KR101371187B1

KR101371187B1 - 케미컬 흡입기

Info

Publication number: KR101371187B1
Application number: KR1020130131884A
Authority: KR
Inventors: 김종배
Original assignee: (주)영테크
Priority date: 2013-11-01
Filing date: 2013-11-01
Publication date: 2014-03-12

Abstract

본 발명은 케미컬 흡입기에 관한 것으로, 밀고 다닐 수 있고 내부가 밀봉 처리된 이동형 대차에 수용된 흡입펌프의 흡입구와 주사기 형상의 천공기가 수거호스로 연결되어 있고, 상기 흡입펌프의 배출구와 수거통이 수거호스로 연결되어 있으며, 상기 천공기가 장착되어 있는 클램프 장치로 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 구멍을 뚫고 상기 천공기를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정한 상태에서 상기 흡입펌프가 작동하면 상기 수거호스를 통해 케미컬 공급라인에 있는 케미컬(예컨대, 불산, 암모니아수 등)이 상기 수거통으로 수거된다.
본 발명에 따르면 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 흡입펌프를 연결하는 파이프 연결 작업을 별도로 수행할 필요가 없이 간편하게 케미컬을 수거할 수 있고, 반도체 공정실에서 다수의 반도체 제조 설비를 교체하거나 철거할 때마다 이동형 대차를 밀고 다니면서 용이하게 케미컬 공급라인에 구멍을 뚫고 케미컬을 수거할 수 있다.

Description

케미컬 흡입기{Chemical suction device}

본 발명은 케미컬 흡입기에 관한 것이며, 더욱 상세히는 반도체 공정에 사용되는 인체에 유해한 케미컬을 안전하게 수거할 수 있는 케미컬 흡입기에 관한 것이다.

잘 알려진 바와 같이, 반도체 공정에 사용되는 케미컬은 케미컬 공급라인을 통해 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비로 공급되며, 이러한 케미컬은 대부분 외부로 누출되면 소량이라도 유독성이 강하여 인체에 치명적인 위험이 있다.

따라서, 이러한 케미컬의 누출사고를 방지하기 위한 장치들이 많이 개발되고 있다.

예컨대, 특허문헌 1에는 반도체 공정에 사용되는 공정 챔버의 입구를 통해 공정 챔버 내부의 반응가스가 외부로 누출되는 것을 방지하는 커버를 구비하여 가스누출사고를 방지하고 작업자의 건강 및 환경을 보호하는 반도체 공정 챔버의 누출가스 흡입장치가 게재되어 있다.

한편, 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비를 교체하거나 철거하는 경우에는 해당 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 잔존하는 케미컬을 완전히 수거해야 케미컬의 누출사고를 방지할 수 있다.

하지만, 이 경우 통상 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 흡입펌프를 연결하는 파이프 연결 작업을 별도로 수행해야 하는 번거로움이 있고, 이러한 파이프 연결 작업은 반도체 공정실에서 다수의 반도체 제조 설비를 교체하거나 철거할 때마다 매번 반복해야 하는 어려움이 있으며, 특히 이러한 파이프 연결 작업 중에 케미컬의 누출사고가 발생할 위험이 있다.

