KR101371297B1 - Aligning apparatus of flexible substrate for roll-to-roll process - Google Patents

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Abstract

본 발명은 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 롤러에 감겨지거나 풀어지면서 이송/반송되는 기판의 위치에 오차가 있을 경우 이를 신속하고 정밀하게 보정할 수 있는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치는 모터의 구동력에 의해 회전하는 스크류 샤프트; 상기 스크류 샤프트에 나사결합되어 스크류 샤프트가 회전함에 따라 좌우 수평이동하는 스크류 너트; 상기 스크류 너트의 상단에 결합되어 스크류 너트와 함께 좌우 수평이동하는 슬라이드 블록; 그리고, 상기 슬라이드 블록에 일단이 결합되어 슬라이드 블록이 좌우 수평이동함에 따라 수평방향 위치가 조절되는 롤러축을 포함하여 이루어진다. The present invention relates to a flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process, more specifically, a roll-to-roll process that can be quickly and precisely corrected when there is an error in the position of the substrate to be transported / conveyed while being wound or unrolled on the roller The present invention relates to a flexible substrate positioning device for the device.
Such a flexible substrate positioning device for a roll-to-roll process according to the present invention includes a screw shaft rotating by the driving force of the motor; A screw nut screwed to the screw shaft to horizontally move left and right as the screw shaft rotates; A slide block coupled to an upper end of the screw nut and horizontally moved with the screw nut; And, one end is coupled to the slide block is made to include a roller shaft that the horizontal position is adjusted as the slide block moves horizontally left and right.

Description

롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치{ALIGNING APPARATUS OF FLEXIBLE SUBSTRATE FOR ROLL-TO-ROLL PROCESS}Flexible substrate alignment device for roll-to-roll process {ALIGNING APPARATUS OF FLEXIBLE SUBSTRATE FOR ROLL-TO-ROLL PROCESS}

본 발명은 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 롤러에 감겨지거나 풀어지면서 이송/반송되는 기판의 위치에 오차가 있을 경우 이를 신속하고 정밀하게 보정할 수 있는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process, and more particularly, to a roll-to-roll process that can be quickly and precisely corrected when there is an error in the position of the substrate to be transferred / conveyed while being wound or unrolled on the roller The present invention relates to a flexible substrate positioning device for the device.

근래 디스플레이 장치에 대한 급격한 기술 발전과 더불어 가볍고 휘어지면서 소자의 특성이 그대로 유지되는 플렉시블(flexible) 디스플레이에 대한 관심이 날로 증가되고 있다. Recently, with the rapid development of technology for display devices, there is a growing interest in flexible displays, in which the characteristics of devices are maintained while being light and curved.

상기 플렉시블 디스플레이를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(Metal Foil)과 같은 플렉시블 기판을 사용하게 된다. 그런데 상기 플렉시블 기판은 기존 디스플레이 장치에 사용되는 유리기판과 다른 특성인 유연성 때문에 기존의 공정에 대한 적합성을 만족시키기 어려울 수 있다. In order to implement the flexible display, a flexible substrate such as plastic or metal foil is used. However, the flexible substrate may have difficulty in satisfying suitability for an existing process because of flexibility, which is different from that of glass substrates used in existing display devices.

따라서 플렉시블 디스플레이가 지향하고 있는 저가, 고속의 대량생산을 위해서는 기존의 유리기판을 근간으로 하는 Batch 타입의 공정이 아닌 연속공정에 의한 롤투롤(Roll-to-Roll) 공정이 일반적으로 사용되고 있다.Therefore, the roll-to-roll process by a continuous process, rather than a batch type process based on glass substrates, is generally used for mass production at low cost and high speed, which is aimed at flexible displays.

롤투롤(Roll-to-Roll) 공정이란 플렉시블 디스플레이나 태양전지 제작에 사용되는 PET, PEN, PES와 같은 고분자 플렉시블 기판을 롤러를 이용해 풀어주거나 감아주면서 박막의 성막을 수행하는 공정으로 차세대 플렉시블 광전소자용 고속, 대량 생산방법으로 많은 연구가 진행되고 있다.Roll-to-Roll process is a process that performs thin film formation while releasing or winding polymer flexible substrates such as PET, PEN, and PES used for flexible display or solar cell manufacturing using rollers. Many studies are being conducted on high-speed, high-volume production methods.

