KR101368819B1 - Device for transferring supporting substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로, 기판이 안착되는 베이스부와, 베이스부를 관통하여 기판을 지지하는 지지부 및 지지부를 상하방향으로 이동시키는 구동부를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 지지부의 얇은 박판이 기판을 지지함으로써, 기판을 무라를 억제할 수 있다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and includes a base portion on which a substrate is mounted, a support portion for supporting the substrate through the base portion, and a driving portion for moving the support portion in the vertical direction.
In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the thin thin plate of the support portion supports the substrate, whereby the substrate can be suppressed.

Figure R1020110138695
Figure R1020110138695

Description

기판 이송장치{DEVICE FOR TRANSFERRING SUPPORTING SUBSTRATE}Substrate Transfer Device {DEVICE FOR TRANSFERRING SUPPORTING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광 다이오드 디스플레이에 사용되는 기판을 반입 또는 반송하는 챔버에서 기판 표면에 대한 손상을 억제하여 기판 불량을 방지하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for preventing substrate defects by suppressing damage to a substrate surface in a chamber for carrying or carrying a substrate used in an organic light emitting diode display.

일반적으로 유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display)와 같은 평판표시장치의 기판으로는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 유리기판이 사용된다.In general, a rectangular glass substrate having a long side and a short side is used as a substrate of a flat panel display such as an organic light emitting diode display.

이러한 유리기판은 세정공정, 레이저 어닐링공정, 노광공정 및 식각공정 등과 같은 다양한 공정을 거치면서 평판표시장치의 기판으로 제조된다.Such a glass substrate is manufactured as a substrate of a flat panel display device through various processes such as a cleaning process, a laser annealing process, an exposure process, and an etching process.

유리기판은 이송용 로봇에 의해 각 공정으로 이송되고, 각 공정이 실시되는 챔버에 설치되는 기판 이송장치는 이송용 로봇을 통해 반입된 유리기판을 지지한다.The glass substrate is transferred to each process by the transfer robot, and the substrate transfer apparatus installed in the chamber in which each process is performed supports the glass substrate loaded through the transfer robot.

한편, 본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 2006-0000008호(2006.01.06 공개, 발명의 명칭: 글라스 지지시스템 및 지지핀 구조)에 개시되어 있다.
On the other hand, the background of the present invention is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-0000008 (2006.01.06 publication, the name of the invention: glass support system and support pin structure).

종래에는 기판을 지지하는 지지핀의 단면이 원 형상을 하므로, 기판과 지지핀간의 마찰로 인해 기판에 무라(mura)가 발생되는 문제점이 있다.Conventionally, since the cross section of the support pin for supporting the substrate has a circular shape, there is a problem in that mura occurs in the substrate due to friction between the substrate and the support pin.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 얇은 판으로 기판을 지지하여 기판 손상을 방지하는 기판 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus for preventing damage to a substrate by supporting the substrate with a thin plate, which is devised to improve the above problems.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판이 안착되는 베이스부; 상기 베이스부를 관통하여 상기 기판을 지지하는 지지부; 및 상기 지지부를 상하방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a base unit is seated; A support part for supporting the substrate through the base part; And it provides a substrate transfer apparatus comprising a drive unit for moving the support in the vertical direction.

상기 지지부는 상기 구동부에 안착되고, 상기 구동부에 의해 상하 이동되는 안착부; 상기 안착부에 안착되고, 상기 기판을 지지하는 받침부; 및 상기 안착부에 결합되어 상기 받침부의 이동을 제한하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The support part is mounted to the driving unit, the mounting portion is moved up and down by the drive unit; A support part mounted on the seating part and supporting the substrate; And a guide part coupled to the seating part to limit the movement of the support part.

상기 안착부는 상기 구동부에 안착되고, 상측면에 설치홈이 형성되는 안착판; 상기 안착판의 저면에서 하방으로 돌출 형성되는 삽입봉; 및 상기 안착판의 저면에서 하방으로 돌출 형성되는 안착롤러를 포함하고, 상기 설치홈은 중앙이 저점이 되도록 곡률을 갖는 것을 특징으로 한다.The seating portion is mounted on the driving unit, the mounting plate is formed in the upper groove; An insertion rod protruding downward from the bottom of the seating plate; And a seating roller protruding downward from the bottom of the seating plate, wherein the installation groove has a curvature such that the center thereof is a low point.

