JP2019102531A - Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、脆性材料基板を搬送する基板搬送装置および脆性材料基板を加工する基板加工装置に関する。 The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a brittle material substrate and a substrate processing apparatus for processing a brittle material substrate.
基板加工装置は、例えば、ガラス等により形成される脆性材料基板を分断するために用いられる。特許文献１は従来の基板加工装置の一例を開示している。この基板加工装置は脆性材料基板を搬送するベルト、脆性材料基板の搬送方向においてベルトの上流側に配置される位置決め装置およびクランプ装置（基板搬送装置）、ならびに、脆性材料基板の搬送方向においてベルトの下流側に配置されるスクライブ装置を備える。基板搬送装置は、さらに、ベルトに対するクランプ装置の高さを変更するための昇降機構を備える。 The substrate processing apparatus is used, for example, to divide a brittle material substrate formed of glass or the like. Patent Document 1 discloses an example of a conventional substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus includes a belt for transporting a brittle material substrate, a positioning device and a clamp device (substrate transport device) disposed on the upstream side of the belt in the transport direction of the brittle material substrate, and a belt for transporting the brittle material substrate. A scribing device disposed downstream is provided. The substrate transfer apparatus further includes an elevation mechanism for changing the height of the clamp device relative to the belt.
上記基板搬送装置によれば、まず、昇降機構によりクランプ装置がベルトの下方の位置に退避させられ、位置決め装置により脆性材料基板の位置が決められる。次に、位置決め装置により脆性材料基板がベルト上に搬送される。このとき、脆性材料基板はベルトの下方に退避しているクランプ装置上を通過する。次に、昇降機構によりクランプ装置がクランプ可能な位置に移動し、ベルト上に載せられている脆性材料基板がクランプ装置によりクランプされる。次に、搬送方向においてベルトおよびクランプ装置が移動するようにベルトおよびクランプ装置が駆動され、脆性材料基板がスクライブ装置に搬送される。ベルトは、例えば、無端ベルトであり、ベルトを駆動するための駆動ローラとベルトを支持する回転自在な複数の回転ローラによって支持されており、駆動ローラの回転によって回転ローラに沿って駆動される。次に、スクライブ装置により脆性材料基板に分断線が形成される。そして、この脆性材料基板が分断線に沿って分断されることにより、所定の大きさのパネルが形成される。
特許文献２には、ベルトに孔を形成し、クランプ装置のクランプ部５０（基板を下方から支持する基板支持部および基板を上方から押圧するアーム）を、当該孔に固定して、ベルトの移動に伴ってベルトの孔とともに移動し、ベルト上の基板の端部を当該孔の位置でクランプさせることが開示されている。
According to the substrate transfer apparatus, first, the clamp device is retracted to a position below the belt by the elevating mechanism, and the position of the brittle material substrate is determined by the positioning device. Next, the brittle material substrate is transported onto the belt by the positioning device. At this time, the brittle material substrate passes above the clamping device retracted below the belt. Next, the elevating mechanism moves the clamp device to a clampable position, and the brittle material substrate placed on the belt is clamped by the clamp device. Next, the belt and the clamp device are driven to move the belt and the clamp device in the transport direction, and the brittle material substrate is transported to the scribing device. The belt is, for example, an endless belt, supported by a driving roller for driving the belt and a plurality of rotatable rotating rollers supporting the belt, and is driven along the rotating roller by the rotation of the driving roller. Next, a dividing line is formed on the brittle material substrate by the scribing device. Then, the brittle material substrate is divided along the dividing line to form a panel of a predetermined size.
In Patent Document 2, the belt is moved by forming a hole in the belt and fixing the clamp unit 50 of the clamp device (a substrate support unit that supports the substrate from below and an arm that presses the substrate from above) to the hole. It is disclosed to move along with the hole of the belt to clamp the end of the substrate on the belt at the position of the hole.
ところで、脆性材料基板を搬送するベルトに形成される孔は、例えば、クランプ装置で脆性材料基板の搬送方向上流側の端部をクランプする場合、通常、脆性材料基板の搬送方向（下流側）に向かって半円形状になっている。しかし、半円形状では、クランプ装置の移動によりクランプされた脆性材料基板を、例えば、搬送方向下流側のスクライブ装置に搬送する際に、ベルトの孔がベルトの基板載置面の下流側端部を支持する回転ローラ上に移動し、回転ローラの表面に沿って湾曲するとベルトの孔の半円形状部分の縁が捲れ上がり脆性材料基板が浮いてしまうため、この状態で基板を加工する場合、精度の良い基板の加工が困難となり、また、ベルトの孔の捲れ上がった縁によって基板が傷つけられるおそれがある。 By the way, the hole formed in the belt for transporting the brittle material substrate is generally, for example, in the transport direction (downstream side) of the brittle material substrate when clamping the end on the upstream side in the transport direction of the brittle material substrate It has a semi-circular shape. However, in the semicircular shape, when transporting the brittle material substrate clamped by the movement of the clamp device to the scribing device on the downstream side in the transport direction, for example, the hole of the belt is the downstream end of the substrate mounting surface of the belt When the substrate is processed in this state, the edge of the semicircular portion of the hole of the belt curls up and the brittle material substrate floats when it is moved on the rotating roller supporting the and curved along the surface of the rotating roller. It becomes difficult to process the substrate with high accuracy, and the bent edge of the hole of the belt may damage the substrate.