KR

10-1999-0058607

A

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 밀고 다닐 수 있고 내부가 밀봉 처리된 이동형 대차에 수용된 흡입펌프의 흡입구와 주사기 형상의 천공기가 수거호스로 연결되어 있고, 상기 흡입펌프의 배출구와 수거통이 수거호스로 연결되어 있으며, 상기 천공기가 장착되어 있는 클램프 장치로 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 구멍을 뚫고 상기 천공기를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정한 상태에서 상기 흡입펌프가 작동하면 상기 수거호스를 통해 케미컬 공급라인에 있는 케미컬(예컨대, 불산, 암모니아수 등)이 상기 수거통으로 수거되는 케미컬 흡입기를 제공하는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 케미컬 흡입기는, 육면체 형상이고 6면 중 적어도 어느 1면 이상이 투명하게 제작되며, 밀봉 처리된 내부가 격벽을 사이에 두고 펌프 수용부와 수거통 수용부로 구분되어 있고, 상기 펌프 수용부의 상면에 밀고 다닐 수 있는 운반 손잡이와 밀봉 처리된 펌프제어기 수용부가 돌출 형성되어 있으며, 상기 펌프제어기 수용부의 전면과 후면에 각각 제1 수거호스 삽입구와 제2 수거호스 삽입구가 형성되어 있고, 상기 수거통 수용부의 상면에 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기와 연결되는 연결관과 또 다른 제2 수거호스 삽입구가 형성되어 있으며, 상기 수거통 수용부의 바닥면에 슬라이드 방식의 수거통 가이드레일이 형성되어 있고, 상기 펌프제어기 수용부의 상면에 펌프작동스위치와 비상정지스위치가 설치되어 있는 이동형 대차와; 상기 펌프 수용부에 수용되는 충전식 배터리; 상기 펌프 수용부에 수용되어 상기 배터리의 전원에 의해 작동하며, 흡입구에 제1 수거호스가 연결되고, 배출구에 제2 수거호스가 연결되는 흡입펌프; 상기 펌프 수용부에 수용되고 상기 흡입펌프의 흡입구의 전단에서 상기 제1 수거호스와 상기 흡입펌프의 흡입구 사이에서 개폐작동하도록 연결되고, 비상 시 상기 비상정지스위치가 눌려지면 폐쇄작동하여 상기 이동형 대차 밖으로 케미컬이 역류하는 것을 방지하고, 상기 비상정지스위치가 회전하면 폐쇄작동을 해제하고 개방작동하는 비상정지밸브; 상기 이동형 대차 외부에 위치하고, 상기 제1 수거호스에 의해 상기 흡입펌프의 흡입구와 연결되어 있는 주사기 형상의 천공기; 상기 수거통 수용부에 수용되고, 상기 수거통 가이드레일을 따라 전후 왕복 이송되는 수거통 받침통에 수용되며, 상기 제2 수거호스에 의해 상기 흡입펌프의 배출구와 연결되는 마개가 통 입구를 밀봉하고, 상기 마개는 상기 수거통 수용부의 내측면에 형성된 마개 돌기에 탈착할 수 있게 보관되며, 상기 흡입펌프가 작동하면 상기 제1 수거호스와 상기 제2 수거호스를 통해 이송되는 케미컬을 수거하는 수거통; 상기 이동형 대차 외부에 위치하고, 한 쌍의 손잡이에 의해 회동하여 개방 범위가 조절되고 서로 마주보는 한 쌍의 천공기 고정 턱(jaw) 중 어느 하나에 상기 천공기를 탈착할 수 있으며, 상기 천공기가 장착된 상태에서 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 상기 천공기로 구멍을 뚫고 상기 천공기를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정하는 클램프 장치; 및 상기 펌프제어기 수용부에 수용되어 상기 배터리의 전원에 의해 작동하며, 상기 펌프작동스위치가 온 되면 상기 흡입펌프를 작동하고, 상기 펌프작동스위치가 오프 되면 상기 흡입펌프를 작동 중지하는 펌프제어기;로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 케미컬 흡입기에 있어서, 상기 이동형 대차의 일면에는 상기 천공기와 상기 클램프 장치 및 상기 천공기와 연결된 제1 수거호스를 걸 수 있는 걸쇠와 상기 걸쇠에 걸린 상기 천공기와 상기 클램프 장치 및 상기 천공기와 연결된 제1 수거호스를 수용하여 보관할 수 있도록 상부가 개방되고 바닥이 막혀있는 보관함이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 케미컬 흡입기에 있어서, 상기 펌프제어기 수용부의 상면에 설치되어 상기 펌프 수용부의 내부 온도와 상기 배터리의 전압 상태를 표시하고 경보음을 발생하는 작동표시기를 더 포함하고, 상기 펌프제어기는 상기 배터리가 외부 전원에 의해 정격 전압으로 충전 완료되면 자동으로 충전 전원을 차단하고 상기 작동표시기를 통해 충전 완료를 알리는 경보음을 발생하며, 상기 흡입펌프와 상기 펌프제어기가 상기 배터리의 전원에 의해 작동하는 동안 과전류 또는 과열을 감지하면 자동으로 상기 배터리의 전원 공급을 차단하고 상기 작동표시기를 통해 전원 공급 차단을 알리는 경보음을 발생하며, 상기 배터리의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하로 저하되면 상기 작동표시기를 통해 충전 요청을 알리는 경보음을 발생하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 흡입펌프를 연결하는 파이프 연결 작업을 별도로 수행할 필요가 없이 간편하게 케미컬을 수거할 수 있고, 반도체 공정실에서 다수의 반도체 제조 설비를 교체하거나 철거할 때마다 이동형 대차를 밀고 다니면서 용이하게 케미컬 공급라인에 구멍을 뚫고 케미컬을 수거할 수 있다.

본 발명은 비상 시, 예컨대 케미컬 공급라인에 고정된 클램프 장치가 분리되거나 흡입펌프가 고장으로 인해 흡입 작동을 중지하는 경우, 작업자가 비상정지스위치를 누르면 비상정지밸브가 폐쇄작동하여 제1 수거호스와 흡입펌프의 흡입구 사이의 연결로를 폐쇄함으로써 이동형 대차 내부의 수거통에 있는 케미컬이 밖으로 역류하는 것을 방지할 수 있으므로, 비상 시 케미컬의 누출사고 피해를 최소화할 수 있다.

