KR101358429B1 - An optical system to examine the four sides of the object - Google Patents

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KR101358429B1
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Abstract

The present invention relates to an optical system to examine the four sides of an object. According to one embodiment of the present invention, the optical system to examine the four sides of an object includes a lens (10), a camera (20) combined with the back side of the lens, and a combination part (30). An installation part includes an installation frame (53); a lower plate (57); and an upper plate.

Description

4면 광학계{An optical system to examine the four sides of the object}An optical system to examine the four sides of the object}

본 발명은 4면 광학계에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 프리즘미러의 반사영역을 벗어난 물체의 전후좌우 방향에 조명을 각각 설치하여 물체의 절단된 4면에 동일한 조사량을 가진 빛을 중첩하여 조사시켜줄 수 있을 뿐만 아니라, 4개의 사이드프리즘미러와 1개의 센터프리즘미러를 통해 물체의 절단된 4면으로 조사되어 렌즈로 반사되는 조명의 입사광 거리를 동일하게 이룰 수 있으므로 반도체와 같은 전자부품의 4면 외관 검사를 신속하고 정확하게 이룰 수 있으며, 물체의 4면을 하나의 카메라로 촬영할 수 있어 영상처리 프로그램이 간단해짐은 물론 신속한 처리가 가능하고, 소형 및 소종의 구성결합을 통해 컴팩트한 제작과 설치를 용이하게 이룰 수 있어 제작비용을 절감할 수 있는 4면 광학계에 관한 것이다.
The present invention relates to a four-sided optical system, and more specifically, to install the illumination in the front, rear, left and right directions of the object outside the reflection region of the prism mirror to irradiate light having the same irradiation amount on the cut four sides of the object In addition, the four-sided appearance of electronic parts such as semiconductors can be achieved by equalizing the incident light distance of the light which is irradiated to the cut four sides of the object and reflected by the lens through four side prism mirrors and one center prism mirror. Inspection can be done quickly and accurately, and the four sides of the object can be photographed with one camera, simplifying the image processing program as well as speeding up the process. The present invention relates to a four-sided optical system that can achieve the manufacturing cost.

일반적으로, 광학 검사 장비를 사용하여 반도체 소자의 불량을 검사하는 방 법으로는 검사 대상인 반도체 소자의 특정 부분에 빛을 비추어 그 직반사되는 빛의 양을 이용하는 브라이트 필드(Bright Field)방식과, 검사 대상인 반도체 소자의 특정 부분에 빛을 비추어 난 반사되는 빛의 양을 이용하는 다크 필드(Dark Field)방식이 사용된다.In general, a method of inspecting a defect of a semiconductor device by using an optical inspection device includes a bright field method that uses a quantity of light reflected directly from a specific part of the semiconductor device to be inspected, and inspects the defect. A dark field method is used, which uses an amount of light reflected from a specific portion of a semiconductor device as a target.

도 1은 브라이트 필드 방식에 의하여 반도체 소자의 결함을 검사하는 방법을 도시하며, 도 2는 다아크 필드 방식에 의하여 반도체 소자의 결함을 검사하는 방법을 도시하며, 이러한 검사 방법은 일반적이므로 구체적인 설명은 생략한다.1 illustrates a method of inspecting a defect of a semiconductor device by a bright field method, and FIG. 2 illustrates a method of inspecting a defect of a semiconductor device by a dark field method. Omit.

그리고, 반도체 소자의 흠결을 검사하기 위하여는 이러한 방식 중의 하나를 채택하여 반도체 소자로부터 반사 또는 산란 되어 광학 검사 장비의 센서에 도달된 빛의 양을 검사하는 것이 통상적인데, 센서에 도달된 빛의 양을 검사하여 불량을 검사하는 일반적인 방법으로는 센서에 도달되는 빛의 양(즉, 광자의 수)에 따라서 일정 구간으로 나누어 레벨화 시킨 후, 광 조사되는 검사 영역(scan area)의 최소 단위 영역인 픽셀마다 기준 값을 부여한 다음, 인접 영역의 기준 값을 서로 비교하여 차이가 소정의 임계치를 초과하는 경우에는 불량이 있는 것으로 인식하는 원리를 가진다.In order to inspect the defect of the semiconductor device, it is common to inspect the amount of light that has been reflected or scattered from the semiconductor device and reaches the sensor of the optical inspection equipment by using one of these methods. In the general method of inspecting defects, the level is divided into levels according to the amount of light reaching the sensor (ie, the number of photons), and then leveled. A reference value is assigned to each pixel, and then the reference values of adjacent areas are compared with each other, and when the difference exceeds a predetermined threshold, a principle of recognizing that there is a defect is provided.

한편, 일반적인 3차원 형상의 측정은 투영격자와 기준격자를 이용하여 측정되는 것으로써, 모아레 무늬를 획득함으로써 이루어진다. 즉, 측정대상물에 광을 영사하는 중에 광이 투영격자를 통과하면 3차원 형상의 측정대상물에 격자 줄무늬가 나타나고, 입체면을 따라 변형된 격자 줄무늬가 다시 기준격자를 통과하면서 모아레 무늬로 합성되는 것을 이용한다.On the other hand, the measurement of a general three-dimensional shape is measured by using a projection grid and a reference grid, by obtaining a moire fringe. That is, when light passes through the projection grid while projecting light onto the measurement object, the lattice stripes appear on the measurement object having a three-dimensional shape, and the lattice stripes deformed along the three-dimensional plane pass through the reference grid to be synthesized into a moire pattern. I use it.

그리고, 이렇게 합성된 모아레 무늬를 CCD 카메라와 같은 광검출장치를 통해 획득하면 3차원형상을 측정할 수 있는데, 도 3을 참조하여 입체 형상 검사 장치의 구성을 살펴보면, 렌즈(110)와 카메라(120)로 이루어지는 광검출장치(100)와 패턴광 영사기(200)를 포함한다.In addition, the three-dimensional shape can be measured by acquiring the synthesized moire pattern through a light detection device such as a CCD camera. Referring to FIG. 3, the configuration of the three-dimensional shape inspection device is described with the lens 110 and the camera 120. It includes a light detecting device 100 and a patterned light projector (200) consisting of.

여기서, 패턴광 영사기(200)는 측정대상물 표면에 일정한 주기의 줄무늬를 영사시킬 수 있는 장치들로서, 이미 널리 공지된 기술로서 하나의 실시예로 대한민국등록 특허 제0371078호에 도시된 "회전다면경을 이용한 직선 줄무늬 생성 장치 및 방법"에 개시된 바 있으며, 회전다면경(210)과 광원(220)과 광경로 인식을 위한 수광부(230)로 구성된다.Here, the patterned light projector 200 is a device capable of projecting stripes of a certain period on the surface of the measurement object, a technique known in the Republic of Korea Registered Patent No. 0371078 as an embodiment of the already well known technology as one embodiment It has been disclosed in "Linear stripe generating apparatus and method using", and comprises a rotating multi-faceted mirror 210, a light source 220 and a light receiving unit 230 for optical path recognition.

이러한 구성에 따르면, 측정대상물(P)의 일측에 구비된 패턴광 영사기(200)에서 일정 주기를 갖는 줄무늬로 이루어지는 패턴광을 측정대상물(P) 표면에 영사하여 광검출장치(100)가 측정대상물(P)의 입체 형상에 의해 변형되는 줄무늬 패턴을 검출할 수 있으며, 이렇게 검출된 변형 줄무늬 패턴을 분석함으로써 입체 형상을 측정할 수 있다.According to this configuration, the pattern light projector 200 provided on one side of the measuring object (P) is projected on the surface of the measuring object (P) by the pattern light consisting of stripes having a predetermined period to the light detecting device 100 is measured object The stripe pattern deformed by the three-dimensional shape of (P) can be detected, and the three-dimensional shape can be measured by analyzing the detected deformed striped pattern.

그런데, 이러한 종래의 패턴광 영사기를 이용한 입체 형상 측정 방법에서는, 측정대상물이 입체 형상을 가짐에 따라 패턴광 영사기에서 영사되는 패턴광 입체면에 균일하게 전달되지 못하는 단점이 있다. 즉, 패턴광 영사기(200)가 측정대상물(P)의 일측에 위치하기 때문에 패턴광 영사기로(200)부터 영사되는 패턴광이 도 1의 "A"부와 같이 입체면에 의해 가려지는 부분에는 잘 영사되지 않아 그림자 영역이 발생하므로, 패턴광이 잘 영사되지 않는 영역에 대한 측정 정확도가 떨어지게 되는 문제가 있다.By the way, in the conventional three-dimensional shape measuring method using a patterned light projector, there is a disadvantage that it is not uniformly transmitted to the patterned light three-dimensional surface projected by the patterned light projector as the measurement object has a three-dimensional shape. That is, since the pattern light projector 200 is located on one side of the measurement object P, the pattern light projected from the pattern light projector 200 is covered by the three-dimensional surface as shown in part "A" of FIG. 1. Since the shadow area is generated because it is not projected well, there is a problem that the measurement accuracy for the area where the pattern light is not projected is poor.

이에, 종래에는 그림자 영역을 개선하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이 측정대상물을 (a)와 같이 위치시키고, 하나의 영상(가)을 획득한 후에, (b)와 같이 측정대상물을 회전시킨 후 또 하나의 영상(나)을 획득하여, 각각 획득된 두 개의 영상(가), (나)를 (다)와 같이 합성함으로써 그림자 영역 발생에 따른 측정 정확도 저하 문제를 개선하고 있다.
Thus, in order to improve the shadow area, the measurement object is positioned as shown in FIG. 4 as shown in FIG. 4 and one image (a) is obtained, and then the measurement object is rotated as shown in (b). By obtaining another image (b) and synthesizing the two acquired images (a) and (b) as shown in (c), the problem of deterioration of measurement accuracy due to shadow area generation is improved.

