에 부착되도록 중심부에 제2천공부(31a)가 형성된 제2부착판(31)과, 상기 제2천공부(31a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제2진공연결부(32)와, 상기 제2부착판(31)이 직립되도록 상기 제2부착판(31)의 하부에 수평으로 구비된 제2거치판(33)과, 상기 제2거치판(33)의 하부에 구비되어 상기 제2거치판(33)을 수평으로 이동시키는 제2안착이동부(34)로 이루어진 제2안착수단(30)과; 상기 제1안착수단(20) 또는 제2안착수단(30)이 상부에 안착되는 판형상의 베이스부(40);로 구성되어 상기 벨로우즈의 표면을 수평으로 전개하여 벨로우즈의 파손여부가 정확하게 판별하는 효과가 있다.

Description

벨로우즈의 진공누설 검사기기 { Vacuum leak check device of Vacuum type bellows }
본 발명은 벨로우즈의 진공누설 검사기기에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 벨로우즈의 파손여부가 정확하게 판별되도록 벨로우즈의 표면을 전개시키는 벨로우즈전개수단을 형성하고, 벨로우즈의 밀착력과 흡착력이 향상되도록 부착판의 표면에 수지판을 구비하며, 전동으로 전개하는 전동수단을 구비하고, 진공수단과 벨로우즈를 견고하게 연결하는 연결부재가 구비된 벨로우즈의 진공누설 검사기기에 관한 것이다.
벨로우즈는 전체의 외주면에 돌출된 산과 접혀진 골이 반복적으로 형성되는 원통형의 주름관으로서 다수의 독립적인 연결관이 연결될 경우 축방향이 가변되거나 흔들리는 것에 의하여 연결부가 파손되는 것을 방지하기 위하여 사용되는 연결부재이다.
일반적으로 벨로우즈는 반도체 제조용 진공장비 또는 진공 챔버와 진공 덕트 사이에 연통되도록 설치되는 등 다양한 진공분야에 사용되는 핵심 부품으로 벨로우즈의 제작 후 반드시 그 진공 누설 여부를 검사해야 사용할 수 있게 된다.
여기서, 종래의 제작이 완료된 진공용 벨로우즈의 진공 누설 여부를 검사하고자 할 때는 벨로우즈의 양단부를 밀봉시킨 후, 물이 담겨 있는 검사 수조에 넣어 그 내부에 공기압을 가해 기포의 유무를 확인하여 누설 여부를 검사하였다.
그러나, 이와 같은 종래의 방식에 의해 진공용 벨로우즈의 누설 여부를 검사하는 경우에는 수중에서 검사를 실시하기 때문에 검사 후 벨로우즈의 부식을 촉진시키거나 검사 시간이 불필요하게 많이 소모되는 문제점이 있었다.
특히, 벨로우즈가 초고진공 상태에서 견딜 수 있는지 여부를 정확하게 판단하지 못하여 검사가 완료된 벨로우즈를 사용시 초고진공 상태가 되었을 경우 불량이 발생되어진공누설 검사의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.
이러한 문제점들로 인하여 근래에 들어 개선된 벨로우즈의 진공 누설 여부를 검사하는 장치 및 방법이 개발되었고, 도 1은 개선된 벨로우즈의 진공누설검사장치 및 방법을 나타내 보인 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래의 개선된 벨로우즈의 진공누설검사장치는 벨로우즈의 양측단부를 밀폐하는 부착판(2)을 상하로 구비하고, 상기 부착판(2)의 내면에 벨로우즈(B)를 고정하는 부착고정구(3)를 상하로 구비하며, 상기 부착판(2)의 거리를 가변하며 벨로우즈(B)를 밀착하는 연결스크류(4)를 구비하고, 내부의 공기가 흡입되도록 상부에 관통되어 연결된 진공흡입부(5)로 구성되어 상기 벨로우즈(B)의 외측 대기(atm)에 가스(G)를 분포시켜 상기 진공흡입부(5)에 상기 대기(atm)에 있는 가스(G)가 함께 유입되는 것을 판독하여 벨로우즈(B)의 표면이 파손된 것을 검사하는 것이다,
그러나, 종래의 벨로우즈의 진공누설검사장치는 대기(atm)에 분포된 가스(G)가 유입되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결스크류(4)를 조여 상하에 위치한 부착판(2)의 거리를 좁히게 되는데 이로 인하여 주름부분에 발생된 미세한 리크(Leak){누수, 구멍}는 상기 좁혀진 부착판(2)으로 인하여 주름면이 상호 밀착되어 리크가 있음에도 불구하고 가스(G)가 유입되지 않아 검사가 정확하게 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.
