KR101361488B1 - 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치를 개시한다. 상기 도가니 교환장치는 베이스의 상부에 장착수단을 매개로 하여 일정높이로 고정되고, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 배치된 다수 개의 도가니셀을 구비한 셀장착판과; 이 셀장착판에 대해 수평이동 가능하도록 그 셀장착판의 상부에 수평이동수단을 매개로 하여 결합되고, 상기 셀장착판에 대해 상하이동 가능하도록 그 셀장착판에 제1 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 주 도가니 및 이 각 주 도가니 사이에 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 부 도가니를 구비한 도가니장착판과; 이 도가니장착판의 상부에 위치하고, 상기 베이스에 대해 상하이동 가능하도록 그 베이스에 제2 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 상기 주 도가니와 부 도가니중 어느 하나와 선택적으로 연통 가능한 개구부를 갖는 실드판과; 상기 수평이동수단, 제1 수직이동수단 및 제2 수직이동수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

유기박막, 증착공정, 도가니, 교환장치

Description

유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치{CRUCIBLE EXCHANGE APPARATUS FOR ORGANIC THIN FILM DEPOSITION PROCESS}

도 1은 종래기술에 따른 도가니 장치의 사용상태를 보여주는 개략 단면도.

도 2는 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 구성을 보여주는 개략 분해 사시도.

도 3은 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 개략 사시도.

도 4는 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 실드판이 상승된 상태를 보여주는 개략 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 도가니장착판이 상승된 상태를 보여주는 개략 사시도.

도 6은 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 도가니장착판이 수평 이동된 상태를 보여주는 개략 사시도.

도 7은 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 도가니장착판이 하강된 상태를 보여주는 개략 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 베이스 11: 장착수단

20: 셀장착판 21: 도가니셀

30: 도가니장착판 31: 주 도가니

32: 부 도가니 40: 실드판

60: 수평이동수단 70: 제1 수직이동수단

80: 제2 수직이동수단

본 발명은 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치에 관한 것으로, 특히 유기박막 증착용 진공챔버 내에 구비된 다수 개의 주 도가니의 일측에 추가적으로 다수 개의 부 도가니를 제공하여, 각 주 도가니 내의 유기물질이 소진되면 주 도가니를 부 도가니로 신속하고 편리하게 교체할 수 있도록 하는 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치에 관한 것이다.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광을 받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.

그 중에서, 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자보다 낮은 소비 전력 및 경량성인 데다 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초 박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광을 받고 있다.

이러한 유기발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다. 즉, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며 남는 여기 에너지가 빛으로 발생하는 것이다. 이때 유기 물질의 도판트(dopant)의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.

유기발광소자의 유기박막형성 방법에는 진공증착법(Vacuum Deposition Method), 스퍼터링법(sputtering Method) 등이 있다. 진공증착법은 현재 널리 사용되고 있는 기술로서, 유기물이 수용된 도가니의 주위를 가열하여 기화 또는 승화시켜 증기(기체) 상태의 유기물을 도가니의 상부에 위치한 기판에 증착하는 것이다.

좀더 구체적으로 설명하면, 종래기술에 따른 도가니 장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(도시되지 않음)의 내부에 설치되며, 이 진공챔버의 상부에는 기판(S)이 배치된다. 여기에서, 상기 도가니 장치(1)는 내부에 유기물(2)을 수용하고 상부에 분출구(3a)를 갖는 원통형상의 도가니(3)와, 이 도가니의 주위에 구비되는 히터(도시되지 않음)를 포함하는 구조로 이루어져 있다. 또한, 상기 도가니(3)는 기판(S)의 대응면에 균일한 두께의 유기층을 형성하기 위해 개구부분이 길게 구비되거나, 또는 다수 개의 형태로 구성되고, 유기물의 용량 또한 한정되어 있다.

전술한 바와 같이 구성된 종래기술의 도가니 장치(1)의 작동을 설명하면 다음과 같다. 상기 히터를 이용하여 도가니(3)의 주위를 가열하면, 도가니 안의 유기물(2)이 증발 또는 승화되어 증기상태로 상기 분출구(3a)를 통해 외부로 분출된다. 이때, 분출된 증기는 기판(S)의 대응면에 응고되어 유기박막(4)을 형성하는 것이다.