그러나, 이와 같은 기술은 그림자 영역에 의한 문제점을 개선하기 위하여 측정대상물을 회전시켜야 하므로, 측정 시간이 오래 걸려 효율성이 떨어지는 문제가 지적되었다.However, such a technique has been pointed out that the measurement object is required to rotate the object in order to improve the problem caused by the shadow area, so that the measurement time is long and the efficiency decreases.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이 제 1 패턴광 영사기(200a)와 제 2 패턴광 영사기(200b)를 각각 측정대상물의 일측과 타측에 위치시키고, 제 1 패턴광 영사기(200a)를 구동하여 획득된 제 1 영상(가)과, 제 2 패턴광 영사기(200b)를 구동하여 획득된 제 2 영상(나) 각각을 획득하고, 제 1 영상(가)과 제 2 영상(나)을 합성함으로써 측정대상물을 회전시키지 않고 그림자 영역 발생에 따른 측정 정확도 저하 문제를 개선하는 방법도 연구되었으나, 이러한 이 기술은 측정대상물을 회전시키지 않고도 측정 정확도를 개선하기 위해 2개의 패턴광 영사기를 구비해야 하는 단점이 있다. 즉, 값비싼 회전다면경을 양측에 구비해야 하므로 장비의 비용이 높아지는 문제가 있었다.In addition, as shown in FIG. 5, the first patterned light projector 200a and the second patterned light projector 200b are positioned on one side and the other side of the measurement object, respectively, and are obtained by driving the first patterned light projector 200a. The first image (a) and the second patterned light projector 200b to obtain the second image (b) obtained by each of the first image (a) and the first image (a) and the second image (b). A method of improving the measurement accuracy deterioration problem caused by the shadow area without rotating the object has been studied, but this technique has the disadvantage of having two pattern light projectors to improve the measurement accuracy without rotating the measurement object. . In other words, the cost of the equipment is high because the expensive rotating polyhedron should be provided on both sides.

아울러, 상술한 두 방법은 영상을 한 번에 획득하지 못하고 두 개의 영상을 각각 획득한 후 두 개의 형상을 합성해야 하므로 측정 효율성이 떨어지는 문제점이 있었다.
In addition, the two methods described above have a problem in that the measurement efficiency is inferior because the two shapes must be synthesized after acquiring the two images, instead of acquiring the images at once.

본 발명의 4면 광학계는 프리즘미러의 반사영역을 벗어난 물체의 전후좌우 방향에 조명을 각각 설치하여 물체의 절단된 4면에 동일한 조사량을 가진 빛을 중첩하여 조사시켜줄 수 있을 뿐만 아니라, 4개의 사이드프리즘미러와 1개의 센터프리즘미러를 통해 물체의 절단된 4면으로 조사되어 렌즈로 반사되는 조명의 입사광 거리를 동일하게 이룰 수 있으므로 반도체와 같은 전자부품의 4면 외관 검사를 신속하고 정확하게 이룰 수 있는 목적이 있다.In the four-sided optical system of the present invention, the illumination is installed in the front, rear, left, and right directions of the object outside the reflection area of the prism mirror, and the four sides of the object can be irradiated with overlapping light having the same irradiation amount, and the four sides Through the prism mirror and one center prism mirror, it is possible to achieve the same incident light distance of the illumination reflected by the cut four sides of the object to the lens, so that it is possible to quickly and accurately inspect the four-sided appearance of electronic components such as semiconductors. There is a purpose.

또한, 본 발명은 물체의 4면을 하나의 카메라로 촬영할 수 있어 영상처리 프로그램이 간단해짐은 물론, 신속한 처리가 가능하고, 소형 및 소종의 구성결합을 통해 컴팩트한 제작을 이룰 수 있는 4면 광학계를 제공하는데 목적이 있다.In addition, the present invention can be photographed on the four sides of the object with a single camera to simplify the image processing program, as well as rapid processing, four-sided optical system that can achieve a compact production through the combination of small and small The purpose is to provide.

아울러, 본 발명은 광학검사가 이루어지는 설치부의 설치프레임에 제1, 3, 4조명설치부와 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부(52a, 52b, 52c, 52d)를 구성하고, 하판플레이트에는 조명안착설치부와 사이드프리즘미러안착설치부와 센터프리즘미러안착설치부를 각각 구성하는 것으로, 조명부와 사이드프리즘미러부와 센터프리즘미러의 설치를 손쉽게 이룰 수 있으므로 제작과 설치가 용이해져 제작비용을 절감할 수 있는 4면 광학계를 제공하는데 목적이 있다.In addition, the present invention constitutes the first, third, fourth and fourth lighting prism portions 52a, 52b, 52c, 52d in the mounting frame of the mounting portion that the optical inspection is performed, the lower plate The plate consists of a lighting seat mounting part, a side prism mirror seat mounting part, and a center prism mirror seat mounting part, respectively.The installation of the lighting part, the side prism mirror part, and the center prism mirror can be easily performed, making production and installation easier. The purpose is to provide a four-sided optical system that can be reduced.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 광학검사장치가 연결부를 통해 렌즈의 전방에 고정설치되며, 물체의 삽탈을 위한 관통홀을 상하로 형성한 설치부; 상기 설치부에 형성된 관통홀의 전,후,좌,우 방향에 설치되어 물체에 빛을 조사하는 제1, 2, 3, 4조명으로 이루어진 조명부; 상기 설치부의 관통홀 전방 좌측에 설치되어 물체의 제1면을 통해 반사되는 제1, 3조명의 입사광을 렌즈로 반사시키는 제1반사면을 형성한 제1사이드프리즘과, 상기 관통홀을 기준으로 제1사이드프리즘에 대향되게 설치되어 물체의 제2면을 통해 반사되는 제1, 4조명의 입사광을 렌즈로 반사시키는 제2반사면을 형성한 제2사이드프리즘과, 상기 설치부의 관통홀 후방 좌측에 설치되어 물체의 제3면을 통해 반사되는 제2, 3조명의 입사광을 반사시키는 제3반사면을 형성한 제3사이드프리즘과, 상기 관통홀을 기준으로 제3사이드프리즘에 대향되게 설치되어 물체의 제4면을 통해 반사되는 제2, 4조명의 입사광을 반사시키는 제4반사면을 형성한 제4사이드프리즘으로 구성된 사이드프리즘미러부; 상기 제3, 4사이드프리즘의 사이에 설치되어 제3, 4반사면을 통해 각각 반사된 입사광을 각각 렌즈로 반사시키는 제1, 2센터반사면을 형성한 센터프리즘미러;를 구성하여 상기 물체의 제1, 2, 3, 4면에서부터 반사되어 렌즈까지 도달하는 조명부의 입사광 거리가 서로 동일하게 이루어지며, 상기 설치부는, 후면에 개구를 형성하여 연결부에 고정설치되며, 내측면에는 제1, 3, 4조명이 각각 밀착설치되는 제1, 3, 4조명설치부와, 제1, 2, 3, 4사이드프리즘이 각각 밀착설치되는 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부를 구성한 설치프레임; 상기 설치프레임의 하부에 결합설치되며, 상면에는 조명부가 안착설치되는 조명안착설치부와, 사이드프리즘미러부가 안착설치되는 사이드프리즘미러안착설치부와, 센터프리즘미러가 안착설치되는 센터프리즘미러안착설치부를 구성한 하판플레이트; 물체가 삽탈되는 관통홀을 관통형성하여 설치프레임의 상부에 결합설치되는 상판플레이트;로 이루어진 것에 특징이 있는 4면 광학계를 제공한다.
The present invention for achieving the above object is the optical inspection device is fixed to the front of the lens through the connecting portion, the installation portion formed through holes for insertion and removal of the object up and down; An illumination unit installed in front, rear, left and right directions of the through hole formed in the installation unit and configured to illuminate an object with first, second, third and fourth lights; A first side prism formed at a front left side of the through hole of the mounting unit and having a first reflection surface reflecting first and three light incident light reflected through the first surface of the object to the lens; A second side prism provided opposite to the first side prism and having a second reflection surface for reflecting the first and fourth light incident light reflected through the second surface of the object to the lens; A third side prism disposed at the third side prism, the third reflection surface reflecting second and three light incident light reflected through the third surface of the object, and opposed to the third side prism based on the through hole; A side prism mirror unit including a fourth side prism forming a fourth reflection surface reflecting second and four light incident light reflected through a fourth surface of the object; A center prism mirror disposed between the third and fourth side prisms to form first and second center reflection surfaces respectively reflecting incident light reflected through the third and fourth reflection surfaces to the lens, respectively. The incident light distances of the lighting parts that are reflected from the first, second, third, and fourth surfaces to reach the lens are equal to each other, and the installation part has an opening at a rear surface thereof and is fixed to the connection part, and the first and third surfaces are provided on the inner side. A mounting frame comprising first, third, fourth and fourth light prism mounting parts in which four lights are installed in close contact with each other, and first, second, third and fourth side prism mounting parts in which the first, second, third and fourth side prisms are in close contact with each other; It is coupled to the lower portion of the installation frame, the upper surface of the lighting seating mounting portion is installed in the lighting unit, the side prism mirror seating installation portion is installed in the side prism mirror portion, the center prism mirror seating installation in which the center prism mirror is installed A lower plate comprising a portion; It provides a four-sided optical system characterized in that consisting of; the upper plate to be coupled to the upper portion of the installation frame to form a through-hole through which the object is inserted.