또한, 상기 부착판(2)과 같은 판재의 면과 상기 벨로우즈(B)의 단부는 그 밀착력이 매우 저하되어 리크가 아닌 부착판(2)과 벨로우즈(B)의 단부의 연결부에서 가스(G)가 침투하여 검사결과의 정확도를 저하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로 본 발명의 목적은 벨로우즈의 표면을 평평하게 전개한 후 검사하여 벨로우즈의 파손여부 정확하게 판별하고, 부착판의 표면에 탄성력을 지닌 수지판을 구비하여 벨로우즈의 밀착력과 흡착력을 향상시키며, 전동으로 이동시키는 전동수단을 구비하여 편리하게 검사작업을 수행하고, 진공수단과 벨로우즈를 견고하게 연결하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 벨로우즈의 진공누설 검사기기는 벨로우즈의 내부공기가 흡입된 경우 흡입된 공기에 외부가스가 포함된 것을 식별하여 벨로우즈의 표면이 파손된 것을 판단하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기로서, 상기 벨로우즈의 내부에 존재하는 공기를 흡입하는 진공펌프와 상기 벨로우즈의 양측부에 연결되는 진공유입호스와 흡입되는 공기 중 가스를 검출하는 가스검출부로 이루어진 검사수단과; 상기 벨로우즈의 일단부가 수평으로 부착되도록 중심부에 제1천공부가 형성된 판형상의 제1부착판과, 상기 제1천공부에 연결되며 상기 진공유입호스와 연결된 제1진공연결부와, 상기 제1부착판이 직립되어 고정되도록 상기 제1부착판의 하부에 수평으로 연결된 제1거치판으로 이루어진 제1안착수단과; 상기 제1안착수단과 대향되도록 형성되며 상기 벨로우즈의 타단부가 타측면에 부착되도록 중심부에 제2천공부가 형성된 제2부착판과, 상기 제2천공부에 연결되며 상기 진공유입호스와 연결된 제2진공연결부와, 상기 제2부착판이 직립되도록 상기 제2부착판의 하부에 수평으로 구비된 제2거치판과, 상기 제2거치판의 하부에 구비되어 상기 제2거치판을 수평으로 이동시키는 제2안착이동부로 이루어진 제2안착수단과; 상기 제1안착수단 또는 제2안착수단이 상부에 안착되는 판형상의 베이스부;로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 제1부착판의 일측면에는 상기 벨로우즈의 일단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제1밀착수지판이 구비되고, 상기 제2부착판의 일측면에는 상기 벨로우즈의 타단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제2밀착수지판이 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제2안착이동부는 상기 제2안착수단이 이동되도록 상기 베이스부의 상면 일측에 부착된 다수개의 이동레일과, 상기 이동레일에 안착되도록 슬라이드홈이 형성되며 상기 제2거치판의 하면에 연결된 다수개의 이동가이드구로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 제2안착이동부에는 상기 제2안착수단이 전동으로 이동되도록 일측에 모터가 구비되고, 상기 모터에 연결되어 회전되는 회전스크류와, 상기 이동가이드구의 일측에 구비되어 상기 회전스크류에 나사결합된 스크류회전구가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제1진공연결부는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제1연결플랜지가 형성되고, 상기 진공유입호스의 일단부에 구비되며 상기 제1연결플랜지와 대립되도록 형성된 제1호스플랜지가 구비되며, 상기 제1연결플랜지와 제1호스플랜지를 감싸며 상호 밀착시키는 제1클램프가 구비되고, 상기 제2진공연결부는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제2연결플랜지가 형성되며, 상기 진공유입호스의 타단부에 구비되며 상기 제2연결플랜지와 대립되도록 형성된 제2호스플랜지가 구비되고, 상기 제2연결플랜지와 제2호스플랜지를 감싸며 상호 밀착시키는 제2클램프가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제1연결플랜지와 제1호스플랜지의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 외주연에 탄성력을 지닌 제1센터오링이 구비되고, 상기 제2연결플랜지와 제2호스플랜지의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 제2센터오링이 구비된 것을 특징으로 한다.