그러나, 종래기술에 따른 도가니 장치(1)는 해당 도가니(3) 안의 유기물(2)이 전부 소진되면 즉시 진공챔버의 작동을 정지시킨 후 사용된 도가니를 외부로부터 제공되는 새로운 도가니로 교체해야 하는 불편한 구조이었다. 그 때문에, 종래기술에 따른 도가니 장치(1)는 PM(Preventive Maintenance) 시간을 더 필요로 하여 작업자에게 큰 불편을 줄 뿐만 아니라, 그만큼의 장비가동시간도 짧아져 생산성을 떨어뜨리는 문제가 있었다.

이에, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 유기박막 증착용 진공챔버 내의 각 도가니 내의 유기물질이 소진되면 기사용된 도가니를 그 진공챔버 내의 새로운 도가니로 신속하고 편리하게 교체할 수 있도록 하는 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 유기박막 증착용 진공챔버의 PM시간을 줄일 수 있게 함과 아울러, 그만큼의 장비가동시간을 증대시켜 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치를 제공하는 것이다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 베이스의 상부에 장착수단을 매개로 하여 일정높이로 고정되고, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 배치된 다수 개의 도가니셀을 구비한 셀장착판과; 이 셀장착판에 대해 수평이동 가능하도록 그 셀장착판의 상부에 수평이동수단을 매개로 하여 결합되고, 상기 셀장착판에 대해 상하이동 가능하도록 그 셀장착판에 제1 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 주 도가니 및 이 각 주 도가니 사이에 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 부 도가니를 구비한 도가니장착판과; 이 도가니장착판의 상부에 위치하고, 상기 베이스에 대해 상하이동 가능하도록 그 베이스에 제2 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 상기 주 도가니와 부 도가니중 어느 하나와 선택적으로 연통 가능한 개구부를 갖는 실드판과; 상기 수평이동수단, 제1 수직이동수단 및 제2 수직이동수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 위의 본 발명의 일실시예에 대하여 다음의 구체적인 실시예들을 더 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 장착수단은 상기 베이스의 상부에 일정간격을 두고 구비된 적어도 3개의 보스와, 상기 셀장착판의 대응부분을 관통하여 해당 보스와 탈착 가능하게 고정되는 패스너로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 수평이동수단은 상기 셀장착판의 상부의 양측에 각각 구비된 수레일과, 상기 도가니장착판과 실드판의 일부분을 각각 슬라 이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 양측부에 각각 형성된 안내슬롯을 통해 수평이동 가능한 가이드바를 매개로 하여 상기 도가니장착판의 하부 양측에 각각 구비된 암레일과, 몸체부분이 상기 셀장착판의 상부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 해당 암레일의 일부분에 고정된 제1 에어실린더로 이루어지며, 상기 제1 수직이동수단은 몸체부분이 상기 암레일의 외부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 도가니장착판의 대응부분에 고정된 제2 에어실린더로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제2 수직이동수단은 하단부가 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바와, 몸체부분이 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 실드판의 대응부분에 고정된 제3 에어실린더로 이루어진 것을 특징으로 한다.

다른 실시예로, 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 수평이동수단은 상기 셀장착판의 상부의 양측에 각각 구비된 수레일과, 상기 도가니장착판과 실드판의 일부분을 각각 슬라이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 양측부에 각각 형성된 안내슬롯을 통해 수평이동 가능한 가이드바를 매개로 하여 상기 도가니장착판의 하부 양측에 각각 구비된 암레일과, 해당 암레일의 일측에 축선을 따라 구비된 제1 래크바와, 몸체부분이 상기 베이스의 일측부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제1 래크바와 맞물린 제1 구동모터로 이루어지며, 상기 제1 수직이동수단은 상기 도가니장착판의 일측에 직립되게 구비된 제2 래크바와, 몸체부분이 해당 암레일의 외부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제2 래크바와 맞물린 제2 구동모터로 이루어진 것을 특징으로 한다.

다른 실시예로, 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제2 수직이동수단은 하단부가 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판의 일부분을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바와, 상기 실드판의 일측에 직립되게 구비된 제3 래크바와, 몸체부분이 상기 베이스의 일측부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제3 래크바와 맞물린 제3 구동모터로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 수평이동수단, 제1 수직이동수단 및 제2 수직이동수단의 각 동력원을 통해 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동을 제어 가능하게 하는 작동프로그램이 기억된 마이콤과, 이 마이콤에 전기적으로 연결되어 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동에 대한 정보를 알리는 액정표시부와, 상기 마이콤과 전기적으로 연결되고 외부전원과의 연결 또는 차단을 가능하게 하며, 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동거리를 재조정 가능하게 하는 키입력부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 도가니 교환장치는 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동을 정밀 제어할 수 있도록 발신부와 수신부를 더 포함하며, 상기 각 발신부와 수신부는 상기 제어부의 마이콤과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 각 실시예를 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 구성을 보여주는 개략 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 개략 사시도이다.