상기 받침부는 상기 설치홈에 대응되는 곡면을 갖는 받침대; 상기 받침대의 상측에서 상방으로 돌출 형성되고 판홈이 길이방향으로 형성되는 받침돌기; 및 상기 판홈에 삽입되고, 상기 베이스부를 관통하여 상기 기판을 지지하는 박판을 포함하는 것을 특징으로 한다.The support portion has a pedestal having a curved surface corresponding to the installation groove; A support protrusion protruding upward from the upper side of the pedestal and having a plate groove formed in a longitudinal direction; And a thin plate inserted into the plate groove and penetrating the base to support the substrate.

상기 박판의 두께는 0.5mm 내지 1.5mm인 것을 특징으로 한다.The thickness of the thin plate is characterized in that 0.5mm to 1.5mm.

상기 가이드부는 상기 안착판에 결합되고, 상기 받침대의 양단부에 근접 배치되는 가이드판; 및 상기 가이드판에서 돌출 형성되어 상기 받침돌기에 인접되도록 배치되는 가이드돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.The guide part is coupled to the seating plate, the guide plate is disposed close to both ends of the pedestal; And a guide protrusion protruding from the guide plate and disposed to be adjacent to the support protrusion.

상기 구동부는 상기 삽입봉이 삽입되는 안내관이 형성되는 고정판; 상기 고정판에 설치되는 레일; 상기 레일을 따라 이동되고, 경사면이 상기 안착롤러에 접촉되는 경사판; 및 상기 고정판에 고정 설치되고, 상기 경사판에 결합되어 길이가 가변되는 길이조절기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The driving unit is fixed plate that is formed with a guide tube is inserted into the insertion rod; A rail installed on the fixing plate; An inclined plate moved along the rail and having an inclined surface in contact with the seating roller; And a length adjuster fixed to the fixed plate and coupled to the inclined plate to have a variable length.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 박판이 기판과 접촉되어 접촉면적이 최소화됨으로써, 기판의 무라 현상을 억제하는 효과가 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the thin plate is in contact with the substrate to minimize the contact area, thereby reducing the mura phenomenon of the substrate.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 설치홈에 곡면을 갖는 받침대가 삽입됨으로써, 자중에 의해 받침대가 자체적으로 균형을 유지하여 박판과 베이스부 간의 간섭을 방지하는 효과가 있다.
In the substrate transfer apparatus according to the present invention, a pedestal having a curved surface is inserted into the installation groove, thereby maintaining the balance of the pedestal by itself, thereby preventing interference between the thin plate and the base portion.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 베이스부에 기판이 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 베이스부에서 기판이 이격된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 안착부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 받침부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4에서 가이드부가 배치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 지지부의 연결관계를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a view schematically showing a state in which a substrate is seated on the base portion of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view schematically showing a state in which a substrate is spaced apart from the base of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view schematically showing a seating portion in a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing the support portion in the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view schematically illustrating a state in which a guide part is disposed in FIG. 4.
6 is a cross-sectional view schematically illustrating a connection relationship of a support part in a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 이송장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of a substrate transfer apparatus according to the present invention. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, the terms described below are terms defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 베이스부에 기판이 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 베이스부에서 기판이 이격된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 안착부를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a state in which a substrate is seated on the base portion of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a substrate in the base portion of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention 3 is a view schematically showing a spaced state, and FIG. 3 is a view schematically illustrating a seating unit in a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 받침부를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 5는 도 4에서 가이드부가 배치된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치에서 지지부의 연결관계를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
4 is a view schematically showing a support portion in a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a view schematically showing a state in which a guide part is disposed in FIG. 4, and FIG. 6 is an embodiment of the present invention. Sectional view schematically showing the connection of the support in the substrate transfer apparatus according to.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치(1)에는 베이스부(10), 지지부(20) 및 구동부(30)가 구비된다.1 to 6, the substrate transport apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a base part 10, a support part 20, and a driving part 30.

베이스부(10)는 기판(100)이 안착되기 위해 기판(100) 보다 넓은 단면적을 갖는다. 이러한 베이스부(10)에는 길이를 갖는 베이스홀(11)이 복수로 형성된다.The base portion 10 has a larger cross-sectional area than the substrate 100 for mounting the substrate 100. The base portion 10 is formed with a plurality of base holes 11 having a length.