이와 같이 본 발명에 의한 벨로우즈의 진공누설 검사기기는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 정해진 크기로 접혀진 벨로우즈를 수평으로 이동시켜 전개할 수 있도록 일측의 부착판을 수평으로 이동시키는 이동부재를 구비함으로써, 접혀진 벨로우즈의 표면을 평평하게 전개하여 벨로우즈의 파손여부 판별하는데 있어 보다 정확하게 판별할 수 있고,
둘째, 벨로우즈의 접촉면이 파묻혀지는 형상으로 흡착되도록 부착판의 표면에 탄성력을 지닌 수지판을 구비함으로써, 벨로우즈의 밀착력과 흡착력을 향상시켜 벨로우즈의 외부에 존재하는 가스의 유입을 미연에 차단할 수 있으며,
셋째, 회전운동을 직진운동으로 변환시키는 회전스크류와, 상기 회전스크류를 전동을 회전시키는 전동모터를 구비함으로써, 정해진 크기로 접혀진 벨로우즈를 전동으로 전개할 수 있게 되어 편리하게 검사작업을 수행할 수 있고,
넷째, 벨로우즈의 내부와 진공펌프의 연결이 견고해지도록 진공연결부와 진공유입호스의 각 단부에 대립형성된 연결플랜지를 구비하고, 상기 대립형성된 한 쌍의 연결플랜지의 외주면을 감싸며 조여지는 C형 클램프를 구비함으로써, 진공연결부와 진공유입호스의 연결부를 통하여 외부의 가스가 유입되는 것을 미연에 차단하여 검사의 정밀성을 대폭 향상시킬 수 있으며,
다섯째, 진공연결부와 진공유입호스의 연결이 더욱 견고해지도록 대립형상의 연결플랜지의 내부에 탄성력을 지닌 센터오링을 삽입함으로써, 외부의 가스가 상기 진공연결부와 진공유입호스의 연결부를 통하여 유입되는 것을 미연에 차단하여 검사의 오류를 최소화 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 벨로우즈의 누설 검사기기를 나타내 보인 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 벨로우즈의 누설 검사기기를 나타내 보인 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈의 누설 검사기기를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예를 나타내 보인 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 일 실시예를 나타내 보인 사용상태도이다.
이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 벨로우즈의 진공누설 검사기기는 도 5에 도시된 바와 같이 벨로우즈(B)의 내부공기가 흡입된 경우 흡입된 공기에 외부가스(G)가 포함된 것을 식별하여 벨로우즈의 표면이 파손된 것을 판단하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기로서, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 벨로우즈(B)의 내부에 존재하는 공기를 흡입하는 진공펌프(11)와 상기 벨로우즈(B)의 양측부에 연결되는 진공유입호스(12)와 흡입되는 공기 중 가스를 검출하는 가스검출부(13)로 이루어진 검사수단(10)과; 상기 벨로우즈(B)의 일단부가 수평으로 부착되도록 중심부에 제1천공부(21a)가 형성된 판형상의 제1부착판(21)과, 상기 제1천공부(21a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제1진공연결부(22)와, 상기 제1부착판(21)이 직립되어 고정되도록 상기 제1부착판(21)의 하부에 수평으로 연결된 제1거치판(23)으로 이루어진 제1안착수단(20)과; 상기 제1안착수단(20)과 대향되도록 형성되며 상기 벨로우즈(B)의 타단부가 타측면에 부착되도록 중심부에 제2천공부(31a)가 형성된 제2부착판(31)과, 상기 제2천공부(31a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제2진공연결부(32)와, 상기 제2부착판(31)이 직립되도록 상기 제2부착판(31)의 하부에 수평으로 구비된 제2거치판(33)과, 상기 제2거치판(33)의 하부에 구비되어 상기 제2거치판(33)을 수평으로 이동시키는 제2안착이동부(34)로 이루어진 제2안착수단(30)과; 상기 제1안착수단(20) 또는 제2안착수단(30)이 상부에 안착되는 판형상의 베이스부(40);로 구성된다.
