KR101349558B1 - 마스크 리스 노광 장치 및 그의 정렬 방법 - Google Patents

마스크 리스 노광 장치 및 그의 정렬 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 리스(Maskless) 노광 장치 및 그의 정렬 방법에 관한 것으로, 조명부와; 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와; 프로젝션 렌즈로 구성된 마스크 리스 노광 장치에, 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부를 더 구비하는 것이다.
따라서, 본 발명은 마스크 없이 노광 공정을 수행함으로써, 마스크를 제작할 필요가 없어 노광 공정 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 위치 정렬부로 디지털 마이크로미러 소자를 정밀하게 위치를 정렬시킬 수 있으므로, 디지털 마이크로미터 소자에서 반사된 광이 왜곡됨을 방지하여 노광면에 원하는 패턴을 형성할 수 있으므로, 노광 패턴의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
마스크, 리스, 노광, 정렬, 검출, 위치

Description

마스크 리스 노광 장치 및 그의 정렬 방법 { Maskless exposure apparatus and method for aligning the same }
도 1은 종래 기술에 따른 노광 공정을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 2는 본 발명에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 원리를 설명하기 위한 개념도
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 개략적인 구성도
도 4a와 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 카메라에서 마이크로 미러를 촬영된 영상을 개략적으로 도시한 도면
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스 노광 장치의 개략적인 구성도
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 촬영한 영상의 개략적인 도면
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 개략적인 구성도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 조명부
110 : 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)
120 : 프로젝션 렌즈 130 : 집광 렌즈
140,311 : 카메라 145,321 : 촬영된 영상
146,147 : 마이크로 미러 150 : 레이저광을 조명하는 광원
200 : 기판 210 : 노광을 수행할 막
310 : 위치 검출 센서 320,321 : 위치 보정부
332 : 위치 마크 이미지 패턴 330 : 스테이지
본 발명은 마스크 리스(Maskless) 노광 장치 및 그의 정렬 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노광의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 마스크 리스 노광 장치 및 그의 정렬 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electroluminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등과 같은 화상 표시 패널, 전자 부품이 실장되는 회로 기판, 박막 기술을 이용한 부품 등을 제작하기 위해서는 미세한 패턴을 형 성해야 한다.
이러한 미세한 패턴은 사진 식각 공정을 수행하여 형성해왔고, 이 사진 식각 공정은 감광막 도포, 노광 및 현상 등 여러 공정을 수행한다.
도 1은 종래 기술에 따른 노광 공정을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 광원(10)에서 발산된 광이 포토마스크(20)의 패턴을 따라 기판(40) 상부의 감광막(30)에 조사되어, 상기 감광막(30)은 패턴 형상으로 노광된다.
최근, 이러한 노광 공정을 최적화하려는 연구가 진행되고 있다.