본 발명의 4면 광학계는 프리즘미러의 반사영역을 벗어난 물체의 전후좌우 방향에 조명을 각각 설치하여 물체의 절단된 4면에 동일한 조사량을 가진 빛을 중첩하여 조사시켜줄 수 있을 뿐만 아니라, 4개의 사이드프리즘미러와 1개의 센터프리즘미러를 통해 물체의 절단된 4면으로 조사되어 렌즈로 반사되는 조명의 입사광 거리를 동일하게 이룰 수 있으므로 반도체와 같은 전자부품의 4면 외관 검사를 신속하고 정확하게 이룰 수 있는 장점이 있다.In the four-sided optical system of the present invention, the illumination is installed in the front, rear, left, and right directions of the object outside the reflection area of the prism mirror, and the four sides of the object can be irradiated with overlapping light having the same irradiation amount, and the four sides Through the prism mirror and one center prism mirror, it is possible to achieve the same incident light distance of the illumination reflected by the cut four sides of the object and reflected by the lens. There is an advantage.

또한, 본 발명은 물체의 4면을 하나의 카메라로 촬영할 수 있어 영상처리 프로그램이 간단해짐은 물론, 신속한 처리가 가능하고, 소형 및 소종의 구성결합을 통해 컴팩트한 제작을 이룰 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention can be photographed on the four sides of the object with a single camera to simplify the image processing program, as well as rapid processing, there is an advantage that can be made compact through a small and small composition combination .

아울러, 본 발명은 광학검사가 이루어지는 설치부의 설치프레임에 제1, 3, 4조명설치부와 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부를 구성하고, 하판플레이트에는 조명안착설치부와 사이드프리즘미러안착설치부와 센터프리즘미러안착설치부를 각각 구성하는 것으로, 조명부와 사이드프리즘미러부와 센터프리즘미러의 설치를 손쉽게 이룰 수 있으므로 제작과 설치가 용이해져 제작비용을 절감할 수 있는 유용한 발명이다.
In addition, the present invention comprises the first, third, fourth lighting installation unit and the first, second, third, fourth side prism mounting portion in the mounting frame of the mounting portion that the optical inspection is performed, the lower plate is a lighting seat mounting portion and the side prism mirror It is a useful invention that makes the installation of the lighting unit, the side prism mirror and the center prism mirror can be easily installed by configuring the seating installation part and the center prism mirror seating installation part, thereby reducing the manufacturing cost.

도 1은 종래의 브라이트 필드 방식에 의하여 반도체 소자의 결함을 검사하는 방법을 도시한 상태도.
도 2는 종래의 다크 필드 방식에 의하여 반도체 소자의 결함을 검사하는 방법을 도시한 상태도.
도 3은 종래의 입체 형상 검사 장치의 일부 구성도.
도 4 및 도 5는 종래 기술에 따른 입체 형상 검사 방법을 실시예도.
도 6은 본 발명의 4면 광학계를 도시한 사시도.
도 7은 본 발명의 광학검사장치의 내부가 보이도록 도시한 사시도.
도 8은 본 발명의 4면 광학계를 분해 도시한 사시도.
도 9는 본 발명의 설치부를 분해 도시한 사시도.
도 10은 본 발명의 광학 검사장치를 내부를 도시한 평면도.
도 11은 본 발명의 물체에 구성된 제1, 2, 3, 4면에서부터 프리즘미러에 반사되어 렌즈까지 도달하는 입사광을 표현한 상태도.1 is a state diagram showing a method for inspecting a defect of a semiconductor device by a conventional bright field method.
2 is a state diagram illustrating a method for inspecting a defect of a semiconductor device by a conventional dark field method.
3 is a partial configuration diagram of a conventional three-dimensional shape inspection device.
4 and 5 is an embodiment of the three-dimensional shape inspection method according to the prior art.
6 is a perspective view showing a four-side optical system of the present invention.
Figure 7 is a perspective view showing the inside of the optical inspection device of the present invention.
8 is an exploded perspective view showing a four-side optical system of the present invention.
Figure 9 is an exploded perspective view of the installation portion of the present invention.
10 is a plan view showing the inside of the optical inspection device of the present invention.
FIG. 11 is a state diagram illustrating incident light reflected from the first, second, third, and fourth surfaces of the object of the present invention to the lens by the prism mirror; FIG.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the structure of the present invention will be described.

본 발명은 도 6 내지 10에 도시된 바와 같이 반도체와 같은 물체(1)의 절단된 4면을 검사하는 4면 광학계(100)에 관한 것으로, 물체(1)와의 초점을 맞추는 렌즈(10)와, 상기 렌즈(10)의 후방에 결합설치되어 물체(1)의 절단된 4면을 동시에 촬영하는 카메라(20)와, 연결부(30)를 통해 상기 렌즈(10)의 전방에 고정설치되어 반도체와 같은 사각 물체(1)의 4면을 검사하는 광학검사장치(40)로 이루어진다.The present invention relates to a four-sided optical system 100 for inspecting the cut four sides of the object 1, such as a semiconductor, as shown in Figures 6 to 10, and the lens 10 for focusing with the object (1) and The camera 20 is coupled to the rear of the lens 10 and simultaneously photographs the cut four surfaces of the object 1, and is fixedly installed in front of the lens 10 through the connecting portion 30. It consists of an optical inspection device 40 for inspecting the four sides of the same rectangular object (1).

여기서, 렌즈(10)는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens)와 같이 초점 심도가 높은 렌즈를 이용함으로써, 물체(1)의 절단된 4면이 선명하게 보이도록 하는 것이 바람직하며, 연결부(30)는 물체(1)를 촬영하는 렌즈(10)의 초점이 정확히 맺히도록 상기 렌즈(10)와 광학검사장치(40)의 거리를 일정하게 맞추는 구성이다.Here, the lens 10 may use a lens having a high depth of focus, such as a telecentric lens, so that the four cut surfaces of the object 1 may be clearly seen, and the connection part 30 may be The lens 10 is configured to constantly adjust the distance between the lens 10 and the optical inspection device 40 so that the focal point of the lens 10 for photographing the object 1 is accurately formed.

그리고, 광학검사장치(40)는 빛의 조사 및 반사를 이룰 수 있도록 조명부(60)와, 사이드프리즘미러부(70)와, 센터프리즘미러부(80)로 이루어져, 렌즈(10)와 카메라(20)을 통한 물체(1)의 절단된 4면을 검사하는 장치이다.The optical inspection apparatus 40 includes an illumination unit 60, a side prism mirror unit 70, and a center prism mirror unit 80 so as to achieve irradiation and reflection of light, such that the lens 10 and the camera ( 20 is a device for inspecting the cut four sides of the object (1).

여기서, 조명부(60)는 카메라(20) 및 렌즈(10)를 통해 물체(1)의 절단된 4면을 선명하게 검사할 수 있도록 상기 렌즈(10)의 전방에 설치되어 물체(1)의 절단된 4면에 각각 빛을 조사하는 구성이다. Here, the lighting unit 60 is installed in front of the lens 10 so as to clearly inspect the four cut surfaces of the object 1 through the camera 20 and the lens 10 to cut the object 1. It is a composition to irradiate light on each of the four surfaces.

아울러, 사이드프리즘미러부(70)는 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에서 각각 반사된 조명부(60)의 입사광을 렌즈(10)로 각각 반사시키는 제1, 2사이드프리즘(71, 72)과, 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서 각각 반사된 조명부(60)의 입사광을 각각 반사시키는 제3, 4사이드프리즘(73, 74)으로 구성되며, 센터프리즘미러(80)는 상기 사이드프리즘미러부(70)의 제3, 4사이드프리즘(73, 74)에서 각각 반사된 입사광을 렌즈(10)로 반사시키는 구성이다.In addition, the side prism mirrors 70 may include first and second reflections of incident light of the illumination unit 60 reflected from the first and second surfaces 1a and 1b of the object 1, respectively, to the lens 10. The third and fourth side prisms 73 and 74 reflecting the incident light of the side prisms 71 and 72 and the illumination unit 60 reflected from the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1, respectively. The center prism mirror 80 is configured to reflect incident light reflected from the third and fourth side prisms 73 and 74 of the side prism mirror unit 70 to the lens 10.

이하에서는 상기 광학검사장치(100)에 대해 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the optical inspection apparatus 100 will be described in more detail.

먼저, 광학검사장치(40)는 물체(1)의 삽탈은 물론 삽입배치된 물체(1)를 검사하기 위한 각각의 구성이 설치되는 설치부(50)와, 상기 물체(1)에 절단된 4면에 빛을 각각 조사하는 제1, 2, 3, 4조명으로 이루어진 조명부(60)와, 물체(1)의 절단된 4면을 통해 반사되는 조명부(60)의 입사광을 각각 반사시키는 사이드프리즘미러부(70)와, 상기 사이드프리즘미러부(70)를 통해 반사되는 일부의 입사광을 반사시키는 센터프리즘미러(80)로 이루어진다.First, the optical inspection apparatus 40 includes an installation unit 50 on which respective components are installed for inserting and detaching an object 1 as well as inspecting the inserted object 1, and 4 cut into the object 1. A side prism mirror for reflecting incident light of the illumination unit 60 consisting of first, second, third, and fourth illuminations respectively irradiating light onto the surface, and the illumination unit 60 reflected through the four cut surfaces of the object 1, respectively. A portion 70 and a center prism mirror 80 reflecting a part of incident light reflected through the side prism mirror portion 70.