베이스부(10)는 구동부(30) 또는 별도의 위치고정수단에 결합되어 위치가 고정된 상태를 유지한다.The base unit 10 is coupled to the driving unit 30 or a separate position fixing means to maintain a fixed position.

지지부(20)는 베이스부(10)의 하방에 위치되고, 베이스홀(11)을 관통하여 기판(100)을 지지한다. The support part 20 is positioned below the base part 10 and passes through the base hole 11 to support the substrate 100.

이러한 지지부(20)는 상하로 이동되어, 기판(100)을 베이스부(10)에 안착시키거나, 베이스부(10)에 안착된 기판(100)을 베이스부(10)에서 이격시킨다.The support part 20 is moved up and down to seat the substrate 100 on the base part 10 or to separate the substrate 100 seated on the base part 10 from the base part 10.

구동부(30)는 지지부(20)의 하방에 위치되고, 지지부(20)를 상하방향으로 이동시킨다.The driving part 30 is located below the support part 20 and moves the support part 20 in the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 지지부(20)에는 안착부(40), 받침부(50) 및 가이드부(60)가 구비된다.Support portion 20 according to an embodiment of the present invention is provided with a seating portion 40, the supporting portion 50 and the guide portion 60.

안착부(40)는 구동부(30)에 안착되고, 구동부(30)에 의해 상하방향으로 이동된다. 받침부(50)는 안착부(40)에 안착되고, 기판(100)을 지지한다. 가이드부(60)는 안착부(40)에 결합되어 받침부(50)의 이동을 제한한다.The seating unit 40 is seated on the driving unit 30 and is moved up and down by the driving unit 30. The supporting part 50 is seated on the seating part 40 and supports the substrate 100. The guide part 60 is coupled to the seating part 40 to limit the movement of the support part 50.

본 발명의 일 실시예에 따른 안착부(40)에는 안착판(41), 삽입봉(42) 및 안착롤러(43)가 구비된다.The seating portion 40 according to an embodiment of the present invention is provided with a seating plate 41, an insertion rod 42, and a seating roller 43.

안착판(41)은 베이스부(10)와 구동부(30) 사이에 배치되고, 구동부(30)에 안착된다. 이러한 안착판(41)의 상측면에는 설치홈(44)이 형성된다. The seating plate 41 is disposed between the base portion 10 and the driving portion 30, and is seated on the driving portion 30. The mounting groove 44 is formed on the upper surface of the seating plate 41.

설치홈(44)은 베이스홀(11)의 개수에 대응되며, 베이스홀(11)의 수직선상에 배치된다. 이러한 설치홈(44)은 중앙이 저점이 되도록 곡률을 갖는다.The installation groove 44 corresponds to the number of the base holes 11 and is disposed on a vertical line of the base holes 11. This installation groove 44 has a curvature so that the center is a low point.

삽입봉(42)은 안착판(41)의 저면에서 하방으로 돌출 형성된다. 이러한 삽입봉(42)은 안착판(41)의 모서리 부분에 각각 배치된다.The insertion rod 42 protrudes downward from the bottom of the seating plate 41. These insertion rods 42 are disposed in the corner portion of the seating plate 41, respectively.

안착롤러(43)에는 안착판(41)의 저면에 결합되어 하방으로 돌출 형성되는 롤러지지대(431) 및 롤러지지대(431)에 회전 가능하도록 결합되는 롤러(432)가 구비된다.The seating roller 43 is provided with a roller support 431 coupled to the bottom of the seating plate 41 and protruding downward, and a roller 432 rotatably coupled to the roller support 431.

본 발명의 일 실시예에 따른 받침부(50)에는 받침대(51), 받침돌기(52) 및 박판(53)이 구비된다.Supporting portion 50 according to an embodiment of the present invention is provided with a pedestal 51, the support protrusion 52 and a thin plate 53.

받침대(51)는 안착판(41)의 상측면에 형성되는 설치홈(44)에 안착된다. 이러한 받침대(51)의 저면에는 설치홈(44)에 대응되는 곡면(54)이 형성된다.Pedestal 51 is seated in the mounting groove 44 formed on the upper surface of the seating plate (41). The bottom surface of the pedestal 51 is formed with a curved surface 54 corresponding to the installation groove 44.

이와 같이 설치홈(44)에 받침대(51)가 안착되면, 자중에 의해 받침대(51)가 균형을 유지한다.When the pedestal 51 is seated in the installation groove 44 in this manner, the pedestal 51 is balanced by its own weight.