本発明の目的は、クランプ装置で脆性材料基板を支持して搬送する基板搬送装置および加工する基板加工装置において、クランプ装置のクランプ部を配置するために形成されたベルトの孔の縁が捲れ上がり、脆性材料基板を浮上させることおよび傷つけることを防止し、精度良く基板を加工することができる基板搬送装置および基板加工装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transport apparatus for supporting and transporting a brittle material substrate by a clamp apparatus and a substrate processing apparatus for processing, in which a hole edge of a belt formed for arranging a clamp portion of the clamp apparatus is rolled up. An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus and a substrate processing apparatus capable of processing a substrate with high accuracy while preventing floating and damaging of a brittle material substrate.
本発明の一形態に従う基板搬送装置および基板加工装置は、脆性材料基板を搬送するベルトと、前記ベルト上に載せられた前記脆性材料基板をクランプするクランプ装置とを備え、前記クランプ装置は、下方から前記脆性材料基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部に対して回転または移動し、前記基板支持部との間に前記脆性材料基板を挟み込むアームとを備え、前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置され、前記孔の形状が前記脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっていることを特徴とする。
本発明の基板搬送装置および基板加工装置においては、前記ベルトが前記脆性材料基板の載せられる部分の前記脆性材料基板の搬送方向の上流側に配置されたローラおよび下流側に配置されたローラによって支持されてもよい。
本基板搬送装置および加工装置によれば、脆性材料基板を搬送するベルトに形成される孔の形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっているため、クランプ装置の移動によりクランプされた脆性材料基板を、搬送方向下流側（例えば、スクライブ装置）に搬送するときに、孔の形状が搬送方向に向かって半円形状の場合には孔がベルトを支持する回転ローラの面上を移動してベルトが湾曲する際に孔の縁とローラの回転軸とのなす角度が平行に近いためにベルトの孔の縁が浮き上がりやすいのに対して、孔の形状が搬送方向に向かって先細り形状となっている場合には孔の縁とローラの回転軸とのなす角度がより直角に近いためにベルトが湾曲してもベルトの孔の縁が浮き上がりにくくなり、ベルトの孔の縁の捲れ上がりによる脆性材料基板の浮き上がりを防止し、基板の傷つきを防止し、また、精度良く基板を加工することができる。
A substrate transfer apparatus and a substrate processing apparatus according to an aspect of the present invention include a belt for transferring a brittle material substrate, and a clamp apparatus for clamping the brittle material substrate placed on the belt, the clamp apparatus being disposed below A substrate supporting portion for supporting the brittle material substrate, and an arm which rotates or moves with respect to the substrate supporting portion and holds the brittle material substrate between the substrate supporting portion, and a hole is formed in the belt The substrate supporting portion is disposed in the hole, and the shape of the hole is tapered in the transport direction of the brittle material substrate.
In the substrate transfer apparatus and the substrate processing apparatus of the present invention, the belt is supported by a roller disposed on the upstream side in the transport direction of the brittle material substrate of the portion on which the brittle material substrate is placed and a roller disposed on the downstream side. It may be done.
According to the substrate transfer device and the processing device, since the shape of the hole formed in the belt for transferring the brittle material substrate is tapered in the transfer direction of the brittle material substrate, the clamp is moved by the movement of the clamp device. When the brittle material substrate is transported to the downstream side in the transport direction (for example, a scribing device), if the shape of the hole is semicircular in the transport direction, the surface of the rotating roller supports the belt. The edge of the hole of the belt tends to float up because the angle between the edge of the hole and the axis of rotation of the roller is close to parallel when the belt is bent by moving In the case of the tapered shape, since the angle between the edge of the hole and the rotation axis of the roller is closer to a right angle, the edge of the hole of the belt is less likely to be lifted even when the belt is curved. Get lost According floating preventing the brittle material substrate, to prevent damage of the substrate, also, it can be processed accurately substrate.
前記クランプ装置の前記ベルトに対する位置が固定された本基板搬送装置および加工装置によれば、前工程装置によりベルトの上方からベルト上に脆性材料基板が載せられる。このため、クランプ装置を構成する基板支持部は、ベルトに対する位置が予め固定されていても、脆性材料基板がベルト上に移動する過程において脆性材料基板の移動を妨げない。そして、基板支持部の位置が固定された構造が取れることにより、従来の基板搬送装置および基板加工装置に含まれるクランプ装置の昇降機構を省略できる。このため、クランプ装置の構成が簡素化される。 According to the substrate transfer apparatus and processing apparatus in which the position of the clamp apparatus with respect to the belt is fixed, the brittle material substrate is placed on the belt from above the belt by the pre-process apparatus. For this reason, even if the position with respect to the belt is fixed in advance, the substrate support portion constituting the clamp device does not disturb the movement of the brittle material substrate in the process of moving the brittle material substrate on the belt. Then, by taking a structure in which the position of the substrate support portion is fixed, the elevating mechanism of the clamp device included in the conventional substrate transfer device and substrate processing device can be omitted. Therefore, the configuration of the clamp device is simplified.