하지만, 이러한 롤투롤 공정에서 롤러에 감겨지거나 풀어지는 플렉시블 기판의 위치에 오차가 있을 경우 예를 들어, 플렉시블 기판이 비뚤어진 상태로 해당 공정으로 이송되면 기판상에 정확한 패턴을 형성시키지 못해 기판 불량을 초래하게 된다.However, if there is an error in the position of the flexible substrate wound or unrolled on the roller in this roll-to-roll process, for example, if the flexible substrate is transferred to the process in a crooked state, it may not form an accurate pattern on the substrate, resulting in substrate defects. Done.

특히, 롤투롤 공정은 고속으로 연속적으로 진행되기 때문에 플렉시블 기판 위치에 오차가 있을 경우 롤러에 감겨져 있는 플렉시블 기판 전체에 불량이 발생하게 되고, 이 경우 기판 전체를 폐기처분해야 하므로 공정지연뿐만 아니라 공정비용을 증가시키는 원인이 되고 있다.In particular, since the roll-to-roll process is continuously performed at a high speed, when there is an error in the position of the flexible substrate, defects occur in the entire flexible substrate wound on the roller, and in this case, the entire substrate must be disposed of, so that not only process delay but also process cost Is causing the increase.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 모터의 구동력에 의해 회전하는 스크류 샤프트; 상기 스크류 샤프트에 나사결합되어 스크류 샤프트가 회전함에 따라 좌우 수평이동하는 스크류 너트; 상기 스크류 너트의 상단에 결합되어 스크류 너트와 함께 좌우 수평이동하는 슬라이드 블록; 그리고, 상기 슬라이드 블록에 일단이 결합되어 슬라이드 블록이 좌우 수평이동함에 따라 수평방향 위치가 조절되는 롤러축을 포함하여 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치를 제공한다. The present invention to solve the above problems is a screw shaft that rotates by the driving force of the motor; A screw nut screwed to the screw shaft to horizontally move left and right as the screw shaft rotates; A slide block coupled to an upper end of the screw nut and horizontally moved with the screw nut; And, one end is coupled to the slide block to provide a flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process comprising a roller shaft which is adjusted in the horizontal position as the slide block is horizontally moved horizontally.

이러한 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치는 상기 롤러축이 회전함에 따라 롤러에 감기거나 풀어지는 플렉시블 기판의 폭방향 끝단 위치를 감지하는 위치감지 센서를 더 포함하여 이루어질 수 있다. The roll-to-roll process flexible substrate positioning device may further comprise a position sensor for detecting the end position in the width direction of the flexible substrate wound or unrolled on the roller as the roller shaft rotates.

그리고, 상기 슬라이드 블록과 일정 간격 떨어진 위치에는 슬라이드 블록과 결합되어 슬라이드 블록의 하중을 지탱하여 주는 서포트 플레이트가 고정설치되고, 이때 상기 슬라이드 블록은 서포트 플레이트에 좌우 수평방향 이동가능하게 결합된다. A support plate coupled to the slide block to support the load of the slide block is fixedly installed at a predetermined distance from the slide block, and the slide block is coupled to the support plate so as to be movable in the horizontal direction.

구체적으로, 슬라이드 블록의 수평방향 이동을 위해 상기 슬라이드 블록의 일측면에는 가이드 레일이 설치되고, 상기 서포트 플레이트의 일측면에는 상기 가이드 레일에 결합되는 가이드 블록이 설치된다. Specifically, a guide rail is installed on one side of the slide block for horizontal movement of the slide block, and a guide block coupled to the guide rail is installed on one side of the support plate.

또한, 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치는 상기 스크류 너트가 스크류 샤프트를 따라 이동할 때 발생하는 파티클의 비산을 막기 위해 상기 스크류 샤프트와 슬라이드 블록을 감싸는 하우징; 그리고, 상기 하우징의 일측에 연결되어 하우징 내부에서 발생하는 파티클을 빨아들여 외부로 배출시키는 배기관을 더 포함하여 이루어질 수 있다.In addition, the flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention includes a housing surrounding the screw shaft and the slide block to prevent particles from scattering when the screw nut is moved along the screw shaft; The exhaust pipe may further include an exhaust pipe connected to one side of the housing to suck particles generated in the housing and discharge the particles to the outside.