한편, 상기 가스검출부(13)는 상기 진공펌프(11)에 내재되어 흡입되는 공기중에 가스의 함유여부를 판독하게 되는데 대표적으로 헬륨가스를 판독하는 헬륨가스검출장치(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 벨로우즈(B)의 외측에 뿌려진 가스(G)가 대기로 분산되는 것을 방지하도록 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)의 외주연을 감싸며 덮어주는 가스분산방지커버(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 제1부착판(21)의 일측면에는 상기 벨로우즈(B)의 일단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제1밀착수지판(21b)이 구비되고, 상기 제2부착판(31)의 일측면에는 상기 벨로우즈(B)의 타단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제2밀착수지판(31b)이 구비된다.
또한, 상기 제2안착이동부(34)는 상기 제2안착수단(30)이 이동되도록 상기 베이스부(40)의 상면 일측에 부착된 다수개의 이동레일(34a)과, 상기 이동레일(34a)에 안착되도록 슬라이드홈(34b)이 형성되며 상기 제2거치판(33)의 하면에 연결된 다수개의 이동가이드구(34c)로 이루어진다.
그리고, 상기 제2안착이동부(34)에는 상기 제2안착수단(30)이 전동으로 이동되도록 일측에 모터(M)가 구비되고, 상기 모터(M)에 연결되어 회전되는 회전스크류(34d)와, 상기 이동가이드구(34c)의 일측에 구비되어 상기 회전스크류(34d)에 나사결합된 스크류회전구(34e)가 구비된다
또한, 상기 제1진공연결부(22)는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제1연결플랜지(22a)가 형성되고, 상기 진공유입호스(12)의 일단부에 구비되며 상기 제1연결플랜지(22a)와 대립되도록 형성된 제1호스플랜지(22b)가 구비되며, 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)를 감싸며 상호 밀착시키는 제1클램프(22c)가 구비되고, 상기 제2진공연결부(32)는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제2연결플랜지(32a)가 형성되며, 상기 진공유입호스(12)의 타단부에 구비되며 상기 제2연결플랜지(32a)와 대립되도록 형성된 제2호스플랜지(32b)가 구비되고, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)를 감싸며 상호 밀착시키는 제2클램프(32c)가 구비된다.
그리고, 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 외주연에 탄성력을 지닌 제1센터오링(22d)이 구비되고, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 제2센터오링(32d)이 구비된다.
다음은 상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 벨로우즈의 진공누설 검사기기의 작용을 살펴보면 아래와 같다.
본 발명에 의한 벨로우즈의 진공누설 검사기기는 도 5에 도시된 바와 같이 벨로우즈(B)의 내부공기를 흡입할 경우 외측에 분포된 가스(G)가 함께 검출되는 것으로 상기 벨로우즈(B)의 표면이 파손된 여부를 판단할 수 있게 된다.
즉, 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)의 측면에 내부의 공기를 흡입하는 진공펌프(11)와 연결된 진공유입호스(12)를 연결하고, 상기 진공펌프(11)의 진공력에 의하여 상기 벨로우즈(B)의 양단부를 흡착하여 상기 벨로우즈(B)의 내부에 존재하는 공기를 흡입하게 된다.
한편, 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)에 탄성력을 지닌 제1밀착수지판(21b)과 제2밀착수지판(31b)을 구비하여 상기 벨로우즈(B)의 양단부의 접촉면이 뭍혀지는 형상으로 흡착됨으로써, 상기 벨로우즈(B)의 밀착력을 대폭 향상시킬 수 있게 된다.