本基板搬送装置および基板加工装置によれば、前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置される。
このため基板支持部がベルトの周囲に配置される場合と比較して、基板搬送装置および基板加工装置において基板支持部およびベルトが占める領域が狭くなる。このため、基板搬送装置および基板加工装置を小型化しやすい。
According to the substrate transport apparatus and the substrate processing apparatus, the hole is formed in the belt, and the substrate support portion is disposed in the hole.
Therefore, the area occupied by the substrate support portion and the belt in the substrate transfer device and the substrate processing apparatus becomes narrower than in the case where the substrate support portion is disposed around the belt. Therefore, it is easy to miniaturize the substrate transfer apparatus and the substrate processing apparatus.
本発明の基板搬送装置および基板加工装置によれば、ベルトの孔の縁の捲れ上がりによる脆性材料基板の浮き上がりを防止し、基板の傷つきを防止することができ、また、精度良く基板を加工することができる。 According to the substrate transfer apparatus and the substrate processing apparatus of the present invention, it is possible to prevent the brittle material substrate from rising due to winding up of the edge of the hole of the belt, to prevent the substrate from being damaged, and to process the substrate with high accuracy. be able to.
図１を参照して、基板加工装置１の構成について説明する。
基板加工装置１はガラス等により形成される脆性材料基板３００を搬送する搬送装置１０、基板搬送装置１０を構成して脆性材料基板３００をクランプする複数のクランプ装置４０、および、搬送装置１０により搬送された脆性材料基板３００に分断線を形成するスクライブ装置９０を備える。また、スクライブ装置９０よりも脆性材料基板３００の搬送方向の下流側には、脆性材料基板３００を分断線に沿って分割するブレイク装置２００が配置されている。さらに、基板加工装置１のフレーム２の側方には、搬送装置１０のベルト１１の幅方向におけるベルト１１に対する脆性材料基板３００の位置を決め、ベルト１１の上方からベルト１１上に脆性材料基板３００を載せる前工程装置１００が配置されている。
The configuration of the substrate processing apparatus 1 will be described with reference to FIG.
The substrate processing apparatus 1 transports by a transport device 10 that transports a brittle material substrate 300 formed of glass or the like, a plurality of clamp devices 40 that configure the substrate transport device 10 and clamp the brittle material substrate 300, and the transport device 10 The scribing device 90 for forming a dividing line on the brittle material substrate 300 is provided. Further, on the downstream side of the direction of conveyance of the brittle material substrate 300 relative to the scribing device 90, a breaking device 200 for dividing the brittle material substrate 300 along a dividing line is disposed. Further, the position of the brittle material substrate 300 with respect to the belt 11 in the width direction of the belt 11 of the transfer device 10 is determined on the side of the frame 2 of the substrate processing apparatus 1. The pre-process apparatus 100 is placed.
図２を参照して搬送装置１０の構成について説明する。
搬送装置１０は脆性材料基板３００が載せられるベルト１１（図１参照）、基板加工装置１のフレーム２に取り付けられている複数の支持板１２、および、ベルト１１が巻き付けられるローラ１３Ａ，１３Ｂを備える。
The configuration of the transfer device 10 will be described with reference to FIG.
The transport apparatus 10 includes a belt 11 (see FIG. 1) on which the brittle material substrate 300 is placed, a plurality of support plates 12 attached to the frame 2 of the substrate processing apparatus 1, and rollers 13A and 13B around which the belt 11 is wound. .
ベルト１１は複数の孔１１Ａ（図４参照）が形成され、基板支持部５１が各孔に配置される。複数の支持板１２はベルト１１（図１参照）の幅方向に間隔を空けて並べられ、先端に複数のローラ１３Ａが取り付けられている。また、フレーム２のうちの支持板１２よりも脆性材料基板３００の搬送方向の上流側には１つのローラ１３Ｂが取り付けられている。 The belt 11 is formed with a plurality of holes 11A (see FIG. 4), and the substrate support portion 51 is disposed in each hole. The plurality of support plates 12 are arranged at intervals in the width direction of the belt 11 (see FIG. 1), and a plurality of rollers 13A are attached to the tip. In addition, one roller 13B is attached to the upstream side of the transport direction of the brittle material substrate 300 than the support plate 12 in the frame 2.
図３および図４を参照して、駆動装置２０の構成について説明する。
図３に示されるように、駆動装置２０はフレーム２の側方に形成されている一対のレール２１、レール２１に沿って移動する一対のガイド２２、一対のガイド２２を連結する２枚のガイド連結板２３、ガイド連結板２３とベルト１１とを連結するベルト連結部２４、および、一対のガイド２２を移動させるモータ２５を備える。
The configuration of the drive device 20 will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
As shown in FIG. 3, the drive device 20 includes a pair of rails 21 formed on the side of the frame 2, a pair of guides 22 moving along the rails 21, and a pair of guides connecting the pair of guides 22. The connecting plate 23, the belt connecting portion 24 connecting the guide connecting plate 23 and the belt 11, and the motor 25 for moving the pair of guides 22 are provided.
一対のレール２１は脆性材料基板３００の搬送方向に延びる形状である。一対のガイド２２はモータ２５の出力軸と例えば送りねじ機構（図示略）を介して連結されている。
２枚のガイド連結板２３は一対のガイド２２のうちの一方のガイド２２から他方のガイド２２にまたがるように配置されている。
The pair of rails 21 is shaped to extend in the transport direction of the brittle material substrate 300. The pair of guides 22 is connected to the output shaft of the motor 25 via, for example, a feed screw mechanism (not shown).