본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치는 롤러에 감겨지거나 풀어지는 기판의 위치를 실시간으로 감지하여 기판이 정확한 위치로 공급되고 있는지 여부를 확인하고, 기판의 위치에 오차가 있을 경우 이를 신속하고 정밀하게 보정함으로써 기판의 불량을 사전에 방지하고 또한 전체적인 공정이 신속하게 진행될 수 있도록 한다.The flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention detects the position of the substrate wound or unrolled on a roller in real time to check whether the substrate is supplied to the correct position, and if there is an error in the position of the substrate, Fast and precise calibration ensures that substrate failures are prevented in advance and that the overall process can proceed quickly.

도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치의 전체적인 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 정렬장치의 동작상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 하우징 내부에 발생된 이물질이 배기관을 통해 외부로 배출되는 모습을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing the overall structure of a flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention.
2 is a view showing the operating state of the flexible substrate alignment apparatus for a roll-to-roll process according to the invention.
3 is a view showing a state in which foreign matter generated inside the housing according to the present invention is discharged to the outside through the exhaust pipe.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above objects can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and additional description thereof will be omitted in the following.

도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치의 전체적인 구조를 나타내는 도면이며, 도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 정렬장치의 동작상태를 나타내는 도면이다.1 is a view showing the overall structure of the roll-to-roll processing flexible substrate alignment apparatus according to the present invention, Figure 2 is a view showing the operating state of the roll-to-roll processing flexible substrate alignment apparatus according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치는 공정이 완료된 후 롤러(110)에 감겨져 회수되거나 공정진행을 위해 롤러(110)에서 풀어져 이송되는 플렉시블 기판(10)의 위치에 오차가 있을 경우 롤러축(100)을 좌우 수평이동시켜 해당 오차를 보정할 수 있도록 한다.The flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention illustrated in FIGS. 1 and 2 is wound on the roller 110 after the process is completed, and recovered or rolled off from the roller 110 for process progress. If there is an error in the position of the roller shaft 100 to move horizontally left and right to correct the error.

이러한 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 정렬장치는 스크류 샤프트(Screw Shaft)(600)와, 스크류 너트(Screw Nut)(610)와, 슬라이드 블록(Slide Block)(200)과, 롤러축(100)을 포함하여 이루어진다.The flexible substrate aligning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention includes a screw shaft 600, a screw nut 610, a slide block 200, and a roller shaft 100).

상기 스크류 샤프트(600)는 외면에 나선형의 홈이 형성되어 있으며, 모터(500) 축과 연결되어 모터(500)가 구동을 시작하면 회전하도록 구성된다. 여기서, 스크류 샤프트(600)는 커플링(510)을 통해 모터(500) 축에 연결되어 모터(500) 축과 동축이 유지되며, 이에 따라 모터(500)의 구동력이 정확하게 스크류 샤프트(600)에 전달되어 진다. The screw shaft 600 is formed with a spiral groove on the outer surface, is connected to the axis of the motor 500 is configured to rotate when the motor 500 starts to drive. Here, the screw shaft 600 is connected to the shaft of the motor 500 through the coupling 510 is maintained coaxial with the shaft of the motor 500, so that the driving force of the motor 500 is precisely to the screw shaft 600 Delivered.

상기 스크류 너트(610)는 상기 스크류 샤프트(600)에 나사결합되어 스크류 샤프트(600)가 모터(500)의 구동력에 의해 회전하면 스크류 샤프트(600)를 따라 좌우 수평이동하도록 구성된다. The screw nut 610 is screwed to the screw shaft 600 is configured to horizontally move along the screw shaft 600 when the screw shaft 600 is rotated by the driving force of the motor 500.

비록 도시하지는 않았지만 스크류 샤프트(600)와 스크류 너트(610) 사이에는 원형의 볼이 개재되어 있어 스크류 샤프트(600)가 회전을 시작하면 볼을 매개로 스크류 너트(610)가 스크류 샤프트(600)를 따라 0.02mm~0.5mm까지 정밀하게 전진 또는 후퇴하며 수평방향 이동하게 된다.Although not shown, a circular ball is interposed between the screw shaft 600 and the screw nut 610 so that when the screw shaft 600 starts to rotate, the screw nut 610 moves the screw shaft 600 through the ball. Therefore, it moves horizontally by precisely moving forward or backward from 0.02mm ~ 0.5mm.