본 발명은 흡입펌프와 펌프제어기가 배터리의 전원에 의해 작동하는 동안 과전류 또는 과열을 감지하면 자동으로 배터리의 전원 공급을 차단하고 작동표시기를 통해 전원 공급 차단을 알리는 경보음을 발생하므로, 상기 흡입펌프와 펌프제어기, 배터리의 이상 유무 적기에 확인하여 고장 점검 및 유지 보수를 수행할 수 있다.

본 발명은 배터리의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하로 저하되면 작동표시기를 통해 충전 요청을 알리는 경보음을 발생하므로, 반도체 공정실에서 이동형 대차를 밀고 다니면서 케미컬 수거 작업을 하는 동안 적기에 작업을 중단하고 배터리를 충전하여 사용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 케미컬 흡입기의 사시도.
도 2는 수거통이 외부로 노출된 상태를 나타낸 사시도.
도 3은 천공기와 클램프 장치의 분해 사시도.
도 4는 걸쇠와 보관함을 나타낸 부분 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 케미컬 흡입기의 구성을 나타낸 블록도.
도 6은 본 발명에 따른 케미컬 흡입기의 사용 상태를 나타낸 사시도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 케미컬 흡입기(100)는 이동형 대차(110)와 배터리(120), 흡입펌프(130), 비상정지밸브(140), 천공기(150), 수거통(160), 클램프 장치(170), 펌프제어기(180)를 포함하여 구성된다.

상기 이동형 대차(110)는 육면체 형상이고 6면 중 적어도 어느 1면 이상이 투명하게 제작되며, 바람직하게는 폴리카보네이트(PC) 재질의 투명판재로 6면 중 적어도 어느 1면 이상을 제작한다.

상기 이동형 대차(110)는 하부에 바퀴가 장착되어 작업자가 밀고 다닐 수 있는 것이면, 어떤 형태이든지 다양하게 제작할 수 있다.

상기 이동형 대차(110)는 밀봉 처리된 내부가 격벽을 사이에 두고 펌프 수용부(111)와 수거통 수용부(112)로 구분되어 있다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 펌프 수용부(111)의 상면에 밀고 다닐 수 있는 운반 손잡이(113)와 밀봉 처리된 펌프제어기 수용부(114)가 돌출 형성되어 있다.

도 1과 도 2에서는, 상기 이동형 대차(110)의 상기 펌프 수용부(111)의 측면을 개폐 손잡이가 달린 도어 형상으로 제작한 실시예를 나타내고 있으며, 작업자는 상기 펌프 수용부(111)의 도어를 여닫아 상기한 배터리(120), 흡입펌프(130), 비상정지밸브(140), 펌프제어기(180)를 상기 이동형 대차(110)에 수용할 수 있다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 펌프제어기 수용부(114)의 전면과 후면에 각각 제1 수거호스 삽입구(114a)와 제2 수거호스 삽입구(114b)가 형성되어 있다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 수거통 수용부(112)의 상면에 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기와 연결되는 연결관(115)과 또 다른 제2 수거호스 삽입구(114b')가 형성되어 있다.

상기 연결관(115)에 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기를 연결하면 상기 수거통(160)으로 수거되는 케미컬이 상기 수거통 수용부(112)에서 누출되더라도 상기 이동형 대차(110) 밖으로 누출되지 않고 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기를 통해 안전하게 반도체 공정실 밖으로 배출된다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 수거통 수용부(112)의 바닥면에 슬라이드 방식의 수거통 가이드레일(116)이 형성되어 있다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 펌프제어기 수용부(114)의 상면에 펌프작동스위치(117)와 비상정지스위치(118)가 설치되어 있다.

상기 이동형 대차(110)는 상기 펌프제어기 수용부(114)의 상면에 설치되어 상기 펌프 수용부(111)의 내부 온도와 상기 배터리(120)의 전압 상태를 표시하고 경보음을 발생하는 작동표시기(119)를 더 포함한다.

상기 이동형 대차(110)는 일면에 상기 천공기(150)와 상기 클램프 장치(170) 및 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를 걸 수 있는 걸쇠(110a)와 상기 걸쇠(110a)에 걸린 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를 수용하여 보관할 수 있도록 상부가 개방되고 바닥이 막혀있는 보관함(110b)이 형성되어 있다.

상기 보관함(110b)은 바닥이 막혀있으므로 작업자가 상기 이동형 대차(110)를 밀고 다니는 동안, 상기 제1 수거호스(130a)에 미세하게 혹은 극히 미세하게 잔존하는 케미컬이 반도체 공정실의 바닥에 떨어져 반도체 공정실을 오염시키는 것을 방지한다.

도 1과 도 2에서는, 상기 이동형 대차(110)의 수거통 수용부(112)의 상면과 전면을 폴리카보네이트(PC) 재질의 투명판재를 이용하여 개폐 손잡이가 달린 도어 형상으로 제작한 실시예를 나타내고 있으며, 작업자는 상기 수거통 수용부(112)의 투명한 상면을 통해 제2 수거호스(130b)를 통해 상기 수거통(160)으로 수거되는 케미컬을 눈으로 확인할 수 있다.

