KR101336391B1 - 3점법 회전오차 측정장치 - Google Patents

3점법 회전오차 측정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101336391B1
KR101336391B1 KR1020120113811A KR20120113811A KR101336391B1 KR 101336391 B1 KR101336391 B1 KR 101336391B1 KR 1020120113811 A KR1020120113811 A KR 1020120113811A KR 20120113811 A KR20120113811 A KR 20120113811A KR 101336391 B1 KR101336391 B1 KR 101336391B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
contact displacement
displacement sensor
angle
shape
error
Prior art date
Application number
KR1020120113811A
Other languages
English (en)
Inventor
박인황
김종혁
Original Assignee
현대위아 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대위아 주식회사 filed Critical 현대위아 주식회사
Priority to KR1020120113811A priority Critical patent/KR101336391B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101336391B1 publication Critical patent/KR101336391B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2428—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring existing positions of tools or workpieces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q2717/00—Arrangements for indicating or measuring

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

이 발명은, 정밀한 기준구를 사용하지 않고도 주축의 형상오차를 제거하여 주축의 회전오차만을 정확하게 측정할 수 있도록 하는, 3점법 회전오차 측정장치에 관한 것으로서,
제1 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 φ가 되도록 설치되는 제2 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 τ가 되도록 설치되는 제3 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서로부터 입력되는 신호를 퓨리에 변환(FFT)을 하기 위한 신호처리기와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서가 이루는 각도(φ)와 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서가 이루는 각도(τ)를 입력받아서 행렬식(Determinant)의 값을 계산하여 그 값이 0.02보다 큰 경우에, 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 공작기계 주축의 형상(r(θ))에 대입한 후에, 이를 다시 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(), S3())에 대입하여 X, Y 방향의 회전오차(x(), y())를 구하는 제어부와, X, Y 방향의 회전오차(x(), y())를 표시하기 위한 모니터링 장치를 포함하여 이루어진다.

