KR20070067512A - Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure - Google Patents

Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure Download PDF

Info

Publication number
KR20070067512A
KR20070067512A KR1020050128852A KR20050128852A KR20070067512A KR 20070067512 A KR20070067512 A KR 20070067512A KR 1020050128852 A KR1020050128852 A KR 1020050128852A KR 20050128852 A KR20050128852 A KR 20050128852A KR 20070067512 A KR20070067512 A KR 20070067512A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pulley
dimensional structure
stage
outer diameter
laser
Prior art date
Application number
KR1020050128852A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100751028B1 (en
Inventor
이기범
홍종희
목임수
Original Assignee
재단법인 포항산업과학연구원
모텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인 포항산업과학연구원, 모텍 주식회사 filed Critical 재단법인 포항산업과학연구원
Priority to KR1020050128852A priority Critical patent/KR100751028B1/en
Publication of KR20070067512A publication Critical patent/KR20070067512A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100751028B1 publication Critical patent/KR100751028B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

An apparatus for automatically inspecting the outer size of a three-dimensional structure is provided to precisely measure the outer size of the three-dimensional structure such as a vehicular pulley. An apparatus for automatically inspecting the outer size of a three-dimensional structure includes a rotation unit, a stage unit, an inner and outer mirror laser(264), and a profile laser(274). An object is positioned on the rotation unit to be rotated. The stage unit moves the rotation unit in X-, Y-, and Z-directions. The inner and outer mirror laser is installed at a position where the side shape of the object can be observed from a side and includes a tilting stage capable of tilting the observation angle. The profile laser is installed at a position where the upper shape of the object can be observed from the upper side and includes a manual stage capable of moving the horizontal position.

Description

3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치{Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure}Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure}

도 1은, 종래의 비젼 시스템을 이용한 풀리의 검사기술을 설명하기 위한 도면, 1 is a view for explaining the inspection technology of the pulley using a conventional vision system,

도 2는, 종래의 접촉식 변위계를 이용한 풀리의 검사기술을 설명하기 위한 도면, 2 is a view for explaining the inspection technique of the pulley using a conventional contact displacement meter,

도 3은, 전형적인 자동차용 풀리의 사진, 3 is a photograph of a typical automotive pulley,

도 4는, 풀리의 상부 단면에 대한 프로파일 형상의 단면도, 4 is a cross-sectional view of the profile shape for the upper cross section of the pulley,

도 5는, 본 발명에 따른 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치의 구성도이다.5 is a configuration diagram of an external standard automatic inspection device of a three-dimensional structure according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 풀리100: pulley

110 : 컴퓨터110: computer

120 : 카메라120: camera

122 : 촛점122: focus

130 : 접촉식 변위센서130: contact displacement sensor

132 : 접점132: contact point

200 : 자동검사장치200: automatic inspection device

210 : 받침대210: pedestal

220 : XYZ스테이지220: XYZ stage

230 : 모터230: motor

240 : 거치대240: holder

250 : 척250: Chuck

260 : 지지기둥260: support pillar

262 : 틸팅 스테이지262: tilting stage

264 : 내외경 레이저264: inside and outside diameter laser

270 : 지지기둥270 support pillar

272 : 매뉴얼 XY스테이지272: manual XY stage

274 : 프로파일 레이저274: profile laser

본 발명은 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 자동차용 풀리와 같은 3차원 구조물의 모든 외형 치수 규격을 자동으로 정밀하게 측정할 수 있는 외형 규격 자동검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to an automatic inspection apparatus for external dimensions of a three-dimensional structure, and more particularly, to an automatic inspection apparatus for external dimensions that can accurately and accurately measure all external dimensions of a three-dimensional structure such as an automobile pulley. will be.