The two guide connection plates 23 are disposed so as to straddle one guide 22 of the pair of guides 22 to the other guide 22.
図３および図４に示されるように、ベルト連結部２４はガイド連結板２３の下面から下方に延びる支柱２４Ａ、および、ベルト１１の上面に取り付けられている支柱連結部材２４Ｂを備える。 As shown in FIGS. 3 and 4, the belt connecting portion 24 includes a support 24 </ b> A extending downward from the lower surface of the guide connecting plate 23 and a support connecting member 24 </ b> B attached to the upper surface of the belt 11.
支柱連結部材２４Ｂは脆性材料基板３００の搬送方向に延びる直方体であり、１つのクランプ装置４０に対して支持板１２の短手方向に間隔を空けて２つ配置され、上面に支柱２４Ａが取り付けられている。 The column connecting members 24B are rectangular parallelepipeds extending in the transport direction of the brittle material substrate 300, are arranged at intervals in the lateral direction of the support plate 12 with respect to one clamp device 40, and the columns 24A are attached to the upper surface ing.
また、一対のレール２１の下方にはケーブル案内装置３０が配置されている。ケーブル案内装置３０はモータ２５の制御装置（図示略）に電力を供給するケーブル（図示略）が収容されたベルト３１を備える。ベルト３１の一方の端部である固定端３１Ａは電源（図示略）と接続されており、他方の端部である移動端３１Ｂはガイド連結板３２を介してレール２１と連結されている。 Further, the cable guiding device 30 is disposed below the pair of rails 21. The cable guiding device 30 includes a belt 31 in which a cable (not shown) for supplying power to a control device (not shown) of the motor 25 is accommodated. The fixed end 31A, which is one end of the belt 31, is connected to a power supply (not shown), and the moving end 31B, which is the other end, is connected to the rail 21 via the guide connection plate 32.
図３を参照してクランプ装置４０の構成について説明する。
複数のクランプ装置４０は支持板１２の短手方向に間隔を空けて配置され、脆性材料基板３００（図１参照）の端部をクランプするクランプ部５０、および、クランプ部５０を駆動するクランプ駆動装置６０を備える。
The configuration of the clamp device 40 will be described with reference to FIG.
A plurality of clamp devices 40 are arranged at intervals in the lateral direction of the support plate 12, and clamp portions 50 for clamping the ends of the brittle material substrate 300 (see FIG. 1), and clamp drive for driving the clamp portions 50. A device 60 is provided.
クランプ部５０は隣り合う支持板１２の間に配置されている。クランプ駆動装置６０はクランプ部５０よりも脆性材料基板３００（図１参照）の搬送方向の上流側に配置されている。 The clamp portion 50 is disposed between the adjacent support plates 12. The clamp drive device 60 is disposed upstream of the clamp unit 50 in the transport direction of the brittle material substrate 300 (see FIG. 1).
図４を参照してクランプ部５０の構成について説明する。
クランプ部５０はベルト１１の下面に取り付けられている基板支持部５１、ベルト１１の上面に取り付けられているアーム取付台５２、基板支持部５１との間で脆性材料基板３００（図１参照）を挟み込むアーム５７、および、クランプ駆動装置６０のアーム連結ロッド８０と連結されるロッド連結部５８を備える。
The configuration of the clamp unit 50 will be described with reference to FIG.
The clamp unit 50 includes a substrate support 51 attached to the lower surface of the belt 11, an arm mount 52 attached to the upper surface of the belt 11, and a brittle material substrate 300 (see FIG. 1). An arm 57 for pinching and a rod connecting portion 58 connected to the arm connecting rod 80 of the clamp drive 60 are provided.
基板支持部５１の先端の支持面５１Ａとベルト１１の上面との関係は面一（同一平面上にある）である。
アーム取付台５２は２つの支柱連結部材２４Ｂの端部に複数のねじ５６により固定されている壁部５３、および、壁部５３から脆性材料基板３００（図１参照）の搬送方向の下流側に突出し、ベルト１１の上面に取り付けられているアーム配置部５４を備える。
The relationship between the support surface 51A at the tip of the substrate support portion 51 and the upper surface of the belt 11 is flush (on the same plane).
The arm mount 52 is a wall 53 fixed to the end of the two column coupling members 24B by a plurality of screws 56, and from the wall 53 to the downstream side of the transport direction of the brittle material substrate 300 (see FIG. 1) An arm placement portion 54 is provided which protrudes and is attached to the upper surface of the belt 11.
壁部５３は、アーム配置部５４と一体的に成形され、アーム連結ロッド８０が挿入される孔５３Ａが形成されている。
アーム５７はアーム配置部５４の溝５４Ａに配置されている。アーム５７はアーム配置部５４に取り付けられた回転軸５５に回転可能に取り付けられている。また、アーム５７はロッド連結部５８に取り付けられた連結軸５８Ａに回転可能に取り付けられている。
The wall portion 53 is integrally formed with the arm placement portion 54, and a hole 53A into which the arm connection rod 80 is inserted is formed.
The arm 57 is disposed in the groove 54A of the arm placement portion 54. The arm 57 is rotatably attached to a rotation shaft 55 attached to the arm arrangement portion 54. Further, the arm 57 is rotatably attached to a connecting shaft 58A attached to the rod connecting portion 58.