상기 배터리(120)는 상기 펌프 수용부(111)에 수용되는 충전식 배터리이거나 일회용 배터리이다.

상기 흡입펌프(130)는 상기 펌프 수용부(111)에 수용되어 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하며, 흡입구(131)에 제1 수거호스(130a)가 연결되고, 배출구(132)에 제2 수거호스(130b)가 연결된다.

상기 흡입펌프(130)는 상기 배터리(120)의 DC 전원으로 작동하는 DC 모터를 사용하는 펌프이면 어떤 종류이든지 사용 가능하다.

상기 비상정지밸브(140)는 상기 펌프 수용부(111)에 수용되고 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)의 전단에서 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131) 사이를 연결하고, 비상 시 상기 비상정지스위치(118)가 눌려지면 폐쇄작동하여 상기 이동형 대차(110) 밖으로 케미컬이 역류하는 것을 방지하고, 상기 비상정지스위치(118)가 회전하면 폐쇄작동을 해제하고 개방작동한다.

상기 비상정지밸브(140)는 비상 시, 예컨대 케미컬 공급라인에 고정된 클램프 장치(170)가 분리되거나 상기 흡입펌프(130)가 고장으로 인해 흡입 작동을 중지하는 경우, 작업자가 상기 비상정지스위치(118)를 누르면 폐쇄작동하여 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131) 사이의 연결로를 폐쇄함으로써 상기 이동형 대차(110) 내부의 수거통(160)에 있는 케미컬이 밖으로 역류하는 것을 방지할 수 있으므로, 비상 시 케미컬의 누출사고 피해를 최소화할 수 있다.

상기 천공기(150)는 상기 이동형 대차(110) 외부에 위치하고, 상기 제1 수거호스(130a)에 의해 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)와 연결되어 있는 주사기 형상이다.

도 3에 자세히 나타낸 바와 같이, 상기 천공기(150)는 선단 외면에 상기 클램프 장치(170)와 나사 결합하는 나사부(151)가 형성되어 있고, 후단에는 상기 제1 수거호스(130a)를 탈착할 수 있고 상기 천공기(150)와 제1 수거호스(130a) 사이에서 개폐작동하는 천공기 밸브(152)가 연결되어 있다.

상기 제1 수거호스(130a)는 사용 후 버리고 새것으로 교체할 수 있으며, 이때 일단은 상기 천공기 밸브(152)에 연결되고, 다른 일단은 상기 펌프제어기 수용부(114)의 전면에 형성된 상기 제1 수거호스 삽입구(114a)를 통과하여 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)에 연결되어 사용된다.

상기 수거통(160)은 상기 수거통 수용부(112)에 수용되고, 상기 수거통 가이드레일(116)을 따라 전후 왕복 이송되는 수거통 받침통(160a)에 수용된다.

상기 수거통 가이드레일(116)은 상기 수거통 수용부(112)의 내부 바닥면 혹은 내부 양 측면에 설치될 수 있으며, 상기 수거통 받침통(160a)의 형상에 부합하는 다양한 형태로 제작할 수 있다.

상기 수거통(160)은 상기 제2 수거호스(130b)에 의해 상기 흡입펌프(130)의 배출구(132)와 연결되는 마개(161)가 통 입구를 밀봉한다.

상기 수거통(160)은 상기 흡입펌프(130)가 작동하면 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 제2 수거호스(130b)를 통해 이송되는 케미컬을 수거한다.

상기 수거통(160)의 마개(161)는 상기 수거통 수용부(112)의 내측 면에 형성된 마개 돌기(162)에 탈착할 수 있게 보관되고, 상면에 상기 제2 수거호스(130b)를 탈착할 수 있고 상기 마개(161)와 제2 수거호스(130b) 사이에서 개폐작동하는 마개 밸브(161a)가 연결되어 있다.

상기 제2 수거호스(130b)는 사용 후 버리고 새것으로 교체할 수 있으며, 이때 일단은 상기 흡입펌프(130)의 배출구(132)에 연결되고, 다른 일단은 상기 펌프제어기 수용부(114)의 후면에 형성된 상기 제2 수거호스 삽입구(114b)와 상기 수거통 수용부(112)의 상면에 형성된 또 다른 제2 수거호스 삽입구(114b')를 통과하여 상기 마개 밸브(161a)에 연결되어 사용된다.

상기 클램프 장치(170)는 상기 이동형 대차(110) 외부에 위치하고, 한 쌍의 손잡이(171)에 의해 회동하여 개방 범위가 조절되고 서로 마주보는 한 쌍의 천공기 고정 턱(jaw)(172) 중 어느 하나에 상기 천공기(150)를 탈착할 수 있다.