첫째, 광학검사장치(40)의 설치부(50)는 상기 연결부(30)를 통해 렌즈(10)의 전방에 고정설치되는 구성으로, 물체(1)의 삽탈을 위한 관통홀(59)을 상하방향으로 형성한 것을 특징으로 하며, 설치프레임(53)과, 하판플레이트(57)와, 상판플레이트(58)로 이루어진다.First, the installation portion 50 of the optical inspection device 40 is fixed to the front of the lens 10 through the connecting portion 30, the upper and lower through-holes 59 for insertion and removal of the object (1). It characterized in that formed in the direction, consisting of the installation frame 53, the lower plate 57, and the upper plate (58).

먼저, 설치부(50)의 설치프레임(53)은 후면에 개구(51)를 형성하여 연결부(30)에 고정설치되는 기본프레임으로, 내측면에는 제1, 3, 4조명(61, 63, 64)이 각각 밀착설치되는 제1, 3, 4조명설치부(51a, 51b, 51c)와, 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)이 각각 밀착설치되는 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부(52a, 52b, 52c, 52d)가 구성된다.First, the installation frame 53 of the mounting portion 50 is a basic frame fixed to the connecting portion 30 by forming an opening 51 on the rear side, the first, third, fourth light (61, 63, The first, third, and fourth lighting installation parts 51a, 51b, 51c, and the first, second, third, and fourth side prisms 71, 72, 73, and 74, each of which 64 is installed in close contact with each other. The 1, 2, 3, and 4 side prism mounting parts 52a, 52b, 52c, and 52d are comprised.

여기서, 상기 제1, 3, 4조명설치부(51a, 51b, 51c)는 설치부(50)의 내측면에 형성되어 물체(1)의 전,좌,우 방향에서 각각 빛을 조사하는 제1, 3, 4조명(61, 63, 64)이 설치되도록 하는 구성으로, 제1조명설치부(51a)가 내측 전방에 구성되고, 제3조명설치부(51b)가 내측 좌방에 구성되며, 제4조명설치부(51c)가 내측 우방에 구성된다.Here, the first, third, fourth lighting installation unit (51a, 51b, 51c) is formed on the inner surface of the installation unit 50, the first to irradiate light in the front, left, right direction of the object (1), respectively , 3, 4 lights (61, 63, 64) to be installed, the first lighting installation portion 51a is configured in the inner front, the third lighting installation portion (51b) is configured in the inner left, Four lighting installation parts 51c are comprised in the inner right side.

그리고, 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부(52a, 52b, 52c, 52d)는 설치부(50)의 내측면에 형성되어 물체(1)의 절단된 4면에 의해 반사된 조명부(60)의 입사광을 반사시키는 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)이 설치되도록 하는 구성으로, 상기 제1사이드프리즘설치부(52a)가 전방 좌측에 형성되어 제1, 3조명설치부 (51a, 51b)사이에 구성되고, 상기 제2사이드프리즘설치부(52b)가 전방 우측에 형성되어 제1, 4조명설치부(51a, 51c) 사이에 구성된다.The first, second, third, and fourth side prism mounting parts 52a, 52b, 52c, and 52d are formed on the inner side of the mounting part 50 and are reflected by the cut four surfaces of the object 1 ( The first, second, third, and fourth side prisms 71, 72, 73, and 74 for reflecting the incident light of 60 are installed so that the first side prism mounting portions 52a are formed on the front left side. It is comprised between the 1st and 3rd lighting installation parts 51a and 51b, The said 2nd side prism installation part 52b is formed in the front right side, and is comprised between the 1st and 4th light installation parts 51a and 51c.

아울러, 상기 제3사이드프리즘설치부(52c)는 후방 좌측에 형성되어 제3조명설치부(51b)와 개구(51) 사이에 구성되며, 상기 제4사이드프리즘설치부(52d)는 후방 우측에 형성되어 제4조명설치부(51c)와 개구(51) 사이에 구성된다.In addition, the third side prism mounting portion 52c is formed at the rear left side, and is configured between the third lighting installation portion 51b and the opening 51, and the fourth side prism mounting portion 52d is located at the rear right side. It is formed and comprised between the 4th light installation part 51c and the opening 51. FIG.

또한, 설치부(50)의 하판플레이트(57)는 조명부(60)와 사이드프리즘미러부(70)와, 센터프리즘미러(80)의 안착설치를 위하여 상기 설치프레임(53)의 하부에 결합설치되는 받침플레이트로써, 내부에는 관통홀(59)이 형성되며, 상면에는 제1, 2, 3, 4조명(61, 62, 63, 64)으로 이루어진 조명부(60)가 안착되어 물체(1)에 빛을 조사할 수 있도록 조명안착설치부(54)가 상기 관통홀(59)을 기준으로 전, 후, 좌, 우 방향에 각각 구성된다.In addition, the lower plate 57 of the installation unit 50 is coupled to the lower portion of the installation frame 53 for the mounting installation of the illumination unit 60, the side prism mirror 70, and the center prism mirror 80. As a supporting plate, a through hole 59 is formed therein, and an illumination unit 60 including first, second, third, and fourth illuminations 61, 62, 63, and 64 is seated on an upper surface of the support plate 59. Illumination seating installation portion 54 is configured in the front, rear, left, right directions respectively based on the through-hole 59 so that light can be irradiated.

아울러, 상기 하판플레이트(57)에는 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)으로 이루어진 사이드프리즘미러부(70)가 안착되어 물체(1)의 절단된 반사면을 통해 반사된 조명부(60)의 입사광을 반사시킬 수 있도록 사이드프리즘미러안착설치부(55)가 설치되는데, 상기 사이드프리즘미러안착설치부(55)는 상기 관통홀(59)을 기준으로 전방 좌우측과, 후방 좌우측에 각각 구성된다.In addition, the lower plate 57 is provided with side prism mirrors 70 formed of first, second, third, and fourth side prisms 71, 72, 73, and 74 to cut the reflective surface of the object 1. The side prism mirror seating mounting unit 55 is installed to reflect the incident light of the lighting unit 60 reflected through the front prism mirror seating mounting unit 55 and the front left and right sides with respect to the through hole 59. And rear left and right sides, respectively.

따라서, 관통홀(59)을 기준으로 전방 좌우측에는 제1, 2사이드프리즘(71, 72)이 각각 안착설치되고, 후방 좌우측에는 제3, 4사이드프리즘(73, 74)이 각각 안착설치된다.Accordingly, the first and second side prisms 71 and 72 are seated on the front left and right sides, respectively, and the third and fourth side prisms 73 and 74 are seated on the rear left and right sides, respectively.

더불어, 상기 하판플레이트(57)에는 제3, 4사이드프리즘(73, 74)으로 부터 반사된 입사광을 렌즈(10)로 반사시킬 수 있도록 센터프리즘미러(80)가 안착설치되는 센터프리즘미러안착설치부(56)가 더 포함되어 구성되는데, 상기 센터프리즘미러안착설치부(56)는 관통홀(59)을 기준으로 후방에 형성되어 제3, 4사이드프리즘(73, 74)이 안착되는 사이드프리즘미러안착설치부(55)의 사이에 구성된다.In addition, the center plate prism mirror seating installation in which the center prism mirror 80 is seated and installed on the lower plate 57 to reflect the incident light reflected from the third and fourth side prisms 73 and 74 to the lens 10. A part 56 is further included, and the center prism mirror seating installation part 56 is formed at a rear side with respect to the through-hole 59 so that the third and fourth side prisms 73 and 74 are seated. It is comprised between the mirror mounting installation parts 55. As shown in FIG.

그리고, 상기 센터프리즘미러안착설치부(56)는 조명부(60)의 제2조명(62)에서 물체(1)로 조사되는 빛이 방해하지 않도록 제2조명(62)이 안착설치되는 조명안착설치부(54)의 후방에 구성된다.In addition, the center prism mirror seating installation unit 56 is a light seating installation in which the second light 62 is seated and installed so that light irradiated from the second light 62 of the lighting unit 60 to the object 1 does not interfere. It is comprised behind the part 54.

또한, 설치부(50)의 상판플레이트(58)는 물체(1)가 삽탈되는 관통홀(59)을 관통형성하여 설치프레임(53)의 상부에 결합설치되는 구성으로, 상기 설치부(50)에 안착설치된 조명부(60)와, 사이드프리즘미러부(70)와, 센터프리즘미러(80)가 안정적으로 설치되게 함과 동시에, 외부로 노출되는 것을 방지하는 작용을 한다.In addition, the upper plate 58 of the installation unit 50 is a configuration in which the through-hole 59 through which the object 1 is inserted and formed to be coupled to the upper portion of the installation frame 53, the installation unit 50 The lighting unit 60, the side prism mirror unit 70, and the center prism mirror 80 mounted on the stator are stably installed and serve to prevent exposure to the outside.

둘째, 조명부(60)는 전술한 바와 같이 설치부(50)에 형성된 관통홀(59)의 전,후,좌,우 방향에 설치되어 물체(1)에 빛을 각각 조사하는 구성으로, 전방에 설치되는 제1조명(61)과, 후방에 설치되는 제2조명(62)과, 좌측에 설치되는 제3조명(63)과, 우측에 설치되는 제4조명(64)으로 이루어지며, 카메라(20) 및 렌즈(10)를 통해 물체(1)의 절단된 4면을 선명하게 검사할 수 있도록 도와주는 작용을 한다.Second, the lighting unit 60 is installed in the front, rear, left, and right directions of the through hole 59 formed in the installation unit 50 as described above to irradiate light onto the object 1, respectively, The first lighting 61 is installed, the second lighting 62 is installed at the rear, the third lighting 63 is installed at the left side, and the fourth lighting 64 is installed at the right side. 20) and the lens 10 serves to help to clearly check the cut four sides of the object (1).