図５および図６を参照して、クランプ駆動装置６０の構成について説明する。
クランプ駆動装置６０は往復動式のエアシリンダ７０、エアシリンダ７０とロッド連結部５８とを連結するアーム連結ロッド８０、エアシリンダ７０の動力をアーム連結ロッド８０に伝達する動力伝達部材６１、および、支柱連結部材２４Ｂに取り付けられる規制部材６２を備える。
The configuration of the clamp drive device 60 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
The clamp driving device 60 includes a reciprocating air cylinder 70, an arm connecting rod 80 connecting the air cylinder 70 and the rod connecting portion 58, a power transmission member 61 transmitting power of the air cylinder 70 to the arm connecting rod 80, A regulation member 62 attached to the column coupling member 24B is provided.
エアシリンダ７０はチューブ７１、チューブ７１の内部に配置されるピストン７２、および、ピストン７２と連結されているピストンロッド７３を備える。
チューブ７１には圧縮空気が送り込まれる管７１Ａおよび７１Ｂが取り付けられている。ピストン７２は管７１Ａを介して圧縮空気がチューブ７１の内部に送り込まれる一方、管７１Ｂから空気が排出されることにより前方に移動する。一方、ピストン７２は管７１Ｂを介して圧縮空気がチューブ７１の内部に送り込まれる一方、管７１Ａを介して空気が排出されることにより後方に移動する。
The air cylinder 70 includes a tube 71, a piston 72 disposed inside the tube 71, and a piston rod 73 connected to the piston 72.
Attached to the tube 71 are tubes 71A and 71B into which compressed air is fed. The piston 72 moves forward as compressed air is fed into the inside of the tube 71 via the pipe 71A, and air is discharged from the pipe 71B. On the other hand, while the compressed air is fed into the inside of the tube 71 through the pipe 71B, the piston 72 moves rearward by discharging the air through the pipe 71A.
動力伝達部材６１の上端はピストンロッド７３の端部に対して回転可能に連結され、下端はアーム連結ロッド８０に対して回転可能に連結されている。また、動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分は弾性部材（図示略）により前方に付勢されている。 The upper end of the power transmission member 61 is rotatably connected to the end of the piston rod 73, and the lower end is rotatably connected to the arm connecting rod 80. Further, a portion of the power transmission member 61 connected to the arm connecting rod 80 is biased forward by an elastic member (not shown).
規制部材６２は動力伝達部材６１の前方への移動の限界位置を決定する。規制部材６２は支柱連結部材２４Ｂの上面に固定され、ピストンロッド７３がチューブ７１から突出することにより動力伝達部材６１が接触する凹部６２Ａが形成されている。 The restricting member 62 determines the limit position of the forward movement of the power transmission member 61. The restricting member 62 is fixed to the upper surface of the column connecting member 24B, and the piston rod 73 protrudes from the tube 71 to form a recessed portion 62A with which the power transmission member 61 contacts.
アーム連結ロッド８０は隣り合う支柱連結部材２４Ｂの間に配置され、一方の端部が動力伝達部材６１と連結され、他方の端部がロッド連結部５８と連結されている。
図７〜図９を参照して、基板加工装置１の作用について説明する。
The arm connecting rod 80 is disposed between adjacent column connecting members 24 B, one end of which is connected to the power transmission member 61, and the other end of which is connected to the rod connecting portion 58.
The operation of the substrate processing apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 7 to 9.
図７に示されるように、管７１Ａから圧縮空気がチューブ７１の内部の空間に送りこまれる一方、管７１Ｂから空気が排出されることによりピストン７２が前方に移動し、ピストンロッド７３がチューブ７１から突出する。このため、ピストンロッド７３と連結されている動力伝達部材６１が前方に移動して規制部材６２の凹部６２Ａと接触し、動力伝達部材６１のうちのピストンロッド７３と連結されている部分が回転する。そして、動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分が後方に移動することにより、アーム連結ロッド８０およびロッド連結部５８が後方に移動する。アーム連結ロッド８０が後方に移動することにより、アーム５７が回転軸５５のまわりに回転して、支持面５１Ａの上方が開放される。そして、前工程装置１００（図１参照）によりベルト１１の幅方向の位置決めが行われた脆性材料基板３００が支持面５１Ａの上方から降下して支持面５１Ａに載せられる。 As shown in FIG. 7, while compressed air is fed from the pipe 71A into the space inside the tube 71, air is discharged from the pipe 71B, whereby the piston 72 moves forward and the piston rod 73 from the tube 71. Stand out. Therefore, the power transmission member 61 connected to the piston rod 73 moves forward and contacts the recess 62A of the regulating member 62, and the portion of the power transmission member 61 connected to the piston rod 73 rotates. . Then, when the part of the power transmission member 61 connected to the arm connecting rod 80 moves rearward, the arm connecting rod 80 and the rod connecting portion 58 move rearward. As the arm connecting rod 80 moves rearward, the arm 57 rotates around the rotation shaft 55, and the upper side of the support surface 51A is released. Then, the brittle material substrate 300 whose positioning in the width direction of the belt 11 has been performed by the pre-process apparatus 100 (see FIG. 1) is lowered from above the support surface 51A and placed on the support surface 51A.