본 발명은 마스크를 사용하지 않고 노광 공정을 수행하는 것으로, 마스크 없이 노광 공정을 수행함으로써, 마스크를 제작할 필요가 없어 노광 공정 비용을 줄일 수 있는 마스크 리스(Maskless) 노광 장치 및 그의 정렬 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 위치 정렬부로 디지털 마이크로미러 소자를 정밀하게 위치를 정렬시킬 수 있으므로, 디지털 마이크로미터 소자에서 반사된 광이 왜곡됨을 방지하여 노광면에 원하는 패턴을 형성할 수 있는 마스크 리스(Maskless) 노광 장치 및 그의 정렬 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
광을 조명하는 조명부와;
외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
상기 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하고, 상기 중앙 마이크로미러에서 반사된 광을 촬영하여, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것 마스크 리스(Maskless) 노광 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
광을 조명하는 조명부와;
외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
상기 디지털 마이크로미러 소자에 조사된 광을 입사받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치값을 검출하고, 검출된 위치값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 3 양태(樣態)는,
광을 조명하는 조명부와;
외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 촬영하고, 상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 4 양태(樣態)는,
위치 정렬용 조명부에서 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 단계와;
상기 조사된 광을 상기 마이크로미러에서 반사시키는 단계와;
상기 마이크로미러에서 반사된 광을 카메라에서 촬영하여 영상으로 출력하는 단계와;
상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 정렬 상태를 판단하는 단계와;
상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치가 정렬되어 있지 않으면, 위치 조정부로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬시키는 단계로 이루어진 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 5 양태(樣態)는,
조명부에서 조명된 광을 디지털 마이크로미러 소자에서 반사하는 단계와;
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 입력받아 위치 검출 센서에서 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 단계와;
상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표를 위치 보정부에서 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 단계와;
상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값을 스테이지가 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬하는 단계로 이루어진 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 6 양태(樣態)는,
조명부에서 조명된 광을 디지털 마이크로미러 소자에서 반사하는 단계와;
상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 입력받아 위치 검출 센서에서 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 단계와;
상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표를 위치 보정부에서 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 단계와;
상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값을 스테이지가 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬하는 단계로 이루어진 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 원리를 설명하기 위한 개념도로서, 조명부(100)에서 광을 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)(110)로 조사한다.
상기 디지털 마이크로미러 소자(110)는 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부(100)의 광을 반사시켜, 이미지 패턴이 포함된 광을 프로젝션 렌즈(120)로 입사시키고, 상기 프로젝션 렌즈(120)에서 출사된 광은 기판(200) 상부에 형성되어 있는 노광을 수행할 막(210)에 결상되어 노광 공정이 진행된다.
여기서, 상기 프로젝션 렌즈(120)는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 투과한다.
그리고, 상기 기판(200)은 디스플레이용 기판이 바람직하다.
그러므로, 본 발명의 마스크 리스 노광은, 마스크를 사용하지 않고 노광 공 정을 수행하는 것으로, 마스크를 제작할 필요가 없어 노광 공정 비용을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 노광시킬 패턴의 형상이 변경되는 경우, 변경된 패턴 정보를 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)로 입력시키면 됨으로써, 노광시킬 패턴의 형상에 따라 마스크를 제작할 필요가 없는 장점이 있는 것이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 개략적인 구성도로서, 광을 조명하는 조명부(100)와; 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부(100)의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)(110)와; 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈(120)로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하고, 상기 중앙 마이크로미러에서 반사된 광을 촬영하여, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것이다.
즉, 상기 조명부(100), 디지털 마이크로미러 소자(110)와 프로젝션 렌즈(120)는 마스크없이 노광할 수 있는 노광 장치이며, 이 노광 장치에 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것이다.
이때, 상기 위치 정렬부에서 광이 조사되는 마이크로미러는 복수개의 마이크로미러들 중 가운데 있는 마이크로 미러가 바람직하다.
그리고, 상기 위치 정렬부는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 위치 정렬용 조명부와; 상기 프로젝션 렌즈(120)에서 투과된 광을 집광하는 집광렌즈(130)와; 상기 집광렌즈(130)로 집광된 광을 촬영하여 영상으로 출력하는 카메라(140)와; 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하는 위치 조정부(미도시)로 구성된다.
여기서, 상기 위치 정렬용 조명부는 레이저광을 조명하는 광원(150)이 바람직하고, 상기 카메라(140)는 CCD(Charge Coupled Device)가 바람직하다.
이렇게 구성된 마스크 리스(Maskless) 노광 장치는 상기 위치 정렬용 조명부(140)에서 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하고, 상기 조사된 광을 상기 마이크로미러에서 반사시키고, 상기 마이크로미러에서 반사된 광을 프로젝션 렌즈(120)에서 투과하고, 상기 투과된 광을 집광렌즈(130)에서 집광시키고, 상기 집광렌즈(130)에서 집광된 광을 카메라(140)에서 촬영하여 영상으로 출력하고, 상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 정렬 상태를 판단하고, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치가 정렬되어 있지 않으면, 위치 조정부(미도시)로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하여 정렬시키는 것이다.