받침돌기(52)는 받침대(51)의 상측면에서 상방으로 돌출 형성된다. 이러한 받침돌기(52)의 중앙부에는 받침돌기(52)의 길이방향으로 판홈(55)이 형성된다.The support protrusion 52 protrudes upward from the upper side of the pedestal 51. The plate groove 55 is formed in the longitudinal direction of the support protrusion 52 in the center portion of the support protrusion 52.

박판(53)은 판홈(55)에 삽입된다. 이러한 박판(53)은 베이스홀(11)을 관통하여 기판(100)과 접촉된다.The thin plate 53 is inserted into the plate groove 55. The thin plate 53 penetrates through the base hole 11 and contacts the substrate 100.

판홈(55)에 삽입된 박판(53)을 고정시키도록, 고정체(56)가 받침돌기(52)에 결합된다. 이러한 고정체(56)는 받침돌기(52)에 나사 결합되어 박판(53)의 하단부를 가압하거나, 박판(53)을 관통하여 받침돌기(52)에 나사 결합될 수 있다.The fixing body 56 is coupled to the support protrusion 52 to fix the thin plate 53 inserted into the plate groove 55. The fixing body 56 may be screwed to the support protrusion 52 to press the lower end of the thin plate 53, or may be screwed to the support protrusion 52 by penetrating the thin plate 53.

그 외, 박판(53)은 판홈(55)에 투입된 접착물질에 의해 판홈(55)에 삽입되어 고정될 수 있다.In addition, the thin plate 53 may be inserted into and fixed to the plate groove 55 by the adhesive material introduced into the plate groove 55.

박판(53)은 0.5mm 내지 1.5mm의 두께를 갖는다. 이러한 박판(53)은 기판(100)과의 접촉면적이 최소화되어 기판(100)에 대한 무라(mura) 현상이 억제된다.The thin plate 53 has a thickness of 0.5 mm to 1.5 mm. The thin plate 53 has a contact area with the substrate 100 minimized, so that the mura phenomenon on the substrate 100 is suppressed.

또한, 박판(53)은 기판(100) 보다 강도가 낮은 연성재질을 포함하여 이루어진다. 이로 인해, 박판(53)과 기판(100)과의 접촉과정에서 기판(100)의 손상이 억제된다.In addition, the thin plate 53 includes a flexible material having a lower strength than the substrate 100. As a result, damage to the substrate 100 is suppressed in the process of contact between the thin plate 53 and the substrate 100.

본 발명의 일 실시예에 따른 가이드부(60)에는 가이드판(61) 및 가이드돌기(62)가 구비된다.Guide portion 60 according to an embodiment of the present invention is provided with a guide plate 61 and the guide protrusion 62.

가이드판(61)은 안착판(41)에 결합된다. 이러한 가이드판(61)은 받침대(51)의 양단부에 각각 근접 배치되어 받침대(51)가 길이방향으로 이탈되는 것을 방지한다.The guide plate 61 is coupled to the seating plate 41. These guide plates 61 are disposed close to both ends of the pedestal 51 to prevent the pedestal 51 from being separated in the longitudinal direction.

가이드돌기(62)는 가이드판(61)에서 받침대(51)의 길이방향으로 돌출 형성된다. 이러한 가이드돌기(62)는 한 쌍으로 이루어져 받침돌기(52)에 인접되도록 배치된다.The guide protrusion 62 protrudes from the guide plate 61 in the longitudinal direction of the pedestal 51. These guide protrusions 62 are arranged in a pair to be adjacent to the support protrusion 52.

따라서, 박판(53)이 장착된 받침대(51)는 설치홈(44)에서 유동되면서 자중에 의해 박판(53)을 수직선상에 배치시킨다. Accordingly, the pedestal 51 on which the thin plate 53 is mounted arranges the thin plate 53 on a vertical line by its own weight while flowing in the installation groove 44.

이때, 가이드부(60)는 받침대(51)가 길이방향으로 이동되어 설치홈(44)에서 이탈되는 것을 방지한다. 또한, 가이드부(60)는 받침대(51)의 회전각을 제한하여 받침대(51)가 과도하게 유동되는 것을 방지한다.At this time, the guide unit 60 prevents the pedestal 51 is moved away from the installation groove 44 by moving in the longitudinal direction. In addition, the guide part 60 limits the rotation angle of the pedestal 51 to prevent the pedestal 51 from excessively flowing.