이때, 상기 벨로우즈(B)의 외측 대기에 정해진 가스(G)를 뿌려놓아 상기 벨로우즈(B)의 표면이 파손된 경우 상기 진공펌프(11)에 의해 내재된 공기와 함께 상기 가스(G)가 흡입되고 상기 가스검출부(13)를 통하여 상기 벨로우즈(B)의 외측에 뿌려놓은 가스(G)의 함유여부를 판단하여 상기 벨로우즈(B)의 파손된 것을 판단할 수 있게 된다.
여기서, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)은 상기 벨로우즈(B)의 양단부가 흡착되어 수평으로 구비되도록 수직으로 직립시키고, 상기 제1거치판(23)과 제2거치판(33)을 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)의 하부에 수평으로 구비시켜 상기 제1부착판(21)과 제2부착판(31)을 견고하게 고정할 수 있게 된다.
그리고, 상기 제1안착수단(20)은 상기 베이스부(40)의 일면에 고정하고, 상기 제2안착수단(30)은 수평으로 이동되는 제2안착이동부(34)를 구비함으로써, 상기 벨로우즈(B)의 접혀진 부분을 전개하여 벨로우즈(B)의 표면에 대한 파손여부를 더욱 정확하게 검사할 수 있게 된다.
이때, 상기 제2안착이동부(34)는 상기 베이스부(40)에 다수개의 이동레일(34a)을 안착시키고, 상기 이동레일(34a)의 단면과 동일한 슬라이드홈(34b)이 형성된 이동가이드구(34c)를 이동시킴으로써, 상기 이동가이드구(34c)에 연결된 제2안착수단(30)을 수평으로 이동 및 가변할 수 있게 된다.
또한, 회전운동을 직진운동으로 변환시키는 회전스크류(34d)를 상기 이동가이드구(34c)의 일측에 나사산이 형성된 스크류회전구(34e)에 나사결합하고, 상기 회전스크류(34d)의 단부에 전동모터(M)를 연결함으로써, 상기 이동가이드구(34c)를 전동으로 편리하게 이동시킬 수 있게 된다.
그리고, 상기 제1진공연결부(22)는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제1연결플랜지(22a)가 상기 진공유입호스(12)의 일단부에 구비된 제1호스플랜지(22b)와 대향으로 밀착하고, 일측으로 벌려지는 제1클램프(22c)로 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)의 외측을 감싸며 조임으로써, 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)가 견고하게 밀착하게 되어 흡입되는 내부공기에 가스(G)가 침투하지 못하게 된다.
또한, 상기 제2진공연결부(32)또한 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(22b)를 대향으로 밀착하고, 제2클램프(32c)로 외측을 감싸며 조임으로써, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)가 견고하게 밀착할 수 있게 된다.