상기 클램프 장치(170)는 상기 천공기(150)가 장착된 상태에서 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 상기 천공기(150)로 구멍을 뚫고 상기 천공기(150)를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정한다.

도 3에 자세히 나타낸 바와 같이, 상기 클램프 장치(170)는 한 쌍의 천공기 고정 턱(jaw)(172) 중 어느 하나에 상기 천공기(150)가 탈착할 수 있게 나사결합 하는 나사 구멍(173)이 형성되어 있다.

도 3에서는 본 발명에 따른 클램프 장치(170)의 바람직한 실시예로, 한 쌍의 손잡이(171)에 의해 회동하여 개방 범위가 조절되고 서로 마주보는 한 쌍의 천공기 고정 턱(jaw)(172)에 나사 구멍(173)을 형성한 바이스 플라이어를 나타내고 있으나, 클램프 기능을 하고 상기 천공기(150)를 결합할 수 있는 것이라면 어떤 형태이든지 다양하게 클램프 장치(170)를 제작할 수 있다.

상기 펌프제어기(180)는 상기 펌프제어기 수용부(114)에 수용되어 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하며, 상기 펌프작동스위치(117)가 온 되면 상기 흡입펌프(130)를 작동하고, 상기 펌프작동스위치(117)가 오프 되면 상기 흡입펌프(130)를 작동 중지한다.

상기 펌프제어기(180)는 상기 배터리(120)가 외부 전원에 의해 정격 전압으로 충전 완료되면 자동으로 충전 전원을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 완료를 알리는 경보음을 발생한다. 이 경우, 상기 작동표시기(119)에 경보등이 설치되어 있으면 이 경보등을 점등 혹은 점멸하여 충전 완료를 알릴 수도 있다.

상기 펌프제어기(180)는 상기 흡입펌프(130)와 상기 펌프제어기(180)가 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하는 동안 과전류 또는 과열을 감지하면 자동으로 상기 배터리(120)의 전원 공급을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 전원 공급 차단을 알리는 경보음을 발생한다. 이 경우, 상기 작동표시기(119)에 경보등이 설치되어 있으면 이 경보등을 점등 혹은 점멸하여 전원 공급 차단을 알릴 수도 있다.

상기 펌프제어기(180)는 상기 배터리(120)의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하로 저하되면 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 요청을 알리는 경보음을 발생한다. 이 경우, 상기 작동표시기(119)에 경보등이 설치되어 있으면 이 경보등을 점등 혹은 점멸하여 충전 요청을 알릴 수도 있다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 케미컬 흡입기(100)는 다음과 같이 작동한다.

작업자는 가장 먼저 상기 이동형 대차(110)의 작동표시기(119)에 표시되는 상기 배터리(120)의 전압 상태를 확인하여 작업 가능 여부를 결정한다.

예컨대, 작업 개시 전에 상기 작동표시기(119)에 표시되는 상기 배터리(120)의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하에 근접한 상태이면 상기 작동표시기(119)가 충전 요청을 알리는 경보음을 발생하지 않더라도 미리 상기 배터리(120)에 충전 케이블을 연결하고 외부 전원에 의해 상기 배터리(120)를 정격 전압으로 충전 완료한 다음 작업을 개시하는 것이 바람직하다.

이처럼, 상기 배터리(120)가 정격 전압으로 충전 완료되면 상기 펌프제어기(180)는 자동으로 상기 배터리(120)의 충전 전원을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 완료를 알리는 경보음을 발생한다.

상기와 같이 배터리(120)의 전압 상태를 확인하고 나면, 작업자는 상기 제1 수거호스(130a)의 일단을 상기 천공기(150)의 후단에 연결되어 있는 천공기 밸브(152)에 삽입하여 연결하고, 상기 제1 수거호스(130a)의 다른 일단을 상기 펌프제어기 수용부(114)의 전면에 형성된 상기 제1 수거호스 삽입구(114a)를 통과하여 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)에 연결한다.

이어서, 작업자는 상기 천공기(150)의 나사부(151)를 상기 클램프 장치(170)의 천공기 고정 턱(jaw)(172)에 형성된 나사 구멍(173)에 나사결합 하여 상기 천공기(150)를 상기 클램프 장치(170)에 장착한다.

이어서, 작업자는 상기 제2 수거호스(130b)의 일단을 상기 흡입펌프(130)의 배출구(132)에 연결되고, 상기 제2 수거호스(130b)의 다른 일단을 상기 펌프제어기 수용부(114)의 후면에 형성된 상기 제2 수거호스 삽입구(114b)와 상기 수거통 수용부(112)의 상면에 형성된 또 다른 제2 수거호스 삽입구(114b')를 통과하여 상기 수거통(160)의 마개(161)의 상면에 연결된 상기 마개 밸브(161a)에 연결하고, 상기 마개 밸브(161a)를 상기 수거통 수용부(112)의 내측 면에 형성된 마개 돌기(162)에 부착하여 보관한다.