図８に示されるように、管７１Ａから空気が排出される一方、管７１Ｂから圧縮空気がチューブ７１の内部の空間に送り込まれることにより、ピストン７２が後方に移動する。このため、ピストンロッド７３がチューブ７１の内部に入り込み、ピストンロッド７３と連結されている動力伝達部材６１が後方に移動する。このため、動力伝達部材６１が規制部材６２の凹部６２Ａから離間する。そして、弾性部材（図示略）の付勢力により動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分が前方に移動し、アーム連結ロッド８０およびロッド連結部５８が前方に移動する。このため、アーム５７が回転軸５５のまわりに回転し、基板支持部５１の支持面５１Ａとの間で脆性材料基板３００を挟み込みクランプする。 As shown in FIG. 8, air is discharged from the pipe 71A, while compressed air is fed from the pipe 71B into the space inside the tube 71, whereby the piston 72 moves rearward. Therefore, the piston rod 73 enters the inside of the tube 71, and the power transmission member 61 connected to the piston rod 73 moves rearward. For this reason, the power transmission member 61 is separated from the recess 62A of the regulating member 62. Then, due to the biasing force of the elastic member (not shown), the portion of the power transmission member 61 connected to the arm connecting rod 80 moves forward, and the arm connecting rod 80 and the rod connecting portion 58 move forward. For this reason, the arm 57 rotates around the rotation axis 55, and sandwiches and clamps the brittle material substrate 300 with the support surface 51A of the substrate support portion 51.
図９に示されるように、クランプ装置４０が脆性材料基板３００をクランプした状態でモータ２５に電力が供給され、送りねじ機構（図示略）によりガイド２２がレール２１に沿って移動する。 As shown in FIG. 9, the electric power is supplied to the motor 25 in a state where the clamp device 40 clamps the brittle material substrate 300, and the guide 22 moves along the rail 21 by the feed screw mechanism (not shown).
一対のガイド２２を連結しているガイド連結板２３がベルト連結部２４を介してベルト１１と連結され、ベルト１１とクランプ装置４０とが連結されている。このため、ガイド２２がレール２１に沿って移動することにともない、ベルト１１およびクランプ装置４０も脆性材料基板３００の搬送方向に移動して、脆性材料基板３００がスクライブ装置９０に搬送される。 A guide connecting plate 23 connecting the pair of guides 22 is connected to the belt 11 via the belt connecting portion 24, and the belt 11 and the clamp device 40 are connected. Therefore, as the guide 22 moves along the rails 21, the belt 11 and the clamp device 40 also move in the transport direction of the brittle material substrate 300, and the brittle material substrate 300 is transported to the scribing device 90.
基板加工装置１および基板搬送装置１０によれば、以下の効果が得られる。
（１）本基板加工装置１および基板搬送装置１０によれば、脆性材料基板３００を搬送するベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板３００の搬送方向に向かって先細りの形状（典型的には、＞型の形状）となっているため、クランプ装置４０のクランプ部５０（基板支持部５１およびアーム５７）の移動によりクランプされた脆性材料基板３００をスクライブ装置９０に搬送するときに、例えば、孔１１Ａがベルト１１を支持するローラ１３Ａの面上を移動してベルト１１がローラ１３Ａのローラ面に沿って湾曲する際にベルトの孔１１Ａの先細り形状の部分の縁とローラ１３Ａの回転軸とのなす角度が直角に近い（ベルトに付加される張力の方向と平行に近い）ために孔１１Ａの縁が浮き上がりにくくなり、ベルト１１の捲れ上がりによる脆性材料基板３００の浮き上がりを防止し、精度良く基板を加工することができる。ベルトの孔の先細り形状の部分の縁とローラ１３Ａの回転軸とのなす角度は、特に先細り形状の先端部分において３０°以上、好ましくは４５°以上、更に好ましくは６０°以上（通常は９０°未満）とすることができる。この場合、ベルトの孔の先細り形状の部分の縁と基板の搬送方向（ベルトの移動方向）とのなす角度は、特に先細り形状の先端部分において、６０°以下、好ましくは４５°以下、更に好ましくは３０°以下（通常は０°より大きい）となる。
（２）前工程装置１００によりベルト１１の上方からベルト１１上に脆性材料基板３００が載せられる。このため、クランプ装置４０を構成する基板支持部５１は、ベルト１１に対する位置が予め固定されていても、脆性材料基板３００がベルト１１上に移動する過程において脆性材料基板３００の移動を妨げない。そして、基板支持部５１の位置が固定された構造が取れることにより、従来の基板搬送装置および基板加工装置に含まれるクランプ装置の昇降機構を省略できる。このため、クランプ装置４０の構成が簡素化される。
According to the substrate processing apparatus 1 and the substrate transfer apparatus 10, the following effects can be obtained.