일반적으로, 3차원 형상을 가지는 구조물의 외형 치수를 정밀하게 계측 검사하는 것은 중요하다. 예컨대, 도 3에 나타낸 자동차용 풀리 등과 같은 경우에는, 이와 연결되는 다른 부품과의 치수정합성 등의 검증을 위하여, 외형 치수를 정밀하게 측정할 수 있어야 한다. 3차원 구조물은 매우 다양하지만, 여기서는 설명의 편의상 다양한 검사 치수 항목이 알려져 있는 자동차용 풀리를 대상으로 하여 설명을 전개한다. 다만, 상기 풀리에 대한 설명에 의하여 본 발명의 기술적 사상이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 이로부터 추론되는 관련범위까지 인정됨은 당연하다.In general, it is important to precisely measure and inspect the external dimensions of structures having three-dimensional shapes. For example, in the case of the vehicle pulley shown in Fig. 3, it is necessary to accurately measure the external dimensions in order to verify the dimensional compatibility with other parts connected thereto. Although the three-dimensional structure is very diverse, for the sake of convenience of explanation, the description will be made for a pulley for a vehicle in which various inspection dimension items are known. However, the technical spirit of the present invention is not limited by the description of the pulley, and the scope of the present invention is granted to the related range inferred therefrom.

도 3은, 전형적인 자동차용 풀리의 사진이다.3 is a photograph of a typical automotive pulley.

도시된 바와 같이, 풀리의 형상을 보면, 풀리의 크기는 외경이 60 φ ~ 90 φ까지 4 종류가 있으며, 상부에는 약간의 굴곡이 만들어져 있음을 알 수 있다. 일반적으로, 풀리 외형 규격은, 최소 20㎛ ~ 350㎛의 규격 공차를 가지고 있으며, 이러한 규격 공차에 의거하여 각각의 품질을 검사하고 있다. As shown, when looking at the shape of the pulley, the size of the pulley can be seen that there are four types of outer diameter of 60 φ ~ 90 φ, a slight bend in the upper portion. In general, the pulley outline standard has a standard tolerance of at least 20 μm to 350 μm, and inspects each quality based on these standard tolerances.

도 4는, 풀리의 상부 단면에 대한 프로파일 형상의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of the profile shape of the upper cross section of the pulley.

일반적으로, 풀리의 외형 치수 검사시, 대략 12가지(외경, 내경, 피어싱경, 풀리높이, 패드높이, 래터럴(평탄도), 래디얼(측면상부진원도), 외경 진원도, (측면)크라운, 내경 진원도, 외경수직, 상부 각도)의 규격에 대한 치수를 수 um 단위까지 정밀하게 측정하여야 한다. 도시된 바와 같이, 풀리의 외경, 내경, 크라운 및 패드 높이 등은 굴곡부를 가지고 있다. 또한, 패드 높이, 풀리 높이, 상부 각도, 그리고 피어싱경은, 굴곡부를 가지거나, 내부 깊숙한 곳의 측정을 요한다는 특성을 가지고 있다.In general, when inspecting the outer dimensions of the pulley, approximately 12 (outer diameter, inner diameter, piercing diameter, pulley height, pad height, lateral (flatness), radial (round upper roundness), outer diameter roundness, (lateral) crown, inner roundness)) , Outside diameter vertical, upper angle) should be precisely measured to a few um. As shown, the outer diameter, inner diameter, crown and pad height, etc. of the pulley have bends. In addition, the pad height, the pulley height, the upper angle, and the piercing diameter have the characteristics of having a bent portion or requiring a deep inside measurement.

종래의 풀리 검사 방법은, 크게 2가지로 분류할 수 있다. Conventional pulley inspection methods can be broadly classified into two types.

도 1은, 종래의 비젼 시스템을 이용한 풀리의 검사기술을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a inspection technique of a pulley using a conventional vision system.

이 방법은, 비젼 시스템의 카메라(120)의 촛점(122)을 수평으로 이동시키면서 풀리(100)의 형상을 영상으로 캡처한 후에, 이 영상데이터를 컴퓨터(110)에 보내서 연산수단에 의하여 풀리(100)의 내경 및 외경 등 치수를 계산하는 방법이다. 하지만, 이 방법은 측정하고자 하는 구조 표면이 원칙적으로 2차원적으로 되어 있어야 하고, 만일 대상물이 3차원 형상인 경우에는, 비젼 측정하였을 때 정확히 2차원에 매칭되어야 한다. 따라서, 3차원 형상에서 수직 방향으로 굴곡이 있으면, 캡처된 영상이 이 굴곡을 반영하지 못하는 2차원 평면으로 매칭되어 있어서, 결국 정밀 측정이 불가능하다는 문제가 있다. 즉, 풀리의 경우에는, 풀리의 외경, 내경, 크라운 및 패드 높이 등은 굴곡부를 가지므로, 비젼 시스템을 사용할 수 없다. This method captures the shape of the pulley 100 as an image while horizontally moving the focus 122 of the camera 120 of the vision system, and then sends the image data to the computer 110 to transmit the pulley ( It is a method for calculating dimensions such as inner diameter and outer diameter of 100). However, this method requires that the structural surface to be measured is in principle two-dimensional, and if the object is a three-dimensional shape, it must be exactly two-dimensionally matched upon vision measurement. Therefore, if there is curvature in the vertical direction in the three-dimensional shape, the captured image is matched to a two-dimensional plane that does not reflect the curvature, and thus there is a problem that precise measurement is impossible. That is, in the case of the pulley, the outer diameter, the inner diameter, the crown and the pad height of the pulley, etc. have a bent portion, so that a vision system cannot be used.