본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 크게 셀장착판(20), 도가니장착판(30), 실드판(40) 및 제어부(도시되지 않음)로 이루어져 있다.

여기에서, 상기 셀장착판(20)은 베이스(10)의 상부에 장착수단(11)을 매개로 하여 일정높이로 고정된다. 상기 셀장착판(20)은 또한 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 배치되는 다수 개의 도가니셀(21)을 구비한다. 상기 각 도가니셀(21)은 주위에 히터(도시되지 않음)을 구비한다. 상기 베이스(10)는 판, 사각컬럼 등의 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 진공챔버(도시되지 않음)의 일부분인 것이 바람직하다.

상기 도가니장착판(30)은 셀장착판(20)에 대해 수평이동 가능하도록 그 셀장착판의 상부에 수평이동수단(60)을 매개로 하여 결합되고, 상기 셀장착판(20)에 대해 상하이동 가능하도록 그 셀장착판에 제1 수직이동수단(70)을 매개로 하여 결합된다. 또한, 상기 도가니장착판(30)은 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 주 도가니(31) 및 이 각 주 도가니 사이에 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 부 도가니(32)를 구비한다. 상기 각 주 도가니(31)와 부 도가니(32)는 상부부분 또는 하부부분이 상기 도가니장착판(30)으로부터 돌출된 형태 또는 그 도가니장착판의 대응면과 동일한 높이로 설치될 수 있다.

상기 실드판(40)은 도가니장착판(30)의 상부에 위치하고, 상기 베이스(10)에 대해 상하이동 가능하도록 그 베이스에 제2 수직이동수단(80)을 매개로 하여 결합된다. 또한, 상기 실드판(40)은 상기 주 도가니(31)와 부 도가니(32)중 어느 하나와 선택적으로 연통 가능한 개구부(40a)를 갖고 양측부에 각각 안내슬롯(40b)이 형성되어 있다.

상기 제어부는 상기 수평이동수단(60), 제1 수직이동수단(70) 및 제2 수직이동수단(80)의 해당 동력원(예컨대, 에어실린더, 구동모터 등)과 각각 전기적으로 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 한다. 상기 제어부는 크게 마이콤(도시되지 않음), 액정표시부(도시되지 않음) 및 키입력부(도시되지 않음)로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 마이콤은 상기 수평이동수단(60), 제1 수직이동수단(70) 및 제2 수직이동수단(80)의 각 동력원을 통해 상기 각 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 이동을 제어 가능하게 하는 작동프로그램이 저장된다. 상기 액정표시부는 마이콤에 전기적으로 연결되어 상기 각 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 이동에 대한 정보를 알리는 기능을 한다. 상기 키입력부는 마이콤과 전기적으로 연결되고 외부전원과의 연결 또는 차단을 가능하게 하며, 상기 각 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 이동거리를 재조정 가능하게 한다.

한편, 상기 장착수단(11), 수평이동수단(60), 제1 수직이동수단(70) 및 제2 수직이동수단(80)은 다음과 같이 더 구체화될 수 있다(도 2와 도 3 참조).

여기에서, 상기 장착수단(11)은 상기 베이스(10)의 상부에 일정간격을 두고 구비되고 중앙부분에 결합홀을 갖는 적어도 3개의 보스(12)와, 상기 셀장착판(20)의 대응부분을 관통하여 해당 보스(12)의 결합홀에 탈착 가능하게 고정되는 패스 너(13)로 이루어질 수 있다.

상기 수평이동수단(60)은 크게 수레일(61), 암레일(62) 및 제1 에어실린더(63)로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 수레일(61)은 상기 셀장착판(20)의 상부의 양측에 각각 구비된다. 상기 암레일(62)은 상기 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 일부분을 각각 슬라이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 해당 안내슬롯(40b)을 통해 수평이동 가능한 가이드바(64)를 매개로 하여 상기 도가니장착판(30)의 하부 양측에 각각 구비된다. 상기 제1 에어실린더(63)는 몸체부분이 상기 셀장착판(20)의 상부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 해당 암레일(62)의 일부분에 고정된다. 그에 따라, 상기 도가니장착판(30)은 전술한 바와 같은 수레일-암레일 구조를 통해 상기 제1 에어실린더(63)로부터 제공되는 외력에 의해 상기 셀장착판(20) 상에서 전후 또는 좌우로 수평이동될 수 있게 된다.