한편, 상기 설치부(50)의 관통홀(59)을 통해 삽탈되는 물체(1)는 모서리 부분이 전,후,좌,우측에 각각 배치되어 물체(1)의 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)이 수직/수평을 기준으로 각각 45°의 각도로 배치되게 삽입되는데, 이로 인해, 상기 제1조명(61)에서 조사되는 빛은 물체(1)의 제1, 2면(1a, 1b)으로 동일하게 분할되어 조사되고, 제2조명(62)에서 조사되는 빛은 물체(1)의 제3, 4면(1c, 1d)으로 동일하게 분할되어 조사된다.On the other hand, the object 1 is inserted through the through-hole 59 of the installation portion 50 is the corner portion is disposed before, after, left, right, respectively, the first, second, third, fourth of the object (1) The surfaces 1a, 1b, 1c, and 1d are inserted to be disposed at an angle of 45 ° with respect to the vertical / horizontal angle, so that the light irradiated from the first light 61 is transmitted to the first of the object 1. , The same is divided into two surfaces 1a and 1b and irradiated, and the light irradiated from the second light 62 is equally divided into the third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 and irradiated.

그리고, 제3조명(63)에서 조사되는 빛은 물체(1)의 제1, 3면(1c, 1d)으로 동일하게 분할되어 조사됨과 동시에, 제4조명(64)에서 조사되는 빛은 물체(1)의 제2, 4면(1b, 1d)으로 동일하게 분할되어 조사되기 때문에 상기 물체(1)의 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에는 조명부(60)에서 조사되는 빛의 중첩이 이루어져 물체(1)의 절단된 4면을 더욱 밝게 비출 수 있으며, 이를 통해 물체(1)의 절단된 4면 검사를 더욱 용이하게 할 수 있게 된다.The light irradiated from the third light 63 is divided into the first and third surfaces 1c and 1d of the object 1 and irradiated with light, and the light irradiated from the fourth light 64 is an object ( Since the light is equally divided into the second and fourth surfaces 1b and 1d of 1), the illumination unit 60 is provided on the first, second, third and fourth surfaces 1a, 1b, 1c and 1d of the object 1. By overlapping the light irradiated from the it is possible to more brightly shine the cut four sides of the object (1), thereby making it easier to inspect the cut four sides of the object (1).

셋째, 사이드프리즘미러부(70)는 전술한 바와 같이 설치부(50)에 설치됨으로써 조명부(60)의 입사광을 각각 반사시키는 구성으로, 삼각형상을 가진 통상의 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)으로 구성된다.Third, the side prism mirror portion 70 is installed in the mounting portion 50 as described above to reflect the incident light of the illumination portion 60, respectively, the first, second, third, fourth side having a triangular shape Prism 71, 72, 73, 74 is composed.

먼저, 사이드프리즘미러부(70)의 제1사이드프리즘(71)은 상기 하판플레이트(57)의 사이드프리즘미러안착설치부(56)에 안착된 상태로 설치프레임(53)의 제1사이드프리즘설치부(52a)에 밀착설치되어, 설치부(50)의 관통홀(59) 전방 좌측에 설치되는 구성으로, 물체(1)의 절단된 제1면(1a)을 통해 반사되는 제1, 3조명(61, 63)의 입사광을 반사시키는 작용을 한다.First, the first side prism 71 of the side prism mirror portion 70 is mounted on the side prism mirror seating portion 56 of the lower plate 57 in a state where the first side prism is installed. First and third illuminations that are installed in close contact with the portion 52a and are installed in the front left side of the through hole 59 of the installation portion 50 and are reflected through the cut first surface 1a of the object 1. It serves to reflect the incident light of (61, 63).

따라서, 제1, 3조명(61, 63)에서 조사되는 빛이 물체(1)의 절단된 제1면(1a)을 통해 반사되면, 상기 물체(1)의 절단된 제1면(1a)을 통해 반사되는 입사광의 일부가 제1사이드프리즘(71)의 제1반사면(71a)을 통해 반사되어 렌즈(10)로 도달하게 된다.Therefore, when the light irradiated from the first and third lights 61 and 63 is reflected through the cut first surface 1a of the object 1, the cut first surface 1a of the object 1 is opened. A portion of the incident light reflected through is reflected through the first reflection surface 71a of the first side prism 71 to reach the lens 10.

그리고, 상기 제1사이드프리즘(71)에 형성된 제1반사면(71a)은 수평을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제1사이드프리즘(71)의 제1반사면(71a)이 수평을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되면, 제1반사면(71a)을 통해 반사된 제1, 3조명(61, 63)의 입사광이 90°로 수직 반사되어 렌즈(10)로 곧장 보내지게 되므로, 물체(1)의 절단된 제1면(1a)을 정확히 촬영할 수 있게 된다.The first reflecting surface 71a formed on the first side prism 71 is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the horizontal. Thus, the first half of the first side prism 71 is formed. When the slope 71a is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the horizontal, the incident light of the first and third lights 61 and 63 reflected through the first reflection surface 71a is vertically reflected at 90 ° and the lens 10 Since it is sent straight to), it is possible to accurately photograph the cut first surface (1a) of the object (1).

또한, 사이드프리즘미러부(70)의 제2사이드프리즘(72)은 상기 하판플레이트(57)의 사이드프리즘미러안착설치부(56)에 안착된 상태로 설치프레임(53)의 제2사이드프리즘설치부(52b)에 밀착설치되어, 설치부(50)의 관통홀(59) 전방 우측에 설치되는 구성으로, 물체(1)의 절단된 제2면(1b)을 통해 반사되는 제2, 4조명(62, 64)의 입사광을 반사시키는 작용을 한다.In addition, the second side prism 72 of the side prism mirror portion 70 is mounted on the side prism mirror seating portion 56 of the lower plate 57, and the second side prism mounting portion of the mounting frame 53 is installed. 2nd, 4th illumination which is installed in close contact with the part 52b, and is installed in the front-right side of the through-hole 59 of the installation part 50, and is reflected through the cut 2nd surface 1b of the object 1 It serves to reflect the incident light of (62, 64).

따라서, 제2, 4조명(62, 64)에서 조사되는 빛이 물체(1)의 절단된 제2면(1b)을 통해 반사되면, 상기 물체(1)의 절단된 제2면(1b)을 통해 반사되는 입사광의 일부가 제2사이드프리즘(72)의 제2반사면(72a)을 통해 반사되어 렌즈(10)로 도달하게 된다.Therefore, when the light irradiated from the second and fourth lights 62 and 64 is reflected through the second cut surface 1b of the object 1, the second cut surface 1b of the object 1 is cut off. A portion of the incident light reflected through is reflected through the second reflection surface 72a of the second side prism 72 to reach the lens 10.

그리고, 상기 제2사이드프리즘(72)에 형성된 제2반사면(72a)은 수평을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되어 제1사이드프리즘(71)의 제1반사면(71a)과 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제2사이드프리즘(72)의 제2반사면(72a)이 제1사이드프리즘(71)의 제1반사면(71a)과 대향되게 형성되면, 제2반사면(72a)을 통해 반사된 제2, 4조명(62, 64)의 입사광이 90°로 수직 반사되어 렌즈(10)로 곧장 보내지게 되므로, 물체(1)의 절단된 제2면(1b)을 정확히 촬영할 수 있게 된다.In addition, the second reflection surface 72a formed on the second side prism 72 is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the horizontal and is installed to face the first reflection surface 71a of the first side prism 71. As described above, when the second reflection surface 72a of the second side prism 72 is formed to face the first reflection surface 71a of the first side prism 71, the second reflection surface Since the incident light of the second and fourth lights 62 and 64 reflected through the 72a is vertically reflected at 90 ° and sent directly to the lens 10, the second cut surface 1b of the object 1 is cut. You can shoot accurately.

아울러, 상기 제1, 2사이드프리즘(71, 72)의 제1, 2반사면(71a, 72a)이 서로 대향되게 설치되게 되면, 제1, 2반사면(71a, 72a)을 통해 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에서 렌즈(10)로 각각 반사되는 조명부의 입사광 거리가 동일하게 이루어져 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)이 동일한 밝기로 촬영되게 되며, 이를 통해 양질의 검사가 이루어진다.In addition, when the first and second reflection surfaces 71a and 72a of the first and second side prisms 71 and 72 are installed to face each other, the object 1 may be formed through the first and second reflection surfaces 71a and 72a. The incident light distances of the illumination parts reflected from the cut first and second surfaces 1a and 1b of the lens 10 to the lens 10 are equal, so that the cut first and second surfaces 1a and 1b of the object 1 are the same. The picture is taken at a brightness level, and a high quality inspection is performed.

또한, 사이드프리즘미러부(70)의 제3사이드프리즘(73)은 상기 하판플레이트(57)의 사이드프리즘미러안착설치부(56)에 안착된 상태로 설치프레임(53)의 제3사이드프리즘설치부(52c)에 밀착설치되어, 설치부(50)의 관통홀(59) 후방 좌측에 설치되는 구성으로, 물체(1)의 절단된 제3면(1c)을 통해 반사되는 제2, 3조명(62, 63)의 입사광을 반사시키는 작용을 한다.In addition, the third side prism 73 of the side prism mirror portion 70 is mounted on the side prism mirror seating portion 56 of the lower plate 57 in a state where the third side prism is installed. The second and third illuminations that are installed in close contact with the portion 52c and are installed at the rear left side of the through hole 59 of the installation portion 50 and are reflected through the cut third surface 1c of the object 1. It serves to reflect the incident light of (62, 63).