도 2는, 종래의 접촉식 변위계를 이용한 풀리의 검사기술을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining a inspection technique of a pulley using a conventional contact displacement meter.

이 방법은, 대상물의 형상의 외면에 물리적 접촉을 이루는 선단부를 가지고, 외면을 따라 일정 압력의 접촉을 유지하면서 이동시키면서 측정하는 방식이다. 따라서, 측정하고자 하는 구조의 표면이 3차원 구조이더라도 측정이 가능하다. 다만, 이동시키면서 접촉 선단부의 물리적 접촉 압력의 변화 또는 변위에 의하여 측정하는 것이기 때문에 3차원 형상의 변화 폭이 수mm 이내에 있는 경우에만 가능하다는 한계가 있어서, 내부가 깊이 굴곡져 있는 경우에는 3차원 형상 측정이 불가하다. 또한, 예컨대 푸딩이나 두부 등의 외형과 같이, 접촉을 이루는 선단부와의 압력을 견딜 수 없는 외형 재료를 가지는 대상물인 경우에는, 이 방식으로 측정할 수 없다. 즉, 풀리의 경우에는, 패드의 높이, 풀리 높이, 상부 각도, 그리고 피어싱경에 대하여, 접촉식 변위계로는 측정이 불가능한 문제가 있다.This method has a tip part which makes physical contact with the outer surface of the shape of an object, and measures it, moving, maintaining the contact of a constant pressure along an outer surface. Therefore, even if the surface of the structure to be measured is a three-dimensional structure is possible to measure. However, since it is measured by the change or displacement of the physical contact pressure of the contact tip while moving, there is a limitation that it is possible only when the change width of the three-dimensional shape is within a few mm, and the three-dimensional shape when the inside is deeply curved Measurement is not possible. In addition, in the case of an object having an appearance material that cannot withstand the pressure with the tip portion to make contact, such as an appearance such as a pudding or a head, for example, measurement cannot be performed in this manner. That is, in the case of the pulley, there is a problem that the contact displacement meter cannot measure the height of the pad, the height of the pulley, the upper angle, and the piercing diameter.

종래의 풀리 검사 방법은 풀리가 가지고 있는 12가지의 규격을 모두 측정하기에 한계가 있다.The conventional pulley inspection method has a limitation in measuring all 12 specifications of the pulley.

한편, 종래에, 이러한 풀리 규격을 검사하기 위하여, 진원도 측정기를 사용하는 경우도 있는데, 이 경우에는, 외경, 외경 진원도를 포함한 일부 검사밖에 할 수 없는 문제가 있다.On the other hand, in the past, in order to inspect such a pulley standard, a roundness measuring device may be used. In this case, there is a problem that only a partial inspection including an outer diameter and an outer diameter roundness can be performed.

본 발명은, 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하고자 안출된 것으로서, 종래의 비젼 시스템을 이용한 측정이나, 접촉식 변위계를 이용한 측정기술에 있어서, 3차원 형상 구조물, 예컨대 풀리의 복잡한 형상을 모두 다 측정할 수 없었던 한계를 극복할 수 있는 기술을 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and in the measurement technique using a conventional vision system or the measurement technique using a contact displacement meter, all three-dimensional structure, for example, the complex shape of the pulley It is to provide a technology that can overcome the limitations that could not be measured.