또한, 상기 수평이동수단(60)과 관련하여, 상기 제1 수직이동수단(70)은 몸체부분이 상기 암레일(62)의 외부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 도가니장착판(30)의 대응부분에 고정된 제2 에어실린더(71)로 이루어진다. 그에 따라, 상기 도가니장착판(30)은 상기 수레일-암레일 구조를 통해 상기 셀장착판(20) 상에서 수평이동 가능한 상태에서 상기 제2 에어실린더(71)로부터 제공되는 외력에 의해 상기 셀장착판(20)에 대해 승하강될 수 있게 된다.

상기 제2 수직이동수단(80)은 하단부가 상기 베이스(10)의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판(40)의 일부분을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바(81)와, 몸체부분이 상기 베이스(10)의 양측부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 실 드판(40)의 대응부분에 고정된 제3 에어실린더(82)로 이루어진다. 그에 따라, 상기 실드판(40)은 상기 제3 에어실린더(82)로부터 제공되는 외력에 의해 상기 베이스(10)에 대해 승하강될 수 있게 된다.

상기 각 제1 에어실린더(63), 제2 에어실린더(71) 및 제3 에어실린더(82)와 상기 제어부는 각각 공지된 기술의 해당 스위칭밸브블록(도시되지 않음)을 매개로 하여 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 각 스위칭밸브블록은 해당 공급호스(도시되지 않음)를 매개로 하여 작동유체공급원(예컨대, 에어콤프레셔)과 연결되어 상기 각 에어실린더(63,71,82)로 일정압력의 공기를 공급할 수 있게 한다.

한편, 다른 실시예로, 상기 수평이동수단(60), 제1 수직이동수단(70) 및 제2 수직이동수단(80)은 다음과 같이 더 구체화될 수 있다(도 2와 도 3 참조).

여기에서, 상기 수평이동수단(60)은 크게 수레일(61), 암레일(62), 제1 래크바(도시되지 않음) 및 제1 구동모터(도시되지 않음)로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 수레일(61)은 상기 셀장착판(20)의 상부의 양측에 각각 구비된다. 상기 암레일(62)은 상기 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 일부분을 각각 슬라이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 해당 안내슬롯(40b)을 통해 수평이동 가능한 가이드바(64)를 매개로 하여 상기 도가니장착판(30)의 하부 양측에 각각 구비된다. 상기 제1 래크바는 해당 암레일(62)의 일측에 축선을 따라 구비된다. 상기 제1 구동모터는 출력단에 피니언을 구비하며, 몸체부분이 상기 베이스(10)의 일측부에 고정되고 피니언이 상기 제1 래크바와 맞물린다. 그에 따라, 상기 도가니장착판(30)은 전술한 바와 같은 수레일-암레일 구조를 통해 수평이동 가능한 상태에서, 상기 제1 구 동모터-제1 래크바 구조를 통해 상기 제1 구동모터로부터 제공되는 외력에 의해 상기 셀장착판(20) 상에서 전후 또는 좌우로 수평이동될 수 있게 된다.

또한, 상기 수평이동수단(60)과 관련하여, 상기 제1 수직이동수단(70)은 상기 도가니장착판(30)의 일측에 직립되게 구비된 제2 래크바(도시되지 않음)와, 출력단에 피니언을 구비하며, 몸체부분이 해당 암레일(62)의 외부에 고정되고 피니언이 상기 제2 래크바와 맞물리는 제2 구동모터(도시되지 않음)로 이루어진다. 그에 따라, 상기 도가니장착판(30)은 상기 수레일-암레일 구조를 통해 상기 셀장착판(20) 상에서 수평이동 가능한 상태에서, 상기 제2 구동모터-제2 래크바 구조를 통해 상기 제2 구동모터로부터 제공되는 외력에 의해 상기 셀장착판(20)에 대해 승하강될 수 있게 된다.

상기 제2 수직이동수단(80)은 하단부가 상기 베이스(10)의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판(40)의 일부분을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바(64)와, 상기 실드판(40)의 일측에 직립되게 구비된 제3 래크바(도시되지 않음)와, 몸체부분이 상기 베이스(10)의 일측부에 고정되며, 출력단에 피니언이 구비되고 그 피니언이 상기 제3 래크바와 맞물린 제3 구동모터(도시되지 않음)로 이루어진다. 그에 따라, 상기 실드판(40)은 상기 제3 구동모터-제3 래크바 구조를 통해 상기 제3 구동모터로부터 제공되는 외력에 의해 상기 베이스(10)에 대해 승하강될 수 있게 된다.