따라서, 상기 제2, 3조명(62, 63)에서 조사되는 빛이 물체(1)의 절단된 제3면(1c)을 통해 반사되면, 상기 물체(1)의 절단된 제3면(1c)을 통해 반사되는 입사광의 일부가 제3사이드프리즘(73)의 제3반사면(73a)을 통해 반사되며, 제3반사면(73a)을 통해 반사된 입사광은 관통홀(59)에 후방에 배치되어 제3, 4사이드프리즘미러(73, 74)의 사이에 설치된 센터프리즘미러(80)를 통해 반사되어 렌즈(20)로 도달하게 된다.Therefore, when the light irradiated from the second and third lights 62 and 63 is reflected through the cut third surface 1c of the object 1, the cut third surface 1c of the object 1. A portion of the incident light reflected through the third reflection surface 73a of the third side prism 73 is reflected, and the incident light reflected through the third reflection surface 73a is disposed behind the through hole 59. Then, it is reflected through the center prism mirror 80 provided between the third and fourth side prism mirrors 73 and 74 to reach the lens 20.

그리고, 상기 제3사이드프리즘(73)에 형성된 제3반사면(73a)은 수직을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제3사이드프리즘(73)의 제3반사면(73a)이 수직을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되면, 제3반사면(73a)을 통해 반사된 제2, 3조명(62, 63)의 입사광이 0°방향으로 수평 반사되어 센터프리즘미러(80)의 제1센터반사면(81)으로 곧장 보내지게 된다.In addition, the third reflection surface 73a formed on the third side prism 73 is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the vertical, and thus, the third half of the third side prism 73 When the slope 73a is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the vertical, the incident light of the second and third lights 62 and 63 reflected through the third reflection surface 73a is horizontally reflected in the 0 ° direction so that the center prism It is sent directly to the first center reflection surface 81 of the mirror (80).

또한, 사이드프리즘미러부(70)의 제4사이드프리즘(74)은 상기 하판플레이트(57)의 사이드프리즘미러안착설치부(56)에 안착된 상태로 설치프레임(53)의 제4사이드프리즘설치부(52d)에 밀착설치되어, 설치부(50)의 관통홀(59) 후방 우측에 설치되는 구성으로, 물체(1)의 절단된 제4면(1d)을 통해 반사되는 제2, 4조명(62, 64)의 입사광을 반사시키는 작용을 한다.In addition, the fourth side prism 74 of the side prism mirror portion 70 is mounted on the side prism mirror seating portion 56 of the lower plate 57 in a state where the fourth side prism of the mounting frame 53 is mounted. 2nd, 4th illumination which is installed in close contact with the part 52d, and is installed in the back right of the through-hole 59 of the installation part 50, and is reflected through the cut 4th surface 1d of the object 1 It serves to reflect the incident light of (62, 64).

따라서, 상기 제2, 4조명(62, 64)에서 조사되는 빛이 물체(1)의 절단된 제4면(1d)을 통해 반사되면, 상기 물체(1)의 절단된 제4면(1d)을 통해 반사되는 입사광의 일부가 제4사이드프리즘(74)의 제4반사면(74a)을 통해 반사되며, 제4반사면(74a)을 통해 반사된 입사광은 관통홀(59)에 후방에 배치되어 제3, 4사이드프리즘미러(73, 74)의 사이에 설치된 센터프리즘미러(80)를 통해 반사되어 렌즈(20)로 도달하게 된다.Therefore, when the light irradiated from the second and fourth lights 62 and 64 is reflected through the cut fourth surface 1d of the object 1, the cut fourth surface 1d of the object 1 A part of the incident light reflected through the fourth reflection surface 74a of the fourth side prism 74 is reflected, and the incident light reflected through the fourth reflection surface 74a is disposed behind the through hole 59. Then, it is reflected through the center prism mirror 80 provided between the third and fourth side prism mirrors 73 and 74 to reach the lens 20.

그리고, 상기 제4사이드프리즘(74)에 형성된 제4반사면(74a)은 수직을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되어 제3사이드프리즘(73)의 제3반사면(73a)과 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제4사이드프리즘(74)의 제4반사면(74a)이 제3사이드프리즘(73)의 제3반사면(73a)과 대향되게 형성되면, 제4반사면(74a)을 통해 반사된 제2, 4조명(62, 64)의 입사광이 180°방향으로 수평 반사되어 센터프리즘미러(80)의 제2센터반사면(82)으로 곧장 보내지게 된다.In addition, the fourth reflection surface 74a formed on the fourth side prism 74 is formed at an angle of 22.5 ° with respect to the vertical and is installed to face the third reflection surface 73a of the third side prism 73. If the fourth reflecting surface 74a of the fourth side prism 74 is formed to face the third reflecting surface 73a of the third side prism 73, the fourth reflecting surface The incident light of the second and fourth lights 62 and 64 reflected through the 74a is horizontally reflected in the 180 ° direction and is sent straight to the second center reflecting surface 82 of the center prism mirror 80.

아울러, 상기와 같이 제3, 4사이드프리즘(73, 74)의 제3, 4반사면(73, 74)이 서로 대향되게 설치되게 되면, 제3, 4반사면(73a, 74a)을 통해 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서 렌즈(10)로 각각 반사되는 조명부의 입사광 거리가 동일하게 이루어져 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)이 동일한 밝기로 촬영되게 되며, 이를 통해 양질의 검사가 이루어진다.In addition, as described above, when the third and fourth reflection surfaces 73 and 74 of the third and fourth side prisms 73 and 74 are installed to face each other, an object is formed through the third and fourth reflection surfaces 73a and 74a. The third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 are formed by the same incident light distance of the illumination unit reflected from the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of (1), respectively, to the lens 10. The same brightness is taken, and a good quality inspection is performed.

넷째, 센터프리즘미러(80)는 전술한 바와 같이 설치부(50)에 구성된 관통홀(59)의 후방에 설치됨으로써, 제3, 4사이드프리즘(73, 74)의 제3, 4반사면(73a, 74a)을 통해 각각 반사된 입사광을 각각 렌즈(10)로 반사시키는 작용을 하는 구성으로, 삼각형상으로 형성되어 제3, 4사이드프리즘(73, 74)의 사이에 설치되며, 제3반사면(73a)을 통해 반사된 입사광을 반사시켜 렌즈(10)로 보내는 제1센터반사면(81)과, 제4반사면(74a)을 통해 반사된 입사광을 반사시켜 렌즈(10)로 보내는 제2센터반사면(82)을 형성한다.Fourth, the center prism mirror 80 is installed in the rear of the through-hole 59 formed in the mounting portion 50, as described above, so that the third, fourth reflective surface of the third and fourth side prisms (73, 74) ( It is configured to reflect the incident light reflected through the lenses 73a and 74a to the lens 10, respectively, and formed in a triangular shape and installed between the third and fourth side prisms 73 and 74. A first center reflecting surface 81 which reflects incident light reflected through the slope 73a to the lens 10 and reflects incident light reflected through the fourth reflecting surface 74a to the lens 10 The two center reflection surface 82 is formed.

그리고, 상기 센터프리즘미러(80)에 구성된 제1센터반사면(81)은 수직으로 기준으로 45°의 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제1센터반사면(81)이 수직을 기준으로 45°의 각도로 형성되면, 제3사이드프리즘(73)의 제3반사면(73a)을 통해 반사가 이루어진 제2, 3조명(62, 63)의 입사광이 90°방향으로 수직 반사되어 렌즈(10)로 곧장 보내지게 된다.In addition, the first center reflecting surface 81 formed in the center prism mirror 80 is characterized in that formed at an angle of 45 ° with respect to the vertical, as described above, the first center reflecting surface 81 is vertical When the angle is formed at an angle of 45 °, incident light of the second and third lights 62 and 63, which are reflected through the third reflection surface 73a of the third side prism 73, is vertically reflected in the 90 ° direction. It is sent straight to the lens (10).

더불어, 제2센터반사면(82)은 수직으로 기준으로 45°의 각도로 형성되어 제1센터반사면(81)과 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는데, 이와 같이 상기 제2센터반지름(82)이 제1센터반사면(81)과 대향되게 형성되면, 제4사이드프리즘(74)의 제4반사면(74a)을 통해 반사가 이루어진 제2, 4조명(62, 64)의 입사광이 90°방향으로 수직 반사되어 렌즈(10)로 곧장 보내지게 된다.In addition, the second center reflecting surface 82 is formed at an angle of 45 ° with respect to the vertical, and is installed to face the first center reflecting surface 81. Thus, the second center radius 82 is thus described. When the light is formed to face the first center reflection surface 81, incident light of the second and fourth illuminations 62 and 64 reflected through the fourth reflection surface 74a of the fourth side prism 74 is 90 °. Direction is reflected vertically and sent straight to lens 10.

아울러, 상기 센터프리즘미러(80)에 의하면 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리와, 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리를 서로 동일하게 이룰 수 있게 된다.In addition, according to the center prism mirror 80, the incident light distance of the illumination unit 60 that is reflected from the cut first and second surfaces 1a and 1b of the object 1 and reaches the lens 10, and the object 1 The incident light distance of the illumination unit 60 that is reflected from the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of FIG. 6 and reaches the lens 10 may be equal to each other.