Description

3점법 회전오차 측정장치{spindle error motion mesurement device}
이 발명은 3점법 회전오차 측정장치에 관한 것으로서, 좀더 세부적으로 말하자면 정밀한 기준구를 사용하지 않고도 주축의 형상오차를 제거하여 주축의 회전오차만을 정확하게 측정할 수 있도록 하는, 3점법 회전오차 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 공작기계 주축의 회전 정도 측정은 브이 블록(V-block)이나 기준구(master ball)을 이용하여 측정한다.
상기한 기준구를 이용하여 주축의 회전 정도를 측정하는 경우에는, 기준구를 주축에 물리고, 비접촉 변위센서 2개를 기준구에 설치하여 축의 반경방향 운동을 측정하게 된다. 이 때 2개 비접촉 변위센서의 출력값은 런아웃 오차로서 정의할 수가 있는데, 이 런아웃 오차에는 주축의 회전오차와 편심오차와 형상오차(geometric error)가 모두 포함됨으로써 정확한 회전 정도의 측정이 어렵다.
상기한 주축의 회전오차는 주축의 기학학적 중심이 변하여 생기는 오차이고, 주축의 형상오차는 주축의 형상에 기인해 생기는 오차이다.
상기한 편심오차는 주축의 회전당 한번만 나오게 되므로, 퓨리에 변환한 후 1x 성분을 제거하면 사라지게 되므로, 주축의 회전 오차를 계산하기 위해서는 주축의 형상오차를 제거하는 방법이 필요하게 된다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 정밀한 기준구를 사용하지 않고도 주축의 형상오차를 제거하여 주축의 회전오차만을 정확하게 측정할 수 있도록 하는, 3점법 회전오차 측정장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 이 발명의 구성은, 제1 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 φ가 되도록 설치되는 제2 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 τ가 되도록 설치되는 제3 비접촉 변위센서와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서로부터 입력되는 신호를 퓨리에 변환(FFT)을 하기 위한 신호처리기와, 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서가 이루는 각도(φ)와 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서가 이루는 각도(τ)를 입력받아서 행렬식(Determinant)의 값을 계산하여 그 값이 0.02보다 큰 경우에, 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 공작기계 주축의 형상(r(θ))에 대입한 후에, 이를 다시 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))에 대입하여 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 구하는 제어부와, X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 표시하기 위한 모니터링 장치를 포함하여 이루어지면 바람직하다.
이 발명의 구성은, 상기한 행렬식은 다음과 같이 이루어지면 바람직하다.
Figure 112012083217323-pat00001
이 발명의 구성은, 상기한 합(S(θ))의 퓨리에 계수 Fk와 Gk는 다음과 같이 이루어지면 바람직하다.
Figure 112012083217323-pat00002
이 발명의 구성은, 상기한 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk는 다음과 같이 이루어지면 바람직하다.
Figure 112012083217323-pat00003
이 발명의 구성은, 상기한 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))는 다음과 같이 이루어지면 바람직하다.
Figure 112012083217323-pat00004
이 발명은, 정밀한 기준구를 사용하지 않고도 주축의 형상오차를 제거하여 주축의 회전오차만을 정확하게 측정할 수 있도록 하는, 효과를 갖는다.
도 1은 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 설치 구성도이다.
도 2a는 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 행렬식이 0.02 보다 작은 경우의 그래프이다.
도 2b는 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 행렬식이 0.02 보다 큰 경우의 그래프이다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. 이 발명의 목적, 작용, 효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징점들, 그리고 동작상의 이점들이 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
참고로, 여기에서 개시되는 실시예는 여러가지 실시가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 제시된 실시예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시예가 가능함을 밝혀 둔다.
또한, 본원의 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 정의된 것으로서, 통상적이거나 사전적인 의미로만 한정해서 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 일예로서, 방향에 관한 용어는 설명상의 편의를 위하여 도면상에 표현된 위치를 기준으로 설정하기로 한다.
도 1은 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 설치 구성도이다.
도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 구성은, 제1 비접촉 변위센서(4)와, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와의 사이의 각도가 φ가 되도록 설치되는 제2 비접촉 변위센서(5)와, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와의 사이의 각도가 τ가 되도록 설치되는 제3 비접촉 변위센서(6)와, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)에 대하여 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)로부터 입력되는 신호를 퓨리에 변환(FFT)을 하기 위한 신호처리기(2)와, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)가 이루는 각도(φ)와 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)에 대하여 제3 비접촉 변위센서(6)가 이루는 각도(τ)를 입력받아서 행렬식(Determinant)의 값을 계산하여 그 값이 0.02보다 큰 경우에, 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 공작기계 주축의 형상(r(θ))에 대입한 후에, 이를 다시 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))에 대입하여 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 구하는 제어부(7)와, X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 표시하기 위한 모니터링 장치(3)를 포함하여 이루어진다.
상기한 구성에 의한, 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 작용은 다음과 같다.
먼저, 작업자는 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)의 사이의 각도가 φ가 되도록 하고 제1 비접촉 변위센서(4)와 제3 비접촉 변위센서(6)의 사이의 각도가 τ가 되도록 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)를 공작기계 주축에 설치한다.
상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)로부터 각각 출력되는 신호(S1, S2, S3)는 회전각(θ)의 함수로서, 이론적으로 다음과 같이 정의된다.
S1(θ) = R1 - r(θ) - y(θ)
S2(θ) = R2 - r(θ+φ) - y(θ)cosφ + x(θ)sinφ
S3(θ) = R3 - r(θ-τ) - y(θ)cosτ + x(θ)sinτ
여기서, R1은 제1 비접촉 변위센서(4)와 중심(O)간의 거리이고, R2는 제2 비접촉 변위센서(5)와 중심(O)간의 거리이고, R3는 제3 비접촉 변위센서(6)와 중심(O)간의 거리이고. r(θ)는 중심(O)으로부터 제1 비접촉 변위센서(4)로 측정된 공작기계 주축의 형상이고, r(θ+φ)는 중심(O)으로부터 제2 비접촉 변위센서(5)로 측정된 공작기계 주축의 형상이고, r(θ-τ)는 중심(O)으로부터 제3 비접촉 변위센서(6)로 측정된 공작기계 주축의 형상이고, x(θ)는 측정해야 할 X축 방향의 회전오차이고, y(θ)는 측정해야 할 Y축 방향의 회전오차이다.
센서를 장착할 때, R1, R2, R3의 값들이 0이 되도록 설정하기 때문에 R1, R2, R3의 값으로서 0을 대입하면, 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))은 다음과 같다.
S1(θ) = - r(θ) - y(θ)
S2(θ) = - r(θ+φ) - y(θ)cosφ + x(θ)sinφ
S3(θ) = - r(θ-τ) - y(θ)cosτ + x(θ)sinτ
공작기계 주축의 평균 반경을 r0라고 하면, 공작기계 주축의 형상(r(θ))은 다음과 같이 퓨리에 시리즈로 표현할 수 있다.
Figure 112012083217323-pat00005
이와 같이 퓨리에 시리즈로 표현된 공작기계 주축의 형상(r(θ))에서, 공작기계 주축의 평균 반경(r0)은 상수로서 센서의 각도에 무의미한 항이므로, 이를 소거하면 다음과 같다.
Figure 112012083217323-pat00006
그리고, X, Y 방향의 회전오차 x(θ), y(θ)도 상수를 소거하여 퓨리에 시리즈로 표현하면 다음과 같다.
Figure 112012083217323-pat00007