도 4a와 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 카메라에서 마이크로 미러를 촬영된 영상을 개략적으로 도시한 도면으로써, 도 4a에 도시된 바와 같이, 카메라로 촬영된 영상(145)에서 디지털 마이크로미러 소자의 마이크로 미러(146)의 형태가 원하는 형태가 아니면 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정해야 한다.
여기서, 원하는 형태는 도 4b와 같이 정사각형인 것이 바람직하다.
그리고, 도 4b와 같이, 카메라로 촬영된 영상(145)에서 디지털 마이크로미러 소자의 마이크로 미러(147)의 형태가 원하는 형태이면, 디지털 마이크로미러 소자의 위치는 정확히 세팅(Setting)되어 있다고 판단되는 것이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스 노광 장치의 개략적인 구성도로서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스 노광 장치는, 조명부(100),디지털 마이크로미러 소자(110)와 프로젝션 렌즈(120)로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에 조사된 광을 입사받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치값을 검출하고, 검출된 위치값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것이다.
상기 위치 정렬부는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 후, 상기 프로젝션 렌즈(120)에서 투과된 광을 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 좌표를 검출하는 위치 검출 센서(Position Detect Sensor, PDS)(310)와; 상기 위치 검출 센서(310)에서 검출된 위치 좌표로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부(320)와; 상기 위치 보정부(320)에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하는 스테이지(330)로 구성된다.
여기서, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 광은 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광인 것이 바람직하다.
이렇게 구성된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치는, 상기 조명부(100)에서 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)로 광을 조명하면, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 광을 반사하고, 그 반사된 광이 상기 프로젝션 렌즈(120)에서 투과되어 위치 검출 센서(310)로 입력된다.
상기 위치 검출 센서(310)는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 좌표를 검출하고, 상기 위치 검출 센서(310)에서 검출된 위치 좌표는 상기 위치 보정부(320)에서 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 보정하는 값을 출력한다.
상기 위치 보정부(320)에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 보정값에 대한 신호는 상기 스테이지(330)로 입력되어, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하는 것이다.
상기 스테이지(330)는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)를 지지하고 있 어, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)를 이동시킬 수 있는 것이다.
한편, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 정렬을 위하여 조사된 광은 상기 조명부(100)에서 조명된 광이거나, 또는 레이저광을 조명하는 보조 조명부(미도시)에서 조명된 광이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 촬영한 영상의 개략적인 도면으로서, 제 2 실시예의 디지털 마이크로미러 소자가 반사된 광에는 위치 마크 이미지 패턴이 포함되어 있다.
그러므로, 도 6에 도시된 바와 같이, 카메라로 촬영된 영상(331)에는 위치 마크 이미지 패턴(332)이 포함되어 있다.
도 5에 설명된 상기 위치 검출 센서(310)는 상기 위치 마크 이미지 패턴(332)의 위치 좌표를 검출하고, 이 위치 마크 이미지 패턴(332)의 위치 좌표로 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값을 출력하는 것이다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치의 개략적인 구성도로서, 이 마스크 리스 노광 장치는, 조명부(100),디지털 마이크로미러 소자(110)와 프로젝션 렌즈(120)로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 광을 촬영하고, 상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비된 것이다.
여기서, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 광은 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 위치 정렬부는 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)에서 반사된 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광을 촬영하는 카메라(311)와; 상기 카메라(311)에서 촬영된 영상에 포함된 위치 마크 이미지 패턴을 인식하여 위치 편차를 계산하여 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부(321)와; 상기 위치 보정부(321)에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하는 스테이지(330)로 구성된다.
여기서, 본 발명의 제 3 실시예에 적용된 위치 보정부(321)는 제 2 실시예에 적용된 위치 보정부(320)와는 기능면에서 다른 것이다.