상기 슬라이드 블록(200)은 상기 스크류 너트(610)의 상단에 결합되어 스크류 너트(610)와 함께 좌우 수평이동하도록 구성되며, 상기 롤러축(100)은 상기 슬라이드 블록(200)에 일단이 결합되어 슬라이드 블록(200)이 좌우 수평이동함에 따라 수평방향 위치가 조절된다.The slide block 200 is coupled to the upper end of the screw nut 610 is configured to move horizontally horizontally with the screw nut 610, the roller shaft 100 is one end is coupled to the slide block 200 The horizontal position is adjusted as the slide block 200 moves horizontally.

따라서 스크류 샤프트(600)를 회전시키면 스크류 너트(610)와 스크류 너트(610)에 결합되어 있는 슬라이드 블록(200)의 수평방향 이동이 이루어지고, 이에 따라 슬라이드 블록(200)에 일단이 결합되어 있는 롤러축(100) 역시 수평방향으로 전진 또는 후퇴하며 위치가 조절될 수 있게 된다.Therefore, when the screw shaft 600 is rotated, the horizontal movement of the slide block 200 coupled to the screw nut 610 and the screw nut 610 is performed. Accordingly, one end is coupled to the slide block 200. The roller shaft 100 also moves forward or backward in the horizontal direction so that the position can be adjusted.

이미 설명한 바와 같이 스크류 샤프트(600)의 회전에 의해 스크류 너트(610)가 매우 정밀하게 이동하므로 롤러축(100)의 좌우 수평방향 위치는 mm 단위로 매우 정밀하게 조절될 수 있다.As described above, since the screw nut 610 moves very precisely by the rotation of the screw shaft 600, the horizontal position of the roller shaft 100 may be adjusted very precisely in mm units.

그리고, 도 1에 도시된 바와 같이, 롤러(110)에 감기거나 풀어지는 플렉시블 기판(10)이 정확하게 정렬된 상태로 이송/반송되는지 여부를 확인하기 위해 플렉시블 기판(10)의 폭방향 끝단에는 위치감지 센서(300)가 설치된다. And, as shown in Figure 1, the position in the widthwise end of the flexible substrate 10 in order to check whether the flexible substrate 10 wound or unrolled on the roller 110 is conveyed / conveyed in a precisely aligned state The detection sensor 300 is installed.

상기 위치감지 센서(300)는 수광부와 발광부로 구성되는 일종의 광센서일 수 있으며, 플렉시블 기판(10)이 통과할 때 기판(10)의 폭방향 끝단 위치를 검출하여 검출된 값을 모터(500)의 구동을 제어하는 컨트롤러(미도시)에 전송한다. 이때, 컨트롤러는 수신된 센서의 검출 값 즉, 플렉시블 기판(10)의 끝단 위치가 미리 설정된 위치와 다를 경우 모터(500)를 구동시켜 스크류 샤프트(600)를 회전시킴으로써 롤러축(100)의 좌우 수평방향 위치가 조절되도록 한다. The position detecting sensor 300 may be a kind of optical sensor including a light receiving unit and a light emitting unit. When the flexible substrate 10 passes, the position detecting sensor 300 detects a position in the width direction of the substrate 10 in the width direction of the motor 500. Transfer to a controller (not shown) to control the driving of the. In this case, when the detection value of the received sensor, that is, the end position of the flexible substrate 10 is different from the preset position, the controller drives the motor 500 to rotate the screw shaft 600 so that the left and right horizontal sides of the roller shaft 100 are rotated. Allow the direction position to be adjusted.

여기서, 플렉시블 기판(10)이 좌우가 틀어진 상태로 롤러(110)에서 이송/반송될 경우 이미 설명한 바와 같이 공정에 투입된 기판(10)에 불량이 발생하므로 위치감지 센서(300)는 지속적으로 플렉시블 기판(10)의 끝단 위치를 검출하여 컨트롤러로 전송한다.Here, when the flexible substrate 10 is transferred / conveyed from the roller 110 while the left and right sides are twisted, defects occur in the substrate 10 introduced into the process as described above, and thus the position sensor 300 continuously maintains the flexible substrate. Detect the end position of 10 and transmit it to the controller.