또한, 2차원적 해석이 필요한 비젼시스템을 배제하고, 접촉에 의한 변위계도 배제하면서도, 고정밀 비접촉 3차원 형상의 외형 측정이 가능한 기술을 제공하고자 하는 것이다.In addition, it is to provide a technology capable of measuring the appearance of a high-precision, non-contact three-dimensional shape while excluding a vision system requiring two-dimensional analysis and excluding a displacement meter by contact.

또한, 측정 대상물의 XYZ축 이동과 제자리의 회전이 가능하게 하여, 사각이 없는 측정이 가능하게 하는 외형 측정 기술을 제공하고자 하는 것이다.In addition, the XYZ axis movement of the measurement object and the rotation of the position to enable the appearance measurement technology to enable the measurement without a square.

그리고, 복잡한 구조의 구조물, 예컨대 풀리 구조의 외경 진원도, 내경 진원 도를 포함한 모든 외형 치수를 자동으로 수 ㎛의 정밀도로 측정할 수 있는 기술을 제공하고자 하는 것이다.In addition, it is to provide a technique that can automatically measure all the outer dimensions, including the outer diameter roundness, the inner diameter roundness of a complex structure, for example pulley structure with a precision of several μm.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명에 따른 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치는, 대상물을 안착시켜서 자전시키는 회전수단과; 상기 회전수단을 X, Y, Z축 방향으로 이동시키는 스테이지수단과; 상기 회전수단에 안착된 대상물의 측면형상을 측방에서 관측 가능한 위치에 설치되고, 그 관측각도를 틸팅시킬 수 있는 틸팅 스테이지를 구비하는 내외경 레이저와; 상기 회전수단에 안착된 대상물의 상면형상을 상방에서 관측 가능한 위치에 설치되고, 그 수평방향 위치를 이동시킬 수 있는 매뉴얼 스테이지를 구비하는 프로파일 레이저;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the external standard automatic inspection device of the three-dimensional structure according to the present invention, the rotating means for seating and rotating the object; Stage means for moving the rotation means in the X, Y, and Z axis directions; An inner and outer diameter laser provided at a position where the side shape of the object seated on the rotating means can be observed from the side, and having a tilting stage capable of tilting the observation angle; And a profile laser having a manual stage capable of moving a horizontal position of the upper surface shape of the object seated on the rotating means from above.

[실시예]EXAMPLE

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치의 바람직한 일 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the external standard automatic inspection device of the three-dimensional structure according to the present invention.

도 5는, 본 발명에 따른 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치의 구성도이다.5 is a configuration diagram of an external standard automatic inspection device of a three-dimensional structure according to the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 검사장치는, 회전수단(230), 스테이지수단(220), 내외경 레이저(264), 프로파일 레이저(274)로 구성된다.As shown, the inspection apparatus of the present invention is composed of a rotating means 230, stage means 220, inner and outer diameter laser 264, profile laser 274.

상기 회전수단(230)은, 대상물을 안착시켜서 자전시키기 위한 수단이다. 여 기서, 도시된 바와 같이, 모터, 특히 스텝핑 모터를 이용할 수 있으며, 상기 모터의 축에는 대상물을 올려놓는 거치대(240)를 구비함이 바람직하며, 이때 거치대(240)에는, 필요에 따라서, 대상물을 고정시키기 위한 척(250)을 설치하여도 좋다.The rotation means 230 is a means for seating and rotating the object. Here, as shown, it is possible to use a motor, in particular a stepping motor, the axis of the motor is preferably provided with a cradle 240 for placing the object, the cradle 240, if necessary, the object A chuck 250 may be provided for fixing the chuck 250.

상기 스테이지수단(220)은, 상기 회전수단을 X, Y, Z축 방향으로 직선 이동시키기 위한 수단이다. 즉, 일명 XYZ 스테이지라고 불리우는 것으로서, 특히 리니어 모터를 사용하여 구성되어도 좋다. 이 스테이지수단(220)에 의하여, 상기 대상물은, 상기 회전수단(230)에 의하여 회전되면서, 동시에 직선방향으로 이동될 수 있게 된다.The stage means 220 is a means for linearly moving the rotation means in the X, Y, and Z axis directions. That is, what is called a XYZ stage, and especially, it may be comprised using a linear motor. By this stage means 220, the object is rotated by the rotation means 230, it is possible to move in a straight direction at the same time.