이어서, 작업자는 상기 수거통 수용부(112)에 수용되어 상기 수거통 가이드레일(116)을 따라 전후 왕복 이송되는 수거통 받침통(160a)에 상기 수거통(160)을 수용한 다음, 상기 수거통(160)의 통 입구를 상기 마개(161)로 막아 밀봉한다.

참고로, 상기 천공기(150)를 상기 클램프 장치(170)에 장착하는 작업은 상기 제1 수거호스(130a)와 제2 수거호스(130b)를 상기 흡입펌프(130)와 연결한 후에 할 수도 있다.

또한, 상기 수거통(160)을 상기 수거통 수용부(112)에 수용하는 작업은 상기 제1 수거호스(130a)와 제2 수거호스(130b)를 상기 흡입펌프(130)와 연결하기 전에 먼저 할 수도 있다.

상기와 같이 상기 제1 수거호스(130a)와 제2 수거호스(130b)를 상기 흡입펌프(130)와 연결하고, 상기 천공기(150)를 상기 클램프 장치(170)에 장착하고, 상기 수거통(160)을 상기 수거통 수용부(112)에 수용하고 나면, 작업자는 케미컬 방호복을 착용하고 상기 천공기(150)와 상기 클램프 장치(170) 및 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 이동형 대차(110)의 일면에 형성된 걸쇠(110a)에 걸고 상부가 개방되고 바닥이 막혀있는 보관함(110b)에 수용하여 보관한 상태에서 상기 이동형 대차(110)를 밀고 다니면서 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되어 있고 케미컬을 수거해야 하는 케미컬 공급라인으로 이동시킨다.

이어서, 작업자는 케미컬을 수거해야 하는 케미컬 공급라인 주변에 설치되어 있는 공기조화기를 상기 이동형 대차(110)의 연결관(115)에 연결한다.

이와 같이 상기 연결관(115)에 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기를 연결하면, 이후 케미컬 수거 작업 도중에 상기 수거통(160)으로 수거되는 케미컬이 상기 수거통 수용부(112)에서 누출되더라도 상기 이동형 대차(110) 밖으로 누출되지 않고 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기를 통해 안전하게 반도체 공정실 밖으로 배출된다.

이어서, 작업자는 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 클램핑 장치(170)와 같이 클램프 기능은 하지만 상기 천공기(150)를 연결하지 않는 한 쌍의 클램프 장치(170'), 예컨대 케미컬 공급라인 상에 대략 30cm 정도 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 바이스 플라이어를 상기 케미컬 공급라인 상의 대략 30cm 구간의 양단에 물린다.

참고로, 통상의 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인은 금속 파이프와 이 금속 파이프에 의해 보호되도록 이 금속 파이프 내부에 수용되는 연질의 케미컬 공급파이프(예컨대, PVC 파이프)로 형성되며, 본 발명에서는 금속 파이프가 제거된 대략 30cm 구간의 연질의 PVC 파이프의 양단이 한 쌍의 바이스 플라이어에 의해 물린다.

이어서, 작업자는 양단이 물려진 상기 케미컬 공급라인 상의 대략 30cm 구간의 중앙부에 상기 천공기(150)가 장착된 클램프 장치(170)를 체결함으로써 해당 케미컬 공급라인에 대해 상기 천공기(150)로 구멍을 뚫고 상기 천공기(150)를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정한 다음, 상기한 한 쌍의 바이스 플라이어를 분리, 제거한다.

이 상태에서, 작업자가 상기 이동형 대차(110)의 펌프작동스위치(117)를 온 시키면 이때부터 상기 펌프제어기(180)가 상기 흡입펌프(130)를 작동하며, 이에 따라서 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 제2 수거호스(130b)를 통해 이송되는 케미컬이 상기 수거통(160)에 수거된다.

상기 흡입펌프(130)가 작동하는 동안, 작업자는 상기 수거통 수용부(112)의 투명한 상면을 통해 상기 제2 수거호스(130b)를 통해 상기 수거통(160)으로 수거되는 케미컬(예컨대, 불산, 암모니아수 등)을 눈으로 확인할 수 있다.

한편, 상기와 같이 상기 수거통(160)으로 케미컬을 수거하는 작업이 진행되는 도중에, 비상 상황이 발생하면 작업자는 상기 이동형 대차(110)의 비상정지스위치(118)를 눌러 상기한 비상정지밸브(140)를 폐쇄작동한다.