다른 한편, 본 발명에 따른 도가니 교환장치는 상기 각 도가니장착판(30)과 실드판(40)의 이동을 정밀 제어할 수 있도록 발신부(도시되지 않음)와 수신부(도시 되지 않음)를 더 포함하는 형태로 구성될 있다. 이 경우, 상기 각 발신부와 수신부는 상기 제어부의 마이콤과 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 각 발신부와 수신부는 가동부분(도가니장착판과 실드판)과 고정부분(베이스와 셀장착판)에 상호 대응되게 구성될 수 있다.

전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치의 바람직한 작동과정을 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이 조립된 본 발명에 따른 도가니 교환장치를 진공챔버(도시되지 않음) 내에 설치한 후, 제어부를 이용하여 상기 진공챔버와 도가니 교환장치에 전류를 인가한다. 이때, 상기 도가니 교환장치의 도가니장착판(30)에 각각 일정 어레이 형태로 배치된 각 주 도가니(31)와 부 도가니(32)에는 해당 유기물이 채워져 있다.

그런 다음, 상기 진공챔버의 상부부분에 글라스패널(도시되지 않음)을 위치시킨 상태에서 그 진공챔버의 내부를 진공화한 후, 제어부를 이용하여 셀장착판(20)의 각 도가니셀(21)의 히터(도시되지 않음)에 전류를 인가한다. 이때, 상기 각 도가니셀(21)에는 해당 주 도가니(31)가 수용되어 있다.

그러면, 상기 각 도가니셀(21)에 의해 가열된 해당 주 도가니(31)로부터 유기물이 증발 또는 승화되어 증기상태로 분출되게 되며, 그 결과 상기 글라스패널의 대응면에 일정두께의 유기박막이 형성된다. 이어서, 해당 글라스패널에 대한 유기박막 증착공정이 완료되면, 수작업을 통해 또는 로봇을 이용하여 증착이 완료된 글 라스패널을 진공챔버로부터 분리시킨다.

그런 다음, 상기 제어부를 이용하여 그 제어부의 마이콤에 미리 기억된 주 도가니-부 도가니 교환 명령프로그램을 통해 도가니 교환장치를 작동시킨다. 그러면, 실드판(40)이 제2 수직이동수단(80)을 통해 베이스(10)로부터 일정높이로 상승되어 정지된다(도 4 참조).

이어서, 도가니장착판(30)이 제1 수직이동수단(70)을 통해 상기 베이스(10)의 셀장착판(20)으로부터 상기 실드판(40)의 하부 근방까지 상승되어 정지된다. 이어서, 상기 도가니장착판(30)은 그 도가니장착판의 각 부 도가니(32)가 상기 셀장착판(20)의 해당 도가니셀(21)과 정렬되도록 수평이동수단(60)을 통해 일정 수평방향으로 이동되어 정지된다(도 5와 도 6 참조).

이어서, 상기 도가니장착판(30)은 상기 각 부 도가니(32)가 상기 셀장착판(20)의 해당 도가니셀(21)에 수용되도록 상기 제1 수직이동수단(70)을 통해 하강되어 정지된다. 이때, 상기 각 주 도가니(31)는 해당 도가니셀(21) 사이의 빈공간, 또는 인접공간에 위치한다(도 7 참조).

이어서, 상기 실드판(40)은 도 3에서와 같이 도가니장착판(30)의 각 부 도가니(32)의 상부 근방까지 하강되어 정지된다. 그런 다음, 앞서의 증착공정에서와 같이, 상기 진공챔버의 상부부분에 새로운 글라스패널을 위치시킨 상태에서 그 진공챔버의 내부를 진공상태로 만든 후, 새로운 글라스패널에 대한 유기박막 증착공정을 진행하면 된다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서의 단순 치환, 변형 및 변경은 당 분야에서의 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이다.

전술한 바와 같이, 본 발명은 앞서의 글라스패널에 대한 유기박막 증착공정을 통해 진공챔버 내에 구비된 각 주 도가니 내의 유기물질이 소진되면 새로운 글라스패널에 대한 유기박막 증착공정을 위해 기사용된 주 도가니를 그 진공챔버 내에 구비된 부 도가니로 신속하고 편리하게 교체할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 유기박막 증착공정을 위한 진공챔버의 PM시간을 줄일 수 있게 할 뿐만 아니라, 그만큼의 장비가동시간을 증대시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 한다.