한편, 상기 슬라이드 블록(200)은 롤러축(100)과 연결되어 있으므로 롤러축(100)을 통해 롤러(110)와 롤러(110)에 감겨있는 플레시블 기판(10)의 하중을 전달받게 된다. 이에 따라 슬라이드 블록(200)의 하면에 결합되어 있는 스크류 너트(610) 및 스크류 샤프트(600)에도 강한 하중이 인가되어 슬라이드 블록(200)의 하중에 의해 자칫하면 스크류 샤프트(600)가 휘어지거나 스크류 블록(610)이 파손될 위험이 있다. Meanwhile, since the slide block 200 is connected to the roller shaft 100, the load of the flexible substrate 10 wound on the roller 110 and the roller 110 is received through the roller shaft 100. Accordingly, a strong load is also applied to the screw nut 610 and the screw shaft 600 coupled to the lower surface of the slide block 200, and the screw shaft 600 is bent or the screw is caused by the load of the slide block 200. There is a risk that the block 610 will break.

따라서 상기 슬라이드 블록(200)과 일정 간격 떨어진 위치에는 슬라이드 블록(200)과 결합되어 슬라이드 블록(200)에 인가되는 하중을 지탱하여 주는 서포트 플레이트(Support Plate)(400)가 고정설치됨이 바람직하다.(도 1참조)Therefore, the support plate 400 that supports the load applied to the slide block 200 in combination with the slide block 200 at a predetermined distance from the slide block 200 is preferably fixed. (See Fig. 1)

여기서, 슬라이드 블록(200)은 상술한 바와 같이 스크류 샤프트(600)가 회전을 시작하면 스크류 너트(610)와 함께 수평이동하므로 상기 슬라이드 블록(200)은 서포트 플레이트(400)에도 좌우 수평방향 이동가능하게 결합되어야 한다. 이를 위해 상기 슬라이드 블록(200)의 일측면에는 가이드 레일(210)이 설치되고, 상기 서포트 플레이트(400)의 일측면에는 상기 가이드 레일(210)에 결합되는 가이드 블록(410)이 설치된다. 따라서 슬라이드 블록(200)의 수평이동은 가이드 블록(410)이 가이드 레일(210)에서 슬라이딩 이동되면서 이루어진다.Here, the slide block 200 moves horizontally with the screw nut 610 when the screw shaft 600 starts to rotate as described above, so that the slide block 200 can also move horizontally in the support plate 400. Should be combined. To this end, a guide rail 210 is installed on one side of the slide block 200, and a guide block 410 coupled to the guide rail 210 is installed on one side of the support plate 400. Therefore, the horizontal movement of the slide block 200 is made while the guide block 410 is sliding in the guide rail 210.

물론, 필요에 따라 슬라이드 블록(200)의 일측면에 가이드 블록(410)을 설치하고, 서포트 플레이트(400)의 일측면에 가이드 블록(410)이 결합되는 가이드 레일(210)을 설치하는 것도 가능하다. Of course, if necessary, the guide block 410 may be installed on one side of the slide block 200, and the guide rail 210 may be installed on one side of the support plate 400 to which the guide block 410 is coupled. Do.

또한, 롤러(110)에 감겨지는 플렉시블 기판(10)의 크기가 증가하여 롤러축(100)에 의해 슬라이드 블록(200)에 보다 강한 하중이 전달될 경우 이를 지탱할 수 있도록 상기 가이드 레일(210) 및 가이드 블록(410)은 적어도 2개 이상이 설치될 수 있다.In addition, the guide rail 210 and the guide rail 210 and so as to support when the stronger load is transmitted to the slide block 200 by the roller shaft 100 by increasing the size of the flexible substrate 10 wound on the roller 110 At least two guide blocks 410 may be installed.

한편, 다시 도 1 및 도 2를 참조하면 상술한 스크류 샤프트(600)와 스크류 너트(610)는 외부에 노출되어 있는 것이 아니라 하우징(620) 내부에 설치되어 있다. 이는 스크류 너트(610)가 스크류 샤프트(600)를 따라 이동할 때 발생하는 파티클(Particle)의 비산을 막아 플렉시블 기판(10)이 오염되는 것을 방지하기 위함이다.Meanwhile, referring back to FIGS. 1 and 2, the screw shaft 600 and the screw nut 610 described above are installed inside the housing 620 instead of being exposed to the outside. This is to prevent the contamination of the flexible substrate 10 by preventing the scattering of particles generated when the screw nut 610 moves along the screw shaft 600.