이는, 제1, 2사이드프리즘(71, 72)이 전방에 설치되고 제3, 4사이드프리즘(73, 74)이 후방에 설치된 것에 의해, 제1면(1a) 또는 제2면(1b)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리와, 물체의 절단된 제3면(1c) 또는 제4면(1d)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리에 차이가 생기는 것을, 제3, 4사이드프리즘(73, 74) 사이에 센터프리즘미러(80)를 설치함으로써, 물체(1)의 제3, 4면(1c, 1d)에서부터 각각 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부의 입사광 거리를 늘릴 수 있음에 의한 것이다.This is because the first and second side prisms 71 and 72 are installed at the front and the third and fourth side prisms 73 and 74 are installed at the rear, and thus, from the first surface 1a or the second surface 1b. The incident light distance of the illumination unit 60 that is reflected and reaches the lens 10 and the illumination unit 60 that is reflected from the cut third surface 1c or the fourth surface 1d of the object and reaches the lens 10. The difference in incident light distance is reflected from the third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 by providing the center prism mirror 80 between the third and fourth side prisms 73 and 74, respectively. This is because the incident light distance reaching the lens 10 can be increased.

따라서, 본 발명을 이용하면, 도 10 또는 11에 도시된 바와 같이 물체(1)의 절단된 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리를 모두 동일하게 할 수 있다. 즉, 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에서부터 각각 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리는 제1, 2사이드프리즘(71, 72)이 전방에 설치되는 것에 의해 각각 A+B+C+D로 이루어지고, 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리는 제3, 4사이드프리즘(73, 74)이 후방에 설치되는 것에 의해 a+b+c+d+e로 이루어져 물체(1)의 절단된 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)을 동일한 밝기로 정확히 촬영할 수 있게 된다.Thus, using the present invention, as shown in Fig. 10 or 11, reflected from the cut first, second, third, fourth surface (1a, 1b, 1c, 1d) of the object (1) to the lens 10 All the incident light distances of the illuminating part 60 which arrives can be made the same. That is, the incident light distance of the illumination unit 60 that is reflected from the cut first and second surfaces 1a and 1b of the object 1 and reaches the lens 10, respectively, causes the first and second side prisms 71 and 72 to face forward. Incident light of the illumination unit 60, which is made of A + B + C + D and is reflected from the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 and reaches the lens 10, respectively. The distance is composed of a + b + c + d + e by the third and fourth side prisms 73 and 74 installed at the rear, so that the first, second, third and fourth surfaces 1a and 1b of the object 1 are cut. , 1c, 1d) can be accurately captured with the same brightness.

상기와 같은 본 발명의 구성에 따른 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation according to the configuration of the present invention as described above are as follows.

먼저, 설치부(50)에 구성된 관통홀(59)로 반도체와 같은 물체(1)가 삽입되면, 상기 물체(1)는 4군데의 모서리부분이 전,후,좌,우에 배치되도록 삽입된다.First, when an object 1, such as a semiconductor, is inserted into the through hole 59 formed in the installation unit 50, the object 1 is inserted such that four corner portions are disposed before, after, left, and right.

이와 같이 상기 관통홀(59)을 통해 물체(1)가 설치부(50)에 삽입되면, 관통홀(59)의 전방에 설치된 제1조명(61)이 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에 빛을 조사하고, 후방에 설치된 제2조명(62)이 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)을 빛을 조사함과 동시에, 좌측에 설치된 제3조명(63)이 물체(1)의 절단된 제1, 3면(1a, 1c)에 빛을 조사하고, 우측에 설치된 제4조명(64)이 물체의 절단된 제2, 4면(1b, 1d)에 빛을 조사하여 조명부(60)가 물체(1)의 절단된 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에 빛을 중첩 조사하는 작용이 이루어진다.As such, when the object 1 is inserted into the installation unit 50 through the through hole 59, the first light 61 installed in front of the through hole 59 is cut out of the object 1. The light is irradiated to the two surfaces 1a and 1b, and the second light 62 installed at the rear irradiates the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 with light. The installed third light 63 illuminates the cut first and third surfaces 1a and 1c of the object 1, and the fourth light 64 installed on the right is the second and fourth cut surfaces of the object. By irradiating light to (1b, 1d), the illumination unit 60 is made to superimpose the light on the cut first, second, third, fourth surface (1a, 1b, 1c, 1d) of the object (1).

그리고, 물체(1)의 절단된 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에 조사되어 반사되는 입사광은 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)의 제1, 2, 3, 4반사면(71a, 72a, 73a, 73a)으로 반사되는데, 이때, 반사되는 입사광은 물체(1)의 각각의 면으로 조사된 빛의 1/4로 떨어지게 되게 되어 물체(1)의 절단된 4면을 밝게 측정할 수 없게 되나, 본 발명에서는 전,후,좌,우에서 조사되는 제1, 2, 3, 4조명(61, 62, 63, 64)을 통해 빛을 2배로 중첩하여 조사하므로, 카메라(20)와 렌즈(10)를 통해 촬영할 수 있는 충분한 입사광을 얻을 수 있다.The incident light reflected on the first, second, third, and fourth surfaces 1a, 1b, 1c, and 1d of the object 1 is reflected by the first, second, third, and fourth side prisms 71, 72, and 73. , 74, reflects to the first, second, third, and fourth reflecting surfaces 71a, 72a, 73a, and 73a, where the reflected incident light is one-quarter of the light irradiated onto each side of the object 1. However, the four cut surfaces of the object 1 cannot be measured brightly, but according to the present invention, the first, second, third, and fourth lights irradiated from the front, back, left, and right (61, 62, 63, 64). Since the light is overlapped and irradiated twice through), sufficient incident light can be obtained through the camera 20 and the lens 10.

또한, 물체(1)의 절단된 제1면(1a)에서 반사된 입사광은 제1사이드프리즘(71)의 제1반사면(71a)을 통해 90°방향으로 수직 반사되어 렌즈(10)로 보내지게 되고, 제2면(1b)에서 반사된 입사광은 제2사이드프리즘(72)의 제2반사면(72a)을 통해 90°방향으로 수직 반사되어 렌즈(10)로 보내지게 된다.Also, incident light reflected from the cut first surface 1a of the object 1 is vertically reflected in the 90 ° direction through the first reflection surface 71a of the first side prism 71 and sent to the lens 10. The incident light reflected by the second surface 1b is vertically reflected in the 90 ° direction through the second reflection surface 72a of the second side prism 72 and is sent to the lens 10.

아울러, 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서 각각 반사된 입사광은 제3, 4사이드프리즘(73, 74)의 제3, 4반사면(73a, 74a)을 통해 0° 및 180°방향으로 각각 수평 반사되는데, 이와 같이 제3, 4반사면(73a, 74a)을 통해 각각 반사된 입사광은 센터프리즘미러(80)의 제1, 2센터반사면(81, 82)을 통해 각각 90°방향으로 수직 반사되어 렌즈(10)로 보내지게 된다.In addition, incident light reflected from the cut third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 may be transmitted through the third and fourth reflection surfaces 73a and 74a of the third and fourth side prisms 73 and 74. Horizontal reflection is made in the directions of 0 ° and 180 °, respectively. Thus, incident light reflected through the third and fourth reflection planes 73a and 74a is respectively applied to the first and second center reflection planes 81 and 82 of the center prism mirror 80. Are reflected vertically in the 90 ° direction to the lens 10.

그리고, 물체(1)의 절단된 제1, 2면(1a, 1b)에서부터 렌즈(10)로 보내지는 입사광의 총거리는 A+B+C+D로 이루어지고, 물체(1)의 절단된 제3, 4면(1c, 1d)에서부터 렌즈(10)로 보내지는 입사광의 총거리는 a+b+c+d+e로 이루어져 물체(1)의 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에서부터 렌즈(10)로 보내지는 입사광의 총거리가 모두 동일하게 이루어지므로, 물체(1)의 절단된 4면을 동일한 밝기로 정밀하게 촬영하여 검사할 수 있게 된다.
The total distance of incident light sent from the cut first and second surfaces 1a and 1b of the object 1 to the lens 10 is A + B + C + D, and the cut agent of the object 1 The total distance of incident light sent from the 3rd and 4th surfaces 1c and 1d to the lens 10 is composed of a + b + c + d + e, so that the 1st, 2nd, 3rd and 4th surfaces 1a, 1b of the object 1 , 1c and 1d, the total distance of the incident light sent to the lens 10 is the same, and thus the four cut surfaces of the object 1 can be accurately photographed and inspected with the same brightness.