본 발명의 일 실시예에 따른 구동부(30)에는 고정판(31), 레일(32), 경사판(33) 및 길이조절기(34)가 구비된다.The driving unit 30 according to an embodiment of the present invention is provided with a fixed plate 31, a rail 32, an inclined plate 33, and a length adjuster 34.

고정판(31)은 지지부(20)의 하방에 위치되고, 고정물에 장착되어 고정된 상태를 유지한다. The fixing plate 31 is positioned below the support 20 and is mounted on the fixture to maintain a fixed state.

고정판(31)에는 안내관(35)이 상방으로 돌출 형성된다. 이러한 안내관(35)은 관 형상을 하여 삽입봉(42)이 삽입된다. The guide tube 35 is protruded upward from the fixed plate 31. The guide tube 35 has a tubular shape, the insertion rod 42 is inserted.

따라서, 안착판(41)이 상하로 이동될 때, 삽입봉(42)은 안내관(35)에 삽입된 상태를 유지함으로써, 안착판(41)의 좌우 유동이 억제된다.Therefore, when the seating plate 41 is moved up and down, the insertion rod 42 maintains the state inserted in the guide tube 35, whereby the left and right flow of the seating plate 41 is suppressed.

레일(32)은 고정판(31)에 설치되고, 경사판(33)은 레일(32)을 따라 이동된다. 경사판(33)에는 경사면(36)이 형성된다. 이러한 경사면(36)은 안착롤러(43)와 접촉된다. The rail 32 is attached to the fixed plate 31, and the inclined plate 33 is moved along the rail 32. An inclined surface 36 is formed on the inclined plate 33. This inclined surface 36 is in contact with the seating roller 43.

따라서, 경사판(33)이 레일(32)의 일단부에서 타단부로 왕복 이동되면, 경사면(36)과 접촉된 안착롤러(43)의 높낮이가 달라진다. 안착롤러(43)의 높낮이 변화로 인해, 안착롤러(43)와 결합된 안착판(41)이 상하로 이동된다. 안착판(41)이 상하로 이동되면, 안착판(41)에 장착된 받침부(50)의 박판(53) 높낮이가 변화되어 기판(100)을 상하로 이동시킨다.Therefore, when the inclined plate 33 reciprocates from one end of the rail 32 to the other end, the height of the mounting roller 43 in contact with the inclined surface 36 is changed. Due to the change in the height of the seating roller 43, the seating plate 41 coupled with the seating roller 43 is moved up and down. When the seating plate 41 is moved up and down, the height of the thin plate 53 of the base 50 mounted on the seating plate 41 is changed to move the substrate 100 up and down.

길이조절기(34)는 고정판(31)에 고정 설치된다. 이러한 길이조절기(34)는 경사판(33)에 결합되고, 제어부의 제어신호에 의해 길이가 가변된다. Length adjuster 34 is fixed to the fixed plate (31). The length adjuster 34 is coupled to the inclined plate 33, the length is variable by the control signal of the controller.

예를 들어, 길이조절기(34)로는 유압에 의해 길이가 가변되는 유압실린더를 사용한다. 길이조절기(34)의 길이 변화에 따라 경사판(33)의 위치가 달라진다.
For example, the length adjuster 34 uses a hydraulic cylinder whose length is variable by hydraulic pressure. The position of the inclined plate 33 varies depending on the length change of the length adjuster 34.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention having the structure as described above are as follows.

고정판(31)의 상측면에 형성되는 레일(32)을 따라 이동되도록 경사판(33)이 설치되고, 경사판(33)에는 길이가 변화되는 길이조절기(34)가 결합된다.The inclined plate 33 is installed to move along the rail 32 formed on the upper side of the fixed plate 31, and the length adjuster 34 whose length is changed is coupled to the inclined plate 33.

경사판(33)의 상방에는 안착판(41)이 위치되고, 안착판(41)의 저면에서 돌출되는 삽입봉(42)이 경사판(33)에 형성되는 안내관(35)에 삽입된다. A seating plate 41 is positioned above the inclined plate 33, and an insertion rod 42 protruding from the bottom of the seating plate 41 is inserted into the guide tube 35 formed in the inclined plate 33.

또한, 안착판(41)의 저면에서 돌출되는 안착롤러(43)는 경사판(33)에 형성되는 경사면(36)에 접촉된다.In addition, the mounting roller 43 protruding from the bottom of the mounting plate 41 is in contact with the inclined surface 36 formed on the inclined plate 33.