한편, 상기 내외경 레이저(264)는, 상기 회전수단에 안착된 대상물의 측면형상을 관측하기 위한 수단이다. 설치되는 위치는, 상기 프로파일 레이저(274)와 달리, 측방관측이 가능한 위치임을 필요로 한다. 바람직하게는 상기 대상물을 상측방 또는 하측방에서 관측 가능한 위치에 설치된다. 그리고, 상기 내외경 레이저(264)는, 그 관측각도를 틸팅시킬 수 있는 틸팅 스테이지를 구비한다. 이에 의하여, 특정 위치에 고정 설치된 틸팅 스테이지를 기준으로 하여, 대상물을 관측하는 각도를, 용이하게 변경할 수 있다.On the other hand, the inner and outer diameter laser 264 is a means for observing the side shape of the object seated on the rotating means. The position to be installed, unlike the profile laser 274, needs to be a position where the side observation is possible. Preferably, the object is provided at a position that can be observed from the upper side or the lower side. The inner and outer diameter lasers 264 include a tilting stage capable of tilting the observation angle. Thereby, the angle which observes an object can be easily changed on the basis of the tilting stage fixedly installed in the specific position.

상기 프로파일 레이저(274)는, 상기 회전수단에 안착된 대상물의 상면형상을 관측하기 위한 수단이다. 설치되는 위치는, 상방에서 관측 가능한 위치임을 필요로 한다. 그리고, 상기 프로파일 레이저(274)는, 그 수평방향 위치를 지면과 평행한 X, Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 매뉴얼 스테이지를 구비한다. 이에 의하여, 특정 위치에 고정 설치된 매뉴얼 스테이지를 기준으로 하여, 대상물을 관측하는 위치 를, 수동으로 용이하게 변경할 수 있다.The profile laser 274 is a means for observing the top shape of the object seated on the rotating means. The position to be installed needs to be a position that can be observed from above. The profile laser 274 is provided with a manual stage capable of moving its horizontal position in the X and Y axis directions parallel to the ground. Thereby, the position where an object is observed can be easily changed manually based on the manual stage fixedly installed in the specific position.

상기와 같이 본 발명의 검사장치는, 복잡한 형상의 3차원 대상물, 예컨대 풀리의 규격을 검사하기 위하여, 3개의 레이저를 사용하고 있다. As described above, the inspection apparatus of the present invention uses three lasers to inspect a standard of a complex three-dimensional object, for example, a pulley.

측방에 있는 내외경 레이저(264)는, 풀리의 측면형상을 스캔할 수 있는 레이저이다. 여기서, 내경 및 외경, 또는 각 직경과 진원도를 동시에 측정하기 위하여, 상기 내외경 레이저(264)를 2개 구비하여도 좋다.The inner and outer diameter laser 264 on the side is a laser capable of scanning the side shape of the pulley. Here, two inner and outer diameter lasers 264 may be provided to simultaneously measure the inner diameter and the outer diameter, or the respective diameters and roundness.

외경 진원도와 내경 진원도는, 측면에 있는 내외경 레이저(264)를 사용하여 측정하는데, 도 5에 보여주는 레이저 포인트 위치는, 내경 및 내경 진원도를 측정하고 있는 상태를 보여주고 있다. The outer diameter roundness and the inner diameter roundness are measured using the inner and outer diameter laser 264 on the side, but the laser point position shown in FIG. 5 shows the state of measuring the inner diameter and the inner diameter roundness.

(1) 내경 진원도를 측정할 때는, 도 5에 나타낸 현재의 레이저 위치에서, 회전수단(230), 예컨대 스텝핑 모터를 회전시켜서 측정하면 된다. (1) When measuring the inner diameter roundness, the rotating means 230, for example, the stepping motor, may be rotated at the current laser position shown in FIG.

(2) 외경 진원도를 측정하기 위하여는, 레이저 포인트가 풀리의 외경 중심에 위치되도록 스테이지수단(220), 예컨대 XYZ 스테이지의 예컨대 Z축을 이동시킨다. 이렇게 레이저 포인트가 풀리 외경을 지시하면, 회전수단(230), 예컨대 스텝핑 모터를 구동하여 외경 진원도를 측정한다. (2) In order to measure the outer diameter roundness, the stage means 220, for example, the Z axis of the XYZ stage, is moved so that the laser point is located at the center of the outer diameter of the pulley. When the laser point indicates the outer diameter of the pulley, the rotation means 230, for example, driving the stepping motor to measure the outer diameter roundness.