예컨대, 케미컬 공급라인에 고정된 상기 클램프 장치(170)가 분리되거나 상기 흡입펌프(130)가 고장으로 인해 흡입 작동을 중지하는 경우, 작업자가 상기 비상정지스위치(118)를 누르면 상기 비상정지밸브(140)가 폐쇄작동하여 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131) 사이의 연결로를 폐쇄함으로써 상기 이동형 대차(110) 내부의 수거통(160)에 있는 케미컬이 밖으로 역류하는 것을 방지할 수 있으며, 그 결과로 비상 시 케미컬의 누출사고 피해를 최소화할 수 있다.

만약, 비상 상황이 해제된 다음 작업자가 케미컬 수거 작업을 계속하기 위해 상기 비상정지스위치(118)를 회전시키면 상기 비상정지스위치(118)는 폐쇄작동을 해제하고 개방작동하며, 이에 따라서 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131) 사이의 연결로가 다시 개방된다.

또한, 상기와 같이 상기 수거통(160)으로 케미컬을 수거하는 작업이 진행되는 도중에, 상기 작동표시기(119)는 상기 펌프 수용부(111)의 내부 온도와 상기 배터리(120)의 전압 상태를 표시하고 경보음을 발생한다.

또한, 상기와 같이 상기 수거통(160)으로 케미컬을 수거하는 작업이 진행되는 도중에, 상기 펌프제어기(180)는 상기 흡입펌프(130)와 상기 펌프제어기(180)가 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하는 동안 과전류 또는 과열을 감지하면 자동으로 상기 배터리(120)의 전원 공급을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 전원 공급 차단을 알리는 경보음을 발생한다.

또한, 상기와 같이 상기 수거통(160)으로 케미컬을 수거하는 작업이 진행되는 도중에, 상기 펌프제어기(180)는 상기 배터리(120)의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하로 저하되면 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 요청을 알리는 경보음을 발생한다.

다른 한편, 상기와 같이 상기 수거통(160)으로 케미컬을 수거하는 작업이 완료됨에 따라서 작업자가 상기 이동형 대차(110)의 펌프작동스위치(117)를 오프 시키면 상기 펌프제어기(180)는 흡입펌프(130)를 작동 중지한다.

이어서, 작업자는 상기 클램프 장치(170)를 케미컬 공급라인에서 분리한 다음, 상기 천공기(150)와 상기 클램프 장치(170) 및 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 이동형 대차(110)의 일면에 형성된 걸쇠(110a)에 걸고 상부가 개방되고 바닥이 막혀있는 보관함(110b)에 수용하여 보관한 상태에서 상기 이동형 대차(110)를 반도체 공정실 밖으로 이동시킨 후, 상기 수거통(160)을 상기 이동형 대차(110) 밖으로 꺼내어 수거한다.

이때, 상기 제2 수거호스(130b)가 연결되어 있는 상기 마개 밸브(161a)를 잠근 상태로 상기 마개(161)로부터 상기 제2 수거호스(130b)를 분리한다.

본 발명에서는, 상기 수거통(160)이 수거된 상태에서 수거된 케미컬(예컨대, 불산)과 다른 케미컬(예컨대, 암모니아수)을 수거하고자 하는 경우 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 제2 수거호스(130b)를 새것으로 교체할 수 있다.

또한, 상기 제2 수거호스(130b)를 교체하지 않고 계속 사용하고자 하는 경우에는 상기 제2 수거호스(130b)에 새로운 마개(161)의 마개 밸브(161a)를 연결한다.

또한, 상기 제1 수거호스(130a)의 일단이 연결되는 상기 천공기(150)를 새것으로 교체할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 케미컬 흡입기는 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.

100: 케미컬 흡입기 110: 이동형 대차
111: 펌프 수용부 112: 수거통 수용부
113: 운반 손잡이 114: 펌프제어기 수용부
114a: 제1 수거호스 삽입구 114b,114b': 제2 수거호스 삽입구
115: 연결관 116: 수거통 가이드레일
117: 펌프작동스위치 118: 비상정지스위치
119: 작동표시기 110a: 걸쇠
110b: 보관함 120: 배터리
130: 흡입펌프 131: 흡입구
132: 배출구 130a: 제1 수거호스
130b: 제2 수거호스 140: 비상정지밸브
150: 천공기 151: 나사부
152: 천공기 밸브 160: 수거통
161: 마개 161a: 마개 밸브
162: 마개 돌기 160a: 수거통 받침통
170,170': 클램프 장치 171: 손잡이
172: 천공기 고정 턱(jaw) 173: 나사 구멍
180: 펌프제어기