(1) According to the substrate processing apparatus 1 and the substrate transfer apparatus 10, the shape of the hole 11A formed in the belt 11 for transferring the brittle material substrate 300 is tapered in the direction of transfer of the brittle material substrate 300 (typical In the case of conveying the brittle material substrate 300 clamped by the movement of the clamp portion 50 (the substrate support portion 51 and the arm 57) of the clamp device 40 to the scribe device 90, For example, when the hole 11A moves on the surface of the roller 13A supporting the belt 11 and the belt 11 curves along the roller surface of the roller 13A, the edge of the tapered portion of the hole 11A of the belt and the roller 13A The edge of the hole 11A is less likely to lift up because the angle formed with the rotation axis is close to a right angle (close to parallel to the direction of the tension applied to the belt), and Preventing floating of the brittle material substrate 300 by up, it can be processed accurately substrate. The angle between the edge of the tapered portion of the belt hole and the rotation axis of the roller 13A is preferably 30 ° or more, preferably 45 ° or more, more preferably 60 ° or more (usually 90 °), particularly in the tapered tip portion. Less than). In this case, the angle between the edge of the tapered portion of the hole of the belt and the transport direction of the substrate (moving direction of the belt) is 60 ° or less, preferably 45 ° or less, more preferably, particularly in the tapered tip portion. Is less than 30 ° (usually greater than 0 °).
(2) The brittle material substrate 300 is placed on the belt 11 from above the belt 11 by the pre-process apparatus 100. Therefore, even if the position of the substrate supporting portion 51 constituting the clamp device 40 is fixed in advance with respect to the belt 11, the movement of the brittle material substrate 300 is not hindered in the process of moving the brittle material substrate 300 onto the belt 11. Then, by taking a structure in which the position of the substrate support portion 51 is fixed, the elevating mechanism of the clamp device included in the conventional substrate transfer device and substrate processing device can be omitted. For this reason, the structure of the clamp apparatus 40 is simplified.
（３）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、基板支持部５１がベルト１１の周囲に配置される場合と比較して、基板加工装置１において基板支持部５１およびベルト１１が占める領域が狭くなる。このため、基板加工装置１および基板搬送装置１０を小型化しやすい。 (3) Since the substrate support portion 51 is disposed in the hole 11A of the belt 11, the substrate support portion 51 and the belt in the substrate processing apparatus 1 are compared to the case where the substrate support portion 51 is disposed around the belt 11. The area occupied by 11 becomes narrow. Therefore, the substrate processing apparatus 1 and the substrate transfer apparatus 10 can be easily miniaturized.
（４）前工程装置１００により位置決めされた脆性材料基板３００がベルト１１および基板支持部５１上に載せられる。次に、クランプ装置４０のアーム５７が回転することにより、脆性材料基板３００がクランプ装置４０によりクランプされる。このため、クランプ装置４０が脆性材料基板３００をクランプするときに決められた脆性材料基板３００の位置がずれにくい。 (4) The brittle material substrate 300 positioned by the pre-process apparatus 100 is placed on the belt 11 and the substrate support portion 51. Next, the brittle material substrate 300 is clamped by the clamp device 40 by rotating the arm 57 of the clamp device 40. Therefore, the position of the brittle material substrate 300 determined when the clamp device 40 clamps the brittle material substrate 300 does not easily shift.
（５）ベルト１１とクランプ装置４０とが連結されているため、ベルト１１の移動速度とクランプ装置４０の移動速度とが実質的に一致する。このため、脆性材料基板３００とベルト１１との間に摩擦が発生するおそれが低減され、脆性材料基板３００に傷がつきにくい。 (5) Since the belt 11 and the clamp device 40 are connected, the moving speed of the belt 11 and the moving speed of the clamp device 40 substantially match. Therefore, the possibility of the occurrence of friction between the brittle material substrate 300 and the belt 11 is reduced, and the brittle material substrate 300 is not easily damaged.
（６）共通の駆動装置２０によりベルト１１およびクランプ装置４０が搬送方向に移動するため、ベルト１１の移動速度とクランプ装置４０の移動速度とが実質的に一致する。このため、脆性材料基板３００とベルト１１との間に摩擦が発生することが抑えられ、脆性材料基板３００に傷がつきにくい。 (6) Since the belt 11 and the clamp device 40 are moved in the transport direction by the common drive device 20, the moving speed of the belt 11 substantially matches the moving speed of the clamp device 40. Therefore, the occurrence of friction between the brittle material substrate 300 and the belt 11 is suppressed, and the brittle material substrate 300 is not easily damaged.
（７）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、アーム５７と支持面５１Ａとの間にベルト１１が介在しない。これにより、アーム５７と支持面５１Ａとが直接的に脆性材料基板３００を挟み込むことができるため、アーム５７と支持面５１Ａとの間にベルト１１が介在する場合と比較して脆性材料基板３００をより強くクランプできる。 (7) Since the substrate support portion 51 is disposed in the hole 11A of the belt 11, the belt 11 is not interposed between the arm 57 and the support surface 51A. Thereby, arm 57 and support surface 51A can directly sandwich brittle material substrate 300, and therefore brittle material substrate 300 is compared with the case where belt 11 is interposed between arm 57 and support surface 51A. It can clamp more strongly.
（８）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、基板支持部５１がベルト１１の下面と間隔を空けて配置されている場合と比較して、基板支持部５１が脆性材料基板３００を支持したときに、ベルト１１が撓み、脆性材料基板３００の位置がずれることが抑制される。 (8) Since the substrate support portion 51 is disposed in the hole 11A of the belt 11, the substrate support portion 51 is brittle as compared with the case where the substrate support portion 51 is disposed at a distance from the lower surface of the belt 11. When the material substrate 300 is supported, the belt 11 is bent, and displacement of the position of the brittle material substrate 300 is suppressed.