1 : 물체 1a, 1b, 1c, 1d : 제1, 2, 3, 4면
10 : 렌즈 20 : 카메라 30 : 연결부
40 : 광학검사장치
50 : 설치부
51 : 개구 51a, 51b, 51c, 51d : 제1, 2, 3, 4조명설치부
52a, 52b, 52c, 52d : 제, 2, 3, 4사이드프리즘설치부
53 : 설치프레임 54 : 조명안착설치부
55 : 사이드프리즘미러안착설치부 56 : 센터프리즘미러안착설치부
57 : 하판플레이트 58 : 상판플레이트 59 : 관통홀
60 : 조명부 61, 62, 63, 64 : 제1, 2, 3, 4조명
70 : 사이드프리즘미러부
71, 72, 73, 74 : 제1, 2, 3, 4사이드프리즘
71a, 72a, 73a, 74a : 제1, 2, 3, 4반사면
80 : 센터프리즘미러 81, 82 : 제1, 2센터반사면
100 : 4면 광학계1: Object 1a, 1b, 1c, 1d: 1st, 2nd, 3rd, 4th surface
10 Lens 20 Camera 30 Connection
40: optical inspection device
50: installation
51 opening 51a, 51b, 51c, 51d: 1st, 2nd, 3rd, 4th lighting installation part
52a, 52b, 52c, 52d: first, second, third and fourth side prism mounting parts
53: installation frame 54: lighting seat installation
55: side prism mirror seating mounting portion 56: center prism mirror seating mounting portion
57: bottom plate 58: top plate 59: through hole
60: lighting unit 61, 62, 63, 64: 1st, 2, 3, 4 lights
70: side prism mirror
71, 72, 73, 74: 1st, 2, 3, 4 side prism
71a, 72a, 73a, 74a: first, second, third and fourth reflection surfaces
80: center prism mirror 81, 82: 1st, 2nd center reflecting surface
100: 4-sided optical system

Claims (4)

렌즈(10)와, 상기 렌즈(10)의 후방에 결합설치되는 카메라(20)와, 연결부(30)를 통해 상기 렌즈(10)의 전방에 고정설치되어 사각 물체(1)의 4면을 검사하는 광학검사장치(40)로 이루어지되,
상기 광학검사장치(40)는,
연결부(30)를 통해 렌즈(10)의 전방에 고정설치되며, 물체(1)의 삽탈을 위한 관통홀(59)을 상하로 형성한 설치부(50);
상기 설치부(50)에 형성된 관통홀(59)의 전,후,좌,우 방향에 설치되어 물체(1)에 빛을 조사하는 제1, 2, 3, 4조명(61, 62, 63, 64)으로 이루어진 조명부(60);
상기 설치부(50)의 관통홀(59) 전방 좌측에 설치되어 물체(1)의 제1면(1a)을 통해 반사되는 제1, 3조명(61, 63)의 입사광을 렌즈(10)로 반사시키는 제1반사면(71a)을 형성한 제1사이드프리즘(71)과, 상기 관통홀(59)을 기준으로 제1사이드프리즘(71)에 대향되게 설치되어 물체(1)의 제2면(1b)을 통해 반사되는 제1, 4조명(61, 64)의 입사광을 렌즈(10)로 반사시키는 제2반사면(72a)을 형성한 제2사이드프리즘(72)과, 상기 설치부(50)의 관통홀(59) 후방 좌측에 설치되어 물체(1)의 제3면(1c)을 통해 반사되는 제2, 3조명(62, 63)의 입사광을 반사시키는 제3반사면(73a)을 형성한 제3사이드프리즘(73)과, 상기 관통홀(59)을 기준으로 제3사이드프리즘(73)에 대향되게 설치되어 물체(1)의 제4면(1d)을 통해 반사되는 제2, 4조명(62, 64)의 입사광을 반사시키는 제4반사면(74a)을 형성한 제4사이드프리즘(74)으로 구성된 사이드프리즘미러부(70);
상기 제3, 4사이드프리즘(73, 74)의 사이에 설치되어 제3, 4반사면(73a, 74a)을 통해 각각 반사된 입사광을 각각 렌즈(10)로 반사시키는 제1, 2센터반사면(81, 82)을 형성한 센터프리즘미러(80);를 구성하여 상기 물체(1)의 제1, 2, 3, 4면(1a, 1b, 1c, 1d)에서부터 반사되어 렌즈(10)까지 도달하는 조명부(60)의 입사광 거리가 서로 동일하게 이루어지며,
상기 설치부(50)는,
후면에 개구(51)를 형성하여 연결부(30)에 고정설치되며, 내측면에는 제1, 3, 4조명(61, 63, 64)이 각각 밀착설치되는 제1, 3, 4조명설치부(51a, 51b, 51c)와, 제1, 2, 3, 4사이드프리즘(71, 72, 73, 74)이 각각 밀착설치되는 제1, 2, 3, 4사이드프리즘설치부(52a, 52b, 52c, 52d)를 구성한 설치프레임(53);
상기 설치프레임(53)의 하부에 결합설치되며, 상면에는 조명부(60)가 안착설치되는 조명안착설치부(54)와, 사이드프리즘미러부(70)가 안착설치되는 사이드프리즘미러안착설치부(55)와, 센터프리즘미러(80)가 안착설치되는 센터프리즘미러안착설치부(56)를 구성한 하판플레이트(57);
물체(1)가 삽탈되는 관통홀(59)을 관통형성하여 설치프레임(53)의 상부에 결합설치되는 상판플레이트(58);로 이루어진 것에 특징이 있는 4면 광학계.
It is fixed to the front of the lens 10 through the lens 10, the camera 20 coupled to the rear of the lens 10, and the connecting portion 30 to inspect the four sides of the rectangular object (1). Is made of an optical inspection device 40,
The optical inspection device 40,
An installation unit 50 fixedly installed in front of the lens 10 through the connection unit 30 and having a through hole 59 for up and down insertion of the object 1;
First, second, third, and fourth illuminations 61, 62, 63, which are installed in the front, rear, left, and right directions of the through hole 59 formed in the installation unit 50 to irradiate light to the object 1. A lighting unit 60 made of 64;
The incident light of the first and third illuminations 61 and 63 installed at the front left side of the through hole 59 of the installation unit 50 and reflected through the first surface 1a of the object 1 to the lens 10. A first side prism 71 having a first reflecting surface 71a reflecting thereon; and a second surface of the object 1 provided to face the first side prism 71 with respect to the through hole 59; A second side prism 72 having a second reflecting surface 72a for reflecting the incident light of the first and fourth illuminations 61 and 64 reflected through the lens 1b to the lens 10; Third reflecting surface 73a installed at the rear left side of the through hole 59 of 50 to reflect incident light of the second and third lights 62 and 63 reflected through the third surface 1c of the object 1. A third side prism 73 having a shape of the second side prism, and a second side prism 73 provided to face the through-hole 59 and reflected through the fourth surface 1d of the object 1. , Fourth side free having fourth reflecting surface 74a reflecting incident light of four illuminations 62, 64 Side prism mirror unit 70 consisting of 74;
First and second center reflecting surfaces disposed between the third and fourth side prisms 73 and 74 to reflect incident light reflected through the third and fourth reflecting surfaces 73a and 74a to the lens 10, respectively. A center prism mirror 80 having the 81 and 82 formed thereon, reflecting from the first, second, third, and fourth surfaces 1a, 1b, 1c, and 1d of the object 1 to the lens 10; The incident light distance of the lighting unit 60 to reach is made equal to each other,
The installation unit 50,
The opening 51 is formed on the rear surface to be fixedly installed at the connecting portion 30, and the first, third, and fourth lighting installation parts in which the first, third, and fourth lights 61, 63, and 64 are installed in close contact with each other ( 51a, 51b, 51c and first, second, third, and fourth side prism mounting portions 52a, 52b, 52c in which the first, second, third, and fourth side prisms 71, 72, 73, and 74 are closely installed, respectively. An installation frame 53 constituting 52d);
It is installed coupled to the lower portion of the installation frame 53, the upper surface of the lighting prism mounting portion 54, which is installed mounting the lighting unit 60, and the side prism mirror seating installation portion that the side prism mirror portion 70 is installed ( 55 and a lower plate 57 constituting a center prism mirror seating installation unit 56 on which the center prism mirror 80 is mounted;
Four-plate optical system characterized in that consisting of; an upper plate (58) coupled to the upper portion of the installation frame 53 by forming a through-hole 59 through which the object (1) is inserted.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 사이드프리즘미러부(70)에 형성된 제1, 2반사면(71a, 72a)은 수평을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되어 물체(1)의 제1, 2면(1a, 1b)을 통해 반사되는 조명부(60)의 입사광을 90°방향으로 각각 반사시켜 렌즈(10)로 보내도록 구성되고,
제3, 4반사면(73a, 74a)은 수직을 기준으로 22.5°의 각도로 형성되어 물체(1)의 제3, 4면(1c, 1d)을 통해 반사되는 조명부(60)의 입사광을 0° 및 180°방향으로 각각 반사시켜 센터프리즘미러(80)의 제1, 2센터반사면(81, 82)으로 각각 보내도록 구성되며,
상기 센터프리즘미러(80)에 구성된 제1, 2센터반사면(81, 82)은 수직을 기준으로 45°의 각도로 형성되어 제3, 4사이드프리즘(73, 74)을 통해 반사된 입사광을 각각 90°방향으로 반사시켜 렌즈(10)로 보내도록 구성된 것에 특징이 있는 4면 광학계.The method of claim 1,
The first and second reflecting surfaces 71a and 72a formed on the side prism mirror part 70 are formed at an angle of 22.5 ° with respect to the horizontal and are formed through the first and second surfaces 1a and 1b of the object 1. It is configured to reflect the incident light of the illumination unit 60 reflected in the 90 ° direction to send to the lens 10,
The third and fourth reflection surfaces 73a and 74a are formed at an angle of 22.5 ° with respect to the vertical, so that incident light of the illumination unit 60 reflected through the third and fourth surfaces 1c and 1d of the object 1 is zero. And reflecting in the directions of 180 ° and 180 °, respectively, and directing them to the first and second center reflection surfaces 81 and 82 of the center prism mirror 80, respectively.
The first and second center reflecting surfaces 81 and 82 of the center prism mirror 80 are formed at an angle of 45 ° with respect to the vertical to reflect incident light reflected through the third and fourth side prisms 73 and 74. Four-sided optical system, characterized in that each configured to reflect in the 90 ° direction to send to the lens (10).
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