그리고, 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)의 사이에 탄성력을 지닌 제1센터오링(22d)를 삽입하여 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)의 연결부의 밀폐력을 향상시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)의 사이에도 상기 제2센터오링(32d)을 삽입하여 밀폐력을 향상시킬 수 있게 된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
1: 진공누설검사기기 10 : 검사수단
11 : 진공펌프 12 : 진공유입호스
13 : 가스검출부 20 : 제1안착수단
21 : 제1부착판 21a : 제1천공부
21b : 제1밀착수지판 22 : 제1진공연결부
22a : 제1연결플랜지 22b : 제1호스플랜지
22c : 제1클램프 22d : 제1센터오링
23 : 제1거치판 30 : 제2안착수단
31 : 제2부착판 31a : 제2천공부
31b : 제2밀착수지판 32 : 제2진공연결부
32a : 제2연결플랜지 32b : 제2호스플랜지
32c : 제2클램프 32d : 제2센터오링
33 : 제2거치판 34 : 제2안착이동부
34a : 이동레일 34b : 슬라이드홈
34c : 이동가이드구 34d : 회전스크류
34e : 스크류회전구 40 : 베이스부
B : 벨로우즈 M : 모터
G : 가스

Claims (6)

  1. 벨로우즈(B)의 내부공기가 흡입된 경우 흡입된 공기에 외부가스(G)가 포함된 것을 식별하여 벨로우즈의 표면이 파손된 것을 판단하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기에 있어서,
    상기 벨로우즈(B)의 내부공기를 흡입하는 진공펌프(11)와, 상기 벨로우즈(B)의 양측부에 연결되는 진공유입호스(12)와 흡입되는 공기 중 가스를 검출하는 가스검출부(13)로 이루어진 검사수단(10)과;
    상기 벨로우즈(B)의 일단부가 수평으로 부착되도록 중심부에 제1천공부(21a)가 형성된 판형상의 제1부착판(21)과, 상기 제1천공부(21a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제1진공연결부(22)와, 상기 제1부착판(21)이 직립되어 고정되도록 상기 제1부착판(21)의 하부에 수평으로 연결된 제1거치판(23)으로 이루어진 제1안착수단(20)과;
    상기 제1안착수단(20)과 대향되도록 형성되며 상기 벨로우즈(B)의 타단부가 타측면에 부착되도록 중심부에 제2천공부(31a)가 형성된 제2부착판(31)과, 상기 제2천공부(31a)에 연결되며 상기 진공유입호스(12)와 연결된 제2진공연결부(32)와, 상기 제2부착판(31)이 직립되도록 상기 제2부착판(31)의 하부에 수평으로 구비된 제2거치판(33)과, 상기 제2거치판(33)의 하부에 구비되어 상기 제2거치판(33)을 수평으로 이동시키는 제2안착이동부(34)로 이루어진 제2안착수단(30)과;
    상기 제1안착수단(20) 또는 제2안착수단(30)이 상부에 안착되는 판형상의 베이스부(40);로 구성된 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1부착판(21)의 일측면에는 상기 벨로우즈(B)의 일단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제1밀착수지판(21b)이 구비되고, 상기 제2부착판(31)의 일측면에는 상기 벨로우즈(B)의 타단부가 밀착되도록 탄성력을 지닌 제2밀착수지판(31b)이 구비된 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2안착이동부(34)는 상기 제2안착수단(30)이 이동되도록 상기 베이스부(40)의 상면 일측에 부착된 다수개의 이동레일(34a)과, 상기 이동레일(34a)에 안착되도록 슬라이드홈(34b)이 형성되며 상기 제2거치판(33)의 하면에 연결된 다수개의 이동가이드구(34c)로 이루어진 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2안착이동부(34)에는 상기 제2안착수단(30)이 전동으로 이동되도록 일측에 모터(M)가 구비되고, 상기 모터(M)에 연결되어 회전되는 회전스크류(34d)와, 상기 이동가이드구(34c)의 일측에 구비되어 상기 회전스크류(34d)에 나사결합된 스크류회전구(34e)가 구비된 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1진공연결부(22)는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제1연결플랜지(22a)가 형성되고, 상기 진공유입호스(12)의 일단부에 구비되며 상기 제1연결플랜지(22a)와 대립되도록 형성된 제1호스플랜지(22b)가 구비되며, 상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)를 감싸며 상호 밀착시키는 제1클램프(22c)가 구비되고, 상기 제2진공연결부(32)는 일단부의 직경이 확장되며 중심부가 천공된 제2연결플랜지(32a)가 형성되며, 상기 진공유입호스(12)의 타단부에 구비되며 상기 제2연결플랜지(32a)와 대립되도록 형성된 제2호스플랜지(32b)가 구비되고, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)를 감싸며 상호 밀착시키는 제2클램프(32c)가 구비된 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1연결플랜지(22a)와 제1호스플랜지(22b)의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 외주연에 탄성력을 지닌 제1센터오링(22d)이 구비되고, 상기 제2연결플랜지(32a)와 제2호스플랜지(32b)의 사이에는 밀폐력이 향상되도록 제2센터오링(32d)이 구비된 것을 특징으로 하는 벨로우즈의 진공누설 검사기기.
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