（９）クランプ部５０が隣り合う支持板１２の間に配置されているため、脆性材料基板３００の搬送方向に移動したときに、支持板１２の先端に取り付けられている複数のローラ１３Ａと干渉しない。このため、脆性材料基板３００を搬送している最中に、クランプ部５０がクランプしている脆性材料基板３００の位置がずれにくい。 (9) Since the clamp portion 50 is disposed between the adjacent support plates 12, the clamp portion 50 interferes with the plurality of rollers 13 A attached to the tip of the support plate 12 when moving in the transport direction of the brittle material substrate 300. do not do. For this reason, while transporting the brittle material substrate 300, the position of the brittle material substrate 300 clamped by the clamp unit 50 is unlikely to be shifted.
基板加工装置および基板搬送装置が取り得る具体的な形態は上記実施の形態に例示された形態に限定されない。基板加工装置および基板搬送装置は上記実施の形態とは異なる各種の形態を取り得る。以下に示される上記実施の形態の変形例は基板加工装置および基板搬送装置が取り得る各種の形態の一例である。 The specific form which a substrate processing apparatus and a board | substrate conveyance apparatus can take is not limited to the form illustrated by the said embodiment. The substrate processing apparatus and the substrate transfer apparatus can take various forms different from the above embodiment. The modified example of the above-described embodiment shown below is an example of the various forms which a substrate processing apparatus and a substrate conveyance apparatus can take.
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１とクランプ装置４０とが直接的に連結されない。
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置４０のクランプ部５０とベルト１１とが中間部材を介して間接的に連結されている。
-According to the modification of the above-mentioned embodiment, belt 11 and clamp device 40 are not connected directly.
-According to the modification of the above-mentioned embodiment, clamp part 50 of clamp device 40 and belt 11 are indirectly connected via an intermediate member.
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置４０のクランプ部５０がベルト１１よりも脆性材料基板３００の搬送方向の上流側に配置されている。 -According to the modification of the above-mentioned embodiment, clamp part 50 of clamp device 40 is arranged at the upper stream side of the conveyance direction of brittle material substrate 300 rather than belt 11.
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって２辺が窪んだ＞型の形状に形成され、この孔１１Ａに基板支持部５１が配置されている（図１０参照）。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって２辺が膨らんだ＞型の形状に形成され、この孔１１Ａに基板支持部５１が配置されている。
-According to the modification of the above embodiment, the shape of the hole 11A formed in the belt 11 is formed in the shape of> type in which two sides are recessed in the transport direction of the brittle material substrate, and the substrate in the hole 11A The support part 51 is arrange | positioned (refer FIG. 10).
-According to the modification of the above embodiment, the shape of the hole 11A formed in the belt 11 is formed in the shape of a type in which two sides are expanded in the transport direction of the brittle material substrate, and the substrate in the hole 11A The support portion 51 is disposed.
・上記実施の形態の変形例によれば、基板支持部５１と連結されず、基板支持部５１に対して移動することにより基板支持部５１の支持面５１Ａに載せられた脆性材料基板３００をクランプするアーム５７を備える。この変形例のアーム５７は直接的、または、間接的にベルト１１と連結されている。 -According to the modification of the above embodiment, the brittle material substrate 300 placed on the support surface 51A of the substrate support portion 51 by clamping with respect to the substrate support portion 51 without being connected to the substrate support portion 51 is clamped. The arm 57 is provided. The arm 57 of this modification is connected directly or indirectly to the belt 11.
・上記実施の形態の変形例によれば、モータ２５の出力軸がローラ１３Ａおよび１３Ｂの少なくとも一方の回転軸と連結され、モータ２５がローラ１３Ａおよび１３Ｂの少なくとも一方を回転させることにより、ベルト１１およびクランプ装置４０を脆性材料基板３００の搬送方向に移動させる。 -According to the modification of the above embodiment, the output shaft of the motor 25 is connected to the rotating shaft of at least one of the rollers 13A and 13B, and the motor 25 rotates the at least one of the rollers 13A and 13B, thereby the belt 11 And the clamp device 40 is moved in the transport direction of the brittle material substrate 300.
１…基板加工装置、１１…ベルト、１１Ａ…孔、２０…駆動装置、４０…クランプ装置、５１…基板支持部、５７…アーム、１００…前工程装置、３００…脆性材料基板。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate processing apparatus, 11 ... Belt, 11A ... Hole, 20 ... Drive device, 40 ... Clamp apparatus, 51 ... Substrate support part, 57 ... Arm, 100 ... Previous process apparatus, 300 ... Brittle material board | substrate.
Claims (3)
前記クランプ装置は、下方から前記脆性材料基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部に対して回転または移動し、前記基板支持部との間に前記脆性材料基板を挟み込むアームとを備え、
前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置され、前記孔の形状が前記脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっていることを特徴とする基板搬送装置。 A belt for conveying a brittle material substrate, and a clamp device for clamping the brittle material substrate placed on the belt;
The clamp apparatus includes a substrate support unit supporting the brittle material substrate from below, and an arm which rotates or moves with respect to the substrate support unit and sandwiches the brittle material substrate between the substrate support unit and the substrate support unit.
A substrate transfer apparatus, wherein a hole is formed in the belt, the substrate support portion is disposed in the hole, and a shape of the hole is tapered in a transfer direction of the brittle material substrate.
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