위의 식을 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))에 대입하면 다음과 같다.
Figure 112012083217323-pat00008
한편, 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)로부터 실제로 출력되는 신호(S1, S2, S3)를 퓨리에 변환(FFT)을 하면 다음과 같다.
상기한 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))과 각 센서의 실제 출력값으로부터 다음과 같은 식을 얻을 수가 있다.
Figure 112012083217323-pat00010
상기한 식을 행렬식으로 나타내면 다음과 같다.
Figure 112012083217323-pat00011
상기한 행렬식이 의미를 갖기 위해서는 역행렬이 존재하여야 하므로, 행렬식(Determinant)의 값이 0이 아니어야 한다.
제어부(7)는 제1 비접촉 변위센서(4)에 대하여 제2 비접촉 변위센서(5)가 이루는 각도(φ)와, 제1 비접촉 변위센서(4)에 대하여 제3 비접촉 변위센서(6)가 이루는 각도(τ)를 입력받아서, 상기한 행렬식(Determinant)의 값을 계산하여 그 값이 0.02보다 큰지를 판단한다.
도 2a는 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 행렬식이 0.02 보다 작은 경우의 그래프를 보여주고 있고, 도 2b는 이 발명의 일 실시예에 따른 3점법 회전오차 측정장치의 행렬식이 0.02 보다 큰 경우의 그래프를 보여주고 있다.
행렬식 값이 0.02보다 큰 경우에, 제어부(7)는 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)가 제대로 설치된 것으로 판단하고, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)로부터 살제로 출력되는 신호(S1, S2, S3)를 읽어들인다.
다음에, 상기한 제1 비접촉 변위센서(4)와 제2 비접촉 변위센서(5)와 제3 비접촉 변위센서(6)의 실제 출력 신호(S1, S2, S3)에 임의의 상수 1, a, b를 각각 곱한 후, 그 합(S(θ))을 구하면 다음과 같다.
S(θ) = S1(θ) + aS2(θ) + bS3(θ)
위의 수식에 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))과, 퓨리에 시리즈로 표현된 공작기계 주축의 형상(r(θ))을 대입하여 정리하면 합(S(θ))은 다음과 같이 표현된다.
Figure 112012083217323-pat00012
상기한 수식의 첫번째 행은 센서와 주축의 표면에 의해 결정되는 상수로 구성되어 있고, 두번째 행은 X, Y 방향의 회전오차로 구성되어 있으며, 세번째와 네번째 행은 주축의 형상을 의미한다.
상기한 수식의 두번째 행의 회전오차를 제거하기 위하여, 다음과 같이 설정한다.
a sinφ - b sinτ = 0, 1 + a cosφ + b cos τ = 0
그리고, 상기한 수식을 간단히 하기 위하여 다음과 같이 치환한다.
Figure 112012083217323-pat00013
이와 같이 회전오차를 제거하고, 상기한 치환식을 이용하여 합(S(θ))을 다시 구하면 다음과 같다.
상기한 수식의 앞의 4개 항은 상수이므로 직류(DC) 값으로 간주할 수 있으므로, 상기한 수식은 합(S(θ))의 퓨리에 시리즈 표현이 된다.
k가 1일 때의 값은 회전당 1x 성분이므로 편심오차 제거를 위하여 생략한다. 따라서, 합(S(θ))의 퓨리에 계수 Fk와 Gk는 위의 수식에서 다음의 수식으로 표현된다.
Figure 112012083217323-pat00015
상기한 퓨리에 계수 Fk와 Gk는 합(S(θ))을 퓨리에 변환하면 얻어진다.
따라서, 합(S(θ))의 퓨리에 계수 Fk와 Gk로부터 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 다음과 같이 얻을 수 있다.
Figure 112012083217323-pat00016
공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 공작기계 주축의 형상(r(θ))에 대입한 후에, 이를 다시 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))에 대입하면 다음과 같이 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 구할 수가 있다.
Figure 112012083217323-pat00017
제어부(7)는 이와 같이 주축의 형상 오차를 제외한 순수한 주축의 회전 오차를 산출하여, 모니터링 장치(3)에 표시한다.
2 : 신호처리기 3 : 모니터링 장치
4 : 제1 비접촉 변위센서 5 : 제2 비접촉 변위센서
6 : 제3 비접촉 변위센서 7 : 제어부

Claims (5)