Claims

육면체 형상이고 6면 중 적어도 어느 1면 이상이 투명하게 제작되며, 밀봉 처리된 내부가 격벽을 사이에 두고 펌프 수용부(111)와 수거통 수용부(112)로 구분되어 있고, 상기 펌프 수용부(111)의 상면에 밀고 다닐 수 있는 운반 손잡이(113)와 밀봉 처리된 펌프제어기 수용부(114)가 돌출 형성되어 있으며, 상기 펌프제어기 수용부(114)의 전면과 후면에 각각 제1 수거호스 삽입구(114a)와 제2 수거호스 삽입구(114b)가 형성되어 있고, 상기 수거통 수용부(112)의 상면에 반도체 공정실에 설치되어 있는 공기조화기와 연결되는 연결관(115)과 또 다른 제2 수거호스 삽입구(114b')가 형성되어 있으며, 상기 수거통 수용부(112)의 바닥면에 슬라이드 방식의 수거통 가이드레일(116)이 형성되어 있고, 상기 펌프제어기 수용부(114)의 상면에 펌프작동스위치(117)와 비상정지스위치(118)가 설치되어 있는 이동형 대차(110)와;
상기 펌프 수용부(111)에 수용되는 충전식 배터리(120);
상기 펌프 수용부(111)에 수용되어 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하며, 흡입구(131)에 제1 수거호스(130a)가 연결되고, 배출구(132)에 제2 수거호스(130b)가 연결되는 흡입펌프(130);
상기 펌프 수용부(111)에 수용되고 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)의 전단에서 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131) 사이에서 개폐작동하도록 연결하고, 비상 시 상기 비상정지스위치(118)가 눌려지면 폐쇄작동하여 상기 이동형 대차(110) 밖으로 케미컬이 역류하는 것을 방지하고, 상기 비상정지스위치(118)가 회전하면 폐쇄작동을 해제하고 개방작동하는 비상정지밸브(140);
상기 이동형 대차(110) 외부에 위치하고, 상기 제1 수거호스(130a)에 의해 상기 흡입펌프(130)의 흡입구(131)와 연결되어 있는 주사기 형상의 천공기(150);
상기 수거통 수용부(112)에 수용되고, 상기 수거통 가이드레일(116)을 따라 전후 왕복 이송되는 수거통 받침통(160a)에 수용되며, 상기 제2 수거호스(130b)에 의해 상기 흡입펌프(130)의 배출구(132)와 연결되는 마개(161)가 통 입구를 밀봉하고, 상기 마개(161)는 상기 수거통 수용부(112)의 내측 면에 형성된 마개 돌기(162)에 탈착할 수 있게 보관되며, 상기 흡입펌프(130)가 작동하면 상기 제1 수거호스(130a)와 상기 제2 수거호스(130b)를 통해 이송되는 케미컬을 수거하는 수거통(160);
상기 이동형 대차(110) 외부에 위치하고, 한 쌍의 손잡이(171)에 의해 회동하여 개방 범위가 조절되고 서로 마주보는 한 쌍의 천공기 고정 턱(jaw)(172) 중 어느 하나에 상기 천공기(150)를 탈착할 수 있으며, 상기 천공기(150)가 장착된 상태에서 반도체 공정실에 설치되어 있는 반도체 제조 설비와 연결되는 케미컬 공급라인에 상기 천공기(150)로 구멍을 뚫고 상기 천공기(150)를 케미컬 공급라인에 삽입하여 고정하는 클램프 장치(170); 및
상기 펌프제어기 수용부(114)에 수용되어 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하며, 상기 펌프작동스위치(117)가 온 되면 상기 흡입펌프(130)를 작동하고, 상기 펌프작동스위치(117)가 오프 되면 상기 흡입펌프(130)를 작동 중지하는 펌프제어기(180);
로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 흡입기.
제 1 항에 있어서, 상기 이동형 대차(110)의 일면에는 상기 천공기(150)와 상기 클램프 장치(170) 및 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를 걸 수 있는 걸쇠(110a)와 상기 걸쇠(110a)에 걸린 상기 천공기(150)와 연결된 제1 수거호스(130a)를 수용하여 보관할 수 있도록 상부가 개방되고 바닥이 막혀있는 보관함(110b)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 케미컬 흡입기.
제 1 항에 있어서, 상기 펌프제어기 수용부(114)의 상면에 설치되어 상기 펌프 수용부(111)의 내부 온도와 상기 배터리(120)의 전압 상태를 표시하고 경보음을 발생하는 작동표시기(119)를 더 포함하고,
상기 펌프제어기(180)는 상기 배터리(120)가 외부 전원에 의해 정격 전압으로 충전 완료되면 자동으로 충전 전원을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 완료를 알리는 경보음을 발생하며, 상기 흡입펌프(130)와 상기 펌프제어기(180)가 상기 배터리(120)의 전원에 의해 작동하는 동안 과전류 또는 과열을 감지하면 자동으로 상기 배터리(120)의 전원 공급을 차단하고 상기 작동표시기(119)를 통해 전원 공급 차단을 알리는 경보음을 발생하며, 상기 배터리(120)의 전압 상태가 정해진 최소 전압 이하로 저하되면 상기 작동표시기(119)를 통해 충전 요청을 알리는 경보음을 발생하는 것을 특징으로 하는 케미컬 흡입기.