이렇게 구성된 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크 리스(Maskless) 노광 장치는, 조명부(100)에서 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)로 광을 조명하면, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)는 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광으로 반사하고, 그 반사된 광이 상기 프로젝션 렌즈(120)에서 투과되며, 그 투과된 광을 카메라(311)에서 촬영한다.
상기 카메라(311)에서 촬영된 영상을 상기 위치 보정부(321)에서 입력받아, 촬영된 영상에 포함된 위치 마크 이미지 패턴을 인식하여 위치 편차를 계산하고, 그 위치 편차에 따라 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 보정하는 값을 출력한다.
상기 위치 보정부(321)에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치 보정값에 대한 신호를 상기 스테이지(330)가 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자(110)의 위치를 조정하여 세팅한다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 위치 정렬부로 디지털 마이크로미러 소자를 정밀하게 위치를 정렬시킬 수 있으므로, 디지털 마이크로미터 소자에서 반사된 광이 왜곡됨을 방지하여 노광면에 원하는 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (14)

  1. 광을 조명하는 조명부와;
    외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
    상기 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하고, 상기 복수개의 마이크로미러들 중 중앙에 위치한 마이크로미러에서 반사된 광을 촬영하여, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비되고,
    상기 위치 정렬부는,
    상기 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 위치 정렬용 조명부와;
    상기 프로젝션 렌즈에서 투과된 광을 집광하는 집광렌즈와;
    상기 집광렌즈로 집광된 광을 촬영하여 영상으로 출력하는 카메라와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 위치 조정부로 구성된 마스크 리스(Maskless) 노광 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 정렬용 조명부는,
    레이저광을 조명하는 광원인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 카메라는,
    CCD(Charge Coupled Device)인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치.
  5. 광을 조명하는 조명부와;
    외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
    상기 디지털 마이크로미러 소자에 조사된 광을 입사받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치값을 검출하고, 검출된 위치값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비되고,
    상기 위치 정렬부는,
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 후, 상기 프로젝션 렌즈에서 투과된 광을 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 위치 검출 센서와;
    상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부와;
    상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 스테이지로 구성된 마스크 리스 노광 장치.
  6. 삭제
  7. 광을 조명하는 조명부와;
    외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며,
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 촬영하고, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부를 더 구비하고,
    상기 위치 정렬부는,
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광을 촬영하는 카메라와;
    상기 카메라에서 촬영된 영상에 포함된 위치 마크 이미지 패턴을 인식하여 위치 편차를 계산하여 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부와;
    상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 스테이지로 구성된 마스크 리스 노광 장치.
  8. 삭제
  9. 위치 정렬용 조명부에서 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 단계와;
    상기 조사된 광을 상기 마이크로미러에서 반사시키는 단계와;
    상기 마이크로미러에서 반사된 광을 카메라에서 촬영하여 영상으로 출력하는 단계와;
    상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 정렬 상태를 판단하는 단계와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치가 정렬되어 있지 않으면, 위치 조정부로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬시키는 단계로 이루어지고,
    상기 마이크로미러에서 반사된 광은 프로젝션 렌즈에서 투과되고, 상기 투과된 광을 집광렌즈에서 집광되고, 상기 집광렌즈에서 집광된 광을 상기 카메라에서 촬영하여 영상으로 출력하는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법.
  10. 삭제
  11. 조명부에서 조명된 광을 디지털 마이크로미러 소자에서 반사하는 단계와;
    상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 입력받아 위치 검출 센서에서 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 단계와;
    상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표를 위치 보정부에서 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 단계와;
    상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값을 스테이지가 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬하는 단계로 이루어지고,
    상기 디지털 마이크로미러 소자가 반사된 광에는 위치 마크 이미지 패턴이 포함되어 있는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 조명부는,
    레이저광을 조명하는 조명부인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
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