도 3은 본 발명에 따른 하우징 내부에 발생된 이물질이 배기관을 통해 외부로 배출되는 모습을 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a state in which foreign matter generated inside the housing according to the present invention is discharged to the outside through the exhaust pipe.

하지만, 하우징(620) 내부에 파티클이 많이 쌓이면 스크류 샤프트(600)와 스크류 너트(610)의 동작에 문제가 발생할 수 있고, 또한 틈새를 통해 파티클이 외부로 빠져나올 위험도 있으므로 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(620)의 일측에는 하우징(620) 내부에서 발생하는 파티클을 빨아들여 외부로 배출시키는 배기관(700)이 설치됨이 바람직하다.However, when a large number of particles are accumulated in the housing 620, problems may occur in the operation of the screw shaft 600 and the screw nut 610, and also because there is a risk of particles coming out through the gap as shown in FIG. Likewise, an exhaust pipe 700 for sucking and discharging particles generated in the housing 620 to the outside may be installed at one side of the housing 620.

구체적으로, 상기 배기관(700)은 하우징(620) 내부에 음압을 걸어 하우징(620) 내부의 파티클이 신속하게 외부로 배출될 수 있도록 한다. Specifically, the exhaust pipe 700 applies a negative pressure to the inside of the housing 620 so that the particles inside the housing 620 can be quickly discharged to the outside.

이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치를 이용해 기판의 위치를 정확하게 정렬시키는 과정을 간단하게 설명하면 다음과 같다.The process of accurately aligning the position of the substrate using the flexible substrate positioning apparatus for a roll-to-roll process according to the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 롤러축(100)이 회전함에 따라 롤러(110)에 감기거나 풀어지면서 이송/반송되는 플렉시블 기판(10)의 끝단 위치를 위치감지 센서(300)가 검출하여 컨트롤러로 전송한다. First, as the roller shaft 100 rotates, the position detecting sensor 300 detects and transmits the end position of the flexible substrate 10 to be transported or conveyed while being wound or unwound by the roller 110 and transmitted to the controller.

이때, 컨트롤러는 전송된 위치정보와 미리 설정되어 있는 위치정보를 비교하여 현재 기판(10)의 위치정보가 기 설정된 위치정보와 다를 경우 그 차이만큼 롤러축(100)을 좌우 수평방향 이동시킬 수 있도록 모터(500)를 구동시켜 스크류 샤프트(600)를 회전시킨다.At this time, the controller compares the transmitted position information and the preset position information so that if the position information of the current substrate 10 is different from the preset position information, the roller shaft 100 can be moved horizontally and horizontally by the difference. The motor 500 is driven to rotate the screw shaft 600.

이와 같이 스크류 샤프트(600)가 회전하면 스크류 너트(610)가 스크류 샤프트(600)를 따라 전후 수평방향 이동하게 되고, 이와 함께 슬라이드 블록(200)의 좌우 수평방향 이동이 이루어져 롤러축(100)의 좌우 수평방향 위치가 정밀하게 조절되게 된다.As such, when the screw shaft 600 rotates, the screw nut 610 moves forward and backward horizontally along the screw shaft 600, and the left and right horizontal movements of the slide block 200 are performed together with the roller shaft 100. The left and right horizontal positions can be precisely adjusted.

이때, 슬라이드 블록(200)은 서포트 플레이트(400)에 결합되어 하중이 지탱되며, 또한 슬라이드 블록(200)과 서포트 플레이트(400)는 가이드 레일(210)과 가이드 블록(410)을 통해 결합되어 있어 슬라이드 블록(200)의 좌우 수평방향 이동이 가능해진다.In this case, the slide block 200 is coupled to the support plate 400 to support the load, and the slide block 200 and the support plate 400 are coupled through the guide rail 210 and the guide block 410. The horizontal movement of the slide block 200 in the horizontal direction becomes possible.

이러한 과정은 공정이 진행되는 도중 계속해서 반복적으로 이루어지며, 또한 일정 시간 간격으로 하우징(620) 내부에 음압을 걸어 스크류 너트(610)가 스크류 샤프트(600)를 따라 이동함에 따라 발생하는 파티클을 배기관(700)을 통해 외부로 배출시키는 작업이 이루어진다.This process is repeated repeatedly during the process, and also exhausts particles generated as the screw nut 610 moves along the screw shaft 600 by applying a negative pressure inside the housing 620 at regular intervals. The operation to discharge to the outside is made through (700).