Claims (8)

1. 베이스의 상부에 장착수단을 매개로 하여 일정높이로 고정되고, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 배치된 다수 개의 도가니셀을 구비한 셀장착판과;

   이 셀장착판에 대해 수평이동 가능하도록 그 셀장착판의 상부에 수평이동수단을 매개로 하여 결합되고, 상기 셀장착판에 대해 상하이동 가능하도록 그 셀장착판에 제1 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 내측부분의 주위에 상호 일정 이격거리를 두고 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 주 도가니 및 이 각 주 도가니 사이에 탈착 가능하게 배치된 다수 개의 부 도가니를 구비한 도가니장착판과;

   이 도가니장착판의 상부에 위치하고, 상기 베이스에 대해 상하이동 가능하도록 그 베이스에 제2 수직이동수단을 매개로 하여 결합되며, 상기 주 도가니와 부 도가니중 어느 하나와 선택적으로 연통 가능한 개구부를 갖는 실드판과;

   상기 수평이동수단, 제1 수직이동수단 및 제2 수직이동수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부

   를 포함하는 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 장착수단은 상기 베이스의 상부에 일정간격을 두고 구비된 적어도 3개의 보스와, 상기 셀장착판의 대응부분을 관통하여 해당 보스와 탈착 가능하게 고정되는 패스너로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 수평이동수단은 상기 셀장착판의 상부의 양측에 각각 구비된 수레일과, 상기 도가니장착판과 실드판의 일부분을 각각 슬라이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 양측부에 각각 형성된 안내슬롯을 통해 수평이동 가능한 가이드바를 매개로 하여 상기 도가니장착판의 하부 양측에 각각 구비된 암레일과, 몸체부분이 상기 셀장착판의 상부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 해당 암레일의 일부분에 고정된 제1 에어실린더로 이루어지며, 상기 제1 수직이동수단은 몸체부분이 상기 암레일의 외부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 도가니장착판의 대응부분에 고정된 제2 에어실린더로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제2 수직이동수단은 하단부가 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바와, 몸체부분이 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 가동로드의 선단이 상기 실드판의 대응부분에 고정된 제3 에어실린더로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 수평이동수단은 상기 셀장착판의 상부의 양측에 각각 구비된 수레일과, 상기 도가니장착판과 실드판의 일부분을 각각 슬라이딩 가능하게 관통함과 아울러 그 실드판의 양측부에 각각 형성된 안내슬롯을 통해 수평이동 가능한 가이드바를 매개로 하여 상기 도가니장착판의 하부 양측에 각각 구비된 암레일과, 해당 암레일의 일측에 축선을 따라 구비된 제1 래크바와, 몸체부분이 상기 베이스의 일측부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제1 래크바와 맞물린 제1 구동모터로 이루어지며, 상기 제1 수직이동수단은 상기 도가니장착판의 일측에 직립되게 구비된 제2 래크바와, 몸체부분이 해당 암레일의 외부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제2 래크바와 맞물린 제2 구동모터로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 제2 수직이동수단은 하단부가 상기 베이스의 양측부에 각각 고정되고 상기 실드판의 일부분을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바와, 상기 실드판의 일측에 직립되게 구비된 제3 래크바와, 몸체부분이 상기 베이스의 일측부에 고정되며, 출력단에 피니언을 구비하고 그 피니언이 상기 제3 래크바와 맞물린 제3 구동모터로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 수평이동수단, 제1 수직이동수단 및 제2 수직이동수단의 각 동력원을 통해 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동을 제어 가능하게 하는 작동프로그램이 기억된 마이콤과, 이 마이콤에 전기적으로 연결되어 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동에 대한 정보를 알리는 액정표시부와, 상기 마이콤과 전기적으로 연결되고 외부전원과의 연결 또는 차단을 가능하게 하며, 상 기 각 도가니장착판과 실드판의 이동거리를 재조정 가능하게 하는 키입력부로 이루어진 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 각 도가니장착판과 실드판의 이동을 정밀 제어할 수 있도록 발신부와 수신부를 더 포함하며, 상기 각 발신부와 수신부는 상기 제어부의 마이콤과 전기적으로 연결된 것인 유기박막 증착공정을 위한 도가니 교환장치.

Images