(3) 래디얼(측면상부 진원도) 측정은, 스테이지수단(220), 예컨대 XYZ 스테이지의 예컨대 Z축을 이동시켜서, 풀리 외경의 상부에 레이저 포인트를 위치시킨 후, 회전수단(230), 예컨대 스텝핑 모터를 회전시켜서 측정한다. (3) Radial measurement is performed by moving the stage means 220, for example, the Z axis of the XYZ stage, positioning the laser point on the top of the pulley outer diameter, and then rotating the means 230, for example, the stepping motor. Measure by rotating.

(4) 피어싱경, (5) 풀리 높이, (6) 패드 높이, (7) 상부 각도를 측정하기 위 해서는, 스테이지수단(220), 예컨대 XYZ 스테이지의 예컨대 Y축을 이동시켜서, 상부에 있는 프로파일 레이저(274)를 사용하여, 풀리의 중심 단면 프로파일을 도 4의 우측 그림과 같이 측정한다. 그리고, 컴퓨터 계산에 의하여, 피어싱경, 풀리 높이, 패드 높이, 상부 각도를 산출한다.(4) Piercing mirror, (5) Pulley height, (6) Pad height, (7) To measure the top angle, move the stage means 220, for example the Y axis of the XYZ stage, to move the profile laser at the top Using 274, the center cross-sectional profile of the pulley is measured as shown in the right figure of FIG. The piercing mirror, the pulley height, the pad height, and the upper angle are calculated by computer calculation.

(8) 측면 크라운은, 스테이지수단(220)의 예컨대 Z축을 이동시켜서, 측면의 내외경 레이저(264)를 이용하여, 풀리 측면의 중심점과 상부를 측정하여, 그 차이값을 가지고 크라운을 산출한다. (8) The side crown calculates the crown with the difference value by moving the Z axis of the stage means 220, for example, by measuring the center point and the top of the side surface of the pulley using the inner and outer diameter lasers 264 on the side surface. .

(9) 외경 수직은, 스테이지수단(220)의 예컨대 Z축을 이동시켜서, 측면의 내외경 레이저(264)를 이용하여, 풀리 측면의 상부와 하부를 측정하여, 그 차이값을 가지고 외경 수직을 산출한다.(9) The outer diameter perpendicular is determined by moving the Z axis of the stage means 220, for example, by measuring the upper and lower sides of the pulley side using the inner and outer diameter lasers 264 on the side, and calculating the outer diameter vertical with the difference value. do.

(10) 래터럴(평탄도) 측정은, 스테이지수단(220)의 예컨대 Y축을 이동시켜서, 상부의 프로파일 레이저(274)의 레이저 포인트가 풀리 상부 정점에 오도록 위치시킨다. 그 후, 회전수단(230), 예컨대 스텝핑 모터를 회전시켜서, 풀리 상부의 래터럴(평탄도)을 측정한다.(10) Lateral (flatness) measurement moves the Y axis of the stage means 220, for example, so that the laser point of the upper profile laser 274 is located at the upper peak of the pulley. Thereafter, the rotating means 230, for example, the stepping motor is rotated to measure the lateral (flatness) of the upper part of the pulley.

이하, 보다 구체적으로, 본 발명의 장치를 이용한 풀리 검사방법에 대해 살펴보기로 한다.Hereinafter, more specifically, the pulley inspection method using the apparatus of the present invention will be described.

우선, 풀리의 품질을 측정하기 위하여, 풀리를 거치대(240), 예컨대 측정 시험판에 안착시킨 후, 필요에 따라 척(250)을 물려서 고정시킨다. 그리고, 풀리의 외형 규격을 측정하게 된다. First, in order to measure the quality of the pulley, the pulley is mounted on a holder 240, for example, a measurement test plate, and then the chuck 250 is bitten and fixed as necessary. Then, the outer dimensions of the pulleys are measured.

풀리의 외형 검사에 대한 검사절차는 다음과 같이 예시될 수 있다.The inspection procedure for the external inspection of the pulley can be illustrated as follows.