이상에서 상세히 설명된 본 발명은 그 범위가 전술된 바에 한하지 않고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변경 또는 치환할 수 있는 것이 본 발명의 범위에 해당함은 물론이고, 그 균등물 또한 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. And are also included in the scope of the present invention.

10: 플렉시블 기판 100: 롤러축
110: 롤러 200: 슬라이드 블록
210: 가이드 레일 300: 위치감지 센서
400: 서포트 플레이트 410: 가이드 블록
500: 모터 510: 커플링
600: 스크류 샤프트 610: 스크류 너트
620: 하우징 700: 배기관10: flexible substrate 100: roller shaft
110: roller 200: slide block
210: guide rail 300: position detection sensor
400: support plate 410: guide block
500: motor 510: coupling
600: screw shaft 610: screw nut
620: housing 700: exhaust pipe

Claims (5)

모터의 구동력에 의해 회전하는 스크류 샤프트;
상기 스크류 샤프트에 나사결합되어 스크류 샤프트가 회전함에 따라 mm 단위로 좌우 수평이동하는 스크류 너트;
상기 스크류 너트의 상단에 결합되어 스크류 너트와 함께 좌우 수평이동하는 슬라이드 블록;
상기 슬라이드 블록의 외측에 일단이 결합되어 슬라이드 블록이 좌우 수평이동함에 따라 수평방향 위치가 조절되는 롤러축;
상기 슬라이드 블록이 좌우 수평방향으로 이동하는 동안 상기 슬라이드 블록의 측면에서 상기 슬라이드 블록의 하중을 지탱하여 주도록 상기 롤러축의 외측에 위치하는 서포트 플레이트;
상기 롤러축이 회전함에 따라 롤러에 감기거나 풀어지는 플렉시블 기판의 폭방향 끝단 위치를 실시간으로 검출하는 위치감지센서; 및
상기 위치감지센서에서 검출된 값을 통해 상기 플렉시블 기판의 끝단 위치가 미리 설정된 위치와 다를 경우 상기 모터의 구동을 제어하여 상기 롤러축의 좌우 수평방향 위치가 mm 단위로 조절되도록 하는 컨트롤러;를 포함하여 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치.A screw shaft rotating by the driving force of the motor;
A screw nut screwed to the screw shaft to horizontally move in mm units as the screw shaft rotates;
A slide block coupled to an upper end of the screw nut and horizontally moved with the screw nut;
A roller shaft having one end coupled to an outer side of the slide block to adjust a horizontal position as the slide block is horizontally moved horizontally;
A support plate positioned outside the roller shaft to support the load of the slide block on the side of the slide block while the slide block moves in the horizontal direction;
A position detection sensor for detecting in real time the end position in the width direction of the flexible substrate wound or unrolled as the roller shaft rotates; And
And a controller configured to control the driving of the motor to adjust the horizontal position of the roller shaft in mm units when the position of the end of the flexible substrate is different from a preset position through the value detected by the position sensor. Flexible substrate alignment device for roll-to-roll process. 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 슬라이드 블록의 일측면에는 가이드 레일이 설치되고, 상기 서포트 플레이트의 일측면에는 상기 가이드 레일에 결합되는 가이드 블록이 설치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치.The method according to claim 1,
A guide rail is installed on one side of the slide block, and a guide block coupled to the guide rail is installed on one side of the support plate. 제1 항에 있어서,
상기 스크류 너트가 스크류 샤프트를 따라 이동할 때 발생하는 파티클의 비산을 막기 위해 상기 스크류 샤프트와 슬라이드 블록을 감싸는 하우징; 그리고,
상기 하우징의 일측에 연결되어 하우징 내부에서 발생하는 파티클을 빨아들여 외부로 배출시키는 배기관을 더 포함하여 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 위치정렬 장치.The method according to claim 1,
A housing surrounding the screw shaft and the slide block to prevent particles from scattering when the screw nut moves along the screw shaft; And,
And an exhaust pipe which is connected to one side of the housing and sucks particles generated in the housing and discharges the particles to the outside.
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