안착판(41)에는 설치홈(44)이 형성되고, 설치홈(44)에는 받침대(51)가 삽입된다. 받침대(51)에는 박판(53)이 삽입 고정되기 위한 받침돌기(52)가 돌출 형성되고, 안착판(41)에 결합되는 가이드부(60)가 받침대(51)의 유동을 제한한다.An installation groove 44 is formed in the seating plate 41, and a pedestal 51 is inserted into the installation groove 44. The pedestal 51 has a supporting protrusion 52 for protruding and fixing the thin plate 53, and the guide part 60 coupled to the seating plate 41 restricts the flow of the pedestal 51.

한편, 안착판(41)의 상방에는 베이스부(10)가 배치되고, 베이스부(10)에는 박판(53)이 관통되도록 베이스홀(11)이 형성된다.On the other hand, the base portion 10 is disposed above the seating plate 41, and the base portion 11 is formed in the base portion 10 so that the thin plate 53 passes therethrough.

기판(100)이 베이스부(10)에 안착되는 경우, 박판(53)은 베이스부(10) 아래에 위치된다(도 1 참조). 이때, 안착롤러(43)는 경사면(36)의 저점에 위치된다.When the substrate 100 is seated on the base portion 10, the thin plate 53 is positioned below the base portion 10 (see FIG. 1). At this time, the seating roller 43 is located at the bottom of the inclined surface 36.

상기한 상태에서, 길이조절기(34)의 길이가 변화되어 경사판(33)이 이동되면, 안착롤러(43)는 경사면(36)의 고점에 위치된다(도 2 참조).In the above state, when the length of the length adjuster 34 is changed to move the inclined plate 33, the seating roller 43 is located at the high point of the inclined surface 36 (see Fig. 2).

이로 인해, 안착롤러(43)는 상방으로 이동되어 이와 결합된 안착판(41)을 상승시킨다.For this reason, the mounting roller 43 moves upward and raises the mounting plate 41 couple | bonded with this.

안착판(41)이 상승되면, 안착판(41)에 장착된 받침부(50)의 박판(53)이 베이스홀(11)을 관통하여 기판(100)을 들어올리므로, 베이스부(10)에서 기판(100)이 이격된다.When the seating plate 41 is raised, the thin plate 53 of the base 50 mounted on the seating plate 41 passes through the base hole 11 and lifts up the substrate 100. The substrate 100 is spaced apart.

만일, 베이스부(10)에 기판(100)이 안착되지 않은 상태에서 박판(53)이 상승하여 베이스홀(11)을 관통하면, 이송용 로봇을 통해 이송된 기판(100)을 박판(53)이 지지한다.If the thin plate 53 rises and penetrates the base hole 11 in a state where the substrate 100 is not seated on the base unit 10, the thin plate 53 is transferred to the substrate 100 transferred through the transfer robot. I support this.

박판(53)이 상승하여 이송용 로봇을 통해 이송된 기판(100)을 지지한 후 하강되면, 기판(100)이 베이스부(10)에 안착된다.When the thin plate 53 is raised to support the substrate 100 transferred through the transfer robot and then descend, the substrate 100 is seated on the base portion 10.

한편, 베이스부(10)에 기판(100)이 안착된 상태에서 박판(53)이 상승하여 기판(100)을 들어올리면, 이송용 로봇이 기판(100)을 다음 공정으로 이동시킨다.On the other hand, when the thin plate 53 is raised in the state in which the substrate 100 is seated on the base portion 10 to lift the substrate 100, the transfer robot moves the substrate 100 to the next process.

한편, 받침부(50)의 받침대(51)에는 안착판(41)의 설치홈(44)에 대응되는 곡면(54)이 형성된다. Meanwhile, the curved surface 54 corresponding to the installation groove 44 of the seating plate 41 is formed in the pedestal 51 of the base 50.

따라서, 받침부(50)의 자중에 의해 받침대(51)가 균형을 유지하면, 박판(53)이 베이스홀(11)과 수직선상에 배치되므로, 박판(53)이 상승하면서 베이스부(10)와 간섭되는 것을 방지한다.
Therefore, when the pedestal 51 is balanced by the weight of the supporting part 50, since the thin plate 53 is disposed on the vertical line with the base hole 11, the base portion 10 is raised while the thin plate 53 is raised. To prevent interference.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be defined by the following claims.