  1. 제1 비접촉 변위센서와,
    상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 φ가 되도록 설치되는 제2 비접촉 변위센서와,
    상기한 제1 비접촉 변위센서와의 사이의 각도가 τ가 되도록 설치되는 제3 비접촉 변위센서와,
    상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서로부터 입력되는 신호를 퓨리에 변환(FFT)을 하기 위한 신호처리기와,
    상기한 제1 비접촉 변위센서와 제2 비접촉 변위센서가 이루는 각도(φ)와 상기한 제1 비접촉 변위센서와 제3 비접촉 변위센서가 이루는 각도(τ)를 입력받아서 행렬식(Determinant)의 값을 계산하여 그 값이 0.02보다 큰 경우에, 합(S(θ))의 퓨리에 계수 Fk와 Gk로부터 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 얻어서, 상기한 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk를 공작기계 주축의 형상(r(θ))에 대입한 후에, 이를 다시 각 센서의 이론적 출력값(S1(θ), S2(θ), S3(θ))에 대입하여 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 구하는 제어부와,
    X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))를 표시하기 위한 모니터링 장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점법 회전오차 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기한 행렬식은 다음과 같이 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점법 회전오차 측정장치.
    Figure 112012083217323-pat00018
  3. 제 1항에 있어서,
    상기한 합(S(θ))의 퓨리에 계수 Fk와 Gk는 다음과 같이 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점법 회전오차 측정장치.
    Figure 112012083217323-pat00019
  4. 제 1항에 있어서,
    상기한 공작기계 주축의 형상(r(θ))의 퓨리에 계수 RAk와 RBk는 다음과 같이 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점법 회전오차 측정장치.
    Figure 112012083217323-pat00020
  5. 제 1항에 있어서,
    상기한 X, Y 방향의 회전오차(x(θ), y(θ))는 다음과 같이 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점법 회전오차 측정장치.
    Figure 112012083217323-pat00021

KR1020120113811A 2012-10-12 2012-10-12 3점법 회전오차 측정장치 KR101336391B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120113811A KR101336391B1 (ko) 2012-10-12 2012-10-12 3점법 회전오차 측정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120113811A KR101336391B1 (ko) 2012-10-12 2012-10-12 3점법 회전오차 측정장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101336391B1 true KR101336391B1 (ko) 2013-12-04

Family

ID=49987155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120113811A KR101336391B1 (ko) 2012-10-12 2012-10-12 3점법 회전오차 측정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101336391B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101495553B1 (ko) 2014-03-14 2015-02-26 한양대학교 에리카산학협력단 회전체의 오차측정장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001041739A (ja) 1999-04-06 2001-02-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定機能を有する自動寸法計測装置
JP2001269839A (ja) 2000-03-23 2001-10-02 Toshiba Mach Co Ltd 多軸工作機械の主軸頭位置誤差補正方法
JP2003004042A (ja) 2001-06-19 2003-01-08 Nsk Ltd スピンドル装置及びその回転軸の振れを補正する方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001041739A (ja) 1999-04-06 2001-02-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定機能を有する自動寸法計測装置
JP2001269839A (ja) 2000-03-23 2001-10-02 Toshiba Mach Co Ltd 多軸工作機械の主軸頭位置誤差補正方法
JP2003004042A (ja) 2001-06-19 2003-01-08 Nsk Ltd スピンドル装置及びその回転軸の振れを補正する方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101495553B1 (ko) 2014-03-14 2015-02-26 한양대학교 에리카산학협력단 회전체의 오차측정장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6448242B2 (ja) 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置
CN110672017B (zh) 一种激光位移传感器振动补偿平台
EP2592407A1 (en) Rigid body property identification device and rigid body property identification method
US20160131470A1 (en) Form measuring machine and form measuring method
JP2011047703A (ja) 誤差伝播による出力データの精度評価方法
CN112815850B (zh) 一种圆柱体位姿测量方法及装置
JP2013213817A (ja) 故障のタイプを識別するシステムおよび方法
KR101336391B1 (ko) 3점법 회전오차 측정장치
CN105444722A (zh) 检测平台姿态变化的方法
JP2020003363A (ja) 転がり軸受の異常診断方法及び異常診断装置、異常診断プログラム
TWI481183B (zh) 馬達參數量測方法與馬達參數量測系統
CN104390624A (zh) 倾斜圆锥锥角水平旋转测量的方法
CN106092005A (zh) 三坐标机测量自由曲线的方法
BR112021013877A2 (pt) Sistema de medição, e, método relacionado ao sistema de medição
CN106931930A (zh) 用于确定物体表面间夹角的方法和装置
CN105043438A (zh) 空间物体多维参数测量装置
CN110779471B (zh) 同轴度测量方法、装置、设备及存储介质
CN115711731A (zh) 信号处理方法、信号处理装置及监视系统
KR101852189B1 (ko) 측정값 오프셋 보상 방법
CN110726368B (zh) 产品中心的机械坐标的获取方法
CN113748323B (zh) 检测装置以及传感器的校准方法
JP5300831B2 (ja) 機械角度測定装置
US8437968B2 (en) Method and apparatus for calculating the maximum displacement of a rotating shaft
KR20200042162A (ko) 다축 진동 센서로 감지되는 진동의 방향 사상 장치 및 그 방법
CN114427820B (zh) 一种转轴机构的偏摆测量方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161018

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 5