1) 풀리의 편심을, 스테이지수단(220)을 이용하여 자동 측정하여 설정한다.1) The eccentricity of the pulley is automatically measured and set using the stage means 220.

2) 풀리의 중심 단면 프로파일(도 4의 우측 그림 참조)을 측정한다.2) Measure the center cross-sectional profile of the pulley (see the right figure in Figure 4).

3) 풀리의 측면 프로파일을 측정한다.3) Measure the side profile of the pulley.

4) 측정된 데이터로부터, 풀리 높이, 패드 높이, 피어싱경, 상부 각도를 자동 계산한다. 4) From the measured data, the pulley height, pad height, piercing diameter, and upper angle are automatically calculated.

5) 회전수단(230), 예컨대 모터를 1차 회전시킨다. 래터럴을 측정한다.5) Rotating means 230, for example, to rotate the motor primary. Measure lateral.

6) Y축으로 스테이지수단(220)을 조정하여, 내경 측정위치로 조정한다. 내경을 측정한다.6) Adjust the stage means 220 on the Y-axis to adjust the inner diameter measuring position. Measure the inner diameter.

7) 회전수단(230)을 2차 회전한다. 내경 진원도를 측정한다.7) The second rotating means 230 is rotated. Inner diameter roundness is measured.

8) Y축으로 스테이지수단(220)을 조정하여, 상부 정점 측정위치로 조정한다. 8) Adjust the stage means 220 on the Y axis to the upper peak measurement position.

9) 회전수단(230)을 3차 회전한다. 래터럴을 측정한다.9) Rotating means 230 is rotated three times. Measure lateral.

10) Z축으로 스테이지수단(220)을 조정하여 외경 레이저 측정 위치로 조정한다. 외경을 측정한다.10) Adjust the stage means 220 in the Z-axis to the outer diameter laser measurement position. Measure the outer diameter.

11) 회전수단(230)을 4차 회전한다. 외경 진원도를 측정한다.11) rotate the rotation means 230 four times. Measure the outer diameter roundness.

12) 스테이지수단(220)의 Z축 이동을 이용하여, 풀리 외경의 Z축 프로파일을 측정한다. 크라운, 외경 수직도를 측정한다.12) Using the Z axis movement of the stage means 220, the Z axis profile of the pulley outer diameter is measured. Crown, outer diameter perpendicularity is measured.

상기에서 본 발명은 하나의 실시예에 의하여 설명되었으나, 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범 위 내에서 여러가지 치환, 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.Although the present invention has been described above by way of one embodiment, the present invention is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various substitutions and changes can be made without departing from the spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 종래의 비젼 시스템을 이용한 측정이나, 접촉식 변위계를 이용한 측정기술에 있어서, 3차원 형상 구조물, 예컨대 풀리의 복잡한 형상을 모두 다 측정할 수 없었던 한계를 극복할 수 있는 기술이 제공된다.According to the present invention having the above-described configuration, in the measurement technique using a conventional vision system or a measurement technique using a contact displacement meter, the limitation that all complex shapes of a three-dimensional structure, for example a pulley, could not be measured was overcome. The technology to do this is provided.

또한, 2차원적 해석이 필요한 비젼시스템을 배제하고, 접촉에 의한 변위계도 배제하면서도, 고정밀 비접촉 3차원 형상의 외형 측정이 가능한 기술이 제공된다.In addition, a technology capable of measuring the appearance of a high precision non-contact three-dimensional shape while providing a vision system requiring two-dimensional analysis and excluding a displacement meter by contact is provided.

또한, 측정 대상물의 XYZ축 이동과 제자리의 회전이 가능하게 하여, 사각이 없는 측정이 가능하게 하는 외형 측정 기술이 제공된다.In addition, an outline measurement technique is provided that enables movement of the XYZ axis of the measurement object and rotation in place, thereby enabling measurement without a blind spot.

그리고, 복잡한 구조의 구조물, 예컨대 풀리 구조의 외경 진원도, 내경 진원도를 포함한 모든 외형 치수를 자동으로 수 ㎛의 정밀도로 측정할 수 있는 기술이 제공된다.In addition, a technique is provided that can automatically measure all external dimensions, including outer diameter roundness and inner diameter roundness, of complex structures, such as pulley structures, with a precision of several micrometers.