10 : 베이스부 20 : 지지부
30 : 구동부 31 : 고정판
32 : 레일 33 : 경사판
34 : 길이조절기 40 : 안착부
41 : 안착판 42 : 삽입봉
50 : 받침부 51 : 받침대
52 : 받침돌기 53 : 박판
54 : 곡면 60 : 가이드부
61 : 가이드판 62 : 가이드돌기10: base portion 20: support portion
30 drive unit 31 fixed plate
32: rail 33: inclined plate
34: length adjuster 40: seating portion
41: mounting plate 42: insertion rod
50: base 51: support
52: base protrusion 53: sheet
54: curved surface 60: guide part
61: guide plate 62: guide protrusion

Claims (7)

기판이 안착되는 베이스부;
상기 베이스부를 관통하여 상기 기판을 지지하는 지지부; 및
상기 지지부를 상하방향으로 이동시키는 구동부를 포함하고,
상기 지지부는 상기 구동부에 안착되고, 상기 구동부에 의해 상하 이동되는 안착부; 및
상기 안착부에 안착되고, 상기 기판을 지지하는 받침부;
를 포함하며,
상기 안착부는 상기 구동부에 안착되고, 상측면에 중앙이 저점이 되도록 곡률을 가지는 설치홈이 형성되는 안착판을 포함하며,
상기 받침부는
상기 설치홈에 대응되는 곡면을 갖는 받침대;
상기 받침대의 상측에서 상방으로 돌출 형성되고 판홈이 길이방향으로 형성되는 받침돌기; 및
상기 판홈에 삽입되고, 상기 베이스부를 관통하여 상기 기판을 지지하는 박판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.A base part on which a substrate is mounted;
A support part for supporting the substrate through the base part; And
It includes a drive for moving the support in the vertical direction,
The support part is mounted to the driving unit, the mounting portion is moved up and down by the drive unit; And
A support part mounted on the seating part and supporting the substrate;
Including;
The seating portion is mounted to the drive unit, and includes a seating plate is formed with an installation groove having a curvature so that the center is the bottom point on the upper side,
The receiving portion
A pedestal having a curved surface corresponding to the installation groove;
A support protrusion protruding upward from the upper side of the pedestal and having a plate groove formed in a longitudinal direction; And
And a thin plate inserted into the plate groove and supporting the substrate through the base part. 제 1항에 있어서, 상기 지지부는
상기 안착부에 결합되어 상기 받침부의 이동을 제한하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.2. The apparatus of claim 1,
And a guide portion coupled to the seating portion to limit movement of the support portion. 제 2항에 있어서, 상기 안착부는
상기 안착판의 저면에서 하방으로 돌출 형성되는 삽입봉; 및
상기 안착판의 저면에서 하방으로 돌출 형성되는 안착롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 2, wherein the seating portion
An insertion rod protruding downward from the bottom of the seating plate; And
And a seating roller protruding downward from the bottom of the seating plate. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 박판의 두께는 0.5mm 내지 1.5mm인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
Substrate transport apparatus, characterized in that the thickness of the thin plate is 0.5mm to 1.5mm. 제 2항에 있어서, 상기 가이드부는
상기 안착판에 결합되고, 상기 받침대의 양단부에 근접 배치되는 가이드판; 및
상기 가이드판에서 돌출 형성되어 상기 받침돌기에 인접되도록 배치되는 가이드돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 2, wherein the guide portion
A guide plate coupled to the seating plate and disposed adjacent to both ends of the pedestal; And
And a guide protrusion protruding from the guide plate and disposed to be adjacent to the support protrusion. 제 3항에 있어서, 상기 구동부는
상기 삽입봉이 삽입되는 안내관이 형성되는 고정판;
상기 고정판에 설치되는 레일;
상기 레일을 따라 이동되고, 경사면이 상기 안착롤러에 접촉되는 경사판; 및
상기 고정판에 고정 설치되고, 상기 경사판에 결합되어 길이가 가변되는 길이조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
The apparatus as claimed in claim 3, wherein the driving unit
A fixing plate in which a guide tube into which the insertion rod is inserted is formed;
A rail installed on the fixing plate;
An inclined plate moved along the rail and having an inclined surface in contact with the seating roller; And
And a length adjuster fixed to the fixed plate and coupled to the inclined plate to have a variable length.
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