Claims (1)

3차원 구조물의 외형 규격을 자동으로 검사하는 장치에 있어서, In the device for automatically checking the appearance of the three-dimensional structure, 대상물을 안착시켜서 자전시키는 회전수단과; Rotating means for seating and rotating the object; 상기 회전수단을 X, Y, Z축 방향으로 이동시키는 스테이지수단과; Stage means for moving the rotation means in the X, Y, and Z axis directions; 상기 회전수단에 안착된 대상물의 측면형상을 측방에서 관측 가능한 위치에 설치되고, 그 관측각도를 틸팅시킬 수 있는 틸팅 스테이지를 구비하는 내외경 레이저와; An inner and outer diameter laser provided at a position where the side shape of the object seated on the rotating means can be observed from the side, and having a tilting stage capable of tilting the observation angle; 상기 회전수단에 안착된 대상물의 상면형상을 상방에서 관측 가능한 위치에 설치되고, 그 수평방향 위치를 이동시킬 수 있는 매뉴얼 스테이지를 구비하는 프로파일 레이저;A profile laser provided at a position capable of observing an upper surface shape of the object seated on the rotating means from above and having a manual stage capable of moving the horizontal position thereof; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는, 3차원 구조물의 외형 규격 자동검사장치.Characterized in that comprises a, three-dimensional structure of the external standard automatic inspection device.
KR1020050128852A 2005-12-23 2005-12-23 Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure KR100751028B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050128852A KR100751028B1 (en) 2005-12-23 2005-12-23 Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050128852A KR100751028B1 (en) 2005-12-23 2005-12-23 Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070067512A true KR20070067512A (en) 2007-06-28
KR100751028B1 KR100751028B1 (en) 2007-08-21

Family

ID=38366173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050128852A KR100751028B1 (en) 2005-12-23 2005-12-23 Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100751028B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101358429B1 (en) * 2013-08-14 2014-02-05 이승현 An optical system to examine the four sides of the object

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960024266A (en) * 1994-12-29 1996-07-20 남일 Tire shape measuring device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101358429B1 (en) * 2013-08-14 2014-02-05 이승현 An optical system to examine the four sides of the object

Also Published As

Publication number Publication date
KR100751028B1 (en) 2007-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8964023B2 (en) Device and method for measuring form attributes, position attributes and dimension attributes of machine elements
US9316476B2 (en) Profile measuring instrument, adjusting method for profile measuring instrument, and profile measuring method
CN105758343B (en) The device and method of C axis centre of gyration calibration based on double standard balls
US10578414B2 (en) Inner-wall measuring instrument and offset-amount calculation method
US6301007B1 (en) Machine tool locator
US11754387B2 (en) Noncontact sensor calibration using single axis movement
CN114719752B (en) Method for measuring geometric parameters of precise parts based on universal tool microscope and measuring head
CN110940267B (en) Measuring method and measuring system thereof
US10801825B2 (en) Adapter element for assembling a rotational apparatus in the measurement space of a coordinate measuring machine
US9372079B1 (en) Optical plate for calibration of coordinate measuring machines
JP2011215016A (en) Aspheric surface measuring apparatus
JP6419380B1 (en) Inspection master
KR100751028B1 (en) Automatic inspection machine and method of outer specification of 3 dimensional structure
CN102384729B (en) Method and device for detecting perpendicularity of screw thread
CN114018174B (en) Complex curved surface contour measuring system
JP2012002548A (en) Light wave interference measurement device
US20100284023A1 (en) Device and method for measuring the shape of freeform surfaces
JP2008139078A (en) Method and apparatus for measuring parallel holes
WO2020105218A1 (en) Measurement method
CN105180872B (en) The measurement method and device of high-precision mirror interval adjustment ring
JP5070370B2 (en) Ultraprecision shape measuring method and apparatus
CN110702027A (en) Miniature roundness measuring instrument and measuring method based on complex beam angle sensor
CN212779106U (en) Three-dimensional detection device and detection equipment
CN115355835B (en) Bearing inner and outer diameter measuring device and measuring method thereof
CN114485533A (en) Device and method for measuring axis of quadric surface optical element

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120801

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130809

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140812

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150804

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160725

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170725

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180725

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190812

Year of fee payment: 13